KR20100096718A - 연마패드 제조장치 및 이를 이용한 연마패드 제조방법 - Google Patents
연마패드 제조장치 및 이를 이용한 연마패드 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (5)
- 프레임;상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전원통;상기 회전원통의 내주면에 원통형으로 설치되며, 일정 패턴의 그루브가 형성되어 있는 몰드시트;상기 회전원통의 내부에 배치되어, 상기 몰드시트의 표면에 연마수지를 코팅하는 나이프코팅기;상기 프레임에 설치되어, 상기 회전원통을 회전시키는 회전유닛;상기 프레임에 설치되어, 상기 회전유닛의 동작을 제어하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드 제조장치.
- 제1항에 있어서,상기 나이프코팅기는,상기 몰드시트와 이격되게 상기 회전원통의 길이방향으로 위치하여, 상기 몰드시트의 표면에 연마수지를 코팅하는 바형의 수지공급부; 상기 프레임에 설치되어, 상기 수지공급부의 양단을 지지하는 한 쌍의 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드 제조장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 회전유닛은,모터부; 상기 모터부에 의해 회전되는 풀리부; 상기 풀리부 및 상기 회전원통의 외주면에 결합되는 벨트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드 제조장치.
- 회전원통의 내주면에 몰드시트를 원통형으로 설치하는 단계;나이프코팅기를 통해 상기 몰드시트의 표면에 연마수지를 공급하는 단계;회전유닛에 의한 상기 회전원통의 회전을 통해 상기 몰드시트의 표면을 상기 연마수지로 코팅하여 연마패드를 형성하는 단계;상기 몰드시트를 상기 회전원통으로부터 분리하는 단계;상기 연마패드에 양면테이프를 부착하는 단계;상기 양면테이프가 부착된 상기 연마패드를 상기 몰드시트로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드 제조장치를 이용한 연마패드 제조방법.
- 제4항에 있어서,상기 회전원통의 회전력을 조절하여 상기 연마수지의 기포를 탈포시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마패드 제조장치를 이용한 연마패드 제조방법.
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