KR20100081944A - Cutter device and cutter holder - Google Patents

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KR20100081944A
KR20100081944A KR1020100000786A KR20100000786A KR20100081944A KR 20100081944 A KR20100081944 A KR 20100081944A KR 1020100000786 A KR1020100000786 A KR 1020100000786A KR 20100000786 A KR20100000786 A KR 20100000786A KR 20100081944 A KR20100081944 A KR 20100081944A
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카즈야 마에카와
료타 사카구치
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A cutter device and a cutter holder are provided to easily replace a cutter wheel by freely attaching or detaching the cutter holder to or from the cutter device. CONSTITUTION: A cutter device comprises a cutter wheel(34A), a holder joint(40A), and an attaching unit(36). The cutter wheel is supported on the bottom of a cutter holder(30A). The holder joint has a supporting hole part(43) for supporting the cutter holder. The attaching unit is formed on the top of the cutter holder and is installed on the holder joint.

Description

커터 장치 및 커터 홀더{CUTTER DEVICE AND CUTTER HOLDER}Cutter Unit and Cutter Holder {CUTTER DEVICE AND CUTTER HOLDER}

본 발명은 커터를 이용하여 유리 등의 취성 재료 기판이나 금속 재료 이외의 수지 필름 등을 절단하는 커터 장치 및 커터 장치에 이용되는 커터 홀더에 관한 것이다.The present invention relates to a cutter device for cutting a brittle material substrate such as glass, a resin film other than a metal material, etc. using a cutter, and a cutter holder used for the cutter device.

일반적으로 유리 등의 취성 재료 기판으로 이루어지는 피가공물을 절단하는 경우에는, 외주면에 날끝이 형성된 스크라이빙 휠(scribing wheel)을 이용하여, 스크라이빙 휠을 회전시키면서 압접하도록 하여 유리 기판에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성하고, 그 후 브레이크 장치로 브레이크함으로써 절단했었다.In general, when cutting a workpiece made of a brittle material substrate such as glass, a scribing wheel is formed on the outer circumferential surface of the workpiece so that the scribing wheel is pressed while rotating the scribing wheel. (scribe line) was formed and then cut by braking with the brake device.

한편 수지 재료나 필름 재료 등의 가요성을 갖는 피가공물을 절단하는 경우에는, 스크라이빙 휠을 이용하지 않고, 철, 스테인리스제 등의 직선 형상의 날끝을 갖는 커터를 피가공물상에 압접하면서 이동하여 절단하는 커터 장치가 이용되고 있다. 그 경우 커터 장치를 사용하여 절단을 반복하면 날끝이 마모되어 절단성이 악화 되기 때문에, 커터를 교환할 필요가 있다.On the other hand, in the case of cutting a workpiece having flexibility such as a resin material or a film material, the cutter having a linear blade tip made of iron or stainless steel, etc., without pressing the scribing wheel is moved while pressing on the workpiece. The cutter device which cut | disconnects by cutting is used. In that case, when the cutting is repeated using the cutter device, the cutting edge is worn out and the cutting property is deteriorated. Therefore, it is necessary to replace the cutter.

그런데 커터가 마모될 때마다 새로운 커터로 교환하는 경우에는, 커터의 수명이 짧아 이용 효율이 낮다. 그래서 특허문헌 1에서는 원판형의 커터 휠을 회전하지 않도록 고정하여, 날끝의 일부로 절단을 행하여, 그 부분이 마모된 시점에서 커터 휠을 조금 회전시켜, 새로운 날끝의 일부로 절단을 행하도록 한 커터 장치가 개시되어 있다.By the way, when the cutter is replaced with a new cutter every time it is worn out, the cutter has a short lifetime and low utilization efficiency. In Patent Literature 1, therefore, the cutter device of the disc-shaped cutter wheel is fixed so as not to rotate, the cutter wheel is cut to a part of the blade tip, and the cutter wheel is rotated a little when the part is worn. Is disclosed.

일본특허 제2922221호 공보Japanese Patent No. 2922221

특허문헌 1에 기재된 커터 장치에서는, 걸림핀이 들어가는 위치 결정 구멍을 바꿈으로써 소정 각도를 어긋나게 하여 커터 휠을 사용하고 있다. 그러나 커터 휠의 측면과 자름 날 베이스인 표측 면과는 나사로 눌러 고정하고 있을 뿐이어서, 나사가 헐거워지기 쉽고, 나사가 헐겹게 되며 사용하는 날끝 부분도 바뀌어 버린다는 결점이 있었다.In the cutter apparatus of patent document 1, the cutter wheel is used shifting a predetermined angle by changing the positioning hole which a locking pin enters. However, the side of the cutter wheel and the front surface, which is the cutting blade base, are only pressed and fixed by screws, so that the screw is easy to loosen, the screw is loosened, and the end of the blade used is also changed.

또한 커터 휠의 크기는 용도에 따라 다르지만, 예를 들면 직경 2mm∼7mm 정도로 작아 취급하기 어렵다. 따라서 커터 휠의 각도의 전환이나 교환에는 시간이 걸린다는 결점이 있었다. 또한 여러 종류의 날끝을 각각의 장치에 부착하여 사용하는 공장 내에서는, 잘못하여 다른 종류의 커터 휠을 부착해 버릴 가능성이 있다.Moreover, although the size of a cutter wheel changes with a use, it is difficult to handle, for example as small as 2 mm-7 mm in diameter. Therefore, there is a drawback that it takes time to change or change the angle of the cutter wheel. In addition, in a factory in which various types of blade tips are attached to each device and used, there is a possibility of attaching different types of cutter wheels by mistake.

본 발명은 종래의 커터 장치나 커터 방법의 문제점에 착안하여 이루어진 것이며, 커터 휠과 일체화된 커터 홀더를 이용함으로써, 이러한 결점을 해소하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of the problem of the conventional cutter apparatus and the cutter method, and it aims at eliminating this fault by using the cutter holder integrated with the cutter wheel.

이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 커터 장치는, 피가공물이 설치되는 설치 수단과, 상기 설치 수단상의 피가공물에 대향하도록 형성되는 커터 헤드와, 상기 커터 헤드의 선단에 형성되는 홀더 조인트와, 부착부를 갖고, 상기 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 부착되며, 외주면에 날끝이 형성된 커터 휠을 고정하는 커터 홀더와, 상기 커터 헤드를 상기 설치 수단상의 피가공물의 면에 수직으로 상하이동시키는 승강 수단과, 상기 커터 헤드 및 상기 피가공물을 상대적으로 피가공물의 평면을 따른 면 내에서 이동시키는 상대 이동부를 구비하고, 상기 커터 휠을 피가공물에 압접하면서 주사(走査)함으로써 피가공물을 절단하는 것이다.In order to solve this problem, the cutter device of the present invention includes: a mounting means on which a workpiece is installed, a cutter head formed to face a workpiece on the mounting means, a holder joint formed at the tip of the cutter head, A cutter holder for attaching and detaching freely to the holder joint and fixing a cutter wheel having a blade tip formed on an outer circumferential surface thereof, lifting means for vertically moving the cutter head vertically to the surface of the workpiece on the installation means; The cutter head and the relative moving part for moving the workpiece in a plane along the plane of the workpiece are relatively provided, and the workpiece is cut by pressing the cutter wheel while pressing the workpiece.

여기에서 상기 커터 홀더는, 상기 커터 휠의 부착 방향을 180° 다르게 하여 상기 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 부착하기 위해 2개소의 부착부를 갖도록 해도 좋다.Here, the cutter holder may have two attachment portions for attaching and detaching freely to the holder joint by varying the attachment direction of the cutter wheel by 180 °.

여기에서 상기 커터 홀더의 부착부는, 상기 커터 홀더의 상부에 형성된 절결부(a cut-out)이며, 상기 홀더 조인트는, 상기 커터 홀더가 삽입되는 지지 구멍부 및, 상기 커터 홀더의 상기 절결부에 걸어맞추는 핀을 갖도록 해도 좋다.Here, the attachment portion of the cutter holder is a cut-out formed in the upper portion of the cutter holder, the holder joint is a support hole portion into which the cutter holder is inserted and the cutout portion of the cutter holder. You may have an engagement pin.

여기에서 상기 커터 홀더의 부착부는, 측방으로 돌출하는 조작 바(bar)이며, 상기 홀더 조인트는, 상기 커터 홀더가 삽입되는 지지 구멍부 및, 상기 커터 홀더의 상기 조작 바가 삽입되는 바 도입홈을 갖도록 해도 좋다.Here, the attachment portion of the cutter holder is an operation bar protruding laterally, and the holder joint has a support hole portion into which the cutter holder is inserted, and a bar introduction groove into which the operation bar of the cutter holder is inserted. You may also

여기에서 상기 커터 휠은, 상기 커터 홀더로부터 돌출하는 부분에 상기 피가공물의 면에 평행한 직선 형상의 절결을 갖도록 해도 좋다.The cutter wheel may have a straight notch parallel to the surface of the workpiece at a portion protruding from the cutter holder.

여기에서 상기 커터 휠은 원판(disc) 형상으로, 그 외주부에 날끝 각도가 10°∼80°인 날을 형성한 것으로 해도 좋다.The cutter wheel may have a disc shape, and a blade having a blade tip angle of 10 ° to 80 ° may be formed on the outer peripheral portion thereof.

여기에서 상기 커터 장치의 피가공물은, 취성 재료 기판에 가요성을 갖는 기판을 접합한 접합 기판이며, 상기 커터 휠은, 상기 피가공물의 취성 재료 기판보다 경도가 낮은 재질로 형성되어, 상기 피가공물의 가요성을 갖는 기판을 절단하는 것이며,The workpiece of the cutter device is a bonded substrate obtained by bonding a substrate having flexibility to a brittle material substrate, and the cutter wheel is formed of a material having a lower hardness than the brittle material substrate of the workpiece, and the workpiece To cut the substrate with the flexibility of

상기 커터 장치는, 상기 피가공물의 취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이브 헤드를 추가로 갖도록 해도 좋다.The cutter device may further have a scribe head for scribing the brittle material substrate of the workpiece.

이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 커터 홀더는, 피가공물에 대향하도록 형성되는 커터 헤드 및, 상기 커터 헤드의 선단에 형성되는 홀더 조인트를 갖고, 커터 휠을 피가공물에 압접하면서 주사함으로써 피가공물을 절단하는 커터 장치에 이용되는 커터 홀더로서, 부착부를 갖고, 상기 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 부착되며, 외주면에 날끝이 형성된 커터 휠을 고정하는 것이다.In order to solve this problem, the cutter holder of the present invention has a cutter head formed to face the workpiece and a holder joint formed at the tip of the cutter head, and the workpiece is scanned by pressing the cutter wheel against the workpiece. A cutter holder used for a cutter device for cutting a die, which has an attachment portion, and is detachably attached to the holder joint, and fixes a cutter wheel having a blade tip formed on an outer circumferential surface thereof.

여기에서 상기 커터 홀더는, 상기 커터 휠의 부착 방향을 180° 다르게 하여 상기 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 부착하기 위해 2개소의 부착부를 갖도록 해도 좋다.Here, the cutter holder may have two attachment portions for attaching and detaching freely to the holder joint by varying the attachment direction of the cutter wheel by 180 °.

여기에서 상기 커터 홀더의 부착부는, 상기 커터 홀더의 상부에 형성된 절결부이며, 상기 홀더 조인트는, 상기 커터 홀더가 삽입되는 지지 구멍부 및, 상기 커터 홀더의 상기 절결부에 걸어맞추는 핀을 갖도록 해도 좋다.Here, the attachment portion of the cutter holder is a cutout portion formed on the upper portion of the cutter holder, and the holder joint may have a support hole portion into which the cutter holder is inserted and a pin engaged with the cutout portion of the cutter holder. good.

여기에서 상기 커터 홀더의 부착부는, 측방으로 돌출하는 조작 바이며, 상기 홀더 조인트는, 상기 커터 홀더가 삽입되는 지지 구멍부 및, 상기 커터 홀더의 상기 조작 바가 삽입되는 바 도입홈을 갖도록 해도 좋다.Here, the attachment portion of the cutter holder may be an operation bar that protrudes laterally, and the holder joint may have a support hole portion into which the cutter holder is inserted, and a bar introduction groove into which the operation bar of the cutter holder is inserted.

여기에서 상기 커터 휠은, 상기 커터 홀더로부터 돌출하는 부분에 상기 피가공물의 면에 평행한 직선 형상의 절결을 갖도록 해도 좋다.The cutter wheel may have a straight notch parallel to the surface of the workpiece at a portion protruding from the cutter holder.

여기에서 상기 커터 휠은 원판 형상으로, 그 외주부에 날끝 각도가 10°∼80°인 날을 형성한 것으로 해도 좋다.The cutter wheel may have a disk shape, and a blade having a blade tip angle of 10 ° to 80 ° may be formed on the outer peripheral portion thereof.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 커터 휠은 커터 홀더에 일체화되어 부착되어 있으며, 커터 홀더를 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 하고 있다. 따라서 커터 홀더의 교환을 매우 용이하게 행할 수 있다. 또한 청구항 2, 9에서는, 2개소의 부착부를 갖기 때문에, 사용에 의해 커터 휠이 마모된 경우에도 커터 휠의 부착 방향을 반전시킴으로써 새로운 날끝으로 피가공물을 절단할 수 있다.According to the present invention having such a feature, the cutter wheel is integrally attached to the cutter holder, and the cutter holder is detachably attached to the holder joint. Therefore, the cutter holder can be replaced very easily. In addition, in Claims 2 and 9, since two attachment parts are provided, the workpiece can be cut with a new blade edge by reversing the attachment direction of the cutter wheel even when the cutter wheel is worn by use.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 의한 커터 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태 1에 의한 커터 홀더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 실시 형태에 의한 커터 홀더의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 의한 커터 휠의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 실시 형태에 의한 홀더 조인트를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 실시 형태에 의한 홀더 조인트의 커터 홀더 삽입시의 사시도이다.
도 7은 커터 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 홀더 조인트의 일부 단면도이다.
도 8은 본 실시 형태에 의한 커터 장치의 제어계의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 9는 본 발명의 실시 형태 2에 의한 커터 홀더를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태 3에 의한 커터 휠 및, 커터 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 홀더 조인트의 일부 단면도이다.
도 11은 실시 형태 3에 의한 커터 휠을 이용하여 적층된 피가공물을 가공하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태 4에 의한 커터 휠의 사시도이다.
도 13은 본 발명의 실시 형태 4에 의한 커터 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 홀더 조인트의 일부 단면도이다.
도 14는 본 발명의 실시 형태 5에 의한 커터 휠의 사시도이다.
도 15는 본 발명의 실시 형태 5에 의한 커터 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 홀더 조인트의 일부 단면도이다.
도 16은 본 발명의 실시 형태 6에 의한 커터 장치에 의해 절단 및 스크라이브 하고 있는 상태를 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows the whole structure of the cutter apparatus by Embodiment 1 of this invention.
It is a figure which shows the structure of the cutter holder by Embodiment 1 of this invention.
3 is a perspective view of the cutter holder according to the present embodiment.
It is a figure which shows the structure of the cutter wheel by embodiment of this invention.
5 is a view showing a holder joint according to the present embodiment.
Fig. 6 is a perspective view when the holder holder is inserted into the holder joint according to the present embodiment.
7 is a partial cross-sectional view of a holder joint showing a state where a cutter holder is inserted.
8 is a block diagram showing the configuration of a control system of the cutter device according to the present embodiment.
It is a figure which shows the cutter holder by Embodiment 2 of this invention.
10 is a partial cross-sectional view of a cutter wheel according to Embodiment 3 of the present invention and a holder joint showing a state where the cutter holder is inserted.
It is a figure which shows the state which processes the to-be-processed workpiece laminated | stacked using the cutter wheel which concerns on Embodiment 3. FIG.
12 is a perspective view of a cutter wheel according to Embodiment 4 of the present invention.
It is a partial cross section of the holder joint which shows the state which inserted the cutter holder by Embodiment 4 of this invention.
14 is a perspective view of a cutter wheel according to Embodiment 5 of the present invention.
15 is a partial cross-sectional view of a holder joint showing a state where a cutter holder according to a fifth embodiment of the present invention is inserted.
It is a figure which shows the state cut | disconnected and scribed by the cutter apparatus by Embodiment 6 of this invention.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form to carry out invention)

(실시 형태 1)(Embodiment 1)

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 의한 커터 장치를 나타내는 사시도이다. 본 실시 형태에 의한 커터 장치(1)는, 이동대(11)가 한 쌍의 안내 레일(12a, 12b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 볼 나사(13)는 이동대(11)와 나사결합되어 있다. 볼 나사(13)는 모터(14)의 구동에 의해 회전하여, 이동대(11)를 안내 레일(12a, 12b)을 따라서 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(11)의 상면에는 모터(15)가 설치되어 있다. 모터(15)는 테이블(16)을 xy평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 피가공물(17)은 이 테이블(16)상에 올려놓여지며, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 커터 장치(1)의 상부에는, 피가공물(17)의 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(18)가 설치되어 있다. 여기에서 이동대(11), 테이블(16)은 피가공물(17)을 설치하는 설치 수단을 구성하고 있다.1 is a perspective view showing a cutter device according to Embodiment 1 of the present invention. In the cutter device 1 according to the present embodiment, the moving table 11 is freely supported in the y-axis direction along the pair of guide rails 12a and 12b. The ball screw 13 is screwed with the movable table 11. The ball screw 13 is rotated by the drive of the motor 14 to move the movable base 11 along the guide rails 12a and 12b in the y-axis direction. The motor 15 is provided on the upper surface of the movable table 11. The motor 15 rotates the table 16 in the xy plane and positions it at a predetermined angle. The workpiece 17 is placed on this table 16 and supported by a vacuum suction means or the like not shown. In the upper part of the cutter apparatus 1, two CCD cameras 18 which image the alignment mark of the to-be-processed object 17 are provided. Here, the movable table 11 and the table 16 constitute installation means for installing the workpiece 17.

커터 장치(1)에는, 이동대(11)와 그 상부의 테이블(16)에 걸치도록 브리지(bridge; 20)가 x축 방향을 따라서 지주(column; 21a, 21b)에 의해 가설되어 있다. 커터 헤드(22)는 브리지(20)에 형성된 가이드(23)를 따라서 x축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 모터(24)는 커터 헤드(22)를 x축 방향을 따라서 이동시키는 것이다. 커터 헤드(22)의 선단부에는, 후술하는 커터 홀더(30A)가 홀더 조인트(40A)를 통하여 부착되어 있다. 여기에서 모터(14)와 안내 레일(12a, 12b), 볼 나사(13)는 테이블을 y축 방향으로 이동시키는 이동부이며, 브리지(20), 지주(21a, 21b), 가이드(23), 모터(24)는 커터 헤드를 x축 방향으로 이동시키는 이동부이며, 모터(15)는 테이블을 회전시키는 회전부로서, 이들이 상대 이동부를 구성하고 있다.In the cutter device 1, a bridge 20 is hypothesized by columns 21a and 21b along the x-axis direction so as to span the movable table 11 and the table 16 thereon. The cutter head 22 is movable along the guide 23 formed in the bridge 20 in the x-axis direction. The motor 24 moves the cutter head 22 along the x-axis direction. 30 C of cutter holders mentioned later are attached to the front-end | tip part of the cutter head 22 via 40 A of holder joints. Here, the motor 14, the guide rails 12a and 12b, and the ball screw 13 are moving parts for moving the table in the y-axis direction, and the bridge 20, the support posts 21a and 21b, the guide 23, The motor 24 is a moving part for moving the cutter head in the x-axis direction, and the motor 15 is a rotating part for rotating the table, and these constitute a relative moving part.

다음으로 본 실시 형태에 의한 커터 헤드(22)에 부착되는 커터 홀더(30A)의 구성에 대해서 설명한다. 도 2는 실시 형태 1에 의한 커터 홀더(30A)의 본체부, 도 3은 커터 휠을 부착한 커터 홀더(30A)를 나타내는 사시도이다. 도 4는 커터 휠을 나타내는 도면이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이, 커터 홀더(30A)는 커터 휠을 지지하는 대략 원통형의 부재이다. 커터 홀더(30A)의 일단에는 평탄부(31a, 31b)가 모두 중심축에 평행하게 형성되며, 이 평탄부(31a, 31b)의 중간에 중심축을 따른 절결부(32)을 갖고 있다. 평탄부(31a, 31b)의 중앙 부분에는 면에 수직인 방향의 핀홈(33)을 갖고, 그 측면은 원호 형상으로 형성되어 있다. 커터 휠(34A)은 후술하는 바와 같이 원판 형상이며, 중심에 관통구멍, 원주 부분의 적어도 일부에 직선 형상의 절결(34a)을 갖고 있다. 커터 휠(34A)은, 중심의 관통구멍에 핀홈(33)에 삽입된 핀을 관통시켜, 직선 형상의 절결(34a)을 절결부(32)의 내벽에 맞닿게 함으로써 커터 홀더(30A)에 고정된다. 커터 휠(34A)을 고정한 후는, 커터 휠의 교환을 요하는 경우에도 커터 휠을 떼어내지 않고, 커터 홀더(30A)와 함께 교환된다. 한편 커터 홀더(30A)의 타단에는 위치 결정용의 부착부(36)가 형성되어 있다. 부착부(36)는 커터 홀더(30A)를 절결하여 형성되며, 경사부(36a) 및 커터 홀더의 축과 평행한 평탄부(36b)를 갖는다. 또한 커터 홀더(30A)는 그 상부의 일부분이 자성체 금속으로 구성되어 있다.Next, the structure of the cutter holder 30A attached to the cutter head 22 by this embodiment is demonstrated. FIG. 2: is a perspective view which shows the main body part of the cutter holder 30A which concerns on Embodiment 1, and FIG. 3 is a cutter holder 30A with a cutter wheel. 4 is a view showing a cutter wheel. As shown in these figures, the cutter holder 30A is a substantially cylindrical member that supports the cutter wheel. At one end of the cutter holder 30A, all of the flat portions 31a and 31b are formed parallel to the central axis, and the cut portions 32 along the central axis are provided in the middle of the flat portions 31a and 31b. The central portions of the flat portions 31a and 31b have pin grooves 33 in the direction perpendicular to the surface, and the side surfaces thereof are formed in an arc shape. The cutter wheel 34A has a disk shape as described later, and has a straight hole 34a in at least a portion of the through hole and the circumferential portion at the center thereof. The cutter wheel 34A is fixed to the cutter holder 30A by penetrating a pin inserted into the pin groove 33 through a central through hole to bring the straight cutout 34a into contact with the inner wall of the cutout 32. do. After fixing the cutter wheel 34A, the cutter wheel is replaced together with the cutter holder 30A without removing the cutter wheel even when replacement of the cutter wheel is required. On the other hand, the attachment part 36 for positioning is formed in the other end of the cutter holder 30A. The attachment portion 36 is formed by cutting the cutter holder 30A, and has an inclined portion 36a and a flat portion 36b parallel to the axis of the cutter holder. In addition, a part of the upper part of the cutter holder 30A is made of magnetic metal.

다음으로 커터 휠(34A)에 대해서 도 4를 이용하여 설명한다. 커터 휠(34A)은 예를 들면 휠 지름이 2.5mm, 두께 0.5mm 정도의 원판 형상의 형상을 갖고, 원주 부분의 단면이 원추형으로 형성된다. 또한 커터 휠(34A)은 중심에 관통구멍을 갖고, 원주 부분의 적어도 일부에 직선 형상의 절결(34a)을 갖고 있다. 여기에서 커터 휠의 원주부의 날끝의 각도는 예를 들면 10°∼80°, 특히 15°∼80°로 하는 것이 바람직하다. 또한 커터 휠의 재질은 피가공물의 종류에 따라 적절히 선택되지만, 예를 들면 초경합금, 소결 다이아몬드, SUS, SKH(공구강), 사파이어 등이 이용된다. 또한 후술하는 바와 같이 접합 기판의 수지 필름을 가공 대상으로 하는 경우에는, 취성 재료 기판보다도 경도가 낮은 재질이 이용된다.Next, the cutter wheel 34A will be described with reference to FIG. 4. The cutter wheel 34A has a disk shape having a wheel diameter of 2.5 mm and a thickness of about 0.5 mm, for example, and a cross section of the circumferential portion is formed in a conical shape. The cutter wheel 34A has a through hole in the center, and has a straight cut 34a in at least a part of the circumferential portion. Here, the angle of the blade edge of the circumference of the cutter wheel is preferably 10 ° to 80 °, particularly 15 ° to 80 °. In addition, the material of the cutter wheel is appropriately selected depending on the type of workpiece. For example, cemented carbide, sintered diamond, SUS, SKH (working steel), sapphire or the like is used. In addition, when making the resin film of a bonded substrate into a process target as mentioned later, the material with a hardness lower than a brittle material substrate is used.

다음으로 홀더 조인트(40A)에 대해서 설명한다. 도 5는 홀더 조인트(40A)를 나타내는 도면이며, 도 6은 이 홀더 조인트(40A)에 커터 홀더(30A)를 삽입하는 상태를 나타내는 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트(40A)는 상부에 베어링(41a, 41b)을 갖고 있으며, 하방이 커터 홀더를 지지하는 지지부(42)로 되어 있다. 홀더 조인트(40A)의 지지부(42)에는, 도시하는 바와 같이 원형의 지지 구멍부(43)가 형성되어 있으며, 그 내측에 마그넷(44)이 매설되어 있다. 또한 이 지지 구멍부(43)의 내부에는 중심축으로부터 떨어진 위치에 중심축과 수직인 평행핀(45)이 형성된다. 평행핀(45)은 커터 홀더(30A)의 경사부(36a)에 접하여 커터 홀더(30A)를 위치 결정하는 것이다.Next, the holder joint 40A will be described. FIG. 5: is a figure which shows the holder joint 40A, and FIG. 6 is a perspective view which shows the state which inserts the cutter holder 30A in this holder joint 40A. As shown in these drawings, the holder joint 40A has bearings 41a and 41b at the upper portion thereof, and the holder joint 40A has a support portion 42 that supports the cutter holder downward. As shown in the drawing, a circular support hole portion 43 is formed in the support portion 42 of the holder joint 40A, and a magnet 44 is embedded therein. Further, inside the support hole 43, parallel pins 45 perpendicular to the central axis are formed at positions away from the central axis. The parallel pin 45 is in contact with the inclined portion 36a of the cutter holder 30A to position the cutter holder 30A.

이 커터 홀더(30A)를 홀더 조인트(40A)에 부착할 때에는, 도 6에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트(40A)의 지지 구멍부(43)에 커터 홀더(30A)를 그 부착부(36)로부터 삽입한다. 그렇게 하면 커터 홀더(30A)의 선단부가 마그넷(44)에 의하여 흡인되고, 추가로 경사부(36a)가 평행핀(45)에 접촉하여 위치 결정 고정된다. 도 7은 커터 홀더(30A)가 부착된 상태를 나타내는 부분 단면도이다. 커터 홀더(30A)는 마그넷(44)에 의하여 흡인되고 있을 뿐이기 때문에, 부착이 매우 용이하며, 소정의 위치에 고정된다. 교체하는 경우에도 커터 홀더(30A)를 당기는 것만으로 용이하게 떼어낼 수 있어, 착탈이 용이해진다.When attaching the cutter holder 30A to the holder joint 40A, the cutter holder 30A is inserted from the attachment portion 36 into the support hole portion 43 of the holder joint 40A as shown in FIG. do. As a result, the tip of the cutter holder 30A is attracted by the magnet 44, and the inclined portion 36a is in contact with the parallel pin 45 to fix the positioning. 7 is a partial cross-sectional view showing a state in which the cutter holder 30A is attached. Since the cutter holder 30A is only sucked by the magnet 44, attachment is very easy and is fixed at a predetermined position. Even in the case of replacement, the cutter holder 30A can be easily removed by pulling on the cutter, and attachment and detachment are facilitated.

다음으로 본 실시 형태에 의한 커터 장치(1)의 구성에 대해서, 블록도를 이용하여 설명한다. 도 8은 커터 장치(1)의 제어계를 나타내는 블록도이다. 본 도면에 있어서 2대의 CCD 카메라(18)로부터의 출력은 화상 처리부(51)를 통하여 제어부(52)에 부여된다. 제어부(52)는 X모터 구동부(53), Y모터 구동부(54)를 통하여 각각 모터(24, 14)를 구동하는 것이다. 또한 회전용 모터 구동부(55)는 모터(15)를 구동하여, 테이블(16)상에 배치된 피가공물(17)을 회전시킴과 함께, 각도 어긋남이 있을 때에 그 각도 어긋남을 없애는 것이다. 또한 제어부(52)에는 커터 홀더 승강부(56)나 모니터(57)가 접속된다. 커터 홀더 승강부(56)는, 커터 홀더(30A)를 승강시켜, 커터 휠(34A)이 피가공물의 표면을 적절한 하중으로 압접하도록 구동하는 승강 수단이다.Next, the structure of the cutter apparatus 1 which concerns on this embodiment is demonstrated using a block diagram. 8 is a block diagram showing a control system of the cutter device 1. In this figure, outputs from two CCD cameras 18 are provided to the control unit 52 via the image processing unit 51. The control unit 52 drives the motors 24 and 14 via the X motor driver 53 and the Y motor driver 54, respectively. In addition, the rotary motor drive unit 55 drives the motor 15 to rotate the workpiece 17 disposed on the table 16 and to eliminate the angle shift when there is an angle shift. In addition, the cutter holder lifting unit 56 and the monitor 57 are connected to the control unit 52. The cutter holder elevating portion 56 is an elevating means that elevates the cutter holder 30A and drives the cutter wheel 34A to press-fit the surface of the workpiece with an appropriate load.

커터 홀더 승강부(56)는 커터 헤드(22)의 내부에 형성되며, 예를 들면 공기압 제어를 이용하는 에어 실린더나 리니어 모터에 의한 전동 승강부 등으로 구성되어 있다. 커터 홀더 승강부(56)에 의해, 커터 휠(34A)을 수지 기판 등의 피가공물의 표면에 접촉시켜 적절한 하중으로 압접할 수 있다.The cutter holder elevating portion 56 is formed inside the cutter head 22, and is configured of, for example, an electric cylinder using an air pressure control or an electric elevating portion by a linear motor. By the cutter holder lifting unit 56, the cutter wheel 34A can be brought into contact with the surface of the workpiece, such as a resin substrate, and can be press-fitted under an appropriate load.

다음으로 실시 형태 1에 의한 커터 장치의 동작에 대해서 설명한다. 피가공물로서 수지 필름, 그 적층물, 저온 소성 세라믹스(LTCC), 고온 소성 세라믹스(HTCC), 실리콘 웨이퍼 등을 생각할 수 있다. 또한 유리 기판 등의 피가공물에 수지 필름 등이 적층된 접합 기판 중 수지 필름을 대상으로 하는 경우도 있다. 우선 피가공물(17)을 테이블(16)상에 설치하고, 도시하지 않은 진공 흡착 수단 등으로 지지한다. 그리고 제어부(52)는 커터 헤드를 절단 위치로 이동시키도록 상대 이동부에 의해 X축 또는 Y축 방향으로 이동함과 함께 회전 제어되어, 소망하는 위치에서 커터 홀더 승강부(56)를 제어하여 커터 헤드(22)를 강하시킨다. 이렇게 하면 커터 헤드(22)의 선단에서 지지되고 있는 커터 휠(34A)이 피가공물의 표면에 압접된다. 이에 따라 피가공물(17)의 내부로 파고들게 된다. 이렇게 된 상태에서 상대 이동부를 이동시킴으로써 절단할 수 있다. 예를 들면, 유리 기판 등의 취성 재료 기판에 수지 필름 등이 적층된 접합 기판 중 수지 필름을 절단하는 경우, 커터 휠(34A)의 재질 등에도 따르지만, 커터 휠(34A)이 수지 필름을 관통하여, 취성 재료 기판과 접촉하기까지, 커터 휠(34A)을 파고들게 하면, 수지 필름을 절단하는 공정에서, 취성 재료 기판에도 손상을 입혀 버리는 경우가 있다. 이를 미연에 방지하고 싶은 경우, 커터 휠(34A)이 수지 필름을 관통하기 직전인 곳(예를 들면, 수지 필름 두께의 99％의 깊이)까지 파고 들게 한 상태에서 절단할 수도 있다. 결과적으로, 수지 필름을 절단하는 공정에서는 수지 필름이 완전히는 절단되지 않게 되지만, 수지 필름의 재질에 따라 절단되지 않는 부분의 두께를 작게 함으로써, 대부분의 경우, 후속 공정에서의 접합 기판 전체의 분리에 대한 악영향을 없앨 수 있다.Next, the operation of the cutter device according to the first embodiment will be described. As a to-be-processed object, a resin film, its laminated body, low temperature calcined ceramics (LTCC), high temperature calcined ceramics (HTCC), a silicon wafer, etc. can be considered. Moreover, the resin film may be made into the bonding board | substrate in which the resin film etc. were laminated | stacked on to-be-processed objects, such as a glass substrate. First, the workpiece 17 is placed on the table 16 and supported by a vacuum suction means or the like not shown. And the control part 52 is rotated and controlled by the relative movement part to move a cutter head to a cutting position, and controls the cutter holder elevating part 56 in a desired position, and rotates a cutter. The head 22 is lowered. In this way, the cutter wheel 34A supported at the tip of the cutter head 22 is pressed against the surface of the workpiece. As a result, the work 17 is penetrated into the workpiece. In this state, it can cut | disconnect by moving a relative moving part. For example, when cutting a resin film among the bonded substrates in which resin film etc. were laminated | stacked on brittle material board | substrates, such as a glass substrate, although it depends also on the material of cutter wheel 34A, etc., cutter wheel 34A penetrates a resin film, If the cutter wheel 34A is drilled into contact with the brittle material substrate, the brittle material substrate may be damaged in the step of cutting the resin film. If this is to be prevented beforehand, it can also be cut | disconnected in the state which let the cutter wheel 34A penetrate to the place immediately before penetrating a resin film (for example, 99% of the depth of resin film thickness). As a result, in the step of cutting the resin film, the resin film is not completely cut, but by reducing the thickness of the portion not cut depending on the material of the resin film, in most cases, the separation of the whole bonded substrate in the subsequent step Eliminate adverse effects on

(실시 형태 2)(Embodiment 2)

　다음으로 본 발명의 실시 형태 2에 대해서 설명한다. 실시 형태 1에 의한 커터 홀더(30A)는 원통부의 일면에 부착부(36)의 절결을 갖고 있지만, 실시 형태 2의 커터 홀더(30B)는, 도 9에 나타내는 바와 같이 좌우에 대칭으로 부착부(36A, 36B)를 형성한다. 그 외의 구성은 전술한 실시 형태 1과 동일하다. 이 경우도 실시 형태 1과 동일하게 커터 홀더(30B)를 홀더 조인트(40A)에 부착하여 사용할 수 있다. 이 경우에 부착부(36A)가 평행핀(45)에 접촉하여 부착되었다고 한다. 그리고 사용에 의해, 커터 휠(34A)의 날끝에 마모가 생긴 경우에, 커터 홀더(30B)를 그 중심 축을 따라서 180° 회전시켜, 부착부(36B)를 평행핀(45)에 접촉시켜서 홀더 조인트(40A)에 부착한다. 이렇게 하면 새로운 커터면으로 할 수 있어, 커터 휠의 2개소를 절단에 이용할 수 있다. 이 전환은 커터 휠 자체를 떼어낼 필요는 없기 때문에, 매우 용이하게 행할 수 있으며, 커터 휠을 일체화한 커터 홀더를 장수명화할 수 있다.Next, Embodiment 2 of this invention is described. The cutter holder 30A according to the first embodiment has the notch of the attachment portion 36 on one surface of the cylindrical portion, but the cutter holder 30B of the second embodiment has the attachment portion (symmetrically to the left and right as shown in FIG. 9). 36A, 36B). The other structure is the same as that of Embodiment 1 mentioned above. In this case as well, the cutter holder 30B can be attached to the holder joint 40A in the same manner as in the first embodiment. In this case, the attachment portion 36A is said to be in contact with the parallel pin 45. By use, when wear occurs at the blade tip of the cutter wheel 34A, the cutter holder 30B is rotated 180 degrees along its central axis, and the attachment portion 36B is brought into contact with the parallel pin 45 to hold the holder joint. Attach to 40A. In this way, a new cutter surface can be used, and two locations of the cutter wheel can be used for cutting. Since this switching does not need to remove the cutter wheel itself, it can be performed very easily, and the cutter holder which integrated the cutter wheel can be extended.

(실시 형태 3)(Embodiment 3)

다음으로 실시 형태 3에 있어서의 커터 장치에 대해서 설명한다. 실시 형태 3에 의한 커터 장치는 유리 기판인 취성 재료 기판과, 수지 필름 등이 적층된 접합 기판을 피가공물로 하며, 그 중의 수지 필름 등을 절단하는 용도로 적합한 것이다. 실시 형태 3에서는 도 10(a)에 커터 휠(34B)을 나타내는 바와 같이, 커터 휠(34B)의 직선 형상 절결부(34a)에 더하여 하면에 평탄하게 절결부(34b)를 형성해 둔다. 또한 접합 기판의 수지 필름을 가공 대상으로 하기 때문에, 커터 휠(34B)에는 취성 재료 기판보다도 경도가 낮은 재질이 이용된다. 예를 들면, 유리 기판 등의 취성 재료 기판에 수지 필름 등이 적층된 접합 기판 중 수지 필름을 실시 형태 3에 의한 커터 장치의 커터 휠(34B)을 이용하여 절단하는 경우에 대해서 설명한다. 이 경우, 커터 휠(34B)이 수지 필름을 관통하기까지, 커터 휠(34B)을 파고들게 해도, 하면의 평탄한 절결부(34b)가 취성 재료 기판의 표면에 접촉하여, 미끄러지는 듯한 상태로 이동하게 되기 때문에, 취성 재료 기판에 손상을 입히는 일 없이, 수지 필름을 완전히 절단할 수 있다.Next, the cutter apparatus in Embodiment 3 is demonstrated. The cutter device according to Embodiment 3 uses a brittle material substrate that is a glass substrate and a bonded substrate on which a resin film or the like is laminated, and is suitable for use for cutting a resin film or the like therein. In the third embodiment, as shown in the cutter wheel 34B in FIG. 10A, the cutout portion 34b is formed on the lower surface in addition to the linear cutout portion 34a of the cutter wheel 34B. Moreover, since the resin film of a bonded substrate is made into the process object, the material with hardness lower than a brittle material substrate is used for the cutter wheel 34B. For example, the case where the resin film is cut | disconnected using the cutter wheel 34B of the cutter apparatus by Embodiment 3 among the bonded substrates in which resin film etc. were laminated | stacked on brittle material substrates, such as a glass substrate, is demonstrated. In this case, even when the cutter wheel 34B is penetrated through the resin film, the flat cutout portion 34b on the lower surface comes into contact with the surface of the brittle material substrate and moves in a slippery state. Therefore, the resin film can be cut completely without damaging the brittle material substrate.

이 커터 휠(34B)은 도 10(b)에 나타내는 바와 같이, 커터 홀더(30C)에 부착되고, 추가로 홀더 조인트(40A)에 부착된다. 그 외의 구성은 실시 형태 1과 동일하다. 이렇게 하면 도 11에 나타내는 바와 같이 유리 기판(G)과 수지 필름(F)이 적층된 피가공물의 수지 필름측에 칼자국을 넣을 때에, 커터 휠(34B)이 수지 필름(F)에 압입되지만, 유리 기판(G)의 면에 파고드는 일은 없다. 따라서 유리 기판의 수지 필름면측에 손상을 입히는 일 없이 수지 필름만을 절단할 수 있어, 유리면의 손상을 방지할 수 있다.This cutter wheel 34B is attached to the cutter holder 30C, and is further attached to the holder joint 40A, as shown to FIG. 10 (b). The rest of the configuration is the same as that of the first embodiment. In this case, as shown in FIG. 11, the cutter wheel 34B is press-fitted into the resin film F when the cutting marks are placed on the resin film side of the workpiece on which the glass substrate G and the resin film F are laminated. It does not penetrate into the surface of the board | substrate G. Therefore, only a resin film can be cut | disconnected without damaging the resin film surface side of a glass substrate, and the damage of a glass surface can be prevented.

(실시 형태 4)(Embodiment 4)

다음으로 본 발명의 실시 형태 4에 의한 커터 장치에 대해서 설명한다. 도 12는 본 실시 형태 4에 의한 커터 홀더(30D)의 사시도이다. 도 13은 본 실시 형태의 커터 홀더(30D) 및, 홀더 조인트(40B)의 단면(斷面)을 나타내는 도면이다. 또한, 도 13에 있어서의 홀더 조인트(40B)의 단면은, 다각형상의 양측면의 사이를 양측면에 평행한 면으로 잘랐을 때의 면이다.Next, the cutter apparatus by Embodiment 4 of this invention is demonstrated. 12 is a perspective view of the cutter holder 30D according to the fourth embodiment. FIG. 13: is a figure which shows the cross section of the cutter holder 30D of this embodiment, and the holder joint 40B. In addition, the cross section of the holder joint 40B in FIG. 13 is a surface at the time of cut | disconnecting between the both sides of polygonal shape to the surface parallel to both sides.

커터 홀더(30D)는, 대략 원주형의 자성체 금속으로 되어 있으며, 외주면부의 전 둘레에 걸쳐서 원환(圓環) 형상으로 형성된 홈(37)을 갖고 있다. 또한 커터 홀더(30D)는, 실시 형태 1과 동일하게 커터 휠(34A)을 고정적으로 지지하고 있으며, 또한 홀더 조인트(40B)로의 삽입을 용이하게 함과 아울러 고정하기 위해서, 측면으로부터 돌출된 조작 바(38)를 부착부로서 갖고 있다.The cutter holder 30D is made of a substantially cylindrical magnetic metal, and has a groove 37 formed in an annular shape over the entire circumference of the outer peripheral surface portion. In addition, the cutter holder 30D supports the cutter wheel 34A in a fixed manner as in the first embodiment, and furthermore, an operation bar protruding from the side to facilitate and fix the cutter wheel 34A into the holder joint 40B. (38) is provided as an attachment part.

홀더 조인트(40B)는, 커터 홀더(30D)를 삽입하여 지지하기 위한 대략 원주 형상의 지지 구멍부(46) 및, 커터 홀더(30D)의 조작 바(38)를 도입하기 위한 바 도입홈(47)을 갖는 것이다. 바 도입홈(47)은, 도 13에 있어서의 홀더 조인트(40B)의 단면에 일부분만이 도시되어 있다. 도 13에 나타내는 바와 같이, 지지 구멍부(46)에는, 예를 들면 스프링 부재 등의 탄성 부재(48)가 형성되어 있다.The holder joint 40B has a substantially cylindrical support hole 46 for inserting and supporting the cutter holder 30D, and a bar inlet groove 47 for introducing the operation bar 38 of the cutter holder 30D. ) Only a part of the bar introduction groove 47 is shown in the cross section of the holder joint 40B in FIG. As shown in FIG. 13, elastic member 48, such as a spring member, is formed in the support hole 46, for example.

커터 홀더(30D)는, 조작 바(38)를 바 도입홈(47)에 도입하면서, 지지 구멍부(46)에 삽입된다. 커터 홀더(30D)가 지지 구멍부(46)에 삽입되어 조작 바(38)가 바 도입홈(47)의 최상부에까지 끌어 올려졌을 때, 도 13에 나타내는 바와 같이 커터 홀더(30D)의 홈(37)이 지지 구멍부(46)의 탄성 부재(48)와 걸어맞춰져, 커터 홀더(30D)는 홀더 부착부(40B)에 고정된다. 또한, 조작 바(38)는 바 도입홈(47)에서 회전 방향의 움직임이 억제되므로, 커터 홀더(30D)는, 홀더 부착부(40B)의 지지 구멍부(46) 내에서 정확하게 위치결정된다. 그 외의 구성은 전술한 실시 형태 1과 동일하며, 동일한 효과를 얻을 수 있다.The cutter holder 30D is inserted into the support hole 46 while introducing the operation bar 38 into the bar introduction groove 47. When the cutter holder 30D is inserted into the support hole 46 and the operation bar 38 is pulled up to the top of the bar introduction groove 47, the groove 37 of the cutter holder 30D as shown in FIG. ) Is engaged with the elastic member 48 of the support hole 46, so that the cutter holder 30D is fixed to the holder attaching portion 40B. In addition, since the operation bar 38 is suppressed in the rotational direction in the bar introduction groove 47, the cutter holder 30D is accurately positioned in the support hole 46 of the holder attachment portion 40B. The other structure is the same as that of Embodiment 1 mentioned above, and the same effect can be acquired.

(실시 형태 5)(Embodiment 5)

다음으로 본 발명의 실시 형태 5에 대해서 설명한다. 실시 형태 4에서는 커터 홀더(30D)에 1개의 조작 바를 형성하고 있지만, 실시 형태 5의 커터 홀더(30E)에 대해서는, 도 14에 나타내는 바와 같이, 2개의 조작 바(38A, 38B)를 좌우에 대칭으로 형성한다. 이 경우에는 홀더 조인트(40C)에 대해서도 바 도입홈(47A, 47B)을 좌우에 형성한다. 또한 커터 홀더(30E)를 지지하는 탄성 부재는 도시하지 않은 측방에 형성해 둔다. 이렇게 하면 커터 홀더(30E)를 삽입해 피가공물의 절단을 행한 후, 커터 휠의 날끝이 마모되면, 실시 형태 2와 동일하게 삽입 방향을 180° 회전시켜 커터 홀더(30E)를 홀더 조인트(40C)에 부착할 수 있다. 이 때문에 커터 휠의 2개소를 절단에 이용할 수 있다. 이 전환은 커터 휠 자체를 떼어낼 필요는 없기 때문에, 매우 용이하게 행할 수 있어, 커터 휠을 일체화한 커터 홀더를 장수명화할 수 있다.Next, Embodiment 5 of this invention is described. In the fourth embodiment, one operation bar is formed in the cutter holder 30D. However, as illustrated in FIG. 14, the two operation bars 38A and 38B are symmetrically disposed on the cutter holder 30E of the fifth embodiment. To form. In this case, the bar introduction grooves 47A and 47B are also formed on the left and right sides of the holder joint 40C. Moreover, the elastic member which supports the cutter holder 30E is formed in the side which is not shown in figure. In this case, after inserting the cutter holder 30E and cutting the workpiece, if the blade tip of the cutter wheel is worn out, the insertion direction is rotated by 180 ° in the same manner as in the second embodiment to move the cutter holder 30E to the holder joint 40C. Can be attached to For this reason, two places of a cutter wheel can be used for cutting | disconnection. Since this switching does not need to remove the cutter wheel itself, it can be performed very easily, and the cutter holder which integrated the cutter wheel can be extended.

(실시 형태 6)(Embodiment 6)

또한 전술한 각 실시 형태에서는, 1개의 커터 헤드를 갖는 커터 장치에 대해서 설명했다. 피가공물을 스크라이브하기 위한 스크라이브 장치에, 도 5 등에 나타내는 홀더 조인트를 부착할 수 있는 경우에는, 그대로 커터 홀더를 부착하여 커터 장치로 할 수 있다. 또한 복수의 헤드를 갖는 멀티 스크라이브 장치에도 본 발명의 커터 홀더를 적용하여, 절단 기능과 스크라이브 기능을 갖는 커터 장치로 할 수도 있다. 이하 이러한 커터 장치를 실시 형태 6으로서 설명한다.Moreover, in each embodiment mentioned above, the cutter apparatus which has one cutter head was demonstrated. When the holder joint shown in FIG. 5 etc. can be attached to the scribe apparatus for scribing a to-be-processed object, a cutter holder can be attached as it is and it can be set as a cutter apparatus. Moreover, the cutter holder of this invention can also be applied to the multi-scribing apparatus which has a some head, and it can also be set as the cutter apparatus which has a cutting function and a scribe function. The cutter device will be described as a sixth embodiment below.

스크라이브 기능과 커터 기능을 갖는 커터 장치의 경우에는, 접합 기판을 피가공물로 하고, 피가공물 중 취성 재료 기판을 스크라이브 하여, 수지 필름을 커터 기능에 의해 절단한다. 예를 들면 피가공물은 유리 기판에 수지 필름이 접합된 패널 기판을 생각할 수 있다. 이 경우에는 상하에 각각 커터 헤드와 스크라이브 헤드가 탑재된 커터 장치를 이용하여, 도 16에 나타내는 바와 같이 하방으로부터 스크라이브 헤드(61)에 의해 스크라이브함과 아울러, 커터 헤드(34B)에 의해서 절단한다. 이에 따라 접합 기판을 용이하게 절단할 수 있다.In the case of a cutter device having a scribe function and a cutter function, the bonded substrate is used as the work piece, the brittle material substrate is scribed in the work piece, and the resin film is cut by the cutter function. For example, the workpiece can be considered a panel substrate in which a resin film is bonded to a glass substrate. In this case, using the cutter apparatus mounted with the cutter head and the scribe head up and down respectively, as shown in FIG. 16, it scribes with the scribe head 61 from below and cut | disconnects with the cutter head 34B. As a result, the bonded substrate can be easily cut.

본 발명은 수지 필름 및 이들이 적층된 기판 등의 피가공물을 절단하는 커터 장치 및 이것에 이용하는 커터 홀더에 관한 것으로, 커터 휠을 커터 홀더와 일체화하고 있기 때문에, 교환이 용이하게 커터 홀더를 실현할 수 있다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cutter device for cutting a workpiece such as a resin film, a substrate on which they are laminated, and a cutter holder for use therein. Since the cutter wheel is integrated with the cutter holder, the cutter holder can be easily replaced. .

1 : 커터 장치
11 : 이동대
16 : 테이블
22 : 커터 헤드
30A, 30B, 30C, 30D, 30E : 커터 홀더
31a, 31b, 36b : 평탄부
32 : 절결부
33 : 핀홈
34, 34A, 34B : 커터 휠
36 : 부착부
36a : 경사부
37 : 홈
38, 38A, 38B : 조작 바
40A, 40B, 40C : 홀더 조인트
41a, 41b : 베어링
42 : 지지부
43 : 지지 구멍부
44 : 마그넷
45 : 평행핀
46 : 지지 구멍부
47, 47A, 47B : 바 도입홈
51 : 화상 처리부
52 : 제어부
53 : X모터 구동부
54 : Y모터 구동부
55 : 회전용 모터 구동부
56 : 커터 홀더 승강부1: cutter unit
11: moving table
16: table
22: cutter head
Cutter Holder: 30A, 30B, 30C, 30D, 30E
31a, 31b, 36b: flat part
32: notch
33: pin groove
34, 34A, 34B: Cutter Wheel
36: attachment
36a: inclined portion
37: home
38, 38A, 38B: Operation Bar
40A, 40B, 40C: Holder Joint
41a, 41b: bearing
42: support part
43: support hole
44: magnet
45: parallel pin
46: support hole
47, 47A, 47B: Bar introduction groove
51: image processing unit
52: control unit
53: X motor drive unit
54: Y motor drive part
55: motor drive unit for rotation
56: cutter holder lift

Claims (13)

피가공물이 설치되는 설치 수단과,
상기 설치 수단상의 피가공물에 대향하도록 형성되는 커터 헤드와,
상기 커터 헤드의 선단에 형성되는 홀더 조인트와,
부착부를 갖고, 상기 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 부착되며, 외주면에 날끝이 형성된 커터 휠을 고정하는 커터 홀더와,
상기 커터 헤드를 상기 설치 수단상의 피가공물의 면에 수직으로 상하이동시키는 승강 수단과,
상기 커터 헤드 및 상기 피가공물을 상대적으로 피가공물의 평면을 따른 면 내에서 이동시키는 상대 이동부를 구비하고, 상기 커터 휠을 피가공물에 압접하면서 주사함으로써 피가공물을 절단하는 커터 장치.An installation means on which the work is installed;
A cutter head formed to face the workpiece on the installation means;
A holder joint formed at the tip of the cutter head,
A cutter holder having an attachment portion and detachably attached to the holder joint and fixing a cutter wheel having a blade tip formed on an outer circumferential surface thereof;
Lifting means for moving the cutter head perpendicularly to the surface of the workpiece on the mounting means;
And a relative moving portion for moving the cutter head and the workpiece in a plane relatively along the plane of the workpiece, and cutting the workpiece by scanning the cutter wheel while pressing the workpiece. 제1항에 있어서,
상기 커터 홀더는, 상기 커터 휠의 부착 방향을 180° 다르게 하여 상기 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 부착하기 위해 2개소의 부착부를 갖는 커터 장치.The method of claim 1,
The cutter holder has two attachment portions for attaching and detaching freely to the holder joint by varying the attachment direction of the cutter wheel by 180 °. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 커터 홀더의 부착부는, 상기 커터 홀더의 상부에 형성된 절결부(a cut-out)이며,
상기 홀더 조인트는, 상기 커터 홀더가 삽입되는 지지 구멍부 및, 상기 커터 홀더의 상기 절결부에 걸어맞추는 핀을 갖는 커터 장치.The method according to claim 1 or 2,
The attachment portion of the cutter holder is a cut-out formed on the cutter holder,
And the holder joint has a support hole portion into which the cutter holder is inserted, and a pin engaged with the cutout portion of the cutter holder. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 커터 홀더의 부착부는, 측방으로 돌출하는 조작 바이며,
상기 홀더 조인트는, 상기 커터 홀더가 삽입되는 지지 구멍부 및, 상기 커터 홀더의 상기 조작 바가 삽입되는 바 도입홈을 갖는 커터 장치.The method according to claim 1 or 2,
The attachment portion of the cutter holder is an operation bar projecting laterally,
The holder joint has a support hole portion into which the cutter holder is inserted and a bar introduction groove into which the operation bar of the cutter holder is inserted. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 커터 휠은, 상기 커터 홀더로부터 돌출하는 부분에 상기 피가공물의 면에 평행한 직선 형상의 절결을 갖는 커터 장치.The method according to claim 1 or 2,
And the cutter wheel has a straight cutout parallel to the surface of the workpiece at a portion protruding from the cutter holder. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 커터 휠은 원판 형상으로, 그 외주부에 날끝 각도가 10°∼80°인 날을 형성한 것인 커터 장치.The method according to claim 1 or 2,
The cutter wheel has a disc shape, and a cutter device having a blade tip angle of 10 ° to 80 ° in its outer peripheral portion. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 커터 장치의 피가공물은, 취성 재료 기판에 가요성을 갖는 기판을 접합한 접합 기판이며,
상기 커터 휠은, 상기 피가공물의 취성 재료 기판보다 경도가 낮은 재질로 형성되어, 상기 피가공물의 가요성을 갖는 기판을 절단하는 것이며,
상기 커터 장치는, 상기 피가공물의 취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이브 헤드를 추가로 갖는 커터 장치.The method according to claim 1 or 2,
The workpiece of the cutter device is a bonded substrate in which a substrate having flexibility is bonded to a brittle material substrate,
The cutter wheel is formed of a material having a lower hardness than the brittle material substrate of the workpiece to cut the substrate having flexibility of the workpiece,
The cutter device further comprises a scribe head for scribing a brittle material substrate of the workpiece. 피가공물에 대향하도록 형성되는 커터 헤드 및, 상기 커터 헤드의 선단에 형성되는 홀더 조인트를 갖고, 커터 휠을 피가공물에 압접하면서 주사함으로써 피가공물을 절단하는 커터 장치에 이용되는 커터 홀더로서,
부착부를 갖고, 상기 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 부착되며, 외주면에 날끝이 형성된 커터 휠을 고정하는 커터 홀더.A cutter holder having a cutter head formed to face a workpiece and a holder joint formed at the tip of the cutter head, and used for a cutter device for cutting a workpiece by scanning the cutter wheel while pressing the workpiece.
A cutter holder having an attachment portion, and detachably attached to the holder joint, and fixing a cutter wheel having a blade tip formed on an outer circumferential surface thereof. 제8항에 있어서,
상기 커터 홀더는, 상기 커터 휠의 부착 방향을 180° 다르게 하여 상기 홀더 조인트에 착탈이 자유롭게 부착하기 위해 2개소의 부착부를 갖는 커터 홀더.The method of claim 8,
The cutter holder has two attachment portions for attaching and detaching freely to the holder joint by varying the attachment direction of the cutter wheel by 180 °. 제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 커터 홀더의 부착부는, 상기 커터 홀더의 상부에 형성된 절결부이며,
상기 홀더 조인트는, 상기 커터 홀더가 삽입되는 지지 구멍부 및, 상기 커터 홀더의 상기 절결부에 걸어맞추는 핀을 갖는 커터 홀더.The method according to claim 8 or 9,
The attachment portion of the cutter holder is a cutout portion formed on the upper portion of the cutter holder,
And the holder joint has a support hole portion into which the cutter holder is inserted, and a pin engaged with the cutout portion of the cutter holder. 제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 커터 홀더의 부착부는, 측방으로 돌출하는 조작 바이며,
상기 홀더 조인트는, 상기 커터 홀더가 삽입되는 지지 구멍부 및, 상기 커터 홀더의 상기 조작 바가 삽입되는 바 도입홈을 갖는 커터 홀더.The method according to claim 8 or 9,
The attachment portion of the cutter holder is an operation bar projecting laterally,
The holder joint has a support hole portion into which the cutter holder is inserted and a bar introduction groove into which the operation bar of the cutter holder is inserted. 제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 커터 휠은, 상기 커터 홀더로부터 돌출하는 부분에 상기 피가공물의 면에 평행한 직선 형상의 절결을 갖는 커터 홀더.The method according to claim 8 or 9,
And the cutter wheel has a straight cutout parallel to the surface of the workpiece at a portion protruding from the cutter holder. 제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 커터 휠은 원판 형상으로, 그 외주부에 날끝 각도가 10°∼80°인 날을 형성한 것인 커터 홀더.The method according to claim 8 or 9,
The cutter wheel has a disc shape, and a cutter holder having a blade tip angle of 10 ° to 80 ° formed on an outer circumference thereof.
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