KR20100029428A - 카세트인덱서 티칭 지그 - Google Patents

카세트인덱서 티칭 지그 Download PDF

Info

Publication number
KR20100029428A
KR20100029428A KR1020080088218A KR20080088218A KR20100029428A KR 20100029428 A KR20100029428 A KR 20100029428A KR 1020080088218 A KR1020080088218 A KR 1020080088218A KR 20080088218 A KR20080088218 A KR 20080088218A KR 20100029428 A KR20100029428 A KR 20100029428A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
indexer
robot
paddle
teaching jig
Prior art date
Application number
KR1020080088218A
Other languages
English (en)
Inventor
황태환
Original Assignee
주식회사 동부하이텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 동부하이텍 filed Critical 주식회사 동부하이텍
Priority to KR1020080088218A priority Critical patent/KR20100029428A/ko
Publication of KR20100029428A publication Critical patent/KR20100029428A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 로봇 또는 인덱서의 교환 후 로봇의 티칭(teaching)시 로봇의 기준점을 정확하게 설정할 수 있는 카세트인덱서 티칭 지그에 관한 것이다.
본 발명의 카세트인덱서 티칭 지그는, 카세트플레이트와 동일한 두께로 형성되고, 상부면에는 패들이 끼워지는 패들센터홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
카세트, 로봇, 인덱서, 티칭, 지그

Description

카세트인덱서 티칭 지그{Jig for Teaching Cassette Indexer}
본 발명은 카세트인덱서 티칭 지그에 관한 것으로 보다 상세하게는, 로봇 또는 인덱서의 교환 후 로봇의 티칭(teaching)시 로봇의 기준점을 정확하게 설정할 수 있는 카세트인덱서 티칭 지그에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 공정에서는, 웨이퍼를 대상으로 하여 사진공정, 식각공정, 확산공정, 증착공정 등 다양하게 이루어지는 단위공정이 수행된다.
상기 단위공정의 수행시 다수의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 사용된다.
상기 단위공정의 중간에는 로봇에 의해 카세트로부터 웨이퍼를 한 장씩 이송하여 공정 챔버로 보내거나 공정상태를 테스팅한다.
이때, 웨이퍼 이송시 카세트와 로봇의 패들 간 위치를 조정하는 카세트인덱서가 사용된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 웨이퍼 이송시 카세트인덱서와 로봇의 구조 및 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 카세트인덱서의 구조를 설명하기 위한 분해 정면도, 도 2는 카세트인덱서와 로봇의 동작을 설명하기 위한 사시도이다.
먼저 도 1에 도시된 바와 같이, 카세트인덱서는 카세트플레이트(11)가 안착되는 인덱서플레이트(12) 및 상기 인덱서플레이트(12)를 승하강시키는 엘리베이터(14)를 포함한다.
상기 카세트플레이트(11)에는 웨이퍼(W)가 적재된 카세트(20)가 장착된다.
상기 인덱서플레이트(12) 상부면에는 상기 카세트(20)의 락장치를 오픈하는 파드오픈장치(13) 및 상기 카세트플레이트(11)를 고정하기 위한 카세트플레이트고정구(15)가 구비된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 로봇(30)의 일측에는 패들(31)이 장착된다.
상기 로봇(30)은 상기 패들을 사용해 웨이퍼(W)를 한 장씩 픽업하여 후속공정을 위해 스테이지로 이송시킨다.
엘리베이터(14)는 상기 인덱서플레이트(12)를 승하강시킴으로서 웨이퍼(W)의 위치를 패들(31)의 위치와 일치시킨다.
상기와 같이 동작하는 로봇 또는 카세트인텍서를 교체할 때에는 카세트인덱서에 대한 로봇의 티칭(teaching)이 필요하다.
이때, 로봇의 전원을 off 시킨 뒤에 손으로 패들을 카세트의 센터에 일치시켜 육안으로 기준점을 정한다.
여기서 육안으로 기준점을 설정하게 되면, 사람마다 보는 시각의 차이에 의해 기준점이 달리 설정되어 사고 및 고장을 유발하게 되는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 로봇 또는 카세트인덱서의 교환 후 로봇의 티칭시 로봇의 기준점을 정확하게 설정할 수 있는 카세트인덱서 티칭 지그를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 카세트인덱서 티칭 지그는, 카세트플레이트와 동일한 두께로 형성되고, 상부면에는 패들이 끼워지는 패들센터홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 패들센터홈은 상기 패들과 동일한 형상으로 형성되고, 중심부에 위치한 면이 카세트의 중심과 일치하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 카세트인덱서 티칭 지그의 하부면에는 파드오픈장치에 대응되는 파드오픈장치홈 및 카세트플레이트고정구에 대응되는 카세트플레이트고정홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그는 다음과 같은 효과가 있다.
카세트인덱서 티칭 지그는 로봇 또는 카세트인덱서의 교환 후 로봇의 티칭시 로봇의 기준점을 설정할 때 정확한 기준을 제공하여 기준점을 정확하게 설정할 수 있다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트인덱서 티칭 지그를 상세히 설명하기로 한다.
종래 기술과 동일한 구성부재에 대하여는 동일한 번호를 부여하였다.
도 3은 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그의 사시도이다.
먼저, 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그(100)는 패들센터홈(110), 파드오픈장치홈(130) 및 카세트플레이트고정홈(150)을 포함하여 이루어진다.
상기 카세트인덱서 티칭 지그(100)는 카세트플레이트(11, 도 2에 도시)와 동일한 두께로 형성되고 로봇(30)의 기준점 설정시에는 인덱서플레이트(12)에 안착된다.
도 4는 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그의 상면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 패들센터홈(110)은 카세트인덱서 티칭 지그(100)의 상부면에 패들(31, 도 2에 도시)과 동일한 형상으로 형성된다.
기준점 설정시에는 패들(31, 도 2에 도시)이 상기 패들센터홈(110)에 끼워진다.
여기서, 상기 패들센터홈(110)은 중심부에 위치한 면(111, 도 3에 도시)이 카세트(20, 도 2에 도시)의 중심과 일치하도록 형성된다.
따라서, 상기 중심부에 위치한 면(111, 도 3에 도시)과 상기 패들(31, 도 2에 도시)의 끝단을 일치시킴으로서 기준점 설정시 상기 패들(31, 도 2에 도시)의 끝단을 카세트(20)의 센터에 위치시킬 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그의 저면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 카세트인덱서 티칭 지그(100)의 하부면에는 파드오픈장치(13)에 대응되는 파드오픈장치홈(130)이 형성되어 상기 카세트인덱서 티칭 지그(100)와 인덱서플레이트(11)간의 결합을 유지한다.
또한, 상기 카세트인덱서 티칭 지그(100)의 하부면에는 카세트플레이트고정구(15)에 대응되는 카세트플레이트고정홈(150)이 형성된다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성의 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그를 사용한 로봇의 기준점 설정 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그를 사용하여 로봇의 기준점을 설정하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
가장 먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이 카세트인덱서 티칭지그(100)가 인덱서플레이트(12)의 상부면에 적층된다.
그 다음, 도 6b에 도시된 바와 같이 패들(31)의 끝단이 패들센터홈(110)의 중심부에 위치한 면(111)과 일치되도록 로봇(30)을 이동시킨다.
이때, 패들(31)의 끝단은 카세트(20, 도 2에 도시)의 중심과 일치하도록 형성된 상기 중심부에 위치한 면(111)과 접합됨으로서 상기 패들(31)의 끝단과 카세트(20, 도 2에 도시)의 중심과 일치되도록 기준점이 설정된다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정·변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
도 1은 종래의 카세트인덱서의 구조를 설명하기 위한 분해 정면도,
도 2는 종래의 카세트인덱서와 로봇의 동작을 설명하기 위한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그의 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그의 상면도,
도 5는 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그의 저면도,
도 6은 본 발명에 따른 카세트인덱서 티칭 지그를 사용하여 로봇의 기준점을 설정하는 방법을 설명하기 위한 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
W : 웨이퍼
11 : 카세트플레이트
12 : 인덱서플레이트 13 : 파드오픈장치
14 : 엘리베이터 15 : 카세트플레이트고정구
20 : 카세트
30 : 로봇 31: 패들
100 : 카세트인덱서 티칭 지그 110 : 패들센터홈
130 : 파드오픈장치홈 150 : 카세트플레이트고정홈

Claims (3)

  1. 카세트가 장착되는 카세트플레이트가 구비된 카세트인덱서 또는 일측에 패들이 구비된 로봇의 교환 후에 로봇의 티칭시 사용되는 카세트인덱서 티칭 지그에 있어서,
    상기 카세트플레이트와 동일한 두께로 형성되고, 상부면에는 상기 패들이 끼워지는 패들센터홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트인덱서 티칭 지그.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 패들센터홈은 상기 패들과 동일한 형상으로 형성되고, 중심부에 위치한 면이 상기 카세트의 중심과 일치하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트인덱서 티칭 지그.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 카세트인덱서 티칭 지그의 하부면에는 파드오픈장치에 대응되는 파드오픈장치홈 및 카세트플레이트고정구에 대응되는 카세트플레이트고정홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트인덱서 티칭 지그.
KR1020080088218A 2008-09-08 2008-09-08 카세트인덱서 티칭 지그 KR20100029428A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080088218A KR20100029428A (ko) 2008-09-08 2008-09-08 카세트인덱서 티칭 지그

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080088218A KR20100029428A (ko) 2008-09-08 2008-09-08 카세트인덱서 티칭 지그

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20100029428A true KR20100029428A (ko) 2010-03-17

Family

ID=42179644

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080088218A KR20100029428A (ko) 2008-09-08 2008-09-08 카세트인덱서 티칭 지그

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20100029428A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9362034B2 (en) 2012-02-03 2016-06-07 Lg Electronics Inc. Method of preparing core-shell structured nanoparticle having hard-soft magnetic heterostructure
KR20170039461A (ko) * 2015-10-01 2017-04-11 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 로봇 티칭 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9362034B2 (en) 2012-02-03 2016-06-07 Lg Electronics Inc. Method of preparing core-shell structured nanoparticle having hard-soft magnetic heterostructure
KR20170039461A (ko) * 2015-10-01 2017-04-11 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 로봇 티칭 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2704182B1 (en) Substrate bonding apparatus and substrate bonding method
KR101346391B1 (ko) 웨이퍼 검사 장치
JP6625423B2 (ja) ウエハ検査装置及びそのメンテナンス方法
JP5390486B2 (ja) 電子コンポーネントの後処理システム
TW201250402A (en) Method of processing a substrate in a lithography system
US20090067955A1 (en) Foup Door Positioning Device for Foup Opener
KR20100029428A (ko) 카세트인덱서 티칭 지그
KR20160022732A (ko) 웨이퍼 트레이 조립 지그 및 방법
KR20150050619A (ko) 카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법
US20130149078A1 (en) Substrate-processing apparatus and substrate-transferring method
US11226367B2 (en) Substrate testing cartridge and method for manufacturing same
JP7250525B2 (ja) ウエハ搬送用トレイ
KR101948033B1 (ko) 멀티 프로브 시스템
JP5510070B2 (ja) 半導体装置の製造方法
KR101082605B1 (ko) 웨이퍼 이송용 로봇암
KR20080072238A (ko) 반도체 소자 제조 시스템
KR102220334B1 (ko) 전자 부품을 수납하기 위한 인서트 조립체
KR20140007027A (ko) 웨이퍼 로더 및 이를 갖는 기판 처리 장치
JP6434050B2 (ja) 前工程−後工程一体化システム
KR102241600B1 (ko) 로드락 챔버 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
KR20070020580A (ko) 기판 지지장치
KR20070047634A (ko) 열처리설비의 웨이퍼 트레이
KR100833882B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 정비 방법
TW202401600A (zh) 用於晶圓到晶圓接合的晶圓形狀控制
TW202406005A (zh) 真空吸盤及其使用方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application