JP2013170978A - 差圧/圧力複合センサの異常診断方法 - Google Patents

差圧/圧力複合センサの異常診断方法 Download PDF

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Abstract

【課題】差圧/圧力複合センサの正常/異常の判断を1つの評価指標で行う。
【解決手段】流量制御バルブを全閉とし、さらに2次側を大気開放する。これにより、差圧/圧力複合センサ4の差圧センサチップ43に加えられる測定圧P2が大気圧とされる。このとき、差圧センサチップ43と圧力センサチップ46には、流量制御バルブの1次側の流体圧力が測定圧P1として加わっている。差圧センサチップ43からの差圧信号ΔPと圧力センサチップ46からの静圧信号PGを取得し、これらの信号から得られる差圧ΔPと静圧PGとの差を評価指標ΔPGとして求め、評価指標ΔPGが使用限界値を超えていれば異常信号を出力し、切替閾値(切替閾値<使用限界値)を超えていればセンサ交換信号を出力する。
【選択図】 図5

Description

この発明は、差圧測定用の差圧センサと静圧測定用の圧力センサとを備えた差圧/圧力複合センサの異常診断方法に関するものである。
従来より、流体の流量を測定する方法として、流路に絞りを設け、絞りの上流と下流の圧力差が流速に比例することを利用して、絞りの上流と下流の圧力差を測定して流量に変換する方法がある。このような場合、通常は差圧センサが用いられる。差圧センサは、2種類の測定圧をセンサダイアフラムに同時に受け、その差圧を検出するセンサである。一方、このような流量計測がなされるとき、静圧、すなわち大気圧を基準としたゲージ圧、又は真空圧を基準とした絶対圧を測定し、流体の密度変化の補正を同時に行うことがある。前述のとおり、差圧センサは、2点間の圧力差を測るものなので、静圧自体を測ることはできない。
そこで、差圧測定用の差圧センサと静圧測定用の圧力センサとを組み合わせた差圧/圧力複合センサが提案されている(例えば、特許文献1参照)。この差圧/圧力複合センサでは、封入液が封止されたボディの内部空間に、差圧測定用の差圧センサと静圧測定用の圧力センサを収容している。
この差圧/圧力複合センサは、1つのセンサで差圧と静圧を検出することができる長所を有するが、差圧センサと圧力センサの何れか一方が異常となるとセンサの検出出力の信頼性が損なわれる。そこで、従来は、例えば特許文献2に開示されているように、正常時の差圧センサの出力値を基準として差圧センサの正常時の上下限の範囲を定め、この上下限の範囲を差圧センサの出力値が逸脱すれば差圧センサの異常と判断し、同様に、正常時の圧力センサの出力値を基準として圧力センサの正常時の上下限の範囲を定め、この上下限の範囲を圧力センサの出力値が逸脱すれば圧力センサの異常と判断していた。
特開2003−42878号公報 特開2003−214970号公報
しかしながら、上述した特許文献2に開示されている方法では、差圧センサの出力値と圧力センサの出力値の2つを評価指標としているため、差圧センサと圧力センサの両方に対して正常時の上下限の範囲を記憶させておかなければならず、処理も複雑となるという問題があった。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、差圧/圧力複合センサの正常/異常の判断を1つの評価指標で行うことが可能な差圧/圧力複合センサの異常診断方法を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、第1の測定圧と第2の測定圧との差を検出する差圧センサと、第1の測定圧と基準圧との差を検出する圧力センサとを備えた差圧/圧力複合センサの異常診断方法であって、第2の測定圧を所定の圧力とする第1ステップと、第2の測定圧が所定の圧力とされている状態で、差圧センサによって検出される第1の測定圧と第2の測定圧との差および圧力センサによって検出される第1の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第1の測定圧と第2の測定圧との差と第1の測定圧と基準圧との差に基づいて差圧/圧力複合センサの異常の有無を判定する第2ステップとを備えることを特徴とする。
本発明において、例えば、基準圧を大気圧とし、第1ステップにおいて第2の測定圧を大気圧とするものとした場合、第2ステップでは、差圧センサによって検出される第1の測定圧と第2の測定圧(大気圧)との差および圧力センサによって検出される第1の測定圧と基準圧(大気圧)との差が取得され、この取得された第1の測定圧と第2の測定圧(大気圧)との差と第1の測定圧と基準圧(大気圧)との差とが比較され、その比較結果に基づいて差圧/圧力複合センサの異常の有無が判定される。この場合、正常であれば、第1の測定圧と第2の測定圧(大気圧)との差と第1の測定圧と基準圧(大気圧)との差は等しくなるはずである。したがって、第2ステップにおいて、第1の測定圧と第2の測定圧(大気圧)との差と第1の測定圧と基準圧(大気圧)との差とを比較することにより、その比較結果(1つの評価指標)から差圧/圧力複合センサの異常の有無を判定することができる。
本発明において、例えば、基準圧を真空圧とし、第1ステップにおいて第2の測定圧を大気圧とするものとした場合、第2ステップでは、差圧センサによって検出される第1の測定圧と第2の測定圧(大気圧)との差および圧力センサによって検出される第1の測定圧と基準圧(真空圧)との差が取得され、この取得された第1の測定圧と第2の測定圧(大気圧)との差と第1の測定圧と基準圧(真空圧)との差とが比較され、その比較結果に基づいて差圧/圧力複合センサの異常の有無が判定される。この場合、正常であれば、第1の測定圧と第2の測定圧(大気圧)との差と第1の測定圧と基準圧(真空圧)との差は、例えば第1の測定圧と基準圧(真空圧)との差から大気圧を差し引けば、等しくなるはずである。したがって、第2ステップにおいて、第1の測定圧と第2の測定圧(大気圧)との差と第1の測定圧と基準圧(真空圧)との差とを比較することにより、その比較結果(1つの評価指標)から差圧/圧力複合センサの異常の有無を判定することができる。
また、例えば、本発明を差圧/圧力複合センサと流量制御バルブとを組み合わせたシステムに適用するものとした場合、第1の測定圧を流量制御バルブの1次側の流体圧力とし、第2の測定圧を流量制御バルブの2次側の流体圧力とする。そして、第1ステップにおいて、流量制御バルブの開度を全閉とし、さらに2次側を大気開放することによって、第2の測定圧を大気圧とする。この場合、第2ステップでは、差圧センサによって検出される第1の測定圧(1次側の流体圧力)と第2の測定圧(大気圧)との差および圧力センサによって検出される第1の測定圧(1次側の流体圧力)と基準圧(大気圧/真空圧)との差が取得され、この取得した第1の測定圧(1次側の流体圧力)と第2の測定圧(大気圧)との差と第1の測定圧(1次側の流体圧力)と基準圧(大気圧/真空圧)との差に基づいて差圧/圧力複合センサの異常の有無が判定される。
なお、本発明では、第1ステップにおいて、第2の測定圧を所定の圧力とするが、この所定の圧力は必ずしも大気圧でなくてもよい。また、基準圧も大気圧や真空圧に限られるものでもない。また、本発明において、差圧センサや圧力センサは、それぞれセンサチップとして独立したものであってもよく、1チップ上に形成されたものであってもよい。
本発明によれば、第2の測定圧が所定の圧力とされている状態で、差圧センサによって検出される第1の測定圧と第2の測定圧との差および圧力センサによって検出される第1の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第1の測定圧と第2の測定圧との差と第1の測定圧と基準圧との差に基づいて差圧/圧力複合センサの異常の有無を判定するようにしたので、差圧/圧力複合センサの正常/異常の判断を1つの評価指標で行うことが可能となり、差圧センサと圧力センサの両方に対して正常時の上下限の範囲を記憶させておく必要がなくなり、処理も簡単となる。
本発明の実施に用いる流量計測機能付きバルブの要部の構成を示す図である。 この流量計測機能付きバルブに設けられた差圧/圧力複合センサの要部の断面図である。 この流量計測機能付きバルブにおけるコントローラが有する異常診断機能を説明するためのフローチャートである。 コントローラからバルブ(流量制御バルブ)へ全閉指令が送られ、さらに2次側が大気開放された状態を示す図である。 バルブ(流量制御バルブ)が全閉とされ、さらに2次側が大気開放された時の差圧/圧力複合センサへの測定圧P1,P2の印加状態を示す図である。 異常診断機能により求められる評価指標ΔPGのトレンドを例示する図である。 コントローラが有する異常診断機能の機能ブロック図である。 静圧PGとして絶対圧を測定するようにした場合の差圧/圧力複合センサの要部の断面図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の実施に用いる流量計測機能付きバルブ100の要部の構成を示す図である。図1において、1は流体が流れる流路L1中に設けられたバルブ(流量制御バルブ)、2はバルブ1を駆動するアクチュエータ、3はアクチュエータ2の駆動を制御するコントローラ、4はバルブ1の上流側(1次側)と下流側(2次側)とをバイパスする管路L2中に設けられた差圧/圧力複合センサ、5はバルブ1の2次側を大気開放するためのバルブ(大気開放バルブ)である。なお、コントローラ3は実際にはアクチュエータ2に内蔵されているが、この例では分かり易いようにアクチュエータ2の外部に示している。また、コントローラ3はバルブ5の開閉も制御し、通常はバルブ5を全閉としている。
図2に差圧/圧力複合センサ4の要部の断面図を示す。図2において、41は金属製のボディであり、管路L2の上流側管路L21と下流側管路L22との間に設けられている。ボディ41は、内部空間として、隔壁41−1によって区画された第1の空間41−2と第2の空間41−3とを有している。隔壁41−1には、第1の空間41−2と第2の空間41−3とを連通する貫通路41−4と、第1の空間41−2とボディ41の外部空間とを連通する連通路41−5が設けられている。第1の空間41−2の開口部41−2aには第1の金属ダイアフラム(第1の受圧ダイアフラム)42−1が設けられており、第2の空間41−3の開口部41−3aには第2の金属ダイアフラム(第2の受圧ダイアフラム)42−2が設けられている。
43は差圧センサチップであり、その中央部を薄肉状としてセンサダイアフラムS1が形成されており、このセンサダイアフラムS1の一方の面43aに対する他方の面43bに凹部43cが形成されている。差圧センサチップ43は、センサダイアフラムS1の一方の面43aを第1の受圧ダイアフラム42−1に臨むようにして、センサダイアフラムS1の他方の面43bに通ずる連通路44を隔壁41−1の貫通路41−4に連通させるようにして、第1の空間41−2に位置する隔壁41−1の壁面41−1aに台座45を介して接合されている。台座45は筒状とされており、その中空部45aと差圧センサチップ43の凹部43cとによって、センサダイアフラムS1の他方の面43bに通ずる連通路44が形成されている。差圧センサチップ43はシリコンなどから成り、台座45はシリコンやガラスなどから成る。
46は圧力センサチップであり、その中央部を薄肉状としてセンサダイアフラムS2が形成されており、このセンサダイアフラムS2の一方の面46aに対する他方の面46bに凹部46cが形成されている。圧力センサチップ46は、センサダイアフラムS2の一方の面46aを第1の受圧ダイアフラム42−1に臨むようにして、センサダイアフラムS2の他方の面46bに通ずる連通路47を隔壁41−1の連通路41−5に連通させるようにして、第1の空間41−2に位置する隔壁41−1の壁面41−1aに台座48を介して接合されている。台座48は筒状とされており、その中空部48aと圧力センサチップ46の凹部46cとによって、センサダイアフラムS2の他方の面46bに通ずる連通路47が形成されている。圧力センサチップ46はシリコンなどから成り、台座48はシリコンやガラスなどから成る。
ボディ41には、第1の空間41−2を第1の封入室49−1として、第1の圧力伝達用媒体40−1が封止されている。また、第2の空間41−3および隔壁41−1の貫通路41−4および差圧センサチップ43のセンサダイアフラムS1の他方の面43−1bに通ずる連通路44を第2の封入室49−2として、第2の圧力伝達用媒体40−2が封止されている。圧力伝達用媒体40−1,40−2としては、シリコーンオイル等の非圧縮性流体が用いられる。
この差圧/圧力複合センサ4では、バルブ1の1次側の流体圧力が測定圧P1として第1の受圧ダイアフラム42−1に加わり、この第1の受圧ダイアフラム42−1が受けた測定圧P1が第1の圧力伝達用媒体40−1を介して差圧センサチップ43のセンサダイアフラムS1の一方の面43aに伝達され、バルブ1の2次側の流体圧力が測定圧P2として第2の受圧ダイアフラム42−2に加わり、この第1の受圧ダイアフラム42−2が受けた測定圧P2が第2の圧力伝達用媒体40−2を介して差圧センサチップ43のセンサダイアフラムS1の他方の面43bに伝達される。その結果、差圧センサチップ43のセンサダイアフラムS1が測定圧P1と測定圧P2との圧力差に応じて撓み、その圧力差に応じた信号が差圧ΔPを示す信号(以下、この信号を差圧信号ΔPと呼ぶ)として差圧センサチップ43から出力される。この差圧信号ΔPはコントローラ3へ送られる。差圧センサチップ43のセンサダイアフラムS1には、差圧信号ΔPを出力するための構成として、圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージが形成されている。
また、この差圧/圧力複合センサ4では、バルブ1の1次側の流体圧力が測定圧P1として第1の受圧ダイアフラム42−1に加わり、この第1の受圧ダイアフラム42−1が受けた測定圧P1が第1の圧力伝達用媒体40−1を介して圧力センサチップ46のセンサダイアフラムS2の一方の面46aに伝達され、ボディ1の外部空間の圧力(大気圧)が基準圧P3として圧力センサチップ46のセンサダイアフラムS2の他方の面46bに伝達される。その結果、圧力センサチップ46のセンサダイアフラムS2が測定圧P1と基準圧(大気圧)P3との圧力差に応じて撓み、その圧力差に応じた信号が静圧PGを示す信号(以下、この信号を静圧信号PGと呼ぶ)として圧力センサチップ46から出力される。この静圧信号PGはコントローラ3へ送られる。圧力センサチップ46のセンサダイアフラムS2には、静圧信号PGを出力するための構成として、圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージが形成されている。
コントローラ3は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、基本機能としてバルブ1の流量制御機能に加え、本実施の形態特有の機能として差圧/圧力複合センサ4の異常診断機能を有している。
〔流量制御機能〕
先ず、コントローラ3が有する流量制御機能について説明する。コントローラ3は、差圧/圧力複合センサ4からの差圧信号ΔPを入力とし、この入力された差圧信号ΔPに基づいて、バルブ1を流れている現在の流体の流量Qpvを計測する。そして、この計測した流量Qpvと上位から与えられる設定流量Qspとを比較し、Qpv=Qspとなるようにアクチュエータ2へ駆動指令を送り、バルブ1の開度を制御する。
〔異常診断機能〕
次に、コントローラ3が有する異常診断機能について説明する。コントローラ3は、一定期間が経過する毎に異常診断として、差圧/圧力複合センサ4の定期検査を実行する。図3にコントローラ3が実行する定期検査のフローチャートを示す。
コントローラ3は、定期検査の実行日となると(ステップS101のYES)、図4に示すように、アクチュエータ2へ全閉指令を送り、バルブ(流量制御バルブ)1を全閉とし、さらにバルブ(大気開放バルブ)5へ全開指令を送り、バルブ5を全開とする(ステップS102)。これにより、バルブ1の2次側が大気開放され、図5に示すように、差圧/圧力複合センサ4における差圧センサチップ43のセンサダイアフラムS1の他方の面43bに加えられる測定圧P2が大気圧とされる。このとき、差圧センサチップ43のセンサダイアフラムS1の一方の面43aと圧力センサチップ46のセンサダイアフラムS2の一方の面43aには、バルブ1の1次側の流体圧力が測定圧P1として加わっている。
コントローラ3は、バルブ1の2次側を大気開放させた状態(測定圧P2が大気圧とされている状態)で、その時の差圧センサチップ43からの差圧信号ΔPと圧力センサチップ46からの静圧信号PGを取得する(ステップS103)。すなわち、差圧センサチップ43によって検出される測定圧P1(1次側の流体圧力)と測定圧P2(大気圧)との差である差圧ΔPを取得し、圧力センサチップ46によって検出される測定圧P1(1次側の流体圧力)と基準圧P3(大気圧)との差である静圧PGを取得する。
そして、コントローラ3は、その取得した差圧ΔPと静圧PGとの差を評価指標ΔPGとして求める(ステップS104)。この時、差圧/圧力複合センサ4が正常であれば、取得した差圧ΔPと静圧PGとは等しく、評価指標ΔPGは零となるはずである。
次に、コントローラ3は、その求めた評価指標ΔPGと予め設定されている使用限界値とを比較する(ステップS105)。ここで、評価指標ΔPGが使用限界値を超えていれば(ステップS105のYES)、直ちに警報信号を出力し(ステップS108)、差圧/圧力複合センサ4に異常が生じたことを知らせる。
評価指標ΔPGが使用限界値を超えていなければ(ステップS105のNO)、コントローラ3は、評価指標ΔPGと切替閾値とを比較する(ステップS106)。この切替閾値は使用限界値よりも低めに設定されている。コントローラ3は、評価指標ΔPGが切替閾値を超えていれば(ステップS106のYES)、センサ交換信号を出力し(ステップS106)、差圧/圧力複合センサ4の交換を促す。評価指標ΔPGが切替閾値を超えていなければ(ステップS106のNO)、ステップS101へ戻り、定期検査を繰り返す。
このようにして、コントローラ3は、一定期間が経過する毎に異常診断として、差圧/圧力複合センサ4の定期検査を実行する。図6に評価指標ΔPGのトレンドを例示する。通常は、図6に示されるように、評価指標ΔPGは時間の経過に伴って大きくなって行く。この場合、一定期間が経過する毎に求められる評価指標ΔPGが切替閾値を超えた時点で、センサ交換信号が出力される。
これにより、大きな出力異常が認められる前に異常を察知して、差圧/圧力複合センサ4を交換することが可能となり、トラブルを最小限に抑えることが可能となる。また、差圧/圧力複合センサ4を使用限界直前まで有効に活用でき、交換コストを削減することが可能となる。また、評価指標ΔPGが使用限界値を超えた場合には直ちに警報信号が出力されるので、差圧/圧力複合センサ4の大きな出力異常にも速やかに対処することが可能となる。また、差圧/圧力複合センサ4を取り外して検査するなど、差圧/圧力複合センサ4の正常/異常を定期的に確認する必要もない。
また、差圧/圧力複合センサ4の正常/異常の判断を1つの評価指標ΔPGで行うことができるので、差圧センサチップ43と圧力センサチップ46の両方に対して正常時の上下限の範囲を記憶させておく必要がなくなり、処理も簡単となる。
図7にコントローラ3が有する異常診断機能の機能ブロック図を示す。同図において、3−1は差圧・静圧取得部、3−2は評価指標算出部、3−3は異常判定部である。
差圧・静圧取得部3−1は、一定期間が経過する毎に、アクチュエータ2にバルブ1の全閉指令を送り、さらにバルブ5に全開指令を送り、差圧センサチップ43からの差圧信号ΔPと圧力センサ46からの静圧信号PGを取得する。
評価指標算出部3−2は、差圧・静圧取得部3−1が取得した差圧信号ΔPから得られる差圧ΔPと静圧信号PGから得られる静圧PGとの差を評価指標ΔPGとして求める。
異常判定部3−3は、評価指標算出部3−2からの評価指標ΔPGを入力とし、評価指標ΔPGが使用限界値を超えていれば警報信号を出力し、評価指標ΔPGが使用限界値を超えておらず、切替閾値を超えていればセンサ交換信号を出力する。
なお、上述した実施の形態において、コントローラ3からのセンサ交換信号や警報信号は、通信で上位装置へ送るようにしてもよく、流量計測機能付きバルブ100においてその信号に基づく表示を行わせるようにしてもよい。
また、上述した実施の形態では、基準圧P3を大気圧とし静圧PGとしてゲージ圧を測定するものとしたが、基準圧P3を真空圧とし静圧PGとして絶対圧を測定するようにしてもよい。
図8に静圧PGとして絶対圧を測定するようにした場合の差圧/圧力複合センサ4の要部の断面図を示す。以下、図2に示した差圧/圧力複合センサ4と区別するために、図2に示した差圧/圧力複合センサ4を差圧/圧力複合センサ4Aとし、図8に示した差圧/圧力複合センサ4を差圧/圧力複合センサ4Bとする。
この差圧/圧力複合センサ4Bでは、差圧/圧力複合センサ4Aがボディ41に連通路41−5を設けていたのに対し、この連通路41−5をボディ41からなくし、圧力センサチップ46のセンサダイアフラムS2の他方の面46bに通ずる連通路47を真空としている。これにより、基準圧P3が真空圧とされ、絶対圧を示す静圧信号PGがコントローラ3へ送られるものとなる。
この差圧/圧力複合センサ4Bでは、静圧信号PGから得られる静圧PG(絶対圧)から大気圧を差し引いた値を静圧PG’として求め、差圧信号ΔPから得られる差圧ΔPとその求めた静圧PG’との差を評価指標ΔPGとして求める。この時、差圧/圧力複合センサ4Bが正常であれば、差圧ΔPと静圧PG’とは等しく、評価指標ΔPGは零となるはずである。したがって、差圧ΔPと静圧PG’との差を評価指標ΔPGとすることにより、上述した実施の形態と同様にして差圧/圧力複合センサ4Bの異常の有無を判定することができる。
なお、この場合、静圧PG(絶対圧)から差し引く大気圧は、標準大気圧としてもよいし、その時の大気圧としてもよい。また、差圧信号ΔPから得られる差圧ΔPに大気圧を加算した値を差圧ΔP’として求め、この求めた差圧ΔP’と静圧信号PGから得られる静圧PG(絶対圧)との差を評価指標ΔPGとして求めるようにしてもよい。
また、上述した実施の形態では、差圧センサを差圧センサチップ43とし、圧力センサを圧力センサチップ46とし、ボディ41内にそれぞれ独立して収容するようにしたが、差圧センサと圧力センサを1チップ上に形成して1つのセンサチップとし、このセンサチップをボディ41内に収容するようにしてもよい。
また、上述した実施の形態では、差圧センサチップ43や圧力センサチップ46を圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージを形成したタイプとしたが、静電容量式のセンサチップとしてもよい。静電容量式のセンサチップは、所定の空間(容量室)を備えた基板と、その基板の空間上に配置されたダイアフラムと、基板に形成された固定電極と、ダイアフラムに形成された可動電極とを備えている。ダイアフラムが圧力を受けて変形することで、可動電極と固定電極との間隔が変化してその間の静電容量が変化する。
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
1…バルブ(流量制御バルブ)、2…アクチュエータ、3…コントローラ、L1…流路、L2…管路、L21…上流側管路、L22…下流側管路、4(4A,4B)…差圧/圧力複合センサ、5…バルブ(大気開放バルブ)、40−1…第1の圧力伝達用媒体、40−2…第2の圧力伝達用媒体、41…ボディ、41−1…隔壁、41−2…第1の空間、41−3…第2の空間、41−4…貫通路、41−5…連通路、42−1…第1の受圧ダイアフラム、42−2…第2の受圧ダイアフラム、43…差圧センサチップ、S1…センサダイアフラム、44…連通路、45…台座、46…圧力センサチップ、S2…センサダイアフラム、47…連通路、48…台座、49−1…第1の封入室、49−2…第2の封入室、3−1…差圧・静圧取得部、3−2…評価指標算出部、3−3…異常判定部、100…流量計測機能付きバルブ。

Claims (4)

  1. 第1の測定圧と第2の測定圧との差を検出する差圧センサと、前記第1の測定圧と基準圧との差を検出する圧力センサとを備えた差圧/圧力複合センサの異常診断方法であって、
    前記第2の測定圧を所定の圧力とする第1ステップと、
    前記第2の測定圧が所定の圧力とされている状態で、前記差圧センサによって検出される前記第1の測定圧と第2の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第1の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第1の測定圧と第2の測定圧との差と第1の測定圧と基準圧との差に基づいて前記差圧/圧力複合センサの異常の有無を判定する第2ステップと
    を備えることを特徴とする差圧/圧力複合センサの異常診断方法。
  2. 請求項1に記載された差圧/圧力複合センサの異常診断方法において、
    前記基準圧は大気圧であり、
    前記第1ステップは、
    前記第2の測定圧を大気圧とし、
    前記第2ステップは、
    前記第2の測定圧が大気圧とされている状態で、前記差圧センサによって検出される前記第1の測定圧と第2の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第1の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第1の測定圧と第2の測定圧との差と第1の測定圧と基準圧との差とを比較し、その比較結果に基づいて前記差圧/圧力複合センサの異常の有無を判定する
    ことを特徴とする差圧/圧力複合センサの異常診断方法。
  3. 請求項1に記載された差圧/圧力複合センサの異常診断方法において、
    前記基準圧は真空圧であり、
    前記第1ステップは、
    前記第2の測定圧を大気圧とし、
    前記第2ステップは、
    前記第2の測定圧が大気圧とされている状態で、前記差圧センサによって検出される前記第1の測定圧と第2の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第1の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第1の測定圧と第2の測定圧との差と第1の測定圧と基準圧との差とを比較し、その比較結果に基づいて前記差圧/圧力複合センサの異常の有無を判定する
    ことを特徴とする差圧/圧力複合センサの異常診断方法。
  4. 請求項1〜3の何れか1項に記載された差圧/圧力複合センサの異常診断方法において、
    前記第1の測定圧は、流量制御バルブの1次側の流体圧力であり、
    前記第2の測定圧は、前記流量制御バルブの2次側の流体圧力であり、
    前記第1ステップは、前記流量制御バルブの開度を全閉とし、さらに2次側を大気開放することによって、前記第2の測定圧を大気圧とする
    ことを特徴とする差圧/圧力複合センサの異常診断方法。
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