KR20100039958A - 가림막을 구비한 비전검사 장치 - Google Patents

가림막을 구비한 비전검사 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 IR 조명을 측정대상물에 최대한 근접시켜 보다 선명한 영상을 획득할 수 있으며, 또한 가림막을 통해 IR 조명과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있는 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치에 관한 것이다.
듀얼, 영상, 비전, 반도체, 웨이퍼, 적외선, IR, RGB, 조명

Description

가림막을 구비한 비전검사 장치{a vision inspection apparatus with a intercept member}
본 발명은 다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위해 컨베이어밸트에 의해 이송되는 측정대상물의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부와, 컨베이어밸트와 켄베이어밸트의 사이 공간에서 측정대상물을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부로 구성되는 비전검사 장치에 있어서, 상기 제 1검사부는 컨베이어밸트의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명과, 상기 RGB 조명의 상부에 배치되어 측정대상물에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부로 구성되고, 상기 제 2검사부는 컨베이어밸트와 컨베이어밸트의 사이 구간 상부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명과, 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 구간 하부에 배치되는 제 2영상획득부를 포함하여 구성되되, 상기 제 2검사부는 컨베이어밸트와 컨베이어밸트의 사이로 측정대상물의 가장자리에 발생되는 광 번짐 현상를 방지하기 위해 가림막이 설치되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체웨이퍼, PCB 및 반도체의 모듈IC 등과 같은 부품은 중요 부품으로서 그 제품의 신뢰도가 매우 중요하여 엄격한 품질 검사를 통해 제품으로 출하하게 된다.
이러한 반도체웨이퍼, PCB 및 및 카세트 상의 반도체 모듈IC는 비전검사 장치에 의해 검사하고, 검사 완료된 측정대상물은 검사 결과에 따라 양품과 불량으로 분류하는 과정을 거치게 된다.
여기서 비전검사 장치는 측정대상물의 표면 영상을 카메라로 촬영하고 그 영상을 정상 상태의 영상과 비교하여 검사 대상의 불량 유무를 판별하는 장치이다.
즉, 비전검사 장치의 제조공정을 거쳐 조립 생산된 측정대상물은 가격이 비싸므로 인해 제품의 신뢰도 또한 매우 중요하여 엄격한 품질검사를 통해 양품으로 판정된 제품만을 출하하고, 불량으로 판정된 측정대상물은 수정 또는 전량 폐기 처분하는 것이다.
이 때 비전검사 장치는 측정대상물의 외관(표면)불량을 판독하기 위해서 측정대상물의 표면을 반사시켜 영상을 획득하는 공정과, 측정대상물을 투과시켜 영상을 획득하는 공정을 거치게 된다.
이는 측정대상물에 표면에 반사시켜 획득되는 비쥬얼(Visual) 영상과, 측정대상물을 투과시켜 획득되는 IR(Infrared Ray:적외선) 영상을 비교 분석하여 정밀한 판독을 하게 되는 것이다.
이하에서는 측정대상물의 표면 영상을 획득하여 불량 유무를 판별하는 종래의 비전검사 장치에 대해서 간단히 설명하기로 한다.
도 2a는 종래의 비전검사 장치의 구성도이고, 도 2b는 도 2a의 작동도이고, 도 2c는 도 2a에서 발췌되는 제 2검사부의 측면확대에 따른 적외선의 진직도를 나타낸 개념도, 도 2d는 도 2a에 따른 제 2영상획득부에서 획득된 영상을 나타내는 사진이다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 종래의 비전검사 장치(9)는 크게 부분으로 구성되는데, 이는 컨베이어밸트(5)에 의해 이송되는 측정대상물(7)의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부(1)와, 컨베이어밸트(5)와 켄베이어밸트(5)의 사이 공간에서 측정대상물(7)을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부(3)로 구성된다.
여기서 제 1검사부(1)는 컨베이어밸트(5)의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명(1a)과, 상기 RGB 조명(1a)의 상부에 배치되어 측정대상물(7)에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부(1b)로 구성된다.
그리고 제 2검사부(3)는 측정대상물(7)에 광을 투과시키기 위해 광 간섭이 없는 컨베이어밸트(5)와 컨베이어밸트(5)의 사이에 배치되는 구조이다.
이러한 제 2검사부(3)는 컨베이어밸트(5)의 하부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명(3a)과, 컨베이어밸트(5)의 상부에 배치되는 제 2영상획득부(3b)로 구성된다.
즉 종래의 비전검사 장치(9)는 도 2b와 같이 컨베이어밸트(5)로 이송하는 측정대상물을 제 1검사부(1)를 통해 레드영상 또는 블루영상 또는 그린영상 또는 3색 RGB영상을 획득하고, 제 2검사부(3) 구간에서 적외선 영상을 획득하여 측정대상물(7)을 정밀하게 판독하여 불량유무를 분류하였다.
한편 IR 조명(3a)은 투과광학계로써 측정대상물(7)과 가까우면 가까울수록 제 2영상획득부(3b)를 통해 보다 선명한 영상을 획득할 수 있다.
하지만 제 2검사부(3)의 IR 조명(3a)은 컨베이어밸트(5)의 하부에 배치되는 바, 컨베이어밸트(5)의 간섭으로 IR 조명(3a)을 측정대상부(7)에 가까이 할 수 없는 문제점이 있었다.
또한 제 2검사부(3)에서는 컨베이어밸트(5)와 컨베이어밸트(5) 사이의 간격이 너무 넓어서 측정대상물(7)이 반대쪽 컨베이어밸트(5)로 넘어갈때 균형이 맞는 않는 문제점이 발생된다.
또한 컨베이어밸트(5)와 컨베이어밸트(5) 사이의 간격이 넓어서 IR 조명(3a)을 통해 하부에서 조사되는 적외선이 도 2c와 같이, 측정대상물(7)의 엣지(Edge: 가장자리, 경계)를 타고 넘어가 제 2영상획득부(3b)로 영상을 획득하면 도 2d의 사진과 같이, 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)이 나타나는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적 은, IR 조명이 측정대상물에 최대한 근접되도록 IR 조명을 컨베이어밸트 상부에 배치한 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치를 제공하는데 있다.
또한 본 발명의 목적은, IR 조명과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있도록 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 구간에 가림막을 설치한 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치를 제공하는데 있다.
더 나아가 본 발명의 목적은, 다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위해 컨베이어밸트에 의해 이송되는 측정대상물의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부와, 컨베이어밸트와 켄베이어밸트의 사이 공간에서 측정대상물을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부로 구성되는 비전검사 장치에 있어서,
상기 제 1검사부는 컨베이어밸트의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명과, 상기 RGB 조명의 상부에 배치되어 측정대상물에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부로 구성되고, 상기 제 2검사부는 컨베이어밸트와 컨베이어밸트의 사이 구간 상부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명과, 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 구간 하부에 배치되는 제 2영상획득부를 포함하여 구성되되, 상기 제 2검사부는 컨베이어밸트와 컨베이어밸트의 사이로 측정대상물의 가장자리에 발생되는 광 번짐 현상를 방지하기 위해 가림막이 설치되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치를 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 가림막이 구비된 비전검사 장치에 따르면, 컨베이어밸트의 간섭이 없도록 IR 조명을 컨베이어밸트 상부에 배치하여 IR 조명을 측정대상물에 최대한 근접시켜 보다 선명한 영상을 획득할 수 있는 장점이 있다.
또한 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 구간에 가림막을 설치하여 IR 조명과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 가림막이 구비된 비전검사 장치에 관하여 첨부되어진 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.
도 1a는 본 발명에 따른 가림막이 구비된 비전검사 장치의 구성도이다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 본 발명은 다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위해 컨베이어밸트에 의해 이송되는 측정대상물의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부와, 컨베이어밸트와 켄베이어밸트의 사이 공간에서 측정대상물을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부로 구성되는 비전검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하는게 제 2검사부(20)의 IR 조명(21)을 측정대상물(50)에 최대한 근접시켜 보다 선명한 영상을 획득할 수 있으며, 또한 제 2검사부(20)의 가림막(30)을 통해 IR 조명(21)과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있는 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치(100)에 관한 것이다.
이러한 가림막이 구비된 비전검사 장치(100)는 크게 2부분으로 구성되는데, 이는 RGB 조명(11)을 측정대상물(50)에 반사시켜 영상을 획득하는 제 1검사부(10)와, IR 조명(21)을 측정대상물(50)에 투과시켜 영상을 획득하는 제 2검사부(20)로 구성된다.
여기서 상기 제 1검사부(10)는 컨베이어밸트(40)의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명(11)과, 상기 RGB 조명(11)의 상부에 배치되어 측정대상물(50)에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부(12)로 구성된다.
그리고 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40)의 사이 구간 상부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명(21)과, 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 구간 하부에 배치되는 제 2영상획득부(22)로 구성된다.
이 때 IR 조명(21)과, 제 2영상획득부(22)는 동일 수직선상에 배치되어 IR 조명(21)에서 조사되는 적외선이 이송되는 측정대상물(50)을 투과하여 제 2영상획득부(22)로 영상이 획득될 수 있도록 구성된다.
이러한 제 2검사부(20)는 IR 조명(21)이 측정대상물(50)과 가까우면 가까울수록 보다 선명한 영상을 획득하는 바, 컨베이어밸트(40)의 상부에 IR 조명(21)을 배치시켜 IR 조명(21)을 측정대상물(50)에 최대한 근접시킬 수 있는 구조이다.
한편 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40)의 사이로 측정대상물(50)의 가장자리에 발생되는 광 번짐 현상를 방지하기 위해 가림막(30)이 설치되는데, 이러한 가림막(30)에 대해서는 이하에서 설명하기로 한다.
도 1c는 도 1b에서 발췌되는 제 2검사부의 측면확대에 따른 적외선의 진직도를 나타낸 개념도, 도 1d는 1c의 가림막의 상면을 도시한 작동도, 도 1e는 1d의 설치 사시도이다.
먼저 도 1c에 도시된 같이, 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 구간에 가림막(30)이 설치된 구조이다.
이러한 가림막(30)은 적외선이 통과하는 개방홈(311)이 형성되어 있으며, 개방홈(311) 이외 영역에는 적외선이 투과 되지 못하도록 스틸로 구성된다. 이러한 개방홈(311)이 형성된 가림막(30)을 통해 적외선을 제 2영상획득부(22)의 수광 영역으로 유도하여 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상을 방지할 수 있다.
이는 측정대상물(50)의 상부에서 조사되는 적외선이 가림막(30)으로 인해 측 정대상물(50)의 주변 경계로 넘어가는 것을 방지하고, 개방홈(311)으로만 적외선을 진직시켜 가능하다.
또한 상기 가림막(30)은 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이의 간격이 넓어서 측정대상물(50)이 반대쪽 컨베이어밸트(40)로 넘어갈때 균형이 맞는 않는 문제점을 해소할 수 있다.
즉, 가림막(30)을 설치하지 않으면 측정대상물(50)이 공중에 뜨는 부분이 절반을 넘어서게 되어 반대쪽 컨베이어밸트(40)로 넘어갈때 균형이 맞지 않아 중심이 틀어지는 문제점이 있는데, 상기 가림막(30)을 통해 측정대상물(50)이 공중에 뜨는 부분을 최소화하여 이를 방지할 수 있느 것이다.
아울러 도 1c 및 도 1d와 같이, 가림막(30)은 측정대상물(50)의 크기에 따라 폭 간격을 조절하여 측정대상물(50)의 중심이 틀어지지 않게 할 수 있다.
이러한 가림막(30)은 적외선이 통과되는 개방홈(311)이 형성된 고정플레이트(31)와, 측정대상물(50)의 크기에 따라 폭 간격이 조절될 수 있도록 상기 고정플레이트(31)의 개방홈(311) 양측 하부에 밀착 배치되는 2개의 간격조절플레이트(32)와, 상기 각 간격조절플레이트(32)의 단부에 결합되는 이동블럭(33)과, 상기 각 이동블럭(33)을 이송시킬 수 있도록 상기 각 이동블럭(33)을 가로질러 축결합되는 이송스크류(34)와, 상기 이송스크류(34)를 회전시키는 구동수단(35)으로 구성된다.
이 때 상기 이송스크류(34)는 이동블럭(33)이 상호 반대방향으로 이송될 수 있도록 중앙을 기점으로 하여 서로 다른 방향으로 스크류가 형성된 구조이다.
이러한 구성은 측정대상물(50)의 크기에 따라 구동수단(35)을 통해 이송스크 류(34)를 회전시키면 이송스크류(34)에 축 결합된 2개의 이동블럭(33)이 이송스크류(34)의 축선 방향을 따라 상호 반대방향으로 이동되고, 상기 이동블럭(33)에 결합된 간격조절플레이트(32)가 동반 이송되어 고정플레이트(31)의 폭 간격을 조절하는 구조이다.
비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 첨부된 청구의 범위는 본 발명의 진정한 범위 내에 속하는 그러한 수정 및 변형을 포함할 것이라고 여겨진다.
도 1a는 본 발명에 따른 듀얼 카메라 비전검사 장치의 구성도,
도 1b는 도 1의 작동도,
도 1c는 도 1b에서 발췌되는 제 2검사부의 측면확대에 따른 적외선의 진직도를 나타낸 개념도,
도 1d는 1c의 가림막의 상면을 도시한 작동도,
도 1e는 1d의 설치 사시도,
도 2a는 종래의 비전검사 장치의 구성도,
도 2b는 도 2a의 작동도이고,
도 2c는 도 2a에서 발췌되는 제 2검사부의 측면확대에 따른 적외선의 진직도를 나타낸 개념도,
도 2d는 도 2a에 따른 제 2영상획득부에서 획득된 영상을 나타내는 사진.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1: 제 1검사부 1a: RGB 조명
1b: 제 1영상획득부
3: 제 2검사부 3a: IR 조명
3b: 제 2영상획득부
5: 컨베이어
7: 측정대상물
9: 종래의 비전검사 장치
10: 제 1검사부 11: RGB 조명
12: 제 1영상획득부
20: 제 2검사부 21: IR 조명
22: 제 2영상획득부
30: 가림막 31: 고정플레이트
311: 개방홈
32: 간격조절플레이트
33: 이동블럭
34: 이송스크류
35: 구동수단
40: 컨베이어밸트
50: 측정대상물
100: 본 발명의 가림막이 구비된 비전검사 장치

Claims (4)

  1. 다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위해 컨베이어밸트에 의해 이송되는 측정대상물의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부와, 컨베이어밸트와 켄베이어밸트의 사이 공간에서 측정대상물을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부로 구성되는 비전검사 장치에 있어서,
    상기 제 1검사부(10)는 컨베이어밸트(40)의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명(11)과, 상기 RGB 조명(11)의 상부에 배치되어 측정대상물(50)에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부(12)로 구성되고,
    상기 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40)의 사이 구간 상부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명(21)과, 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 구간 하부에 배치되는 제 2영상획득부(22)를 포함하여 구성되되,
    상기 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40)의 사이로 측정대상물(50)의 가장자리에 발생되는 광 번짐 현상를 방지하기 위해 가림막(30)이 설치되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2검사부(20)의 IR 조명(21)과, 제 2영상획득부(22)는 동일 수직선상 에 배치되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 가림막(30)은 적외선이 통과되는 개방홈(311)이 형성된 고정플레이트(31)와, 측정대상물(50)의 크기에 따라 폭 간격이 조절될 수 있도록 상기 고정플레이트(31)의 개방홈(311) 양측에 하부에 배치되는 2개의 간격조절플레이트(32)와, 상기 각 간격조절플레이트(32)의 단부에 결합되는 이동블럭(33)과, 상기 각 이동블럭(33)을 이송시킬 수 있도록 상기 각 이동블럭(33)을 가로질러 축결합되는 이송스크류(34)와, 상기 이송스크류(34)를 회전시키는 구동수단(35)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 이송스크류(34)는 이동블럭(33)이 상호 반대방향으로 이송될 수 있도록 중앙을 기점으로 하여 서로 다른 방향으로 스크류가 형성된 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN111458343A (zh) * 2019-01-18 2020-07-28 深圳中科飞测科技有限公司 检测设备及检测方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101361537B1 (ko) * 2011-11-25 2014-02-13 주식회사 미르기술 적외선패턴조사부를 구비하는 비전검사장치
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