JP2007313694A - Method for producing embossing roll for molding antireflection film - Google Patents

Method for producing embossing roll for molding antireflection film Download PDF

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Hideo Abe
秀夫 阿部
Susumu Emori
晋 江森
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing an embossing roll for molding an antireflection film which is advantageous for producing an embossing roll for molding an antireflection film having no nodule defect. <P>SOLUTION: A working layer 15 is formed on an iron roll 11 having a shaft by copper electrodeposition plating. The polishing side of the working layer 15 is subjected to blast treatment for 4 h by using silicon carbide (which is) 50-150 μm in particle size to form fine unevenness in the surface of the working layer 15. A nodule defect generated on the surface of the working layer 15 is examined and removed by being irradiated with laser beams 22 from a laser beam machine 21. The surface is subjected to chromium electrodeposition plating to form a chromium layer (which is) about 10 μm in thickness to protect the surface. The surface of the protective plating layer 16 is examined. Before the chromium plating, the residual nodule defect is irradiated with laser beams 22 from the laser beam machine 21 to be removed. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶テレビ、パソコンなどに用いる液晶表示装置などの表示装置の表面に対する外光の写りこみを防止する反射防止フィルムを作製する為の反射防止フィルム成形用エンボスロールの表面欠陥の低減方法と欠陥の修復に関するものである。   The present invention relates to a method for reducing surface defects of an embossing roll for forming an antireflection film for producing an antireflection film for preventing reflection of external light on the surface of a display device such as a liquid crystal display device used in a liquid crystal television, a personal computer, etc. And the repair of defects.

従来から、金型表面に生じた欠陥の修正方法として、金型部材を変形させることなく肉盛によって修正する技術(特許文献1参照)、あるいは、溶接によって肉盛を行いこの溶接材の仕上げ加工を行う技術が知られている(特許文献2参照)。
特開2000-61960号公報 特開2002-219567号公報
Conventionally, as a method for correcting defects generated on the mold surface, a technique of correcting by molding without deforming the mold member (refer to Patent Document 1), or finishing by welding by welding. A technique for performing is known (see Patent Document 2).
JP 2000-61960 A JP 2002-219567 A

しかしながら、めっきを用いて反射防止フィルム成形用エンボスロール(金型)を作製する時に点状の瘤欠陥(以下、ノジュール欠陥と記す)が発生した場合、この欠陥数を完全に撲滅するのは困難であった。
そこで、本発明の目的は、ノジュール欠陥がない反射防止フィルム成形用エンボスロールを製造する上で有利な反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法を提供することにある。
However, if a dot-like defect (hereinafter referred to as a nodule defect) occurs when making an embossing roll (mold) for forming an antireflection film using plating, it is difficult to completely eliminate this defect number. Met.
Then, the objective of this invention is providing the manufacturing method of the embossing roll for anti-reflective film formation advantageous in manufacturing the embossing roll for anti-reflective film formation without a nodule defect.

上述の目的を達成するため、本発明では、反射防止フィルム成形用エンボスロールの芯材(金属製のロール)にまずめっきにより下地層を形成し、この面を砥石研磨し、さらに剥離処理を行い、加工層をめっきにより形成させる。
この方式により、加工層がフィルム生産によって傷がついたり、他の不具合により再生する必要が出てきた場合は、この加工層を機械的に剥離して、下地を研磨によって整え剥離処理を行い、さらに加工層を再びめっきによって形成する。
反射防止フィルム成形用エンボスロールの芯材は、軸が無いものと有るものを利用することができる。この材質もアルミニウムまたは鉄のいずれでも良い。
下地層のめっきは、電析ニッケルめっき、電析銅めっきなどにより、めっき厚50〜200μmの範囲で形成することができる。
加工層のめっきは、電析ニッケルめっき、無電解ニッケルめっき、電析亜鉛めっき、電析銅めっきなどのいずれかを利用し、めっき厚50〜200μmの範囲でめっきする。
In order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, an underlayer is first formed by plating on a core material (metal roll) of an embossing roll for forming an antireflection film, and this surface is polished with a grinding stone and further subjected to a peeling treatment. The processed layer is formed by plating.
By this method, if the processed layer is damaged due to film production, or if it is necessary to regenerate due to other problems, this processed layer is mechanically peeled off, and the base is polished by polishing, Further, a processed layer is formed again by plating.
As the core material of the embossing roll for forming an antireflection film, a core material having no shaft can be used. This material may be either aluminum or iron.
The plating of the underlayer can be formed with a plating thickness of 50 to 200 μm by electrodeposition nickel plating, electrodeposition copper plating or the like.
For the plating of the processed layer, any one of electrodeposited nickel plating, electroless nickel plating, electrodeposited zinc plating, electrodeposited copper plating and the like is used, and plating is performed in a plating thickness range of 50 to 200 μm.

反射防止フィルム成形用エンボスロールへの凹凸形成方法は、セラミックビーズを用いたブラスト処理技術またはフォトリソグラフィ技術を利用したものを用いることができる。フォトリソグラフィ技術としてはレーザー製版技術を応用することができる。表面に凹凸を形成後、硫酸、塩酸、硝酸、硫酸-過酸化水素、過硫酸アンモニウム液、塩化銅液、または塩化鉄液のいずれかのエッチング性溶液を用いて凹凸面を滑らかにする。   As a method for forming irregularities on the embossing roll for forming an antireflection film, a method using a blasting technique using ceramic beads or a photolithography technique can be used. As the photolithography technology, laser plate making technology can be applied. After forming unevenness on the surface, the uneven surface is smoothed using an etching solution of any one of sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid-hydrogen peroxide, ammonium persulfate solution, copper chloride solution, or iron chloride solution.

本発明は、反射防止フィルム成形用エンボスロール製造途中において、欠点を調べ、レーザー光により修復しめっきを行う方法であり、また、最終的に発生したノジュール欠陥にレーザー光を照射することによってこれを除去し修復するものである。
本発明によれば、反射防止フィルム成形用エンボスロール表面上に発生したノジュール欠陥を修復し、反射防止フィルム等を連続的に無欠陥で安定して生産する方法を提供できる。
The present invention is a method of examining defects during the production of an embossing roll for forming an antireflection film, repairing with a laser beam and plating, and irradiating the finally generated nodule defect with a laser beam. Remove and repair.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the nodule defect which generate | occur | produced on the embossing roll surface for anti-reflective film shaping | molding can be repaired, and the method of producing an anti-reflective film etc. continuously without a defect stably can be provided.

請求項1の発明は、反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法であって、金属製のロールの表面に第1のめっき層を形成する工程と、前記第1のめっき層の表面に微細な凹凸を形成する工程と、前記微細な凹凸が形成された前記第1のめっき層の表面でノジュール欠陥が生じた箇所にレーザー光を照射することにより前記ノジュール欠陥を除去する工程と、前記ノジュール欠陥が除去された前記第1のめっき層の表面に第2のめっき層を形成する工程と、前記第2のめっき層の表面でノジュール欠陥が生じた箇所にレーザー光を照射することにより前記ノジュール欠陥を除去する工程とを含むことを特徴とする反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法である。
請求項2の発明は、前記レーザー光の照射による前記ノジュール欠陥の除去はレーザーアブレーション加工の作用によるものであることを特徴とする請求項1記載の反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法である。
請求項3の発明は、前記第1のめっき層の形成は、電析銅めっき、電析ニッケルめっき、無電解ニッケルめっき、電析亜鉛めっきの何れかによってなされることを特徴とする請求項1または2記載の反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法である。
請求項4の発明は、前記第2のめっき層の形成は、電析クロムめっきによってなされることを特徴とする請求項1、2または3記載の反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法である。
Invention of Claim 1 is a manufacturing method of the embossing roll for anti-reflective film formation, Comprising: The process of forming a 1st plating layer on the surface of metal rolls, and the surface of the said 1st plating layer is fine A step of forming irregularities, a step of removing the nodule defects by irradiating a laser beam to a portion where nodule defects are generated on the surface of the first plating layer on which the fine irregularities are formed, and the nodule defects Forming the second plating layer on the surface of the first plating layer from which the nodule has been removed, and irradiating the nodule defect on the surface of the second plating layer with a laser beam to irradiate the nodule defect And a step of removing the anti-reflection film forming embossing roll.
Invention of Claim 2 is a manufacturing method of the embossing roll for anti-reflective film formation of Claim 1 characterized by the removal of the said nodule defect by irradiation of the said laser beam being based on the effect | action of a laser ablation process. .
The invention of claim 3 is characterized in that the first plating layer is formed by any one of electrodeposited copper plating, electrodeposited nickel plating, electroless nickel plating, and electrodeposited zinc plating. Or it is a manufacturing method of the embossing roll for anti-reflective film shaping | molding of 2.
Invention of Claim 4 is a manufacturing method of the embossing roll for anti-reflective film formation of Claim 1, 2, or 3 characterized by the formation of said 2nd plating layer being made by electrodeposition chromium plating. .

本発明によれば、凹凸形成工程でどうしても発生してしまうノジュール欠陥を、つまり、極めて微細な欠陥部分のみをレーザー光によって修正し、無欠陥の反射防止フィルム成形用エンボスロールを作製することができる。このことによって、欠陥のない反射防止フィルムを安定してエンボス生産できるようになった。   According to the present invention, it is possible to produce a defect-free antireflection film-forming embossing roll by correcting a nodule defect that inevitably occurs in the unevenness forming step, that is, only a very fine defect portion with a laser beam. . This has made it possible to stably emboss an antireflection film free from defects.

以下に、図1を用いて本発明を詳細に説明する。
本発明は、予めエンボスロール芯材(金属製のロール)の上にめっきを行ってから砥石研磨で表面を整え、剥離処理を行いめっきし(加工層を形成し)、砥石研磨で表面を整えた面をサンドブラスト技術またはフォトリソグラフィ技術を利用し、微細な凹凸を形成し、さらに表面の耐久性を向上するための金属めっきを行い(保護めっき層を形成し)、発生したノジュール欠陥等を修正し無欠点のエンボスロールを作製する方法に関する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIG.
In the present invention, after plating on an embossing roll core material (metal roll) in advance, the surface is prepared by grinding stone polishing, plating is performed by peeling treatment (forming a processed layer), and the surface is prepared by grinding stone grinding. Using sandblasting technology or photolithography technology to form fine irregularities, metal plating is performed to improve the durability of the surface (protective plating layer is formed), and generated nodule defects are corrected. The present invention also relates to a method for producing a defect-free embossing roll.

このエンボスロールを作製する工程において、ロール表面上に直径数十ミクロンの突起(瘤)が発生し、これを発生した工程で修復し、次の工程で加工を行えば最終のエンボスロール表面に無欠陥のものができる。
上記の突起の除去にレーザーを用いる場合には、アブレーション加工の作用を用いる。
レーザーアブレーションとは、固体にレーザー光を照射したとき、固体材料を構成する元素が種々の形態で爆発するように放出され、固体表面のレーザー光照射部分がえぐられる現象である。別の表現をすれば、レーザーを固体表面に照射したときに発生するプラズマ発光と衝撃波を伴った固体表面の爆発的な剥離現象である。
使用されるレーザーのエネルギーとパルス幅、波長により、昇華を伴うもの、蒸発によるもの、溶融を伴うもの、衝撃波による破砕をともなうものなどがあるが、本発明においては、加工部周辺の変質や加工領域の拡大のない溶融を伴わない昇華や破砕のアブレーション加工が適している。
このようにして作製したロール表面の微細な凹凸を適性にフィルム(反射防止フィルム)に施すことができれば、ヘイズを低くでき、表示パネルの視認性を向上できる。
In the process of producing this embossing roll, protrusions (knurls) with a diameter of several tens of microns are generated on the roll surface. When this is repaired and processed in the next process, there is no protrusion on the final embossing roll surface. It can be defective.
When a laser is used to remove the protrusions, an ablation process is used.
Laser ablation is a phenomenon in which, when a solid is irradiated with laser light, the elements constituting the solid material are released so as to explode in various forms, and the laser light irradiated portion on the solid surface is removed. In other words, it is an explosive exfoliation phenomenon of a solid surface accompanied by plasma emission and a shock wave generated when a laser beam is irradiated on a solid surface.
Depending on the energy, pulse width, and wavelength of the laser used, there are those with sublimation, those with evaporation, those with melting, and those with crushing by shock waves. Ablation with sublimation and crushing without melting without expansion of the area is suitable.
If fine irregularities on the roll surface thus produced can be appropriately applied to the film (antireflection film), the haze can be lowered and the visibility of the display panel can be improved.

(実施例1)
本実施例を図1、図2により説明する。
軸有りの鉄ロール11(金属製のロール)を砥石研磨して電析ニッケルめっき12を行い、さらに電析銅めっき13を約200μm行った。
この面をバーチカル研磨により整面し、銀の置換めっき14を行って剥離層を形成した。
さらに、電析銅めっきを行い、バーチカル研磨により表面粗さRa0.001〜0.005μmになるように研磨した。言い換えると、鉄ロール11の表面に電析銅めっきによって加工層15、すなわち第1のめっき層を形成した。
この加工層15の研磨面を、粒子経50〜150μm程度の炭化珪素を用いて約4時間ブラスト処理を行い、加工層15の表面に微細な凹凸を形成した後、塩化鉄液によってエッチングして表面の凹凸を軽減した。すなわち、第1のめっき層の表面に微細な凹凸を形成した。
この加工層15の研磨面を水滴が残らないようにエアガンで乾燥させ、表面(加工層15の研磨面)に発生したノジュール欠陥を検査し、図1に示すように、ノジュール欠陥にレーザー加工機21からレーザー光22を照射することによりノジュール欠陥を取り除いた。すなわち、微細な凹凸が形成された第1のめっき層の表面でノジュール欠陥が生じた箇所にレーザー光を照射することによりノジュール欠陥を除去した。
この際のレーザー光の照射条件は、ビーム直径を約10μmとし、ロール表面(研磨面15)とレーザー加工機21のレーザー光22照射用のレンズとの間の距離を約25mmとし、レーザー出力値を1〜3mWとした。この照射条件は昇華、破砕の両方が混在するアブレーション条件である。
この面に引続き電析クロムめっきを行い約10μmめっきし表面を保護した。すなわち、ノジュール欠陥が除去された第1のめっき層の表面に電析クロムめっきによって保護めっき層16、すなわち第2のめっき層を形成した。
さらに、この保護めっき層16の表面検査を行い、図2に示すように、クロムめっきを行う前に取りきれなかったノジュール欠陥にレーザー加工機21からレーザー光22を照射することによりノジュール欠陥を取り除いた。すなわち、第2のめっき層の表面でノジュール欠陥が生じた箇所にレーザー光を照射することによりノジュール欠陥を除去した。
この際のレーザー光の照射条件は、ビーム直径を約10μmとし、ロール表面(保護めっき層16の表面)とレンズ間との距離を約25mmとし、レーザー出力値を1〜3mWとした。
このようにして得られた反射防止フィルム成形用エンボスロール1を使用することによって、ポリエステルフィルムと紫外線硬化樹脂から無欠陥のフィルムシート(反射防止フィルム)を作製することができた。
Example 1
This embodiment will be described with reference to FIGS.
An iron roll 11 with a shaft (metal roll) was ground and subjected to electrodeposition nickel plating 12, and further electrodeposited copper plating 13 was applied to about 200 μm.
This surface was leveled by vertical polishing, and silver displacement plating 14 was performed to form a release layer.
Furthermore, electrodeposition copper plating was performed, and polishing was performed by vertical polishing so that the surface roughness Ra was 0.001 to 0.005 μm. In other words, the processed layer 15, that is, the first plating layer was formed on the surface of the iron roll 11 by electrodeposition copper plating.
The polished surface of the processed layer 15 is blasted with silicon carbide having a particle size of about 50 to 150 μm for about 4 hours to form fine irregularities on the surface of the processed layer 15 and then etched with an iron chloride solution. Reduced surface irregularities. That is, fine irregularities were formed on the surface of the first plating layer.
The polished surface of the processed layer 15 is dried with an air gun so that no water droplets remain, and the nodule defects generated on the surface (the polished surface of the processed layer 15) are inspected. As shown in FIG. Nodule defects were removed by irradiating laser beam 22 from 21. That is, the nodule defect was removed by irradiating a laser beam to the part where the nodule defect occurred on the surface of the first plating layer on which fine irregularities were formed.
The laser light irradiation conditions at this time are such that the beam diameter is about 10 μm, the distance between the roll surface (polishing surface 15) and the lens for laser light 22 irradiation of the laser processing machine 21 is about 25 mm, and the laser output value. Was set to 1 to 3 mW. This irradiation condition is an ablation condition in which both sublimation and crushing are mixed.
This surface was subsequently subjected to electrodeposition chromium plating to protect the surface by plating for about 10 μm. That is, the protective plating layer 16, that is, the second plating layer was formed by electrodeposition chromium plating on the surface of the first plating layer from which the nodule defects were removed.
Further, the surface of the protective plating layer 16 is inspected, and the nodule defects are removed by irradiating the laser beam 22 from the laser processing machine 21 to the nodule defects that cannot be removed before the chromium plating as shown in FIG. It was. That is, the nodule defect was removed by irradiating the part where the nodule defect occurred on the surface of the second plating layer with a laser beam.
The laser light irradiation conditions at this time were such that the beam diameter was about 10 μm, the distance between the roll surface (the surface of the protective plating layer 16) and the lens was about 25 mm, and the laser output value was 1 to 3 mW.
By using the thus obtained embossing roll 1 for forming an antireflection film, a defect-free film sheet (antireflection film) could be produced from the polyester film and the ultraviolet curable resin.

(実施例2)
軸無しのアルミロール11を砥石研磨して亜鉛の置換めっき(ジンケート処理)を行い、さらに電析ニッケルめっき12を行い、電析銅めっき13を約200μm行った。
この面をバーチカル研磨により整面し、銀の置換めっき14を行って剥離層を形成した。
さらに、電析銅めっき15を行い、バーチカル研磨により表面粗さRa0.001〜0.005μmになるように研磨した。すなわち、アルミロール11の表面に電析銅めっきによって加工層15、すなわち第1のめっき層を形成した。
この加工層15の研磨面を、粒子経50〜150μm程度のジルコニアを用いて約4時間ブラスト処理を行い、微細な凹凸を形成した後、塩化銅液によってエッチングして表面の凹凸を軽減した。すなわち、第1のめっき層の表面に微細な凹凸を形成した。
この面(加工層15の研磨面)を水滴が残らないようにエアガンで乾燥させ、表面(加工層15の研磨面)に発生したノジュール欠陥を検査し、図1に示すように、ノジュール欠陥にレーザー加工機21からレーザー光22を照射することによりノジュール欠陥を取り除いた。すなわち、微細な凹凸が形成された第1のめっき層の表面でノジュール欠陥が生じた箇所にレーザー光を照射することによりノジュール欠陥を除去した。
この際のレーザー光の照射条件は、ビーム直径を約10μmとし、ロール表面(研磨面15)とレーザー加工機21のレンズとの間の距離を約25mmとし、レーザー出力値を1〜3mWとした。この照射条件は昇華、破砕の両方が混在するアブレーション条件である。
この面を引続き電析クロムめっき16を約8μmめっきし表面を保護した。すなわち、ノジュール欠陥が除去された第1のめっき層の表面に電析クロムめっきによって保護めっき層16、すなわち第2のめっき層を形成した。
さらに、この保護めっき層16の表面検査を行い、図2に示すように、クロムめっきを行う前に取りきれなかったノジュール欠陥にレーザー加工機21からレーザー光22を照射することによりノジュール欠陥を取り除いた。すなわち、第2のめっき層の表面でノジュール欠陥が生じた箇所にレーザー光を照射することによりノジュール欠陥を除去した。
さらに、この保護めっき層16の表面検査を行い、クロムめっきを行う前に取りきれなかったノジュール欠陥をレーザー加工機(21)(ビーム直径約10μm、ロール表面とレンズ間の距離約25mm、レーザー出力値1〜3mW)を用いて取り除いた。
このようにして得られた反射防止フィルム成形用エンボスロール1を使用することによって、ポリエステルフィルムと紫外線硬化樹脂から無欠陥のフィルムシート(反射防止フィルム)を作製することができた。
(Example 2)
An aluminum roll 11 without a shaft was ground and subjected to zinc displacement plating (zincate treatment), further subjected to electrodeposition nickel plating 12, and electrodeposition copper plating 13 was performed to about 200 μm.
This surface was leveled by vertical polishing, and silver displacement plating 14 was performed to form a release layer.
Further, electrodeposited copper plating 15 was performed, and polishing was performed by vertical polishing so that the surface roughness Ra was 0.001 to 0.005 μm. That is, the processed layer 15, that is, the first plating layer was formed on the surface of the aluminum roll 11 by electrodeposition copper plating.
The polished surface of the processed layer 15 was blasted with zirconia having a particle size of about 50 to 150 μm for about 4 hours to form fine irregularities, and then etched with a copper chloride solution to reduce the irregularities on the surface. That is, fine irregularities were formed on the surface of the first plating layer.
This surface (polishing surface of the processed layer 15) is dried with an air gun so that no water droplets remain, and the nodule defects generated on the surface (polishing surface of the processed layer 15) are inspected. As shown in FIG. The nodule defect was removed by irradiating the laser beam 22 from the laser processing machine 21. That is, the nodule defect was removed by irradiating a laser beam to the part where the nodule defect occurred on the surface of the first plating layer on which fine irregularities were formed.
The laser light irradiation conditions at this time were such that the beam diameter was about 10 μm, the distance between the roll surface (polishing surface 15) and the lens of the laser processing machine 21 was about 25 mm, and the laser output value was 1 to 3 mW. . This irradiation condition is an ablation condition in which both sublimation and crushing are mixed.
Subsequently, this surface was plated with about 8 μm of electrodeposited chromium plating 16 to protect the surface. That is, the protective plating layer 16, that is, the second plating layer was formed by electrodeposition chromium plating on the surface of the first plating layer from which the nodule defects were removed.
Further, the surface of the protective plating layer 16 is inspected, and the nodule defects are removed by irradiating the laser beam 22 from the laser processing machine 21 to the nodule defects that cannot be removed before the chromium plating as shown in FIG. It was. That is, the nodule defect was removed by irradiating the part where the nodule defect occurred on the surface of the second plating layer with a laser beam.
Further, the surface of the protective plating layer 16 is inspected, and nodule defects that cannot be removed before the chrome plating are performed by a laser processing machine (21) (beam diameter of about 10 μm, distance between roll surface and lens of about 25 mm, laser output) Value 1 to 3 mW).
By using the thus obtained embossing roll 1 for forming an antireflection film, a defect-free film sheet (antireflection film) could be produced from the polyester film and the ultraviolet curable resin.

本発明の実施例で行った銅めっきエッチング面のレーザー光によるノジュール欠陥の修正図である。It is a correction figure of the nodule defect by the laser beam of the copper plating etching surface performed in the Example of this invention. 本発明の実施例で行った最終保護めっき面のレーザー光によるノジュール欠陥の修正図である。It is a correction figure of the nodule defect by the laser beam of the last protection plating surface performed in the Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1……反射防止フィルム用エンボスロール、11……ロール芯材、12……密着層、13……下地めっき層、14……剥離層、15……加工層、16……保護めっき層、21……レーザー加工機、22……レーザー光。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Embossing roll for antireflection films, 11 ... Roll core material, 12 ... Adhesion layer, 13 ... Undercoat layer, 14 ... Release layer, 15 ... Processed layer, 16 ... Protective plating layer, 21 ...... Laser machine, 22 ... Laser light.

Claims (4)

反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法であって、
金属製のロールの表面に第1のめっき層を形成する工程と、
前記第1のめっき層の表面に微細な凹凸を形成する工程と、
前記微細な凹凸が形成された前記第1のめっき層の表面でノジュール欠陥が生じた箇所にレーザー光を照射することにより前記ノジュール欠陥を除去する工程と、
前記ノジュール欠陥が除去された前記第1のめっき層の表面に第2のめっき層を形成する工程と、
前記第2のめっき層の表面でノジュール欠陥が生じた箇所にレーザー光を照射することにより前記ノジュール欠陥を除去する工程と、
を含むことを特徴とする反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法。
A method for producing an embossing roll for forming an antireflection film,
Forming a first plating layer on the surface of a metal roll;
Forming fine irregularities on the surface of the first plating layer;
Removing the nodule defect by irradiating a laser beam to a location where a nodule defect has occurred on the surface of the first plating layer on which the fine irregularities are formed;
Forming a second plating layer on the surface of the first plating layer from which the nodule defects have been removed;
Removing the nodule defects by irradiating a laser beam at a location where nodule defects have occurred on the surface of the second plating layer;
A method for producing an embossing roll for forming an antireflection film, comprising:
前記レーザー光の照射による前記ノジュール欠陥の除去はレーザーアブレーション加工の作用によるものであることを特徴とする請求項1記載の反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法。   The method for producing an embossing roll for forming an antireflection film according to claim 1, wherein the removal of the nodule defect by the irradiation of the laser beam is performed by a laser ablation process. 前記第1のめっき層の形成は、電析銅めっき、電析ニッケルめっき、無電解ニッケルめっき、電析亜鉛めっきの何れかによってなされることを特徴とする請求項1または2記載の反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法。   3. The antireflection film according to claim 1, wherein the first plating layer is formed by any one of electrodeposited copper plating, electrodeposited nickel plating, electroless nickel plating, and electrodeposited zinc plating. Manufacturing method of embossing roll for forming. 前記第2のめっき層の形成は、電析クロムめっきによってなされることを特徴とする請求項1、2または3記載の反射防止フィルム成形用エンボスロールの製造方法。
The method of manufacturing an embossing roll for forming an antireflection film according to claim 1, 2 or 3, wherein the second plating layer is formed by electrodeposition chromium plating.
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