KR101027051B1

KR101027051B1 - Apparatus for transferring wafer of solar battery

Info

Publication number: KR101027051B1
Application number: KR1020080092387A
Authority: KR
Inventors: 신인섭; 김현철; 이민규; 이형찬; 정오봉; 박병창
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2008-09-19
Filing date: 2008-09-19
Publication date: 2011-04-11
Also published as: KR20100033285A

Abstract

태양전지용 웨이퍼의 이송장치가 개시된다. 본 발명의 태양전지용 웨이퍼의 이송장치는, 캐리어(Carrier)가 로딩되는 캐리어 로딩유닛; 캐리어 로딩유닛의 주변에 마련되며 보트(Boat)가 로딩되는 보트 로딩유닛; 및 캐리어 로딩유닛과 보트 로딩유닛 간을 이동 가능하게 마련되며, 다수의 태양전지용 웨이퍼(Wafer of solar battery)를 캐리어에서 보트로 이송시키거나 보트에서 캐리어로 이송시키는 웨이퍼 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 캐리어와 보트 간의 웨이퍼 이송 작업이 자동으로 진행될 수 있어 작업 효율을 향상시킬 수 있으며, 특히 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.Disclosed is a transfer apparatus for a solar cell wafer. The wafer transfer device for solar cells of the present invention includes a carrier loading unit into which a carrier is loaded; A boat loading unit provided around the carrier loading unit and loaded with a boat; And a wafer transfer unit provided to be movable between the carrier loading unit and the boat loading unit and transferring a plurality of wafers for solar batteries from the carrier to the boat or from the boat to the carrier. do. According to the present invention, the wafer transfer operation between the carrier and the boat can be automatically performed to improve the working efficiency, and in particular, the productivity can be improved by reducing the tact time.

Description

Apparatus for transferring wafer of solar battery}

본 발명은, 태양전지용 웨이퍼의 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 캐리어와 보트 간의 웨이퍼 이송 작업이 자동으로 진행될 수 있어 작업 효율을 향상시킬 수 있으며, 특히 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 태양전지용 웨이퍼의 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer transfer device for a solar cell, and more particularly, a wafer transfer operation between a carrier and a boat can be automatically performed to improve work efficiency, and in particular, to reduce tact time. The present invention relates to a solar cell wafer transfer device capable of improving productivity.

태양전지(Solar Battery)는 태양빛의 에너지를 전기에너지로 바꾸는 것으로, 지금까지 사용되고 있는 통상의 화학전지와는 다른 구조를 가진다. 소위, 물리전지라고도 불린다. 이러한 태양전지는 P형 반도체와 N형 반도체라고 하는 2종류의 반도체를 사용해 전기를 일으킨다.Solar batteries convert solar energy into electrical energy and have a structure different from that of conventional chemical cells. It is also called a physical battery. Such solar cells generate electricity by using two types of semiconductors called P-type semiconductors and N-type semiconductors.

태양전지의 원리를 간략하게 살펴본다. 태양전지에 빛을 비추면 내부에서 전자와 정공이 발생한다. 발생된 전하들은 P, N극으로 이동하며 이 현상에 의해 P극과 N극 사이에 전위차(광기전력)가 발생하며 이때, 태양전지에 부하를 연결하면 전류가 흐르게 된다. 이를 광전효과라 한다.Briefly look at the principle of solar cells. When light shines on a solar cell, electrons and holes are generated inside. The generated charges move to the P and N poles, and a potential difference (photovoltaic power) is generated between the P pole and the N pole by this phenomenon. At this time, when a load is connected to the solar cell, current flows. This is called a photoelectric effect.

태양전지 모듈은 대형의 시스템에서는 여러 태양전지를 직렬 및 병렬로 연결 하여 전력을 꺼낸다. 셀은 전기를 일으키는 최소 단위이며, 모듈은 전기를 꺼내는 최소 단위이다. 어레이는 직, 병렬로 끼어진 여러 패널을 말한다. 서브어레이는 설치 작업이나 유지보수의 편리함 때문에 여러 개의 모듈을 정리한 단위이다.Solar cell modules draw power by connecting multiple solar cells in series and in parallel in large systems. The cell is the smallest unit that generates electricity, and the module is the smallest unit that draws electricity. An array is a series of panels sandwiched in series and in parallel. A subarray is a unit that organizes several modules for the convenience of installation work or maintenance.

태양전지의 종류에는, 실리콘 반도체를 재료로 사용하는 것과 화합물 반도체를 재료로 하는 것으로 크게 대별된다. 그리고 실리콘 반도체에 의한 것은, 결정계와 비결정계로 분류된다. 물론 이 같은 분류 외에 현재 개발 중인 것도 포함시키면 더욱 더 다양하다 할 수 있다. 태양전지의 기술 개발에 관해서는, 변환 효율의 향상이나 가격 조정 등이 계획되고 있는데, 실리콘 및 화합물 반도체 태양전지 또한 변환 효율 20%를 초월하는 태양전지 개발이나 가격을 낮출 수 있는 박막 태양전지의 개발에 집중하고 있다.The type of solar cell is roughly classified into using a silicon semiconductor as a material and a compound semiconductor as a material. The silicon semiconductor is classified into a crystalline system and an amorphous system. Of course, in addition to this classification, including what is currently under development can be even more diverse. Regarding the development of solar cell technology, improvement of conversion efficiency and price adjustment are planned. Silicon and compound semiconductor solar cells also develop solar cells that exceed 20% conversion efficiency or develop thin film solar cells that can lower prices. Focus on.

현재, 태양광 발전 시스템으로 일반적으로 사용되고 있는 태양전지는 실리콘 반도체에 의한 것이 대부분이다. 특히, 실리콘 반도체 결정계의 단결정 및 다결정 태양전지는 변환 효율의 우수성, 신뢰성 등으로 인해 널리 사용되고 있다.Currently, solar cells generally used as photovoltaic power generation systems are mostly made of silicon semiconductors. In particular, single crystal and polycrystalline solar cells of a silicon semiconductor crystal system are widely used due to the excellent conversion efficiency and reliability.

한편, 실리콘 반도체에 의해 태양전지를 제조하기 위해서는 태양전지용 웨이퍼(Wafer)를 세정, 증착, 식각 등의 다양한 공정으로 옮겨야 하는데, 이 경우, 보통 100장의 웨이퍼를 캐리어(carrier)에 적재한 후 이송하나, 대략 300장의 웨이퍼를 퀄츠 재질로 된 보트(boat)에 적재한 후 공정을 진행하는 경우도 있다.Meanwhile, in order to manufacture a solar cell using a silicon semiconductor, a wafer for a solar cell must be transferred to various processes such as cleaning, deposition, and etching. In this case, 100 wafers are usually loaded on a carrier and then transferred. In some cases, 300 wafers may be loaded into a boat made of quartz and then processed.

따라서 공정의 상황에 따라 웨이퍼를 캐리어로부터 보트로 옮기거나(이송 또는 적재하거나) 반대로 보트로부터 캐리어로 옮겨야 할 필요가 있기 때문에 태양전지용 웨이퍼의 이송장치가 요구된다.Therefore, a solar cell wafer transfer apparatus is required because the wafer needs to be moved from the carrier to the boat (transported or loaded) or, conversely, from the boat to the carrier.

그런데, 종래기술의 경우에는 캐리어와 보트 간의 웨이퍼 이송 작업이 오로지 작업자의 수작업에 의존하여 왔기 때문에 작업 효율이 떨어짐은 물론 작업 시간이 지연되는 이유로 인해 택트 타임(tact time)이 증가하여 생산성을 저하시키는 문제점이 있다.However, in the case of the prior art, since the wafer transfer operation between the carrier and the boat has been dependent solely on the manual labor of the operator, the work efficiency is reduced and the tact time is increased due to the delay of the work time, thereby reducing productivity. There is a problem.

본 발명의 목적은, 캐리어와 보트 간의 웨이퍼 이송 작업이 자동으로 진행될 수 있어 작업 효율을 향상시킬 수 있으며, 특히 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 태양전지용 웨이퍼의 이송장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention, the wafer transfer operation between the carrier and the boat can be automatically carried out to improve the work efficiency, in particular, a wafer transfer device for solar cells that can improve productivity by reducing the tact time (tact time) To provide.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 캐리어(Carrier)가 로딩되는 캐리어 로딩유닛; 상기 캐리어 로딩유닛의 주변에 마련되며 보트(Boat)가 로딩되는 보트 로딩유닛; 및 상기 캐리어 로딩유닛과 상기 보트 로딩유닛 간을 이동 가능하게 마련되며, 다수의 태양전지용 웨이퍼(Wafer of solar battery)를 상기 캐리어에서 상기 보트로 이송시키거나 상기 보트에서 상기 캐리어로 이송시키는 웨이퍼 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 이송장치에 의해 달성된다.The object is, according to the invention, a carrier loading unit is loaded with a carrier (Carrier); A boat loading unit provided around the carrier loading unit and loaded with a boat; And a wafer transfer unit provided to be movable between the carrier loading unit and the boat loading unit and transferring a plurality of wafers of solar batteries from the carrier to the boat or from the boat to the carrier. It is achieved by a transfer device for a solar cell wafer comprising a.

여기서, 상기 캐리어 로딩유닛, 상기 보트 로딩유닛 및 상기 웨이퍼 이송유닛과 부분적으로 연결되어, 상기 캐리어 로딩유닛, 상기 보트 로딩유닛 및 상기 웨이퍼 이송유닛을 지지하는 장치본체를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include an apparatus body partially connected to the carrier loading unit, the boat loading unit, and the wafer transfer unit to support the carrier loading unit, the boat loading unit, and the wafer transfer unit.

상기 장치본체에 마련되며, 상기 캐리어와 간섭을 일으키지 않는 범위 내에서 상기 캐리어의 내부를 통해 업(up)되면서 상기 캐리어 내의 태양전지용 웨이퍼들을 상기 캐리어 내의 공차보다 작은 공차의 유격을 갖도록 파지하여 소정 높이 업(up)시키는 웨이퍼 정렬지그를 더 포함할 수 있다.It is provided in the device body, while holding up the solar cell wafers in the carrier to have a clearance of less than the tolerance in the carrier while being up (up) through the inside of the carrier within a range that does not interfere with the carrier to a predetermined height It may further include a wafer alignment jig for up.

상기 웨이퍼 정렬지그는, 상기 태양전지용 웨이퍼들과 접촉되는 다수의 접촉핀부; 상기 다수의 접촉핀부를 하부에서 일체로 연결하는 연결판부; 및 상기 연결판부와 결합되어 상기 연결판부를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부를 포함할 수 있다.The wafer alignment jig may include a plurality of contact pins contacting the wafers for the solar cell; A connecting plate part which connects the plurality of contact pins integrally from below; And an up / down driving unit coupled to the connecting plate part to drive the connecting plate part up / down.

상기 다수의 접촉핀부들의 상단부는 삼각형 형상을 가지며, 상기 태양전지용 웨이퍼들은 상기 접촉핀부들 사이사이의 홈부에 접촉될 수 있다.Upper ends of the plurality of contact pin parts may have a triangular shape, and the wafers for solar cells may contact grooves between the contact pin parts.

상기 캐리어 로딩유닛과 상기 웨이퍼 정렬지그는 상기 장치본체의 중앙 영역에 마련되고, 상기 보트 로딩유닛은 상기 장치본체의 측면 영역에 마련될 수 있다.The carrier loading unit and the wafer alignment jig may be provided in a central area of the device body, and the boat loading unit may be provided in a side area of the device body.

상기 캐리어 로딩유닛이 위치된 상기 장치본체의 양측에 마련되어 상기 캐리어 로딩유닛 상에 로딩된 상기 캐리어에 상기 태양전지용 웨이퍼가 적재되어 있는 지의 여부를 감지하는 캐리어용 감지부를 더 포함할 수 있다.The carrier loading unit may further include a carrier detecting unit provided at both sides of the apparatus main body in which the carrier loading unit is located to detect whether the solar cell wafer is loaded on the carrier loaded on the carrier loading unit.

상기 캐리어용 감지부는 레이저 센서일 수 있다.The carrier detecting unit may be a laser sensor.

상기 웨이퍼 이송유닛은, 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼를 픽업(pick up)하는 픽업유닛; 및 상기 픽업유닛과 연결되어 상기 픽업유닛을 X축, Y축 및 Z축 방향으로 구동시키는 유닛구동부를 포함할 수 있다.The wafer transfer unit may include: a pickup unit that picks up the plurality of solar cell wafers; And a unit driving unit connected to the pickup unit to drive the pickup unit in X, Y, and Z axis directions.

상기 픽업유닛은, 상호 이격간격을 두고 나란하게 배치되어 상기 다수의 태 양전지용 웨이퍼를 흡착 지지하는 다수의 패드(Pad); 일측에서 상기 다수의 패드와 연결되어 상기 다수의 패드로 배큠(Vacuum)을 제공하며, 내부에 각각 독립적으로 형성된 다수의 제1 독립 공간부가 마련되어 있는 배큠 룸(Vacuum Room); 및 상기 배큠 룸의 타측에 연결되어 상기 배큠 룸으로 배큠을 제공하며, 내부에 상기 배큠 룸의 제1 독립 공간부와 각각 대응되게 연통되는 다수의 제2 독립 공간부가 마련되어 있는 배큠 피팅 유닛(Vacuum Fitting Unit)을 포함할 수 있다.The pick-up unit includes a plurality of pads disposed side by side with a spaced interval apart from each other to adsorb and support the plurality of solar cell wafers; A vacuum room connected to the plurality of pads at one side to provide vacuum to the plurality of pads, and having a plurality of first independent space parts formed therein independently; And a vacuum fitting unit connected to the other side of the vacuum room to provide the vacuum to the vacuum room, and having a plurality of second independent space parts therein, each of which communicates with the first independent space part of the vacuum room. Unit) may be included.

상기 보트 로딩유닛은, 상기 보트가 로딩되는 보트 로딩본체; 및 상기 보트 로딩본체에 마련되어 상기 보트를 정렬시키는 보트 정렬부를 포함할 수 있다.The boat loading unit includes a boat loading body into which the boat is loaded; And a boat alignment unit provided at the boat loading body to align the boat.

상기 보트는 퀄츠 재질로 제작될 수 있으며, 상기 보트 정렬부는 상기 보트 로딩본체의 내벽면 어느 일측에 마련되는 적어도 하나의 푸셔를 포함할 수 있다.The boat may be made of a quartz material, and the boat alignment unit may include at least one pusher provided on any one side of an inner wall surface of the boat loading body.

상기 보트 로딩본체에 마련되어 상기 보트에 상기 태양전지용 웨이퍼가 적재되어 있는 지의 여부를 감지하는 보트용 감지부를 더 포함할 수 있다.The boat loading body may further include a boat detecting unit for detecting whether the solar cell wafer is loaded on the boat.

상기 장치본체에 마련되며, 상기 웨이퍼 이송유닛에 의해 상기 캐리어 내의 태양전지용 웨이퍼가 상기 보트로 이송되어 적재되기 전 상기 태양전지용 웨이퍼들을 정렬시키는 버퍼 정렬부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a buffer alignment unit arranged on the apparatus body and aligning the wafers for the solar cells before the wafers for the solar cells in the carrier are transferred to the boat and loaded by the wafer transfer unit.

상기 버퍼 정렬부는, 상기 웨이퍼 이송유닛에 의해 픽업된 상기 태양전지용 웨이퍼들의 양측면으로 접근 및 이격 가능한 한 쌍의 정렬용 이동벽체를 포함할 수 있다.The buffer alignment unit may include a pair of alignment moving walls that are accessible and spaced apart from both sides of the solar cell wafers picked up by the wafer transfer unit.

한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 캐리어(Carrier)가 로딩되는 캐리어 로딩단계; 보트(Boat)가 로딩되는 보트 로딩단계; 상기 캐리어와 간섭을 일으키지 않 는 범위 내에서 상기 캐리어의 내부를 통해 업(up)되면서 상기 캐리어 내의 태양전지용 웨이퍼들을 상기 캐리어 내의 공차보다 작은 공차의 유격을 갖도록 파지하여 소정 높이 업(up)시키는 웨이퍼 정렬단계; 및 다수의 태양전지용 웨이퍼(Wafer of solar battery)를 픽업(pick up)하여 상기 캐리어에서 상기 보트로 이송시키거나 상기 보트에서 상기 캐리어로 이송시키는 웨이퍼 이송단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 이송방법에 의해서도 달성된다.On the other hand, the object, according to the present invention, a carrier loading step of loading a carrier (Carrier); A boat loading step in which a boat is loaded; Wafer for holding the wafer for solar cells in the carrier up to a predetermined height up to a clearance smaller than the tolerance in the carrier while being up through the inside of the carrier within a range that does not cause interference with the carrier. Sorting step; And a wafer transfer step of picking up a plurality of wafers of solar batteries and transferring them from the carrier to the boat or from the boat to the carrier. It is also achieved by the conveying method.

여기서, 상기 캐리어 내의 태양전지용 웨이퍼가 상기 보트로 이송되어 적재되기 전 상기 태양전지용 웨이퍼들을 정렬시키는 버퍼 정렬단계를 더 포함할 수 있다.The method may further include a buffer alignment step of aligning the wafers for the solar cells before the wafers for the solar cells in the carrier are transported and loaded into the boat.

상기 웨이퍼 이송단계는, 상기 캐리어에 상기 태양전지용 웨이퍼가 적재되어 있는 지의 여부를 감지하는 캐리어 감지단계를 더 포함할 수 있다.The wafer transfer step may further include a carrier detection step of detecting whether the solar cell wafer is loaded on the carrier.

상기 웨이퍼 이송단계는, 상기 보트에 상기 태양전지용 웨이퍼가 적재되어 있는 지의 여부를 감지하는 보트 감지단계를 더 포함할 수 있다.The wafer transfer step may further include a boat detection step of detecting whether the solar cell wafer is loaded in the boat.

본 발명에 따르면, 캐리어와 보트 간의 웨이퍼 이송 작업이 자동으로 진행될 수 있어 작업 효율을 향상시킬 수 있으며, 특히 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the wafer transfer operation between the carrier and the boat can be automatically carried out to improve the work efficiency, and in particular, the productivity can be improved by reducing the tact time.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도 면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 이송장치의 개략적인 평면도이고, 도 2 및 도 3은 각각 도 1을 다른 방향에서 도시한 측면도들이며, 도 4 픽업유닛의 정면도이고, 도 5는 도 4의 부분 확대 사시도이며, 도 6은 도 5의 정단면도이고, 도 7은 도 5의 측면도이며, 도 8은 픽업유닛과 배큠펌프 간의 라인 배치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 9는 웨이퍼 정렬지그의 확대 구조도이며, 도 10은 버퍼 정렬부의 동작 상태를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 이송방법의 플로차트이다.1 is a schematic plan view of a wafer transfer device for a solar cell according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are side views showing FIG. 1 from different directions, respectively, and FIG. 4 is a front view of the pickup unit. 5 is a partially enlarged perspective view of FIG. 4, FIG. 6 is a front sectional view of FIG. 5, FIG. 7 is a side view of FIG. 5, FIG. 8 is a view schematically illustrating a line arrangement between the pickup unit and the vacuum pump, and FIG. 9. 10 is an enlarged structural diagram of a wafer alignment jig, FIG. 10 is a view schematically illustrating an operation state of the buffer alignment unit, and FIG. 11 is a flowchart of a method of transferring a wafer for a solar cell according to an embodiment of the present invention.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 이송장치는, 캐리어(C, Carrier)가 로딩되는 캐리어 로딩유닛(200)과, 캐리어 로딩유닛(200, 도 2 참조)의 주변에 마련되며 보트(B, Boat)가 로딩되는 보트 로딩유닛(300)과, 캐리어 로딩유닛(200)과 보트 로딩유닛(300) 간을 이동 가능하게 마련되며 다수의 태양전지용 웨이퍼(W, Wafer of solar battery, 이하 편의를 위해 웨이퍼라 함))를 캐리어(C)에서 보트(C)로 이송(적재)시키거나 보트(B)에서 캐리어(C)로 이송(적재)시키는 웨이퍼 이송유닛(400)과, 장치본체(500)를 구비한다.As shown in these figures, the solar cell wafer transfer apparatus according to the present embodiment includes a carrier loading unit 200 and a carrier loading unit 200 (see FIG. 2) in which a carrier C is loaded. Is provided in the boat loading unit 300, the boat (B, Boat) is loaded, and is provided to be movable between the carrier loading unit 200 and the boat loading unit 300 and a plurality of wafers (W, Wafer of solar battery, hereinafter referred to as wafer for convenience) wafer transfer unit 400 for transferring (loading) the carrier (C) from the boat (C) or from the boat (B) to the carrier (C) And an apparatus body 500.

본 실시예의 태양전지용 웨이퍼의 이송장치는, 대략 300장 정도가 적재되어 있는 보트(B) 내의 웨이퍼(W)를 대략 100장 정도가 적재될 캐리어(C)로 이송시켜 적재하는 용도로 사용되는 것이 일반적이기는 하지만, 태양전지의 다양한 제조 공정에서 필요 시 반대의 경우 즉 캐리어(C)로부터 보트(B)로 웨이퍼(W)를 이송시켜 적재하는 용도로 사용될 수도 있다. 이하에서는 후자의 경우, 즉 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 보트(B)로 이송시켜 적재하는 일련의 과정에 대해 설명하기로 한다.The solar cell wafer transfer apparatus of this embodiment is used for transferring the wafer W in the boat B, which is loaded with about 300 sheets, to the carrier C for loading about 100 sheets. In general, in various manufacturing processes of the solar cell, if necessary, it may be used in the opposite case, that is, for transporting and loading the wafer W from the carrier C to the boat B. Hereinafter, the latter case, that is, a series of processes for transferring and loading the wafer W in the carrier C by the boat B will be described.

본 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 이송장치의 각 구성에 대해 살펴보면, 우선 장치본체(500)는, 태양전지용 웨이퍼의 이송장치의 외관을 형성하는 부분이다.Referring to each configuration of the solar cell wafer transfer apparatus according to the present embodiment, first, the apparatus main body 500 is a part forming the appearance of the solar cell wafer transfer apparatus.

이러한 장치본체(500)에 캐리어 로딩유닛(200), 보트 로딩유닛(300) 및 웨이퍼 이송유닛(400)과 부분적으로 연결되어, 캐리어 로딩유닛(200), 보트 로딩유닛(300) 및 웨이퍼 이송유닛(400)이 지지된다. 물론, 이들 외에 후술할 웨이퍼 정렬지그(600), 버퍼 정렬부(700) 등도 장치본체(500)에 의해 지지된다.The device body 500 is partially connected to the carrier loading unit 200, the boat loading unit 300, and the wafer transfer unit 400, so that the carrier loading unit 200, the boat loading unit 300, and the wafer transfer unit 400 is supported. Of course, besides these, the wafer alignment jig 600, the buffer alignment unit 700, and the like, which are described later, are also supported by the apparatus main body 500.

장치본체(500)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 다수의 수평 및 수직 프레임(미도시)으로 이루어져 있는데, 하부 및 상부 영역은 내장 부품들의 보호를 위해 외면이 차폐되어 있고, 중앙 영역은 작업자의 접근을 위해 개방되어 있다. 장치본체(500)의 하단에는 다수의 구름 이동용 휠(510)과 지면 접촉 지지용 푸트부재(520)가 마련되어 있다.The apparatus body 500 is composed of a plurality of horizontal and vertical frames (not shown), as shown in Figures 2 and 3, the lower and upper regions are shielded on the outer surface for protection of the internal components, the central region Is open for worker access. A plurality of rolling wheels 510 and a ground contact support member 520 are provided at the lower end of the apparatus main body 500.

도 2에 도시된 바와 같이, 캐리어 로딩유닛(200)은 내부에 다수의 웨이퍼(W)가 적재된 캐리어(C)가 로딩되는 부분이다.As shown in FIG. 2, the carrier loading unit 200 is a portion in which a carrier C having a plurality of wafers W loaded therein is loaded.

본 실시예의 도면에는 캐리어(C)에 대해 자세히 도시되어 있지는 않지만, 캐리어(C)는 이러한 웨이퍼(W)들이 다단 적재될 수 있는 구조, 예컨대 CD를 보관하는 CD 케이스와 같이 내부에 웨이퍼(W)가 적재될 수 있는 다수의 웨이퍼 적재용 슬롯(미도시)을 구비한 구조물의 형상을 갖는데, 측면의 대부분은 개방된 구조를 갖는다.Although not shown in detail in the drawings of the present embodiment for the carrier C, the carrier C has a structure in which such wafers W can be stacked in multiple stages, for example, a wafer W therein, such as a CD case for storing a CD. Has the shape of a structure with a plurality of wafer loading slots (not shown) into which most of the sides can be loaded.

보트 로딩유닛(300)은 캐리어(C)로부터 이송되는 웨이퍼(W)가 적재될 보트(B)가 로딩되는 부분이다.The boat loading unit 300 is a portion in which the boat B on which the wafer W transferred from the carrier C is to be loaded is loaded.

캐리어 로딩유닛(200)과는 달리 보트 로딩유닛(300)은 도 1에 도시된 바와 같이 장치본체(500)의 측면 영역에 마련되는데 본 실시예의 경우, 보트 로딩유닛(300)을 사이에 두고 장치본체(500)의 양측에 각각 마련된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없으므로 보트 로딩유닛(300)은 장치본체(500)의 일측에만 마련되어도 무방하다.Unlike the carrier loading unit 200, the boat loading unit 300 is provided in the side region of the apparatus main body 500 as shown in FIG. 1. In this embodiment, the boat loading unit 300 is disposed between the apparatus. It is provided on both sides of the main body 500, respectively. However, since the scope of the present invention does not need to be limited thereto, the boat loading unit 300 may be provided only on one side of the apparatus body 500.

이러한 보트 로딩유닛(300)은, 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, 보트(B)가 로딩되는 보트 로딩본체(310)와, 보트 로딩본체(310)에 마련되어 보트(B)를 정렬시키는 보트 정렬부(320)를 포함한다.The boat loading unit 300 is, as schematically shown in Figure 1, the boat loading body 310 is loaded with the boat (B), the boat loading body 310 is provided on the boat to align the boat (B) The alignment unit 320 is included.

전술한 바와 같이 대략 300장 정도의 웨이퍼(W)가 적재되는 보트(B)는 고가의 퀄츠 재질로 제작되는데, 보트(B)의 관리를 위해 또는 웨이퍼(W)에 대한 이송 작업의 정확도를 위해 보트 정렬부(320)가 마련된다. 이러한 보트 정렬부(320)는 보트 로딩본체(310)의 내벽면에 마련되는 다수의 푸셔(미도시)를 포함한다. 다수의 푸셔가 해당 위치에서 보트(B)를 가압함에 따라 보트(B)는 보트 로딩본체(310) 내의 정위치에서 정렬될 수 있게 된다.As described above, the boat B in which approximately 300 wafers W are loaded is made of expensive quartz material, for the management of the boat B or for the accuracy of the transfer operation to the wafer W. The boat alignment unit 320 is provided. The boat alignment unit 320 includes a plurality of pushers (not shown) provided on the inner wall surface of the boat loading body 310. As a plurality of pushers pressurize the boat B at the corresponding position, the boat B can be aligned in position in the boat loading body 310.

이외에도 보트 로딩유닛(300)은 보트 로딩본체(310)에 마련되어 보트(B)에 웨이퍼(W)가 적재되어 있는 지의 여부를 감지하는 보트용 감지부(330)를 더 구비한다. 보트용 감지부(330)는 후술할 캐리어용 감지부(530)와 동일한 레이저 센서로 적용되어 보트(B)에 웨이퍼(W)가 적재되어 있는 지의 여부를 감지하게 된다. 이러한 보트용 감지부(330)로 인해 만약 보트(B) 내에 웨이퍼(W)가 적재된 경우 후술할 픽업유닛(100)은 웨이퍼(W)가 적재된 보트(B)에는 웨이퍼(W)를 이송시키지 않게 된다. 만약, 보트용 감지부(330)가 마련되어 있지 않는 경우에는 보트(B) 내에 웨이퍼(W)가 적재되어 있음에도 불구하고 픽업유닛(100)이 보트(B) 내에 웨이퍼(W)를 적재시키는 동작이 진행됨으로써 웨이퍼(W)가 파손될 수 있기 때문에 본 실시예에서는 보트용 감지부(330)를 마련하여 이를 방지하고 있는 것이다.In addition, the boat loading unit 300 further includes a boat detecting unit 330 provided on the boat loading body 310 to detect whether the wafer W is loaded on the boat B. The boat detecting unit 330 is applied to the same laser sensor as the carrier detecting unit 530 to be described later to detect whether or not the wafer (W) is loaded on the boat (B). If the wafer W is loaded in the boat B due to the boat sensing unit 330, the pickup unit 100 to be described later transfers the wafer W to the boat B in which the wafer W is loaded. It won't let you. If the boat detecting unit 330 is not provided, the pick-up unit 100 loads the wafer W in the boat B even though the wafer W is loaded in the boat B. Since the wafer W may be damaged by the progress, the present invention provides a boat detecting unit 330 to prevent the wafer W.

웨이퍼 이송유닛(400)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 다수의 웨이퍼(W)를 픽업(pick up)하는 픽업유닛(100)과, 픽업유닛(100)과 연결되어 픽업유닛(100)을 X축, Y축 및 Z축 방향(도 1 내지 도 3 참조)으로 구동시키는 유닛구동부(102)를 포함한다.2 and 3, the wafer transfer unit 400 is connected to the pickup unit 100 and the pickup unit 100 to pick up a plurality of wafers (W), the pickup unit ( And a unit driver 102 for driving 100 in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions (see FIGS. 1 to 3).

유닛구동부(102)는 리니어 모터(linear motor) 또는 실린더(cylinder) 등으로 적용되어 실질적으로 다수의 웨이퍼(W)를 진공으로 흡착하여 픽업할 픽업유닛(100)을 도 1 내지 도 3에 좌표로 도시된 X축, Y축 및 Z축 방향으로 구동시키는 역할을 한다.The unit driving unit 102 is applied to a linear motor or a cylinder to substantially pick up the pick-up unit 100 to pick up and pick up the plurality of wafers by vacuum in the coordinates of FIGS. 1 to 3. It serves to drive in the X-axis, Y-axis and Z-axis direction shown.

한편, 실질적으로 다수의 웨이퍼(W)를 진공으로 흡착하는 픽업유닛(100)에 대해 살펴보면, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 픽업유닛(100)은, 다수의 패드(110, Pad)와, 일측에서 다수의 패드(110)와 연결되어 다수의 패드(110)로 배 큠(Vacuum)을 제공하는 배큠 룸(130, Vacuum Room)과, 배큠 룸(130)의 상부에 연결되어 배큠 룸(130)으로 배큠을 제공하며, 내부에 배큠 룸(130)과 각각 독립적으로 연통되는 다수의 제2 독립 공간부(150a~150e)가 마련되어 있는 배큠 피팅 유닛(150, Vacuum Fitting Unit)을 포함한다.On the other hand, looking at the pickup unit 100 that substantially sucks a plurality of wafers (W) in a vacuum, as shown in Figures 4 to 8, the pickup unit 100, a plurality of pads (110, Pad) And a vacuum room 130 connected to a plurality of pads 110 at one side to provide a vacuum to the plurality of pads 110, and a vacuum room connected to an upper portion of the vacuum room 130. And a vacuum fitting unit (150) provided with a plurality of second independent space parts (150a to 150e) provided therein, and having a plurality of second independent space portions (150a to 150e) communicating with the vacuum room (130) independently therein. .

다수의 패드(110)는 실질적으로 다수의 웨이퍼(W)를 흡착 지지하는 부분이다. 도 6에 확대 도시된 바와 같이, 다수의 패드(110)는 상호 이격간격(H)을 두고 나란하게 배치되며, 흡착 지지될 웨이퍼(W)들은 이격간격(H) 사이로 배치된다. 본 실시예에서 다수의 패드(110)는 총 25개가 도시되어 있지만, 이의 개수에 본 발명의 권리범위가 제한될 필요는 없다.The plurality of pads 110 is a portion that substantially supports the plurality of wafers (W). As enlarged in FIG. 6, the plurality of pads 110 are arranged side by side with a mutually spaced interval H, and the wafers W to be adsorbed and supported are disposed between the spaced interval H. In the present embodiment, a plurality of pads 110 are shown in total, but the scope of the present invention is not necessarily limited to the number thereof.

웨이퍼(W)들이 이격간격(H) 사이로 배치되기 위해서는 픽업유닛(100)의 일부가 캐리어(C) 내로 완전히 다운(down)되거나 아니면 반대로 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)들이 완전히 업(up)되어야 하는데, 본 실시예에서는 이들을 혼용하여 적용하고 있다. 즉 후술할 웨이퍼 정렬지그(600)를 통해 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)들을 정렬시키면서 소정 높이 업(up)시키면 픽업유닛(100)이 일정 거리만큼 다운(down)되어 웨이퍼(W)들을 흡착하여 다시 픽업하는 구조를 제안하고 있다. 웨이퍼 정렬지그(600)에 대해서는 자세히 후술하기로 한다.In order for the wafers W to be disposed between the separation intervals H, a part of the pickup unit 100 may be completely down into the carrier C, or conversely, the wafers W in the carrier C may be completely up. In this embodiment, these are mixed and applied. That is, when the predetermined height is raised while aligning the wafers W in the carrier C through the wafer alignment jig 600 to be described later, the pickup unit 100 is down by a predetermined distance to adsorb the wafers W. A structure for picking up again is proposed. The wafer alignment jig 600 will be described later in detail.

어떠한 구조에 의한 어떠한 동작이 진행된다 하더라도, 웨이퍼(W)들은 패드(110)들의 이격간격(H) 사이로 배치된 후에, 패드(110)들의 일면인 흡착 표면으로 접촉되어 배큠에 의해 패드(110)들에 흡착 지지될 수 있게 된다. 자세히 후술하겠지만, 흡착 표면이란, 패드(110)들에서 표면 배큠 유로(112)가 형성된 면을 가리 키며, 웨이퍼(W)들은 이러한 흡착 표면에 흡착되어 지지된다.No matter what operation is performed by any structure, the wafers W are disposed between the spacing intervals H of the pads 110, and then contact with the suction surface, which is one surface of the pads 110, to be padded by the pad 110. It can be supported by the adsorption. As will be described later in detail, the adsorption surface refers to a surface on which the surface backing flow paths 112 are formed in the pads 110, and the wafers W are adsorbed on and supported by the adsorption surface.

패드(110)들의 구조에 대해 먼저 설명하면, 패드(110)들 각각은, 내측면에 형성되어 배큠 룸(130)으로부터 제공된 배큠이 유동하는 내부 배큠 유로(111)와, 패드(110)의 일측 표면에 형성되고 내부 배큠 유로(111)와 연통되어 실질적으로 웨이퍼(W)를 흡착하는 표면 배큠 유로(112)를 구비한다.First, the structure of the pads 110 will be described. Each of the pads 110 may be formed on an inner side surface of the pad 110, and may have an inner back flow path 111 through which a wall provided from the wall room 130 flows, and one side of the pad 110. It is provided on the surface and in communication with the internal back flow path 111 is provided with a surface back flow path 112 to suck the wafer (W) substantially.

참고로, 본 실시예의 경우, 내부 배큠 유로(111)는 패드(110)들의 내면을 관통하는 형태로 1개 형성되고, 표면 배큠 유로(112)는 내부 배큠 유로(111)에 대해 교차하는 방향으로 2개 형성되고 있지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니다. 또한 본 실시예에서 표면 배큠 유로(112)는 장공의 형태로 도시되어 있지만, 이 역시 다수의 홀(hole) 형태로 구현될 수도 있다.For reference, in the present exemplary embodiment, one inner vacuum flow path 111 may be formed to penetrate the inner surfaces of the pads 110, and the surface vacuum flow path 112 may cross the inner vacuum flow path 111. Although two are formed, the scope of the present invention is not limited thereto. In addition, in the present exemplary embodiment, the surface rear channel 112 is shown in the form of a long hole, but may also be implemented in the form of a plurality of holes.

이러한 패드(110)들은 실질적으로 웨이퍼(W)들이 빈번하게 접촉되는 부분이므로, 본 실시예의 패드(110)들은 웨이퍼(W)에 대한 접촉면 손상 방지를 위해 피크(peek) 재질로 제작된다. 하지만, 피크 재질 외에도 웨이퍼(W)에 대한 접촉면 손상 방지를 위한 재질이라면 다른 것이 적용되어도 무방하다.Since the pads 110 are portions in which the wafers W are in frequent contact, the pads 110 of the present embodiment are made of a peak material to prevent damage to the contact surface of the wafers W. FIG. However, in addition to the peak material, other materials may be used as long as it is a material for preventing contact surface damage to the wafer (W).

웨이퍼(W)들이 패드(110)들의 이격간격(H) 사이로 배치될 경우, 패드(110)들과 웨이퍼(W)들 간의 상대적인 위치 차이로 인해 웨이퍼(W)들의 패드(110)들의 노출 단부에 부딪힌다면 고가의 웨이퍼(W)가 파손되거나 혹은 패드(110)들이 손상될 우려가 높다.When the wafers W are disposed between the spacing intervals H of the pads 110, due to the relative position difference between the pads 110 and the wafers W, the wafers W are exposed at the exposed ends of the pads 110 of the wafers W. If bumped, the expensive wafer W may be broken or the pads 110 may be damaged.

이에, 본 실시예에서는 패드(110)들과 웨이퍼(W)들 간의 상대적인 위치가 과도하게 틀어지지 않는다는 조건 하에, 웨이퍼(W)들이 패드(110)들의 이격간격(H) 사이로 용이하게 배치될 수 있도록, 패드(110)들의 노출 단부의 양면에 경사면(110a)을 형성하고 있다. 물론, 경우에 따라 경사면(110a)은 패드(110)들의 노출 단부의 일면에만 형성될 수도 있는데, 어떠한 경우일지라도 웨이퍼(W)들은 패드(110)들의 노출 단부에 부딪히지 않고 경사면(110a)에 안내되면서 패드(110)들의 이격간격(H) 사이로 용이하게 배치될 수 있게 된다.Thus, in the present embodiment, the wafers W may be easily disposed between the spacings H of the pads 110 under the condition that the relative positions between the pads 110 and the wafers W are not excessively displaced. As such, the inclined surfaces 110a are formed on both surfaces of the exposed ends of the pads 110. Of course, in some cases, the inclined surface 110a may be formed only on one surface of the exposed ends of the pads 110. In any case, the wafers W may be guided to the inclined surface 110a without hitting the exposed ends of the pads 110. The pads 110 may be easily disposed between the spacing intervals H.

한편, 일정한 부피를 갖는 금속 부재를 가공하여 도면에 도시된 각 패드(110)의 형상을 만들기는 실질적으로 용이하지 않기 때문에 본 실시예에서는 하나씩의 구조가 실질적으로 동일한 낱개의 개별 패드(110)로 제작되어 복수개가 배큠 룸(130)에 결합된다. 이에 의하여 종래보다 제작이 훨씬 용이하게 된다. 즉, 본 실시예에서는 총 25개의 개별 패드(110)들이 사용되어 배큠 룸(130)에 하나씩 개별적으로 결합되도록 하고 있어 패드(110)를 한 몸체에서 가공하는 종래에 비해 제작이 훨씬 용이하지만, 본 발명의 권리범위가 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.On the other hand, since it is not practically easy to form the shape of each pad 110 shown in the drawings by processing a metal member having a constant volume, in this embodiment, one by one structure to each individual pad 110 substantially the same The plurality is manufactured and coupled to the bath room 130. This makes manufacturing much easier than before. That is, in the present embodiment, a total of 25 individual pads 110 are used to be individually coupled to the bath room 130, so that the pads 110 are manufactured in one body. The scope of the invention is not necessarily limited thereto.

배큠 룸(130)은 다수의 패드(110)로, 즉 패드(110)들의 내부 배큠 유로(111) 측으로 배큠을 제공하는 부분이다. 배큠 룸(130)은 대략 박스(box) 구조를 갖는데, 그 내부에는 각각 독립적으로 형성된 다수의 제1 독립 공간부(130a~130e)가 마련되어 있다. 본 실시예의 경우, 배큠 룸(130)의 내부에는 총 5개의 제1 독립 공간부(130a~130e)가 마련된다.The walling room 130 is a portion that provides backing to a plurality of pads 110, that is, to the inner backing flow path 111 of the pads 110. The back room 130 has a substantially box structure, and a plurality of first independent space parts 130a to 130e are formed in each of them. In the present embodiment, a total of five first independent space parts 130a to 130e are provided in the interior of the bath room 130.

패드(110)들은 배큠 룸(130)의 하부 영역에 결합되는데, 이 때, 패드(110)들이 배큠 룸(130)의 하부 영역에 그대로 결합될 경우, 패드(110)들과 배큠 룸(130) 사이의 결합 영역에서 리크(Leak)가 발생될 우려가 있다. 이에, 본 실시예에서는 패드(110)들의 내부 배큠 유로(111)의 입구 영역에 실(160, seal)을 마련함으로써 패드(110)들과 배큠 룸(130)이 상호간 기밀 유지될 수 있도록 하고 있다.The pads 110 are coupled to the lower region of the battering room 130, wherein the pads 110 and the batting room 130 are combined when the pads 110 are directly bonded to the lower region of the batting room 130. There is a fear that leakage occurs in the bonding region therebetween. Thus, in the present embodiment, by providing a seal 160 in the inlet area of the inner back flow path 111 of the pads 110, the pads 110 and the back room 130 may be kept airtight with each other. .

실(160)의 형태는, 패드(110)들에 형성된 내부 배큠 유로(111)들마다 하나씩 개별적으로 결합되는 단위 실(160)이어도 좋고, 아니면 패드(110)들 각각에 형성된 내부 배큠 유로(111)들 전체에 걸쳐 일체로 배치되는 일체형 실(미도시)이어도 무방하다. 후자의 경우, 가공이 상대적으로 어려울 수는 있지만, 조립이 편리한 효과가 있을 것이다.The shape of the seal 160 may be a unit seal 160 that is individually coupled to each of the inner wall flow paths 111 formed in the pads 110, or the inner wall flow path 111 formed in each of the pads 110. It may be an integral seal (not shown) that is integrally disposed over the entire heads. In the latter case, processing may be relatively difficult, but assembly will have a convenient effect.

배큠 룸(130)의 하부 영역에 패드(110)들이 결합되기 위해, 배큠 룸(130)의 양측면에는 패드(110)들을 배큠 룸(130)에 클램핑시키는 한 쌍의 클램프(155)가 더 마련된다.In order to couple the pads 110 to the lower region of the bath room 130, a pair of clamps 155 are further provided on both sides of the bath room 130 to clamp the pads 110 to the bath room 130. .

한 쌍의 클램프(155)는 모두가 해당 영역에서 착탈 가능한 구조를 갖는다. 패드(110)들과 접촉되는 한 쌍의 클램프(155)의 하단부 영역에는 한 쌍의 클램프(155)의 체결 시 패드(110)들을 상방으로 가압하는 경사면(155a)이 형성되어 있다. 한 쌍의 클램프(155)에 형성된 경사면(155a)이 제 기능을 담당하기 위해 패드(110)들의 측면에도 경사면(110b, 도 7 참조)이 형성된다.The pair of clamps 155 have a structure in which all of the clamps 155 are detachable in the corresponding area. An inclined surface 155a for pressing the pads 110 upward when the pair of clamps 155 is fastened is formed at the lower end regions of the pair of clamps 155 in contact with the pads 110. In order for the inclined surface 155a formed on the pair of clamps 155 to function properly, the inclined surface 110b (see FIG. 7) is formed on the side surfaces of the pads 110.

이에, 배큠 룸(130)의 하부 영역에 패드(110)들을 가 결합시킨 상태에서, 한 쌍의 클램프(155) 중 하나를 고정시킨 다음, 나머지를 도 7에 확대 도시한 A 방향으로 가압한다. 그러면, 클램프(155)의 경사면(155a)이 패드(110)의 경사면(110b)에 부딪힌 후, 패드(110)의 경사면(110b)을 밀어 올리게 됨으로써 패드(110)들은 도 7에 확대 도시한 B 방향으로 상승되면서 배큠 룸(130)의 하부 영역에 밀착될 수 있게 되며, 이 상태에서 한 쌍의 클램프(155)에 렌지 볼트 등을 체결함으로써 패드(110)들의 조립을 완료할 수 있게 된다.Thus, in the state in which the pads 110 are coupled to the lower region of the vacuum room 130, one of the pair of clamps 155 is fixed, and then the rest of the pads 110 are pressed in the direction A shown in FIG. 7. Then, after the inclined surface 155a of the clamp 155 hits the inclined surface 110b of the pad 110, the inclined surface 110b of the pad 110 is pushed up so that the pads 110 are enlarged in FIG. 7. Ascending in the direction can be in close contact with the lower area of the vacuum room 130, in this state it is possible to complete the assembly of the pads 110 by fastening a range of bolts and the like to a pair of clamps (155).

한편, 배큠 피팅 유닛(150)은 배큠 룸(130)의 상부 영역에 결합된다. 이러한 배큠 피팅 유닛(150)의 내부에는, 배큠 룸(130)의 내부로 배큠을 제공하되 배큠 룸(130)의 내부에 형성된 다수의 제1 독립 공간부(130a~130e)와 각각 대응되게 연통되는 다수의 제2 독립 공간부(150a~150e)가 마련되어 있다.On the other hand, the vacuum fitting unit 150 is coupled to the upper region of the vacuum room 130. In the interior of the vacuum fitting unit 150, the vacuum is provided to the interior of the vacuum chamber 130, but the plurality of first independent space portions 130a to 130e formed in the internal vacuum chamber 130 correspond to each other. Many 2nd independent space parts 150a-150e are provided.

본 실시예의 경우, 제1 독립 공간부(130a~130e)가 5개 마련되고 있기 때문에 배큠 피팅 유닛(150)의 내부에도 총 5개의 제2 독립 공간부(150a~150e)들이 마련된다. 그리고 하나의 제2 독립 공간부(150a~150e)들은 총 5개씩의 패드(110)에 배큠을 공급하여 패드(110)가 웨이퍼(W)를 흡착시킬 수 있도록 하고 있다. 하지만, 제2 독립 공간부(150a~150e)들의 개수 및 제2 독립 공간부(150a~150e)들마다의 패드(110) 배치 개수 등은 적절하게 변경될 수 있다.In the present embodiment, since five first independent space parts 130a to 130e are provided, a total of five second independent space parts 150a to 150e are also provided inside the vacuum fitting unit 150. In addition, one second independent space part 150a to 150e supplies a plurality of pads 110 to each of the pads 110 so that the pads 110 may adsorb the wafer W. However, the number of the second independent space parts 150a to 150e and the number of arrangement of the pads 110 for each of the second independent space parts 150a to 150e may be appropriately changed.

다수의 제2 독립 공간부(150a~150e)는, 배큠 피팅 유닛(150)의 내부에 마련된 다수의 격벽(151)에 의해 형성된다. 앞서 기술한 바와 같이, 본 실시예의 경우, 배큠 피팅 유닛(150)의 내부에는 총 5개의 제2 독립 공간부(150a~150e)들이 마련되고 있으므로 격벽(151)은 4개가 마련된다. 이 때, 5개의 제2 독립 공간부(150a~150e)들의 부피는 상호간 동일한 것이 바람직하지만 반드시 그러한 것은 아니다. The plurality of second independent space parts 150a to 150e are formed by the plurality of partition walls 151 provided inside the vacuum fitting unit 150. As described above, in the present embodiment, since five second independent spaces 150a to 150e are provided in the inside of the vacuum fitting unit 150, four partition walls 151 are provided. At this time, the volumes of the five second independent space portions 150a to 150e are preferably equal to each other, but are not necessarily so.

또한 본 실시예에서 5개의 제2 독립 공간부(150a~150e)들은 격벽(151)에 의해 형성되고 있지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없다. 즉, 5개의 단위 피팅 유닛(미도시)을 측방향으로 다수 개 배열하여 5개의 단위 피팅 유닛에 의해 5개의 제2 독립 공간부(150a~150e)들이 형성되도록 구성하여도 무방하다.In addition, although the five second independent space parts 150a to 150e are formed by the partition wall 151 in this embodiment, the scope of the present invention does not need to be limited thereto. That is, the plurality of five unit fitting units (not shown) may be arranged laterally so that the five second independent space parts 150a to 150e may be formed by the five unit fitting units.

이는 배큠 룸(130)의 내부에 형성된 다수의 제1 독립 공간부(130a~130e)에도 동일하게 적용될 수 있다. 다시 말해, 별도의 격벽(미도시)을 마련하고 이 격벽에 의해 배큠 룸(130)의 내부에 다수의 제1 독립 공간부(130a~130e)가 형성되도록 하여도 좋고, 아니면 5개의 단위 배큠 룸 유닛(미도시)을 측방향으로 다수 개 배열하여 5개의 단위 배큠 룸 유닛에 의해 5개의 제1 독립 공간부(130a~130e)들이 형성되도록 구성하여도 무방하다.The same may be applied to the plurality of first independent space parts 130a to 130e formed inside the vacuum room 130. In other words, a separate partition wall (not shown) may be provided and a plurality of first independent space portions 130a to 130e may be formed inside the wall room 130 by the partition wall, or five unit wall rooms. A plurality of units (not shown) may be arranged laterally so that five first independent space portions 130a to 130e may be formed by five unit double room units.

내부에 5개의 제2 독립 공간부(150a~150e)들이 형성된 배큠 피팅 유닛(150)에는 제2 독립 공간부(150a~150e)들로 배큠을 다수의 배큠 파이프(180)가 결합된다. 다수의 배큠 파이프(180)들은 종래와는 달리, 제2 독립 공간부(150a~150e)들 하나당 2개씩 결합되되 배큠 피팅 유닛(150)의 측면에 결합된다. 이는 배큠 피팅 유닛(150)의 상면 공간이 도 4와 같이 다른 구조물(101)이 배치되는 장소로 이용되기 때문이다. 본 실시예에서, 제2 독립 공간부(150a~150e)들 하나당 2개씩의 배큠 파이프(180)가 마련되므로, 배큠 파이프(180)는 총 10개가 마련된다.A plurality of vacuum pipes 180 are disposed in the vacuum fitting unit 150 in which five second independent space parts 150a to 150e are formed and the second independent space parts 150a to 150e are combined. Unlike the related art, the plurality of vacuum pipes 180 are coupled to each of the second independent space parts 150a to 150e, but are coupled to the side surface of the vacuum fitting unit 150. This is because the top space of the back fitting unit 150 is used as a place where the other structure 101 is arranged as shown in FIG. 4. In this embodiment, since two vacuum pipes 180 are provided for each of the second independent space parts 150a to 150e, a total of 10 vacuum pipes 180 are provided.

다수의 배큠 파이프(180)들을 통해 배큠을 형성시키기 위해, 도 8에 도시된 바와 같이, 배큠 펌프(190), 다수의 메인 라인(191) 및 다수의 분기 라인(192)이 더 구비된다.In order to form a vacuum through the plurality of vacuum pipes 180, as shown in FIG. 8, a vacuum pump 190, a plurality of main lines 191 and a plurality of branch lines 192 are further provided.

다수의 메인 라인(191)은 배큠 펌프(190) 측에 연결되되 제2 독립 공간부(150a~150e)의 개수만큼 마련된다. 따라서 본 실시예에서 메인 라인(191)은 총 5 개 마련된다. 그리고 다수의 분기 라인(192)은 메인 라인(191)들의 단부에서 2개씩 분기되어 다수의 배큠 파이프(180)와 각각 연결된다.The plurality of main lines 191 are connected to the vacuum pump 190 side and provided as many as the number of the second independent space parts 150a to 150e. Therefore, in this embodiment, a total of five main lines 191 are provided. The plurality of branch lines 192 are branched two by two at the ends of the main lines 191 and are connected to the plurality of vacuum pipes 180, respectively.

이 때, 도 8에 도시된 바와 같이, 하나의 메인라인(191)에서 분기된 2개의 분기 라인(192)들은 서로 다른 위치의 2개의 제2 독립 공간부(150a~150e)에 결합된 배큠 파이프(180)에 각각 연결된다. 다시 말해, 하나의 메인라인(191)에서 분기된 2개의 분기 라인(192)들 모두는 하나의 제2 독립 공간부(150a~150e)에 연결되지 않는다. 이는, 어느 한 라인(191,192)에 문제가 발생되더라도 다른 라인(191,192)을 통하여 제2 독립 공간부(150a~150e)에 각각 배큠을 제공할 수 있도록 하기 위한 방법이며, 이를 통해 어느 한 라인(191,192)에 문제가 발생되더라도 중단 없이 웨이퍼 이송장치를 사용할 수 있게 되는 것이다.In this case, as shown in FIG. 8, two branch lines 192 branched from one main line 191 are coupled to two second independent space parts 150a to 150e at different positions. Respectively connected to 180. In other words, both of the two branch lines 192 branched from one main line 191 are not connected to one second independent space part 150a to 150e. This is a method for providing the double independent space portions 150a to 150e through the other lines 191 and 192 even if a problem occurs in one of the lines 191 and 192. If a problem occurs, the wafer transfer device can be used without interruption.

본 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 이송장치에는, 배큠 룸(130)과 배큠 피팅 유닛(150) 사이에 개재되어 배큠 룸(130)과 배큠 피팅 유닛(150)을 상호간 기밀하게 결합시키는 실링부재(170)가 더 마련된다.The solar cell wafer transfer apparatus according to the present embodiment includes a sealing member interposed between the vacuum chamber 130 and the vacuum fitting unit 150 to hermetically couple the vacuum chamber 130 and the vacuum fitting unit 150 to each other. 170 is further provided.

이러한 실링부재(170)는 전술한 실(160)과 마찬가지로 고무나 실리콘으로 제작될 수 있으며, 본 실시예에서는 일체형으로 마련된다. 실링부재(170)에는 5개의 제1 독립 공간부(130a~130e)와 제2 독립 공간부(150a~150e) 각각을 상호간 대응되는 것끼리 개별적으로 연통시키는 다수의 연통공(170a~170e)이 형성되어 있다.The sealing member 170 may be made of rubber or silicon similarly to the seal 160 described above, and is provided in one embodiment in one embodiment. The sealing member 170 has a plurality of communication holes 170a to 170e for communicating the five first independent space portions 130a to 130e and the second independent space portions 150a to 150e, respectively. Formed.

이 때, 다수의 연통공(170a~170e)은 제1 독립 공간부(130a~130e)와 제2 독립 공간부(150a~150e) 하나 당 하나씩 형성될 수 있는데, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없다. 여기서, 다수의 연통공(170a~170e)은 제1 독립 공간 부(130a~130e) 및 제2 독립 공간부(150a~150e)의 단면적보다 훨씬 작은 면적을 갖는다.In this case, the plurality of communication holes (170a ~ 170e) may be formed one per one of the first independent space portion (130a ~ 130e) and the second independent space portion (150a ~ 150e), the scope of the present invention is limited thereto. It doesn't have to be. Here, the plurality of communication holes 170a to 170e have an area much smaller than the cross-sectional areas of the first independent space portions 130a to 130e and the second independent space portions 150a to 150e.

이에 의해, 만약 5개의 제2 독립 공간부(150a~150e) 중 어느 하나(예를 들어 150a의 제2 독립 공간부)에 리크가 발생되면, 150a의 제2 독립 공간부를 제외한 나머지 제2 독립 공간부(150b~150e) 쪽을 통해 배큠이 형성되고, 이어 나머지 제2 독립 공간부(150b~150e)와 연통되는 연통공(170b~170e) 및 제1 독립 공간부(130b~130e)를 경유하여 150a의 제2 독립 공간부 영역에 위치된 패드(110)들을 제외한 나머지 패드(110)들에 배큠이 형성될 수 있기 때문에 장치의 중단 없이 태양전지용 웨이퍼(W)를 흡착할 수 있다. 결과적으로, 본 실시예에 따르면, 5개의 제1 독립 공간부(1230a~130e)와 제2 독립 공간부(150a~150e) 중 어느 하나 또는 하나 이상에 리크가 생긴다 하더라도, 리크가 발생한 제1 및 제2 독립 공간부가 나머지 제1 및 제2 독립 공간부에 영향을 미치는 것을 차단시켜 나머지 패드(110)들에 배큠을 형성하는데 문제가 없게 된다. 따라서 전체 장치의 동작을 중단시키지 않아도 되는 이점이 있다.As a result, if a leak occurs in any one of the five second independent space parts 150a to 150e (for example, the second independent space part of 150a), the remaining second independent space except for the second independent space part of 150a is generated. The back is formed through the portions 150b to 150e, and then through the communication holes 170b to 170e and the first independent space portions 130b to 130e communicating with the remaining second independent space portions 150b to 150e. Since the pads may be formed on the remaining pads 110 except for the pads 110 positioned in the second independent space region of 150a, the solar cell wafer W may be adsorbed without interruption of the apparatus. As a result, according to the present embodiment, even if a leak occurs in any one or more of the five first independent space parts 1230a to 130e and the second independent space parts 150a to 150e, the first and the leaks are generated. By blocking the second independent space portion from affecting the remaining first and second independent space portions, there is no problem in forming the back pads in the remaining pads 110. Therefore, there is an advantage that does not need to interrupt the operation of the entire device.

한편, 도 4를 참조할 때, 웨이퍼(W)들이 픽업유닛(100)의 이격간격(H) 사이로 정확하게 배치될 수 있도록, 본 실시예의 태양전지용 웨이퍼의 이송장치에는 웨이퍼 정렬지그(600)가 더 구비된다.Meanwhile, referring to FIG. 4, the wafer alignment jig 600 is further included in the transfer apparatus of the wafer for solar cells of the present embodiment so that the wafers W may be accurately disposed between the separation intervals H of the pickup units 100. It is provided.

이러한 웨이퍼 정렬지그(600)는 도 2, 도 3 및 도 9에 도시된 바와 같이, 장치본체(500)의 중앙 영역의 하부 영역에 마련되어 필요 시 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)들을 정렬시키면서 소정 높이 업(up)시키는 역할을 한다. 즉 웨이퍼 정렬지 그(600)는 캐리어(C)와 간섭을 일으키지 않는 범위 내에서 캐리어(C)의 내부를 통해 업(up)되면서 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)들을 캐리어(C) 내의 공차보다 작은 공차의 유격을 갖도록 파지하여 소정 높이 업(up)시키는 역할을 한다.2, 3, and 9, the wafer alignment jig 600 is provided in the lower region of the center region of the apparatus main body 500, and the wafers W in the carrier C are aligned, if necessary. It serves to raise the height. That is, the wafer alignment jig 600 is raised up through the inside of the carrier C within a range that does not cause interference with the carrier C, and the wafers W in the carrier C are held within the carrier C. It serves to hold up a predetermined height by gripping to have a clearance of smaller tolerance.

다시 말해, 캐리어(C) 내에 적재된 웨이퍼(W)들은 캐리어(C) 내에서의 이격간격이 요구되는 수준으로 정밀하게 정렬되지 못한 상태인 것이 일반적이기 때문에, 이러한 상태에서 픽업유닛(100)이 캐리어(C)로 접근하면 다수의 패드(110)와 웨이퍼(W)들이 상호 부딪힐 우려가 상당히 높다. 따라서 다수의 패드(110)들로 하여금 웨이퍼(W)들을 픽업하기 전에 캐리어(C) 내에 적재된 웨이퍼(W)들을 정렬시킬 필요가 있는데 이러한 역할을 웨이퍼 정렬지그(600)가 수행하는 것이다.In other words, since the wafers W loaded in the carrier C are generally not precisely aligned to the required level in the carrier C, the pickup unit 100 is in such a state. Approaching the carrier (C) there is a high risk of a number of pads 110 and the wafer (W) hit each other. Therefore, it is necessary to align the wafers W loaded in the carrier C before the plurality of pads 110 pick up the wafers W. The wafer alignment jig 600 performs this role.

이러한 웨이퍼 정렬지그(600)는, 웨이퍼(W)들과 접촉되는 다수의 접촉핀부(601)와, 다수의 접촉핀부(601)를 하부에서 일체로 연결하는 연결판부(602)와, 연결판부(602)와 결합되어 연결판부(602)를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부(603)를 구비한다.The wafer alignment jig 600 includes a plurality of contact pin portions 601 in contact with the wafers W, a connecting plate portion 602 for integrally connecting the plurality of contact pin portions 601 from the bottom, and a connection plate portion ( It is provided with an up / down driving unit 603 coupled with 602 to drive up / down the connecting plate unit 602.

이 때, 도 9에 확대 도시된 바와 같이, 다수의 접촉핀부(601)들의 상단부는 삼각형 형상을 가지며, 웨이퍼(W)들은 접촉핀부(601)들 사이사이의 홈부(601a, 역시 삼각형 형상임)에 접촉된 후 업/다운 구동부(603)에 의해 소정 높이 업(up)된다.At this time, as shown in an enlarged view in FIG. 9, the upper ends of the plurality of contact pins 601 have a triangular shape, and the wafers W have grooves 601a between the contact pins 601, which are also triangular in shape. After being in contact with, the predetermined height is up by the up / down driving unit 603.

이처럼 다수의 접촉핀부(601)들의 상단부가 삼각형 형상을 이루게 되면, 그들 사이에 형성되는 모든 홈부(601a) 역시 일정한 크기의 삼각형 형상을 이루게 되며, 따라서 홈부(601a)에 마치 끼워지는 형태로 지지되는 웨이퍼(W)들은 일률적인 홈부(601a)에 의해 자연스럽게 그들 사이의 간격이 일률적으로 용이하게 정렬될 수 있게 되는 것이다. 이러한 웨이퍼 정렬지그(600)에 의하여 픽업유닛(100)이 웨이퍼(W)를 픽업할 때 웨이퍼(W)가 파손되는 것을 방지하고 보다 정확하게 픽업할 수 있게 된다.When the upper ends of the plurality of contact pins 601 form a triangular shape as described above, all the groove portions 601a formed therebetween also form a triangular shape having a predetermined size, and thus are supported as if they fit in the groove portion 601a. The wafers W are naturally aligned by the uniform groove 601a so that the spacing therebetween can be easily and uniformly aligned. By the wafer alignment jig 600, when the pickup unit 100 picks up the wafer W, the wafer W is prevented from being damaged and can be picked up more accurately.

본 실시예에서는 홈부(601a)가 삼각형 형상을 이루고 있지만, 반드시 이의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한될 필요는 없다.In the present embodiment, the groove 601a has a triangular shape, but the scope of the present invention is not necessarily limited to the shape thereof.

홈부(601a)에 의해 간격이 정렬된 웨이퍼(W)들을 소정 높이 업(up)시키는 업/다운 구동부(603)는 실린더로 적용될 수 있다. 하지만, 실린더 외에 리니어 모터(linear motor)가 적용되어도 무방하다.An up / down driving unit 603 for raising a predetermined height up the wafers W spaced by the groove 601a may be applied to a cylinder. However, a linear motor may be applied in addition to the cylinder.

한편, 장치본체(500)의 중앙 영역 하부에 위치된 웨이퍼 정렬지그(600)가 업(up)되면서 웨이퍼(W)들을 정렬시키고자 할 때, 만약 캐리어 로딩유닛(200)에 로딩된 캐리어(C) 내에 웨이퍼(W)가 적재되어 있지 않다면 불필요한 동작이 수행된 것에 불과하며 이러한 경우 택트 타임의 지연 문제가 예상된다.On the other hand, when the wafer alignment jig 600 positioned below the center area of the apparatus main body 500 is to be up, and the wafers W are to be aligned, the carrier C loaded in the carrier loading unit 200 may be used. If the wafer (W) is not loaded into the wafer), only an unnecessary operation is performed, and in this case, a problem of delay of the tact time is expected.

이러한 현상을 예방하기 위해, 캐리어 로딩유닛(200)이 위치된 장치본체(500)의 양측에는 캐리어 로딩유닛(200) 상에 로딩된 캐리어(C)에 웨이퍼(W)가 적재되어 있는 지의 여부를 감지하는 캐리어용 감지부(530)가 더 마련되어 있다. 캐리어용 감지부(530)는 레이저 센서로 적용될 수 있는데, 조사된 레이저가 도달되는 속도 혹은 시간의 연산을 통해 캐리어(C)에 웨이퍼(W)가 적재되어 있는 지의 여부를 감지할 수 있다. In order to prevent this phenomenon, whether the wafer (W) is loaded on the carrier (C) loaded on the carrier loading unit 200 on both sides of the device body 500 where the carrier loading unit 200 is located. The carrier detecting unit 530 is further provided. The carrier detecting unit 530 may be applied as a laser sensor, and may detect whether the wafer W is loaded in the carrier C by calculating a speed or time at which the irradiated laser arrives.

한편, 본 실시예의 태양전지용 웨이퍼의 이송장치는, 장치본체(500)에 마련 되며, 웨이퍼 이송유닛(400)에 의해 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)가 보트(B)로 이송되어 적재되기 전 웨이퍼(W)들을 정렬시키는 버퍼 정렬부(700)를 더 구비한다.On the other hand, the solar cell wafer transfer apparatus of this embodiment is provided in the apparatus main body 500, and the wafer W in the carrier C is transferred to the boat B by the wafer transfer unit 400 before being loaded. A buffer alignment unit 700 for aligning the wafers W is further provided.

버퍼 정렬부(700)는, 도 10에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 이송유닛(400)의 픽업유닛(100)에 의해 픽업된 웨이퍼(W)들의 양측면으로 접근 및 이격 가능한 한 쌍의 정렬용 이동벽체(701a,701b)를 포함한다.As shown in FIG. 10, the buffer alignment unit 700 includes a pair of movable moving walls for accessing and spaced apart from both sides of the wafers W picked up by the pickup unit 100 of the wafer transfer unit 400. 701a and 701b.

버퍼 정렬부(700)의 역할에 대해 부연하면, 픽업유닛(100)에 의하여 웨이퍼(W)가 픽업된 경우, 웨이퍼(W) 사이사이의 간격은 균일하게 유지된 상태이지만 웨이퍼(W)들의 양단부는 완전히 정렬되지 못한 상태일 수 있다. 이처럼 웨이퍼(W)들의 양단부가 완전히 정렬되지 못한 상태임에도 불구하고 이를 무시하고 그대로 보트(B)로 이송시켜 적재하는 경우에는 웨이퍼(W) 또는 보트(B)의 손상이 발생할 수 있다.In detail with respect to the role of the buffer alignment unit 700, when the wafer (W) is picked up by the pickup unit 100, the distance between the wafers (W) is maintained evenly, but both ends of the wafers (W) May be completely out of alignment. Even though both ends of the wafers W are not completely aligned as described above, damage to the wafer W or the boat B may occur in the case of disregarding the wafers W and being transferred to the boat B as it is.

따라서 픽업유닛(100)에 의하여 픽업된 웨이퍼(W)를 다시 버퍼 정렬부(700) 영역에 배치하여, 한 쌍의 정렬용 이동벽체(701a,701b)가 웨이퍼(W)의 양단부를 가압하도록 하면 픽업유닛(100)에 의하여 픽업된 웨이퍼(W)들은 모두 그 중심축선에 일치되도록 정렬될 수 있게 되며, 이러한 상태에서 보트(B)로 이송 및 적재하면 손상이나 파손 등의 폐단 없이 용이하게 웨이퍼(W)를 이송할 수 있게 된다.Therefore, if the wafer W picked up by the pickup unit 100 is placed in the buffer alignment unit 700 region again, the pair of alignment moving walls 701a and 701b pressurize both ends of the wafer W. The wafers W picked up by the pickup unit 100 can all be aligned to match their center axes, and in this state, when the wafers W are transported and loaded into the boat B, the wafers W can be easily removed without damage or damage. W) can be transported.

이러한 구성을 갖는 태양전지용 웨이퍼의 이송장치의 작용에 대해 간략하게 설명하면 다음과 같다.The operation of the transfer device for a solar cell wafer having such a configuration will be briefly described as follows.

우선, 캐리어(C)가 캐리어 로딩유닛(200)에, 그리고 보트(B)가 보트 로딩유닛(300)에 로딩된다. 이들의 로딩 순서는 어떠한 것이 먼저 진행되어도 무방하다.First, the carrier C is loaded into the carrier loading unit 200, and the boat B is loaded into the boat loading unit 300. The loading order of these may be any one of them first.

다음, 웨이퍼 정렬지그(600)가 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)들을 정렬시키면서 소정 높이 업(up)시키면, 이에 연동하여 웨이퍼 이송유닛(400)의 픽업유닛(100)이 유닛구동부(102)의 동작에 의해 구동하여 예컨대 50장의 웨이퍼(W)를 픽업한다.Next, when the wafer alignment jig 600 raises a predetermined height while aligning the wafers W in the carrier C, the pick-up unit 100 of the wafer transfer unit 400 is linked to the unit driver 102. It drives by the operation of, for example, picks up 50 wafers (W).

계속되는 유닛구동부(102)의 동작에 의해 픽업유닛(100)은 버퍼 정렬부(700)로 이동되고, 버퍼 정렬부(700)에서 픽업된 50장의 웨이퍼(W)에 대한 중심축선 정렬을 마친 후, 종국적으로 보트 로딩부(300)로 이동되어 보트(B)로 웨이퍼(W)들을 이송 및 적재시키게 된다. 이러한 방법으로 보트(B)에 300장의 웨이퍼(W)에 대한 적재가 완료되면 한 사이클이 끝나고 다시 새로운 보트에 웨이퍼를 적재하는 작업이 진행된다.After the operation of the unit driving unit 102, the pickup unit 100 is moved to the buffer alignment unit 700, and after completing the center axis alignment for the 50 wafers W picked up from the buffer alignment unit 700, Finally it is moved to the boat loading unit 300 to transfer and load the wafers (W) to the boat (B). In this way, when the loading of the 300 wafers (W) in the boat (B) is completed, one cycle is finished and the operation of loading the wafer in a new boat is in progress.

한편, 위의 동작은 캐리어(C)의 웨이퍼(W)를 보트(B)로 이송시켜 적재하는 과정이나, 앞서 기술한 바와 같이 반대로 보트(B)의 웨이퍼(W)를 캐리어(C)로 옮겨 적재하는 동작도 본 실시예의 태양전지용 웨이퍼의 이송장치에서 동일하게 수행될 수 있다. 즉 전술한 동작을 반대로 수행하면 보트(B)의 웨이퍼(W)를 캐리어(C)로 이송시켜 적재할 수도 있게 된다.On the other hand, the above operation is a process of transferring the wafer (W) of the carrier (C) to the boat (B) to load, or, as described above, transfer the wafer (W) of the boat (B) to the carrier (C) The loading operation can be performed in the same manner as in the transfer apparatus for the solar cell wafer of this embodiment. That is, if the above operation is reversed, the wafer W of the boat B may be transferred to the carrier C and loaded.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 캐리어(C)와 보트(B) 간의 웨이퍼(W) 이송 작업이 자동으로 진행될 수 있어 작업 효율을 향상시킬 수 있으며, 특히 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.As such, according to the present exemplary embodiment, the wafer W transfer operation between the carrier C and the boat B may be automatically performed, thereby improving work efficiency, and in particular, reducing productivity by reducing tact time. It will be possible to improve.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 이송장치의 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view of a transfer apparatus of a wafer for a solar cell according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 각각 도 1을 다른 방향에서 도시한 측면도들이다.2 and 3 are side views showing FIG. 1 from different directions, respectively.

도 4 픽업유닛의 정면도이다.4 is a front view of the pickup unit.

도 5는 도 4의 부분 확대 사시도이다.5 is a partially enlarged perspective view of FIG. 4.

도 6은 도 5의 정단면도이다.6 is a front cross-sectional view of FIG. 5.

도 7은 도 5의 측면도이다.7 is a side view of FIG. 5.

도 8은 픽업유닛과 배큠펌프 간의 라인 배치를 개략적으로 도시한 도면이다.8 is a view schematically showing the line arrangement between the pickup unit and the vacuum pump.

도 9는 웨이퍼 정렬지그의 확대 구조도이다.9 is an enlarged structural diagram of a wafer alignment jig.

도 10은 버퍼 정렬부의 동작 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.10 is a view schematically showing an operation state of the buffer alignment unit.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

100 : 픽업유닛 110 : 패드100: pickup unit 110: pad

111 : 내부 배큠 유로 112 : 표면 배큠 유로111: internal vacuum flow path 112: surface vacuum flow path

130 : 배큠 룸 130a ~130e : 제1 독립 공간부130: back room 130a ~ 130e: first independent space part

150 : 배큠 피팅 유닛 150a ~150e : 제2 독립 공간부150: back fitting unit 150a to 150e: second independent space portion

155 : 클램프 160 : 실155: Clamp 160: Thread

170 : 실링부재 170a~170e : 연통공170: sealing member 170a ~ 170e: communication hole

180 : 배큠 파이프 190 : 배큠 펌프180: vacuum pipe 190: vacuum pump

200 : 캐리어 로딩유닛 300 : 보트 로딩유닛200: carrier loading unit 300: boat loading unit

400 : 웨이퍼 이송유닛 500 : 장치본체400: wafer transfer unit 500: device body

600 : 웨이퍼 정렬지그 700 : 버퍼 정렬부600: wafer alignment jig 700: buffer alignment unit

Claims

A carrier loading unit into which a carrier is loaded;

A boat loading unit provided around the carrier loading unit and loaded with a boat; And

A pickup unit for picking up a plurality of solar cell wafers, and a unit driver connected to the pickup unit to drive the pickup unit in X, Y, and Z directions, and the carrier loading unit and the A boat transfer unit provided to be movable between the boat loading units to transfer a plurality of wafers for solar cells from the carrier to the boat or from the boat to the carrier,

The pickup unit,

A plurality of pads arranged side by side with a mutually spaced interval to adsorb and support the plurality of solar cell wafers;

A vacuum room connected to the plurality of pads at one side to provide vacuum to the plurality of pads, and having a plurality of first independent space parts formed therein independently; And

A vacuum fitting unit (Vacuum Fitting Unit) is provided with a plurality of second independent spaces connected to the other side of the vacuum room to provide a vacuum to the vacuum room, and a plurality of second independent spaces in communication with the first independent space of the battery room, respectively. Transfer device for a wafer for a solar cell comprising a).

The method of claim 1,

And a device body partially connected to the carrier loading unit, the boat loading unit and the wafer transfer unit to support the carrier loading unit, the boat loading unit and the wafer transfer unit. Conveying device.

The method of claim 2,

It is provided in the device body, while holding up the solar cell wafers in the carrier to have a clearance of less than the tolerance in the carrier while being up (up) through the inside of the carrier within a range that does not interfere with the carrier to a predetermined height Transfer device for a wafer for a solar cell further comprises a wafer alignment jig to up (up).

The method of claim 3,

The wafer alignment jig,

A plurality of contact pins contacting the wafers for the solar cell;

A connecting plate part which connects the plurality of contact pins integrally from below; And

Combined with the connection plate portion of the wafer transfer device for a solar cell comprising a up / down driving unit for driving the connection plate up / down (up / down).

The method of claim 4, wherein

An upper end portion of the plurality of contact pin portions has a triangular shape, the solar cell wafers are in contact with the groove portion between the contact pin portions, the transfer apparatus of the solar cell wafer.

The method of claim 3,

The carrier loading unit and the wafer alignment jig are provided in the central region of the device body, the boat loading unit is provided in the side region of the device body characterized in that the transfer device for the wafer for solar cells.

The method of claim 6,

And a carrier detecting unit provided on both sides of the apparatus main body in which the carrier loading unit is located to detect whether the solar cell wafer is loaded on the carrier loaded on the carrier loading unit. Battery wafer transfer device.

The method of claim 7, wherein

The carrier for the carrier of the wafer for solar cells, characterized in that the laser sensor.

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The method of claim 1,

The boat loading unit,

A boat loading body into which the boat is loaded; And

And a boat alignment portion provided on the boat loading body to align the boat.

The method of claim 11,

The boat is made of quartz material,

The boat alignment unit is a solar cell wafer transfer device, characterized in that it comprises at least one pusher provided on any one side of the inner wall surface of the boat loading body.

The method of claim 11,

And a boat sensing unit provided on the boat loading body and detecting whether the solar cell wafer is loaded on the boat.

The method of claim 2,

The wafer is transferred to the solar cell wafer, characterized in that provided in the main body, the wafer transfer unit further comprises a buffer alignment unit for aligning the wafer for the solar cell before the wafer is transferred to the boat and loaded in the boat Device.

The method of claim 14,

The buffer aligning unit is a wafer transfer device for a solar cell, characterized in that it comprises a pair of moving wall for alignment and access to both sides of the solar cell wafer picked up by the wafer transfer unit.

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