KR20100036192A - Method for producing mold and method for producing anti-glare film - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 표면에 미세한 요철 형상을 갖는 금형의 제조 방법, 및 상기 방법에 의해서 얻어진 금형을 이용하여, 저 헤이즈이면서 방현 특성이 우수한 방현(Anti-Glare) 필름을 제조하는 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the manufacturing method of the metal mold | die which has a fine uneven | corrugated shape on the surface, and the method of manufacturing the anti-glare film which is low haze and excellent in anti-glare property using the metal mold | die obtained by the said method.
액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이 패널, 브라운관(음극선관: CRT) 디스플레이, 유기 전계 발광(EL) 디스플레이 등의 화상 표시 장치는, 그 표시면에 외광이 투영되면 시인성이 현저히 손상된다. 이러한 외광의 투영을 방지하기 위해서, 화질을 중시하는 텔레비젼이나 퍼스널 컴퓨터, 외광이 강한 옥외에서 사용되는 비디오 카메라나 디지탈 카메라, 반사광을 이용하여 표시를 행하는 휴대 전화 등에 있어서는, 종래부터 화상 표시 장치의 표면에 외광의 투영을 방지하는 필름층이 설치되어 있다. 이 필름층은 광학 다층막에 의한 간섭을 이용한 무반사 처리가 실시된 필름으로 이루어지는 것과, 표면에 미세한 요철을 형성함으로써 입사광을 산란시켜 투영상을 바림하는 방현 처리가 실시된 필름으로 이루어지는 것으로 크게 구별된다. 이 중, 전자의 무반사 필름은 균일한 광학막 두께의 다층막을 형성할 필 요가 있기 때문에, 비용이 많이 든다. 이에 대하여 후자의 방현 필름은 비교적 저가로 제조할 수 있기 때문에, 대형 퍼스널 컴퓨터나 모니터 등의 용도에 널리 이용되고 있다.Image display apparatuses such as a liquid crystal display, a plasma display panel, a cathode ray tube (cathode ray tube: CRT) display, an organic electroluminescence (EL) display, and the like, when the external light is projected on the display surface, visibility is remarkably impaired. In order to prevent such projection of external light, the surface of an image display device has conventionally been used in televisions, personal computers, which focus on image quality, video cameras and digital cameras used outdoors with strong external light, and mobile phones which display using reflected light. The film layer which prevents projection of external light is provided in the inside. This film layer is largely classified into a film made of an antireflective treatment using interference by an optical multilayer film and a film subjected to an antiglare treatment that scatters incident light by applying fine unevenness to the surface to apply a projected image. Among these, the former antireflective film needs to form a multilayer film having a uniform optical film thickness, which is expensive. On the other hand, since the latter anti-glare film can be produced at a relatively low cost, it is widely used for large-scale personal computers, monitors, and the like.
이러한 방현 필름은 종래부터, 예를 들면 충전재를 분산시킨 수지 용액을 기재 시트 상에 도포하고, 도포막 두께를 조정하여 충전재를 도포막 표면에 노출시킴으로써 랜덤한 요철을 시트 상에 형성하는 방법 등에 의해서 제조되고 있다. 그러나, 이러한 충전재를 분산시킴으로써 제조된 방현 필름은, 수지 용액 중의 충전재의 분산 상태나 도포 상태 등에 의해서 요철의 배치나 형상이 좌우되기 때문에, 의도한 대로의 요철을 얻는 것이 곤란하고, 헤이즈가 낮은 것에서는 충분한 방현 효과가 얻어지지 않는다고 하는 문제가 있었다. 또한, 이러한 종래의 방현 필름을 화상 표시 장치의 표면에 배치한 경우, 산란광에 의해서 표시면 전체가 희끄무레해지고, 표시가 흐린 색이 되는, 이른바 「백탁」이 발생하기 쉽다고 하는 문제가 있었다. 또한, 최근의 화상 표시 장치의 고정밀화에 따라서, 화상 표시 장치의 화소와 방현 필름의 표면 요철 형상이 간섭되어, 결과로서 휘도 분포가 발생하여 보기 어려워지는, 이른바 「글리터링(Glittering)」 현상이 발생하기 쉽다고 하는 문제도 있었다.Such anti-glare films are conventionally applied by, for example, a method of forming a random unevenness on a sheet by applying a resin solution obtained by dispersing a filler onto a base sheet, adjusting the coating film thickness and exposing the filler to the coating film surface. Is being manufactured. However, the anti-glare film produced by dispersing such a filler is difficult to obtain the unevenness as intended, because the arrangement and shape of the unevenness depends on the dispersed state, the coated state, and the like of the filler in the resin solution. There was a problem that sufficient anti-glare effect was not obtained. Moreover, when arrange | positioning such a conventional anti-glare film on the surface of an image display apparatus, there existed a problem that what is called "cloudiness" which the whole display surface becomes whitish by a scattered light and a display became a dim color was easy to generate | occur | produce. Moreover, with the recent high precision of image display apparatuses, the so-called "glittering" phenomenon that the surface of the pixel of an image display apparatus and the surface uneven | corrugated shape of an anti-glare film interferes, and a brightness distribution arises and it becomes difficult to see as a result occurs. There was problem to be easy to do.
또한, 충전재를 분산시킴으로써 제조된 방현 필름에 있어서, 충전재의 굴절률과 충전재를 분산시키는 결합제 수지의 굴절률이 다른 경우에는, 그와 같은 방현 필름을 화상 표시 장치의 표면에 배치하였을 때에, 충전재와 결합제 수지 계면에서의 광의 산란에 의해서, 콘트라스트가 저하되기 쉽다고 하는 문제도 있었다.In addition, in the anti-glare film produced by dispersing the filler, when the refractive index of the filler and the refractive index of the binder resin for dispersing the filler are different, when such an anti-glare film is placed on the surface of the image display device, the filler and the binder resin are There was also a problem that contrast tends to be lowered due to scattering of light at the interface.
한편, 충전재를 함유시키지 않고, 투명 수지층의 표면에 형성된 미세한 요철만으로 방현성을 발현시키는 시도도 있다. 예를 들면, 일본 특허 공개 제2002-189106호 공보(특허 문헌 1)에는, 엠보싱 주형과 투명 수지 필름 사이에 전리 방사선 경화성 수지를 협지시킨 상태로 상기 전리 방사선 경화성 수지를 경화시킴으로써, 삼차원 10점 평균 거칠기 및 삼차원 거칠기 기준면 상에 있어서의 인접하는 볼록부끼리의 평균 거리가, 각각 소정값을 만족시키는 미세한 요철을 형성시키고, 그 요철이 형성된 전리 방사선 경화성 수지층을 상기 투명 수지 필름 상에 설치하거나 하는 등의 방현 필름이 개시되어 있다.On the other hand, there exists an attempt to express anti-glare only by the fine unevenness | corrugation formed in the surface of a transparent resin layer, without containing a filler. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-189106 (Patent Document 1) discloses a three-dimensional 10-point average by curing the ionizing radiation curable resin in a state where an ionizing radiation curable resin is sandwiched between an embossed mold and a transparent resin film. The average distance between adjacent convex portions on the roughness and the three-dimensional roughness reference planes each form a fine unevenness that satisfies a predetermined value, and the ionizing radiation curable resin layer on which the unevenness is formed is provided on the transparent resin film. Anti-glare films, such as these are disclosed.
또한, 표시 장치의 표시면에 배치되는 방현 필름이 아니라, 액정 표시 장치의 배면측에 배치되는 광 확산층으로서, 표면에 미세한 요철이 형성된 필름을 이용하는 것도, 예를 들면 일본 특허 공개 (평)6-34961호 공보(특허 문헌 2), 일본 특허 공개 제2004-45471호 공보(특허 문헌 3), 일본 특허 공개 제2004-45472호 공보(특허 문헌 4) 등에 개시되어 있다. 이 중, 특허 문헌 3, 4에는, 필름의 표면에 요철을 형성하는 수법으로서, 요철을 반전시킨 형상을 갖는 엠보싱 롤에 전리 방사선 경화성 수지액을 충전하고, 충전된 수지에 롤 요판의 회전 방향으로 동기하여 주행하는 투명 기재를 접촉시키고, 투명 기재가 롤 요판에 접촉하였을 때에, 롤 요판과 투명 기재 사이에 있는 수지를 경화시키고, 경화와 동시에 경화 수지와 투명 기재를 밀착시킨 후, 경화 후의 수지와 투명 기재와의 적층체를 롤 요판으로부터 박리하는 방법이 개시되어 있다.Moreover, using the film in which the fine unevenness | corrugation was formed in the surface as a light-diffusion layer arrange | positioned at the back side of a liquid crystal display device instead of the anti-glare film arrange | positioned at the display surface of a display apparatus is disclosed, for example. 34961 (patent document 2), Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-45471 (patent document 3), Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-45472 (patent document 4), etc. are disclosed. Among these,
그러나, 이러한 특허 문헌 3, 4에 개시된 방법에서는, 이용할 수 있는 전리 방사선 경화성 수지액의 조성이 한정되고, 또한 용매로 희석하여 도포하였을 때와 같은 레벨링을 기대할 수 없기 때문에, 막 두께의 균일성에 과제가 있는 것이 예상된다. 또한, 특허 문헌 3, 4에 개시된 방법에서는, 엠보싱 롤 요판에 직접 수지액을 충전할 필요가 있기 때문에, 요철면의 균일성을 확보하기 위해서는, 엠보싱 롤 요판에 높은 기계 정밀도가 요구되어, 엠보싱 롤의 제작이 어렵다고 하는 과제가 있었다.However, in the methods disclosed in
다음에, 표면에 요철을 갖는 필름의 제작에 이용되는 롤의 제작 방법으로서는, 예를 들면 상술한 특허 문헌 2에는, 금속 등을 이용하여 원통체를 만들고, 그 표면에 전자 조각, 에칭, 샌드 블라스트 등의 수법에 의해 요철을 형성하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 일본 특허 공개 제2004-29240호 공보(특허 문헌 5)에는 비드 쇼트법에 의해서 엠보싱 롤을 제작하는 방법이 개시되어 있고, 일본 특허 공개 제2004-90187호 공보(특허 문헌 6)에는 엠보싱 롤의 표면에 금속 도금층을 형성하는 공정, 금속 도금층의 표면을 경면 연마하는 공정, 또한 필요에 따라서 피닝(peening) 처리를 하는 공정을 거쳐 엠보싱 롤을 제작하는 방법이 개시되어 있다.Next, as a manufacturing method of the roll used for manufacture of the film which has an unevenness | corrugation on the surface, the
그러나, 이와 같이 엠보싱 롤의 표면에 블라스트 처리를 실시한 그대로의 상태에서는, 블라스트 입자의 입경 분포에서 기인하는 요철 직경의 분포가 생김과 동시에, 블라스트에 의해 얻어지는 오목부의 깊이를 제어하는 것이 곤란하고, 방현 기능이 우수한 요철의 형상을 양호한 재현성으로 얻는 것에 과제가 있었다.However, in the state which blasted the surface of the embossing roll in this way, distribution of the uneven diameter resulting from the particle size distribution of blast particle | grains arises, and it is difficult to control the depth of the recessed part obtained by a blast, There was a problem in obtaining a shape of irregularities having excellent function with good reproducibility.
또한, 상술한 특허 문헌 1에는, 바람직하게는 철 표면에 크롬 도금한 롤러를 이용하고, 샌드 블라스트법이나 비드 쇼트법에 의해 요철형 면을 형성하는 것이 기재되어 있다. 또한, 이와 같이 요철이 형성된 형면에는, 사용시의 내구성을 향상시킬 목적으로, 크롬 도금 등을 실시하고 나서 사용하는 것이 바람직하고, 그에 의해 경화막 및 부식 방지를 도모할 수 있다는 기재도 있다. 한편, 상술한 특허 문헌 3, 4 각각의 실시예에는, 철심 표면에 크롬 도금하고, #250의 액체 샌드 블라스트 처리를 한 후에, 재차 크롬 도금 처리하여, 표면에 미세한 요철 형상을 형성하는 것이 기재되어 있다.Further,
그러나, 이러한 엠보싱 롤의 제작법에서는, 경도가 높은 크롬 도금 위에 블라스트나 쇼트를 행하기 때문에, 요철이 형성되기 어렵고, 또한 형성된 요철의 형상을 정밀하게 제어하는 것이 곤란하였다. 또한, 일본 특허 공개 제2004-29672호 공보(특허 문헌 7)에도 기재된 바와 같이, 크롬 도금은 바탕이 되는 재질 및 그의 형상에 의존하여 표면이 거칠어지는 경우가 많고, 블라스트에 의해 형성된 요철 상에 크롬 도금으로 생긴 미세한 균열이 형성되기 때문에, 어떤 요철이 생기는가를 설계하기가 어렵다고 하는 과제가 있었다. 또한, 크롬 도금으로 생기는 미세한 균열이 있기 때문에, 최종적으로 얻어지는 방현 필름의 산란 특성이 바람직하지 않은 방향으로 변화된다고 하는 과제도 있었다. 또한, 엠보싱 롤 모재 표면의 재질과 도금종의 조합에 의해, 완성된 롤 표면이 다종 다양하게 변화되기 때문에, 필요로 하는 표면 요철 형상을 양호한 정밀도로 얻기 위해서는, 적절한 롤 표면의 재질과 적절한 도금종을 선택해야만 하다고 하는 과제도 있었다. 또한, 요구되는 표면 요철 형상이 얻어졌다고 해도, 도금종에 의해서는 사용시의 내구성이 불충분해지는 경우도 있었다.However, in the manufacturing method of such an embossing roll, since blasting and shot are performed on chromium plating with high hardness, unevenness | corrugation is hard to form and it was difficult to control the shape of the unevenness | corrugation formed precisely. In addition, as described in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-29672 (Patent Document 7), chromium plating is often roughened depending on the underlying material and its shape, and chromium is formed on unevenness formed by blasting. Since fine cracks formed by plating are formed, there is a problem that it is difficult to design what unevenness occurs. Moreover, since there exist the minute crack which arises by chromium plating, there also existed a subject that the scattering characteristic of the finally obtained anti-glare film changes to an undesirable direction. In addition, since the finished roll surface varies in various ways by the combination of the material of the embossed roll base material surface and the plated species, in order to obtain the required surface irregularities with good accuracy, the appropriate roll surface material and the appropriate plated species are obtained. There was also a problem that must be selected. Moreover, even if the required surface asperity shape was obtained, the durability at the time of use may become inadequate depending on the plated species.
일본 특허 공개 제2000-284106호 공보(특허 문헌 8)에는, 기재에 샌드 블라스트 가공을 실시한 후, 에칭 공정 및/또는 박막의 적층 공정을 실시하는 것이 기재되어 있지만, 샌드 블라스트 공정 전에 금속 도금층을 설치하는 것에 대한 기재도 시사도 되어 있지 않다. 또한, 일본 특허 공개 제2006-53371호 공보(특허 문헌 9)에는, 기재를 연마하여 샌드 블라스트 가공을 실시한 후, 무전해 니켈 도금을 실시하는 것이 기재되어 있다. 또한, 일본 특허 공개 제2007-187952호 공보(특허 문헌 10)에는, 기재에 구리 도금 또는 니켈 도금을 실시한 후, 연마하여 샌드 블라스트 가공을 실시한 후, 크롬 도금을 실시하여 엠보싱 판을 제작하는 것이 기재되어 있고, 또한 일본 특허 공개 제2007-237541호 공보(특허 문헌 11)에는, 구리 도금 또는 니켈 도금을 실시한 후, 연마하여 샌드 블라스트 가공을 실시한 후, 에칭 공정 또는 구리 도금 공정을 실시한 후에 크롬 도금을 실시하여 엠보싱 판을 제작하는 것이 기재되어 있다. 이들 샌드 블라스트 가공을 이용하는 제조 방법에서는 표면 요철 형상을 정밀하게 제어된 상태로 형성하는 것이 어렵기 때문에, 표면 요철 형상에 50 μm 이상의 주기를 갖는 비교적 큰 요철 형상도 제작된다. 결과로서, 이들의 큰 요철 형상과 화상 표시 장치의 화소가 간섭되고, 휘도 분포가 발생하여 보기 어려워지는, 이른바 글리터링이 발생하기 쉽다고 하는 문제가 있었다.Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-284106 (Patent Document 8) discloses performing a sand blasting process on a substrate and then performing an etching process and / or a lamination process of a thin film, but providing a metal plating layer before the sand blast process. Neither description nor suggestion is given. In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-53371 (Patent Document 9) describes that after polishing a substrate to perform sand blasting, electroless nickel plating is performed. In addition, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-187952 (Patent Document 10) discloses that a substrate is subjected to copper plating or nickel plating, then polished, sandblasted, and then chrome plated to produce an embossed plate. In addition, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-237541 (Patent Document 11) discloses chromium plating after copper plating or nickel plating, followed by polishing and sandblasting, followed by an etching process or a copper plating process. It is described to produce an embossed plate by carrying out. In the manufacturing method using these sand blasting processes, it is difficult to form the surface irregularities in a precisely controlled state, so that a relatively large irregular shape having a period of 50 µm or more in the surface irregularities is also produced. As a result, there existed a problem that these so-called uneven | corrugated shapes and so-called glittering which a pixel of an image display apparatus interferes and a luminance distribution generate | occur | produce easily become difficult to produce.
<발명의 개시><Start of invention>
본 발명은 높은 방현 기능을 나타내는 방현 필름의 제작에 유용한, 표면에 미세한 요철 형상을 갖는 금형의 제조 방법을 제공하고, 또한 그 금형을 이용하여 우수한 방현 기능을 나타내면서, 백탁에 의한 시인성 저하가 충분히 방지되고, 고정밀한 화상 표시 장치의 표면에 배치하였을 때에 글리터링이 발생하지 않으며, 콘트라스트가 저하되지 않는 방현 필름을 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a method for producing a mold having a fine concavo-convex shape on the surface, which is useful for the production of an anti-glare film exhibiting a high anti-glare function, and also exhibits excellent anti-glare function using the mold, while sufficiently preventing visibility deterioration due to cloudiness. It is an object of the present invention to provide a method for producing an antiglare film in which no glittering occurs and the contrast does not decrease when disposed on the surface of a high-precision image display device.
본 발명은 또한, 금형 표면에의 도금으로서, 경도나 표면 광택 등이 우수한 크롬 도금을 채용하면서, 그 크롬 도금면에 거칠음을 발생시키지 않고, 방현 필름의 제작에 바람직한 금형을 제조하고, 그것을 이용하여 우수한 방현 기능을 나타내는 방현 필름을 제조하는 것도 목적으로 한다.In addition, the present invention also employs chromium plating excellent in hardness, surface gloss, and the like as the plating on the surface of the mold, while producing a mold suitable for the production of an antiglare film without producing roughness on the surface of the chromium plating. It is another object to produce an antiglare film that exhibits excellent antiglare function.
본 발명의 금형의 제조 방법은, 금형용 기재의 표면에 구리 도금 또는 니켈 도금을 실시하는 제1 도금 공정과, 제1 도금 공정에 의해서 도금이 실시된 표면을 연마하는 연마 공정과, 연마된 면에 감광성 수지를 도포하여 막 형성하는 감광성 수지막 형성 공정과, 감광성 수지막 상에 패턴을 노광하는 노광 공정과, 패턴이 노광된 감광성 수지막을 현상하는 현상 공정과, 현상된 감광성 수지막을 마스크로서 이용하여 에칭 처리를 실시함으로써 연마된 도금면에 요철을 형성하는 에칭 공정 과, 에칭 공정에 의해서 형성된 요철면에 크롬 도금을 실시하는 제2 도금 공정을 포함하며, 상기 에칭 공정에 있어서 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 실시하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method of the metal mold | die of this invention is a 1st plating process which performs copper plating or nickel plating on the surface of the base material for metal mold | die, the grinding | polishing process of grinding | polishing the surface by which the plating was performed by the 1st plating process, and the polished surface The photosensitive resin film forming process of apply | coating a photosensitive resin film | membrane film formation, the exposure process of exposing a pattern on a photosensitive resin film, the developing process of developing the photosensitive resin film by which the pattern was exposed, and the developed photosensitive resin film were used as a mask. An etching step of forming irregularities on the polished plated surface by performing an etching process, and a second plating step of applying chromium plating on the uneven surface formed by the etching step, wherein the etching step is performed on the entire surface of the mold substrate It is characterized by performing a process.
여기서, 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 실시한는 것은, 금형용 기재에 있어서, 상기 마스크로 덮힌 영역을 포함시킨 전체면에 에칭 처리를 실시하는 것을 의미한다. 에칭 처리의 과정에서는 통상, 마스크로 덮혀 있지 않은 영역이 우선 에칭되고, 그 후의 처리 진행과 함께 마스크로 덮힌 영역까지도 에칭된다.Here, the etching process on the whole surface of a metal mold | die base material means performing the etching process on the whole surface containing the area | region covered with the said mask in the metal mold | die base material. In the process of an etching process, the area | region not normally covered with the mask is etched first, and also the area | region covered with the mask is etched with subsequent process progress.
본 발명의 금형의 제조 방법으로서는, 상기 에칭 공정이, 현상된 감광성 수지막을 마스크로서 이용하여, 금형용 기재에 있어서 상기 마스크로 덮힌 영역을 포함시킨 전체면에 에칭 처리를 실시함으로써 연마된 도금면에 요철을 형성하는 공정인 것이 바람직한 일 양태이다(이하, 금형의 제조 방법 A라 하는 경우가 있음). In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, the said etching process uses the developed photosensitive resin film as a mask, and uneven | corrugated plating surface polished by performing an etching process to the whole surface containing the area | region covered with the said mask in the base material for metal mold | die It is an aspect which is preferable in the process of forming a (Hereinafter, it may be called manufacturing method A of a metal mold | die).
또한, 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 실시할 때는, 마스크로 덮힌 영역의 전부가 에칭되기 전에 일단 에칭을 종료하고, 마스크를 박리하고 나서 한번 더 에칭 처리를 하여, 결과로서 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 행할 수도 있다.In addition, when performing the etching process on the whole surface of a metal mold | die base material, etching is complete | finished once before all of the area | region covered with a mask is etched, and etching is performed once again after peeling a mask, and as a result, it etches on the whole metal substrate surface as a result. Processing can also be performed.
본 발명의 금형의 제조 방법에서는, 상기 에칭 공정이, 현상된 감광성 수지막을 마스크로서 이용하여 에칭 처리를 행함으로써 연마된 도금면에 요철을 형성하는 제1 에칭 공정과, 감광성 수지막을 박리하는 감광성 수지막 박리 공정과, 감광성 수지막을 완전히 박리한 후에 제1 에칭 공정에 의해서 형성된 요철면을 에칭 처리에 의해서 둔화시키는 제2 에칭 공정을 포함하는 것이 바람직한 다른 일 양태이다(금형의 제조 방법 B라 하는 경우가 있음).In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, the said etching process uses the developed photosensitive resin film as a mask, and performs the etching process, The 1st etching process which forms an unevenness | corrugation on the polished plating surface, and the photosensitive resin which peels off the photosensitive resin film It is another preferable aspect to include the film peeling process and the 2nd etching process which dulls the uneven surface formed by the 1st etching process after peeling a photosensitive resin film completely by an etching process (when manufacturing method B of a mold). There).
본 발명의 금형의 제조 방법에 있어서, 에칭 공정에서의 에칭량은 2 내지 100 μm인 것이 바람직하다.In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, it is preferable that the etching amount in an etching process is 2-100 micrometers.
본 발명의 금형의 제조 방법 B에서의 제1 에칭 공정에서의 에칭량은 1 내지 50 μm인 것이 바람직하다.It is preferable that the etching amount in the 1st etching process in the manufacturing method B of the metal mold | die of this invention is 1-50 micrometers.
본 발명의 금형의 제조 방법 B에서의 제2 에칭 공정에서의 에칭량은 1 내지 50 μm인 것이 바람직하다.It is preferable that the etching amount in the 2nd etching process in the manufacturing method B of the metal mold | die of this invention is 1-50 micrometers.
본 발명의 금형의 제조 방법에 있어서, 노광 공정에 있어서의 감광성 수지막 상으로의 패턴 노광은, 컴퓨터 상에서 작성된 패턴 데이터를 컴퓨터 제어된 레이저 헤드로부터 발하는 레이저광에 의해서 묘화함으로써 행해지는 것이 바람직하다.In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, it is preferable that pattern exposure on the photosensitive resin film in an exposure process is performed by drawing the pattern data created on the computer by the laser beam emitted from a computer-controlled laser head.
본 발명의 금형의 제조 방법에 있어서, 현상 후에 용해되지 않고 남는 감광성 수지막(이하에서는, 현상 후에 용해되지 않고 남는 감광성 수지막을 「마스크」라 부름)의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적은, 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대하여 1 내지 70 %인 것이 바람직하다.In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, the projected area on the surface of the metal mold | die base material of the photosensitive resin film (Hereinafter, the photosensitive resin film remaining without melt | dissolution after image development is called a "mask.") Is a base material for metal mold | die. It is preferable that it is 1 to 70% with respect to the area of the area | region in which the surface asperity shape is formed in the surface.
본 발명의 금형의 제조 방법에 있어서, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차는 1000 μm2 이하인 것이 바람직하다.In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, it is preferable that the standard deviation of the projection area of the mask to the metal mold | die base material surface in the area | region of 100 micrometers x 100 micrometers of the metal substrate surface is 1000 micrometer <2> or less.
본 발명의 금형의 제조 방법에서는, 크롬 도금을 실시한 후, 표면을 연마하지 않고, 그대로 크롬 도금면을 금형의 요철면으로서 이용하는 것이 바람직하다.In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, after performing chromium plating, it is preferable to use a chromium plating surface as an uneven surface of a metal mold as it is, without grind | polishing the surface.
본 발명의 금형의 제조 방법은 또한, 크롬 도금에 의해 형성된 크롬 도금층 이 1 내지 10 μm의 두께를 갖는 것이 바람직하다.In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, it is also preferable that the chromium plating layer formed by chromium plating has a thickness of 1-10 micrometers.
본 발명은 또한, 상술한 본 발명의 금형의 제조 방법에 의해서 제조된 금형의 요철면을 투명 수지 필름에 전사하는 공정과, 금형의 요철면이 전사된 투명 수지 필름을 금형으로부터 박리하는 공정을 포함하는 방현 필름의 제조 방법에 대해서도 제공한다.This invention also includes the process of transferring the uneven surface of the metal mold | die manufactured by the manufacturing method of the metal mold | die of the present invention mentioned above to a transparent resin film, and the process of peeling the transparent resin film from which the uneven surface of the metal mold | die was transferred from the metal mold | die. It also provides about the manufacturing method of the anti-glare film.
본 발명의 금형의 제조 방법에 따르면, 표면에 미세한 요철 형상이 양호한 정밀도로 형성되어 있기 때문에, 높은 방현 기능을 나타내는 방현 필름의 제조에 유용한 금형을 양호한 재현성으로, 거의 결함이 존재하지 않는 상태로 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 방현 필름의 제조 방법에 따르면, 헤이즈가 낮고, 표시 화상의 밝기를 유지하면서, 투영 방지나 반사 방지, 백탁의 억제, 글리터링 발생 방지, 콘트라스트 저하 방지 등, 방현 성능이 우수한 방현 필름을 공업적으로 유리하게 제조할 수 있다.According to the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, since the fine uneven | corrugated shape is formed in the surface with good precision, the metal mold | die useful for manufacture of the anti-glare film which shows high anti-glare function is manufactured with favorable reproducibility, and almost no defect exists. can do. Moreover, according to the manufacturing method of the anti-glare film of this invention, anti-glare film which is low in haze, and excellent in anti-glare performance, such as anti-projection, anti-reflection, suppression of cloudiness, prevention of glittering prevention, contrast reduction, etc., maintaining the brightness of a display image. Can be produced industrially advantageously.
<발명을 실시하기 위한 형태><Mode for carrying out the invention>
<금형의 제조 방법><Method of manufacturing mold>
도 1은 본 발명의 금형의 제조 방법의 전반 부분의 바람직한 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows typically a preferable example of the first half part of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention.
도 1에는 각 공정에서의 금형의 단면을 모식적으로 나타내고 있다. 본 발명의 금형의 제조 방법의 전반 부분은 [1] 제1 도금 공정과, [2] 연마 공정과, [3] 감광성 수지막 형성 공정과, [4] 노광 공정을 기본적으로 포함한다. 이하, 도 1을 참조하면서, 본 발명의 금형의 제조 방법의 전반 부분의 각 공정에 대하여 상세히 설명한다.1, the cross section of the metal mold | die in each process is shown typically. The first half part of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention contains a [1] 1st plating process, [2] grinding | polishing process, [3] photosensitive resin film formation process, and [4] exposure process fundamentally. Hereinafter, each process of the first half part of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention is demonstrated in detail, referring FIG.
[1] 제1 도금 공정[1] first plating processes
본 발명의 금형의 제조 방법에서는 우선, 금형에 이용하는 기재의 표면에 구리 도금 또는 니켈 도금을 실시한다. 이와 같이, 금형용 기재의 표면에 구리 도금 또는 니켈 도금을 실시함으로써, 이후의 제2 도금 공정에서의 크롬 도금의 밀착성이나 광택성을 높일 수 있다. 즉, 배경 기술로서 상술한 바와 같이, 철 등의 표면에 크롬 도금을 실시한 경우, 또는 크롬 도금 표면에 샌드 블라스트법이나 비드 쇼트법 등으로 요철을 형성하고 나서 재차 크롬 도금을 실시한 경우에는, 표면이 거칠어지기 쉽고, 미세한 균열이 생기고, 금형 표면의 요철 형상이 제어하기 어려워진다. 이에 대하여 우선, 기재 표면에 구리 도금 또는 니켈 도금을 실시해둠으로써 이러한 문제점을 없앨 수 있다. 이것은, 구리 도금 또는 니켈 도금은 피복성이 높고, 또한 평활화 작용이 강하기 때문에, 금형용 기재의 미소한 요철이나 공동(cavity) 등을 매립하여, 평탄하며 광택이 있는 표면을 형성하기 때문이다. 이들 구리 도금 또는 니켈 도금의 특성에 의해서, 후술하는 제2 도금 공정에서 크롬 도금을 실시했다고 해도, 기재에 존재하고 있었던 미소한 요철이나 공동에서 기인하는 것으로 생각되는 크롬 도금 표면의 거칠음이 해소되고, 또한 구리 도금 또는 니켈 도금의 피복성이 강하기 때문에, 미세한 균열의 발생이 감소된다. In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, first, copper plating or nickel plating is given to the surface of the base material used for a metal mold | die. Thus, by performing copper plating or nickel plating on the surface of the base material for metal mold | die, the adhesiveness and glossiness of chromium plating in a subsequent 2nd plating process can be improved. That is, as described above as a background art, when chromium plating is performed on the surface of iron or the like, or when chromium plating is performed again after the unevenness is formed on the surface of the chromium plating by a sand blasting method or a bead short method, etc. It becomes easy to be rough, a minute crack arises, and the uneven shape of the mold surface becomes difficult to control. On the other hand, this problem can be eliminated by giving copper plating or nickel plating to the surface of a base material first. This is because copper plating or nickel plating has a high coating property and a strong smoothing action, so that minute unevenness or cavity of the base material for a mold is embedded to form a flat and glossy surface. By the characteristics of these copper plating or nickel plating, even if chromium plating is performed in the 2nd plating process mentioned later, the roughness of the chromium plating surface considered to originate in the micro unevenness and cavity which existed in the base material is eliminated, In addition, since the coating property of copper plating or nickel plating is strong, the occurrence of fine cracks is reduced.
제1 도금 공정에서 이용되는 구리 또는 니켈로서는, 각각의 순금속일 수 있 을 뿐 아니라, 구리를 주체로 하는 합금 또는 니켈을 주체로 하는 합금일 수도 있고, 따라서 본 명세서에서 말하는 「구리」는 구리 및 구리 합금을 포함하는 의미이고, 또한 「니켈」은 니켈 및 니켈 합금을 포함하는 의미이다. 구리 도금 및 니켈 도금은 각각 전해 도금으로 행할 수도 무전해 도금으로 행할 수도 있지만, 통상은 전해 도금이 채용된다.The copper or nickel used in the first plating step may be not only pure metals, but also copper-based alloys or nickel-based alloys. Thus, "copper" as used herein refers to copper and It is a meaning containing a copper alloy, and "nickel" is a meaning containing nickel and a nickel alloy. Copper plating and nickel plating may be performed by electrolytic plating or electroless plating, respectively, but electrolytic plating is usually employed.
구리 도금 또는 니켈 도금을 실시할 때는, 도금층이 너무 얇으면, 바탕 표면의 영향을 배제할 수 없기 때문에, 그의 두께는 50 μm 이상인 것이 바람직하다. 도금층 두께의 상한은 임계적인 것은 아니지만, 비용 등과의 균형 때문에 일반적으로는 500 μm 정도까지로 충분하다.When carrying out copper plating or nickel plating, if the plating layer is too thin, since the influence of the base surface cannot be excluded, the thickness thereof is preferably 50 µm or more. The upper limit of the thickness of the plating layer is not critical, but is generally sufficient to about 500 μm because of the balance with the cost.
또한, 본 발명의 금형의 제조 방법에서, 기재의 형성에 바람직하게 이용되는 금속 재료로서는, 비용의 관점에서 알루미늄, 철 등을 들 수 있다. 또한 취급의 편리성으로부터, 경량인 알루미늄이 보다 바람직하다. 여기서 말하는 알루미늄이나 철도 각각 순금속일 수 있을 뿐 아니라, 알루미늄 또는 철을 주체로 하는 합금일 수도 있다.Moreover, in the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, as a metal material preferably used for formation of a base material, aluminum, iron, etc. are mentioned from a cost viewpoint. Moreover, lightweight aluminum is more preferable from the convenience of handling. In addition to the aluminum and the railway, the metal may not only be a pure metal, but also an alloy mainly composed of aluminum or iron.
또한, 기재의 형상은 상기 분야에 있어서 종래부터 채용되고 있는 적절한 형상이면 특별히 제한되지 않고, 평판상일 수도 있고, 원주상 또는 원통상의 롤일 수도 있다. 롤상의 기재를 이용하여 금형을 제작하면, 방현 필름을 연속적인 롤상으로 제조할 수 있다고 하는 이점이 있다.In addition, the shape of a base material will not be restrict | limited in particular, if it is a suitable shape conventionally employ | adopted in the said field | area, A flat form may be sufficient, and a cylindrical or cylindrical roll may be sufficient as it. When a metal mold | die is produced using roll base material, there exists an advantage that an anti-glare film can be manufactured in continuous roll shape.
[2] 연마 공정[2] polishing processes
연마 공정에서는, 상술한 제1 도금 공정에서 구리 도금 또는 니켈 도금이 실 시된 기재 표면을 연마한다. 상기 공정을 거쳐, 기재 표면은 경면에 가까운 상태로 연마되는 것이 바람직하다. 이것은, 기재가 되는 금속판이나 금속 롤은, 원하는 정밀도로 하기 위해서 절삭이나 연삭 등의 기계 가공이 실시되어 있는 경우가 많고, 그에 따라서 기재 표면에 가공 흠집이 남아 있어, 구리 도금 또는 니켈 도금이 실시된 상태에서도, 이들 가공 흠집이 남는 경우가 있고, 또한 도금된 상태에서, 표면이 완전히 평활해진다고 할 수는 없기 때문이다. 즉, 이러한 깊은 가공 흠집 등이 남은 표면에 후술하는 공정을 실시했다고 해도, 각 공정을 실시한 후에 형성되는 요철보다 가공 흠집 등의 요철이 깊은 경우가 있어, 가공 흠집 등의 영향이 남을 가능성이 있어, 그와 같은 금형을 이용하여 방현 필름을 제조한 경우에는, 광학 특성에 예기할 수 없는 영향을 주는 경우가 있다. 도 1(a)에는, 평판상의 금형용 기재 (1)이 제1 도금 공정에서 구리 도금 또는 니켈 도금이 그 표면에 실시되고(해당 공정에서 형성한 구리 도금 또는 니켈 도금의 층에 대해서는 도시하지 않음), 또한 연마 공정에 의해서 경면 연마된 표면 (2)를 갖게 된 상태를 모식적으로 나타내고 있다.In the polishing process, the surface of the substrate on which copper plating or nickel plating is performed in the above-described first plating process is polished. Through the above steps, the substrate surface is preferably polished in a state close to the mirror surface. This is because the metal plate or the metal roll serving as the base material is often subjected to machining, such as cutting or grinding, in order to achieve a desired precision, and thus processing scratches remain on the surface of the base material, and copper plating or nickel plating is performed. This is because even in the state, these processing scratches may be left and the surface may not be completely smoothed in the plated state. That is, even if the process described later is performed on the surface where such deep processing scratches and the like remain, the irregularities such as processing scratches may be deeper than the irregularities formed after each process, and there is a possibility that the influence of processing scratches and the like remains. When manufacturing an anti-glare film using such a metal mold | die, it may have an unexpected effect on an optical characteristic. In Fig. 1 (a), the plate-
구리 도금 또는 니켈 도금이 실시된 기재 표면을 연마하는 방법에 대해서는 특별히 제한되는 것은 아니고, 기계 연마법, 전해 연마법, 화학 연마법을 모두 사용할 수 있다. 기계 연마법으로서는, 초스피드 완성법, 랩핑, 유체 연마법, 버프 연마법 등이 예시된다. 연마 후의 표면 조도는, JIS B 0601의 규정에 준거한 중심선 평균 거칠기 Ra가 0.1 μm 이하인 것이 바람직하고, 0.05 μm 이하인 것이 보다 바람직하다. 연마 후의 중심선 평균 거칠기 Ra가 0.1 μm보다 크면, 최종적인 금 형 표면의 요철 형상에 연마 후의 표면 조도의 영향이 남을 가능성이 있기 때문에 바람직하지 않다. 또한, 중심선 평균 거칠기 Ra의 하한에 대해서는 특별히 제한되지 않고, 가공 시간이나 가공 비용의 관점에서 당연히 한계가 있기 때문에, 특별히 지정할 필요성은 없다.The method for polishing the surface of the substrate subjected to copper plating or nickel plating is not particularly limited, and any mechanical polishing method, electrolytic polishing method or chemical polishing method can be used. Examples of the mechanical polishing method include a super speed completion method, a lapping, a fluid polishing method, a buff polishing method, and the like. As for the surface roughness after grinding | polishing, it is preferable that center line average roughness Ra based on the specification of JISB0601 is 0.1 micrometer or less, and it is more preferable that it is 0.05 micrometer or less. If the centerline average roughness Ra after polishing is larger than 0.1 µm, it is not preferable because the influence of the surface roughness after polishing may remain on the uneven shape of the final mold surface. The lower limit of the center line average roughness Ra is not particularly limited, and since there is a limit in terms of processing time and processing cost, there is no need to specify it in particular.
[3] 감광성 수지막 형성 공정[3] photosensitive resin film forming processes
감광성 수지막 형성 공정에서는, 상술한 연마 공정에 의해서 경면 연마를 실시한 기재 (1)의 표면 (2)에, 감광성 수지를 용매에 용해시킨 용액으로서 도포하고, 가열ㆍ건조시킴으로써 감광성 수지막을 형성한다. 도 1(b)에는, 기재 (1)의 표면 (2)에 감광성 수지막 (3)이 형성된 상태를 모식적으로 나타내고 있다.In the photosensitive resin film formation process, the photosensitive resin film is formed by apply | coating as a solution which melt | dissolved photosensitive resin in the solvent, and heating and drying it to the
감광성 수지로서는 종래 공지된 감광성 수지를 사용할 수 있다. 예를 들면, 감광 부분이 경화되는 성질을 갖는 네가티브형 감광성 수지로서는, 분자 중에 아크릴기 또는 메타크릴기를 갖는 아크릴산에스테르의 단량체나 예비 중합체, 비스아지드와 디엔 고무와의 혼합물, 폴리비닐신나메이트계 화합물 등을 사용할 수 있다. 또한, 현상에 의해 감광 부분이 용출되고, 미감광 부분만이 남는 성질을 갖는 포지티브형 감광성 수지로서는, 페놀 수지계나 노볼락 수지계 등을 사용할 수 있다. 또한, 감광성 수지에는, 필요에 따라서 증감제, 현상 촉진제, 밀착성 개질제, 도포성 개량제 등의 각종 첨가제를 배합할 수도 있다.As the photosensitive resin, a conventionally known photosensitive resin can be used. For example, as a negative photosensitive resin which has the property which a photosensitive part hardens | cures, the monomer and prepolymer of an acrylic acid ester which has an acryl group or a methacryl group in a molecule | numerator, a mixture of bis azide and diene rubber, and a polyvinyl cinnamate system Compounds and the like can be used. Moreover, a phenol resin type, a novolak resin type, etc. can be used as positive type photosensitive resin which has the property which a photosensitive part elutes by development and only an unphotosensitive part remains. Moreover, you may mix | blend various additives, such as a sensitizer, a development promoter, an adhesive modifier, and a coating property improving agent, with photosensitive resin as needed.
이들 감광성 수지를 기재 (1)의 표면 (2)에 도포할 때는, 양호한 도막을 형성하기 위해서 적당한 용매에 희석하여 도포하는 것이 바람직하고, 셀로솔브계 용매, 프로필렌글리콜계 용매, 에스테르계 용매, 알코올계 용매, 케톤계 용매, 고극 성 용매 등을 사용할 수 있다.When applying these photosensitive resins to the
감광성 수지 용액을 도포하는 방법으로서는, 메니스커스 코팅, 파운틴 코팅, 침지 코팅, 회전 도포, 롤 도포, 와이어 바 도포, 에어 나이프 도포, 블레이드 도포 및 커튼 도포 등의 공지된 방법을 사용할 수 있다. 도포막의 두께는 건조 후에 1 내지 6 μm의 범위로 하는 것이 바람직하다.As a method of applying the photosensitive resin solution, known methods such as meniscus coating, fountain coating, dip coating, rotary coating, roll coating, wire bar coating, air knife coating, blade coating and curtain coating can be used. It is preferable to make the thickness of a coating film into the range of 1-6 micrometers after drying.
[4] 노광 공정[4] exposure steps
노광 공정에서는, 상술한 감광성 수지막 형성 공정에서 형성된 감광성 수지막 (3) 상에 소정의 패턴을 노광한다. 노광 공정에 이용되는 광원은 도포된 감광성 수지의 감광 파장이나 감도 등에 따라서 적절하게 선택할 수 있고, 예를 들면 고압 수은등의 g선(파장: 436 nm), 고압 수은등의 h선(파장: 405 nm), 고압 수은등의 i선(파장: 365 nm), 반도체 레이저(파장: 830 nm, 532 nm, 488 nm, 405 nm 등), YAG 레이저(파장: 1064 nm), KrF 엑시머 레이저(파장: 248 nm), ArF 엑시머 레이저(파장: 193 nm), F2 엑시머 레이저(파장: 157 nm) 등을 사용할 수 있다.In an exposure process, a predetermined pattern is exposed on the photosensitive resin film 3 formed in the photosensitive resin film formation process mentioned above. The light source used in the exposure process can be appropriately selected according to the photosensitive wavelength, sensitivity, etc. of the coated photosensitive resin. For example, g-rays of high-pressure mercury lamp (wavelength: 436 nm), h-rays of high-pressure mercury lamp (wavelength: 405 nm) I-ray of high pressure mercury lamp (wavelength: 365 nm), semiconductor laser (wavelength: 830 nm, 532 nm, 488 nm, 405 nm, etc.), YAG laser (wavelength: 1064 nm), KrF excimer laser (wavelength: 248 nm) , ArF excimer laser (wavelength: 193 nm), F 2 excimer laser (wavelength: 157 nm) and the like can be used.
본 발명의 금형의 제조 방법에 있어서 표면 요철 형상을 양호한 정밀도로 형성하기 위해서는, 노광 공정에 있어서 소정의 패턴을 감광성 수지막 상에 정밀하게 제어된 상태로 노광하는 것이 바람직하다. 본 발명의 금형의 제조 방법에 있어서는, 소정의 패턴을 감광성 수지막 상에 양호한 정밀도로 노광하기 위해서, 컴퓨터 상에서 패턴 데이터를 작성하고, 그 패턴 데이터에 기초를 둔 패턴을, 컴퓨터 제어된 레이저 헤드로부터 발하는 레이저광에 의해서 묘화하는 것이 바람직하다. 이러 한 레이저 묘화를 행할 때에 인쇄판 제조용 레이저 묘화 장치를 사용할 수 있다. 이러한 레이저 묘화 장치로서는, 예를 들면 레이저 스트림(Laser Stream) FX((주)싱크ㆍ라보라토리 제조) 등을 들 수 있다.In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, in order to form surface uneven | corrugated shape with favorable precision, it is preferable to expose a predetermined pattern in the state controlled precisely on the photosensitive resin film in an exposure process. In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, in order to expose a predetermined | prescribed pattern on a photosensitive resin film with favorable precision, pattern data is created on a computer, and the pattern based on the pattern data is made from the computer-controlled laser head. It is preferable to draw by laser light which emits. When performing such laser drawing, the laser drawing apparatus for printing plate manufacture can be used. As such a laser drawing apparatus, Laser Stream FX (made by Sync Lab Laboratories) etc. are mentioned, for example.
도 1(c)에는 감광성 수지막 (3)에 패턴이 노광된 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 감광성 수지막을 네가티브형 감광성 수지로 형성한 경우에는, 노광된 영역 (4)는 노광에 의해서 수지의 가교 반응이 진행되고, 후술하는 현상액에 대한 용해성이 저하된다. 따라서, 현상 공정에서 노광되지 않은 영역 (5)가 현상액에 의해서 용해되고, 노광된 영역 (4)만 기재 표면 상에 남아 마스크가 된다. 한편, 감광성 수지막을 포지티브형 감광성 수지로 형성한 경우에는, 노광된 영역 (4)는 노광에 의해서 수지의 결합이 절단되어, 후술하는 현상액에 대한 용해성이 증가한다. 따라서, 현상 공정에서 노광된 영역 (4)가 현상액에 의해서 용해되고, 노광되지 않은 영역 (5)만 기재 표면 상에 남아 마스크가 된다.In FIG.1 (c), the state which the pattern was exposed to the photosensitive resin film 3 is typically shown. When the photosensitive resin film is formed of negative photosensitive resin, crosslinking reaction of resin advances by exposure in light, and the solubility with respect to the developing solution mentioned later falls. Therefore, the area |
여기서 감광성 수지막의 노광되는 영역의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적을 M이라 하고, 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적을 T라 한다. 감광성 수지막에 네가티브형 감광성 수지를 이용하는 경우에는, 비 M/T가 0.01 내지 0.7이 되도록 패턴을 제조하고, 노광하는 것이 바람직하다. 또한, 감광성 수지막에 포지티브형 감광성 수지를 이용하는 경우에는, 비(1-M)/T가 0.01 내지 0.7이 되도록 패턴을 제조하고, 노광하는 것이 바람직하다. 이러한 비율로 패턴을 제조하여 노광함으로써, 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적을, 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대하여 1 내지 70 %로 할 수 있다. 도 2에는 금형용 기재 표면의 상면에서 관찰한 감광성 수지막에 패턴이 노광된 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 노광된 영역 (4)의 면적 총합이 M이고, 노광된 영역 (4) 및 노광되지 않은 영역 (5)의 면적 총합이 T이다.Here, the projection area of the area | region to which the photosensitive resin film is exposed to the surface of the metal mold | die base material is M, and the area of the area | region in which the surface asperity shape is formed in the surface of a metal mold | die base material is T. When using a negative photosensitive resin for a photosensitive resin film, it is preferable to manufacture and expose a pattern so that ratio M / T may be 0.01-0.7. In addition, when using positive photosensitive resin for a photosensitive resin film, it is preferable to manufacture and expose a pattern so that ratio (1-M) / T may be 0.01-0.7. By manufacturing and exposing a pattern in such a ratio, the projection area of a mask to the surface of a metal mold | die base material can be made into 1 to 70% with respect to the area of the area | region in which the surface asperity shape is formed in the surface of a metal mold | die base material. In FIG. 2, the state which the pattern was exposed to the photosensitive resin film observed from the upper surface of the base material surface for metal mold | die is typically shown. The sum of the areas of the exposed
또한, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 감광성 수지막의 노광되는 영역의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적을 M100이라 하였을 때, M100의 표준 편차는 1000 μm2 이하인 것이 바람직하다. 컴퓨터로 패턴을 제작하여 노광함으로써, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차를 1000 μm2 이하로 할 수 있다. 여기서, M100의 표준 편차는, 3점 이상이 다른 개소에서의 패턴에 대하여 100 μm×100 μm의 영역 중의 노광되는 면적 M100을 구함으로써 계산할 수 있다. M100의 표준 편차를 계산할 때, 오차를 감소시키기 위해서는, 5점 이상이 다른 개소에서의 패턴에 대하여 100 μm×100 μm의 영역 중의 노광되는 면적 M100을 구하는 것이 바람직하다.Moreover, when the projection area of the photosensitive resin film in the area | region of 100 micrometer x 100 micrometer of the surface of a metal mold | die base material to the metal mold | die base material surface is M100, it is preferable that the standard deviation of M100 is 1000 micrometer <2> or less. By producing and exposing a pattern with a computer, the standard deviation of the projection area of the mask on the surface of the mold base material in the region of 100 μm × 100 μm of the surface of the mold base material can be 1000 μm 2 or less. Here, the standard deviation of M100 can be calculated by obtaining the area M100 exposed in an area of 100 μm × 100 μm with respect to the pattern at three or more different points. In calculating the standard deviation of M100, in order to reduce the error, it is preferable to obtain the area M100 exposed in an area of 100 µm x 100 µm with respect to the pattern at five or more points.
노광에 의해서 묘화되는 패턴의 형상에 대해서는 특별히 제한되지 않고, 원형, 사각형, 육각형 등의 패턴을 배열시킨 것을 묘화할 수도 있고, 연속적인 패턴을 묘화할 수도 있고, 이들을 조합한 것을 묘화할 수도 있다. 또한, 다른 크기의 원형, 사각형, 육각형 등의 패턴을 배열한 것을 묘화할 수도 있다. 또한, 묘화하는 패턴은 규칙적으로 배치되어 있어도 상관없고, 불규칙하게 배치되어 있어도 상관없다. 도 2, 3, 4에는 원형 패턴을 배열시킨 것을 모식적으로 나타내고 있다. 이 중, 도 3에는 3 종류의 다른 크기의 원형 패턴을 배열시킨 것을 모식적으로 나타내고 있고, 도 4에는 원형 패턴을 불규칙하게 배치한 것을 모식적으로 나타내고 있다. 또한, 도 5에는 사각형 패턴을 배치한 것, 도 6에는 육각형 패턴을 배치한 것, 도 7에는 원형 패턴을 겹치도록 배치함으로써 연속적인 패턴을 묘화한 것을 모식적으로 나타내었다.The shape of the pattern to be drawn by the exposure is not particularly limited, and the arrangement of patterns such as circles, squares, hexagons, and the like may be drawn, a continuous pattern may be drawn, or a combination of these may be drawn. Moreover, what arrange | positioned patterns, such as a circle | round | yen, a square, a hexagon, etc. of a different size can also be drawn. In addition, the pattern to draw may be arrange | positioned regularly and may be arrange | positioned irregularly. 2, 3 and 4 schematically show an arrangement of circular patterns. Among them, FIG. 3 schematically shows an arrangement of three different circular patterns, and FIG. 4 schematically shows an irregular arrangement of circular patterns. In addition, in FIG. 5, the rectangular pattern was arrange | positioned, the hexagonal pattern was arrange | positioned in FIG. 6, and the circular pattern was arrange | positioned in FIG. 7, and the continuous pattern was drawn typically.
본 발명의 금형의 제조 방법의 후반 부분에서는, 패턴이 노광된 감광성 수지막을 현상하는 현상 공정과, 현상된 감광성 수지막을 마스크로서 이용하여 에칭 처리를 실시함으로써 연마된 도금면에 요철을 형성하는 에칭 공정과, 에칭 공정에 의해서 형성된 요철면에 크롬 도금을 실시하는 제2 도금 공정을 행한다. 단, 상기 에칭 공정에서는 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 실시한다. 여기서, 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 실시한다는 것은, 금형용 기재에 있어서 상기 마스크로 덮힌 영역을 포함시킨 전체면에 에칭 처리를 실시하는 것을 의미한다.In the latter part of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, the image development process which develops the photosensitive resin film to which the pattern was exposed, and the etching process which forms an unevenness | corrugation on the polished plating surface by performing an etching process using the developed photosensitive resin film as a mask. And the 2nd plating process which performs chromium plating on the uneven surface formed by the etching process is performed. However, in the said etching process, an etching process is given to the whole surface of a base material for metal molds. Here, the etching process on the whole surface of a metal mold | die base material means performing an etching process on the whole surface containing the area | region covered with the said mask in the metal mold base material.
에칭 처리의 과정에서는, 마스크로 덮혀 있지 않은 영역이 우선 에칭되고, 그 후의 처리 진행과 함께 마스크로 덮힌 영역까지도 에칭된다. 본 발명의 금형의 제조 방법의 일 양태로서 들 수 있는 금형의 제조 방법 A에서는, 이것을 이용한다. 즉, 본 발명의 금형의 제조 방법 A에서는, 상기 에칭 공정이, 현상된 감광성 수지막을 마스크로서 이용하여, 금형용 기재에 있어서 상기 마스크로 덮힌 영역을 포함시킨 전체면에 에칭 처리를 실시함으로써, 연마된 도금면에 요철을 형성하는 공정이다.In the process of an etching process, the area | region not covered with a mask is etched first, and even the area | region covered with a mask is etched with subsequent process progress. In the manufacturing method A of the metal mold | die mentioned as one aspect of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, this is used. That is, in the manufacturing method A of the metal mold | die of this invention, the said etching process was grind | polished by carrying out the etching process to the whole surface containing the area | region covered with the said mask in the base material for metal molds using the developed photosensitive resin film as a mask. It is a process of forming irregularities on the plated surface.
또한, 상기 에칭 공정은 금형의 제조 방법 A와 같이 한번의 에칭 처리로 구 성되어 있을 수도 있고, 2회 이상으로 나누어 에칭 처리를 행하여, 이들 에칭 처리 사이에 상기 마스크를 제거하는 공정으로 구성되어 있을 수도 있다. 예를 들면, 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 실시할 때, 마스크로 덮힌 영역의 전부가 에칭되기 전에 일단 에칭을 종료하고, 마스크를 제거하고 나서 한번 더 에칭 처리를 하여, 결과로서 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 한다. 본 발명의 금형의 제조 방법의 다른 일 양태로서 들 수 있는 금형의 제조 방법 B에서는, 이것을 채용한다. 즉, 본 발명의 금형의 제조 방법 B에서는, 상기 에칭 공정이, 현상된 감광성 수지막을 마스크로서 이용하여 에칭 처리를 행하고, 연마된 도금면에 요철을 형성하는 제1 에칭 공정과, 감광성 수지막을 박리하는 감광성 수지막 박리 공정과, 감광성 수지막을 완전히 제거한 후에, 제1 에칭 공정에 의해서 형성된 요철면을 에칭 처리에 의해서 둔화시키는 제2 에칭 공정을 포함하는 공정이다.In addition, the said etching process may be comprised by one etching process like the manufacturing method A of a metal mold | die, it is comprised by the process of performing an etching process in 2 or more times, and removing the said mask between these etching processes. It may be. For example, when performing the etching treatment on the entire surface of the mold base material, the etching is once finished before all of the regions covered with the mask are etched, and the etching process is performed once again after removing the mask. An etching process is performed. In the manufacturing method B of the metal mold | die mentioned as another aspect of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, this is employ | adopted. That is, in the manufacturing method B of the metal mold | die of this invention, the said etching process performs an etching process using the developed photosensitive resin film as a mask, and peels off the 1st etching process which forms an unevenness | corrugation in the polished plating surface, and the photosensitive resin film. It is a process including the photosensitive resin film peeling process mentioned above, and the 2nd etching process which dulls the uneven surface formed by the 1st etching process by an etching process after removing a photosensitive resin film completely.
이하, 본 발명의 금형의 제조 방법 A 및 B에 대하여 더욱 설명한다.Hereinafter, the manufacturing method A and B of the metal mold | die of this invention are further demonstrated.
<<금형의 제조 방법 A>><< manufacturing method A >> of the mold
[5A] 현상 공정[5A] Development Process
현상 공정에 있어서는, 감광성 수지막 (3)에 네가티브형 감광성 수지를 이용한 경우에는, 노광되지 않은 영역 (5)는 현상액에 의해서 용해되고, 노광된 영역 (4)만 금형용 기재 상에 잔존하여, 계속되는 에칭 공정에 있어서 마스크로서 작용한다. 한편, 감광성 수지막 (3)에 포지티브형 감광성 수지를 이용한 경우에는, 노광된 영역 (4)만 현상액에 의해서 용해되고, 노광되지 않은 영역 (5)가 금형용 기재 상에 잔존하여, 계속되는 에칭 공정에서의 마스크로서 작용한다.In the image development process, when negative photosensitive resin is used for the photosensitive resin film 3, the unexposed area |
현상 공정에서 사용되는 현상액에 대해서는 종래 공지된 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 규산나트륨, 메타규산나트륨, 암모니아수 등의 무기 알칼리류, 에틸아민, n-프로필아민 등의 제1 아민류, 디에틸아민, 디-n-부틸아민 등의 제2 아민류, 트리에틸아민, 메틸디에틸아민 등의 제3 아민류, 디메틸에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 알코올아민류, 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드, 트리메틸히드록시에틸암모늄히드록시드 등의 제4급 암모늄염, 피롤, 피페리딘 등의 환상 아민류 등의 알칼리성 수용액, 크실렌, 톨루엔 등의 유기 용제 등을 들 수 있다.As the developing solution used in the developing step, a conventionally known one can be used. For example, inorganic alkalis, such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, ammonia water, 1st amines, such as ethylamine and n-propylamine, diethylamine, di-n-butylamine, etc. Tertiary amines such as secondary amines, triethylamine, methyldiethylamine, alcoholamines such as dimethylethanolamine and triethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide and trimethylhydroxyethylammonium hydroxide And alkaline aqueous solutions such as cyclic amines such as quaternary ammonium salts such as roxide, pyrrole and piperidine, and organic solvents such as xylene and toluene.
현상 공정에서의 현상 방법에 대해서는 특별히 제한되지 않고, 침지 현상, 분무 현상, 브러시 현상, 초음파 현상 등의 방법을 사용할 수 있다.The developing method in the developing step is not particularly limited, and methods such as immersion development, spray development, brush development, and ultrasonic development can be used.
본 발명의 금형의 제조 방법 A에서는, 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적을, 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대하여 1 내지 70 %로 하는 것이 바람직하다. 이 요건을 만족시키기 위해서, 상술한 바와 같은 비율의 패턴을 노광할 수 있다. 즉, 네가티브형 감광성 수지를 이용하는 경우에는 비 M/T가 0.01 내지 0.7이 되도록 패턴을 제조하고, 노광할 수 있다. 또한, 포지티브형 감광성 수지를 이용하는 경우에는, 비(1-M)/T가 0.01 내지 0.7이 되도록 패턴을 제조하고, 노광할 수 있다. 마스크의 투영 면적의 기재 표면에 대한 비율이 너무 작으면, 후술하는 에칭 공정에 있어서 금형용 기재 표면의 대략 전체면이 균일하게 에칭되어, 기재 표면에 충분한 요철을 형성하는 것이 곤란해지고, 얻어진 금형을 이용하여 제조된 방현 필름에 있어서 충분한 방현 성능이 얻 어지기 어려워지는 경향이 있다. 또한, 마스크의 투영 면적의 기재 표면에 대한 비율이 너무 크면, 에칭 공정 후에 에칭되지 않은 면이 평탄면으로서 많이 남아 있게 된다. 이 경우에 있어서도 얻어진 금형을 이용하여 제조된 방현 필름에 있어서 충분한 방현 성능이 얻어지기 어려워지는 경향이 있다. 금형용 기재의 표면에 마스크의 패턴을 반영한 요철을 양호한 정밀도로 형성하기 위해서, 및 후술하는 에칭 공정에 있어서, 마스크로 덮힌 영역을 포함한 금형용 기재 전체면에 에칭 처리를 실시하기 위해서, 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대한 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적은, 5 내지 55 %의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.In the manufacturing method A of the metal mold | die of this invention, it is preferable to make the projection area of a mask on the metal substrate surface into 1 to 70% with respect to the area of the area | region in which the surface asperity shape is formed in the metal substrate surface. In order to satisfy this requirement, the pattern of the ratio mentioned above can be exposed. That is, when using negative photosensitive resin, a pattern can be manufactured and exposed so that ratio M / T may be 0.01-0.7. In addition, when using positive photosensitive resin, a pattern can be manufactured and exposed so that ratio (1-M) / T may be 0.01-0.7. If the ratio of the projection area of the mask to the substrate surface is too small, in the etching step described later, approximately the entire surface of the mold substrate surface is uniformly etched, making it difficult to form sufficient irregularities on the substrate surface. In the anti-glare film manufactured by the present invention, sufficient anti-glare performance tends to be difficult to be obtained. In addition, if the ratio of the projection area of the mask to the substrate surface is too large, many unetched surfaces remain as flat surfaces after the etching process. Also in this case, there exists a tendency for sufficient anti-glare performance to be acquired in the anti-glare film manufactured using the obtained metal mold | die. In order to form the unevenness which reflected the pattern of the mask on the surface of the metal mold | die base material with good precision, and in order to perform an etching process to the whole surface of the metal mold substrate including the area | region covered with a mask in the etching process mentioned later, As for the projection area to the surface of the metal mold | die base material with respect to the area of the area | region where a surface asperity shape is formed, it is more preferable to exist in 5 to 55% of range.
또한, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차를 1000 μm2 이하로 하는 것이 바람직하다. 이 요건을 만족시키기 위해서는, 상술한 바와 같이 M100의 표준 편차가 1000 μm2 이하가 되는 패턴으로 노광할 수 있다. 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 현상 후에 용해되지 않고 남는 감광성 수지막의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차가 1000 μm2를 초과하는 경우에는, 얻어진 금형의 표면 요철 형상에 50 μm 이상의 주기를 갖는 표면 요철 형상의 불균일성이 발생하게 되고, 결과로서, 얻어진 금형을 이용하여 제조된 방현 필름은 고정밀한 화상 표시 장치에 배치하였을 때에 글리터링을 발생시키는 경향이 있다. 얻어진 금형의 표면 요철 형상을 보다 균일하게 하는 관점에서는, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μ m의 영역에서의 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차는, 500 μm2 이하인 것이 보다 바람직하다.Moreover, it is preferable to make the standard deviation of the projection area of the mask on the surface of a metal mold | die base material in the area | region of 100 micrometer x 100 micrometers of the surface of metal mold | die base material into 1000 micrometer <2> or less. In order to satisfy this requirement, it can expose in the pattern which the standard deviation of M100 will be 1000 micrometer <2> or less as mentioned above. When the standard deviation of the projected area of the photosensitive resin film on the mold base material surface remaining undissolved after development in a region of 100 μm × 100 μm of the base material surface of the mold exceeds 1000 μm 2 , the surface unevenness of the obtained mold is 50. Nonuniformity of the surface irregularities having a period of μm or more occurs, and as a result, the antiglare film produced by using the obtained mold tends to cause glittering when placed in a high precision image display device. From a viewpoint of making the surface uneven | corrugated shape of the obtained metal mold | die more uniform, it is more preferable that the standard deviation of the projection area of the mask in the 100 micrometer x 100 micrometers area | region of the base material surface of a metal mold | die to the mold base material surface is 500 micrometer <2> or less. .
도 1(d)에는, 감광성 수지막 (3)에 네가티브형 감광성 수지를 이용하여 현상 처리를 행한 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 도 1(c)에 있어서 노광되지 않은 영역 (5)가 현상액에 의해서 용해되고, 노광된 영역 (4)만 기재 표면 상에 남아 마스크 (6)이 된다. 도 1(e)에는, 감광성 수지막 (3)에 포지티브형 감광성 수지를 이용하여 현상 처리를 행한 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 도 1(c)에 있어서 노광된 영역 (4)가 현상액에 의해서 용해되고, 노광되지 않은 영역 (5)만 기재 표면 상에 남아 마스크 (6)이 된다. 또한, 도 2의 노광된 영역 (4)는 현상 공정 후에는, 네가티브형 감광성 수지의 경우에는 기재 표면 상에 남아, 계속되는 에칭 공정에서 마스크로서 작용한다. 한편, 포지티브형 감광성 수지의 경우에는, 도 2의 노광되지 않은 영역 (5)가 기재 표면 상에 남아, 계속되는 에칭 공정에서 마스크로서 작용한다.In FIG.1 (d), the state which developed the photosensitive resin film 3 using negative photosensitive resin is shown typically. In FIG.1 (c), the unexposed area |
[6A] 에칭 공정[6A] etching process
금형의 제조 방법 A의 에칭 공정에서는, 상술한 현상 공정 후에 금형용 기재 표면 상에 잔존한 감광성 수지막을 마스크로서 이용하여, 주로 마스크가 없는 개소의 금형용 기재를 에칭한다. 도 8은 본 발명의 금형의 제조 방법 A의 후반 부분의 바람직한 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 8(a)에는 에칭 공정에 의해서, 주로 마스크가 없는 개소 (7)의 금형용 기재 (1)이 에칭되는 상태를 모식적으 로 나타내고 있다. 마스크 (6) 하부의 금형용 기재 (1)은 금형용 기재 표면에서는 에칭되지 않지만, 에칭의 진행과 함께 마스크가 없는 영역 (7)에서의 에칭이 진행된다. 따라서, 마스크 (6)과 마스크가 없는 영역 (7)의 경계 부근에서는, 마스크 (6) 하부의 금형용 기재 (1)도 에칭된다. 이러한 마스크 (6)과 마스크가 없는 영역 (7)의 경계 부근에 있어서, 마스크 (6) 하부의 금형용 기재 (1)도 에칭되는 것을, 이하에서는 사이드 에칭이라 부른다. 도 9에는 사이드 에칭의 진행을 모식적으로 나타내었다. 도 9의 점선 (8)은 에칭의 진행과 함께 변화되는 금형용 기재의 표면을 단계적으로 나타내고 있다.In the etching process of the manufacturing method A of a metal mold, the base material for metal mold | die of a location without a mask is mainly etched using the photosensitive resin film which remained on the surface of the metal mold | die base material after the above-mentioned image development process as a mask. It is a figure which shows typically a preferable example of the latter part of the manufacturing method A of the metal mold | die of this invention. FIG. 8A schematically shows a state in which the
본 발명의 제조 방법 A에서는 사이드 에칭을 진행시켜, 금형용 기재 표면의 전체면에 에칭 처리를 실시하는 것을 특징으로 한다. 즉, 인접하는 마스크가 없는 개소 (7)로부터 진행되는 사이드 에칭이 금형용 기재 표면의 전체면에 걸쳐 연결될 때까지 에칭 처리를 행하고, 마스크 (6) 하부의 금형용 기재 (1)도 에칭되는 것을 특징으로 한다. 도 9에는 사이드 에칭이 진행되고, 마스크 (6) 하부의 금형용 기재 (1)도 전부 에칭되는 상태를 모식적으로 나타내고 있다.In the manufacturing method A of this invention, side etching is advanced and the etching process is given to the whole surface of the metal substrate surface. That is, the etching process is performed until the side etching which advances from the location 7 without an adjacent mask is connected over the whole surface of the surface of the metal mold | die base material, and the metal mold | die
에칭 공정에서의 에칭 처리는 통상, 염화 제2 철(FeCl3)액, 염화 제2 구리(CuCl2)액, 알칼리 에칭액(Cu(NH3)4Cl2) 등을 이용하여, 금속 표면을 부식시킴으로써 행해지지만, 염산이나 황산 등의 강산을 이용할 수도 있고, 전해 도금시와 반대 전위를 거는 것에 의한 역전해 에칭을 이용할 수도 있다. 에칭 처리를 실시하였을 때의 금형용 기재에 형성되는 오목 형상은, 바탕 금속의 종류, 감광성 수지막의 종 류 및 에칭 수법 등에 의해서 다르기 때문에, 일률적으로 말할 수는 없지만, 에칭량이 10 μm 이하인 경우에는, 에칭액에 접촉된 금속 표면으로부터 대략 등방적으로 에칭된다. 여기서 말하는 에칭량이란, 에칭에 의해 깎이는 기재의 두께이다.The etching process in the etching process usually corrodes the metal surface by using ferric chloride (FeCl 3 ) solution, cupric chloride (CuCl 2 ) solution, alkaline etching solution (Cu (NH 3 ) 4 Cl 2 ), or the like. Although it is performed by making it a strong acid, strong acids, such as hydrochloric acid and a sulfuric acid, can also be used, and reverse electrolytic etching by applying the reverse electric potential at the time of electroplating can also be used. Since the concave shape formed on the base material for a mold when the etching process is performed varies depending on the type of the base metal, the type of the photosensitive resin film, the etching method, and the like, but cannot be uniformly described, when the etching amount is 10 μm or less, the etching solution It is etched approximately isotropically from the metal surface in contact with. Etching amount here is the thickness of the base material shaved by etching.
에칭 공정에서의 에칭량은 바람직하게는 2 내지 100 μm이다. 에칭량이 2 μm 미만인 경우에는, 금속 표면에 요철 형상이 거의 형성되지 않고, 거의 평탄한 금형이 되기 때문에, 방현성을 나타내지 않게 된다. 또한, 사이드 에칭을 진행시켜 금형용 기재 표면의 전체면에 에칭 처리를 실시하는 것이 어려워진다. 또한, 에칭량이 100 μm를 초과하는 경우에는, 금속 표면에 형성되는 요철 형상의 곡율이 커져 거의 평탄한 금형이 되기 때문에, 방현성을 나타내지 않게 된다. 사이드 에칭을 진행시켜 금형용 기재 표면의 전체면에 에칭 처리를 실시하기 위해서는, 에칭량이 중요한 인자이고, 적어도 에칭량은 마스크의 폭보다 클 필요가 있다.The etching amount in the etching step is preferably 2 to 100 µm. In the case where the etching amount is less than 2 m, almost no irregularities are formed on the metal surface, and the mold becomes almost flat. Therefore, the anti-glare property is not exhibited. Moreover, it becomes difficult to advance side etching and to etch the whole surface of the metal substrate surface. In addition, when the etching amount exceeds 100 µm, the curvature of the concave-convex shape formed on the metal surface becomes large, and the mold becomes almost flat. Therefore, the anti-glare property is not exhibited. In order to perform side etching and to etch the whole surface of the metal substrate surface, etching amount is an important factor, and at least etching amount needs to be larger than the width of a mask.
또한, 이와 같이 금형용 기재 표면의 전체면에 에칭 처리를 실시하지 않는 경우에는, 에칭된 개소와 에칭되지 않은 개소에 의해서 형성된 표면 요철 형상 (9)의 급경사인 표면 경사를 충분히 둔화시키기 위해서, 후술하는 제2 도금 공정에서의 크롬 도금을 두껍게 해야만 한다. 그러나, 크롬 도금의 두께를 너무 두꺼우면, 노듈이 발생하기 쉬워지기 때문에 바람직하지 않다. 또한, 크롬 도금의 두께를 얇게 한 경우에는, 에칭된 개소와 에칭되지 않은 개소에 의해서 형성된 표면 요철 형상 (9)의 급경사인 표면 경사를 충분히 둔화시킬 수 없어, 요구되는 표면 형상의 금형이 얻어지지 않기 때문에, 그 금형을 이용하여 제작한 방현 필름도 우수한 방현 성능을 나타내지 않는다. 도 10에는 금형용 기재 표면의 전체면에 에칭 처리를 실시하지 않고, 에칭되지 않은 개소를 남긴 금형용 기재 표면의 모식도를 나타내었다. 에칭된 개소와 에칭되지 않은 개소에 의해서 형성된 표면 요철 형상 (9)는 급경사인 표면 경사를 갖는 것이 된다.In addition, when etching is not performed to the whole surface of the base material surface of a metal mold | die in this way, it is mentioned later in order to fully slow down the inclination of the surface which is the steepness of the surface asperity shape 9 formed by the etched location and the non-etched location. The chromium plating in the second plating process must be thickened. However, when the thickness of chromium plating is too thick, it is not preferable because nodules tend to occur. In addition, when the thickness of the chromium plating is thinned, the surface inclination, which is a steep inclination of the surface irregularities 9 formed by the etched portion and the unetched portion, cannot be sufficiently slowed, so that a mold having the required surface shape cannot be obtained. Since it does not, the anti-glare film produced using the metal mold | die does not show the outstanding anti-glare performance. 10, the schematic diagram of the surface of the metal mold | die base material which left the unetched part was not shown in the whole surface of the metal substrate surface. The surface concave-convex shape 9 formed by the etched point and the non-etched point will have a steep surface slope.
또한, 본 발명의 금형의 제조 방법 A에서는, 에칭 공정과 제2 도금 공정 사이에 감광성 수지막 제거 공정을 포함하는 것이 바람직하다. 에칭 공정에서 사이드 에칭을 진행시켜 금형용 기재 표면의 전체면에 에칭 처리를 실시함으로써, 마스크는 금형용 기재 표면으로부터 박리되는데, 박리된 마스크가 금형용 기재 표면 상에 부착되어 제2 도금 공정에서의 결함 원인이 될 가능성이 있다. 이러한 부착된 마스크를 감광성 수지막 제거 공정에서 완전히 용해시켜 제거한다. 감광성 수지막 제거 공정에서는 제거액을 이용하여 감광성 수지막을 용해시킨다. 제거액으로서는, 상술한 현상액과 동일한 것을 이용할 수 있고, pH, 온도, 농도 및 침지 시간 등을 변화시킴으로써, 네가티브형 감광성 수지막을 이용한 경우에는 노광부의, 포지티브형 감광성 수지막을 이용한 경우에는 비노광부의 감광성 수지막을 완전히 용해시켜 제거한다. 감광성 수지막 제거 공정에서의 박리 방법에 대해서도 특별히 제한되지 않고, 침지 현상, 분무 현상, 브러시 현상, 초음파 현상 등의 방법을 이용할 수 있다.Moreover, in the manufacturing method A of the metal mold | die of this invention, it is preferable to include the photosensitive resin film removal process between an etching process and a 2nd plating process. By performing side etching in the etching process and etching the entire surface of the surface of the mold substrate, the mask is peeled off from the surface of the mold substrate, and the peeled mask adheres to the surface of the mold substrate, thereby causing defects in the second plating process. There is a possibility. This attached mask is completely dissolved and removed in the photosensitive resin film removing step. In the photosensitive resin film removal process, a photosensitive resin film is dissolved using a removal liquid. As the removal solution, the same developer as that described above can be used, and by changing the pH, temperature, concentration, and immersion time, the photosensitive resin of the exposed portion when the negative photosensitive resin film is used and the non-exposed portion when the positive photosensitive resin film is used The membrane is completely dissolved and removed. The peeling method in the photosensitive resin film removal step is not particularly limited, and methods such as immersion development, spray development, brush development, and ultrasonic development can be used.
<<금형의 제조 방법 B>><< manufacturing method B >> of the mold
[5B] 현상 공정[5B] Development Process
현상 공정에서는, 감광성 수지막 (3)에 네가티브형 감광성 수지를 이용한 경우에는, 노광되지 않은 영역 (5)는 현상액에 의해서 용해되고, 노광된 영역 (4)만 금형용 기재 상에 잔존하여, 계속되는 제1 에칭 공정에서 마스크로서 작용한다. 한편, 감광성 수지막 (3)에 포지티브형 감광성 수지를 이용한 경우에는, 노광된 영역 (4)만 현상액에 의해서 용해되고, 노광되지 않은 영역 (5)가 금형용 기재 상에 잔존하여, 계속되는 제1 에칭 공정에서의 마스크로서 작용한다.In the developing step, when a negative photosensitive resin is used for the photosensitive resin film 3, the
현상 공정에서 사용되는 현상액에 대해서는 종래 공지된 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 규산나트륨, 메타규산나트륨, 암모니아수 등의 무기 알칼리류, 에틸아민, n-프로필아민 등의 제1 아민류, 디에틸아민, 디-n-부틸아민 등의 제2 아민류, 트리에틸아민, 메틸디에틸아민 등의 제3 아민류, 디메틸에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 알코올아민류, 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드, 트리메틸히드록시에틸암모늄히드록시드 등의 제4급 암모늄염, 피롤, 피페리딘 등의 환상 아민류 등의 알칼리성 수용액, 크실렌, 톨루엔 등의 유기 용제 등을 들 수 있다.As the developing solution used in the developing step, a conventionally known one can be used. For example, inorganic alkalis, such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, ammonia water, 1st amines, such as ethylamine and n-propylamine, diethylamine, di-n-butylamine, etc. Tertiary amines such as secondary amines, triethylamine, methyldiethylamine, alcoholamines such as dimethylethanolamine and triethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide and trimethylhydroxyethylammonium hydroxide And alkaline aqueous solutions such as cyclic amines such as quaternary ammonium salts such as roxide, pyrrole and piperidine, and organic solvents such as xylene and toluene.
현상 공정에서의 현상 방법에 대해서는 특별히 제한되지 않고, 침지 현상, 분무 현상, 브러시 현상, 초음파 현상 등의 방법을 사용할 수 있다.The developing method in the developing step is not particularly limited, and methods such as immersion development, spray development, brush development, and ultrasonic development can be used.
본 발명의 금형의 제조 방법에 있어서는, 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적을, 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대하여 1 내지 70 %로 하는 것이 바람직하다. 이 요건을 만족시키기 위해, 상술한 바와 같은 비율의 패턴을 노광할 수 있다. 즉, 네가티브형 감광성 수지를 이용하는 경우에는, 비 M/T가 0.01 내지 0.7이 되도록 패턴을 제조하고, 노광할 수 있다. 또한, 포지티브형 감광성 수지를 이용하는 경우에는, 비(1-M)/T가 0.01 내 지 0.7이 되도록 패턴을 제조하고, 노광할 수 있다. 마스크의 투영 면적의 기재 표면에 대한 비율이 너무 작으면, 후술하는 제1 에칭 공정에 있어서 금형용 기재 표면의 대략 전체면이 균일하게 에칭되어, 기재 표면에 충분한 요철을 형성하는 것이 곤란해지고, 얻어진 금형을 이용하여 제조된 방현 필름에 있어서 충분한 방현 성능이 얻어지기 어려워지는 경향이 있다. 또한, 마스크의 투영 면적의 기재 표면에 대한 비율이 너무 크면, 제1 에칭 공정 후에 남는 평탄면, 즉 에칭되지 않는 면이 커져, 제2 에칭 공정 후에도 평탄면이 남게 된다. 이 경우에 있어서도 얻어진 금형을 이용하여 제조된 방현 필름에 있어서 충분한 방현 성능이 얻어지기 어려워지는 경향이 있다. 금형용 기재의 표면에 마스크의 패턴을 반영한 요철을 양호한 정밀도로 형성하는 관점에서는, 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대한 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적은, 30 내지 65 %의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, it is preferable to make the projection area of a mask to the base material surface for metal mold | die to 1 to 70% with respect to the area of the area | region where a surface asperity shape is formed in the base material surface for metal mold | die. In order to satisfy this requirement, the pattern of the ratio as mentioned above can be exposed. That is, when using negative photosensitive resin, a pattern can be manufactured and exposed so that ratio M / T may be 0.01-0.7. In addition, when using a positive photosensitive resin, a pattern can be manufactured and exposed so that ratio (1-M) / T may be 0.01-0.7. If the ratio of the projection area of the mask to the substrate surface is too small, in the first etching step described later, approximately the entire surface of the mold substrate surface is uniformly etched, making it difficult to form sufficient irregularities on the substrate surface. In the anti-glare film manufactured by using a film, there is a tendency that sufficient anti-glare performance is difficult to be obtained. If the ratio of the projection area of the mask to the substrate surface is too large, the flat surface remaining after the first etching process, that is, the surface which is not etched, becomes large, and the flat surface remains even after the second etching process. Also in this case, there exists a tendency for sufficient anti-glare performance to be acquired in the anti-glare film manufactured using the obtained metal mold | die. From the viewpoint of forming the irregularities reflecting the pattern of the mask on the surface of the mold substrate with good precision, the projection area of the mask onto the mold substrate surface with respect to the area of the region where the surface irregularities are formed on the substrate surface for mold is 30 to 65. It is more preferable to exist in the range of%.
또한, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차를 1000 μm2 이하로 하는 것이 바람직하다. 이 요건을 만족시키기 위해서는, 상술한 바와 같이 M100의 표준 편차가 1000 μm2 이하가 되는 패턴으로 노광할 수 있다. 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 현상 후에 용해되지 않고 남는 감광성 수지막의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차가 1000 μm2를 초과하는 경우에는, 얻어진 금형의 표면 요철 형상에 50 μm 이상의 주기를 갖는 표면 요철 형상의 불균일성이 발생하게 되 어, 결과로서, 얻어진 금형을 이용하여 제조된 방현 필름은 고정밀한 화상 표시 장치에 배치하였을 때에 글리터링을 발생시키는 경향이 있다. 얻어진 금형의 표면 요철 형상을 보다 균일하게 하는 관점에서는, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차는, 500 μm2 이하인 것이 보다 바람직하다.Moreover, it is preferable to make the standard deviation of the projection area of the mask on the surface of a metal mold | die base material in the area | region of 100 micrometer x 100 micrometers of the surface of metal mold | die base material into 1000 micrometer <2> or less. In order to satisfy this requirement, it can expose in the pattern which the standard deviation of M100 will be 1000 micrometer <2> or less as mentioned above. When the standard deviation of the projected area of the photosensitive resin film on the mold base material surface remaining undissolved after development in a region of 100 μm × 100 μm of the base material surface of the mold exceeds 1000 μm 2 , the surface unevenness of the obtained mold is 50. Unevenness of the surface irregularities having a period of μm or more occurs, and as a result, the antiglare film produced by using the obtained mold tends to cause glittering when placed on a high precision image display device. From a viewpoint of making the surface uneven | corrugated shape of the obtained metal mold | die more uniform, it is more preferable that the standard deviation of the projection area of the mask in the area | region of 100 micrometers x 100 micrometers of the base material surface of a metal mold | die to the mold base material surface is 500 micrometer <2> or less.
도 1(d)에는, 감광성 수지막 (3)에 네가티브형 감광성 수지를 이용하여 현상 처리를 행한 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 도 1(c)에 있어서 노광되지 않은 영역 (5)가 현상액에 의해 용해되고, 노광된 영역 (4)만 기재 표면 상에 남아 마스크 (6)이 된다. 도 1(e)에는, 감광성 수지막 (3)에 포지티브형 감광성 수지를 이용하여 현상 처리를 행한 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 도 1(c)에 있어서 노광된 영역 (4)가 현상액에 의해서 용해되고, 노광되지 않은 영역 (5)만 기재 표면 상에 남아 마스크 (6)이 된다. 또한, 도 2의 노광된 영역 (4)는 현상 공정 후에는, 네가티브형 감광성 수지의 경우에는 기재 표면 상에 남아, 계속되는 제1 에칭 공정에서 마스크로서 작용한다. 한편, 포지티브형 감광성 수지의 경우에는, 도 2의 노광되지 않은 영역 (5)가 기재 표면 상에 남아, 계속되는 제1 에칭 공정에서 마스크로서 작용한다. In FIG.1 (d), the state which developed the photosensitive resin film 3 using negative photosensitive resin is shown typically. In FIG.1 (c), the unexposed area |
[6A1] 제1 에칭 공정[6A1] first etching process
금형의 제조 방법 B의 제1 에칭 공정에서는, 상술한 현상 공정 후에 금형용 기재 표면 상에 잔존한 감광성 수지막을 마스크로서 이용하여, 주로 마스크가 없는 개소의 금형용 기재를 에칭한다. 도 14는 본 발명의 금형의 제조 방법 B의 후반 부분의 바람직한 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 14(a)에는 제1 에칭 공정에 의해서, 주로 마스크가 없는 개소 (7)의 금형용 기재 (1)이 에칭되는 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 마스크 (6) 하부의 금형용 기재 (1)은 금형용 기재 표면에서는 에칭되지 않지만, 에칭의 진행과 함께 마스크가 없는 영역 (7)에서의 에칭이 진행된다. 따라서, 마스크 (6)과 마스크가 없는 영역 (7)의 경계 부근에서는, 마스크 (6) 하부의 금형용 기재 (1)도 에칭된다. 이러한 마스크 (6)과 마스크가 없는 영역 (7)의 경계 부근에 있어서, 마스크 (6) 하부의 금형용 기재 (1)도 에칭되는 것을, 이하에서는 사이드 에칭이라 부른다. 도 15에는 사이드 에칭의 진행을 모식적으로 나타내었다. 도 15의 점선 (8)은 에칭의 진행과 함께 변화되는 금형용 기재의 표면을 단계적으로 나타내고 있다.In the 1st etching process of the manufacturing method B of a metal mold | die, the base material for metal mold | die of a location without a mask is mainly etched using the photosensitive resin film which remained on the surface of the metal mold | die base material after the above-mentioned image development process as a mask. It is a figure which shows typically a preferable example of the latter part of the manufacturing method B of the metal mold | die of this invention. 14A schematically shows a state in which the
제1 에칭 공정에서의 에칭 처리는 통상, 염화 제2 철(FeCl3)액, 염화 제2 구리(CuCl2)액, 알칼리 에칭액(Cu(NH3)4Cl2) 등을 이용하여 금속 표면을 부식시킴으로써 행해지지만, 염산이나 황산 등의 강산을 이용할 수도 있고, 전해 도금시와 반대 전위를 거는 것에 의한 역전해 에칭을 이용할 수도 있다. 에칭 처리를 실시하였을 때의 금형용 기재에 형성되는 오목 형상은, 바탕 금속의 종류, 감광성 수지막의 종류 및 에칭 수법 등에 의해서 다르기 때문에, 일률적으로 말할 수는 없지만, 에칭량이 10 μm 이하인 경우에는, 에칭액에 접촉된 금속 표면으로부터 대략 등방적으로 에칭된다. 여기서 말하는 에칭량이란, 에칭에 의해 깎이는 기재의 두께이다.The etching treatment in the first etching step is usually performed by using a ferric chloride (FeCl 3 ) solution, a cupric chloride (CuCl 2 ) solution, an alkali etching solution (Cu (NH 3 ) 4 Cl 2 ), or the like. Although it is performed by corrosive, strong acids, such as hydrochloric acid and sulfuric acid, can also be used, and reverse electrolytic etching by applying the opposite electric potential at the time of electroplating can also be used. Since the concave shape formed in the base material for a metal mold | die at the time of an etching process differs by the kind of base metal, the kind of photosensitive resin film, the etching method, etc., it cannot say uniformly, but when etching amount is 10 micrometers or less, It is etched approximately isotropically from the contacted metal surface. Etching amount here is the thickness of the base material shaved by etching.
제1 에칭 공정에서의 에칭량은 바람직하게는 1 내지 50 μm이다. 에칭량이 1 μm 미만인 경우에는, 금속 표면에 요철 형상이 거의 형성되지 않고, 거의 평탄한 금형이 되기 때문에, 방현성을 나타내지 않게 된다. 또한, 에칭량이 50 μm를 초과하는 경우에는, 금속 표면에 형성되는 요철 형상의 고저차가 커져, 얻어진 금형을 사용하여 제작한 방현 필름이 백탁되기 때문에 바람직하지 않다. 제1 에칭 공정에서의 에칭 처리는 1회의 에칭 처리에 의해서 행할 수도 있고, 에칭 처리를 2회 이상으로 나누어 행할 수도 있다. 여기서 에칭 처리를 2회 이상으로 나누어 행하는 경우에는, 2회 이상의 에칭 처리에 있어서의 에칭량 합계가 1 내지 50 μm인 것이 바람직하다.The etching amount in the first etching step is preferably 1 to 50 µm. When the etching amount is less than 1 µm, almost no irregularities are formed on the metal surface, and the mold becomes almost flat, so that anti-glare properties are not exhibited. Moreover, when etching amount exceeds 50 micrometers, since the height difference of the uneven | corrugated shape formed in a metal surface becomes large, and the anti-glare film produced using the obtained metal mold | die is cloudy, it is unpreferable. The etching treatment in the first etching step may be performed by one etching treatment, or may be performed by dividing the etching treatment into two or more times. In the case where the etching treatment is performed in two or more times, the total amount of etchings in the two or more etching treatments is preferably 1 to 50 µm.
[6B2] 감광성 수지막 박리 공정[6B2] Photosensitive Resin Film Peeling Process
금형의 제조 방법 B의 감광성 수지막 박리 공정에서는, 제1 에칭 공정에서 마스크로서 사용한 잔존하는 감광성 수지막을 완전히 용해시켜 제거한다. 감광성 수지막 박리 공정에서는 박리액을 이용하여 감광성 수지막을 용해시킨다. 박리액으로서는, 상술한 현상액과 동일한 것을 사용할 수 있고, pH, 온도, 농도 및 침지 시간 등을 변화시킴으로써, 네가티브형 감광성 수지막을 이용한 경우에는 노광부의, 포지티브형 감광성 수지막을 이용한 경우에는 비노광부의 감광성 수지막을 완전히 용해시켜 제거한다. 감광성 수지막 박리 공정에서의 박리 방법에 대해서도 특별히 제한되지 않고, 침지 현상, 분무 현상, 브러시 현상, 초음파 현상 등의 방법을 사용할 수 있다.In the photosensitive resin film peeling process of the manufacturing method B of a metal mold | die, the remaining photosensitive resin film used as a mask in a 1st etching process is melt | dissolved and removed completely. In the photosensitive resin film peeling process, a photosensitive resin film is melt | dissolved using a peeling liquid. As the peeling solution, the same developer as described above can be used, and by changing the pH, temperature, concentration and immersion time, the photosensitive property of the exposed portion when the negative photosensitive resin film is used and the non-exposed portion when the positive photosensitive resin film is used The resin film is completely dissolved and removed. The peeling method in the photosensitive resin film peeling step is not particularly limited, and methods such as immersion development, spray development, brush development, and ultrasonic development can be used.
도 14(b)는 감광성 수지막 박리 공정에 의해서, 제1 에칭 공정에서 마스크로 서 사용한 감광성 수지막 (6)을 완전히 용해시켜 제거한 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 감광성 수지막에 의한 마스크 (6)과 에칭에 의해서, 제1 표면 요철 형상 (9)가 금형용 기재 표면에 형성된다.14B schematically shows a state in which the
[6B3] 제2 에칭 공정[6B3] second etching process
금형의 제조 방법 B의 제2 에칭 공정에서는, 감광성 수지막을 마스크로서 이용한 제1 에칭 공정에 의해서 형성된 제1 표면 요철 형상 (9)를, 에칭 처리에 의해서 둔화시킨다. 이 제2 에칭 처리에 의해서, 제1 에칭 처리에 의해서 형성된 제1 표면 요철 형상 (9)에 있어서의 표면 경사가 급경사인 부분이 없어지고, 얻어진 금형을 이용하여 제조된 방현 필름의 광학 특성이 바람직한 방향으로 변화된다. 도 14(c)에는, 제2 에칭 처리에 의해서 기재 (1)의 제1 표면 요철 형상 (9)가 둔화되고, 표면 경사가 급경사인 부분이 둔화되고, 완만한 표면 경사를 갖는 제2 표면 요철 형상 (10)이 형성된 상태가 나타내어져 있다.In the 2nd etching process of the manufacturing method B of a metal mold | die, the 1st surface uneven | corrugated shape 9 formed by the 1st etching process which used the photosensitive resin film as a mask is blunted by an etching process. By this 2nd etching process, the part whose surface inclination in the 1st surface uneven | corrugated shape 9 formed by the 1st etching process has a steep inclination disappears, and the optical characteristic of the anti-glare film manufactured using the obtained metal mold | die is preferable. Direction is changed. In FIG. 14C, the first surface uneven shape 9 of the
제2 에칭 공정의 에칭 처리도 제1 에칭 공정과 동일하게, 통상 염화 제2 철(FeCl3)액, 염화 제2 구리(CuCl2)액, 알칼리 에칭액(Cu(NH3)4Cl2) 등을 이용하여 표면을 부식시킴으로써 행해지지만, 염산이나 황산 등의 강산을 이용할 수도 있고, 전해 도금시와 반대 전위를 거는 것에 의한 역전해 에칭을 이용할 수도 있다. 에칭 처리를 실시한 후의 요철의 둔화 정도는, 바탕 금속의 종류, 에칭 수법, 및 제1 에칭 공정에 의해 얻어진 요철의 크기와 깊이 등에 의해서 다르기 때문에, 일률적으로 말할 수는 없지만, 둔화 정도를 제어하는 데에 있어서 가장 큰 인자는 에칭량 이다. 여기서 말하는 에칭량도 제1 에칭 공정과 동일하게, 에칭에 의해 깎이는 기재의 두께이다. 에칭량이 작으면, 제1 에칭 공정에 의해 얻어진 요철의 표면 형상을 둔화시키는 효과가 불충분하고, 그 요철 형상을 투명 필름에 전사하여 얻어지는 방현 필름의 광학 특성이 그다지 양호해지지 않는다. 한편, 에칭량이 너무 크면, 요철 형상이 거의 없어지고, 거의 평탄한 금형이 되기 때문에, 방현성을 나타내지 않게 된다. 따라서, 에칭량은 1 내지 50 μm의 범위 내인 것이 바람직하고, 4 내지 20 μm의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 제2 에칭 공정에서의 에칭 처리에 대해서도, 제1 에칭 공정과 동일하게 1회의 에칭 처리에 의해서 행할 수도 있고, 에칭 처리를 2회 이상으로 나누어 행할 수도 있다. 여기서 에칭 처리를 2회 이상으로 나누어 행하는 경우에는, 2회 이상의 에칭 처리에 있어서의 에칭량의 합계가 1 내지 50 μm인 것이 바람직하다.The etching treatment of the second etching step is also the same as that of the first etching step, usually ferric chloride (FeCl 3 ) solution, cupric chloride (CuCl 2 ) solution, alkaline etching solution (Cu (NH 3 ) 4 Cl 2 ), or the like. Although it is carried out by corroding the surface using, strong acids such as hydrochloric acid and sulfuric acid may be used, or reverse electrolytic etching may be used by applying a potential opposite to that of electrolytic plating. The degree of slowing of the unevenness after the etching treatment varies depending on the type of the base metal, the etching method, and the size and depth of the unevenness obtained by the first etching step. The biggest factor in is the etching amount. Etching amount here is also the thickness of the base material shaved by etching similarly to a 1st etching process. If the etching amount is small, the effect of blunting the surface shape of the unevenness obtained by the first etching step is insufficient, and the optical properties of the antiglare film obtained by transferring the uneven shape to the transparent film are not very good. On the other hand, if the etching amount is too large, the uneven shape is almost eliminated, and since the mold becomes almost flat, no anti-glare property is exhibited. Therefore, it is preferable that the etching amount exists in the range of 1-50 micrometers, and it is more preferable to exist in the range which is 4-20 micrometers. Also about the etching process in a 2nd etching process, it may be performed by one etching process similarly to a 1st etching process, and you may divide and perform an etching process in 2 or more times. In the case where the etching treatment is performed in two or more times, the total amount of etchings in the two or more etching treatments is preferably 1 to 50 µm.
또한, 이러한 제2 에칭 공정을 거치지 않는 경우에는, 제1 에칭 공정에 의해서 형성된 제1 표면 요철 형상 (9)의 급경사인 표면 경사를 충분히 둔화시키기 위해서, 후술하는 제2 도금 공정에서의 크롬 도금을 두껍게 해야만 한다. 그러나, 크롬 도금의 두께를 너무 두껍게 하면, 노듈이 발생하기 쉬워지기 때문에, 바람직하지 않다. 또한, 크롬 도금의 두께를 얇게 한 경우에는, 제1 에칭 공정에 의해서 형성된 제1 표면 요철 형상 (9)의 급경사인 표면 경사를 충분히 둔화시킬 수 없고, 요구하는 표면 형상의 금형이 얻어지지 않기 때문에, 그 금형을 이용하여 제작한 방현 필름도 우수한 방현 성능을 나타내지 않는다.In the case where the second etching step is not performed, the chromium plating in the second plating step described later is performed in order to sufficiently slow the surface inclination, which is a steep slope of the first surface uneven shape 9 formed by the first etching step. It must be thickened. However, if the thickness of the chromium plating is made too thick, nodules are likely to occur, which is not preferable. In addition, when the thickness of chromium plating is made thin, since the surface inclination which is the steep inclination of the 1st surface uneven | corrugated shape 9 formed by the 1st etching process cannot fully be slowed down, since the metal mold | die of the required surface shape is not obtained. Also, the antiglare film produced by using the mold does not exhibit excellent antiglare performance.
<<금형의 제조 방법 A 및 B>><< manufacturing method A and B >> of mold
[7] 제2 도금 공정[7] second plating processes
계속해서, 크롬 도금을 실시함으로써, 표면의 요철 형상을 더욱 둔화시킨다. 도 8(b)에는, 에칭 처리에 의해서 형성된 표면 요철 형상 (10) 위에 크롬 도금층 (11)을 형성하고, 또한 표면 (12)를 둔화시킨 상태가 나타내어져 있다. 도 14(d)에는, 제2 에칭 공정의 에칭 처리에 의해서 표면 요철 형상을 둔화시키는 가공을 실시한 후에 크롬 도금층 (11)을 형성하고, 추가로 표면 (12)를 둔화시킨 상태가 나타내어져 있다.Subsequently, the surface unevenness is further blunted by chromium plating. 8 (b) shows a state in which the
본 발명에서는, 평판이나 롤 등의 표면에 광택이 있고, 경도가 높으며, 마찰계수가 작고, 양호한 이형성을 제공할 수 있는 크롬 도금을 채용한다. 크롬 도금의 종류는 특별히 제한되지 않지만, 이른바 광택 크롬 도금이나 장식용 크롬 도금 등이라 불리는, 양호한 광택을 발현하는 크롬 도금을 이용하는 것이 바람직하다. 크롬 도금은 통상 전해에 의해서 행해지고, 그의 도금욕으로서는, 무수 크롬산(CrO3)과 소량의 황산을 포함하는 수용액이 이용된다. 전류 밀도와 전해 시간을 조절함으로써, 크롬 도금의 두께를 제어할 수 있다.In the present invention, chromium plating is adopted which has gloss on the surfaces of flat plates, rolls, and the like, high hardness, low coefficient of friction, and which can provide good release properties. Although the kind of chromium plating is not specifically limited, It is preferable to use chromium plating which expresses favorable gloss called so-called gloss chrome plating, decorative chromium plating, etc. Chromium plating is usually performed by electrolysis, and an aqueous solution containing chromic anhydride (CrO 3 ) and a small amount of sulfuric acid is used as the plating bath. By adjusting the current density and the electrolysis time, the thickness of the chromium plating can be controlled.
상술한 일본 특허 공개 제2002-189106호 공보, 일본 특허 공개 제2004-45472호 공보, 일본 특허 공개 제2004-90187호 공보 등에는, 크롬 도금을 채용하는 것이 개시되어 있지만, 금형의 도금 전의 바탕과 크롬 도금의 종류에 의해서는, 도금 후에 표면이 거칠어지거나, 크롬 도금에 의한 미소한 균열이 다수 발생하거나 하는 경우가 많고, 그 결과, 제작되는 방현 필름의 광학 특성이 바람직하지 않은 방향으 로 진행된다. 도금 표면이 거칠어진 상태의 금형은, 방현 필름의 제조용으로 적합하지 않다. 왜냐하면, 일반적으로 거칠음을 제거하기 위해서 크롬 도금 후에 도금 표면을 연마하는 것이 행해지고 있지만, 후술하는 바와 같이, 본 발명에서는 도금 후의 표면 연마가 바람직하지 않기 때문이다. 본 발명에서는, 바탕 금속에 구리 도금 또는 니켈 도금을 실시함으로써, 크롬 도금으로 생기기 쉬운 이러한 문제점을 해소하고 있다.Although Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2002-189106, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2004-45472, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2004-90187 and the like have been disclosed to adopt chromium plating, the basis before the plating of a metal mold is used. Depending on the kind of chromium plating, the surface may be rough after plating or a large number of minute cracks may occur due to chromium plating. As a result, the optical properties of the antiglare film to be produced are directed in an undesirable direction. . The metal mold | die of the state with which the plating surface was rough is not suitable for manufacture of an anti-glare film. This is because, in general, polishing of the plating surface after chrome plating is performed in order to remove roughness, but as described later, surface polishing after plating is not preferable in the present invention. In the present invention, the base metal is subjected to copper plating or nickel plating to solve such a problem that is easily caused by chromium plating.
또한, 제2 도금 공정에 있어서, 크롬 도금 이외의 도금을 실시하는 것은 바람직하지 않다. 왜냐하면, 크롬 이외의 도금에서는, 경도나 내마모성이 낮아지기 때문에, 금형으로서의 내구성이 저하되어, 사용 중에 요철이 닳아없어지거나, 금형이 손상되기도 한다. 그와 같은 금형으로부터 얻어진 방현 필름에서는, 충분한 방현 기능이 얻어지기 어려운 가능성이 높고, 또한 필름 상에 결함이 발생할 가능성도 높아진다.In addition, it is not preferable to perform plating other than chromium plating in a 2nd plating process. This is because, in plating other than chromium, hardness and wear resistance are lowered, so that durability as a mold decreases, irregularities are worn out during use, and the mold may be damaged. In the anti-glare film obtained from such a metal mold | die, the possibility of a sufficient anti-glare function is hard to be obtained, and the possibility of a defect generate | occur | producing on a film also increases.
또한, 상술한 일본 특허 공개 제2004-90187호 공보 등에 개시되어 있는 바와 같이 도금 후의 표면을 연마하는 것도, 역시 본 발명에서는 바람직하지 않다. 연마함으로써 최외측 표면에 평탄한 부분이 생기기 때문에, 광학 특성의 악화를 초래할 가능성이 있는 것, 또한 형상의 제어 인자가 증가하기 때문에, 재현성이 양호하게 형상 제어가 곤란해지는 것 등의 이유에 의한다.Also, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-90187 and the like described above, polishing the surface after plating is also not preferable in the present invention. Since polishing produces a flat portion on the outermost surface, there is a possibility of causing deterioration of the optical characteristics, and an increase in the control factor of the shape, which leads to difficulty in shape control with good reproducibility.
이와 같이 본 발명에서는, 상술한 에칭 공정에 의해 형성된 표면 요철 형상에 크롬 도금을 실시함으로써, 요철 형상이 보다 한층 둔화됨과 동시에, 그의 표면 경도가 높아진 금형이 얻어진다. 이 때의 요철의 둔화 상태도 바탕 금속의 종류, 에칭 공정 등에 의해 얻어진 요철의 크기와 깊이, 또한 도금의 종류나 두께 등에 의해서 다르기 때문에, 일률적으로 말할 수는 없지만, 둔화 상태를 제어하는 데에 있어서 가장 큰 인자는 역시 도금 두께이다. 크롬 도금의 두께가 얇으면, 크롬 도금 가공 전에 얻어진 요철의 표면 형상을 둔화시키는 효과가 불충분하여, 그 요철 형상을 투명 필름에 전사하여 얻어지는 방현 필름의 광학 특성이 그다지 양호해지지 않는다. 한편, 도금 두께가 너무 두꺼우면, 생산성이 나빠질 뿐 아니라, 노듈이라 불리는 돌기상의 도금 결함이 발생하기 때문에 바람직하지 않다. 따라서, 크롬 도금의 두께는 1 내지 10 μm의 범위 내인 것이 바람직하고, 3 내지 6 μm의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.As described above, in the present invention, by performing chromium plating on the surface irregularities formed by the above-described etching step, the mold having the surface unevenness is further slowed and the surface hardness thereof is increased. Although the slowing state of the unevenness at this time also varies depending on the type and thickness of the unevenness obtained by the base metal, the etching process, and the like, and the type and thickness of the plating, it cannot be said uniformly, but in controlling the slowed state The biggest factor is also the plating thickness. When the thickness of chromium plating is thin, the effect of blunting the surface shape of the unevenness | corrugation obtained before chrome plating process is inadequate, and the optical characteristic of the anti-glare film obtained by transferring the uneven | corrugated shape to a transparent film does not become very favorable. On the other hand, when the plating thickness is too thick, not only productivity is worsened but also a plating defect on the protrusion called nodule is generated, which is not preferable. Therefore, it is preferable that the thickness of chromium plating exists in the range of 1-10 micrometers, and it is more preferable to exist in the range which is 3-6 micrometers.
상기 제2 도금 공정에서 형성되는 크롬 도금층은, 빅커스 경도가 800 이상이 되도록 형성되어 있는 것이 바람직하고, 1000 이상이 되도록 형성되어 있는 것이 보다 바람직하다. 크롬 도금층의 빅커스 경도가 800 미만인 경우에는, 금형 사용시의 내구성이 저하될 뿐 아니라, 크롬 도금으로 경도가 저하되는 것은 도금 처리시에 도금 욕조성, 전해 조건 등에 이상이 발생할 가능성이 높고, 결함의 발생 상황에 대해서도 바람직하지 않은 영향을 줄 가능성이 높기 때문이다.It is preferable that the chromium plating layer formed in the said 2nd plating process is formed so that Vickers hardness may be 800 or more, and it is more preferable to form so that it may become 1000 or more. When the Vickers hardness of the chromium plating layer is less than 800, not only the durability at the time of use of the metal mold is lowered, but also the decrease in hardness due to chromium plating is likely to cause abnormalities in plating bath properties, electrolytic conditions, etc. This is because it is highly likely to adversely affect the occurrence situation.
이와 같이 하여, 실질적으로 평탄부가 없는 금형을 얻을 수 있다. 이와 같이 실질적으로 평탄부가 없는 금형은, 바람직한 광학 특성을 나타내는 방현 필름을 얻는 데 바람직하게 이용된다. 또한, 본 발명의 제조 방법으로 얻어진 금형은, 요철 표면의 임의의 단면 곡선에 있어서의 산술 평균 높이 Pa가 0.01 내지 0.2 μm이고, 그의 단면 곡선에 있어서의 평균 길이 PSm이 8 내지 50 μm이면서, 그의 단면 곡선에 있어서의 최대 단면 높이 Pt가 0.1 내지 1.0 μm인 것이 바람직하다. 금형의 상기 산술 평균 높이 Pa가 0.01 μm보다 작거나, 또는 최대 단면 높이 Pt가 0.1 μm보다 작은 경우에는, 이 금형을 사용하여 제작한 방현 필름의 표면 형상이 거의 평탄한 것이 되어, 충분한 방현 성능을 나타내지 않게 되는 경향이 있다. 또한, 상기 산술 평균 높이 Pa가 0.2 μm보다 크거나, 또는 최대 단면 높이 Pt가 1.0 μm보다 큰 경우에는, 이 금형을 사용하여 제작한 방현 필름이 백탁되거나, 글리터링이 발생하거나 질감이 저하되거나 하는 경향이 있다. 또한, 금형의 상기 평균 길이 PSm이 8 μm보다 작은 경우에는, 이 금형을 사용하여 제작한 방현 필름이 충분한 방현 성능을 나타내지 않게 되는 경향이 있다. 한편, 금형의 상기 평균 길이 PSm이 50 μm보다 큰 경우에는, 이 금형을 사용하여 제작한 방현 필름을 고정밀한 화상 표시 장치에 배치하였을 때에 글리터링이 발생하는 경향이 있다.In this way, a mold having substantially no flat portion can be obtained. Thus, the metal mold | die without a substantially flat part is used suitably for obtaining the anti-glare film which shows preferable optical characteristic. Moreover, the metal mold | die obtained by the manufacturing method of this invention is arithmetic mean height Pa in the arbitrary cross-sectional curve of the uneven surface, 0.01-0.2 micrometer, and average length PSm in the cross-sectional curve is 8-50 micrometer, It is preferable that the largest cross-sectional height Pt in a cross-sectional curve is 0.1-1.0 micrometer. When the arithmetic mean height Pa of the mold is smaller than 0.01 μm or the maximum cross-sectional height Pt is smaller than 0.1 μm, the surface shape of the antiglare film produced by using the mold becomes almost flat, and exhibits sufficient antiglare performance. There is a tendency to not. In addition, when the arithmetic mean height Pa is larger than 0.2 µm or the maximum cross-sectional height Pt is larger than 1.0 µm, the antiglare film produced by using the mold tends to become cloudy, glittering occurs or the texture is degraded. There is this. Moreover, when the said average length PSm of a metal mold | die is smaller than 8 micrometers, there exists a tendency for the anti-glare film produced using this metal mold | die to not show sufficient anti-glare performance. On the other hand, when the said average length PSm of a metal mold | die is larger than 50 micrometers, it exists in the tendency for glittering to arise when the anti-glare film produced using this metal mold | die is arrange | positioned in a high precision image display apparatus.
<방현 필름의 제조 방법><Method for Producing Anti-glare Film>
본 발명은 또한, 상술한 본 발명의 금형의 제조 방법으로 얻어진 금형을 이용한 방현 필름의 제조 방법에 대해서도 제공한다. 즉, 본 발명의 방현 필름의 제조 방법은, 본 발명의 금형의 제조 방법으로 제조된 금형의 요철면을 투명 수지 필름에 전사하는 공정과, 금형의 요철면이 전사된 투명 수지 필름을 금형으로부터 박리하는 공정을 포함한다. 이러한 본 발명의 방현 필름의 제조 방법에 의해서, 바람직한 광학 특성을 나타내는 방현 필름이 바람직하게 제조된다.This invention also provides about the manufacturing method of the anti-glare film using the metal mold | die obtained by the manufacturing method of the metal mold | die of this invention mentioned above. That is, the manufacturing method of the anti-glare film of this invention peels the process of transferring the uneven surface of the metal mold | die manufactured by the manufacturing method of the metal mold | die of this invention to a transparent resin film, and the transparent resin film to which the uneven surface of the metal mold | die was transferred from a metal mold | die. It includes a process to make. By the manufacturing method of such an anti-glare film of this invention, the anti-glare film which shows preferable optical characteristic is manufactured preferably.
금형 형상의 필름에의 전사는, 엠보싱에 의해 행하는 것이 바람직하다. 엠보싱으로서는, 광 경화성 수지를 이용하는 UV 엠보싱법, 열가소성 수지를 이용하는 핫 엠보싱법이 예시되고, 그 중에서도 생산성의 관점에서 UV 엠보싱법이 바람직하다.It is preferable to perform transfer to the film of a mold shape by embossing. As embossing, the UV embossing method using a photocurable resin and the hot embossing method using a thermoplastic resin are illustrated, and UV embossing method is preferable especially from a viewpoint of productivity.
UV 엠보싱법은 투명 수지 필름의 표면에 광 경화성 수지층을 형성하고, 그 광 경화성 수지층을 금형의 요철면에 압박하면서 경화시킴으로써, 금형의 요철면이 광 경화성 수지층에 전사되는 방법이다. 구체적으로는, 투명 수지 필름 상에 자외선 경화형 수지를 도공하고, 도공한 자외선 경화형 수지를 금형의 요철면에 밀착시킨 상태로 투명 수지 필름측에서 자외선을 조사하여 자외선 경화형 수지를 경화시키고, 그 후 금형으로부터, 경화 후의 자외선 경화형 수지층이 형성된 투명 수지 필름을 박리함으로써, 금형의 형상을 자외선 경화형 수지에 전사한다.The UV embossing method is a method in which the uneven surface of the mold is transferred to the photocurable resin layer by forming a photocurable resin layer on the surface of the transparent resin film and curing the photocurable resin layer while pressing the uneven surface of the mold. Specifically, an ultraviolet curable resin is coated on the transparent resin film, and the ultraviolet curable resin is cured by irradiating ultraviolet rays from the transparent resin film side in a state in which the coated ultraviolet curable resin is brought into close contact with the uneven surface of the mold. From this, the shape of the mold is transferred to the ultraviolet curable resin by peeling off the transparent resin film on which the ultraviolet curable resin layer after curing is formed.
UV 엠보싱법을 이용하는 경우, 투명 수지 필름으로서는, 실질적으로 광학적으로 투명한 필름일 수 있고, 예를 들면 트리아세틸셀룰로오스 필름, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리메틸메타크릴레이트 필름, 폴리카르보네이트 필름, 노르보르넨계 화합물을 단량체로 하는 비정질성 환상 폴리올레핀 등의 열가소성 수지의 용제 캐스트 필름이나 압출 필름 등의 수지 필름을 들 수 있다.In the case of using the UV embossing method, the transparent resin film may be a substantially optically transparent film, for example, a triacetyl cellulose film, a polyethylene terephthalate film, a polymethyl methacrylate film, a polycarbonate film, norbor And resin films such as solvent cast films and extruded films of thermoplastic resins such as amorphous cyclic polyolefins having a n-ne compound as a monomer.
또한 UV 엠보싱법을 이용하는 경우에 있어서의 자외선 경화형 수지의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 시판되는 적절한 것을 사용할 수 있다. 또한, 자외선 경화형 수지에 적절하게 선택된 광 개시제를 조합하여, 자외선보다 파장이 긴 가시광에서도 경화가 가능한 수지를 이용하는 것도 가능하다. 구체적으로는 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트 등의 다관능 아크릴레이트를 각각 단독으로 또는 이들 2종 이상을 혼합하여 이용하고, 그것과 이르가큐 어 907(시바ㆍ스페셜티ㆍ케미컬즈사 제조), 이르가큐어 184(시바ㆍ스페셜티ㆍ케미컬즈사 제조), 루시린 TPO(바스프(BASF)사 제조) 등의 광 중합 개시제를 혼합한 것을 바람직하게 사용할 수 있다.Moreover, although the kind of ultraviolet curable resin in the case of using UV embossing method is not specifically limited, A commercially available suitable thing can be used. Moreover, it is also possible to use resin which can harden | cure even visible light which has a wavelength longer than an ultraviolet-ray by combining the photoinitiator suitably selected with ultraviolet curable resin. Specifically, polyfunctional acrylates, such as trimethylolpropane triacrylate and pentaerythritol tetraacrylate, are used alone or in combination of two or more thereof, and Irgacure 907 (Shiba Specialty Chemical Co., Ltd.) is used. The thing which mixed photopolymerization initiators, such as the Z company make, Irgacure 184 (made by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. make), and Lucirin TPO (made by BASF Corporation), can be used preferably.
한편, 핫 엠보싱법은 열가소성 수지로 형성된 투명 수지 필름을 가열 상태로 금형에 압박하여, 금형의 표면 형상을 투명 수지 필름에 전사하는 방법이다. 핫 엠보싱법에 이용되는 투명 수지 필름으로서는, 실질적으로 투명한 것이면 어떠한 것이어도 좋고, 예를 들면 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리카르보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 트리아세틸셀룰로오스, 노르보르넨계 화합물을 단량체로 하는 비정질성 환상 폴리올레핀 등의 열가소성 수지의 용제 캐스트 필름이나 압출 필름 등을 사용할 수 있다. 이들 투명 수지 필름은 또한, 위에서 설명한 UV 엠보싱법에 있어서의 자외선 경화형 수지를 도공하기 위한 기재 필름으로서도 바람직하게 사용할 수 있다. On the other hand, the hot embossing method is a method of pressing a transparent resin film formed of a thermoplastic resin into a mold in a heated state and transferring the surface shape of the mold to the transparent resin film. The transparent resin film used for the hot embossing method may be any one as long as it is substantially transparent. For example, a polymethyl methacrylate, polycarbonate, polyethylene terephthalate, triacetyl cellulose, norbornene-based compound is used as a monomer. A solvent cast film, an extruded film, etc. of thermoplastic resins, such as an amorphous cyclic polyolefin, can be used. These transparent resin films can also be used suitably also as a base film for coating the ultraviolet curable resin in the UV embossing method demonstrated above.
<실시예><Examples>
이하에 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명이 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.Although an Example is given to the following and this invention is demonstrated in more detail, this invention is not limited to these Examples.
<실시예 A1><Example A1>
직경 200 mm의 알루미늄 롤(JIS에 의한 A5056)의 표면에 구리 발라드 도금이 실시된 것을 준비하였다. 구리 발라드 도금은 구리 도금층/얇은 은 도금층/ 표면 구리 도금층으로 이루어지는 것이고, 도금층 전체의 두께는 약 200 μm가 되도록 설정하였다. 그 구리 도금 표면을 경면 연마하고, 연마된 구리 도금 표면에 감광 성 수지를 도포, 건조시켜 감광성 수지막을 형성하였다. 이어서, 도 11(a)에 나타내는 패턴을 반복하여 배열한 패턴을 감광성 수지막 상에 레이저광에 의해서 노광하고, 현상하였다. 레이저광에 의한 노광 및 현상은 레이저 스트림 FX((주)싱크ㆍ라보라토리 제조)를 이용하여 행하였다. 감광성 수지막에는 포지티브형 감광성 수지를 사용하고, 도 11(a)에 나타내는 패턴을 노광함으로써, 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대한 비율은 9.3 %였다. 또한, 도 11(a)에 나타내는 패턴을 반복하여 배열한 패턴을 레이저광에 의해서 노광하기 때문에, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차는 1000 μm2 이하였다.It was prepared that a copper ballad plating was performed on the surface of an aluminum roll (A5056 by JIS) having a diameter of 200 mm. Copper ballad plating consists of a copper plating layer / thin silver plating layer / surface copper plating layer, and the thickness of the whole plating layer was set so that it might be set to about 200 micrometers. The copper plating surface was mirror-polished, and the photosensitive resin was apply | coated and dried on the polished copper plating surface, and the photosensitive resin film was formed. Subsequently, the pattern which repeated and arranged the pattern shown to FIG. 11 (a) was exposed and developed by the laser beam on the photosensitive resin film. Exposure and development by laser light were performed using a laser stream FX (manufactured by Sync Lab., Ltd.). By using a positive photosensitive resin for the photosensitive resin film and exposing the pattern shown in Fig. 11 (a), the area of the area where the surface irregularities are formed on the mold substrate surface of the projection area of the mask onto the mold substrate surface is formed. The ratio was 9.3%. In addition, since the pattern which repeated and arranged the pattern shown to FIG. 11 (a) is exposed by a laser beam, the standard deviation of the projection area of the mask to the mold base material surface in the area | region of 100 micrometers x 100 micrometers of the metal substrate surface. Was 1000 μm 2 or less.
그 후, 염화 제2 구리액으로 에칭 처리를 행하였다. 그 때의 에칭량은 8 μm가 되도록 설정하였다. 에칭 처리 후의 롤로부터 감광성 수지막을 제거하고, 크롬 도금 가공을 행하여 금형을 제작하였다. 이 때, 크롬 도금 두께가 4 μm가 되도록 설정하였다.Then, the etching process was performed with the cupric chloride liquid. The etching amount at that time was set to be 8 micrometers. The photosensitive resin film was removed from the roll after the etching treatment, and chrome plating was performed to form a mold. At this time, the chromium plating thickness was set to 4 µm.
<비교예 A1><Comparative Example A1>
도 11(b)에 나타내는 패턴을 반복하여 배열한 패턴을 감광성 수지막 상에 레이저광에 의해서 노광한 것 이외에는 실시예 A1과 동일하게 하여 금형을 제작하였다. 도 11(b)에 나타내는 패턴을 노광함으로써, 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대한 비율은 67.4 %였다. A metal mold | die was produced like Example A1 except having exposed the pattern which repeated and arranged the pattern shown in FIG. 11 (b) with a laser beam on the photosensitive resin film. By exposing the pattern shown to FIG. 11 (b), the ratio with respect to the area of the area | region in which the surface asperity shape is formed in the surface of the metal mold | die base material of the projection area of a mask to the base material surface for metal mold | die was 67.4%.
<평가 시험 1><
실시예 A1 및 비교예 A1에서 얻어진 각 금형에 대한 표면 형상에 대하여 평가하였다. 각 표면 형상을 직접 측정하는 것은 곤란하기 때문에, 후술하는 실시예 A2 및 비교예 A2에 기재된 방법으로 방현 필름의 샘플을 제작하고, 이 샘플의 표면 형상을 측정하여 금형의 표면 형상으로서 평가하였다. 또한, 방현 필름 상의 단면 곡선은, 금형 상의 단면 곡선의 상하가 반전된 것이 되지만, 산술 평균 높이 Pa, 평균 길이 PSm 및 최대 단면 높이 Pt는 둘다 동일해진다. 표면 형상의 측정에 있어서는 공촛점 현미경 PLμ2300(센소파(Sensofar)사 제조)을 이용하고, 샘플의 휘어짐을 방지하기 위해서 광학적으로 투명한 점착제를 이용하여 요철면이 표면이 되도록 유리 기판에 접합시키고 나서 측정하였다. 측정시, 대물 렌즈의 배율은 50배로 하였다. 측정 데이터를 바탕으로, JIS B 0601에 준거한 방법으로 계산함으로써 산술 평균 높이 Pa, 평균 길이 PSm 및 최대 단면 높이 Pt를 산출하였다. 결과를 표 A1에 나타내었다.The surface shape about each metal mold obtained in Example A1 and Comparative Example A1 was evaluated. Since it is difficult to measure each surface shape directly, the sample of the anti-glare film was produced by the method of Example A2 and the comparative example A2 mentioned later, and the surface shape of this sample was measured and evaluated as the surface shape of a metal mold | die. In addition, although the cross-sectional curve on an anti-glare film turns up and down of the cross-sectional curve on a metal mold | die, both arithmetic mean height Pa, average length PSm, and maximum cross-sectional height Pt become the same. In the measurement of the surface shape, a confocal microscope PLμ2300 (manufactured by Sensofar Co., Ltd.) was used, and an optically transparent adhesive was used to bond the glass to the glass substrate so that the concave-convex surface became a surface in order to prevent bending of the sample. It was. In the measurement, the magnification of the objective lens was 50 times. Based on the measurement data, the arithmetic mean height Pa, the average length PSm and the maximum cross-sectional height Pt were calculated by calculating by the method according to JIS B 0601. The results are shown in Table A1.
<실시예 A2><Example A2>
광 경화성 수지 조성물 그랜딕(GRANDIC) 806T(다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주) 제조)를 아세트산에틸로 용해시켜 50 중량% 농도의 용액으로 하고, 또한 광 중합 개시제인 루시페린 TPO(바스프사 제조, 화학명: 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드)를, 경화성 수지 성분 100 중량부당 5 중량부 첨가하여 도포액을 제조하였다. 두께 80 μm의 트리아세틸셀룰로오스(TAC) 필름 상에, 이 도포액을 건 조 후의 도포 두께가 10 μm가 되도록 도포하고, 60 ℃로 설정한 건조기 중에서 3 분간 건조시켰다. 건조 후의 필름을, 실시예 A1에서 각각 얻어진 금형의 요철면에, 광 경화성 수지 조성물층이 금형측이 되도록 고무 롤로 압박하여 밀착시켰다. 이 상태에서 TAC 필름측으로부터, 강도 20 mW/cm2의 고압 수은등으로부터의 광을 h선 환산 광량으로 200 mJ/cm2가 되도록 조사하여 광 경화성 수지 조성물층을 경화시켰다. 이 후, TAC 필름을 경화 수지와 함께 금형으로부터 박리하여, 표면에 요철을 갖는 경화 수지와 TAC 필름의 적층체로 이루어지는, 실시예 A2의 투명한 방현 필름을 각각 얻었다.Photocurable resin composition GRANDIC 806T (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.) was dissolved in ethyl acetate to give a solution having a concentration of 50% by weight, and luciferin TPO (manufactured by BASF Corporation, chemical name) as a photopolymerization initiator. : 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide) was added 5 parts by weight per 100 parts by weight of the curable resin component to prepare a coating liquid. On the 80-micrometer-thick triacetyl cellulose (TAC) film, this coating liquid was apply | coated so that the coating thickness after drying might be set to 10 micrometers, and it dried for 3 minutes in the dryer set to 60 degreeC. The film after drying was pressed and adhere | attached on the uneven surface of the metal mold | die obtained in Example A1 by the rubber roll so that a photocurable resin composition layer might be a metal mold | die side. In this state, the light from the high-pressure mercury lamp of 20 mW / cm 2 intensity | strength was irradiated so that it might become 200 mJ / cm <2> by h line conversion light quantity, and the photocurable resin composition layer was hardened from the TAC film side. Thereafter, the TAC film was peeled from the mold together with the cured resin to obtain a transparent anti-glare film of Example A2, which is composed of a laminate of a cured resin having irregularities on the surface and a TAC film.
<비교예 A2><Comparative Example A2>
금형으로서, 비교예 A1에서 얻어진 금형을 사용한 것 이외에는 실시예 A2와 동일하게 하여 투명한 방현 필름을 얻었다.As a metal mold | die, except having used the metal mold | die obtained by the comparative example A1, it carried out similarly to Example A2, and obtained the transparent anti-glare film.
<평가 시험 2><
얻어진 실시예 A2 및 비교예 A2의 각 방현 필름에 대하여, 이하와 같은 광학 특성 및 방현 성능의 평가를 행하였다.About each anti-glare film of obtained Example A2 and comparative example A2, the following optical characteristics and anti-glare performance were evaluated.
(1) 광학 특성의 평가 1: 헤이즈의 측정(1) Evaluation of Optical Properties 1: Measurement of Haze
방현 필름의 헤이즈는 JIS K 7136에 규정되는 방법으로 측정하였다. 구체적으로는, 이 규격에 준거한 헤이즈 미터 HM-150형(무라카미 시키사이 기쥬쯔 겡뀨쇼 제조)을 이용하여 헤이즈를 측정하였다. 방현 필름의 휘어짐을 방지하기 위해서, 광학적으로 투명한 점착제를 이용하여 요철면이 표면이 되도록 유리 기판에 접합시 키고 나서 측정하였다. 일반적으로 헤이즈가 커지면, 화상 표시 장치에 적용하였을 때에 화상이 어두어지고, 그 결과, 정면 콘트라스트가 저하되기 쉬워진다. 그 때문에, 헤이즈는 낮은 것이 바람직하다.The haze of the antiglare film was measured by the method specified in JIS K 7136. Specifically, haze was measured using the haze meter HM-150 type (made by Murakami Shikisai Kijutsu Co., Ltd.) which conformed to this standard. In order to prevent curvature of an anti-glare film, it measured after bonding to a glass substrate so that an uneven surface might become a surface using an optically transparent adhesive. Generally, when a haze becomes large, an image will become dark when it is applied to an image display apparatus, and as a result, a front contrast will fall easily. Therefore, it is preferable that haze is low.
(2) 광학 특성의 평가 2: 반사 선명도의 측정(2) Evaluation of Optical Properties 2: Measurement of Reflection Sharpness
반사 선명도는 JIS K 7105에 규정되는 방법으로 측정하였다. 구체적으로는, 이 규격에 준거한 사상성 측정기 ICM-IDP(스가 시켕키(주) 제조)를 이용하여 방현 필름의 반사 선명도를 측정하였다. 이 규격에서는, 상 선명도 측정에 이용되는 광학 슬릿으로서, 암부와 명부의 폭의 비가 1:1이며, 그 폭이 0.125 mm, 0.5 mm, 1.0 mm 및 2.0 mm의 4 종류가 규정되어 있다. 이 중, 폭 0.125 mm의 광학 슬릿을 이용한 경우, 본 발명에서 규정하는 방현 필름에 있어서는, 그 측정값의 오차가 커지기 때문에, 폭 0.125 mm의 광학 슬릿을 이용한 경우의 측정값은 합에 더하지 않는 것으로 하고, 폭이 0.5 mm, 1.0 mm 및 2.0 mm의 3 종류의 광학 슬릿을 이용하여 측정된 상 선명도의 합을 가지고 반사 선명도라 부르기로 하였다. 이 정의에 의한 경우의 반사 선명도의 최대값은 300 %이다. 이 정의에 의한 반사 선명도가 너무 커지면, 광원 등의 상이 투영되어, 방현성이 저하되는 경향이 되기 쉽기 때문에, 100 % 이하인 것이 바람직하고, 50 % 이하인 것이 더욱 바람직하다. 평가시에는, 방현 필름의 휘어짐을 방지하기 위해서 및 이면에서의 반사를 방지하기 위해서, 광학적으로 투명한 점착제를 이용하여, 방현 필름의 요철면이 표면이 되도록 2 mm 두께의 흑색 아크릴 수지판에 접합시키고 나서 측정하였다. 이 상태에서 방현 필름측으로부터 광을 입사시켜 측정하였다.Reflection sharpness was measured by the method prescribed | regulated to JISK7105. Specifically, the reflection sharpness of the anti-glare film was measured using a filament measuring instrument ICM-IDP (manufactured by Suga Shikeki Co., Ltd.) in accordance with this standard. In this standard, as the optical slit used for image sharpness measurement, the ratio of the width | variety of a dark part and a wrist is 1: 1, and four types of the width | variety are 0.125 mm, 0.5 mm, 1.0 mm, and 2.0 mm. Among these, when an optical slit having a width of 0.125 mm is used, in the anti-glare film defined in the present invention, the error of the measured value becomes large, so that the measured value when the optical slit having a width of 0.125 mm is used does not add to the sum. The sum of the image sharpness measured using three types of optical slits of 0.5 mm, 1.0 mm and 2.0 mm in width is called reflection sharpness. The maximum value of the reflection sharpness in the case of this definition is 300%. When the reflection clarity by this definition becomes too large, since an image, such as a light source, will tend to project and anti-glare property will fall easily, it is preferable that it is 100% or less, and it is more preferable that it is 50% or less. At the time of evaluation, in order to prevent curvature of an anti-glare film and to prevent reflection in a back surface, it uses the optically transparent adhesive agent, and it is made to bond to the black acrylic resin plate of 2 mm thickness so that the uneven surface of an anti-glare film may become a surface. Then measured. In this state, light was incident on the antiglare film side and measured.
(3) 광학 특성의 평가 3: 60 도 광택도의 측정(3) Evaluation of Optical Properties 3: Measurement of 60 Degree Glossiness
60도 광택도는 JIS Z 8741에 규정되는 방법으로 측정하였다. 구체적으로는, 이 규격에 준거한 광택계 PG-1M(닛본 덴쇼꾸 고교(주) 제조)을 이용하여 방현 필름의 광택도를 측정하였다. 이 경우에도, 방현 필름의 휘어짐을 방지하기 위해서 및 이면에서의 반사를 방지하기 위해서, 광학적으로 투명한 점착제를 이용하여, 방현 필름을 요철면이 표면이 되도록 2 mm 두께의 흑색 아크릴 수지판에 접합시키고 나서 측정하였다. 이 상태에서 방현 필름측으로부터 광을 입사시켜 측정하였다. 일반적으로 60도 광택도가 작은 것은, 샘플 표면이 탁해져 있는 것을 의미하고, 그 결과, 백탁이 발생하기 쉬워진다. 그 때문에, 광택도는 높은 것이 바람직하지만, 광택도가 너무 높으면 투영이 생기고, 방현성이 저하되기 때문에, 30 내지 90 % 정도의 값이 바람직하다.60 degree glossiness was measured by the method of JIS Z 8741. Specifically, the glossiness of the antiglare film was measured using a glossmeter PG-1M (manufactured by Nippon Denshoku Kogyo Co., Ltd.) in accordance with this standard. Also in this case, in order to prevent the anti-glare film from bending and to prevent reflection from the back surface, the anti-glare film is bonded to the black acrylic resin plate having a thickness of 2 mm so that the uneven surface becomes the surface by using an optically transparent adhesive. Then measured. In this state, light was incident on the antiglare film side and measured. Generally, a 60 degree glossiness means that the sample surface is cloudy, and as a result, cloudiness tends to occur. Therefore, it is preferable that glossiness is high, but when glossiness is too high, since projection will arise and anti-glare property will fall, the value of about 30 to 90% is preferable.
(4) 방현 성능의 평가 1: 투영의 육안 평가(4) Evaluation of antiglare performance 1: Visual evaluation of projection
방현 필름의 이면에서의 반사를 방지하기 위해서, 요철면이 표면이 되도록 흑색 아크릴 수지판에 방현 필름을 접합시키고, 형광등이 설치된 실내에서 요철면측으로부터 육안으로 관찰하여, 형광등의 투영 유무를 육안으로 다음 기준으로 3 단계로 평가하였다.In order to prevent reflection on the back surface of the antiglare film, the antiglare film is bonded to the black acrylic resin plate so that the uneven surface becomes the surface, and the naked eye is visually observed from the uneven surface side in the room where the fluorescent lamp is installed to visually check the presence or absence of the projection of the fluorescent lamp. The evaluation was carried out in three steps as a reference.
1: 투영이 관찰되지 않음1: no projection is observed
2: 투영이 조금 관찰됨2: projection slightly observed
3: 투영이 명료하게 관찰됨3: the projection is clearly observed
(5) 방현 성능의 평가 2: 백탁의 육안 평가(5) Evaluation of antiglare performance 2: Visual evaluation of cloudiness
방현 필름의 이면에서의 반사를 방지하기 위해서, 요철면이 표면이 되도록 흑색 아크릴 수지판에 방현 필름을 접합시키고, 형광등이 설치된 밝은 실내에서 요철면측으로부터 육안으로 관찰하여, 백탁 정도를 육안으로 다음 기준으로 3 단계로 평가하였다.In order to prevent reflection on the back surface of the antiglare film, the antiglare film is bonded to the black acrylic resin plate so that the uneven surface becomes the surface, and visually observed from the uneven surface side in a bright room where fluorescent lamps are installed, and the degree of clouding is visually determined by the following criteria. Evaluated in three steps.
1: 백탁이 관찰되지 않음1: no turbidity observed
2: 백탁이 조금 관찰됨2: slight clouding observed
3: 백탁이 명료하게 관찰됨3: cloudiness is clearly observed
(6) 방현 성능의 평가 3: 글리터링의 평가(6) Evaluation of antiglare performance 3: Evaluation of glittering
우선, 도 12에 평면도에서 나타내는 바와 같은 유닛 셀 (31)의 패턴을 갖는 포토마스크를 준비하였다. 도 12에 있어서, 유닛 셀 (31)은 투명한 기판 상에 선폭 10 μm로 열쇠형의 크롬 차광 패턴 (32)가 형성되고, 그 크롬 차광 패턴 (32)가 형성되지 않은 부분이 개구부 (33)이 되었다. 다음에, 이 포토마스크를 도 13에 나타낸 바와 같이, 포토마스크 (41)의 크롬 차광 패턴 (32)를 위로 하고, 내부에 광원 (43)이 설치된 라이트 박스 (42)에 놓고, 1.1 mm 두께의 유리판 (44)에 20 μm 두께의 점착제로 방현 필름 (51)을 접합시킨 샘플을 포토마스크 (41) 상에 두고, 샘플로부터 약 30 cm 떨어진 장소에서 육안 관찰함으로써, 글리터링의 정도를 7 단계로 관능 평가한 관능 평가의 7 단계 중, 레벨 1은 글리터링이 전혀 확인되지 않는 상태, 레벨 7은 심하게 글리터링이 관찰되는 상태에 해당하고, 레벨 3은 극히 약간 글리터링이 관찰되는 상태이다. 또한, 포토마스크의 유닛 셀은, 도 12에 있어서의 유닛 셀 세로×유닛 셀 가로가 282 μm×94 μm, 따라서 동일한 도면에 있 어서의 개구부 세로×개구부 가로가 272 μm×84 μm인 것을 이용하였다. 이 셀은 90 ppi(pixel per inch)의 화소 밀도에 상당한다.First, the photomask which has the pattern of the
결과를 표 A2에 나타내었다. 또한, 표 A2 중, 예를 들면 비교예 A2의 반사 선명도의 내역은 다음과 같다.The results are shown in Table A2. In addition, in Table A2, the detail of the reflection sharpness of the comparative example A2 is as follows, for example.
반사 선명도Reflection sharpness
0.5 mm 광학 슬릿: 30.2 %0.5 mm optical slit: 30.2%
1.0 mm 광학 슬릿: 39.2 %1.0 mm optical slit: 39.2%
0.5 mm 광학 슬릿: 43.2 %0.5 mm optical slit: 43.2%
합계 112.6 %112.6%
<표 A1>TABLE A1
<표 A2>TABLE A2
표 A1, A2에 나타내는 결과로부터, 본 발명의 제조 방법에 의해서 제작된 금형에 있어서는, 표면 요철 형상의 경사가 급경사인 부분이 둔화되기 때문에, 경사의 급경사인 개소가 없는 금형이 얻어졌다. 또한, 본 발명의 제조 방법으로부터 얻어지는 방현 필름은 우수한 방현 성능을 나타내었다. 한편, 전체면에 에칭 처리 를 행하지 않는 제조 방법에 의해서 제작된 금형은, 표면 요철 형상에 경사가 급경사인 부분이 존재하기 때문에, 그 금형을 이용하여 제작된 방현 필름에 있어서는 백탁이 발생하였고, 또한 경사가 급경사가 아닌 개소는 평탄하기 때문에 투영도 발생하였다. 따라서, 본 발명의 제조 방법으로부터 얻어지는 방현 필름은 우수한 방현 성능을 나타내게 된다.From the results shown in Tables A1 and A2, in the mold produced by the production method of the present invention, since the portion of the inclined surface unevenness is steeply inclined, a mold having no point of the steepness of the inclination was obtained. Moreover, the anti-glare film obtained from the manufacturing method of this invention showed the outstanding anti-glare performance. On the other hand, in the mold produced by the manufacturing method which does not perform the etching process on the whole surface, since the inclination of the inclination exists in the surface uneven | corrugated shape, the cloudyness produced in the anti-glare film produced using the said mold, and also Projections also occurred because the point where the slope was not a steep slope was flat. Therefore, the anti-glare film obtained from the manufacturing method of this invention shows the outstanding anti-glare performance.
<실시예 B1><Example B1>
직경 200 mm의 알루미늄 롤(JIS에 의한 A5056)의 표면에 구리 발라드 도금이 실시된 것을 준비하였다. 구리 발라드 도금은 구리 도금층/얇은 은 도금층/ 표면 구리 도금층으로 이루어지는 것이고, 도금층 전체의 두께는 약 200 μm가 되도록 설정하였다. 그 구리 도금 표면을 경면 연마하고, 연마된 구리 도금 표면에 감광성 수지를 도포, 건조시켜 감광성 수지막을 형성하였다. 이어서, 도 16에 나타내는 패턴을 반복하여 배열한 패턴을 감광성 수지막 상에 레이저광에 의해서 노광하고, 현상하였다. 레이저광에 의한 노광 및 현상은 레이저 스트림 FX((주)싱크ㆍ라보라토리 제조)를 이용하여 행하였다. 감광성 수지막에는 포지티브형 감광성 수지를 사용하고, 도 16에 나타내는 패턴을 노광함으로써, 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 금형용 기재 표면에 있어서 표면 요철 형상이 형성되는 영역의 면적에 대한 비율은 45.9 %였다. 또한, 도 16에 나타내는 패턴을 반복하여 배열한 패턴을 레이저광에 의해서 노광하기 때문에, 금형용 기재 표면의 100 μm×100 μm의 영역에서의 마스크의 금형용 기재 표면으로의 투영 면적의 표준 편차는 1000 μm2 이하였다.It was prepared that a copper ballad plating was performed on the surface of an aluminum roll (A5056 by JIS) having a diameter of 200 mm. Copper ballad plating consists of a copper plating layer / thin silver plating layer / surface copper plating layer, and the thickness of the whole plating layer was set so that it might be set to about 200 micrometers. The copper plating surface was mirror-polished, the photosensitive resin was apply | coated and dried on the polished copper plating surface, and the photosensitive resin film was formed. Subsequently, the pattern which repeated and arranged the pattern shown in FIG. 16 was exposed and developed by the laser beam on the photosensitive resin film. Exposure and development by laser light were performed using a laser stream FX (manufactured by Sync Lab., Ltd.). By using positive type photosensitive resin for the photosensitive resin film and exposing the pattern shown in FIG. 16, the ratio with respect to the area of the area | region in which the surface asperity shape is formed in the surface of the metal mold | die base material of the projection area of a mask to the base material surface of a metal mold | die is 45.9. %. In addition, since the pattern which repeated and arranged the pattern shown in FIG. 16 is exposed by a laser beam, the standard deviation of the projection area of the mask to the mold base material surface in the area | region of 100 micrometers x 100 micrometers of the base material surface of a metal mold | die is 1000 micrometers. 2 or less.
그 후, 염화 제2 구리액으로 제1 에칭 처리를 행하였다. 그 때의 에칭량은 7 μm가 되도록 설정하였다. 제1 에칭 처리 후의 롤로부터 감광성 수지막을 제거하고, 재차 염화 제2 구리액으로 제2 에칭 처리를 행하였다. 그 때의 에칭량은 18 μm가 되도록 설정하였다. 그 후, 크롬 도금 가공을 행하여 금형을 제작하였다. 이 때, 크롬 도금 두께가 4 μm가 되도록 설정하였다.Then, the 1st etching process was performed with the cupric chloride liquid. The etching amount at that time was set to be 7 micrometers. The photosensitive resin film was removed from the roll after the first etching treatment, and the second etching treatment was again performed with a second copper chloride solution. The etching amount at that time was set to be 18 micrometers. Then, the chrome plating process was performed and the metal mold | die was produced. At this time, the chromium plating thickness was set to 4 µm.
<비교예 B1><Comparative Example B1>
제2 에칭 처리를 행하지 않은 것 이외에는 실시예 B1과 동일하게 하여 금형을 제작하였다.A metal mold | die was produced like Example B1 except not having performed the 2nd etching process.
<평가 시험 1><
실시예 B1 및 비교예 B1에서 얻어진 각 금형에 대하여의 표면 형상에 대하여, 상기 실시예 A1 및 비교예 B1에서 얻어진 각 금형에 대하여의 평가와 동일하게 하여 평가하였다. 단, 후술하는 실시예 B2 및 비교예 B2에 기재된 방법으로 방현 필름의 샘플을 제작하고, 이 샘플의 표면 형상을 측정하여 금형의 표면 형상으로서 평가하였다. 결과를 표 B1에 나타내었다.The surface shape of each mold obtained in Example B1 and Comparative Example B1 was evaluated in the same manner as in the evaluation for each mold obtained in Example A1 and Comparative Example B1. However, the sample of the anti-glare film was produced by the method of Example B2 and comparative example B2 mentioned later, the surface shape of this sample was measured, and it evaluated as the surface shape of a metal mold | die. The results are shown in Table B1.
<실시예 B2><Example B2>
광 경화성 수지 조성물 그랜딕 806T(다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주) 제조)를 아세트산에틸로 용해시켜 50 중량% 농도의 용액으로 하고, 또한 광 중합 개시제인 루시페린 TPO(바스프사 제조, 화학명: 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드)를 경화성 수지 성분 100 중량부당 5 중량부 첨가하여 도포액을 제조하였다. 두께 80 μm의 트리아세틸셀룰로오스(TAC) 필름 상에, 이 도포액을 건조 후의 도포 두께가 10 μm가 되도록 도포하고, 60 ℃로 설정한 건조기 중에서 3 분간 건조시켰다. 건조 후의 필름을, 실시예 B1에서 얻어진 금형의 요철면에, 광 경화성 수지 조성물층이 금형측이 되도록 고무 롤로 압박하여 밀착시켰다. 이 상태에서 TAC 필름측으로부터, 강도 20 mW/cm2의 고압 수은등으로부터의 광을 h선 환산 광량으로 200 mJ/cm2가 되도록 조사하여 광 경화성 수지 조성물층을 경화시켰다. 이 후, TAC 필름을 경화 수지와 함께 금형으로부터 박리하여, 표면에 요철을 갖는 경화 수지와 TAC 필름과의 적층체로 이루어지는, 실시예 B2의 투명한 방현 필름을 각각 얻었다.Photocurable resin composition Grandik 806T (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.) was dissolved in ethyl acetate to obtain a solution having a concentration of 50% by weight, and luciferin TPO (manufactured by BASF Corporation, chemical name: 2,) as a photopolymerization initiator. 4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide) was added 5 parts by weight per 100 parts by weight of the curable resin component to prepare a coating liquid. On the 80-micrometer-thick triacetyl cellulose (TAC) film, this coating liquid was apply | coated so that the coating thickness after drying might be set to 10 micrometers, and it dried for 3 minutes in the dryer set to 60 degreeC. The film after drying was pressed and adhere | attached on the uneven surface of the metal mold | die obtained in Example B1 by the rubber roll so that a photocurable resin composition layer might become a metal mold | die side. In this state, the light from the high-pressure mercury lamp of 20 mW / cm 2 intensity | strength was irradiated so that it might become 200 mJ / cm <2> by h line conversion light quantity, and the photocurable resin composition layer was hardened from the TAC film side. Thereafter, the TAC film was peeled off from the mold together with the cured resin to obtain a transparent antiglare film of Example B2, which is composed of a laminate of a cured resin having irregularities on the surface and a TAC film.
<비교예 B2><Comparative Example B2>
금형으로서, 비교예 B1에서 얻어진 금형을 사용한 것 이외에는 실시예 B2와 동일하게 하여 투명한 방현 필름을 얻었다.As a metal mold | die, except having used the metal mold | die obtained by the comparative example B1, it carried out similarly to Example B2, and obtained the transparent anti-glare film.
<평가 시험 2><
얻어진 실시예 B2 및 비교예 B2의 각 방현 필름에 대하여, 상기 실시예 A2 및 비교예 A2와 동일하게 하여 광학 특성 및 방현 성능의 평가를 행하였다.About each anti-glare film of obtained Example B2 and Comparative Example B2, it carried out similarly to Example A2 and Comparative Example A2, and evaluated the optical characteristic and anti-glare performance.
결과를 표 B2에 나타내었다. 또한, 표 B2 중, 예를 들면 실시예 B2의 반사 선명도의 내역은 다음과 같았다.The results are shown in Table B2. In addition, in Table B2, the detail of the reflection sharpness of Example B2 was as follows.
반사 선명도 Reflection sharpness
0.5 mm 광학 슬릿: 11.4 %0.5 mm optical slit: 11.4%
1.0 mm 광학 슬릿: 42.7 %1.0 mm optical slit: 42.7%
0.5 mm 광학 슬릿: 23.9 %0.5 mm optical slit: 23.9%
합계 78.0 %Total 78.0%
<표 B1>TABLE B1
<표 B2>TABLE B2
표 B1, B2에 나타내는 결과로부터, 본 발명의 제조 방법에 의해서 제작된 금형에 있어서는, 제2 에칭 공정에 의해서, 표면 요철 형상의 경사가 급경사인 부분이 둔화되기 때문에, 경사가 급경사인 개소가 없는 금형이 얻어졌다. 또한, 본 발명의 제조 방법으로부터 얻어지는 방현 필름은 우수한 방현 성능을 나타내었다. 한편, 제2 에칭 공정을 행하지 않는 제조 방법에 의해서 제작된 금형은, 표면 요철 형상에 경사가 급경사인 부분이 존재하기 때문에, 그 금형을 이용하여 제작된 방현 필름에 있어서는 백탁이 발생하였고, 또한 경사가 급경사가 아닌 개소는 평탄하기 때문에, 투영도 발생하였다. 따라서, 본 발명의 제조 방법으로부터 얻어지는 방현 필름은 우수한 방현 성능을 나타내게 된다.From the results shown in Tables B1 and B2, in the mold produced by the manufacturing method of the present invention, since the portion of the inclined surface unevenness is steeply slanted by the second etching step, there is no point where the slope is steeply inclined. A mold was obtained. Moreover, the anti-glare film obtained from the manufacturing method of this invention showed the outstanding anti-glare performance. On the other hand, since the mold produced by the manufacturing method which does not perform a 2nd etching process has a part with a steep inclination in the surface asperity shape, in the anti-glare film produced using the mold, white turbidity generate | occur | produced and also inclination Since the part which is not a steep slope is flat, projection also occurred. Therefore, the anti-glare film obtained from the manufacturing method of this invention shows the outstanding anti-glare performance.
이번에 개시된 실시 형태 및 실시예는 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 특허 청구의 범위에 의해서 나타내어지고, 특허 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.The embodiments and examples disclosed herein are to be considered in all respects only as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is shown by above-described not description but Claim, and it is intended that the meaning of a claim and equality and all the changes within a range are included.
본 발명의 금형의 제조 방법에 따르면, 표면에 미세한 요철 형상이 양호한 정밀도로 형성되어 있기 때문에, 높은 방현 기능을 나타내는 방현 필름의 제조에 유용한 것이 되는 금형을 양호한 재현성으로, 거의 결함이 존재하지 않는 상태로 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 방현 필름의 제조 방법에 따르면, 헤이즈가 낮고, 표시 화상의 밝기를 유지하면서, 투영 방지나 반사 방지, 백탁의 억제, 글리터링 발생 방지, 콘트라스트 저하 방지 등, 방현 성능이 우수한 방현 필름을 공업적으로 유리하게 제조할 수 있다.According to the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, since the fine uneven | corrugated shape is formed in the surface with favorable precision, the metal mold | die which becomes useful for manufacture of the anti-glare film which shows high anti-glare function is in good reproducibility, and a state with almost no defect exists. It can be prepared as. Moreover, according to the manufacturing method of the anti-glare film of this invention, anti-glare film which is low in haze, and excellent in anti-glare performance, such as anti-projection, anti-reflection, suppression of cloudiness, prevention of glittering prevention, contrast reduction, etc., maintaining the brightness of a display image. Can be produced industrially advantageously.
도 1은 본 발명의 금형의 제조 방법의 전반 부분의 바람직한 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows typically a preferable example of the first half part of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention.
도 2는 감광성 수지막에 패턴이 노광된 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the state in which the pattern was exposed to the photosensitive resin film.
도 3은 감광성 수지막 상에 노광되는 패턴을 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the pattern exposed on a photosensitive resin film.
도 4는 감광성 수지막 상에 노광되는 패턴을 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the pattern exposed on a photosensitive resin film.
도 5는 감광성 수지막 상에 노광되는 패턴을 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the pattern exposed on the photosensitive resin film.
도 6은 감광성 수지막 상에 노광되는 패턴을 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the pattern exposed on a photosensitive resin film.
도 7은 감광성 수지막 상에 노광되는 패턴을 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the pattern exposed on a photosensitive resin film.
도 8은 본 발명의 금형의 제조 방법의 후반 부분의 바람직한 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically a preferable example of the latter part of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention.
도 9는 에칭 공정에서 사이드 에칭이 진행되는 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the state in which side etching progresses in an etching process.
도 10은 에칭된 개소와 에칭되지 않은 개소가 존재하는 금형용 기재를 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the base material for metal mold | die in which the etched part and the unetched part exist.
도 11은 실시예 A1의 금형 제작시에 사용한 패턴을 나타내는 도면이다.It is a figure which shows the pattern used at the time of metal mold manufacture of Example A1.
도 12는 글리터링 평가 시험에 이용되는 포토마스크에 있어서의 유닛 셀 (31)을 모식적으로 나타내는 평면도이다.FIG. 12: is a top view which shows typically the
도 13은 글리터링 평가 시험을 행하는 모습을 모식적으로 나타내는 도면이 다.It is a figure which shows typically a mode of performing a glittering evaluation test.
도 14는 본 발명의 금형의 제조 방법의 후반 부분의 바람직한 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically a preferable example of the latter part of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention.
도 15는 제1 에칭 공정에서 사이드 에칭이 진행되는 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다.It is a figure which shows typically the state in which side etching advances in a 1st etching process.
도 16은 실시예 B1의 금형 제작시에 사용한 패턴을 나타내는 도면이다.It is a figure which shows the pattern used at the time of metal mold manufacture of Example B1.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
1 금형용 기재, 2 연마 공정에 의해서 연마된 기재의 표면, 3 감광성 수지막, 4 노광 공정에서 노광된 감광성 수지막, 5 노광 공정에서 노광되지 않은 감광성 수지막, 6 마스크로서 작용하는 감광성 수지막, 7 마스크가 없는 개소, 8 에칭에 의해서 단계적으로 형성되는 표면, 9 에칭된 개소와 에칭되지 않은 개소가 존재하는 기재 표면, 10 에칭 공정 후의 기재 표면(표면 요철 형상), 11 크롬 도금층, 12 크롬 도금의 표면, 31 유닛 셀, 32 크롬 차광 패턴, 33 개구부, 41 포토마스크, 42 라이트 박스, 43 광원, 44 유리판, 45 관찰자, 51 방현 필름.1 base material for metal mold | die, the surface of the base material polished by 2 grinding | polishing processes, the 3 photosensitive resin film, the photosensitive resin film exposed at the 4 exposure process, the photosensitive resin film which was not exposed at the 5 exposure process, the photosensitive resin film which acts as a 6 mask, 7 parts without mask, 8 surfaces formed stepwise by etching, 9 substrate surfaces with etched and unetched locations, 10 substrate surface after surface etching (surface irregularities), 11 chromium plating layers, 12 chromium plating Surface, 31 unit cells, 32 chrome shading patterns, 33 openings, 41 photomasks, 42 light boxes, 43 light sources, 44 glass plates, 45 observers, 51 antiglare films.
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