KR20100104175A - The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system - Google Patents

The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system Download PDF

Info

Publication number
KR20100104175A
KR20100104175A KR1020090022416A KR20090022416A KR20100104175A KR 20100104175 A KR20100104175 A KR 20100104175A KR 1020090022416 A KR1020090022416 A KR 1020090022416A KR 20090022416 A KR20090022416 A KR 20090022416A KR 20100104175 A KR20100104175 A KR 20100104175A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transfer
picker
unit
fixed
elevator
Prior art date
Application number
KR1020090022416A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101108484B1 (en
Inventor
장수호
Original Assignee
(주)포틱스테크놀로지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)포틱스테크놀로지 filed Critical (주)포틱스테크놀로지
Priority to KR1020090022416A priority Critical patent/KR101108484B1/en
Publication of KR20100104175A publication Critical patent/KR20100104175A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101108484B1 publication Critical patent/KR101108484B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE: An elevator and a transfer device of a solar cell wafer transfer system are provided to improve the productivity of a wafer by supplying many wafers to a boat for a short time through automation. CONSTITUTION: A horizontal picker transfer unit includes a horizontal guide bar(56) and horizontally transfers a picker with a belt method. A support frame(60) is connected to the horizontal guide bar and supports a picker lifting unit(65) for lifting the picker from a magazine and a boat. A picker unit is fixed to the picker lifting unit with a connection bracket and settles the wafers on the boat.

Description

솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치{The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system}The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로테이트 픽커 유닛(Rotate Picker Unit), 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit), 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(Elevator & Transfer Unit), 매거진 및 보우트 로더 유닛(Magazine & Boat Loader Unit)으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(Wafer Transfer System) 중 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛에 대해 두 개의 매거진 내에 슬라이드 이송되면서 각기 안착된 웨이퍼를 파지하여 로테이트 픽커 유닛 측으로 공급시키기 위한 상승작용 및 보우트 내에 슬라이드 이송되면서 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 파지하여 보우트 내에 안착시키기 위한 하강작용을 이룰 수 있도록 구성함으로써, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 한 번에 로테이트 픽커 유닛에 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 취부 하강하여 보우트에 안착시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화를 이뤄 이를 통한 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 있음과 아울러 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있도록 한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a solar cell wafer transfer system, and more particularly, a rotate picker unit, a picker transfer unit, an elevator and a transfer unit, an magazine and a boat loader unit. Synergy to grasp each seated wafer while feeding the elevator and transfer unit in two magazines of the Solar Cell Wafer Transfer System composed of (Magazine & Boat Loader Unit) And configured to achieve a lowering action for gripping the wafer rotated through the rotate picker unit and seating in the boat while being slide-transferred into the boat, thereby allowing the wafer to pass through the electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side. Use side In order to perform a heating operation for injecting phosphorus (P), two wafers are stacked so that the opposite sides of the wafers face each other, so that a large amount of wafers are supplied to the rotate picker unit at once or the rotate picker unit Through the mechanical automation of the wafer transfer operation such as mounting and lowering the rotated wafer to be mounted on the boat, it is possible to achieve the simplicity and accuracy of the wafer transfer operation and to improve the productivity of the wafer. An elevator and transfer device of a solar cell wafer transfer system have also been made possible for mass production.

일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.In general, solar cells are used as an energy source for driving various devices, which convert solar radiation or illumination light into electrical energy.

이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.Such a solar cell has a pn junction or a pin junction in a functional part composed of a semiconductor, and silicon, which is commonly known, can be used to form the pn junction (or pin junction) as a semiconductor. At this time, the use of single crystal silicon is good in terms of efficiency of converting light energy into electromotive force, but amorphous silicon is advantageous in terms of area increase and cost reduction.

한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계) → 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.Meanwhile, a solar cell and a solar module assembled using the solar cell are manufactured by using a silicon wafer, which is widely used, as a substrate using a single crystal silicon thin plate made of polycrystalline silicon (Si) as a substrate. If you look at the entire manufacturing process of the solar module, the silicon ingot manufacturing process (step 1) due to the single crystal growth → silicon ingot sliced to several hundred microns (㎛) thickness (step 2) → sliced silicon wafer cleaning process (3 Step) → doping implantation process on silicon wafer (step 4) → electrode line drawing process on doped implanted silicon wafer (step 5) → solar cell manufacturing process (step 6) → circuit work process (step 7) → laminating process of solar cell Solar modules are manufactured through a total of 10 manufacturing steps, including (8 steps) → mold work process (9 steps) → solar module manufacturing process (10 steps).

그러나, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중에서 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이퍼를 전기로에 공급하여 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업인 도핑 주입 공정을 수행하기 위한 준비과정으로서, 작업자가 일일이 각 낱장의 웨이퍼를 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹친 다음 이를 전기로 공급용 보우트 측으로 이송하여 상기 보우트의 각 슬롯에 삽입 안착시키는 등 상기 준비과정이 수동으로 이루어짐에 따라 이에 대한 작업공정이 매우 번거롭고 복잡할 뿐만 아니라, 상기 준비과정에 따른 작업시간 역시 오래 걸리게 되는 등의 커다란 문제점이 있었다.However, silicon wafers manufactured by slicing silicon ingots to several hundred microns (μm) in thickness during the entire manufacturing process of the solar module, that is, the solar cell wafers are supplied to an electric furnace to provide phosphorus ( As a preparatory process for performing a doping injection process, which is a heating operation for injecting P), an operator overlaps two sheets of wafers each day so that the opposite sides face each other, and then transfers them to the side of the boat for supplying electricity to the boat. As the preparation process is performed manually, such as seating and inserting into each slot, there is a big problem that the work process is very cumbersome and complicated, and the work time according to the preparation process also takes a long time.

또한, 상기와 같이 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위한 웨이퍼를 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보우트에 안착시킴에 있어 이의 과정 모두 작업자가 수동으로 수행하기 때문에 이에 따른 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 없는 등의 문제점 역시 있었다.In addition, during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side as described above, the opposite side of the wafer to be used to perform the heating operation for injecting phosphorus (P) to the use surface of the wafer through the electric furnace so as to face each other In the overlapping of the two seats on the boat, all of these processes were performed manually by the operator, so there was also a problem such as the convenience and accuracy of the wafer transfer operation could not be achieved.

그리고, 상기와 같이 웨이퍼의 이송작업과정이 수동으로 이루어지기 때문에 솔라 셀 웨이퍼를 전기로에 공급하기 위한 준비과정 자체가 오래 걸림으로 인해 규정된 시간 내에 많은 양의 웨이퍼를 보우트 측에 이송시킬 수 없으며, 이와 같은 문제점을 토대로 할 때 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 저하될 수밖에 없는 등 의 문제점도 있었다.In addition, since the wafer transfer process is manually performed as described above, the preparation process for supplying the solar cell wafer to the electric furnace takes a long time, so that a large amount of wafers cannot be transferred to the boat side within a prescribed time. Based on these problems, there was a problem that the productivity and economics of the product also had to be greatly reduced.

상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 구성요소 중 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛에 대해 두 개의 매거진 내에 슬라이드 이송되면서 각기 안착된 웨이퍼를 파지하여 로테이트 픽커 유닛 측으로 공급시키기 위한 상승작용 및 보우트 내에 슬라이드 이송되면서 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 파지하여 보우트 내에 안착시키기 위한 하강작용을 이룰 수 있도록 구성함으로써, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 한 번에 로테이트 픽커 유닛에 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 취부 하강하여 보우트에 안착시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화를 이뤄 이를 통한 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, the slide of the components of the solar cell wafer transfer system for the elevator and the transfer unit in the two magazines while holding the wafers respectively seated and supplied to the rotate picker unit side The electric furnace is constructed during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side by constructing a synergism to slide and a slide transfer into the boat while holding the wafer rotated through the rotate picker unit and lowering it to be seated in the boat. In order to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) to the use surface of the wafer through the two sheets so that the opposite sides of the wafer are used to adhere to each other more stable and a large amount of wafers at once to the rotate picker unit Supply or above Through Tate picker unit it is an object to be achieved, such as to the ease and accuracy of the wafer transfer operations through them accomplished the device ever automation for the transfer operation of the wafer for mounting to lower the rotational transfer of the wafer boat rest on.

또한, 본 발명의 경우 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화에 따라 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있도록 하는데 다른 목적이 있다.In addition, in the case of the present invention, there is another object to enable the supply of a large amount of wafer to the boat side in a short time according to the mechanical automation of the wafer transfer operation.

그리고, 본 발명의 경우 상기와 같이 장치적 자동화를 이룬 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛을 통해 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함에 따라 이에 따른 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 상기 웨이퍼에 대한 대량생산 역시 가능할 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.In the case of the present invention, a large amount of wafers are supplied to the boat side in a short time through an elevator and a transfer unit, which are mechanically automated as described above. There is another purpose to do this.

본 발명에 대한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치는, 로테이트 픽커 유닛, 픽커 트랜스퍼 유닛, 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛, 매거진 및 보우트 로더 유닛으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서,The elevator and transfer apparatus of the solar cell wafer transfer system according to the present invention is a solar cell wafer transfer system comprising a rotate picker unit, a picker transfer unit, an elevator and a transfer unit, a magazine and a boat loader unit.

상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛은, 2개의 매거진 및 보우트 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바를 포함하며, 모터 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 픽커를 원하는 위치에 수평이송시키는 픽커수평이송유닛과;The elevator and the transfer unit includes a horizontal guide bar installed in the longitudinal direction in the two magazines and the boat, the picker horizontal transfer unit for horizontally moving the picker to a desired position through a belt transmission method according to the motor drive;

상기 수평가이드바에 연결 설치되며, 전면(前面)에 수직가이드레일을 구비하면서 픽커를 승하강시키기 위한 픽커승강유닛을 지지하는 지지프레임과;A support frame connected to the horizontal guide bar and having a vertical guide rail on a front surface to support the picker lifting unit for lifting the picker up and down;

상기 수직가이드레일에 연결 설치되며, 모터 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진 및 보우트로부터 픽커를 승하강시키는 픽커승강유닛과;A picker lift unit connected to the vertical guide rail and configured to lift the picker up and down from the magazine and the boat through a belt transmission method according to a motor driving;

상기 픽커승강유닛의 일단에 연결브라켓을 통해 설치 고정되며, 픽커승강유닛의 구동에 따른 매거진으로부터 웨이퍼를 취부하여 상승시키거나 또는 로테이트 픽커 유닛에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼를 취부한 상태로 하강하여 보우트에 안착시키는 픽커유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The picker lift unit is fixed to one end of the pick-up unit through a connecting bracket, and is mounted by raising the wafer from the magazine according to the drive of the pick-up unit, or by lowering the two stacked wafers held in the rotate picker unit by attaching them. Characterized in that comprises a picker unit seated on.

이러한 본 발명의 경우 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 한 번에 로테이트 픽커 유닛에 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 취부 하강하여 보우트에 안착시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화를 이뤄 이를 통한 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.In the case of the present invention, the opposite sides of the wafers face each other in order to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) through the electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side. It is a device for the transfer operation of the wafer, such as supplying a large amount of wafers to the rotate picker unit at a time while stacking two sheets as much as possible, or mounting and lowering the wafer that is rotated and transferred through the rotate picker unit to the boat. There is an excellent effect, such as automation to achieve the simplicity and accuracy of the wafer transfer operation.

또한, 본 발명의 경우 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화에 따라 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있는 등의 효과 역시 있다.In addition, in the case of the present invention, according to the mechanical automation of the wafer transfer operation, there is also an effect such that a large amount of wafer can be supplied to the boat side in a short time.

그리고, 본 발명의 경우 상기와 같이 장치적 자동화를 이룬 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛을 통해 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함에 따라 이에 따른 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 상기 웨이퍼에 대한 대량생산 역시 가능할 수 있는 효과 등도 있다.In the case of the present invention, a large amount of wafers are supplied to the boat side in a short time through an elevator and a transfer unit, which are mechanically automated as described above. It can also have effects.

본 발명에 대한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(이하, 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치라 함)에 대하여 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.The elevator and transfer apparatus (hereinafter, referred to as elevator and transfer apparatus) of the solar cell wafer transfer system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 정 면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 측면도를 나타낸 것이며, 도 5는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 평면도를 나타낸 것이다.1 is a perspective view schematically showing a solar cell wafer transfer system to which the present invention is applied, FIG. 2 is a perspective view schematically showing an elevator and a transfer device according to the present invention, and FIG. 3 is a schematic view of an elevator and transfer device according to the present invention. 4 shows a side view of the elevator and transfer device for the present invention, and FIG. 5 shows a top view of the elevator and transfer device for the present invention.

또한, 도 6은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치 중 매거진 엘리베이터 유닛의 분해도 및 세부 상세도를 나타낸 것이고, 도 7은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치 중 보우트 엘리베이터 유닛의 분해도 및 세부 상세도를 나타낸 것이다.In addition, Figure 6 shows an exploded view and a detailed view of the magazine elevator unit of the elevator and transfer apparatus for the present invention, Figure 7 shows an exploded view and a detailed view of the boat elevator unit of the elevator and transfer apparatus for the present invention will be.

본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에 대해 상세히 설명하기에 앞서, 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(Solar Cell Wafer Transfer System)(1)에 대하여 간략히 설명하면, 이는 각 픽커(14,21)의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진(Magazine)(M) 내에 개별적으로 삽입되어 있는 웨이퍼(W)를 개별 및 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하여 전기로(미도시)에 공급하기 위한 보우트(Boat)(B) 측으로 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼(W)를 짧은 시간에 보우트(B) 측에 이송시키는데 사용되는 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이 크게 로테이트 픽커 유닛(Rotate Picker Unit)(10), 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit)(40), 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(Elevator & Transfer Unit)(50), 매거진 및 보우트 로더 유닛(Magazine & Boat Loader Unit)(90)으로 구성되어 있다.Prior to describing the elevator and transfer apparatus 50 of the present invention in detail, the solar cell wafer transfer system 1 to which the present invention is applied will be briefly described, which means that each picker 14, 21 ), The wafers W, which are inserted into the magazine (M) individually, are mounted in two overlapping states so that the individual and opposite sides face each other. It is a device used to transfer a large amount of wafer (W) to the boat (B) side in a short time while more stable to the boat (B) side for supplying to), largely as shown in FIG. Rotate Picker Unit (10), Picker Transfer Unit (40), Elevator & Transfer Unit (50), Magazine & Boat Loader Unit (90).

여기서, 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(50)의 경우 매거진 엘리베이터 유닛(Magazine Elevator Unit)(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(Boat Elevator Unit)(51a)으로 구성되는데, 이때 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)은 로딩된 매거진(M) 밑에서 픽커(85a,87a)가 웨이퍼(W)를 잡고 상승시키면 로테이트 픽커 유닛(10)이 상기 상승된 웨이퍼(W)를 파지하여 목적한 위치로 이송시키는 역할을 수행하며, 상기 보우트 엘리베이터 유닛(51a)은 보우트(B) 밑의 픽커(85b,87b)가 상승하여 로테이트 픽커 유닛(10)이 파지하고 있는 웨이퍼(W)를 잡아 아래로 하강하면서 보우트 슬롯(Bs)에 웨이퍼(W)를 집어넣는 역할을 수행하는 장치적 요소로서, 이에 대한 설명은 이하에서 기술되는 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에서 상세히 설명하기로 한다.Here, the elevator and transfer unit 50 is composed of a magazine elevator unit (Magazine Elevator Unit) 51 and the boat elevator unit (Boat Elevator Unit) (51a), wherein the magazine elevator unit 51 is loaded When the pickers 85a and 87a hold the wafer W under the magazine M, the rotate picker unit 10 grips the raised wafer W and transfers the wafer W to a desired position. In the elevator unit 51a, the pickers 85b and 87b under the boat B are raised to catch the wafer W held by the rotate picker unit 10, and then descend to the bottom of the boat slot Bs. As a device element that performs the role of inserting), a description thereof will be described in detail in the elevator and the transfer device 50 of the present invention described below.

또한, 상기 로테이트 픽커 유닛(10)의 경우 로딩(Loading)된 두 개의 매거진(M)에서 상승된 웨이퍼(W)를 꺼내 두 장씩 겹친 후 180도 회전을 하여 매거진(M) 뒤 쪽에 로딩되어 있는 보우트(B)에 이송 공급하는 역할을 수행하는 것으로서, 크게 각 픽커(14,21)의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진(M)으로부터 엘리베이터 유닛(51)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 개별 및 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하는 진공/회동픽커유닛(11)과; 상기 진공/회동픽커유닛(11)의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛(30)과; 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 이송대(41) 상단에 고정되며, 매거진(M)으로부터 상승되어 진공/회동픽커유닛(11)에 취부된 웨이퍼(W)를 이웃한 보우트(B) 측으로 회전시키는 메인구동모터(12)를 포함하여 구성되는데, 이때 상기 진공/회동픽커유닛(11)의 경우 매거진(M)으로부터 상승된 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 개별적으로 취부하는 진공픽커(14)와; 2장씩 겹쳐진 상태 로 상승된 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 각각 회동하여 취부하는 회동픽커유닛(20)과; 상기 회동픽커유닛(20) 및 상기 회동픽커유닛의 각 회동픽커(21)를 회동시키는 회동픽커유닛구동모터(23) 및 회동픽커구동모터(24)로 이루어져 있다. 미 설명 부호 17 및 22는 진공픽커(14)와 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21) 일측면에 다수 형성된 슬롯(17,22)을 나타낸 것이다.In addition, in the case of the rotate picker unit 10, the lifted wafer W is taken out from two loaded magazines M, overlapped by two sheets, and then rotated 180 degrees to be loaded at the rear of the magazine M. The wafer W which is lifted by the elevator unit 51 from the magazine M through the vacuum action of each picker 14 and 21 and the mutually opposed rotational action as a function of conveying and supplying to (B). A vacuum / rotation picker unit (11) for attaching the two pieces so that each and the opposite side of use thereof overlap each other; A side pusher unit (30) installed on one side of the upper end of the vacuum / rotation picker unit (11) to push and align the two stacked wafers (W) to one side; The picker transfer unit 40 is fixed to the upper end of the transfer table 41, and lifted from the magazine (M) to rotate the wafer (W) attached to the vacuum / rotation picker unit 11 to the neighboring boat (B) side. It comprises a main drive motor 12, wherein in the case of the vacuum / rotation picker unit 11 and the vacuum picker 14 for separately mounting the wafer (W) raised from the magazine (M) through a vacuum action ; A rotation picker unit 20 which rotates and mounts the upper and lower sides of both sides of the wafer W, which are lifted in the state of being superimposed on two sheets; The pivoting picker unit 20 and the pivoting picker driving motor 23 and the pivoting picker driving motor 24 which rotate the respective picking pickers 21 of the pivoting picker unit. Reference numerals 17 and 22 denote multiple slots 17 and 22 formed on one side of each of the pivoting pickers 21 of the vacuum picker 14 and the pivoting picker unit 20.

그리고, 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 경우 로봇(미도시) 구동으로 로테이트 픽커 유닛(10)을 X-축 방향으로 이송시킴과 동시에 모터라이즈 스테이지(motorized stage, 일명 메인구동모터)(12)를 통해 로테이트 픽커 유닛(10)을 180도 회전시키는 역할을 수행한다.In addition, in the case of the picker transfer unit 40, the rotate picker unit 10 is moved in the X-axis direction by driving a robot (not shown), and at the same time, a motorized stage 12 (called a main drive motor) 12 is moved. It serves to rotate the rotate picker unit 10 by 180 degrees.

마지막으로, 상기 매거진 및 보우트 로더 유닛(90)의 경우 매거진(M)을 로딩하는 매거진 로더 유닛(Magazine Loader Unit)(91)과 보우트(B)를 로딩하는 보우트 로더 유닛(Boat Loader Unit)(95)으로 구성되는데, 이때 상기 매거진 로더 유닛(91)은 두 개의 매거진(M)을 서로 반대방향으로 로딩하여 매거진(M) 사이의 중앙실린더(92)가 한쪽으로 각각의 매거진(M)을 올린 후 양 사이드에 설치된 측면실린더(93)가 매거진(M)을 밀면서 매거진(M)에 내삽된 웨이퍼(W)를 한쪽 방향으로 정렬시키는 역할을 수행하며, 상기 보우트 로더 유닛(95)은 보우트 슬롯(Bs) 각도에 맞춰 셋팅하는 역할을 수행함과 아울러, 상기와 같이 슬롯 각도에 맞게 셋팅 후 로딩된 보우트 슬롯(Bs)에 보우트 엘리베이터 유닛(51a)의 하강작동을 통해 웨이퍼(W)를 집어넣게 된다.Finally, in the case of the magazine and the boat loader unit 90, a magazine loader unit 91 for loading a magazine M and a boat loader unit for loading a boat B 95 In this case, the magazine loader unit 91 loads two magazines M in opposite directions so that the central cylinder 92 between the magazines M raises each magazine M to one side. Side cylinders 93 installed on both sides serve to align the wafer W inserted in the magazine M in one direction while pushing the magazine M, and the bolt loader unit 95 has a bolt slot Bs. The wafer W is inserted through the lowering operation of the boat elevator unit 51a into the loaded boat slot Bs after setting to the slot angle as described above.

한편, 상기 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1) 중 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)의 경우 전술한 바와 같이 매거진 엘리베이터 유닛(또는 매거진측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛)(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(또는 보우트측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛)(51a)으로 구분되며, 로딩된 두 개의 매거진(M)으로부터 개별 및 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 로테이트 픽커 유닛(10)이 취부할 수 있도록 상기 매거진(M) 밑에서 길이방향으로 직선왕복이송운동하는 픽커(85a,87a)가 해당 매거진(M) 내의 웨이퍼(W)를 잡고 상승시키는 역할과 함께, 보우트(B) 밑에서 길이방향으로 직선왕복이송운동하는 픽커(85b,87b)가 상승하여 로테이트 픽커 유닛(10)이 파지하고 있는 웨이퍼(W)를 잡아 아래로 하강하면서 보우트 슬롯(Bs)에 웨이퍼(W)를 집어넣는 역할을 수행하는 장치적 요소로서, 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이 2개의 매거진(M) 및 보우트(B) 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바(56)를 포함하며, 모터(53) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 픽커(85a,87a,85b,87b)를 원하는 위치에 수평이송시키는 픽커수평이송유닛(52)과; 상기 수평가이드바(56)에 연결 설치되며, 전면(前面)에 수직가이드레일(71)을 구비하면서 픽커(85a,87a,85b,87b)를 승하강시키기 위한 픽커승강유닛(65)을 지지하는 지지프레임(60)과; 상기 수직가이드레일(71)에 연결 설치되며, 모터(66) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진(M) 및 보우트(B)로부터 픽커(85a,87a,85b,87b)를 승하강시키는 픽커승강유닛(65)과; 상기 픽커승강유닛(65)의 일단에 연결브라켓(64)을 통해 설치 고정되며, 픽커승강유닛(65)의 구동에 따른 매거진(M)으로부터 웨이퍼(W)를 취부하여 상승시키거나 또는 로테이트 픽커 유닛(10)에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부한 상태로 하강하여 보우 트(B)에 안착시키는 픽커유닛(74)을 포함하여 구성되어 있다.On the other hand, in the case of the elevator and transfer apparatus 50 of the present invention among the solar cell wafer transfer system 1, as described above, the magazine elevator unit (or magazine side elevator and transfer unit) 51 and the boat elevator unit (or boat) Side lift and transfer unit) 51a, and the rotate picker unit 10 receives the wafers W, which are lifted from the two magazines M loaded in such a manner that The pickers 85a and 87a, which are linearly reciprocated in the longitudinal direction under the magazine M, hold the wafer W in the magazine M, and raise the wafer W in the longitudinal direction under the boat B. The picker 85b, 87b which moves in a straight reciprocating motion rises to catch the wafer W held by the rotate picker unit 10 and descends downward. As a device element that serves to insert the wafer (W) into (Bs), as shown in Figures 2 to 5, the horizontal guide bar installed in the longitudinal direction in the two magazines (M) and the boat (B) ( A picker horizontal transfer unit 52 which horizontally transfers the pickers 85a, 87a, 85b, and 87b to a desired position through a belt transmission method according to the driving of the motor 53; It is connected to the horizontal guide bar 56, and has a vertical guide rail 71 on the front surface to support the picker lifting unit 65 for lifting the picker (85a, 87a, 85b, 87b) A support frame 60; Connected to the vertical guide rail 71, the picker lifting up and down pick-up (85a, 87a, 85b, 87b) from the magazine (M) and the boat (B) through a belt transmission method according to the motor 66 drive Unit 65; The picker lifting unit 65 is fixed to one end of the pick-up lifting unit 65 through a connecting bracket 64, and the wafer W is mounted from the magazine M according to the driving of the pick-up lifting unit 65, or the rotate picker unit is mounted. And a picker unit 74 which is lowered in the state where the two stacked wafers W held by 10 are attached and seated on the boat B.

이와 같이 구성된 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50) 중 상기 픽커수평이송유닛(52)의 경우 전술한 바와 같이 2개의 매거진(M) 및 보우트(B) 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바(56)를 포함함과 동시에 모터(53) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 픽커(85a,87a,85b,87b)를 원하는 위치에 수평이송시키는 역할의 장치적 요소로서, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 2개의 매거진(M) 및 보우트(B) 내에 길이방향으로 설치되는 수평가이드바(56)와; 상기 수평가이드바(56)의 배면에 설치된 상태로 매거진(M) 및 보우트(B)의 내부 상단 일측에 고정되며, 수평가이드바(56)를 지지하는 수평바지지프레임(57)과; 상기 수평가이드바(56)의 일측에 이웃하게 설치되며, 회전축 일단에 구동풀리(53a)를 갖는 구동모터(53)와; 상기 수평가이드바(56) 내에 삽착된 상태로 돌출된 일단에 종동풀리(54a)를 구비하면서 연결벨트(55)에 의해 구동모터(53)와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터(53)의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류(54)와; 상기 볼스크류(54)에 결합된 상태로 지지프레임(60)의 배면(背面)에 고정되며, 모터(53) 구동에 의한 볼스크류(54)의 회전에 따라 상기 픽커(85a,87a,85b,87b)가 고정된 지지프레임(60)을 수평이송시키는 수평이송브라켓(59)과; 상기 지지프레임(60)의 배면(背面)과 수평바지지프레임(57)의 하단에 양단이 각각 고정되며, 모터(53) 구동에 따라 수평이송되는 지지프레임(60)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하기 위한 롤브라켓(미도시)으로 구성되어 있다.In the case of the picker horizontal transfer unit 52 of the elevator and the transfer device 50 of the present invention configured as described above, the horizontal guide bar 56 installed in two magazines M and the boat B in the longitudinal direction as described above. At the same time as a device element that serves to horizontally move the pickers (85a, 87a, 85b, 87b) to a desired position through a belt transmission method according to the drive of the motor 53, as shown in Figures 6 and 7 Horizontal guide bar 56 is installed in two magazines (M) and the boat (B) in the longitudinal direction as shown; A horizontal bar support frame 57 fixed to one side of the upper end of the magazine M and the boat B in a state of being installed on the rear surface of the horizontal guide bar 56, and supporting the horizontal guide bar 56; A driving motor 53 installed adjacent to one side of the horizontal guide bar 56 and having a driving pulley 53a at one end of the rotating shaft; The motor 53 is connected to the driving motor 53 by the connecting belt 55 while having the driven pulley 54a at one end of the horizontal guide bar 56 inserted into the horizontal guide bar 56. Ball screw (54) to rotate in accordance with the rotational force of the; It is fixed to the rear surface of the support frame 60 in a state coupled to the ball screw 54, the pickers (85a, 87a, 85b, in accordance with the rotation of the ball screw 54 by driving the motor 53), A horizontal transfer bracket (59) for horizontally transferring the support frame (60) on which 87b) is fixed; Both ends are fixed to the rear surface of the support frame 60 and the lower end of the horizontal bar support frame 57, respectively, and limit the transfer distance and wires of the support frame 60 which are horizontally transferred according to the driving of the motor 53. It consists of a roll bracket (not shown) for protection.

여기서, 상기 수평가이드바(56)의 경우 단면이 직육각형 형태인 중공바로 형 성되어 있는데, 이때 그 전면(前面)에는 모터(53) 구동에 의한 볼스크류(54)의 회전에 따라 상기 픽커(85a,87a,85b,87b)가 고정된 지지프레임(60)을 수평이송시키기 위한 수평이송브라켓(59)이 삽착되어 슬라이드 이송작용이 이루어질 수 있도록 안내하는 레일부(56a)가 형성되어 있고, 상기 수평가이드바(56)의 내부에는 상기 수평가이드바(56)의 일측에 이웃하게 설치된 구동모터(53)의 회전력을 전달받아 동일방향으로 회전하는 볼스크류(54)가 설치되되, 일단이 외부로 돌출되도록 삽착되어 있으며, 상기 볼스크류(54)의 일단에는 연결벨트(55)를 통해 구동모터(53)의 회전축 일단에 설치된 구동풀리(53a)와 연결되어 벨트전동방식을 이룰 수 있도록 종동풀리(54a)가 설치되어 있다.In this case, the horizontal guide bar 56 is formed as a hollow bar having a cross-section of a rectangular hexagonal shape, wherein the front surface of the horizontal guide bar 56 is rotated by the ball screw 54 driven by the motor 53. A rail conveying portion 56a for inserting a horizontal conveying bracket 59 for horizontally conveying the support frame 60 to which the 85a, 87a, 85b, 87b is fixed is inserted is formed, and the rail portion 56a is formed. Inside the horizontal guide bar 56 is provided with a ball screw 54 is rotated in the same direction by receiving the rotational force of the drive motor 53 installed adjacent to one side of the horizontal guide bar 56, one end is to the outside Is inserted to protrude, one end of the ball screw 54 is connected to the drive pulley (53a) installed on one end of the rotation shaft of the drive motor 53 through a connecting belt 55 to achieve a belt transmission method (driven pulley) 54a) is installed.

또한, 상기 수평바지지프레임(57)의 경우 수평가이드바(56)의 배면(背面)에 설치된 상태로 매거진(M) 및 보우트(B)의 내부 상단 일측에 고정되어 상기 수평가이드바(56)를 지지하는 요소로서, 전체형상이 "ㄱ"자 형태로 형성되어 있으며, 사각형태의 상부수평판(57a) 및 하부수직판(57b) 사이에는 수평바지지프레임(57)의 보강을 위한 보강대(57c)가 설치 고정되어 있다.In addition, the horizontal bar support frame 57 is fixed to one side of the upper end of the magazine (M) and the boat (B) in a state of being installed on the rear (背面) of the horizontal guide bar 56 is the horizontal guide bar (56) As a supporting element, the entire shape is formed in a "b" shape, the reinforcing bar for reinforcing the horizontal bar support frame 57 between the upper horizontal plate (57a) and the lower vertical plate (57b) of the rectangular shape ( 57c) is fixed.

이와 더불어, 상기 수평이송브라켓(59)의 경우 전체형상이 "ㅛ"자 형태로 형성되는 등 상기 볼스크류(54)에 결합되는 이송너트블록(58)과 체결됨과 동시에 수평가이드바(56)의 전면(前面)에 위치되어 상기 수평가이드바(56)의 전면(前面)에 슬라이드 가능하게 삽착되도록 전면(前面) 중앙에 요(凹) 형태의 슬라이드홈(59a)이 형성되어 있고, 상기 슬라이드홈의 중앙에는 볼스크류(54)와 결합되기 위한 암나사홀이 구비된 이송너트블록(58)이 설치 고정되어 있다.In addition, in the case of the horizontal transfer bracket 59 is formed in the shape of the "ㅛ" shape, such as the fastening nut block 58 coupled to the ball screw 54 and the horizontal guide bar 56 of the A yaw-shaped slide groove 59a is formed at the center of the front surface so as to be positioned on the front surface and slidably inserted into the front surface of the horizontal guide bar 56. At the center of the feed nut block 58 is provided with a female threaded hole for coupling with the ball screw 54 is fixed.

그리고, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50) 중 상기 지지프레임(60)의 경우 전술한 바와 같이 수평가이드바(56)에 연결 설치되어 전면(前面)에 수직가이드레일(71)을 구비하면서 픽커(85a,87a,85b,87b)를 승하강시키기 위한 픽커승강유닛(65)을 지지하는 역할의 요소로서, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 전체형상이 "ㄷ"자 형태로 형성되어 있는데, 이때 그 전면(前面) 양측벽에는 수직가이드레일(71)을 고정시키기 위한 레일안착부(62)가 형성되어 있고, 상기 지지프레임(60)의 상하 양단에는 볼스크류(67)를 고정하기 위한 축고정브라켓(69)이 설치 고정되어 있다.In the elevator and transfer device 50 of the present invention, the support frame 60 is connected to the horizontal guide bar 56 as described above, and is provided with a vertical guide rail 71 on the front surface of the picker. As an element for supporting the picker lifting unit 65 for lifting up and down the 85a, 87a, 85b, and 87b, the overall shape is formed in a "-" shape as shown in FIGS. In this case, rail front mounting portions (62) for fixing the vertical guide rails (71) are formed on both front walls thereof, and upper and lower ends of the support frame (60) for fixing the ball screws (67). The shaft fixing bracket 69 is fixedly installed.

한편, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50) 중 상기 픽커승강유닛(65)의 경우 전술한 바와 같이 수직가이드레일(71)에 연결 설치되어 모터(66) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진(M) 및 보우트(B)로부터 픽커(85a,87a,85b,87b)를 승하강시키는 역할의 장치적 요소로서, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 지지프레임(60)의 배면(背面) 하단 중앙에 지지 고정되며, 회전축 일단에 구동풀리(66a)를 갖는 구동모터(66)와; 상기 지지프레임(60)의 전면(前面) 양측에 고정되는 수직가이드레일(71)과; 상기 지지프레임(60)의 전면(前面) 중앙에 축고정브라켓(69)에 의해 고정된 양단 중 일단에 종동풀리(67a)를 구비하면서 연결벨트(68)에 의해 구동모터(66)와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터(66)의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류(67)와; 상기 볼스크류(67)와 결합된 상태로 연결브라켓(64)의 배면(背面)에 고정되며, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)와 결합된 이송너트블록(70)의 상하이송작용을 통해 픽커유닛(74)이 고정된 연결브라켓(64)을 승하강시키는 승강브라켓(73)과; 상기 볼스크류(67) 및 수직가이드레일(71)과 상호 결합된 상태로 승강브라켓(73)의 배면(背面) 중앙 및 양측에 각각 고정되며, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)를 따라 이송되면서 승강브라켓(73)을 승하강시킴과 동시에 상기 볼스크류(67)의 회전에 따라 승하강하는 승강브라켓(73)의 이송작용을 안내하는 이송너트블록(70) 및 슬라이드부재(72)와; 상기 지지프레임(60)의 일측면과 연결브라켓(64)의 일측면에 양단이 각각 고정되며, 모터(66) 구동에 따라 상하이송되는 연결브라켓(64)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하기 위한 롤브라켓(미도시)으로 구성되어 있다.On the other hand, the picker lifting unit 65 of the elevator and the transfer device 50 of the present invention is connected to the vertical guide rail 71 as described above, the magazine through the belt transmission method according to the driving of the motor 66 ( As a mechanical element for raising and lowering the pickers 85a, 87a, 85b, and 87b from the M and the boat B, the lower end of the rear surface of the support frame 60 as shown in Figs. A driving motor (66) fixed and supported at the center and having a driving pulley (66a) at one end of the rotating shaft; Vertical guide rails 71 fixed to both front sides of the support frame 60; It is connected to the drive motor 66 by a connecting belt 68 while having a driven pulley 67a at one end of both ends fixed by the shaft fixing bracket 69 at the center of the front of the support frame 60. Ball screw 67 that rotates according to the rotational force of the motor 66 transmitted through the belt transmission method; It is fixed to the rear surface of the connecting bracket 64 in a state in which it is coupled with the ball screw 67, and the shank of the transfer nut block 70 coupled with the ball screw 67 that is rotated by driving the motor 66. An elevating bracket 73 for elevating the connecting bracket 64 to which the picker unit 74 is fixed by feeding; The ball screw 67 is fixed to the center and both sides of the rear surface of the elevating bracket 73 in the state coupled with the ball screw 67 and the vertical guide rail 71, respectively, and rotated by driving the motor 66. The conveying nut block 70 and the slide member (7) for guiding the conveying action of the elevating bracket (73), which is moved up and down as the ball screw (67) moves up and down while being conveyed along the elevating bracket (73). 72); Both ends are fixed to one side of the support frame 60 and one side of the connection bracket 64, respectively, to limit the transport distance and the wire of the connection bracket 64, which is sent to Shanghai according to the driving of the motor 66. It is composed of a roll bracket (not shown).

여기서, 상기 승강브라켓(73)의 경우 전체형상이 전면(前面)에 외력이나 미세먼지로부터 지지프레임(60) 내부에 설치된 요소들을 보호하기 위한 보호커버(63)를 설치할 수 있도록 커버삽입홈(73a)이 형성된 "ㄷ"자 형태로 형성되어 있다.Here, in the case of the lifting bracket (73), the cover insertion groove (73a) so as to install a protective cover (63) for protecting the elements installed inside the support frame (60) from the external force or fine dust on the front (front) ) Is formed in the form of a "c".

이와 더불어, 상기 승강브라켓(73)의 배면(背面) 중앙에 고정되는 이송너트블록(70)의 경우 전체형상이 사각블럭체로 형성됨과 동시에 그 중앙에는 볼스크류(67)와 결합되어 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)를 따라 상하 이송될 수 있도록 암나사홀이 형성되어 있고, 상기 승강브라켓(73)의 배면(背面) 양측에 각각 고정되는 슬라이드부재(72)의 경우 승강브라켓(73)과 동일높이의 사각블럭체로 형성됨과 동시에 그 하단에는 수직가이드레일(71)과 대응 결합되어 슬라이드작용이 원활히 이루어질 수 있도록 레일홈(73b)이 형성되어 있다.In addition, in the case of the transfer nut block 70 fixed to the center of the rear surface of the elevating bracket 73, the overall shape is formed as a square block body and at the same time it is coupled with the ball screw 67 in the center of the motor 66 A female screw hole is formed to be vertically conveyed along the ball screw 67 that is rotated by the driving, and in the case of the slide member 72 fixed to both sides of the rear surface of the elevating bracket 73, the elevating bracket ( 73 and a square block having the same height, and at the bottom thereof, the rail groove 73b is formed at the lower end thereof so as to correspond to the vertical guide rail 71 so as to smoothly perform the slide action.

그리고, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50) 중 상기 픽커유닛(74)의 경우 전술한 바와 같이 픽커승강유닛(65)의 일단 즉, 보호커버(63)가 설치된 상 태의 승강브라켓(73) 전면(前面)에 연결브라켓(64)을 통해 설치 고정되어 상기 픽커승강유닛(65)의 구동에 따른 매거진(M)으로부터 웨이퍼(W)를 취부하여 상승시키거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛(10)에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부한 상태로 하강하여 보우트(B)에 안착시키는 역할의 장치적 요소로서, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 연결브라켓(64)의 상단에 고정픽커(85a,85b)를 이격된 상태로 고정시키는 2개의 고정프레임(75)과; 상기 고정프레임(75)의 상단에 각각 고정되며, 하나 이상의 슬롯(86a,86b)이 등간격으로 형성된 2개의 고정픽커(85a,85b)와; 상기 2개의 고정픽커(85a,85b) 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 따라 수평이송되면서 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b)에 삽입된 웨이퍼(W)를 안정되게 파지토록 하나 이상의 슬롯(88a,88b)이 등간격으로 형성된 이송픽커(87a,87b)와; 상기 각 고정픽커(85a,85b)의 하단 내측에 고정되며, 이송픽커(87a,87b)를 고정 지지하는 2개의 지지바(84)와; 상기 각 지지바(84)의 하단에 고정되며, 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)와 결합된 이송너트블록(81)과 함께 동일방향으로 이송되면서 지지바(84) 및 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키는 이송바(83)와; 상기 이송바(83)의 하단에 위치되며, 구동모터(78)를 고정 지지하는 모터고정블록(77)과; 상기 모터고정블록(77)의 일단에 고정되며, 고정픽커(85a,85b) 사이에 설치된 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키기 위한 구동모터(78); 및 이의 일단에 연결된 볼스크류(80)와; 상기 볼스크류(80)에 결합된 상태로 모터고정블록(77)의 일측 상단과 이송바(83)의 하단 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)를 따라 이송되면서 이송바(83), 지지바(84) 및 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키 는 이송너트블록(81)과; 상기 이송너트블록(81)과 모터고정블록(77)의 일단 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 의한 볼스크류(80)의 회전에 따라 수평이송하는 이송너트블록(81)을 안내하는 가이드블록(82)과; 상기 모터고정블록(77) 하단에 고정된 상태로 각 고정프레임(75)의 내측면에 고정되며, 모터고정블록(77)을 지지하는 베이스판(76)으로 구성되어 있다.And, in the case of the picker unit 74 of the elevator and transfer apparatus 50 of the present invention, one end of the picker lifting unit 65, that is, the front of the lifting bracket 73 in a state where the protective cover 63 is installed. And fixed to the front plate through a connecting bracket 64 to mount and lift the wafer W from the magazine M according to the operation of the picker lift unit 65, or to be gripped by the rotate picker unit 10. As a device element of a role of lowering the two stacked wafers (W) to be mounted on the bow (B), as shown in Figs. 6 and 7, the fixed picker ( Two fixing frames 75 for fixing 85a and 85b to be spaced apart; Two fixed pickers 85a and 85b fixed to an upper end of the fixed frame 75 and having one or more slots 86a and 86b formed at equal intervals; The wafer W is installed between the two fixed pickers 85a and 85b and is stably gripped by the wafer W inserted into the slots 86a and 86b of the fixed pickers 85a and 85b while being horizontally moved according to the driving of the motor 78. A transfer picker 87a, 87b in which one or more slots 88a, 88b are formed at equal intervals; Two support bars 84 fixed to the lower inner side of each of the fixed pickers 85a and 85b and fixedly supporting the transfer pickers 87a and 87b; It is fixed to the lower end of each of the support bar 84, the support bar 84 and conveyed while being transported in the same direction with the feed nut block 81 coupled with the ball screw 80 rotated by the motor 78 drive A transfer bar 83 for horizontally moving the pickers 87a and 87b; Located at the bottom of the transfer bar 83, the motor fixing block 77 for holding and supporting the drive motor 78; A driving motor (78) fixed to one end of the motor fixing block (77) for horizontally transporting the transfer pickers (87a, 87b) installed between the fixed pickers (85a, 85b); And a ball screw 80 connected to one end thereof; It is installed between the upper end of one side of the motor fixing block 77 and the lower end of the transfer bar 83 in a state coupled to the ball screw 80, and transported along the ball screw 80 that is rotated by driving the motor 78. A transfer nut block 81 for horizontally transferring the transfer bar 83, the support bar 84, and the transfer pickers 87a and 87b; A guide is installed between the transfer nut block 81 and one end of the motor fixing block 77 and guides the transfer nut block 81 to be horizontally moved in accordance with the rotation of the ball screw 80 by driving the motor 78. Block 82; The base plate 76 is fixed to the inner surface of each fixed frame 75 in a fixed state at the bottom of the motor fixing block 77, and supports the motor fixing block 77.

여기서, 상기 2개의 매거진(M) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 고정픽커(85a)는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사진 등가격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(W)를 사각형태로 취부하도록 형성되어 있고, 상기 2개의 고정픽커(85a) 사이에 설치되는 이송픽커(87a)는 고정픽커(85a)와 동일형상 즉, 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사진 등가격의 톱니형태로 형성되어 모터(78) 구동에 따라 수평이송되면서 고정픽커(85a)의 슬롯(86a)에 삽입된 웨이퍼(W)를 안정되게 파지하게 된다.Here, the fixed picker 85a of the picker unit 74 installed in the two magazines M is formed in the form of sawtooth of the same price inclined in a triangle shape on both left and right sides of the top, and thus the wafer W is mounted in a rectangular shape. It is formed so as to be, the transfer picker (87a) is installed between the two fixed pickers (85a) is the same shape as the fixed picker (85a), that is formed in the form of a sawtooth of the same price inclined in a triangular shape of the upper left and right sides As the motor 78 is driven horizontally, the wafer W inserted into the slot 86a of the fixed picker 85a is stably gripped.

또한, 상기 보우트(B) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 고정픽커(85b)는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사짐과 동시에 상기 상단 내측으로부터 외측으로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(W)를 마름모형태로 취부하도록 형성되어 있고, 상기 2개의 고정픽커(85b) 사이에 설치되는 이송픽커(87b)는 전술한 2개의 매거진(M) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 이송픽커(87a)와 동일형상 및 동일작용을 수행한다.In addition, the fixed picker 85b of the picker unit 74 installed in the bolt B is formed in a sawtooth shape at equal intervals inclined outwardly from the inside of the upper end while the left and right sides of the picker unit 74 are inclined in a triangle shape. It is formed to mount (W) in a rhombus shape, and the transfer picker 87b installed between the two fixed pickers 85b is a transfer picker of the picker unit 74 installed in the two magazines M described above. It performs the same shape and the same operation as (87a).

그리고, 상기 이송바(83)의 경우 각 지지바(84)의 하단에 고정된 상태로 이송너트블록(81) 상단에 고정되어 모터(78) 구동에 의해 회전되는 볼스크류(80)를 따라 이송되는 이송너트블록(81)과 함께 수평이송되는 요소로서, 전체형상이 사각 블록의 상단 양측으로 각 지지바(84)의 양단을 볼트 고정하기 위한 고정바(83a)가 일체로 돌출 형성된 구조로 이루어져 있으며, 상기 이송바(83)의 일측 저면(底面)과 상기 베이스판(76)의 일측 상단에는 상호 슬라이드 가능하게 고정되어 모터(78) 구동에 의해 회전되는 볼스크류(80)를 따라 이송되는 이송너트블록(81)과 이송바(83)의 수평이송작용을 감지할 수 있도록 감지센서(89)가 설치되어 있다.In addition, the transfer bar 83 is fixed to the upper end of the transfer nut block 81 in a state fixed to the lower end of each support bar 84, and transported along the ball screw 80 rotated by driving the motor 78. As a horizontal conveying element with the transfer nut block 81 to be formed, the overall shape is composed of a structure in which the fixing bar (83a) for bolting both ends of each support bar 84 to the upper sides of the square block protruding integrally formed. The lower surface of the transfer bar 83 and the upper end of one side of the base plate 76 are slidably fixed to each other and are transported along a ball screw 80 that is rotated by a motor 78. A detection sensor 89 is installed to detect the horizontal transfer action of the nut block 81 and the transfer bar 83.

또한, 상기 모터고정블록(77)의 경우 전체형상이 구동모터(78)를 고정 지지하기 위한 모터고정부(77a)가 상측으로 절곡된 "L"자 형태로 형성된 구조로 이루어져 있으며, 상기 구동모터(78)의 일단에는 정전 시 상기 구동모터(78)를 수동으로 회전시켜 이송너트블록(81)과 이송바(83)를 수평이송시킬 수 있도록 수동레버(79)가 설치되어 있다.In addition, in the case of the motor fixing block 77, the overall shape has a structure in which the motor fixing part 77a for holding and supporting the driving motor 78 is formed in an “L” shape bent upward. At one end of the 78, a manual lever 79 is installed to manually rotate the drive motor 78 to horizontally transfer the transfer nut block 81 and the transfer bar 83 during power failure.

이와 더불어, 상기 이송너트블록(81)의 경우 전체형상이 사각블록체로 형성되어 있는데, 이때 그 일측에는 가이드블록(82)이 삽입되기 위한 공간부(미도시)가 형성되어 있고, 상기 공간부 후단으로부터 볼스크류(80)가 결합되기 위한 암나사홀이 관통 형성되어 있다.In addition, in the case of the transfer nut block 81, the overall shape is formed as a rectangular block body, in which one side is formed with a space (not shown) for inserting the guide block 82, the rear end of the space A female screw hole for coupling the ball screw 80 therefrom is formed therethrough.

그리고, 상기 로테이트 픽커 유닛(10) 중 각 회동픽커(21)를 시계방향 및 반시계방향으로 회동시키는 회동픽커구동모터(24)와, 상기 회동픽커유닛(20)을 45도 각도로 회전시키는 회동픽커유닛구동모터(23)을 비롯하여 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(50) 중 상기 픽커수평이송유닛(52)의 구동모터(53)와, 상기 픽커승강유닛(65)의 구동모터(66) 및 상기 픽커유닛(74)의 구동모터(78) 역시 입력 펄스 수와 모터의 회전각도가 완전히 비례하여 펄스 신호를 줄 때마다 일정한 각도씩 회전하 는 모터 즉, 입력 펄스 수에 대응하여 일정 각도씩 움직여 회전각도를 정확하게 제어할 수 있는 스텝모터를 사용함이 바람직하다.In addition, the pivot picker driving motor 24 which rotates each pivot picker 21 clockwise and counterclockwise of the rotate picker unit 10 and the pivot that rotates the pivot picker unit 20 at a 45 degree angle. In addition to the picker unit driving motor 23, the drive motor 53 of the picker horizontal transfer unit 52 among the elevator and the transfer unit 50, the drive motor 66 and the picker of the picker lift unit 65. The drive motor 78 of the unit 74 also rotates by a certain angle in response to the number of input pulses, i.e., a motor that rotates by a predetermined angle every time a pulse signal is given by the total number of input pulses and the rotation angle of the motor. It is desirable to use a step motor that can accurately control.

이하, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the elevator and the transfer device 50 of the present invention will be described in detail with reference to the embodiment of the embodiment compared to the accompanying drawings.

도 8a 내지 도 8g는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 작동 상태도를 나타낸 것이다.8a to 8g show an operational state diagram of the elevator and transfer apparatus according to the present invention.

먼저, 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1)의 전체 작동과정 중 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)의 작동과정에 대해서만 중점적으로 설명하기로 한다.First, only the operation of the elevator and the transfer device 50 of the present invention will be described in detail during the entire operation of the solar cell wafer transfer system 1 to which the present invention is applied.

이상에서 밝힌 바와 같이 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)의 작동과정으로서, 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 이송대(41) 상단에 설치된 로테이트 픽커 유닛(10) 중 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 진공픽커(14)가 로딩된 두 개의 매거진(M) 중 일측의 매거진(M) 측으로 회동 위치되게 되면, 도 8a에 도시한 바와 같이 상기 일측 매거진(M) 하단에 위치된 매거진측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(51) 즉, 연결브라켓(64)을 통해 픽커유닛(74)이 고정된 픽커승강유닛(65)의 모터(66) 구동 시 이와 연결된 볼스크류(67)가 벨트전동방식을 통해 전달된 회전력에 따라 동일방향으로 회전하게 되고, 상기 볼스크류(67)와 결합된 이송너트블록(70)이 상기와 같이 회전하는 볼스크류(67)의 나선이송작용을 통해 상기 볼스크류(67)를 따라 상방(上方)으로 이송되면서 상기 이송너트블록(70)이 고정된 승강브라켓(73)을 비롯하여 상기 승강브라켓(73)이 고정된 연결브라켓(64) 및 상기 연결 브라켓(64)에 고정된 픽커유닛(74)을 상승시킴과 동시에 상기 일측 매거진(M) 내에 안착되어 있는 웨이퍼(W)를 취부하여 로테이트 픽커 유닛(10)의 진공픽커(14) 일면에 병렬형태로 다수 형성된 각 슬롯(17) 사이로 삽입시킨 다음 상기 진공픽커(14)의 진공 흡입력을 통해 상기 삽입된 웨이퍼(W)를 개별적으로 취부하게 되는데, 이때 상기 픽커승강유닛(65)에 의해 상승된 픽커유닛(74)이 웨이퍼(W)를 취부함에 있어, 상기 픽커유닛(74)의 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)를 따라 이송너트블록(81)이 이송되면서 상기 이송너트블록(81)에 고정된 이송바(83)를 비롯하여 지지바(84) 및 이송픽커(87a)를 수평이송시키는 등 2개의 고정픽커(85a) 및 상기 고정픽커(85a) 사이에서 수평이송되는 이송픽커(87a)를 통해 상기 고정픽커(85a)와 이송픽커(87a)의 각 슬롯(86a,88a)에 삽입된 웨이퍼(W)를 안정되게 파지하게 된다.As described above, as an operation process of the elevator and the transfer device 50 according to the present invention, the main drive motor 12 of the rotate picker unit 10 installed on the transfer table 41 of the picker transfer unit 40. When the vacuum picker 14 is rotated to the magazine M side of one of the two magazines M loaded through the rotation, the magazine side located at the bottom of the one magazine M as shown in FIG. 8A. When driving the motor 66 of the picker lifting unit 65 to which the picker unit 74 is fixed through the elevator and transfer unit 51, that is, the connecting bracket 64, the ball screw 67 connected thereto is driven by a belt transmission method. The ball screw 67 is rotated in the same direction according to the transmitted rotational force, and the feed nut block 70 coupled with the ball screw 67 rotates as described above through the spiral feeding action of the ball screw 67. While moving upward along the In addition to raising and lowering the picker unit 74 fixed to the connecting bracket 64 to which the lifting bracket 73 is fixed and the connecting bracket 64, including the lifting bracket 73 to which the transfer nut block 70 is fixed. The wafer W seated in the one side magazine M is mounted and inserted between the slots 17 formed in parallel on one surface of the vacuum picker 14 of the rotate picker unit 10 and then the vacuum picker 14 The inserted wafer (W) is individually mounted through a vacuum suction force of a), wherein the picker unit (74) lifted by the picker lift unit (65) attaches the wafer (W). The support bar 84 including the transfer bar 83 fixed to the transfer nut block 81 while the transfer nut block 81 is moved along the ball screw 80 that is rotated by driving the motor 78 of the 74. ) And two fixed pickers 85a such as horizontally transporting the picker 87a and The wafer W inserted in each of the slots 86a and 88a of the fixed picker 85a and the transfer picker 87a is stably held by the transfer picker 87a which is horizontally transferred between the fixed pickers 85a. .

이와 같이 상기 픽커유닛(74)에 취부된 상태로 픽커승강유닛(65)의 상승작용을 통해 상기 로테이트 픽커 유닛(10)의 진공픽커(14) 측으로 웨이퍼(W)가 상승되어 상기 진공픽커(14)에 개별적으로 취부되게 되면, 도 8b의 (a)에 도시한 바와 같이 상기 픽커승강유닛(65)의 하강작용 즉, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)를 따라 이송너트블록(70)이 하방(下方)으로 이송되면서 상기 이송너트블록(70)이 고정된 승강브라켓(73)을 비롯하여 상기 승강브라켓(73)이 고정된 연결브라켓(64) 및 상기 연결브라켓(64)에 고정된 픽커유닛(74)을 일측 매거진(M) 하단으로 하강시킴과 동시에, 도 8b의 (b)에 도시한 바와 같이 상기 매거진측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(51) 중 픽커수평이송유닛(52)의 모터(53) 구동 시 이와 연결된 볼스크류(54)가 벨트전동방식을 통해 전달된 회전력에 의해 동일방향으로 회전하게 되고, 상기 볼스크류(54)와 결합된 이송너트블록(58)이 상기와 같이 회전하는 볼스크류(54)의 나선이송작용을 통해 상기 볼스크류(54)를 따라 이송되면서 상기 이송너트블록(58)이 고정된 수평이송브라켓(59) 및 상기 수평이송브라켓(59)에 고정된 지지프레임(60) 즉, 상기 픽커승강유닛(65)과 함께 픽커유닛(74)이 고정된 지지프레임(60)을 타측 매거진(M) 하단으로 수평이송시키는 등 상기 2개의 매거진(M) 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바(56)의 전면(前面)을 따라 수평이송브라켓(59)이 슬라이드 이송되면서 타측 매거진(M) 하단으로 픽커유닛(74)을 수평이송시키게 된다.As such, the wafer W is lifted to the vacuum picker 14 side of the rotate picker unit 10 through the synergism of the picker lift unit 65 in the attached state to the picker unit 74. ), The transfer nut block along the ball screw 67 rotated by the lowering action of the picker lifting unit 65, that is, driving the motor 66, as shown in (a) of FIG. As the 70 is transported downward, the transfer nut block 70 is fixed to the connection bracket 64 and the connection bracket 64 to which the lifting bracket 73 is fixed, including the lifting bracket 73 to which the transfer nut block 70 is fixed. The fixed picker unit 74 is lowered to the lower side of one magazine M and at the same time, the picker horizontal transfer unit 52 of the magazine side elevator and transfer unit 51 as shown in FIG. Rotation in which the ball screw 54 connected to the motor 53 is transferred through the belt transmission method when the motor 53 is driven. The feed nut block 58, which is rotated in the same direction by electric power and coupled with the ball screw 54, is formed along the ball screw 54 through the spiral feeding action of the ball screw 54 which rotates as described above. A horizontal transport bracket 59 to which the transfer nut block 58 is fixed and a support frame 60 fixed to the horizontal transport bracket 59, that is, a picker unit 74 together with the picker lifting unit 65 Horizontal transfer bracket 59 along the front surface of the horizontal guide bar 56 installed in the two magazines (M) in the longitudinal direction, such as horizontally transported to the lower side of the other magazine (M). As the slide is transported, the picker unit 74 is horizontally transferred to the lower side of the other magazine (M).

그리고, 상기와 같이 일측 매거진(M) 하단으로 하강된 픽커유닛(74)을 픽커수평이송유닛(52)의 이송작용을 통해 타측 매거진(M) 하단으로 수평이송시키게 되면, 도 8a와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 상승작용을 통해 픽커유닛(74)이 도 8c의 (a)에 도시한 바와 같이 상기 타측 매거진(M) 내에 안착되어 있는 웨이퍼(W)를 취부한 다음 상기 웨이퍼(W)의 사용 반대측면과 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 취부된 웨이퍼(W)의 사용 반대측면이 서로 면착되는 상태로 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)까지 상승하여 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 취부되게 되고, 이의 과정이 완료되면 상기 진공픽커(14)에 작용되었던 진공 흡착력이 해제되면서 상기 진공픽커(14)로부터 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 분리됨과 동시에 도 8b의 (a)와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 하강작용을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)를 취부하고 있는 픽커유 닛(74)이 도 8c의 (b)에 도시한 바와 같이 상기 타측의 매거진(M) 상단 일정높이에 위치되도록 하강하게 되는데, 이때 상기 픽커유닛(74)이 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)를 취부함에 있어, 이 역시 전술한 도 8a의 과정에서 상기 픽커유닛(74)이 웨이퍼(W)를 취부하는 과정과 동일과정 즉, 2개의 고정픽커(85a) 및 모터(78) 구동에 따라 상기 고정픽커(85a) 사이에서 수평이송되는 이송픽커(87a)를 통해 상기 고정픽커(85a)의 슬롯(86a)에 삽입된 상기 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)를 안정되게 파지하게 된다.Then, when the picker unit 74 lowered to the lower side of the magazine (M) as described above horizontally transferred to the lower side of the other magazine (M) through the transfer action of the picker horizontal transfer unit 52, the picker lifting as shown in Figure 8a Through the same synergism of the unit 65, the picker unit 74 mounts the wafer W seated in the other magazine M as shown in Fig. 8C (a), and then the wafer W The opposite side of the use and the opposite side of the wafer (W) attached to each slot 17 of the vacuum picker 14 is raised to each slot 17 of the vacuum picker 14 in a state of being in contact with each other The wafers W are mounted on each of the slots 17 of the vacuum picker 14 in a state where two wafers W are overlapped. When the process is completed, the vacuum suction force applied to the vacuum picker 14 is released while the vacuum picker 14 is released. ), The wafers W in the state of being superimposed by two sheets are separated and at the same time as (a) of FIG. As shown in FIG. 8C, the picker unit 74 which mounts the wafers W in two overlapping states through the same lowering action of the same picker lifting unit 65 is shown in the other magazine ( M) is lowered so as to be positioned at a predetermined height, wherein the picker unit 74 is attached to the wafer (W) in a state where the two sheets are overlapped, and the picker unit 74 in the process of FIG. In the same process as the mounting of the wafer W, that is, the fixed pickers (a) through the transfer pickers 87a which are horizontally transferred between the fixed pickers 85a according to the driving of the two fixed pickers 85a and the motor 78. The wafers W in the overlapping state of the two sheets inserted in the slot 86a of the 85a) are stably gripped.

이후, 상기와 같이 진공작용의 해제에 따라 상기 진공픽커(14)로부터 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 분리되어 상기 픽커승강유닛(65)의 하강작용을 통해 타측의 매거진(M) 상단 일정높이까지 하강하게 되면, 상기 로테이트 픽커 유닛(10) 중 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 회동픽커유닛(20)이 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 위치한 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치하게 되고, 상기와 같이 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치한 회동픽커유닛(20)은 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하여 이웃한 보우트(B)의 사양에 맞게 삽입시킬 수 있도록 45도 각도로 회전된 상태에서 전술한 도 8a 및 도 8c의 (a)와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 상승작용을 통해 상기 타측 매거진(M) 상단 일정높이에 위치한 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 도 8d에 도시한 바와 같이 상기 회전된 회동픽커유닛(20) 측까지 상승시키게 된다.Subsequently, upon release of the vacuum action, as described above, the wafers W in the overlapped state are separated from the vacuum picker 14, and the upper side of the magazine M is fixed through the lowering action of the picker lift unit 65. When the height is lowered, the pivot picker unit 20 rotates toward the other magazine M on which the wafers W, which are stacked two by one, are rotated by the rotation of the main driving motor 12 among the rotate picker units 10. As described above, the pivoting picker unit 20 which is rotated to the other side of the magazine (M) side as described above is attached to the neighboring boat by mounting the two wafers (W) overlapped through the rotation of the pivoting picker unit driving motor 23. The other side magazine (M) through the same synergism of the picker lifting unit 65 as shown in (a) of Figs. 8a and 8c in the state rotated at a 45-degree angle to be inserted according to the specification of (B) Stacked 2 sheets at a certain height As the wafer (W) as shown in Figure 8d, thereby rise to the rotation of rotating picker unit 20 side.

그 다음, 상기와 같이 픽커승강유닛(65)의 상승작용을 통해 회동픽커유닛(20) 측까지 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 상승하게 되면, 상기 회동픽커구동모 터(24)에 의해 시계방향 및 반시계방향으로 회동하는 각 회동픽커(21)로 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서, 상기 회동픽커유닛(20)의 상단 일측에 설치된 사이드푸셔유닛(30)을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시킨 후 상기 각 회동픽커(21)와 상호 연결된 각 회동픽커구동모터(24)의 회전작용에 따라 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W) 측으로 상기 각 회동픽커(21)가 각기 시계방향 및 반시계방향으로 회동하여 하나의 슬롯(22)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 삽입되도록 취부하게 되는데, 이때 상기 과정에서 상승하였던 픽커유닛(74)은 전술한 도 8b의 (a) 및 도 8c의 (b)와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 하강작용을 통해 타측의 매거진(M) 아래로 하강하게 되고, 이와 동시에 상기 회동픽커유닛구동모터(23)의 반대회전작용을 통해 45도 각도로 회전되었던 회동픽커유닛(20)을 원위치로 회전시켜 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21)에 취부된 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 마름모 형태로 형성시킨 후 상기 메인구동모터(12) 역시 원위치로 회전시켜 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있는 회동픽커유닛(20)은 보우트(B) 측으로, 상기 진공픽커(14)는 타측의 매거진(M) 측으로 각각 회전 위치시킨다.Then, when the wafers W stacked two by one are lifted up by the picker lift unit 65 as described above, the clockwise direction is driven by the pivot picker driving motor 24. And each of the two sheets through the side pusher unit 30 installed on one side of the upper side of the pivoting picker unit 20 prior to mounting the wafers W superimposed on each of the pivoting pickers 21 rotating in a counterclockwise direction. After the wafers W, which are raised in an overlapped state, are pushed to one side, the two wafers are stacked toward the overlapped wafers W by the rotational action of the respective pivot picker driving motors 24 interconnected with the respective pivot pickers 21. The pivot picker 21 rotates clockwise and counterclockwise, respectively, so that the wafers W overlapped with each other are inserted into one slot 22. In this case, the picker unit 74 that has been raised in the above process is described above. As shown in FIG. 8B (a) and FIG. 8C (b) Through the same lowering action of the raising and lowering unit 65 is lowered down to the other magazine (M), and at the same time the rotational picker unit that was rotated at an angle of 45 degrees through the opposite rotation action of the rotating picker unit driving motor (23). Rotating (20) to its original position to form the two overlapping wafers (W) mounted on each of the pivoting pickers 21 of the pivoting picker unit 20 in a rhombus shape, and then the main driving motor 12 is also returned to its original position. The rotating picker unit 20 which rotates and mounts the wafers W overlapped by two sheets is rotated to the side of the boat B, and the vacuum picker 14 is rotated to the other side of the magazine M side.

그리고, 상기와 같이 메인구동모터(12)를 원위치로 회전시켜 회동픽커유닛(20)은 보우트(B) 측으로, 상기 진공픽커(14)는 타측의 매거진(M) 측으로 각각 회전 위치시키게 되면, 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키기 위해 작동되었던 사이드푸셔유닛(30)의 작동을 해제함과 동시에 도 8e에 도시한 바와 같이 보우트(B) 하단에 위치된 보우트측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(51a) 중 픽커유닛(74)이 고정된 픽커승강유닛(65)이 전술한 매거진측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(51)의 픽커승강유닛(65)과 동일한 상승작용을 통해 상기 픽커유닛(74)이 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 취부된 회동픽커유닛(20) 측으로 상승하여 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 하단이 삽입되도록 취부하게 되고, 이의 과정이 완료되면 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있던 각 회동픽커(21)가 상기 각 회동픽커구동모터(24)의 원위치 회전에 따라 각기 회동되었던 반대방향으로 회동하게 되면서 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있던 각 회동픽커(21)의 파지상태가 해제되게 되는데, 이때 상기 픽커유닛(74)이 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부함에 있어, 이 역시 전술한 도 8a의 과정에서 매거진측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(51)의 픽커유닛(74)이 웨이퍼(W)를 취부하는 과정과 동일과정 즉, 2개의 고정픽커(85b) 및 모터(78) 구동에 따라 상기 고정픽커(85b) 사이에서 수평이송되는 이송픽커(87b)를 통해 상기 고정픽커(85b)와 이송픽커(87b)의 각 슬롯(86b,88b)에 삽입된 상기 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)를 안정되게 파지하게 된다.Then, as described above, when the main drive motor 12 is rotated to its original position, the pivot picker unit 20 is rotated to the boat B side, and the vacuum picker 14 is rotated to the other magazine M side. The boat-side elevator and transfer unit located at the bottom of the boat B as shown in FIG. 8E while releasing the operation of the side pusher unit 30 which was operated to push the two stacked wafers W to one side. Of the 51a, the picker lifting unit 65, to which the picker unit 74 is fixed, performs the same synergy with the picker lifting unit 65 of the magazine-side elevator and transfer unit 51 described above. The two stacked wafers W rise to the mounted picker unit 20 and the lower ends of the two stacked wafers W are inserted. When the process is completed, the stacked wafers W are completed. Mounting Each of the rotating pickers 21 rotated in the opposite directions, which were rotated, respectively, according to the original position rotation of each of the rotating picker driving motors 24, respectively. The holding state is released. At this time, the picker unit 74 mounts the wafers W overlapped by two sheets, which is also the picker unit 74 of the magazine-side elevator and transfer unit 51 in the above-described process of FIG. 8A. ) Is the same as the process of mounting the wafer (W), that is, through the fixed picker (85b) and the transfer picker (87b) is a horizontal transfer between the fixed picker (85b) in accordance with the driving of the motor (78) The two wafers W, which are inserted into each of the pickers 85b and the slots 86b and 88b of the transfer picker 87b, are stably gripped.

또한, 상기 과정을 수행키 위해 픽커유닛(74)을 상승시켰던 픽커승강유닛(65)은 전술한 도 8b의 (a) 및 도 8c의 (b)와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 하강작용을 통해 도 8f에 도시한 바와 같이 상기 픽커유닛(74)을 보우트(B) 측으로 하강시켜 상기 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 안착 취부시키게 된다. 이때 역시 상기 픽커유닛(74)에 파지된 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 상기 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 안착 취부시키기 위해서는 전술한 도 8a의 과정에서 픽커유닛(74)이 웨이퍼(W)를 취부하는 과정과 반대과정 즉, 모터(78) 구동에 따 라 상기 고정픽커(85b) 사이에서 수평이송되는 이송픽커(87b)를 반대방향으로 이송시켜 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 파지상태를 해제시킴으로써, 상기 픽커유닛(74)으로부터 안전하게 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 안착 취부시키게 된다.In addition, the picker lifting unit 65 that raises the picker unit 74 to perform the above process has the same lowering action of the picker lifting unit 65 as shown in FIGS. 8B and 8C. As shown in FIG. 8F, the picker unit 74 is lowered to the side of the boat B to mount and mount the wafers W superposed on each slot Bs of the boat B. At this time, the picker unit 74 is a wafer in the above-described process of FIG. 8A to mount and mount the two stacked wafers W held by the picker unit 74 in the slots Bs of the boat B. The wafer W overlapping the two sheets by transferring the transfer pickers 87b horizontally transferred between the fixed pickers 85b in the opposite direction according to the process of mounting (W), that is, by driving the motor 78. By releasing the holding state, the wafers W, which are stacked two by two, are safely seated in the slots Bs of the boat B by the picker unit 74.

그리고, 상기와 같이 픽커승강유닛(65)의 하강작용을 통해 픽커유닛(74)으로부터 상기 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 안착 취부시키게 되면, 상기와 같은 픽커승강유닛(65)의 계속적인 하강작용을 통해 도 8g에 도시한 바와 같이 상기 픽커유닛(74)이 보우트(B)의 하단으로 하강 위치됨으로써, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에 대한 작동과정이 종료되게 되며, 상기 보우트측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(51a) 중 픽커수평이송유닛(52)의 경우 역시 전술한 도 8b와 같은 매거진측 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(51) 중 픽커수평이송유닛(52)과 동일한 작동과정으로 보우트(B) 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바(56)의 전면(前面)을 따라 수평이송브라켓(59)이 슬라이드 이송되면서 픽커유닛(74)을 목적한 위치로 수평이송시킬 수 있음을 밝혀둔다.As described above, when the picker lifting unit 65 seats and mounts the wafers W, which are overlapped by the two sheets, in the slots Bs of the boat B from the picker unit 74, As shown in FIG. 8G, the picker unit 74 is lowered to the lower end of the boat B as shown in FIG. 8G through the continuous lowering operation of the same picker lifting unit 65, thereby providing the elevator and transfer device 50 of the present invention. And the picker horizontal transfer unit 52 of the boat-side elevator and the transfer unit 51a is also a picker horizontal transfer unit of the magazine-side elevator and transfer unit 51 as described above with reference to FIG. 52, the horizontal transfer bracket 59 slides along the front surface of the horizontal guide bar 56 installed in the longitudinal direction in the boat B in the same direction as the picker unit 74 in the desired position. To be transported Let's find out.

이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. .

도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도.1 is a perspective view schematically showing a solar cell wafer transfer system to which the present invention is applied.

도 2는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치를 개략적으로 나타낸 사시도.Figure 2 is a schematic perspective view of the elevator and transfer device for the present invention.

도 3은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 정면도.3 is a front view of an elevator and transfer device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 측면도.4 is a side view of an elevator and transfer device according to the present invention;

도 5는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 평면도.5 is a plan view of an elevator and transfer apparatus according to the present invention.

도 6은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치 중 매거진 엘리베이터 유닛의 분해도 및 세부 상세도.Figure 6 is an exploded view and detail of the magazine elevator unit of the elevator and transfer apparatus for the present invention.

도 7은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치 중 보우트 엘리베이터 유닛의 분해도 및 세부 상세도.Figure 7 is an exploded view and detail of the boat elevator unit of the elevator and transfer apparatus according to the present invention.

도 8a 내지 도 8g는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 작동 상태도.8A-8G are operational state diagrams of an elevator and transfer apparatus according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1. 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 10. 로테이트 픽커장치1. Solar Cell Wafer Transfer System 10. Rotate Picker

11. 진공/회동픽커유닛 12. 메인구동모터11. Vacuum / Rotating Picker Unit 12. Main Drive Motor

14. 진공픽커 17, 22, 86a, 86b, 88a, 88b. 슬롯14. Vacuum pickers 17, 22, 86a, 86b, 88a, 88b. slot

20. 회동픽커유닛 21. 회동픽커20. Rotary Picker Unit 21. Rotary Picker

23. 회동픽커유닛구동모터 24. 회동픽커구동모터23. Rotating Picker Drive Motor 24. Rotating Picker Drive Motor

30. 사이드푸셔유닛 40. 픽커 트랜스퍼 유닛30. Side pusher unit 40. Picker transfer unit

41. 이송대 50. 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛41. Transfer table 50. Elevator and transfer unit

51. 매거진 엘리베이터 유닛 51a. 보우트 엘리베이터 유닛51. Magazine elevator unit 51a. Boat elevator unit

52. 픽커수평이송유닛 53, 66, 78. 구동모터52. Picker horizontal transfer unit 53, 66, 78. Drive motor

53a, 66a. 구동풀리 54a, 67a. 종동풀리53a, 66a. Drive pulley 54a, 67a. Driven pulley

55, 68. 연결벨트 54, 67, 80. 볼스크류55, 68. Connecting belt 54, 67, 80. Ball screw

56. 수평가이드바 57. 수평바지지프레임56. Horizontal Guide Bar 57. Horizontal Bar Support Frame

58, 70, 81. 이송너트블록 59. 수평이송브라켓58, 70, 81. Feed nut block 59. Horizontal feed bracket

60. 지지프레임 62. 레일안착부60. Support frame 62. Rail seat

63. 보호커버 64. 연결브라켓63. Protective cover 64. Connecting bracket

65. 픽커승강유닛 69. 축고정브라켓65. Picker lifting unit 69. Shaft fixing bracket

71. 수직가이드레일 72. 슬라이드부재71. Vertical guide rail 72. Slide member

73. 승강브라켓 74. 픽커유닛73. Lifting Bracket 74. Picker Unit

75. 고정프레임 76. 베이스판75. Fixed frame 76. Base plate

77. 모터고정블록 79. 수동레버77. Motor fixing block 79. Manual lever

82. 가이드블록 83. 이송바82. Guide block 83. Transfer bar

84. 지지바 85a, 85b. 고정픽커84. Support bars 85a, 85b. Fixed Picker

87a, 87b. 이송픽커 89. 감지센서87a, 87b. Feed Picker 89. Sensor

90. 매거진 및 보우트 로더 유닛 91. 매거진 로더 유닛90. Magazine and boat loader units 91. Magazine loader units

92. 중앙실린더 93. 측면실린더92. Center Cylinder 93. Side Cylinder

95. 보우트 로더 유닛 B. 보우트95. Boat Loader Unit B. Boat

Bs. 보우트 슬롯 M. 매거진Bs. Bow Slot M. Magazine

Ms. 매거진 슬롯 W. 웨이퍼Ms. Magazine slot W. wafer

Claims (10)

로테이트 픽커 유닛, 픽커 트랜스퍼 유닛, 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛, 매거진 및 보우트 로더 유닛으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서,A solar cell wafer transfer system comprising a rotate picker unit, a picker transfer unit, an elevator and a transfer unit, a magazine and a boat loader unit, 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛은, 2개의 매거진 및 보우트 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바를 포함하며, 모터 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 픽커를 원하는 위치에 수평이송시키는 픽커수평이송유닛과;The elevator and the transfer unit includes a horizontal guide bar installed in the longitudinal direction in the two magazines and the boat, the picker horizontal transfer unit for horizontally moving the picker to a desired position through a belt transmission method according to the motor drive; 상기 수평가이드바에 연결 설치되며, 전면(前面)에 수직가이드레일을 구비하면서 픽커를 승하강시키기 위한 픽커승강유닛을 지지하는 지지프레임과;A support frame connected to the horizontal guide bar and having a vertical guide rail on a front surface to support the picker lifting unit for lifting the picker up and down; 상기 수직가이드레일에 연결 설치되며, 모터 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진 및 보우트로부터 픽커를 승하강시키는 픽커승강유닛과;A picker lift unit connected to the vertical guide rail and configured to lift the picker up and down from the magazine and the boat through a belt transmission method according to a motor driving; 상기 픽커승강유닛의 일단에 연결브라켓을 통해 설치 고정되며, 픽커승강유닛의 구동에 따른 매거진으로부터 웨이퍼를 취부하여 상승시키거나 또는 로테이트 픽커 유닛에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼를 취부한 상태로 하강하여 보우트에 안착시키는 픽커유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.The picker lift unit is fixed to one end of the pick-up unit through a connecting bracket, and is mounted by raising the wafer from the magazine according to the drive of the pick-up unit, or by lowering the two stacked wafers held in the rotate picker unit by attaching them. Elevator and transfer apparatus of a solar cell wafer transfer system comprising a picker unit seated on. 제 1 항에 있어서, 상기 픽커수평이송유닛은 2개의 매거진 및 보우트 내에 길이방향으로 설치되는 수평가이드바와;The picker horizontal transfer unit of claim 1, further comprising: a horizontal guide bar installed in the lengthwise direction in the two magazines and the boat; 상기 수평가이드바의 배면에 설치된 상태로 매거진 및 보우트의 내부 상단 일측에 고정되며, 수평가이드바를 지지하는 수평바지지프레임과;A horizontal bar support frame fixed to one side of an upper side of the magazine and the boat in a state of being installed on the rear of the horizontal guide bar, and supporting a horizontal guide bar; 상기 수평가이드바의 일측에 이웃하게 설치되며, 회전축 일단에 구동풀리를 갖는 구동모터와;A driving motor installed adjacent to one side of the horizontal guide bar and having a driving pulley at one end of the rotating shaft; 상기 수평가이드바 내에 삽착된 상태로 돌출된 일단에 종동풀리를 구비하면서 연결벨트에 의해 구동모터와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류와;A ball screw provided with a driven pulley at one end of the horizontal guide bar inserted into the horizontal guide bar and connected to the driving motor by a connecting belt and rotating according to the rotational force of the motor transmitted through a belt transmission method; 상기 볼스크류에 결합된 상태로 지지프레임의 배면(背面)에 고정되며, 모터 구동에 의한 볼스크류의 회전에 따라 상기 픽커가 고정된 지지프레임을 수평이송시키는 수평이송브라켓과;A horizontal transfer bracket fixed to the rear surface of the support frame in a state of being coupled to the ball screw and horizontally transferring the support frame to which the picker is fixed according to the rotation of the ball screw by a motor drive; 상기 지지프레임의 배면(背面)과 수평바지지프레임의 하단에 양단이 각각 고정되며, 모터 구동에 따라 수평이송되는 지지프레임의 이송거리 제한 및 전선을 보호하기 위한 롤브라켓으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.Both ends are fixed to the back of the support frame and the lower end of the horizontal bar support frame, respectively, characterized in that it consists of a roll bracket for limiting the transfer distance of the support frame to be horizontally transported and the electric wire according to the motor drive Elevator and transfer device in cell wafer transfer system. 제 2 항에 있어서, 상기 수평이송브라켓은 볼스크류에 결합되는 이송너트블록과 체결됨과 동시에 수평가이드바의 전면(前面)에 위치되어 상기 수평가이드바의 전면(前面)에 슬라이드 가능하게 삽착되도록 전체형상이 "ㅛ" 형태로 형성되며, 그 전면(前面) 중앙에 요(凹) 형태의 슬라이드홈이 형성되고,According to claim 2, wherein the horizontal transfer bracket is fastened to the transfer nut block coupled to the ball screw at the same time located on the front (front) of the horizontal guide bar to be slidably inserted into the front (front) of the horizontal guide bar. The shape is formed in the form of "ㅛ", the groove of the yaw-shaped slide groove is formed in the center of the front surface, 상기 슬라이드홈의 중앙에는 볼스크류와 결합되기 위한 암나사홀 형태의 이송너트블록이 설치 고정된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.Elevator and transfer device of the solar cell wafer transfer system, characterized in that the transfer nut block in the form of a female screw hole for coupling to the ball screw in the center of the slide groove. 제 1 항에 있어서, 상기 픽커승강유닛은 지지프레임의 배면(背面) 하단 중앙에 지지 고정되며, 회전축 일단에 구동풀리를 갖는 구동모터와;According to claim 1, The picker lifting unit is supported by a center of the lower rear surface of the support frame, the drive motor having a drive pulley at one end of the rotating shaft; 상기 지지프레임의 전면(前面) 양측에 고정되는 수직가이드레일과;Vertical guide rails fixed to both front sides of the support frame; 상기 지지프레임의 전면(前面) 중앙에 축고정브라켓에 의해 고정된 양단 중 일단에 종동풀리를 구비하면서 연결벨트에 의해 구동모터와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류와;It is connected to the driving motor by a connecting belt while having a driven pulley at one end of both ends fixed by the shaft fixing bracket in the center of the front of the support frame, and rotates according to the rotational force of the motor transmitted through the belt transmission method. Ball screw; 상기 볼스크류와 결합된 상태로 연결브라켓의 배면(背面)에 고정되며, 모터 구동에 의해 회전하는 볼스크류와 결합된 이송너트블록의 상하이송작용을 통해 픽커유닛이 고정된 연결브라켓을 승하강시키는 승강브라켓과;It is fixed to the back (背面) of the connecting bracket in a state coupled to the ball screw, and the lifting and lowering of the connection bracket fixed to the picker unit through the shanghai conveying action of the transfer nut block coupled to the ball screw rotating by the motor drive Lifting brackets; 상기 볼스크류 및 수직가이드레일과 상호 결합된 상태로 승강브라켓의 배면(背面) 중앙 및 양측에 각각 고정되며, 모터 구동에 의해 회전하는 볼스크류를 따라 이송되면서 승강브라켓을 승하강시킴과 동시에 상기 볼스크류의 회전에 따라 승하강하는 승강브라켓의 이송작용을 안내하는 이송너트블록 및 슬라이드부재와;The ball screw and the vertical guide rail are fixed to the center and both sides of the rear surface of the elevating bracket in the state coupled with each other, the elevating bracket is moved up and down while being transported along the rotating ball screw by the motor drive at the same time A conveying nut block and a slide member for guiding a conveying action of the elevating bracket which moves up and down as the screw rotates; 상기 지지프레임의 일측면과 연결브라켓의 일측면에 양단이 각각 고정되며, 모터 구동에 따라 상하이송되는 연결브라켓의 이송거리 제한 및 전선을 보호하기 위한 롤브라켓으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.Both ends are fixed to one side of the support frame and one side of the connection bracket, and the solar cell wafer transfer, characterized in that consisting of a roll bracket for limiting the transfer distance and the wire of the connection bracket to be shipped to Shanghai according to the motor drive Elevator and transfer units in the system. 제 4 항에 있어서, 상기 지지프레임은 전체형상이 "ㄷ"자 형태로 형성되되, 그 전면(前面) 양측벽에는 수직가이드레일을 고정시키기 위한 레일안착부가 형성되고,According to claim 4, The support frame is formed in the shape of the letter "c", the front side (front face) both side walls are formed with a rail mounting portion for fixing the vertical guide rail, 상기 승강브라켓은 전체형상이 전면(前面)에 보호커버를 설치하기 위한 커버삽입홈이 형성된 "ㄷ"자 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.The lifting bracket is an elevator and a transfer device of a solar cell wafer transfer system, characterized in that the overall shape is formed in the "c" shape formed with a cover insertion groove for installing a protective cover on the front (front). 제 1 항에 있어서, 상기 픽커유닛은 연결브라켓의 상단에 고정픽커를 이격된 상태로 고정시키는 고정프레임과;The apparatus of claim 1, wherein the picker unit comprises: a fixing frame configured to fix the fixed picker on a top of the connecting bracket in a spaced apart state; 상기 고정프레임의 상단에 각각 고정되며, 하나 이상의 슬롯이 등간격으로 형성된 2개의 고정픽커와;Two fixed pickers fixed to an upper end of the fixed frame, the one or more slots being formed at equal intervals; 상기 2개의 고정픽커 사이에 설치되며, 모터 구동에 따라 수평이송되면서 고정픽커의 슬롯에 삽입된 웨이퍼를 안정되게 파지토록 하나 이상의 슬롯이 등간격으로 형성된 이송픽커와;A transfer picker installed between the two fixed pickers and having one or more slots formed at equal intervals so as to stably hold the wafer inserted into the slots of the fixed pickers while horizontally moving according to the driving of the motor; 상기 각 고정픽커의 하단 내측에 고정되며, 이송픽커를 고정 지지하는 2개의 지지바와;Two support bars fixed to an inner side of each of the fixed pickers and fixed to support the transport picker; 상기 각 지지바의 하단에 고정되며, 모터 구동에 의해 회전하는 볼스크류와 결합된 이송너트블록과 함께 동일방향으로 이송되면서 지지바 및 이송픽커를 수평이송시키는 이송바와;A transport bar fixed to the lower ends of the support bars and horizontally transporting the support bar and the transport picker while being transported in the same direction together with the transport nut block coupled to the ball screw rotating by the motor drive; 상기 이송바의 하단에 위치되며, 구동모터를 고정 지지하는 모터고정블록과;A motor fixing block positioned at a lower end of the transfer bar and supporting the driving motor; 상기 모터고정블록의 일단에 고정되며, 고정픽커 사이에 설치된 이송픽커를 수평이송시키기 위한 구동모터; 및 이의 일단에 연결된 볼스크류와;A driving motor fixed to one end of the motor fixing block for horizontally transferring a transport picker installed between the fixed pickers; And a ball screw connected to one end thereof; 상기 볼스크류에 결합된 상태로 모터고정블록의 일측 상단과 이송바의 하단 사이에 설치되며, 모터 구동에 의해 회전하는 볼스크류를 따라 이송되면서 이송바, 지지바 및 이송픽커를 수평이송시키는 이송너트블록과;It is installed between the upper end of one side of the motor fixing block and the lower end of the transfer bar in a state coupled to the ball screw, the transfer nut for transferring the transfer bar, the support bar and the transfer picker horizontally while being transferred along the rotating ball screw by the motor drive A block; 상기 이송너트블록과 모터고정블록의 일단 사이에 설치되며, 모터 구동에 의한 볼스크류의 회전에 따라 수평이송하는 이송너트블록을 안내하는 가이드블록과;A guide block installed between one end of the transfer nut block and the motor fixing block and guiding the transfer nut block for horizontal transfer according to the rotation of the ball screw by the motor driving; 상기 모터고정블록 하단에 고정된 상태로 각 고정프레임의 내측면에 고정되며, 모터고정블록을 지지하는 베이스판으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.Elevator and transfer apparatus of the solar cell wafer transfer system, characterized in that the base plate is fixed to the inner surface of each fixed frame fixed to the bottom of the motor fixing block, the base plate for supporting the motor fixing block. 제 6 항에 있어서, 상기 2개의 매거진 내에 설치되는 픽커유닛의 고정픽커는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사진 등가격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼를 사각형태로 취부하도록 형성되고,The fixed picker of the picker unit installed in the two magazines is formed in the form of sawtooth of the same price inclined in a triangle shape at the upper left and right sides so as to mount the wafer in a rectangular shape, 상기 보우트 내에 설치되는 픽커유닛의 고정픽커는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사짐과 동시에 상기 상단 내측으로부터 외측으로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼를 마름모형태로 취부하도록 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.The fixed picker of the picker unit installed in the boat is formed in the form of a tooth at equal intervals inclined from the inner side of the upper side to the outside while the left and right sides of the picker are inclined in a triangle shape, and the wafer is formed in a rhombus shape. Elevator and transfer device in solar cell wafer transfer system. 제 6 항에 있어서, 상기 이송너트블록은 전체형상이 사각블록체로 형성되되, 그 일측에는 가이드블록이 삽입되기 위한 공간부가 형성되고, 상기 공간부 후단으로부터 볼스크류가 결합되기 위한 암나사홀이 관통 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.The method of claim 6, wherein the transfer nut block is formed in a rectangular block body of the overall shape, one side is formed with a space for inserting the guide block, the female screw hole for coupling the ball screw from the rear end of the space is formed Elevator and transfer apparatus of a solar cell wafer transfer system. 제 6 항에 있어서, 상기 이송바의 일측 저면(底面)과 상기 베이스판의 일측 상단에는 상호 슬라이드 가능하게 고정되어 모터 구동에 의해 회전되는 볼스크류를 따라 이송되는 이송너트블록과 이송바의 수평이송작용을 감지하는 감지센서가 더 구비된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.7. The horizontal transfer of the transfer nut block and the transfer bar according to claim 6, wherein the transfer nut block and the transfer bar are fixed to one side bottom surface of the transfer bar and an upper end of one side of the base plate to be slidably connected to each other and moved along a ball screw rotated by a motor drive. Elevator and transfer device of the solar cell wafer transfer system characterized in that the sensor further detects the action. 제 6 항에 있어서, 상기 구동모터의 일단에는 정전 시 구동모터를 수동으로 구동모터를 회전시켜 이송너트블록과 이송바를 수평이송시키기 위한 수동레버가 더 구비된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.The solar cell wafer transfer system of claim 6, wherein a manual lever is further provided at one end of the driving motor to manually rotate the driving motor during a power failure to horizontally transfer the transfer nut block and the transfer bar. Elevator and transfer device.
KR1020090022416A 2009-03-17 2009-03-17 The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system KR101108484B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090022416A KR101108484B1 (en) 2009-03-17 2009-03-17 The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090022416A KR101108484B1 (en) 2009-03-17 2009-03-17 The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100104175A true KR20100104175A (en) 2010-09-29
KR101108484B1 KR101108484B1 (en) 2012-01-31

Family

ID=43008451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090022416A KR101108484B1 (en) 2009-03-17 2009-03-17 The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101108484B1 (en)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106601659A (en) * 2016-12-30 2017-04-26 上海新阳半导体材料股份有限公司 Novel wafer transfer device
US10069030B2 (en) 2015-12-14 2018-09-04 Solarcity Corporation Load lock solar cell transfer system
WO2019115692A1 (en) * 2017-12-15 2019-06-20 Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh Method and device for transporting substrates
CN113284984A (en) * 2021-06-29 2021-08-20 无锡市爱维丝科技有限公司 Photovoltaic solar cell film box warehousing system
CN113437009A (en) * 2021-05-10 2021-09-24 绍兴赛致捷机电设备有限公司 Wafer vacuum carrying manipulator
CN113871513A (en) * 2021-09-24 2021-12-31 温州海旭科技有限公司 Solar cell sintering device
CN114029905A (en) * 2021-11-05 2022-02-11 昆山市协联电子有限公司 Workstation convenient to circuit board detects and reprocesses
CN114373706A (en) * 2020-10-14 2022-04-19 昆山莱崎龙精密技术有限公司 Automatic material conveying system for photovoltaic cell production
CN115196359A (en) * 2022-07-27 2022-10-18 郭均 Logistics container locking device and method
CN116175518A (en) * 2023-04-28 2023-05-30 融域智慧(西安)智能科技有限公司 Lifting mechanical clamping device

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102157604B (en) * 2010-12-02 2014-12-10 张云峰 Solar cell panel packaging material laying machine
CN102082205B (en) * 2010-12-02 2015-05-20 张云峰 Material paving machine for packaging solar battery
DE102017217304B4 (en) * 2017-09-28 2020-08-27 Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh Method and device for transporting substrates

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4856957A (en) 1988-01-11 1989-08-15 Mactronix, Inc. Semiconductor wafer transfer apparatus with back-to-back positioning and separation
JPH07307319A (en) * 1994-05-10 1995-11-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Method and apparatus for arranging boards
DE502006004199D1 (en) 2006-11-24 2009-08-20 Jonas & Redmann Automationstec A method of forming a back-to-back wafer batch to be positioned in a process boat and handling system for forming the back-to-back wafer batch
KR101027051B1 (en) * 2008-09-19 2011-04-11 주식회사 에스에프에이 Apparatus for transferring wafer of solar battery

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10069030B2 (en) 2015-12-14 2018-09-04 Solarcity Corporation Load lock solar cell transfer system
CN106601659B (en) * 2016-12-30 2024-02-02 上海新阳半导体材料股份有限公司 Novel wafer transfer device
CN106601659A (en) * 2016-12-30 2017-04-26 上海新阳半导体材料股份有限公司 Novel wafer transfer device
WO2019115692A1 (en) * 2017-12-15 2019-06-20 Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh Method and device for transporting substrates
CN114373706A (en) * 2020-10-14 2022-04-19 昆山莱崎龙精密技术有限公司 Automatic material conveying system for photovoltaic cell production
CN113437009A (en) * 2021-05-10 2021-09-24 绍兴赛致捷机电设备有限公司 Wafer vacuum carrying manipulator
CN113437009B (en) * 2021-05-10 2023-08-29 绍兴赛致捷机电设备有限公司 Wafer vacuum carrying manipulator
CN113284984A (en) * 2021-06-29 2021-08-20 无锡市爱维丝科技有限公司 Photovoltaic solar cell film box warehousing system
CN113284984B (en) * 2021-06-29 2024-04-02 无锡市爱维丝科技有限公司 Photovoltaic solar cell box storage system
CN113871513A (en) * 2021-09-24 2021-12-31 温州海旭科技有限公司 Solar cell sintering device
CN113871513B (en) * 2021-09-24 2024-05-24 温州海旭科技有限公司 Solar cell sintering device
CN114029905A (en) * 2021-11-05 2022-02-11 昆山市协联电子有限公司 Workstation convenient to circuit board detects and reprocesses
CN115196359A (en) * 2022-07-27 2022-10-18 郭均 Logistics container locking device and method
CN116175518A (en) * 2023-04-28 2023-05-30 融域智慧(西安)智能科技有限公司 Lifting mechanical clamping device

Also Published As

Publication number Publication date
KR101108484B1 (en) 2012-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20100104175A (en) The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system
KR101258860B1 (en) The wafer picker device for using solar cell wafer transfer system
US9793421B2 (en) Systems, methods and apparatus for precision automation of manufacturing solar panels
US20160163913A1 (en) System and apparatus for precision automation of tab attachment for fabrications of solar panels
CN103419951B (en) Combined box filling machine of battery assembly line
KR101044493B1 (en) Method For Forming Stacks Of Wafers To be Doped One-sided, In Particular Solar Wafers, And Handling System for Loading A Process Boat With Wafer Batches
KR20160049452A (en) Cell and jig transfer apparatus of tabbing apparatus
CN103681420A (en) Automatic mounting and detaching system for silicon wafers of graphite boat for tube plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
CN104377154A (en) Pipe-type PECVD graphite boat assembling and disassembling piece system and process
KR101027050B1 (en) Loading and unloading apparatus for wafer of solar battery
KR101106098B1 (en) The rotate picker device for using solar cell wafer transfer system
CN115172527A (en) Typesetting stitch welding machine
KR20130054592A (en) Solar cell pitch changer system
CN218069878U (en) Typesetting stitch welding machine
KR20130021942A (en) The solar cell wafer magazine for using belt-type
KR101106100B1 (en) The pitch adjust device for solar cell wafer
CN209922410U (en) Automatic feeding system
KR101014746B1 (en) Loading and unloading apparatus for wafer of solar battery
CN108735639B (en) Silicon chip shifts mechanism
KR101222640B1 (en) Transfer system for wafer
CN216793710U (en) Solar module frame dress frame machine
CN103268850B (en) A kind of solar battery sheet ion implantor
KR20190026511A (en) Cell transfer device
CN212449568U (en) Feeding and sheet-arranging device for electric injection furnace
KR20110103614A (en) The wafer align device for using pitch adjust device solar cell wafer

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150106

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160106

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161213

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171212

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181211

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191212

Year of fee payment: 9