KR20100089824A - Dye-sensitized solar cell and manufacturing method of same - Google Patents

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KR20100089824A
KR20100089824A KR1020107008116A KR20107008116A KR20100089824A KR 20100089824 A KR20100089824 A KR 20100089824A KR 1020107008116 A KR1020107008116 A KR 1020107008116A KR 20107008116 A KR20107008116 A KR 20107008116A KR 20100089824 A KR20100089824 A KR 20100089824A
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슈지 하야세
요시히로 야마구치
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신닛테츠가가쿠 가부시키가이샤
고쿠리츠 다이가쿠 호진 큐슈 코교 다이가쿠
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Abstract

간이하게 제조할 수 있고, 전력 인출 효율이 높고, 대형화에 적합한 색소 증감 태양 전지 및 그 제조 방법을 제공한다. 색소 증감 태양 전지는 투명 기판(12)과, 색소를 흡착한 다공질 반도체층(14)과, 도전성 금속막(16)과, 도전막을 구비한 기판을 구비하고, 도전성 금속막(16)과 도전막을 구비한 기판의 사이에 전해질을 가진다. 도전성 금속막(16)에는 깊은 구멍 모양의 다수의 관통공이 불규칙하게 형성된다. 도전성 금속막(16)은 외부 전극에 전기적으로 접속된다. 관통공은 형상 이방성을 가지는 미립자(28)를 다공질 반도체층(14) 상에 배치하여 형성한 미립자층 상에 도전성 금속막(26)을 형성하고, 이어서 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 미립자층을 소실시킴으로써 얻어진다. Provided are a dye-sensitized solar cell which can be easily manufactured, has high power take-out efficiency, and is suitable for large size, and a manufacturing method thereof. The dye-sensitized solar cell includes a substrate having a transparent substrate 12, a porous semiconductor layer 14 adsorbing a dye, a conductive metal film 16, and a conductive film, and the conductive metal film 16 and the conductive film. The electrolyte is provided between the substrates provided. In the conductive metal film 16, a plurality of through holes having a deep hole shape are irregularly formed. The conductive metal film 16 is electrically connected to an external electrode. The through hole forms the conductive metal film 26 on the fine particle layer formed by arranging the fine particles 28 having the shape anisotropy on the porous semiconductor layer 14, and then the fine particle layer is heated by heating or solvent cleaning. It is obtained by disappearing.

Description

색소 증감 태양 전지 및 그 제조 방법{DYE-SENSITIZED SOLAR CELL AND MANUFACTURING METHOD OF SAME}Dye-sensitized solar cell and its manufacturing method {DYE-SENSITIZED SOLAR CELL AND MANUFACTURING METHOD OF SAME}

본 발명은 색소 증감(增感) 태양 전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a dye-sensitized solar cell and its manufacturing method.

색소 증감 태양 전지는 습식 태양 전지 혹은 그래첼(Graetzel) 전지 등으로 불리고, 실리콘 반도체를 이용하지 않고 요오드 용액으로 대표되는 전기 화학적인 셀(cell) 구조를 가지는 점에 특징이 있다. 구체적으로는 투명한 도전성 유리판(투명 도전막을 적층한 투명 기판)에 이산화티타늄 분말 등을 소부(燒付)하고, 이에 색소를 흡착시켜 형성한 이산화티타늄층 등의 다공질 반도체층과 도전성 유리판(도전성 기판)으로 이루어지는 대극(對極)의 사이에 전해액으로서 요오드 용액 등을 배치한 간이한 구조를 가진다.Dye-sensitized solar cells are called wet solar cells or Graetzel cells and are characterized by having an electrochemical cell structure represented by an iodine solution without using a silicon semiconductor. Specifically, a porous semiconductor layer such as a titanium dioxide layer formed by baking a titanium dioxide powder or the like on a transparent conductive glass plate (a transparent substrate on which a transparent conductive film is laminated) and adsorbing a dye thereon and a conductive glass plate (conductive substrate) It has the simple structure which arrange | positioned the iodine solution etc. as electrolyte solution between the counter electrode which consists of these.

색소 증감 태양 전지는 재료가 염가이고, 제작에 대규모 설비를 필요로 하지 않기 때문에, 저비용의 태양 전지로서 주목되고 있다. Dye-sensitized solar cells are attracting attention as low-cost solar cells because their materials are inexpensive and do not require large-scale equipment for their production.

색소 증감 태양 전지는 태양광의 변환 효율의 새로운 향상이 요구되고 있고, 여러 가지의 관점에서 검토가 되어 있다.Dye-sensitized solar cells are required to further improve the conversion efficiency of solar light, and have been examined from various viewpoints.

그 중의 하나로서, 전극의 도전성의 개선에 의한 전력 인출 효율의 향상을 도모하기 위해서, 광입사측에 설치되는 투명 기판 상에 통상 형성되는 투명 도전막을 생략하는 것이 검토되고 있다. 이것은 태양 전지를 대형화할 때에 특히 큰 의의를 가진다. As one of them, in order to improve the power extraction efficiency by improving the conductivity of the electrode, omitting the transparent conductive film normally formed on the transparent substrate provided on the light incident side is examined. This is particularly important when increasing the size of solar cells.

예를 들면, 투명 도전막을 생략하여 투명 기판 상에 색소를 흡착한 TiO2 다공질 반도체층을 직접 설치하고, 다공질 반도체층 표면에 Ti를 스퍼터링(sputtering)함으로써 형성한 구멍이 뚫린 Ti 박막을 집전극(集電極)으로 하는 색소 증감 태양 전지가 개시되어 있다(비특허문헌 1 참조). 이 전지의 태양광의 변환 효율은 3.6%로 보고되어 있다. For example, a transparent conductive film may be omitted, and a TiO 2 porous semiconductor layer adsorbed with a dye may be directly provided on a transparent substrate, and a porous thin electrode formed by sputtering Ti on the surface of the porous semiconductor layer may be formed of a collecting electrode ( There is disclosed a dye-sensitized solar cell which is made of a spinner (see Non-Patent Document 1). The solar cell conversion efficiency of this battery is reported to be 3.6%.

또, 예를 들면, 유리 기판 상에 반도체 미립자층, 금속망, 전하 이동층 및 대극(對極)을 이 순서로 포함하는 적층부를 가지고, 금속망과 전하 이동층이 직접 접한 구조의 광전 변환 소자가 개시되어 있다(특허문헌 1 참조). For example, the photoelectric conversion element of the structure which has the laminated part which contains a semiconductor fine particle layer, a metal network, a charge transfer layer, and a counter electrode in this order on a glass substrate, and the metal network and the charge transfer layer directly contacted. Is disclosed (see Patent Document 1).

일본 특허공개 2007-73505호 공보Japanese Patent Publication No. 2007-73505

J. M. Kroon, et al., Nanocrystalline Dye-sensitized Solar Cells Having Maximum Performance, Prog. Photovolt, WileyInterScience, 2006 J. M. Kroon, et al., Nanocrystalline Dye-sensitized Solar Cells Having Maximum Performance, Prog. Photovolt, Wiley InterScience, 2006

그렇지만, 비특허문헌 1의 것은 Ti 박막의 두께나 개구율 등에 대한 언급이 없기는 하지만, 스퍼터링(sputtering)에 의해 형성되는 Ti 박막의 두께가 극히 얇은 경우, 예를 들면 20nm 정도이면, 다공질 반도체층 표면의 TiO2 입자의 요철 상에 형성되는 Ti 박막에 구멍이 형성될 수 있지만, Ti 박막의 면적 저항(시트(sheet) 저항)이 커져 전력 인출 효율의 대폭적인 향상에는 연결되지 않을 우려가 있다. 이에 반해, Ti 박막의 면적 저항을 작게 하기 위해서 Ti 박막의 두께를 예를 들면 수백nm 정도로 두껍게 하려고 하면, Ti 박막에 구멍이 형성되지 않고, 전해액의 다공질 반도체층에의 침투가 저지되어 태양 전지로서 기능하지 않을 우려가 있다.However, although Non-Patent Document 1 does not mention the thickness, aperture ratio, or the like of the Ti thin film, when the thickness of the Ti thin film formed by sputtering is extremely thin, for example, about 20 nm, the surface of the porous semiconductor layer Although a hole may be formed in the Ti thin film formed on the unevenness of the TiO 2 particles, there is a concern that the area resistance (sheet resistance) of the Ti thin film becomes large, which may not lead to a significant improvement in the power extraction efficiency. On the other hand, when the thickness of the Ti thin film is made to be thick, for example, several hundred nm, in order to reduce the area resistance of the Ti thin film, no holes are formed in the Ti thin film, and penetration of the electrolyte into the porous semiconductor layer is prevented, thereby making it a solar cell. It may not function.

또, 특허문헌 1의 것은 제조 방법으로서 번잡하고 제조 비용이 높아질 우려가 있다. Moreover, the thing of patent document 1 is complicated as a manufacturing method, and there exists a possibility that manufacturing cost may become high.

본 발명은 상기의 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 간이하게 제조할 수가 있고, 전력 인출 효율이 높고, 대형화에 적합한 색소 증감 태양 전지 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of said subject, Comprising: It aims at providing the dye-sensitized solar cell which can be manufactured easily, is high in power take-out efficiency, and suitable for enlargement, and its manufacturing method.

본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지는 투명 기판과, 당해 투명 기판 상에 배치되는, 색소를 흡착한 다공질 반도체층과, 당해 다공질 반도체층의 내부 또는 당해 투명 기판과는 반대측의 표면에 배치되고, 깊은 구멍 모양의 다수의 관통공이 불규칙하게 형성됨과 아울러 외부 전극에 전기적으로 접속되는 도전성 금속막과, 당해 투명 기판과 대향하여 설치되는 도전성 기판을 구비하고, 당해 도전성 금속막과 당해 도전성 기판의 사이에 전해질을 가지는 것을 특징으로 한다. The dye-sensitized solar cell according to the present invention is disposed on a transparent substrate, a porous semiconductor layer adsorbed with a dye disposed on the transparent substrate, a surface inside the porous semiconductor layer or on the opposite side to the transparent substrate, A plurality of through-holes having a deep hole shape are irregularly formed, and a conductive metal film electrically connected to an external electrode, and a conductive substrate provided to face the transparent substrate, are provided between the conductive metal film and the conductive substrate. It is characterized by having an electrolyte.

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지는 바람직하게는 상기 도전성 금속막의 두께가 100nm 이상인 것을 특징으로 한다. The dye-sensitized solar cell according to the present invention is preferably characterized in that the thickness of the conductive metal film is 100 nm or more.

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지는 바람직하게는 상기 도전성 금속막의 재료가 내식성 금속인 것을 특징으로 한다. In the dye-sensitized solar cell according to the present invention, the material of the conductive metal film is preferably a corrosion-resistant metal.

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지는 바람직하게는 상기 내식성 금속이 텅스텐, 티타늄 및 니켈로부터 선택되는 1 또는 2종 이상 또는 이들의 화합물인 것을 특징으로 한다. Further, the dye-sensitized solar cell according to the present invention is preferably characterized in that the corrosion resistant metal is one or two or more or a compound thereof selected from tungsten, titanium and nickel.

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법은, 상기의 색소 증감 태양 전지의 제조 방법으로서, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자를 다공질 반도체층 상에 배치하여 미립자층을 형성하는 미립자층 형성 공정과, 당해 미립자층 상에 도전성 금속막을 형성하는 도전성 금속막 형성 공정과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 당해 미립자층을 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가지는 것을 특징으로 한다. Moreover, the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this invention is a manufacturing method of said dye-sensitized solar cell, Comprising: The microparticles | fine-particles which have a shape anisotropy which can be removed by heating or a solvent wash are arrange | positioned on a porous semiconductor layer. And a fine particle layer forming step of forming a fine particle layer, a conductive metal film forming step of forming a conductive metal film on the fine particle layer, and a fine particle layer disappearing step of disappearing the fine particle layer by heating or solvent washing. It features.

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법은, 상기의 색소 증감 태양 전지의 제조 방법으로서, 다공질 반도체 재료와, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자의 혼합층을 다공질 반도체층 상에 형성하는 혼합층 형성 공정과, 당해 혼합층의 표면에 도전성 금속막을 형성하는 도전성 금속막 형성 공정과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 당해 미립자를 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가지는 것을 특징으로 한다. Moreover, the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this invention is a manufacturing method of said dye-sensitized solar cell, The mixed layer of a porous semiconductor material and microparticles | fine-particles which have a shape anisotropy which can be removed by heating or a solvent wash | cleaning. And a mixed layer forming step of forming a conductive metal film on the porous semiconductor layer, a conductive metal film forming step of forming a conductive metal film on the surface of the mixed layer, and a fine particle layer disappearing step of dissipating the fine particles by heating or solvent washing. It features.

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법은, 상기의 색소 증감 태양 전지의 제조 방법으로서, 도전성 금속과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자의 혼합층을 다공질 반도체층 상에 형성하는 혼합층 형성 공정과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 당해 미립자를 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가지는 것을 특징으로 한다. Moreover, the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this invention is a manufacturing method of said dye-sensitized solar cell, Comprising: The mixed layer of electroconductive metal and microparticles | fine-particles which have a shape anisotropy which can be removed by heating or a solvent wash is provided. It is characterized by having the mixed-layer formation process formed on a porous semiconductor layer, and the fine-particle layer disappearance process which loses the said microparticles | fine-particles by heating or a solvent washing | cleaning.

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법은, 바람직하게는 상기 다공질 반도체층과는 다른 다공질 반도체층을 상기 도전성 금속막의 표면에 형성하는 다공질 반도체층 적층 공정을 더 가지는 것을 특징으로 한다. Moreover, the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell concerning this invention, Preferably, it has a porous semiconductor layer lamination process which forms the porous semiconductor layer different from the said porous semiconductor layer on the surface of the said conductive metal film further, It is characterized by the above-mentioned. .

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법은, 바람직하게는 상기 형상 이방성을 가지는 미립자가 다면체의 정점을 선단으로 하는 다수의 다리를 가지는 미립자 또는 침상 미립자인 것을 특징으로 한다. Moreover, the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell concerning this invention, Preferably, the microparticles | fine-particles which have said shape anisotropy are microparticles or needle-like microparticles | fine-particles which have many legs which make the apex of a polyhedron the tip.

본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지는 투명 기판 상에 통상 설치되는 투명 도전막이 생략되고, 이에 대신하여 다공질 반도체층의 내부 또는 당해 투명 기판과는 반대측의 표면에 배치되고, 깊은 구멍 모양의 다수의 관통공이 불규칙하게 형성됨과 아울러 외부 전극에 전기적으로 접속되는 도전성 금속막을 설치하기 때문에, 간이하게 제조할 수가 있고, 전력 인출 효율이 높고, 또 특히 도전성 금속막의 두께를 두껍게 함으로써, 대형화에 적합한 색소 증감 태양 전지로 할 수가 있다.In the dye-sensitized solar cell according to the present invention, a transparent conductive film, which is usually provided on a transparent substrate, is omitted, and instead of being disposed on the inside of the porous semiconductor layer or on the surface opposite to the transparent substrate, Since the through-holes are irregularly formed and a conductive metal film electrically connected to the external electrode is provided, the dye-sensitized mode suitable for the enlargement can be easily manufactured, the power extraction efficiency is high, and especially the thickness of the conductive metal film is thickened. I can do it with a battery.

또, 본 발명에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법은, 상기의 색소 증감 태양 전지의 제조 방법으로서, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자를 도전성 금속막의 구멍의 형성에 이용하기 때문에, 상기의 색소 증감 태양 전지를 매우 적합하게 얻을 수가 있다. Moreover, the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this invention is a manufacturing method of said dye-sensitized solar cell, Comprising: Formation of the hole of a conductive metal film with microparticles | fine-particles which have a shape anisotropy which can be removed by heating or a solvent wash | cleaning. Since it is used for, the said dye-sensitized solar cell can be obtained very suitably.

도 1은 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 단면 구조를 모식적으로 나타내는 도이다.
도 2a는 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법의 제조 공정을 설명하기 위한 전지 부재 구조의 모식도이고, 다공질 반도체층 형성 공정을 설명하기 위한 도이다.
도 2b는 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법의 제조 공정을 설명하기 위한 전지 부재 구조의 모식도이고, 미립자층 형성 공정을 설명하기 위한 도이다.
도 2c는 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법의 제조 공정을 설명하기 위한 전지 부재 구조의 모식도이고, 도전성 금속막 형성 공정을 설명하기 위한 도이다.
도 2d는 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법의 제조 공정을 설명하기 위한 전지 부재 구조의 모식도이고, 미립자층 소실 공정을 설명하기 위한 도이다.
도 3 (A)에 실시예 1의 다공질 Ti 전극을 사용한 경우의 이산화티타늄의 색소 흡착 상태를 나타내고, 도 3 (B)에 다공질 Ti 전극에 대신하여 종래의 방법으로 치밀한 Ti층을 유리 기판 상에 형성한 경우의 유리 기판의 색소 흡착 상태를 나타낸다.
도 4는 색소 증감 태양 전지의 시트(sheet) 저항과 Ti막의 두께의 관계를 나타내는 도이다.
도 5는 색소 증감 태양 전지의 전압과 전류 밀도의 관계를 나타내는 도이다.
FIG. 1: is a figure which shows typically the cross-sectional structure of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment.
FIG. 2A is a schematic diagram of a battery member structure for explaining a manufacturing step of the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell according to the present embodiment, and for illustrating the porous semiconductor layer forming step. FIG.
It is a schematic diagram of a battery member structure for demonstrating the manufacturing process of the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment, and is a figure for demonstrating a fine particle layer formation process.
FIG. 2C is a schematic diagram of a battery member structure for explaining a manufacturing step of the method for manufacturing the dye-sensitized solar cell according to the present embodiment, and for illustrating the conductive metal film forming step. FIG.
It is a schematic diagram of a battery member structure for demonstrating the manufacturing process of the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment, and is a figure for demonstrating a microparticle layer disappearance process.
The pigment | dye adsorption state of titanium dioxide at the time of using the porous Ti electrode of Example 1 for FIG. The dye adsorption state of the glass substrate in the case of forming is shown.
4 is a diagram showing the relationship between the sheet resistance and the thickness of the Ti film of the dye-sensitized solar cell.
5 is a diagram illustrating a relationship between voltage and current density of a dye-sensitized solar cell.

본 발명에 관계되는 색소 증감(增感) 태양 전지 및 그 제조 방법의 매우 적합한 실시의 형태에 대해서 도를 참조하여 이하에 설명한다. A very suitable embodiment of the dye-sensitized solar cell and the method for producing the same according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

예를 들면 도 1에 모식적으로 나타내듯이, 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지(10)는 투명 기판(12)과, 투명 기판(12) 상에 배치되는 색소를 흡착한 다공질 반도체층(14)과, 다공질 반도체층(14)의 투명 기판(12)과는 반대측의 표면에 배치되는 도전성 금속막(16)과, 투명 기판(12)과 대향하여 설치되는 도전막(18)을 구비한 기판(20)(도전성 기판)을 구비한다. 그리고, 도전성 금속막(16)과 도전막(18)을 구비한 기판(20)의 사이에 전해질(22)을 가진다. 또한, 도 1 중 참조 부호 23은 전지 내에 전해질(22)을 밀폐하기 위해서 설치되는 스페이서(spacer)를 나타낸다.For example, as schematically shown in FIG. 1, in the dye-sensitized solar cell 10 according to the present embodiment, the porous semiconductor layer adsorbed the transparent substrate 12 and the dye disposed on the transparent substrate 12. (14), a conductive metal film (16) disposed on the surface of the porous semiconductor layer (14) opposite to the transparent substrate (12), and a conductive film (18) provided opposite the transparent substrate (12). One substrate 20 (conductive substrate) is provided. The electrolyte 22 is provided between the conductive metal film 16 and the substrate 20 provided with the conductive film 18. Reference numeral 23 in FIG. 1 denotes a spacer provided to seal the electrolyte 22 in the battery.

도전성 금속막(16)에는 깊은 구멍 모양의 다수의 관통공(24)이 불규칙하게 형성된다. 여기서, 깊은 구멍 모양의 관통공(24)이란, 도전성 금속막(16)의 두께가 두꺼운 경우에 있어서도 상대적으로 작은 직경을 가지는 구멍이 확실히 도전성 금속막(16)을 관통할 정도의 안길이가 깊은 구멍의 의미이고, 예를 들면 구멍의 직경의 치수에 비해 수배 혹은 수십배 정도의 안길이 치수를 가지는 긴 원기둥 모양의 구멍을 말한다.In the conductive metal film 16, a plurality of through holes 24 having a deep hole shape are irregularly formed. Here, the deep hole-shaped through hole 24 is such that even when the conductive metal film 16 is thick, a hole having a relatively small diameter has a deep depth enough to reliably penetrate the conductive metal film 16. The meaning of a hole, for example, refers to a long cylindrical hole having an depth dimension of several times or several tens of times the diameter of the hole.

도전성 금속막(16)은 예를 들면 도전성 금속막(16)과 동일 재료로 형성되어, 투명 기판(12) 상의 주연(周緣)에 설치되는 외부 전극(집전극(集電極))(26)에 전기적으로 접속된다. 또한, 외부 전극(26)은 투명 기판(12)과는 독립하여 적당한 위치에 설치해도 좋다. 또, 도전성 금속막(16)은 다공질 반도체층(14)의 내부에 설치해도 좋다. 또한, 도전성 금속막(20)을 다공질 반도체층과 교대로 복수 형성해도 좋다.The conductive metal film 16 is formed of, for example, the same material as the conductive metal film 16, and is provided to an external electrode (collecting electrode) 26 provided on the periphery of the transparent substrate 12. Electrically connected. In addition, the external electrode 26 may be provided at a suitable position independently of the transparent substrate 12. In addition, the conductive metal film 16 may be provided inside the porous semiconductor layer 14. Alternatively, a plurality of conductive metal films 20 may be formed alternately with the porous semiconductor layer.

도전성 금속막(16)은 바람직하게는 적어도 다공질 반도체층(14)의 재료를 소성하는데 필요한 온도의 열이력을 가지지 않는 것으로서, 500℃보다도 충분히 낮은 온도, 보다 바람직하게는 200℃ 이하 정도의 열이력을 가지는 것, 또는 실질적으로 가열 공정을 거치고 있지 않은 것을 말한다. 또, 다공질 반도체층(14)은 바람직하게는 도전성 금속막(16)을 관통하는 구멍과 연통하는 구멍을 가진다. The conductive metal film 16 preferably does not have a thermal history of at least the temperature required for firing the material of the porous semiconductor layer 14, and is sufficiently lower than 500 ° C, more preferably about 200 ° C or less. The thing which has a thing or what does not go through a heating process substantially. In addition, the porous semiconductor layer 14 preferably has a hole communicating with the hole passing through the conductive metal film 16.

투명 기판(12) 및 기판(20)은 예를 들면 유리판이라도 좋고 혹은 플라스틱판이라도 좋다. 플라스틱판을 이용하는 경우, 예를 들면 PET, PEN, 폴리이미드, 경화 아크릴 수지, 경화 에폭시 수지, 경화 실리콘 수지, 각종 엔지니어링 플라스틱스(engineering plastics), 메타세시스(metathesis) 중합으로 얻어지는 환상 폴리머 등을 들 수 있다.The transparent substrate 12 and the substrate 20 may be, for example, a glass plate or a plastic plate. When using a plastic plate, PET, PEN, polyimide, cured acrylic resin, cured epoxy resin, cured silicone resin, various engineering plastics, cyclic polymer obtained by metathesis polymerization, etc. are mentioned, for example. Can be.

도전막(18)은 예를 들면 ITO(주석을 도프(dope)한 인듐막)라도 좋고, 또 FTO(불소를 도프한 산화주석막)라도 좋고, 혹은 또 SnO2막이라도 좋지만, 보다 바람직하게는 백금막이다. The conductive film 18 may be, for example, ITO (indium film doped with tin), FTO (tin oxide film doped with fluorine), or SnO 2 film, but more preferably, It is a platinum film.

다공질 반도체층(14)에 흡착시키는 색소는 400nm~1000nm의 파장에 흡수를 가지는 것이고, 예를 들면, 루테늄 색소, 프탈로시아닌 색소 등의 금속 착체, 시아닌 색소 등의 유기 색소를 들 수가 있다. The pigment | dye made to adsorb | suck to the porous semiconductor layer 14 has absorption in the wavelength of 400 nm-1000 nm, For example, metal complexes, such as a ruthenium pigment and a phthalocyanine pigment, and organic pigments, such as a cyanine pigment, are mentioned.

전해질(전해액)(22)은 요오드, 리튬 이온, 이온 액체, t-부틸피리딘 등을 포함하는 것이고, 예를 들면 요오드의 경우, 요오드화물 이온 및 요오드의 조합으로 이루어지는 산화환원체를 이용할 수가 있다. 산화환원체는 이것을 용해 가능한 적당한 용매를 포함한다. The electrolyte (electrolyte) 22 contains iodine, lithium ions, ionic liquids, t-butylpyridine, and the like. For example, in the case of iodine, a redox body composed of a combination of iodide ions and iodine can be used. The redox agent includes a suitable solvent in which it can be dissolved.

다공질 반도체층(14)은 그 두께를 특히 한정하는 것은 아니지만, 바람직하게는 14μm 이상의 두께로 한다.Although the thickness of the porous semiconductor layer 14 does not specifically limit, Preferably it is 14 micrometers or more in thickness.

태양광의 변환 효율을 향상시키는 방법의 하나로서, 다공질 반도체층의 두께를 두껍게 하여 태양광의 흡수 효율을 올리는 방법이 생각된다. 그렇지만, 전자 확산 길이가 다공질 반도체층의 두께 치수를 넘어 버리면, 그 이상 다공질 반도체층의 두께를 두껍게 해도 효과가 없고, 반대로 개방 전압이 저하되어 변환 효율이 저하되는 문제가 있다.As one of the methods of improving the conversion efficiency of sunlight, the method of increasing the absorption efficiency of sunlight by making the thickness of a porous semiconductor layer thick is considered. However, if the electron diffusion length exceeds the thickness dimension of the porous semiconductor layer, even if the thickness of the porous semiconductor layer is further thickened, there is no effect. On the contrary, there is a problem that the opening voltage is lowered and the conversion efficiency is lowered.

이에 반해, 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지(10)에 의하면, 집전층으로서 작용하는 도전성 금속막(16)을 통하여 다공질 반도체층(14) 내를 전자가 용이하게 이동하고, 또 도전성 금속막(16)으로부터 전해질(22)에의 전하 이동 저항이 크고, 역전자 이동이 일어나기 어렵기 때문에, 다공질 반도체층(14)의 두께를 예를 들면 14μm 이상으로 두껍게 한 경우에 있어서도 높은 변환 효율이 얻어진다. 다공질 반도체층(16)의 두께의 상한은 얻어지는 변환 효율의 값 등에 따라 적당히 설정되지만, 예를 들면 40μm 정도이다. 또한, 다공질 반도체층(14)이 통상의 두께를 가지는 경우에도 본 발명을 매우 적합하게 적용할 수 있는 것은 물론이다. In contrast, according to the dye-sensitized solar cell 10 according to the present embodiment, the electrons move easily in the porous semiconductor layer 14 through the conductive metal film 16 serving as the current collector layer, and the conductivity Since the charge transfer resistance from the metal film 16 to the electrolyte 22 is large and reverse electron transfer is unlikely to occur, high conversion efficiency is achieved even when the thickness of the porous semiconductor layer 14 is thickened to 14 μm or more, for example. Obtained. Although the upper limit of the thickness of the porous semiconductor layer 16 is suitably set according to the conversion efficiency value etc. obtained, it is about 40 micrometers, for example. It goes without saying that the present invention can be suitably applied even when the porous semiconductor layer 14 has a normal thickness.

다공질 반도체층(14)의 반도체 재료로서, 예를 들면, 티타늄, 주석, 지르코늄, 아연, 인듐, 텅스텐, 철, 니켈 혹은 은 등의 금속의 산화물을 이용할 수가 있지만, 이 중 티타늄 산화물(이산화티타늄)이 보다 바람직하다.As the semiconductor material of the porous semiconductor layer 14, for example, oxides of metals such as titanium, tin, zirconium, zinc, indium, tungsten, iron, nickel, or silver can be used. Among these, titanium oxide (titanium dioxide) This is more preferable.

티타늄 산화물의 미립자에는 입경이 10nm 이하의 작은 것이나 20~30nm 정도의 큰 것 등이 있다. 전자로 막을 만든 경우 비교적 치밀한 막이 생기고, 한편 후자의 미립자로 막을 만든 경우에는 다공성의 막이 형성된다. 산화주석과 같은 투명 도전막의 표면에는 요철이 있고, 그 요철을 커버리지(coverage) 좋게 덮기 위해서, 비교적 치밀한 다공질 반도체층(14)을 이용하는 것이 바람직하다. 이 때문에 다공질 반도체층(14)을 예를 들면 2층 구성으로 하고, 투명 도전막측의 제1층을 입경이 작은 티타늄 산화물의 미립자로 형성하고, 제1층의 표면에 형성되는 제2층을 입경이 제1층에 비해 큰 티타늄 산화물의 미립자로 형성하는 것은 바람직한 실시 태양이다. The fine particles of titanium oxide include small particles having a particle diameter of 10 nm or less, large ones of about 20 to 30 nm, and the like. When the former film is made, a relatively dense film is formed. On the other hand, when the latter fine film is made, a porous film is formed. The surface of the transparent conductive film such as tin oxide has irregularities, and in order to cover the irregularities with good coverage, it is preferable to use the relatively dense porous semiconductor layer 14. For this reason, the porous semiconductor layer 14 is made into a 2-layer structure, for example, and the 1st layer by the side of a transparent conductive film is formed from the particle | grains of a titanium oxide with a small particle diameter, and the 2nd layer formed in the surface of a 1st layer has a particle diameter. It is a preferred embodiment to form the fine particles of titanium oxide larger than that of the first layer.

도전성 금속막(16)은 적당한 도전성을 가지는 것인 한 적당한 금속을 선정하여 이용할 수가 있다. 여기서, 금속이란 금속 단체뿐만 아니라 금속 산화물 등의 금속 화합물이나 합금을 포함한다. 도전성 금속막(16)은 금속의 표면을 치밀한 산화물 반도체, 예를 들면 이산화티타늄에 의해 피복한 것이라도 좋다.The conductive metal film 16 can be selected and used as long as it has a suitable conductivity. Here, the metal includes not only a metal single metal but also a metal compound and an alloy such as a metal oxide. The conductive metal film 16 may be coated with a dense oxide semiconductor, for example, titanium dioxide, on the surface of the metal.

다만, 요오드 등의 산화환원체를 포함하는 전해질(18)에 의한 도전성 금속막(20)의 부식을 확실히 막는 관점에서는, 내식성 금속을 이용하는 것이 보다 바람직하다.However, from the viewpoint of reliably preventing corrosion of the conductive metal film 20 by the electrolyte 18 containing redox, such as iodine, it is more preferable to use a corrosion resistant metal.

내식성 금속으로서는 텅스텐(W), 티타늄(Ti) 혹은 니켈(Ni) 또는 이들의 혼합물, 혹은 이들의 금속 화합물을 매우 적합하게 이용할 수가 있지만, 이들 이외에도 예를 들면 표면을 부동태화(不動態化)한 금속을 이용할 수가 있다. As the corrosion resistant metals, tungsten (W), titanium (Ti) or nickel (Ni) or mixtures thereof or metal compounds thereof can be used suitably, but other than these, for example, the surface is passivated. Metals can be used.

도전성 금속막(16)은 예를 들면 도포법 등의 간이한 방법으로 다공질 반도체층(16)의 표면에 형성할 수가 있지만, 바람직하게는 스퍼터링(sputtering)에 의해 형성한다. 또한, 이때 예를 들면 미리 다공질 반도체층(14)의 단부 등을 적당한 방법으로 깎아 두어 외부 전극(26)과의 접속부를 형성한다.The conductive metal film 16 can be formed on the surface of the porous semiconductor layer 16 by a simple method such as, for example, a coating method, but is preferably formed by sputtering. In addition, at this time, the edge part of the porous semiconductor layer 14 etc. are cut out by a suitable method previously, for example, and the connection part with the external electrode 26 is formed.

도전성 금속막(16)의 두께는 막의 면적 저항을 작게 하는 관점에서는 두꺼우면 두꺼운 쪽이 바람직하고, 바람직하게는 100nm 이상이고, 보다 바람직하게는 200nm 이상이다. 도전성 금속막(16)의 두께의 상한은 특히 한정되는 것은 아니지만 예를 들면 5μm 정도이다.The thickness of the conductive metal film 16 is preferably thicker from the viewpoint of reducing the area resistance of the film, preferably 100 nm or more, and more preferably 200 nm or more. Although the upper limit of the thickness of the conductive metal film 16 is not specifically limited, For example, it is about 5 micrometers.

또, 도전성 금속막(16)은 다공질 반도체층을 사이에 끼워, 즉 다공질 반도체층과 교대로 복수 형성해도 좋다.The conductive metal film 16 may be provided with a plurality of porous semiconductor layers interposed therebetween, that is, alternately with the porous semiconductor layer.

도전성 금속막(16)에 형성되는 깊은 구멍 모양의 다수의 관통공(24)의 형성 방법에 대해서는 후술한다. 관통공(24)은 불규칙하게 배치되고, 제조 조건에 따라서는 무수히 형성되지만, 전해질(22)을 충분히 침투, 투과시킬 수 있는 것인 한 적당한 수 형성되면 충분하다. 깊은 구멍 모양의 관통공(24)은 예를 들면 비특허문헌 1과 같은 랜덤(random)한 작은 구멍에 비해 전해질(22)의 다공질 반도체층(14)에의 확산성이 높다. The formation method of the many deep hole through-holes 24 formed in the electroconductive metal film 16 is mentioned later. The through holes 24 are irregularly arranged and are formed innumerable depending on the manufacturing conditions. However, as long as the through holes 24 can penetrate and permeate the electrolyte 22 sufficiently, it is sufficient to form an appropriate number. The deep hole-shaped through hole 24 has a high diffusivity to the porous semiconductor layer 14 of the electrolyte 22 as compared to random small holes such as, for example, Non Patent Literature 1.

본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지는 투명 기판 상에 통상 설치되는 투명 도전막이 생략되고, 이에 대신하여 다공질 반도체층의 표면 등에 도전성 금속막을 설치함과 아울러, 도전성 금속막에는 깊은 구멍 모양의 다수의 관통공이 불규칙하게 형성되기 때문에, 관통공을 통하여 전해질(22)을 다공질 반도체층에 충분히 침투, 투과시킬 수 있고, 이에 의해 색소 증감 태양 전지의 전력 인출 효율이 높고, 또 색소 증감 태양 전지를 간이하게 제조할 수가 있다. 또, 도전성 금속막의 두께를 두껍게 함으로써, 도전성 금속막의 면적 저항을 작게 할 수가 있어 대형화에 적합한 색소 증감 태양 전지로 할 수가 있다. In the dye-sensitized solar cell according to the present embodiment, the transparent conductive film usually provided on the transparent substrate is omitted, and instead of providing a conductive metal film on the surface of the porous semiconductor layer, the conductive metal film has a deep hole shape. Since a large number of through holes are irregularly formed, the electrolyte 22 can be sufficiently penetrated and permeated through the porous semiconductor layer through the through holes, whereby the power extraction efficiency of the dye-sensitized solar cell is high, and the dye-sensitized solar cell is provided. It can be manufactured easily. Moreover, by making the thickness of a conductive metal film thick, the area resistance of a conductive metal film can be made small and it can be set as the dye-sensitized solar cell suitable for enlargement.

여기서, 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법으로서 매우 적합한 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법에 대해서 설명한다.Here, the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment very suitable as a manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment is demonstrated.

본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법은, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자를 다공질 반도체층 상에 배치하여 미립자층을 형성하는 미립자층 형성 공정과, 미립자층 상에 도전성 금속막을 형성하는 도전성 금속막 형성 공정과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 당해 미립자층을 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가진다.The manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment is a microparticle layer formation process of forming the microparticle layer by arrange | positioning the microparticle which has a shape anisotropy which can be removed by heating or a solvent wash on a porous semiconductor layer; And a conductive metal film forming step of forming a conductive metal film on the fine particle layer and a fine particle layer disappearing step of disappearing the fine particle layer by heating or by solvent washing.

이하, 제조 공정을 모식적으로 나타내는 도 2a~도 2d를 참조하여 제조예를 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a manufacturing example is demonstrated concretely with reference to FIG. 2A-FIG. 2D which shows a manufacturing process typically.

우선, 투명 기판(12)에 다공질 반도체층(14)의 재료를 도포하고 다공질 반도체층(14)을 형성한다(도 2a 참조). 여기서, 다공질 반도체층(14)은 다공질 반도체층(14)의 재료를 도포한 후 소성한 것을 말한다.First, the material of the porous semiconductor layer 14 is applied to the transparent substrate 12 to form the porous semiconductor layer 14 (see FIG. 2A). Here, the porous semiconductor layer 14 refers to a material that is baked after applying the material of the porous semiconductor layer 14.

다음에, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자(28)를 다공질 반도체층(14) 상에 배치하여 미립자층을 형성한다(미립자층 형성 공정 도 2b 참조).Next, the fine particles 28 having the shape anisotropy, which can be removed by heating or by solvent washing, are disposed on the porous semiconductor layer 14 to form a fine particle layer (see FIG. 2B of the particulate layer forming step).

다음에, 미립자층 상에 도전성 금속막(16)을 형성한다(도전성 금속막 형성 공정 도 2c 참조).Next, a conductive metal film 16 is formed on the fine particle layer (conductive metal film forming step, see FIG. 2C).

다음에, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 미립자층을 소실시킨다. 이에 의해 도전성 금속막(16)에 다수의 깊은 구멍인 관통공(24)이 불규칙하게 형성된다(미립자층 소실 공정 도 2d 참조).Next, the fine particle layer is lost by heating or by solvent washing. As a result, the through-holes 24, which are a plurality of deep holes, are irregularly formed in the conductive metal film 16 (see FIG. 2D of the particulate layer disappearing step).

다음에, 다공질 반도체층에 색소를 첨착(添着)한다.Next, a dye is attached to the porous semiconductor layer.

또한, 도전막을 구비한 기판을 투명 기판에 대향 배치하고, 스페이서(spacer)로 봉지(封止)함과 아울러 전해액을 주입함으로써 색소 증감 태양 전지가 완성한다.Further, the dye-sensitized solar cell is completed by placing the substrate having the conductive film opposite to the transparent substrate, sealing with a spacer, and injecting an electrolyte solution.

또한, 앞서 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 설명의 부분에서 언급한 것처럼, 도전성 금속막은 적당한 공정에 있어서 적당한 구성으로 되는 외부 전극에 전기적으로 접속시킨다. In addition, as mentioned above in the description of the dye-sensitized solar cell according to the present embodiment, the conductive metal film is electrically connected to an external electrode having a suitable configuration in a suitable step.

사용하는 미립자의 재료는, 가열에 의해 미립자층을 제거할 때는 다공질 반도체층 등의 미리 형성한 층에 열적 손상을 주지 않는 온도에서 열분해되어 소실되는 것을 이용하여, 그 열분해 온도 부근의 온도에서 소성한다. 이 다공질 반도체층 등의 미리 형성한 층에 열적 손상을 주지 않는 온도는, 예를 들면 500℃보다도 충분히 낮은 온도를 말하고, 보다 바람직하게는 200℃ 이하 정도이다. 이에 의해 예를 들면 500℃ 이상의 온도에서 도전성 금속막(16)을 가열한 때에 일어날 수 있는 도전성 금속막(16)에의 열적 영향도 경감된다. 또, 용제 세정에 의해 미립자층을 제거할 때는, 다공질 반도체층 등의 미리 형성한 층에 화학적 손상을 주지 않는 용제와, 그 용제를 이용한 세정에 의해 용이하게 제거 가능한 미립자 재료를 조합하여 이용한다.When the fine particle layer is removed by heating, the material of the fine particle to be used is thermally decomposed at a temperature that does not thermally damage a pre-formed layer such as a porous semiconductor layer, and is burned at a temperature near the pyrolysis temperature. . The temperature which does not thermally damage the previously formed layers, such as this porous semiconductor layer, means temperature lower than 500 degreeC, for example, More preferably, it is about 200 degrees C or less. Thereby, for example, the thermal effect on the conductive metal film 16 which may occur when the conductive metal film 16 is heated at a temperature of 500 ° C. or higher is also reduced. In addition, when removing a microparticle layer by solvent washing, it uses combining the solvent which does not cause chemical damage to previously formed layers, such as a porous semiconductor layer, and the particulate material which can be easily removed by washing | cleaning using this solvent.

이러한 미립자 재료는 특히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 폴리스티렌이나 폴리메타크릴산메틸 등의 수지나 산화아연 등의 금속 산화물을 매우 적합하게 이용할 수가 있다. 또, 용제 세정에 이용하는 용제는 특히 한정되는 것은 아니고, 미립자 재료에 맞추어 적당히 선택하면 좋고, 예를 들면 수지를 용해할 수가 있는 톨루엔 등의 유기용제나, 금속을 용해할 수가 있는 묽은 염산 등의 산을 이용할 수가 있다. Although such a particulate material is not specifically limited, For example, resin, such as polystyrene and polymethyl methacrylate, and metal oxide, such as zinc oxide, can be used suitably. Moreover, the solvent used for solvent washing is not specifically limited, What is necessary is just to select suitably according to a particulate material, For example, organic solvents, such as toluene which can melt | dissolve resin, and acids, such as dilute hydrochloric acid which can melt | dissolve a metal. Can be used.

상기의 재료로 형성되는 미립자는 형상 이방성을 가지는 것을 이용한다. 이러한 미립자로서 바람직하게는, 다면체의 정점을 선단으로 하는 다수의 다리를 가지는 미립자 또는 침상 미립자를 이용한다.The microparticles | fine-particles formed from said material use what has shape anisotropy. As such microparticles | fine-particles, microparticles | fine-particles or needle-like microparticles | fine-particles which have many legs which make the apex of a polyhedron tip are used.

다면체의 정점을 선단으로 하는 다수의 다리를 가지는 미립자를 이용하는 경우, 예를 들면 미립자가 다공질 반도체층 상에 1층만 산포 등으로 된 때라도, 미립자 상에 형성되는 적당히 두께가 두꺼운 도전성 금속막을 확실히 관통하여 구멍을 형성할 수가 있는 정도의 치수를 가지는 것이 바람직하고, 그러한 미립자의 치수는 도전성 금속막의 두께에 따라 다르지만, 예를 들면 1~30μm이다.In the case of using the fine particles having a plurality of legs with the apex of the polyhedron at the tip, for example, even when the fine particles are dispersed in only one layer on the porous semiconductor layer, for example, the conductive metal film reliably penetrates the moderately thick conductive metal film formed on the fine particles. It is preferable to have the dimension of the grade which can form a hole, and although the dimension of such microparticles | fine-particles changes with the thickness of a conductive metal film, it is 1-30 micrometers, for example.

한편, 침상 미립자를 이용하는 경우, 예를 들면 일렉트로닉스 스프레이법에 의해 산포함으로써, 침상 미립자를 다공질 반도체층 상에 일어나거나 혹은 선 상태로 할 수가 있다. 이 때문에 그러한 침상 미립자의 치수는 특히 한정되는 것은 아니지만, 도전성 금속막의 두께에 따라 적당한 길이로 하고, 또 다공질 반도체층 상에 침상 미립자가 서로 겹치도록 산포하는 것이 바람직하다.On the other hand, in the case of using needle-like fine particles, the needle-like fine particles can be formed on the porous semiconductor layer or in a linear state by being dispersed by, for example, an electronic spray method. For this reason, although the dimension of such acicular fine particles is not specifically limited, it is preferable to make it suitable length according to the thickness of a conductive metal film, and to spread so that acicular fine particles may overlap each other on a porous semiconductor layer.

이들 형상 이방성을 가지는 미립자를 다공질 반도체층(14) 상에 배치함으로써, 미립자를 소실시킨 후의 다공질 반도체층(14)에도 깊은 구멍이 형성된다. 그리고, 상기 도전성 금속막을 관통하는 구멍과 연통하는 이 깊은 구멍을 통하여 다공질 반도체층(14)의 내부에서의 전해액의 침투, 확산이 보다 양호하게 행해진다. By arranging the fine particles having these shape anisotropies on the porous semiconductor layer 14, deep holes are also formed in the porous semiconductor layer 14 after the fine particles are lost. Further, penetration and diffusion of the electrolyte solution inside the porous semiconductor layer 14 are performed better through this deep hole communicating with the hole penetrating the conductive metal film.

본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법에 의해, 미립자층 상에 비교적 안정한 도전성 금속막을 증착법이나 도포법 등의 적당한 방법에 의해 용이하게 형성할 수가 있고, 또 가열 등에 의해 미립자층이 제거되는 과정에서 도전성 금속막에 불규칙하게 배치되는 다수의 깊이가 깊은 혹은 안길이가 큰 긴 원기둥 모양의 관통공을 용이하게 형성할 수가 있다. By the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment, a comparatively stable conductive metal film can be easily formed on a microparticle layer by suitable methods, such as a vapor deposition method and an application | coating method, and a microparticle layer is formed by heating etc. In the process of removal, it is possible to easily form a plurality of deep cylindrical or long cylindrical through holes irregularly disposed on the conductive metal film.

또, 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법에 있어서, 다공질 반도체 재료와, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자의 혼합층을 다공질 반도체층 상에 형성하는 혼합층 형성 공정과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 미립자를 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가지도록 구성해도 좋다.Moreover, in the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment, the porous semiconductor material and the mixed layer of microparticles | fine-particles which have a shape anisotropy which can be removed by heating or a solvent washing are formed on a porous semiconductor layer. You may comprise so that it may have a mixed layer formation process and the fine particle layer disappearance process which loses a microparticle by heating or a solvent washing | cleaning.

이에 의해 불규칙하게 배치되는 다수의 관통공이 형성된 도전성 금속막이 얻어지고, 미립자와 혼합한 다공질 반도체 재료는 미립자를 용해시킨 후, 도전성 금속을 지탱하는 기둥으로 되어 보다 강고하게 도전성 금속막을 지탱한다. As a result, a conductive metal film having a large number of irregularly arranged through-holes is obtained, and the porous semiconductor material mixed with the fine particles becomes a column supporting the conductive metal after dissolving the fine particles, thus more firmly supporting the conductive metal film.

또, 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법에 있어서, 도전성 금속과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자의 혼합층을 다공질 반도체층 상에 형성하는 혼합층 형성 공정과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 미립자를 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가지도록 구성해도 좋다.Moreover, in the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment, the mixed layer which forms the mixed layer of an electroconductive metal and microparticles | fine-particles which have a shape anisotropy which can be removed by heating or a solvent washing | cleaning on a porous semiconductor layer. You may comprise so that it may have a formation process and the fine particle layer disappearance process which loses a microparticle by heating or a solvent washing | cleaning.

이에 의해 다공질 반도체층의 표면에 불규칙하게 배치되는 다수의 관통공이 형성된 도전성 금속막이 얻어진다. 본 제조 방법에 의하면, 도전성 금속과 미립자의 혼합층을 1개의 공정으로 형성하기 때문에 제조 공정이 간략화된다. As a result, a conductive metal film having a plurality of through holes formed irregularly on the surface of the porous semiconductor layer is obtained. According to this manufacturing method, since the mixed layer of electroconductive metal and microparticles | fine-particles is formed in one process, a manufacturing process is simplified.

또, 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법에 있어서, 다공질 반도체층과는 다른 다공질 반도체층을 도전성 금속막의 표면에 형성하는 다공질 반도체층 적층 공정을 더 가지도록 구성해도 좋다. Moreover, in the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment, you may comprise so that the porous semiconductor layer lamination process of forming a porous semiconductor layer different from a porous semiconductor layer on the surface of a conductive metal film may be carried out.

이상 설명한 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법에 의하면, 제조 방법이 간이하고, 또 도전성 금속막에 깊이가 깊은 다수의 관통공을 확실히 형성할 수가 있기 때문에, 본 실시의 형태에 관계되는 색소 증감 태양 전지를 매우 적합하게 얻을 수가 있다. According to the manufacturing method of the dye-sensitized solar cell which concerns on this embodiment demonstrated above, since a manufacturing method is simple and many through-holes with deep depth can be reliably formed in a conductive metal film, in this embodiment, The dye-sensitized solar cell concerned can be obtained very suitably.

<실시예><Examples>

실시예 및 비교예를 들어 본 발명을 더 설명한다. 또한, 본 발명은 이하에 설명하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. The present invention will be further described with reference to Examples and Comparative Examples. In addition, this invention is not limited to the Example demonstrated below.

(실시예 1)(Example 1)

유리 기판에 이산화티타늄 페이스트(HT 페이스트 1층, D 페이스트 5층, 솔라로닉스사제)를 20μm의 두께로 도포하고, 500℃에서 30분 소성하여 이산화티타늄(이산화티타늄층, 다공질 반도체층)을 형성하였다. 소성 기판의 이산화티타늄 표면에 산화아연의 테트라포드(tetrapod)형 결정(상품명: 파나테트라, 최대 치수의 범위 2~20μm, 마츠시타전공사제)를 일렉트로스프레이(electrospray)법에 의해 분산시켰다. 이후 스퍼터(sputter)에 의해 Ti막(Ti층)을 형성하였다(막 두께 300nm). 잔존하는 테트라포드형 결정을 묽은 염산으로 린스(rinse)함으로써 제거하였다. 이에 의해 다공질의 Ti층을 제작하였다.Titanium dioxide paste (1 layer of HT paste, 5 layers of D paste, manufactured by Solarix) was applied to the glass substrate at a thickness of 20 μm, and baked at 500 ° C. for 30 minutes to form titanium dioxide (titanium dioxide layer, porous semiconductor layer). . A tetrapod-type crystal of zinc oxide (trade name: Panatetra, 2-20 µm in maximum dimension, manufactured by Matsushita Electric Co., Ltd.) of zinc oxide was dispersed on the titanium dioxide surface of the fired substrate by an electrospray method. After that, a Ti film (Ti layer) was formed by sputtering (film thickness of 300 nm). The remaining tetrapod-type crystals were removed by rinsing with dilute hydrochloric acid. As a result, a porous Ti layer was produced.

다음에, 0.05wt%의 색소 용액(블랙다이, 솔라로닉스사제, 아세트니트릴:t-부틸알코올=1:1)에 상기의 Ti층을 형성한 기판을 침지하였다(20시간).Next, the substrate on which the Ti layer was formed was immersed in a 0.05 wt% dye solution (black die, manufactured by Solaronics Inc., acetonitrile: t-butyl alcohol = 1: 1) (20 hours).

대극(對極)에는 백금 스퍼터 처리를 행한 불소 도프(dope) 산화주석 유리(솔라로닉스사제)를 사용하였다. Ti층을 형성한 기판과 대극을 50μm 두께의 스페이서(하이미란, 미츠이듀퐁사)로 봉지하였다. 얻어진 셀 안에 요오드 40mM, LiI 500mM, t-부틸피리딘 580mM의 아세트니트릴 용액으로 이루어지는 전해액을 주입하여, 5mm각(角)의 전지(전지 셀)를 제작하였다.In the counter electrode, a fluorine-doped tin oxide glass (manufactured by Solaronics Co., Ltd.) subjected to platinum sputtering was used. The substrate and the counter electrode on which the Ti layer was formed were encapsulated with a spacer having a thickness of 50 µm (Himir, Mitsui Dupont). An electrolyte solution composed of an acetonitrile solution of 40 mM of iodine, 500 mM of LiI, and 580 mM of t-butylpyridine was injected into the obtained cell to prepare a 5 mm square battery (battery cell).

제작한 태양 전지 특성을, 솔라 시뮬레이터(solar simulator)를 이용하여 AM 1.5, 100mW/cm2의 의사 태양광을 색소 증감 태양 전지에 조사하고, 측정하여 평가한 바, 10.7%의 효율을 얻었다. The produced solar cell characteristics were irradiated with a dye-sensitized solar cell of AM 1.5 and 100 mW / cm 2 using a solar simulator, and measured and evaluated. An efficiency of 10.7% was obtained.

(실시예 2)(Example 2)

산화아연의 테트라포드형 결정(상품명: 파나테트라, 마츠시타전공)을 그대로 사용하는 방법에 대신하여, 산화아연의 테트라포드형 결정(파나테트라, 마츠시타전공사제)을 분쇄하여 침상으로 된 산화아연 결정을 이용한 것 외에는 실시예 1과 마찬가지의 방법으로 5mm각(角) 및 50mm각의 전지를 제작하였다.Zinc oxide crystals obtained by pulverizing zinc oxide tetrapod crystals (Panathetra, Matsushita Electric Co., Ltd.) instead of using the tetrapod type crystals (trade name: Panatetra, Matsushita Electric Co., Ltd.) as they are. A battery of 5 mm square and 50 mm square was produced in the same manner as in Example 1.

제작한 5mm각의 태양 전지 특성을 실시예 1과 마찬가지의 방법으로 평가한 바, 10.7%의 효율을 얻었다. 또, 제작한 50mm각의 효율은 8%이고, 대면적화해도 성능의 저하는 적었다. When the produced 5 mm square solar cell characteristics were evaluated by the method similar to Example 1, the efficiency of 10.7% was obtained. Moreover, the efficiency of the produced 50 mm angle was 8%, and even if it enlarged large area, the performance degradation was small.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

투명 도전막 기판(니혼판유리사제, lowE 유리)에 이산화티타늄 페이스트(HT 페이스트 1층, D 페이스트 5층, 솔라로닉스사제)를 20μm의 두께로 도포하고, 500℃에서 30분 소성하여 이산화티타늄(이산화티타늄층, 다공질 반도체층)을 형성하였다. 이 기판을 0.05wt%의 색소 용액(블랙다이, 솔라로닉스사제, 아세트니트릴:t-부틸알코올=1:1)에 침지하였다(20시간). 대극에는 백금 스퍼터 처리를 행한 불소 도프 산화주석 유리(솔라로닉스사제)를 사용하였다. 이산화티타늄 기판과 대극을 50μm 두께의 스페이서(하이미란, 미츠이듀퐁사)로 봉지하였다. 전해액에는 요오드 40mM, LiI 500mM, t-부틸피리딘 580mM의 아세트니트릴 용액을 이용하였다.Titanium dioxide paste (1 layer of HT paste, 5 layers of D paste, made by Solarix) was applied to a transparent conductive film substrate (made by Nippon Plate Glass Co., Ltd., lowE glass) at a thickness of 20 μm, fired at 500 ° C. for 30 minutes, and then titanium dioxide ( Titanium layer, porous semiconductor layer). This substrate was immersed in 0.05 wt% of a dye solution (black die, manufactured by Solaronics Inc., acetonitrile: t-butyl alcohol = 1: 1) (20 hours). In the counter electrode, a fluorine-doped tin oxide glass (manufactured by Solaronics Co., Ltd.) subjected to platinum sputtering was used. The titanium dioxide substrate and the counter electrode were encapsulated with a spacer having a thickness of 50 μm (Hymirran, Mitsui DuPont). As the electrolyte solution, an acetonitrile solution of 40 mM of iodine, 500 mM of LiI, and 580 mM of t-butylpyridine was used.

제작한 5mm각의 태양 전지 특성을 실시예 1과 마찬가지의 방법으로 평가한 바, 10.5%의 효율을 얻었다. 또, 제작한 50mm각의 태양 전지를 제작한 바, 효율은 3%이고, 대면적화에 의해 성능이 큰 폭으로 저하되었다. When the produced 5 mm square solar cell characteristics were evaluated by the method similar to Example 1, the efficiency of 10.5% was obtained. Moreover, when the produced 50 mm square solar cell was produced, the efficiency was 3% and the performance fell largely by the large area.

(실시예 3)(Example 3)

PET 기판(두께 1mm)에 이산화티타늄 페이스트(P25, 물/에탄올 혼합 용매)를 10μm의 두께로 도포하고, 150℃에서 30분 가열하여 이산화티타늄(이산화티타늄층, 다공질 반도체층)을 형성하였다. 이 기판에 산화아연의 테트라포드형 결정(상품명: 파나테트라, 최대 치수의 범위 2~20μm, 마츠시타전공사제)을 이산화티타늄 표면에 일렉트로스프레이법에 의해 분산시켰다. 이후 스퍼터에 의해 Ti막을 형성하였다(막 두께 300nm). 잔존하는 산화아연 구(球)를 묽은 염산으로 린스함으로써 제거하였다. 이에 의해 다공질의 Ti층을 제작하였다.Titanium dioxide paste (P25, water / ethanol mixed solvent) was applied to a PET substrate (thickness 1 mm) at a thickness of 10 μm, and heated at 150 ° C. for 30 minutes to form titanium dioxide (titanium dioxide layer, porous semiconductor layer). A tetrapod-type crystal of zinc oxide (trade name: Panatetra, 2 to 20 µm in maximum dimension, manufactured by Matsushita Electric Works) was dispersed on the surface of the titanium dioxide by an electrospray method. Then, a Ti film was formed by sputtering (film thickness of 300 nm). The remaining zinc oxide spheres were removed by rinsing with dilute hydrochloric acid. As a result, a porous Ti layer was produced.

다음에, 0.05wt%의 색소 용액(블랙다이, 솔라로닉스사제, 아세트니트릴:t-부틸알코올=1:1)에 상기의 Ti층을 형성한 기판을 침지하였다(20시간).Next, the substrate on which the Ti layer was formed was immersed in a 0.05 wt% dye solution (black die, manufactured by Solaronics Inc., acetonitrile: t-butyl alcohol = 1: 1) (20 hours).

대극에는 백금 스퍼터 처리를 행한 티타늄판(솔라로닉스사제)을 사용하였다. Ti층을 형성한 기판과 대극을 25μm 두께의 스페이서(하이미란, 미츠이듀퐁사)로 봉지하였다. 얻어진 셀 안에 요오드 40mM, LiI 500mM, t-부틸피리딘 580mM의 아세트니트릴 용액으로 이루어지는 전해액을 주입하여, 5mm각 및 50mm각의 전지를 제작하였다.As a counter electrode, a titanium plate (manufactured by Solaronics Co., Ltd.) subjected to platinum sputtering was used. The substrate and the counter electrode on which the Ti layer was formed were encapsulated with a spacer having a thickness of 25 μm (Hymir, Mitsui Dupont). Into the obtained cell, an electrolyte solution composed of 40 mM of iodine, 500 mM of LiI, and 580 mM of t-butylpyridine was injected to prepare a 5 mm and 50 mm square battery.

제작한 태양 전지 특성을, 솔라 시뮬레이터를 이용하여 AM 1.5, 100mW/cm2의 의사 태양광을 색소 증감 태양 전지에 조사하고, 측정하여 평가한 바, 5mm각의 전지에 대해서 4.5%, 50mm각의 전지에 대해서 4%의 효율이 얻어지고, 대면적화해도 성능의 저하는 적었다. The solar cell characteristics of the solar cell were irradiated with dye-sensitized solar cells of AM 1.5 and 100 mW / cm 2 using a solar simulator, and measured and evaluated. An efficiency of 4% was obtained with respect to the battery, and even if the area was increased, the performance was low.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

투명 도전막 플라스틱 PET 기판(알드리치, 표면 저항 10-20Ω/□, 두께 1mm)에 이산화티타늄 페이스트(P25, 물/에탄올 혼합 용매)를 10μm의 두께로 도포하고, 50℃에서 30분 가열하여 이산화티타늄(이산화티타늄층, 다공질 반도체층)을 형성하였다. 다음에, 0.05wt%의 색소 용액(블랙다이, 솔라로닉스사제, 아세트니트릴:t-부틸알코올=1:1)에 상기의 기판을 침지하였다(20시간).Titanium dioxide paste (P25, water / ethanol mixed solvent) was applied to a transparent conductive film plastic PET substrate (Aldrich, surface resistance 10-20Ω / □, thickness 1mm) to a thickness of 10μm, heated at 50 ° C for 30 minutes, and titanium dioxide (Titanium dioxide layer, porous semiconductor layer) were formed. Next, the substrate was immersed in a 0.05 wt% dye solution (black die, manufactured by Solaronics, Inc., acetonitrile: t-butyl alcohol = 1: 1) (20 hours).

대극에는 백금 스퍼터 처리를 행한 불소 도프 산화주석 유리(솔라로닉스사제)를 사용하였다. 상기의 기판(이산화티타늄 기판)과 대극을 25μm 두께의 스페이서(하이미란, 미츠이듀퐁사)로 봉지하였다. 얻어진 셀 안에 요오드 40mM, LiI 500mM, t-부틸피리딘 580mM의 아세트니트릴 용액으로 이루어지는 전해액을 주입하여, 5mm각 및 50mm각의 전지를 제작하였다.In the counter electrode, a fluorine-doped tin oxide glass (manufactured by Solaronics Co., Ltd.) subjected to platinum sputtering was used. The substrate (titanium dioxide substrate) and the counter electrode were sealed with a spacer having a thickness of 25 μm (Hymirran, Mitsui DuPont). Into the obtained cell, an electrolyte solution composed of 40 mM of iodine, 500 mM of LiI, and 580 mM of t-butylpyridine was injected to prepare a 5 mm and 50 mm square battery.

제작한 태양 전지 특성을, 실시예 3과 마찬가지의 방법으로 평가한 바, 5mm각의 전지에 대해서 2.5%, 50mm각의 전지에 대해서 0.5%의 효율이 얻어지고, 대면적화에 의해 성능이 큰 폭으로 저하되었다. The produced solar cell characteristics were evaluated in the same manner as in Example 3, and the efficiency of 2.5% was obtained for a 5 mm square battery and 0.5% for a 50 mm square battery, and the performance was large due to the large area. Lowered.

(참고예 1)(Reference Example 1)

산화아연의 테트라포드형 결정에 대신하여 입경 300nm의 폴리스티렌 입자를 소성 기판의 이산화티타늄 표면에 산포한 것 외에는, 실시예 1과 마찬가지의 방법으로 5mm각의 전지(전지 셀)를 제작하고, 태양 전지 특성을 측정, 평가하였다. 얻어진 전지의 효율은 10.0%였다. A 5 mm square battery (battery cell) was fabricated in the same manner as in Example 1 except that polystyrene particles having a particle size of 300 nm were dispersed on the titanium dioxide surface of the fired substrate in place of the tetrapod-type crystals of zinc oxide. Was measured and evaluated. The efficiency of the obtained battery was 10.0%.

(참고예 2)(Reference Example 2)

실시예 1에서 조제한, 소성한 이산화티타늄 상에 다공질의 Ti층을 형성한 기판을 500℃에서 30분 더 가열한 후에 색소 용액을 함침한 것 외에는, 실시예 1과 마찬가지의 방법으로 5mm각의 전지(전지 셀)를 제작하고, 태양 전지 특성을 측정, 평가하였다. 얻어진 전지의 효율은 3.6%였다. A 5 mm square battery was prepared in the same manner as in Example 1, except that the substrate on which the porous Ti layer was formed on the calcined titanium dioxide was heated at 500 ° C. for 30 minutes and then impregnated with a dye solution. (Battery cell) was produced and the solar cell characteristics were measured and evaluated. The efficiency of the obtained battery was 3.6%.

(참고예 3)(Reference Example 3)

유리 기판에 이산화티타늄 페이스트(HT 페이스트 1층, D 페이스트 5층, 솔라로닉스사제)를 20μm의 두께로 도포하고, 100℃에서 30분 가열하여 건조 이산화티타늄층을 형성하였다. 기판의 이산화티타늄 표면에 산화아연의 테트라포드형 결정(상품명: 파나테트라, 최대 치수의 범위 2~20μm, 마츠시타전공사제)을 일렉트로스프레이법에 의해 분산시켰다. 이후 스퍼터에 의해 Ti막(Ti층)을 형성하였다(막 두께 300nm). 잔존하는 테트라포드형 결정을 묽은 염산으로 린스(rinse)함으로써 제거하였다. 이에 의해 다공질의 Ti층을 제작하였다. 또한, 건조 이산화티타늄층 및 다공질의 Ti층이 일체화된 기판을 500℃에서 30분 가열함으로써 건조 이산화티타늄층을 소성하였다.A titanium dioxide paste (1 layer of HT paste, 5 layers of D paste, manufactured by Solaronics) was applied to a glass substrate at a thickness of 20 µm, and heated at 100 ° C. for 30 minutes to form a dry titanium dioxide layer. A tetrapod-type crystal of zinc oxide (trade name: Panatetra, 2-20 µm in maximum dimension, manufactured by Matsushita Electric Co., Ltd.) of zinc oxide was dispersed on the titanium dioxide surface of the substrate by the electrospray method. Then, a Ti film (Ti layer) was formed by sputtering (film thickness of 300 nm). The remaining tetrapod-type crystals were removed by rinsing with dilute hydrochloric acid. As a result, a porous Ti layer was produced. Furthermore, the dry titanium dioxide layer was fired by heating the substrate in which the dry titanium dioxide layer and the porous Ti layer were integrated at 500 ° C. for 30 minutes.

그 후는 실시예 1과 마찬가지의 방법으로 5mm각의 전지(전지 셀)를 제작하고, 태양 전지 특성을 측정, 평가하였다. 얻어진 전지의 효율은 3.5%였다. Then, the 5 mm square battery (battery cell) was produced by the method similar to Example 1, and the solar cell characteristic was measured and evaluated. The efficiency of the obtained battery was 3.5%.

도 3 중 (A)에 실시예 1의 다공질 Ti 전극(다공질 Ti층)을 사용한 경우의 이산화티타늄의 색소 흡착 상태를 나타낸다. 다공질 Ti 전극을 통하여 색소가 신속하게 이산화티타늄으로 확산되어 이산화티타늄의 전면에 흡착되어 있다. 한편, 도 3 중 (B)에 다공질 Ti 전극에 대신하여 종래의 방법으로 치밀한 Ti층을 유리 기판 상에 형성한 경우의 유리 기판의 색소 흡착 상태를 나타낸다. 치밀한 티타늄층 때문에 색소가 Ti층을 거의 통과할 수 없고, 유리 기판의 극히 일부(도 3 (B) 중 섬 모양으로 산재하는 부분)만 흡착되어 있다. The dye adsorption state of titanium dioxide at the time of using the porous Ti electrode (porous Ti layer) of Example 1 in (A) in FIG. 3 is shown. The dye rapidly diffuses into titanium dioxide through the porous Ti electrode and is adsorbed onto the entire surface of titanium dioxide. In addition, in FIG. 3B, the pigment | dye adsorption state of the glass substrate at the time of forming a dense Ti layer on a glass substrate by the conventional method instead of a porous Ti electrode is shown. Due to the dense titanium layer, the dye can hardly pass through the Ti layer, and only a part of the glass substrate (the part scattered in an island shape in FIG. 3B) is adsorbed.

도 4에 실시예 1, 2에 있어서 스퍼터링에 의해 형성한 Ti층의 시트 저항과 Ti층의 두께의 관계를 나타낸다. 이로부터 Ti층의 두께를 증가시킴에 따라 시트 저항의 값이 큰 폭으로 저하되고, Ti층의 두께가 200nm 이상에서는 시트 저항이 10(Ω/□) 이하의 낮은 값이 얻어지는 것을 알 수 있다. 4 shows the relationship between the sheet resistance of the Ti layer formed by sputtering and the thickness of the Ti layer in Examples 1 and 2. FIG. From this, as the thickness of the Ti layer is increased, the value of the sheet resistance is greatly reduced, and when the thickness of the Ti layer is 200 nm or more, it can be seen that a low value of 10 (Ω / □) or less is obtained.

도 5에 실시예 1에서 제작한 전지 및 비교예에서 제작한 전지의 전압과 전류 밀도의 관계를 나타낸다. 실시예 1에서 제작한 전지가 비교예에서 제작한 전지와 거의 동등한 특성을 가지는 것을 알 수 있다. The relationship between the voltage and current density of the battery produced in Example 1 and the battery produced by the comparative example is shown in FIG. It can be seen that the battery produced in Example 1 has almost the same characteristics as the battery produced in Comparative Example.

10 색소 증감 태양 전지
12 투명 기판
14 다공질 반도체층
16 도전성 금속막
18 도전막
20 기판
22 전해질
24 관통공
26 외부 전극
28 미립자
10 dye-sensitized solar cells
12 transparent substrate
14 porous semiconductor layer
16 conductive metal film
18 conductive film
20 substrates
22 electrolyte
24 through hole
26 external electrodes
28 particulate

Claims (9)

투명 기판과, 당해 투명 기판 상에 배치되는, 색소를 흡착한 다공질 반도체층과, 당해 다공질 반도체층의 내부 또는 당해 투명 기판과는 반대측의 표면에 배치되고, 깊은 구멍 모양의 다수의 관통공이 불규칙하게 형성됨과 아울러 외부 전극에 전기적으로 접속되는 도전성 금속막과, 당해 투명 기판과 대향하여 설치되는 도전성 기판을 구비하고, 당해 도전성 금속막과 당해 도전성 기판의 사이에 전해질을 가지는 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지. The transparent substrate, the porous semiconductor layer which adsorb | sucked the pigment | dye arrange | positioned on the said transparent substrate, and the inside of the said porous semiconductor layer or the surface on the opposite side to the said transparent substrate are arrange | positioned, and many through-holes of a deep hole shape are irregular. A dye-sensitized aspect comprising a conductive metal film formed and electrically connected to an external electrode, and a conductive substrate provided to face the transparent substrate, and having an electrolyte between the conductive metal film and the conductive substrate. battery. 제1항에 있어서,
상기 도전성 금속막의 두께가 100nm 이상인 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지.
The method of claim 1,
The thickness of the said conductive metal film is 100 nm or more, The dye-sensitized solar cell characterized by the above-mentioned.
제1항에 있어서,
상기 도전성 금속막의 재료가 내식성 금속인 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지.
The method of claim 1,
The material of the said conductive metal film is a corrosion-resistant metal, The dye-sensitized solar cell characterized by the above-mentioned.
제3항에 있어서,
상기 내식성 금속이 텅스텐, 티타늄 및 니켈로부터 선택되는 1 또는 2종 이상 또는 이들의 화합물인 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지.
The method of claim 3,
The dye-sensitized solar cell, characterized in that the corrosion-resistant metal is one or two or more or a compound thereof selected from tungsten, titanium and nickel.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 색소 증감 태양 전지의 제조 방법으로서,
가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자를 다공질 반도체층 상에 배치하여 미립자층을 형성하는 미립자층 형성 공정과,
당해 미립자층 상에 도전성 금속막을 형성하는 도전성 금속막 형성 공정과,
가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 당해 미립자층을 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법.
As a manufacturing method of the dye-sensitized solar cell of any one of Claims 1-4,
A fine particle layer forming step of disposing fine particles having shape anisotropy, which can be removed by heating or by solvent washing, on the porous semiconductor layer to form a fine particle layer,
A conductive metal film forming step of forming a conductive metal film on the fine particle layer,
A method for producing a dye-sensitized solar cell, comprising a step of disappearing a fine particle layer by heating or by solvent washing.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 색소 증감 태양 전지의 제조 방법으로서,
다공질 반도체 재료와, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자의 혼합층을 다공질 반도체층 상에 형성하는 혼합층 형성 공정과,
당해 혼합층의 표면에 도전성 금속막을 형성하는 도전성 금속막 형성 공정과,
가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 당해 미립자를 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법.
As a manufacturing method of the dye-sensitized solar cell of any one of Claims 1-4,
A mixed layer forming step of forming a porous semiconductor material and a mixed layer of fine particles having shape anisotropy, which can be removed by heating or by solvent washing, on the porous semiconductor layer;
A conductive metal film forming step of forming a conductive metal film on the surface of the mixed layer,
A method for producing a dye-sensitized solar cell, comprising a step of disappearing a fine particle layer by heating or by solvent washing.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 색소 증감 태양 전지의 제조 방법으로서,
도전성 금속과, 가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 제거 가능한, 형상 이방성을 가지는 미립자의 혼합층을 다공질 반도체층 상에 형성하는 혼합층 형성 공정과,
가열에 의해 또는 용제 세정에 의해 당해 미립자를 소실시키는 미립자층 소실 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법.
As a manufacturing method of the dye-sensitized solar cell of any one of Claims 1-4,
A mixed layer forming step of forming a mixed layer of conductive metal and fine particles having shape anisotropy, which can be removed by heating or by solvent washing, on the porous semiconductor layer;
A method for producing a dye-sensitized solar cell, comprising a step of disappearing a fine particle layer by heating or by solvent washing.
제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 다공질 반도체층과는 다른 다공질 반도체층을 상기 도전성 금속막의 표면에 형성하는 다공질 반도체층 적층 공정을 더 가지는 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법.
8. The method according to any one of claims 5 to 7,
The porous semiconductor layer lamination process of forming the porous semiconductor layer different from the said porous semiconductor layer on the surface of the said conductive metal film further has a manufacturing method of the dye-sensitized solar cell characterized by the above-mentioned.
제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 형상 이방성을 가지는 미립자가 다면체의 정점을 선단으로 하는 다수의 다리를 가지는 미립자 또는 침상 미립자인 것을 특징으로 하는 색소 증감 태양 전지의 제조 방법.
The method according to any one of claims 5 to 8,
The manufacturing method of the dye-sensitized solar cell characterized by the above-mentioned microparticles | fine-particles having shape anisotropy being microparticles or needle-like microparticles | fine-particles which have many legs which make the apex of a polyhedron the tip.
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