KR20100037476A - 계층화 구조물 제조 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (60)
- 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서,상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지; 및상기 더미기판과 상기 타겟기판이 서로 압착되도록 상기 타겟기판을 감아 롤링시킴에 따라 상기 더미기판의 미소유닛이 상기 타겟기판에 적층되게 하는 메인롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제1항에 있어서,상기 메인롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제2항에 있어서,상기 점착처리수단은 플라즈마를 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제2항에 있어서,상기 점착처리수단은 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제2항에 있어서,상기 점착처리수단은 레이저 또는 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제2항에 있어서,상기 점착처리수단은 온도제어장치로 구성되고, 상기 온도제어장치는 상기 더미기판의 온도보다 상기 타겟기판의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제1항에 있어서,상기 메인롤러는 상기 더미기판과의 간격이 조절되도록 위치이동이 가능한 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제1항에 있어서,상기 메인롤러는 상기 더미기판과 이루는 사이 각도가 조절되도록 각도변위가 가능한 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서,상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지;상기 더미기판과 맞닿아 압착회전함에 따라 상기 더미기판의 미소유닛이 외주부에 부착되는 보조롤러; 및상기 보조롤러와 상기 타겟기판이 서로 압착되도록 상기 타겟기판을 감아 롤링시킴에 따라 상기 보조롤러의 외주부에 부착된 미소유닛이 상기 타겟기판에 적층되게 하는 메인롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제9항에 있어서,상기 보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제1점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제10항에 있어서,상기 제1점착처리수단은 플라즈마를 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제10항에 있어서,상기 제1점착처리수단은 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제10항에 있어서,상기 제1점착처리수단은 레이저 또는 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제10항에 있어서,상기 제1점착처리수단은 제1온도제어장치로 구성되고, 상기 제1온도제어장치는 상기 더미기판의 온도보다 상기 보조롤러의 외주부 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제9항에 있어서,상기 메인롤러의 일측에는 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제2점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제15항에 있어서,상기 제2점착처리수단은 플라즈마를 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제15항에 있어서,상기 제2점착처리수단은 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제15항에 있어서,상기 제2점착처리수단은 레이저 또는 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제15항에 있어서,상기 제2점착처리수단은 제2온도제어장치로 구성되고, 상기 제2온도제어장치는 상기 보조롤러의 외주부의 온도보다 상기 타겟기판의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제9항에 있어서,상기 보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제1점착처리수단이 구비되고, 상기 보조롤러의 타측에는 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제2점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제20항에 있어서,상기 제1점착처리수단에 의해 제공되는 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력은 상기 제2점착처리수단에 의해 제공되는 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 작은 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제9항에 있어서,상기 보조롤러는 상기 더미기판과의 간격이 조절되도록 위치이동이 가능한 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제9항에 있어서,상기 보조롤러는 상기 더미기판과 이루는 사이 각도가 조절되도록 각도변위가 가능한 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제9항에 있어서,상기 메인롤러는 상기 보조롤러와의 간격이 조절되도록 위치이동이 가능한 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제9항에 있어서,상기 메인롤러는 상기 보조롤러와 이루는 사이 각도가 조절되도록 각도변위 가 가능한 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제9항에 있어서,상기 보조롤러는 외주면에 소정의 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서,상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지;상기 더미기판과 근접한 위치에 설치된 제1보조롤러;상기 제1보조롤러와 소정거리 이격되어 설치된 제2보조롤러;상기 제1보조롤러와 제2보조롤러에 감겨 순환되고, 상기 제1보조롤러에 의해 상기 더미기판에 맞닿아 압착되어 상기 더미기판의 미소유닛이 부착되는 링벨트; 및상기 제2보조롤러에 의해 상기 링벨트가 상기 타겟기판과 압착되도록 상기 타겟기판의 공급측에 위치된 제1텐션롤러 및 배출측에 위치된 제2텐션롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제27항에 있어서,상기 제1보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제3점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제28항에 있어서,상기 제3점착처리수단은 플라즈마를 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제28항에 있어서,상기 제3점착처리수단은 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제28항에 있어서,상기 제3점착처리수단은 레이저 또는 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제28항에 있어서,상기 제3점착처리수단은 제3온도제어장치로 구성되고, 상기 제3온도제어장치는 상기 더미기판의 온도보다 상기 링벨트의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제27항에 있어서,상기 제2보조롤러의 일측에는 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제4점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제33항에 있어서,상기 제4점착처리수단은 플라즈마를 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제33항에 있어서,상기 제4점착처리수단은 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제33항에 있어서,상기 제4점착처리수단은 레이저 또는 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제33항에 있어서,상기 제4점착처리수단은 제4온도제어장치로 구성되고, 상기 제4온도제어장치 는 상기 링벨트의 온도보다 상기 타겟기판의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제27항에 있어서,상기 제1보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제3점착처리수단이 구비되고, 상기 제2보조롤러의 일측에는 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제4점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제38항에 있어서,상기 제3점착처리수단에 의해 제공되는 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력은 상기 제4점착처리수단에 의해 제공되는 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 작은 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제27항에 있어서,상기 제2텐션롤러의 일측에는 상기 미소유닛이 적층된 타겟기판으로 도포액을 분사하는 분사노즐이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제27항에 있어서,상기 링벨트는 메탈시트의 일측에 제1폴리머층이 일체형으로 형성되고, 상기 제1폴리머층에 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 부착되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제41항에 있어서,상기 링벨트는 뫼비우스의 띠 형상으로 이루어짐과 동시에 상기 메탈시트의 타측에 제2폴리머층이 일체형으로 형성되고, 상기 제1 및 제2폴리머층에 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 부착되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제27항에 있어서,상기 제2보조롤러에 의해 상기 링벨트가 상기 타겟기판과 압착되는 정도가 조절될 수 있도록 상기 제1텐션롤러 및 제2텐션롤러의 위치이동이 가능한 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제27항에 있어서,상기 제2보조롤러와 대향되는 위치에 상기 타겟기판에 적층되는 미소유닛의 정렬 상태를 감시하고, 상기 미소유닛의 정렬 상태를 제어하는 정렬제어모듈이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리 스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서,상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지;상기 더미기판과 근접한 위치에 설치된 보조롤러;상기 보조롤러와 소정거리 이격되어 설치된 메인롤러; 및상기 보조롤러와 메인롤러에 감겨 순환되고, 상기 보조롤러에 의해 상기 더미기판에 맞닿아 압착되어 상기 더미기판의 미소유닛이 부착되는 링벨트;를 포함하여 이루어지고,상기 타겟기판은 상기 메인롤러와 상기 링벨트의 일측 사이로 공급되어 상기 메인롤러와 상기 링벨트의 타측 사이로 배출되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제45항에 있어서,상기 보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제5점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제46항에 있어서,상기 제5점착처리수단은 플라즈마를 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제46항에 있어서,상기 제5점착처리수단은 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제46항에 있어서,상기 제5점착처리수단은 레이저 또는 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제46항에 있어서,상기 제5점착처리수단은 제5온도제어장치로 구성되고, 상기 제5온도제어장치는 상기 더미기판의 온도보다 상기 링벨트의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제46항에 있어서,상기 메인롤러의 일측에는 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제6점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제51항에 있어서,상기 제6점착처리수단은 플라즈마를 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제51항에 있어서,상기 제6점착처리수단은 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제51항에 있어서,상기 제6점착처리수단은 레이저 또는 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치인 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제51항에 있어서,상기 제6점착처리수단은 제6온도제어장치로 구성되고, 상기 제6온도제어장치는 상기 링벨트의 온도보다 상기 타겟기판의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제45항에 있어서,상기 보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제5점착처리수단이 구비되고, 상기 메인롤러의 일측에는 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간의 점착력보 다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제6점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제56항에 있어서,상기 제5점착처리수단에 의해 제공되는 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간의 점착력은 상기 제6점착처리수단에 의해 제공되는 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 작은 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제45항에 있어서,상기 링벨트는 메탈시트의 일측에 제3폴리머층이 일체형으로 형성되고, 상기 제3폴리머층에 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 부착되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제58항에 있어서,상기 링벨트는 뫼비우스의 띠 형상으로 이루어짐과 동시에 상기 메탈시트의 타측에 제4폴리머층이 일체형으로 형성되고, 상기 제3 및 제4폴리머층에 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 부착되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
- 제45항에 있어서,상기 메인롤러에 의해 상기 링벨트가 상기 타겟기판과 압착되는 정도가 조절 될 수 있도록 상기 메인롤러의 위치이동이 가능한 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치.
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