KR20100045641A - 드라이어 및 챔버 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 드라이어 및 챔버 어셈블리에 관한 것으로써, 특히, 제1통기구 및 제2통기구 및 토출구가 형성되는 밀폐용기와, 상기 제1통기구에 설치되는 제1송풍팬과, 상기 토출구에 연결되는 진공펌프와, 상기 토출구에 연결되며, 상기 밀폐용기 내부에 배치되는 기체분리막을 포함하여, 드라이어를 저렴한 비용으로 제작할 수 있으며, 건조한 공기가 효과적으로 공급될 수 있고, 드라이어가 차지하는 공간도 최소화 될 수 있는 드라이어 및 챔버 어셈블리에 관한 것이다.
드라이어, 챔버, 기체분리막

Description

드라이어 및 챔버 어셈블리{Dryer and chamber assembly}
본 발명은 드라이어 및 챔버 어셈블리에 관한 것으로써, 특히, 제1통기구 및 제2통기구 및 토출구가 형성되는 밀폐용기와, 상기 제1통기구에 설치되는 제1송풍팬과, 상기 토출구에 연결되는 진공펌프와, 상기 토출구에 연결되며, 상기 밀폐용기 내부에 배치되는 기체분리막을 포함하는 드라이어 및 챔버 어셈블리에 관한 것이다.
종래의 드라이어는 기체분리막과, 기체분리막에 압축공기를 공급하는 컴프레셔를 포함한다.
이러한 드라이어는 기체분리막법을 이용하여 수분 및 산소와 건조한 공기를 분리하여, 건조한 공기를 공급한다.
상기 기체분리막법은 막에 대한 선택적인 기체투과 원리를 이용하는 것으로서, 기체혼합물이 막 표면에 접촉할경우 기체성분이 막 속으로 용해 및 확산하게 되는 속도차이를 이용하여 기체의 성분별 분리가 가능하도록 되어 있다. 이러한 기체분리막법은 장치의 구성이 간단하고 유지가 편리한점 때문에 널리 사용되고 있다.
그러나, 이러한 종래의 드라이어는 컴프레셔로 압축공기를 공급받아야 하므로 장치의 부피가 커지는 문제점이 있으며, 건조한 공기가 충분히 공급될 수 없는 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 드라이어를 저렴한 비용으로 제작할 수 있으며, 건조한 공기가 효과적으로 공급될 수 있고, 드라이어가 차지하는 공간도 최소화 될 수 있 드라이어 및 챔버 어셈블리를 제공하는데 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 드라이어는, 제1통기구 및 제2통기구 및 토출구가 형성되는 밀폐용기와, 상기 제1통기구에 설치되는 제1송풍팬과, 상기 토출구에 연결되는 진공펌프와, 상기 토출구에 연결되며, 상기 밀폐용기 내부에 배치되는 기체분리막을 포함한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 챔버 어셈블리는, 챔버와, 상기 챔버에 설치되는 드라이어를 포함하며, 상기 드라이어는, 제1통기구 및 제2통기구 및 토출구가 형성되는 밀폐용기와, 상기 제1통기구에 설치되는 제1송풍팬과, 상기 토출구에 연결되는 진공펌프와, 상기 토출구에 연결되며, 상기 밀폐용기 내부에 배치되는 기체분리막을 포함한다.
상기 챔버에서 상기 제1통기구 또는 제2통기구와 마주보는 면에는 광촉매코팅층이 형성될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 드라이어 및 챔버 어셈블리에 따르면, 다음과 같은 효과가 있다.
제1통기구 및 제2통기구 및 토출구가 형성되는 밀폐용기와, 상기 제1통기구에 설치되는 제1송풍팬과, 상기 토출구에 연결되는 진공펌프와, 상기 토출구에 연결되며, 상기 밀폐용기 내부에 배치되는 기체분리막을 포함하여, 드라이어를 저렴한 비용으로 제작할 수 있으며, 건조한 공기가 효과적으로 공급될 수 있고, 드라이어가 차지하는 공간도 최소화 될 수 있다. 또한, 이러한 드라이어가 기판의 챔버에 설치될 때에도 청정한 건조공기를 공급하여 기판을 효과적으로 건조시킬 수 있다.
드라이어를 통해 건조한 공기를 공급받는 챔버에서 상기 제2송풍팬과 마주보는 면에는 광촉매코팅층이 형성되어, 이슬이 생기는 것을 방지하여 챔버 내부에 얼음이 생기는 것을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성에 대해서는 전술한 종래기술을 참조하기로 하고 별도의 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 드라이어 분리 사시도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 드라이어 결합사시도이며, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 드라이어 분리 사시도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 드라이어 분리 사시도이며, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 챔버 어셈블리 개략도이다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 챔버 어셈블리는, 챔버(800)와, 상기 챔버(800)에 설치되는 드라이어를 포함하며, 상기 드라이어는, 제1통기구(213) 및 제2통기구(221) 및 토출구(미도시)가 형성되는 밀폐용기(200)와, 상기 제1통기구(213)에 설치되는 제1송풍팬(410)과, 상기 토출구에 연결되는 진공펌프(100)와, 상기 토출구에 연결되며 상기 밀폐용기(200) 내부에 배치되는 기체분리막(610)을 포함한다.
상기 드라이어는 제1통기구(213) 및 제2통기구(221) 및 토출구(미도시)가 형성되는 밀폐용기(200)와, 상기 제1통기구(213)에 설치되는 제1송풍팬(410)과, 상기 토출구에 연결되는 진공펌프(100)와, 상기 토출구에 연결되며 상기 밀폐용기(200) 내부에 배치되는 기체분리막(610)을 포함한다.
밀폐용기(200)는 수납부(220)와 수납부(220)를 개폐하는 덮개(210)를 포함한다.
수납부(220)는 측면과 저면으로 이루어지며 상부가 개방되도록 형성된다. 수납부(220) 상단에는 돌출부(223)가 온 둘레를 따라 형성된다.
덮개(210)는 수납부(220)에 탈착가능하도록 설치될 수 있다. 덮개(210)는 평판형상으로 형성되며, 수납부(220)의 돌출부(223)와 맞닿는 부분에는 실링부재(미도시)가 삽입되는 삽입홈(미도시)이 형성되어, 밀폐용기(200)는 더욱 효과적으로 밀폐된다.
덮개(210)와 수납부(220)를 체결하는 체결수단은 덮개(210)와 수납부(220)의 연결부위가 밀폐되도록 다양한 방법이 적용될 수 있다.
한 실시예로, 상기 체결수단은 덮개(210)의 가장자리에 회동가능하게 일체로 형성되며 관통공(212)이 형성되는 날개(211)와, 수납부(220)의 상부 가장자리에 형성되며 관통공(212)에 삽입되고 하부에 끼움홈이 형성된 돌기(222)를 포함한다. 덮개(210)로 수납부(220)을 덮을 때에는 돌기(222)가 관통공(212)에 삽입되는 동시에 상기 끼움홈에 날개(211)가 걸려서 덮개(210)와 수납부(220)를 밀착시키게 된다. 이와 같은 상기 체결수단에 의해 덮개(210)와 수납부(220)는 효과적으로 밀폐되며, 용이하게 탈착가능해져서 제품 고장시에 사용자가 용이하게 수리할 수 있다.
전술한 바와는 다르게, 볼트와 너트를 통해 덮개(210)와 수납부(220)를 체결할 수도 있다.
제1통기구(213) 및 제2통기구(221) 및 토출구(미도시)는 기체분리막(610)의 형태에 따라 다양한 위치에 배치될 수 있다.
바람직하게는, 제1통기구(213)와 제2통기구(221)는 밀폐용기(200)에서 서로 마주보는 면에 배치된다. 이로 인해, 외부 공기의 유입과 건조한 공기의 유출이 더욱 원활하게 될 수 있다.
또한, 용기(200)의 제1통기구(213) 및 제2통기구(221) 주위에는 볼트가 삽입되는 체결공(214, 224)이 관통되어 형성된다.
도 1에 도시된 바와 같이 기체분리막(610)이 중공사막형일 경우에는, 제1통기구(213)는 덮개(210)에 형성되고, 제2통기구(221)는 수납부(220)의 저면에 형성된다. 이러한 경우에는, 상기 토출구는 제1통기구(213)의 측부에 배치되도록 덮개(210)에 형성된다.
도 3에 도시된 바와 같이 기체분리막(610')이 평막형 경우에는, 수납부(220')의 양측면에 제1통기구(225) 및 제2통기구(226)가 형성되며, 제1통기구(225) 및 제2통기구(226)는 여러개 형성될 수 있다. 이러한 경우에는, 상기 토출구는 덮개(210')에 형성된다.
제1송풍팬(400)은 밀폐용기(200)에 설치되어 밀폐용기(200) 내부로 공기를 흡입 또는 외부로 공기를 배출시킨다.
본 실시예에서는 제1송풍팬(400)은 외부의 공기를 밀폐용기(200) 내부로 유입시키는 역할을 주로 한다.
제1송풍팬(400)은 중앙에 모터가 설치된 본체(410)와 상기 본체에 회동가능하게 설치되는 날개(420)를 포함한다.
본체(410)는 사각형상으로 형성되며, 각 모서리 부분에는 볼트삽입공이 관통되어 형성된다. 상기 볼트삽입공와 체결공(214)에 볼트가 삽입되고 너트로 고정되어 제1송풍팬(400)은 덮개(210)에 견고하게 고정될 수 있다.
본체(410)에는 공기가 통할 수 있는 관통공이 형성되며, 관통공에는 날개(420)가 배치된다.
모터가 설치되기 위해 본체(410) 중앙에는 원형상의 설치부(미도시)가 있으며, 상기 설치부에는 접선방향으로 지지프레임이 본체가장자리와 연결되어 있다.
상기 지지프레임 배면에는 상기 모터에 연결되는 전선이 안내되는 접선방향으로 안내홈(미도시)이 형성되어 있다. 상기 안내홈으로 인해 모터에 연결된 전선이 정리되어 전선이 날개(420)로 인해 손상되는 것을 방지하고 장치가 컴팩트해지 며 장치조립이 용이해지는 이점이 있다.
나아가, 제2통기구(221)에 설치되는 제2송풍팬(500)이 더 구비될 수 있다. 제2송풍팬(500)은 밀폐용기(200) 내부의 건조한 공기를 외부(챔버(800) 내부)로 배출시키는 역할을 주로 한다.
기체분리막(610)은 밀폐용기(200) 내부에 배치되어, 밀폐용기(200) 내부로 공기가 유입되면 상기 공기를 산소 및 물과 질소를 포함한 건조한 공기로 분리하여 산소 및 물은 상기 토출구로 배출시키고 건조한 공기는 제2통기구(221)로 배출시킨다.
기체분리막(610)은 도 1에 도시된 바와 같이 중공사막 형태로 구비되거나, 도 3에 도시된 바와 같이 평막형태로 구비될 수 있다.
먼저, 중공사막 형태의 기체분리막(610)은 중앙부분에는 길이방향을 따라 길게 중공부가 형성되어 있으며, 그 외주부에는 상기 중공부에 연통되도록 다수개의 기공이 형성되어 있어서 산소 또는 건조한 공기가 흡입 또는 배출될 수 있게 된다.
이와 같이 기체분리막(610)이 중공사막 형태로 구비될 경우에는 기체분리막(610)을 둘러싸며 양단이 개방된 비닐튜브(620)가 더 구비될 수 있다. 이러한 비닐튜브(620)는 투명한 비닐 소재로 형성될 수 있다.
기체분리막(610)은 커넥터(300)를 통해 진공펌프(100)에 연결된 호스에 연결될 수 있다.
커넥터(300)는 덮개(210)의 상기 토출구에 끼워져서 설치된다. 이러한 커넥터(300)는 중공사막 형태의 기체분리막(610)에 널리 쓰이는 기술이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 평막형태의 기체분리막(610')은 다수의 평막이 일정 이격간격을 두고서 적층되어 형성된 것으로, 일측에는 상기 각 층의 평막을 통해 부화된 산소가 배출되는 산소 토출구(611)가 형성되어 있다.
이와 같이 기체분리막(610')이 평막형태로 구비될 경우에는, 기체분리막(610')의 상부 및 하부에 판형상의 스폰지(630)가 여러 개 배치될 수 있다.
진공펌프(100)는 모터(120)와, 모터(120)의 일측에 설치되는 펌핑부(110)를 포함한다.
펌핑부(110)는 모터(120)의 회전축(도시안됨)과 연동하여 동시적으로 구동되며 기체의 펌핑작용을 수행하게 된다.
펌핑부(110)에는 기체가 흡입되는 흡입구(111)와, 상기 흡입구(111)를 통해 유입된 기체가 내부 펌핑과정을 거쳐 외부로 다시 토출될 수 있도록 수분 토출구(112)가 마련되어 있다.
그리고, 흡입구(111)와 수분 토출구(112)의 일부는 기체분리막(600)에 연결되고, 상기 펌핑부(110)에 의한 펌핑작용에 의해 흡입하여 공기중에 포함된 산소 및 물을 분리 추출하게 된다.
챔버(800)는 반도체 또는 디스플레이 기판을 처리하는 공정 챔버로 구비될 수 있다.
챔버(800)는 내부에 기판 등이 삽입될 수 있는 공간부가 형성되도록, 상면(830)과, 측벽(810)과, 바닥면(820)을 포함한다. 기판을 건조시키는 챔버(800)는 한국등록특허 653687호에 제시된 것이 있으므로 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상면(830)에는 상기 드라이어가 설치되어, 챔버(800) 내부로 건조한 공기가 유입된다. 이러한 건조한 공기를 통해 챔버(800) 내부의 기판은 건조된다.
또한, 챔버(800)에서 제1통기구(213) 및 제2통기구(221)와 마주보는 면인 바닥면(820)에는 광촉매가 코팅되어 광촉매층(821)이 형성된다. 이와 같이 광촉매층(821)은 초친수성 기능(표면이 젖어도 물방울을 만들지 않고 엷은 막을 만들어 내는 성질)이 있어서, 건조한 공기가 바닥면(820)에 부딪히더라도 바람에 의해 물이 챔버(800)의 가장자리로 밀려나게 되어 이슬이 생기는 것을 방지할 수 있다.
이하, 전술한 구성을 갖는 본 실시예의 작용을 설명한다.
제1송풍팬(400)에 의해 외부의 공기가 밀폐용기(200) 내부로 유입되고, 진공펌프(100)에 의해 기체분리막(610)에 흡입력이 가해지면 기체분리막(610)을 통해 공기는 물 및 산소와 건조한 공기로 분리된다. 분리된 물 및 산소는 진공펌프(100)를 통해 토출되고, 건조한 공기는 제2송풍팬(500)을 통해 챔버(800) 내부로 유입되어 챔버(800) 내부를 건조시킨다.
이와 같이 본발명의 상기 드라이어는 산소 및 물을 진공펌프(100)로 흡입하고, 제1송풍팬(400) 및 제2송풍팬(500)을 통해 건조한 공기를 배출하여, 상기 드라이어를 저렴한 비용으로 제작할 수 있으며, 건조한 공기가 효과적으로 공급될 수 있고, 상기 드라이어가 차지하는 공간도 최소화 될 수 있다.
이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 드라이어에 대해 설명하도록 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 드라이어는 도 4에 도시된 바와 같이, 밀폐용기(200a, 200b) 및 기체분리막(610)이 여러개 구비되고, 여러개의 밀폐용기(200a, 200b)는 서로 연통되도록 연결되며 여러개의 기체분리막(610)이 하나의 진공펌프(100')에 연결된다.
전술한 실시예에서와 동일한 부분에 대한 설명은 생략하기로 한다.
상기 드라이어는 상부에 배치되는 밀폐용기(200a)의 제1통기구(213)에 제1송풍팬(400)이 설치된다.
상부에 배치되는 밀폐용기(200a)의 제2통기구(221)와 하부에 배치되는 밀폐용기(200b)의 제1통기구(213)에는 제3송풍팬(700)이 설치되어, 두개의 밀폐용기(200a, 200b)는 서로 연통된다.
하부에 배치되는 밀폐용기(200b)의 제2통기구(221)에는 제2송풍팬(500)이 설치된다.
상부에 배치되는 밀폐용기(200a)와 하부에 배치되는 밀폐용기(200b) 내부에는 기체분리막(610)이 각각 배치된다.
진공펌프(100')는 하나의 모터(120)와, 모터(120)의 양단에 배치되는 제1펌핑부(110a) 및 제2펌핑부(110b)를 포함하고 있다.
제1펌핑부(110a) 및 제2펌핑부(110b)에는 각각의 기체분리막(610)이 각각 연결된다.
상기 제1펌핑부(110a)와 상기 제2펌핑부(110b)는 모터(120)의 회전축(도시안됨)과 연동하여 동시적으로 구동되며 기체의 펌핑작용을 수행하게 된다.
이와 같이 밀폐용기(200a, 200b)를 직렬연결하면, 공기가 첫번째로 통과하는 기체분리막(610)을 통해 건조해진 다음에 두번째로 통과하는 기체분리막(610)을 통해 더욱 건조해져서, 더욱 이슬점이 낮아진 공기가 챔버(800) 내부로 공급될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 드라이어 및 챔버 어셈블리는, 특히, 반도체 또는 디스플레이 기판을 처리하는 공정 챔버에 적합하다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 드라이어 분리 사시도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 드라이어 결합사시도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 드라이어 분리 사시도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 드라이어 분리 사시도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 챔버 어셈블리 개략도.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
100 : 진공펌프 110 : 펌핑부
120 : 모터 200 : 밀폐용기
300 : 커넥터 400 : 제1송풍팬
500 : 제2송풍팬 610 : 기체분리막
620 : 비닐튜브 700 : 제3송풍팬

Claims (3)

  1. 제1통기구 및 제2통기구 및 토출구가 형성되는 밀폐용기;
    상기 제1통기구에 설치되는 제1송풍팬;
    상기 토출구에 연결되는 진공펌프;
    상기 토출구에 연결되며, 상기 밀폐용기 내부에 배치되는 기체분리막을 포함하는 드라이어.
  2. 챔버;
    상기 챔버에 설치되는 드라이어를 포함하며,
    상기 드라이어는,
    제1통기구 및 제2통기구 및 토출구가 형성되는 밀폐용기와, 상기 제1통기구에 설치되는 제1송풍팬과, 상기 토출구에 연결되는 진공펌프와, 상기 토출구에 연결되며, 상기 밀폐용기 내부에 배치되는 기체분리막을 포함하는 챔버 어셈블리.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 챔버에서 상기 제1통기구 또는 상기 제2통기구와 마주보는 면에는 광촉매코팅층이 형성되는 챔버 어셈블리.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112114174A (zh) * 2020-09-23 2020-12-22 杭州百富电子技术有限公司 一种具有干燥功能的智能电表及应用

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