KR20100026883A - Ｃｖｄ 장치용 새틀라이트 및 이를 구비하는 ｃｖｄ 장치 - Google Patents

Abstract

CVD 장치용 새틀라이트 및 이를 구비하는 CVD 장치에 관하여 개시한다.

본 발명에 따른 CVD 장치용 새틀라이트는, 서셉터 상에 회전 가능하도록 장착되며, 내부에 피증착체를 수용하는 포켓; 및 상기 포켓의 상단을 덮으며 상기 포켓 내에 수용되는 피증착체의 테두리 부분을 지지하며 상기 피증착체의 증착이 이루어지는 부분이 외부로 노출되도록 개구부를 구비하는 커버를 포함하여, 피증착체의 휨 현상이 방지될 수 있도록 하여 피증착체의 온도 편차가 실질적으로 균일하게 됨으로써 피증착체에 대한 증착이 실질적으로 균일하게 이루어지게 하는 특징이 있다.

Description

ＣＶＤ 장치용 새틀라이트 및 이를 구비하는 ＣＶＤ 장치{SATELLITE FOR CVD DEVICE AND CVD DEVICE INCLUDING THE SAME}

본 발명은 CVD (Chemical Vapor Depostion : 화학 기상 증착) 장치용 새틀라이트 및 이를 구비하는 CVD 장치에 관한 것이다.

일반적으로 화학 기상 증착 (Chemical Vapor Depostion: CVD) 장치는 화학 반응을 이용하여 피증착체(일반적으로 반도체 웨이퍼 등의 기판을 포함한다)에 박막을 형성하는 장치로서, 진공으로 이루어진 챔버 내에서 가열된 기판에 증기압이 높은 반응가스를 보내어 그 반응가스의 막을 기판에 성장시키도록 하는 장치이다.

도 1은 종래의 CVD 장치에 관하여 개략적으로 나타낸 도면인데, 도 1에 도시된 바와 같이 CVD 장치는 내부에 반응로(2)를 구비하는 챔버(1)와 상기 반응로(2) 내에 피증착체(8)가 노출되도록 상기 피증착체(8)를 수용하는 서셉터(5)를 포함하여 이루어진다.

상기 반응로(2) 내부에는 반응가스가 공급되어 피증착체(8)에 대한 박막의 증착이 이루어진다. 이때 상기 서셉터(5)와 인접하여 가열수단(9)이 구비되는데, 증착 공정이 진행되는 동안 상기 가열수단(9)은 소정의 열을 방출하여 서셉터(5) 상의 피증착체(8)에 소정의 열을 제공한다.

상기 챔버(1)에는 가스유입구(3)가 구비되어 상기 가스유입구(5)를 통해 반응가스가 반응로(2) 내부로 유입되며, 가스배출구(4)가 구비되어 피증착체(8)에 대해 반응이 끝난 가스들은 상기 가스배출구(4)로 배출된다.

상기 서셉터(5)에는 복수개의 수용홈(6)이 구비되고 상기 수용홈(6)에는 피증착체(8)를 수용하기 위한 새틀라이트(7)가 구비된다.

따라서 각 새틀라이트(7)에 수용된 각각의 피증착체(8)는 가열수단(9)으로부터 공급되는 열 및 가스유입구(3)를 통해 공급되는 반응가스에 의해 그 표면에 소정의 박막을 형성하게 된다.

이와 같은 피증착체에 대한 박막의 성장은 피증착체의 표면 전체에 걸쳐 균일하게 이루어지도록 함이 바람직하다.

그러나, 종래에는 피증착체에 박막을 증착함에 있어서 피증착체 자체의 온도 편차에 따른 열팽창율의 차이 및 성장되는 박막과 피증착체 사이의 격자상수 및 열팽창율의 차이로 말미암아 박막 성장 시 혹은 박막의 성장 후에 피증착체가 도 1에 도시된 바와 같이 휘어지게 되어 피증착체 자체에서 국부적으로 온도편차가 심하게 발생하게 된다.

이와 같은 피증착체의 휨 현상에 따른 온도 편차의 불균일은 박막 성장의 불균일로 이어지게 되는 문제점이 생긴다.

특히 피증착체의 크기를 크게 할수록 온도 편차는 더욱 더 커지기 때문에 박막의 성장은 더욱 불균일하게 되는 문제점이 생긴다.

본 발명은 CVD 장치에 있어서 피증착체를 수용하는 새틀라이트의 구조를 개선하여 피증착체에 소정의 열이 공급됨에 따른 피증착체의 휨 현상이 방지될 수 있도록 하여 피증착체의 온도 편차를 실질적으로 균일하게 하여 증착이 실질적으로 균일하게 이루어지도록 하는 CVD 장치용 새틀라이트 및 이를 구비하는 CVD 장치를 제공한다.

본 발명에 따른 CVD 장치용 새틀라이트는, 서셉터 상에 회전 가능하도록 장착되며, 내부에 피증착체를 수용하는 포켓; 및 상기 포켓의 상단을 덮으며 상기 포켓 내에 수용되는 피증착체의 테두리 부분을 지지하며 상기 피증착체의 증착이 이루어지는 부분이 외부로 노출되도록 개구부를 구비하는 커버를 포함한다.

또한, 상기 커버는, 상기 포켓과 결합하는 커버 몸체와, 상기 커버 몸체로부터 연장되어 구비되어 피증착체의 테두리 부분을 지지하도록 마련되며, 내면에 상기 개구부가 마련되는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 커버는, 상기 포켓과 결합하며, 내면에 상기 개구부가 마련되는 커버 몸체와, 상기 커버 몸체로부터 내측으로 소정 돌출되어 구비되며 피증착체의 테두리 부분을 지지하도록 마련되는 복수개의 돌출지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 포켓은, 상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피 증착체의 하단을 지지하며, 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는 지지스테이지를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 포켓은, 상기 포켓의 내부 바닥면에 상기 피증착체의 테두리 부분과 대응되는 위치에 마련되는 그루브와, 상기 그루브에 의해 마련되어 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 가지며 상기 피증착체의 하단을 지지하는 지지스테이지를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 커버는 상기 포켓에 착탈 가능하도록 결합하기 위한 결합부를 포함하고, 상기 포켓은 상기 커버의 결합부와 결합하여 상기 커버가 상기 포켓 상에 고정되도록 하는 피결합부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 결합부 및 상기 피결합부 중 어느 하나는 결합돌기를 포함하고, 상기 결합부 및 상기 피결합부 중 다른 하나는 상기 결합돌기가 삽입되어 결합되도록 하는 결합홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 결합부 및 상기 피결합부 중 어느 하나는 나사결합부를 포함하고, 상기 결합부 및 상기 피결합부 중 다른 하나는 상기 나사결합부와 나사결합하도록 마련되는 피나사결합부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 커버 및 상기 포켓은 동일한 재질로써 만들어지거나 상기 커버와 상기 포켓이 각각 별개의 재질로써 만들어지도록 한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 커버 및 상기 포켓 중 적어도 하나는 흑연, SiC, 티타늄, 몰리브덴 및 스테인리스 스틸 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 커버 및 상기 포켓 중 적어도 하나는 흑연, SiC, 티타늄, 몰리브 덴 및 스테인리스 스틸 중 어느 하나로 코팅되어 구비되는 것을 특징으로 한다.

한편, 본 발명에 따른 CVD 장치는, 피증착체에 대한 증착이 이루어지는 반응로를 구비하는 챔버; 상기 반응로 내에 구비되어 적어도 하나의 수용홈을 구비하는 서셉터; 상기 서셉터와 인접하여 구비되며 피증착체를 가열하는 가열수단; 및 상기 서셉터의 수용홈에 회전 가능하도록 수용되며, 내부에 피증착체를 수용하는 포켓과, 상기 포켓의 상단을 덮으며 상기 포켓 내에 수용되는 피증착체의 테두리 부분을 지지하며 상기 피증착체의 증착이 이루어지는 부분이 외부로 노출되도록 개구부를 구비하는 커버를 포함하는 새틀라이트를 포함한다.

본 발명에 따른 CVD 장치용 새틀라이트 및 이를 구비하는 CVD 장치는 피증착체에 소정의 열이 공급됨에 따른 피증착체의 휨 현상이 방지될 수 있도록 하여 피증착체의 온도 편차가 실질적으로 균일하게 됨으로써 피증착체에 대한 증착이 실질적으로 균일하게 이루어지도록 하는 효과를 갖는다.

본 발명에 따른 CVD 장치용 새틀라이트 및 이를 구비하는 CVD 장치에 관한 실시예를 도면을 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.

먼저 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 CVD 장치에 관하여 개략적으로 설명한다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 CVD 장치의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 CVD 장치는 반응 로(11) 및 유입부(12)를 구비하는 챔버(10)와, 피증착체(50)를 수용하는 새틀라이트(30)를 구비하는 서셉터(20)와, 상기 서셉터(20)와 인접하도록 구비되는 가열수단(40)을 포함하여 이루어진다.

상기 챔버(10)의 중심부에는 상기 유입부(12)에 의해 상기 반응로(11)로 분사되는 반응가스가 외부로 배출되도록 하는 배출부(22)가 구비된다.

상기 반응로(11)는 반응가스가 유동하며 화학 반응을 통해 피증착체(50)에 대한 박막 성장이 이루어지는 공간이다.

상기 유입부(12)는 외부에 마련되는 소정의 반응가스 공급원(미도시)으로부터 공급되는 반응가스가 반응로(12) 내부로 유입되도록 하는 통로이며 분사노즐 등의 형태로 구현될 수 있다.

유입부(12)를 통해 분사되는 반응가스는 서셉터(20)에 수용된 피증착체(50)를 지나게 되고, 피증착체(50)에서는 상기 반응가스에 의한 화학 반응으로 박막이 성장하게 된다.

상기 피증착체(50)를 지나면서 화학 반응을 일으킨 후 반응가스는 배출부(22)로 배출된다.

그리고, 상기 서셉터(20)는 피증착체(50)를 수용하여 상기 반응로(11)에 노출되도록 하는 장치로서 회전하도록 구비될 수도 있고 고정되어 구비되는 것도 가능하다.

상기 서셉터(20)에는 적어도 하나의 새틀라이트(30)가 구비되는데, 상기 새틀라이트(30)는 서셉터(20)에 마련되는 포켓(21)에 수용되어 피증착체(50)를 수용 한다. 이때 상기 새틀라이트(30)는 회전 가능하도록 구비됨이 바람직하다.

이하 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 CVD 장치용 새틀라이트에 관하여 좀 더 구체적으로 설명한다.

먼저 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 CVD 장치용 새틀라이트에 관하여 구체적으로 설명한다. 도 3의 (a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 새틀라이트의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3의 (b)는 도 3의 (a)에 도시된 새틀라이트의 평면도를 나타낸 도면이다.

도 3의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 새틀라이트(30)는 포켓(35)과 이를 덮는 커버(31)를 포함하여 이루어진다.

상기 포켓(35)은 그 내부에 소정의 공간을 가지며 그 내부 공간에 피증착체(50)를 수용한다.

그리고 상기 포켓(35)의 상단을 덮도록 구비되는 커버(31)는, 상기 포켓(35)의 상단과 결합하는 커버 몸체(32)와, 상기 커버 몸체(32)로부터 소정 길이 연장되어 형성되는 지지부(33a)를 포함하여 이루어진다.

상기 지지부(33a)는 커버 몸체(32)로부터 중심 쪽으로 소정 길이 연장되어 형성됨으로써 피증착체(50)의 테두리 부분을 실질적으로 고정하여 지지한다.

그리고 상기 지지부(33a)의 내면에는 개구부(34)가 마련되어 상기 피증착체(50)의 증착이 이루어지는 부분이 반응로에 노출되도록 한다.

상기한 바와 같이 커버(31)의 지지부(33a)가 피증착체(50)의 테두리 부분을 지지함으로써 피증착체(50)는 열에 의해 휘어지는 현상이 방지되어 열을 균일하게 받을 수 있어 피증착체(50)에 대한 온도 편차의 뷸균일이 해소되도록 하는 것이 가능하게 된다.

한편, 상기 포켓(35)의 바닥면에는 지지스테이지(36)가 구비되어 피증착체(50)의 하단을 지지하도록 하며, 상기 지지스테이지(36)는 상기 피증착체(50)의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련된다.

이와 같이 지지스테이지(36) 위에 피증착체(50)가 놓여지면 상기 지지스테이지(36)의 측면 쪽으로 피증착체(50)가 더 돌출되기 때문에 피증착체(50)의 휨 현상을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.

상기한 바와 같은 지지스테이지(36)는 포켓(35)의 바닥면으로부터 상향 돌출되도록 마련할 수도 있으나, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 포켓(35)의 바닥면에 상기 피증착체(50)의 테두리 부분과 대응되는 위치에 그루브(37)를 형성함으로써 그 그루브(37)에 의해 둘러싸인 지지스테이지(36)가 그루브(37)의 하단 보다 상대적으로 더 돌출되는 효과를 얻을 수 있다.

상기한 바와 같이 커버(31)의 지지부(33a)와 지지스테이지(36)의 구조에 의해 피증착체(50)를 열에 의해 휘어지는 것이 방지될 수 있다.

한편, 상기 새틀라이트(30)의 커버(31) 및 포켓(35)은 동일한 재질로서 만들어지거나 상기 커버(31)와 상기 포켓(35)이 서로 다른 재질로서 만들어지는 것이 가능하다.

상기 커버(31) 및 포켓(35) 중 적어도 하나는 흑연, SiC, 티타늄, 몰리브덴 및 스테인리스 스틸 중 어느 하나의 재질로 이루어지도록 함이 바람직하다.

만약 상기 커버(31) 및 포켓(35)이 상기한 바와 같은 재료로 이루어지지 않는 경우에는, 상기 커버 및 상기 포켓 중 적어도 하나는 흑연, SiC, 티타늄, 몰리브덴 및 스테인리스 스틸 중 어느 하나로 코팅(Coating)되어 구비되는 것이 바람직하다.

한편, 도 4 및 도 5에 도시된 본 발명에 따른 CVD 장치용 새틀라이트에 관한 다른 실시예들에 관하여 좀 더 구체적으로 설명한다.

도 4 및 도 5는 각각 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 CVD 장치용 새트라이트에 관하여 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 4 및 도 5는 새틀라이트의 포켓(35)에 커버(31)가 결합되는 결합구조에 관한 것인데, 기본적으로 커버(31)는 상기 포켓(35)에 착탈 가능하도록 결합하기 위한 결합부를 포함하고, 상기 포켓(35)은 상기 커버(31)의 결합부와 결합하여 상기 커버(31)가 상기 포켓(35) 상에 고정되도록 하는 피결합부를 포함하여 이루어진다.

도 4에서는 상기 결합부가 결합돌기(38a)로서 구비되고 상기 피결합부가 결합홈(38b)으로서 구비되는 경우에 관하여 도시하고 있다.

도 4에 도시된 바와 같이 커버(31)의 커버 몸체(32)의 하단에 구비되는 결합돌기(38a)는 포켓(35)의 상단에 마련되는 결합홈(38b)에 삽입 결합됨으로써 상기 커버(31)가 상기 포켓(35)에 결합한다. 물론 분리도 가능하다.

상기 결합돌기(38a)와 상기 결합홈(38b)의 위치는 서로 바뀌도록 구비되는 것도 가능하다.

한편, 도 5에서는 상기 결합부가 나사결합부(39a)로서 구비되고 상기 피결합부가 피나사결합부(39b)로서 구비되는 경우에 관하여 도시하고 있다.

상기 피나사결합부(39b)에 상기 나사결합부(39a)가 나사결합함으로써 상기 커버(31)가 상기 포켓(35)에 결합될 수 있으며, 나사결합이 풀림으로써 커버(31)가 포켓(35)으로부터 분리될 수 있다.

상기 도 4 및 도 5에 도시된 실시예에 관하여 상기한 결합구조에 관한 부분을 제외한 나머지 부분들에 관하여는 도 3에 도시된 실시예와 실질적으로 동일하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

한편, 도 6을 참조하여 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 새틀라이트에 관하여 설명한다. 도 6의 (a)는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 새틀라이트의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 6의 (b)는 도 6의 (a)에 도시된 새틀라이트의 평면도를 나타낸 도면이다.

도 6에 도시된 실시예에 따른 새틀라이트는 기본적으로 도 3에 도시된 실시예에 따른 새틀라이트와 동일한 구성을 가지며, 단지 커버(31)의 구조에 있어서 차이가 있다.

도 6의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 커버(31)는 커버 몸체(32)와 돌출지지부(33b)를 포함하여 이루어진다.

상기 커버 몸체(32)의 내면에는 개구부(34)가 마련되어 피증착체(50)가 CVD 장치의 반응로에 노출될 수 있도록 한다.

그리고 상기 포켓(35)에 수용된 피증착체(50)를 지지하도록 커버 몸체(32)의 내면으로부터 중심 쪽으로 소정 돌출되는 돌출지지부(33b)가 복수개 구비된다.

상기 돌출지지부(33b)는 피증착체(50)의 테두리 부분을 부분적으로 지지하도록 마련되는 것이다.

도 6의 (b)에 도시된 바와 같이 돌출지지부(33b)는 대략 90˚ 간격으로 4개 정도 구비되도록 함이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니고 4개 이상이든 이하이든 적절한 개수로 구비될 수 있다.

상기한 바와 같은 부분을 제외한 나머지 부분에 관하여는 실질적으로 도 3에 도시된 실시예에 따른 새틀라이트와 동일하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 종래의 CVD 장치의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 CVD 장치의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 3의 (a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 새틀라이트의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3의 (b)는 도 3의 (a)에 도시된 새틀라이트의 평면도를 나타낸 도면이다.

도 4 및 도 5는 각각 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 CVD 장치용 새트라이트에 관하여 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 6의 (a)는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 새틀라이트의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 6의 (b)는 도 6의 (a)에 도시된 새틀라이트의 평면도를 나타낸 도면이다.

Claims (12)

1. 서셉터 상에 회전 가능하도록 장착되며, 내부에 피증착체를 수용하는 포켓; 및

   상기 포켓의 상단을 덮으며 상기 포켓 내에 수용되는 피증착체의 테두리 부분을 지지하며 상기 피증착체의 증착이 이루어지는 부분이 외부로 노출되도록 개구부를 구비하는 커버;

   를 포함하는 CVD 장치용 새틀라이트.
2. 제1항에 있어서, 상기 커버는,

   상기 포켓과 결합하는 커버 몸체와,

   상기 커버 몸체로부터 연장되어 구비되어 피증착체의 테두리 부분을 지지하도록 마련되며, 내면에 상기 개구부가 마련되는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
3. 제1항에 있어서, 상기 커버는,

   상기 포켓과 결합하며, 내면에 상기 개구부가 마련되는 커버 몸체와,

   상기 커버 몸체로부터 내측으로 소정 돌출되어 구비되며 피증착체의 테두리 부분을 지지하도록 마련되는 복수개의 돌출지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
4. 제1항에 있어서, 상기 포켓은,

   상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며, 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는 지지스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
5. 제1항에 있어서, 상기 포켓은,

   상기 포켓의 내부 바닥면에 상기 피증착체의 테두리 부분과 대응되는 위치에 마련되는 그루브와,

   상기 그루브에 의해 마련되어 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 가지며 상기 피증착체의 하단을 지지하는 지지스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 커버는 상기 포켓에 착탈 가능하도록 결합하기 위한 결합부를 포함하고,

   상기 포켓은 상기 커버의 결합부와 결합하여 상기 커버가 상기 포켓 상에 고정되도록 하는 피결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
7. 제6항에 있어서,

   상기 결합부 및 상기 피결합부 중 어느 하나는 결합돌기를 포함하고,

   상기 결합부 및 상기 피결합부 중 다른 하나는 상기 결합돌기가 삽입되어 결합되도록 하는 결합홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
8. 제6항에 있어서,

   상기 결합부 및 상기 피결합부 중 어느 하나는 나사결합부를 포함하고,

   상기 결합부 및 상기 피결합부 중 다른 하나는 상기 나사결합부와 나사결합하도록 마련되는 피나사결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
9. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 커버 및 상기 포켓은 동일한 재질로써 만들어지거나 상기 커버와 상기 포켓이 각각 별개의 재질로써 만들어지도록 한 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
10. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 커버 및 상기 포켓 중 적어도 하나는 흑연, SiC, 티타늄, 몰리브덴 및 스테인리스 스틸 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
11. 제10항에 있어서,

    상기 커버 및 상기 포켓 중 적어도 하나는 흑연, SiC, 티타늄, 몰리브덴 및 스테인리스 스틸 중 어느 하나로 코팅되어 구비되는 것을 특징으로 하는 CVD 장치용 새틀라이트.
12. 피증착체에 대한 증착이 이루어지는 반응로를 구비하는 챔버;

    상기 반응로 내에 구비되어 적어도 하나의 수용홈을 구비하는 서셉터;

    상기 서셉터와 인접하여 구비되며 피증착체를 가열하는 가열수단; 및

    상기 서셉터의 수용홈에 회전 가능하도록 수용되며, 내부에 피증착체를 수용하는 포켓과, 상기 포켓의 상단을 덮으며 상기 포켓 내에 수용되는 피증착체의 테두리 부분을 지지하며 상기 피증착체의 증착이 이루어지는 부분이 외부로 노출되도록 개구부를 구비하는 커버를 포함하는 새틀라이트;

    를 포함하는 CDV 장치.

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