KR20100069996A - 압력 측정 장치 및 그의 압력 측정 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 개구부를 가지는 하우징;상기 개구부를 밀폐하며, 상기 하우징 내부의 압력 변화에 따라 상이한 곡률을 갖는 격막; 및상기 격막의 곡률 변화에 따라 상기 압력을 측정하는 제어기를 포함하는 압력 측정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 격막으로 광을 조사하는 조사기 및 상기 격막으로부터 반사된 광을 수신받는 수광기를 더 포함하되,상기 제어기는 상기 수광기로 수신된 광의 위치변화에 따라 상기 곡률을 측정하는 압력 측정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 격막을 향해 광을 조사하는 조사기 및 상기 격막으로부터 반사된 광을 수신하는 수광기를 더 포함하되,상기 조사기는상기 격막의 제1위치에 제1광을 조사하는 제1 조사기; 및상기 격막의 제2위치에 제2광을 조사하는 제2 조사기를 포함하고,상기 제어기는 상기 제1 및 제2광들이 격막으로부터 반사되어 상기 수광기에 수신된 것들 간의 거리 변화를 측정하여 상기 격막의 곡률을 측정하는 압력 측정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 수광기는 좌표계를 포함하되,상기 제어기는 상기 좌표계에 수신된 광의 위치에 따라 상기 격막의 곡률을 측정하는 압력 측정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 격막은 광반사율일 향상되도록 처리된 표면을 갖는 압력 측정 장치.
- 개구부를 갖는 하우징 및 상기 개구부를 밀폐하며 상기 하우징 내부의 압력 변화에 따라 상이한 곡률을 갖는 격막을 구비하여, 상기 격막의 곡률 변화에 따라 상기 압력을 측정하는 압력 측정 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 압력을 측정하는 것은상기 격막을 향해 광을 조사하는 것; 및상기 격막으로부터 반사된 광을 분석하는 것을 포함하는 압력 측정 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 광을 분석하는 것은 수신된 광의 위치 변화를 판단하는 것을 포함하는 압력 측정 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 격막을 향해 광을 조사하는 것은 상기 격막을 향해 적어도 두 개의 광들을 조사하는 것을 포함하되,상기 광을 분석하는 것은 상기 격막으로부터 반사되는 광들의 거리 변화를 판단하는 것을 포함하는 압력 측정 방법.
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