KR20100021651A - 밸브장치를 구비하여 기판에 유체를 도포하는 도포장치와, 이 도포장치를 세척하는 방법, 및 이 도포장치용 밸브장치 - Google Patents

밸브장치를 구비하여 기판에 유체를 도포하는 도포장치와, 이 도포장치를 세척하는 방법, 및 이 도포장치용 밸브장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20100021651A
KR20100021651A KR1020107000763A KR20107000763A KR20100021651A KR 20100021651 A KR20100021651 A KR 20100021651A KR 1020107000763 A KR1020107000763 A KR 1020107000763A KR 20107000763 A KR20107000763 A KR 20107000763A KR 20100021651 A KR20100021651 A KR 20100021651A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
valve
fluid
nozzle
piston
applicator
Prior art date
Application number
KR1020107000763A
Other languages
English (en)
Inventor
요한 아흐라이너
Original Assignee
제이. 짐머 마쉬넨바우 게젤샤프트 엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제이. 짐머 마쉬넨바우 게젤샤프트 엠베하 filed Critical 제이. 짐머 마쉬넨바우 게젤샤프트 엠베하
Publication of KR20100021651A publication Critical patent/KR20100021651A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/30—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages
    • B05B1/3033—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head
    • B05B1/304—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head the controlling element being a lift valve
    • B05B1/3046—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head the controlling element being a lift valve the valve element, e.g. a needle, co-operating with a valve seat located downstream of the valve element and its actuating means, generally in the proximity of the outlet orifice
    • B05B1/3053—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head the controlling element being a lift valve the valve element, e.g. a needle, co-operating with a valve seat located downstream of the valve element and its actuating means, generally in the proximity of the outlet orifice the actuating means being a solenoid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/027—Coating heads with several outlets, e.g. aligned transversally to the moving direction of a web to be coated
    • B05C5/0275—Coating heads with several outlets, e.g. aligned transversally to the moving direction of a web to be coated flow controlled, e.g. by a valve
    • B05C5/0279—Coating heads with several outlets, e.g. aligned transversally to the moving direction of a web to be coated flow controlled, e.g. by a valve independently, e.g. individually, flow controlled
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
    • B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/14—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening
    • B05B1/20—Arrangements of several outlets along elongated bodies, e.g. perforated pipes or troughs, e.g. spray booms; Outlet elements therefor

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)

Abstract

기판에 유체를 도포하는 도포장치의 밸브장치(2.1)는 밸브 본체(15.1)과, 내부챔버(8.1)와 밸브 시트(41.1)를 갖춘 밸브 하우징(4.1), 공급유체챔버(11.1), 밸프 피스톤(51.1)과 조정 피스톤(61.1)을 갖춘 전자기 밸브 작동장치(5.1)로 이루어진다. 밸브장치(2.1)는 밸브 피스톤(51.1)을 위한 장착 개구부(13.1)를 갖춰, 노즐 측면 위 바닥에서 밸브 본체(15.1)를 차단하는 노즐 플레이트(121.1)를 구비한다. 밸브 하우징(4.1)은 아래로부터 장착 개구부(13.1)를 끼워 넣고 제거할 수 있는 차단부재(14.1)인 노즐 오리피스의 형태로 되어 있다. 밸브 노즐(13.1)은 밸브 하우징(14.1)의 일부를 형성한다. 밸브 피스톤(51.1)은 차단부재(14.1)가 제거된 경우에 제거 및 끼워 맞춤을 위해서 노즐 플레이트(121.1)의 장착 개구부(13.1)를 통해 노출된다. 밸브장치(2.1)는 공급유체챔버(11.1)를 밸브 시트(41.1)에 연결하는 하나 이상의 직선형 유체덕트(7.1)를 구비한다. 밸브 피스톤(51.1)과 함께 조정 피스톤(61.1)의 일부는 상기 노즐 오리피스 차단부재(14.1)가 제거될 경우 상기 장착 개구부(13.1)를 통하여 세척하기 위해 노출되는 직선의 유체덕트(7.1)의 벽(71.1)을 형성한다. 도포장치(1)는 일렬로 배열된 밸브장치(21)를 구비한다.

Description

밸브장치를 구비하여 기판에 유체를 도포하는 도포장치와, 이 도포장치를 세척하는 방법, 및 이 도포장치용 밸브장치 {Applicator for applying fluid to a substrate, comprising valve mechanisms, method for cleaning said applicator, and valve mechanism for said applicator}
본 발명은 기판에 유체를 도포하는 도포장치에 관한 것으로, 일렬로 배열되고 압력상태로 유체를 방출하는 도포 밸브 노즐을 각각 설치하고 도포 밸브 노즐을 개폐하여서 유체의 방출을 조절하도록 밸브 작동장치에 병합되어 있는 밸브 장치를 구비하고, 유체로부터 압력의 영향을 받을 수 있고 유체의 인도를 위해서 서로 도포 밸브 장치를 연결하는 공동의 분배유체챔버를 구비하며, 분배유체챔버는 분배유체챔버 내에 가압 상태의 유체가 일렬의 도포 밸브 장치를 따라 분배되는 방식으로 배열되어 있는 유체흡입덕트를 구비한다. 본 발명은 또한 도포장치를 세척하는 방법 뿐만 아니라 이 도포장치를 위한 밸브장치에 관한 것이다.
전자기적으로 작동되는 밸브를 설치한 도포 장치에 관한 것이다. 밸브는 기판, 예컨대 재료의 편평한 끈 혹은 표면부 상에 2차원 도포를 가질 수 있는 점 혹은 줄표로 도포하도록 개별적인 작동으로 개폐된다. 임의의 액체 물질은 도포 유체, 특히 착색도포를 위해서 잉크 혹은 염료로 적합하다. 또한 접착제, 코팅제 등과 함께 코팅 혹은 함침이 실행될 수 있다. 작동이 도포 양, 도포 범위, 도포될 패턴 및/또는 기호를 결정한다.
도포 장치의 세척 및 유지가 특히 중요하다. 밸브 노즐은 예컨대 60~150 마이크로미터의 직경을 갖는다. 밸브 노즐과 밸브 장치에 유체경로는 미립자 혹은 미세한 침전물로 용이하게 차단될 수 있다. 일반적인 도포 장치는 밸브 장치를 결합하여 공급하는 분배유체챔버를 세척하기 위해 종종 완전히 해체된다. 최초 조립 후에, 오염이 발생한다. 작동되는 동안에 침전물이 발생하여 고장을 야기한다. 또한 만약 도포 물질이 교체되면 다시 말하자면 예컨대 색상의 변화가 이루어지면, 특정한 세척이 필요로 한다. 그런 다음에, 일반적으로 종래의 도포 장치는 이들의 구성부재들에서 완전히 혹은 대체적으로 해체되어야만 하고, 후속 조립 후에, 별도의 미세 측정장치를 사용하여 상당한 노력으로 조정해야할 필요가 있다. 여기서, 본 발명은 개선 방안을 구비한다.
본 발명은 도포 장치와 이의 밸브 장치의 세척을 향상하고 단순화하는 목적을 기본으로 한다. 도포장치와 밸브장치는 밸브 노즐의 설정 조정을 유지하면서 비록 해체되지 않고서도 다양한 경우를 통해 효과적이면서 쉽게 세척될 수 있다.
본 발명의 목적은 여기에서 언급된 유형의 도포장치의 특징들과 결합하여 성취되되, 하나 이상의 세척 밸브장치가 분배유체챔버에 연결하기 위하여 일렬의 도포 밸브장치와 병합되고 세척 밸브 노즐에 끼워 넣어지며 분배유체챔버의 하나 이상의 유체흡입덕트와 병합된 세척 밸브 노즐을 개폐하도록 밸브 작동장치와 병합되는데, 공동의 분배유체챔버를 세척하기 위해서 세척 밸브 노즐이 개방될 경우, 유동경로가 유체흡입덕트와 하나 이상의 병합된 세척 밸브장치 사이에 분배유체챔버에 형성된다.
본 발명의 목적은 본 발명에 따른 도포장치를 세척하기 위해서 본 발명에 따른 방법을 포함하는 것으로, (ⅰ) 서로 병합된 세척 유도경로를 따라 일렬로 밸브장치를 연결하는 유체유동챔버가 가압된 세척 유체를 허용하고, (ⅱ) 도포 밸브 장치가 차단되는 한편 세척 유동경로와 병합된 세척 밸브장치의 세척 밸브 노즐이 개방되며, (ⅲ) 그런 다음에, 분배유체챔버가 가압된 세척 유체를 허용한 경우에 세척 밸브장치의 세척 밸브 노즐이 차단되고 도포 밸브 장치가 개방되게 한다.
바람직하기로, 특히 도포장치에서 일렬로 다수개로 배열되어 기판에 유체를 도포하는 본 발명에 따른 도포장치의 밸브장치는, 압력상태로 유체를 방출하기 위해 밸브 노즐과 함께 밸브 시트를 구비한 밸브 하우징, 유체 압력에 영향을 받을 수 있는 공급유체챔버, 밸브 노즐을 개폐하도록 밸브 시트에 결합되어 복귀력에 대해서 전후방향으로 이동할 수 있는 밸브 피스톤을 갖춘 전자기 장치로 형성된 밸브 작동장치, 및 밸브 피스톤의 작동에 대한 피스톤 고정자로 이루어지는데, 밸브 작동장치는 공급유체챔버와 밸브 하우징 사이에 배열되고, 밸브 노즐과 함께 밸브 하우징은 밸브 노즐을 갖춘 밸브장치의 노즐 측면 상에서 탈착가능하게 장착되어, 밸브 피스톤은 밸브 하우징이 제거될 경우 밸브 피스톤이 자유롭게 되며, 밸브장치가 유동 코너에서 자유롭게 보장하고 밸브 작동장치를 지나가며 공급유체챔버를 밸브 시트에 연결하고, 밸브 피스톤과 피스톤 고정자의 일부가 밸브 하우징이 제거될 경우에 자유롭게 직선의 유체덕트의 벽을 형성하고, 피스톤 고정자가 피스톤 행정을 설정 혹은 조정하도록 행정의 거리에서 변위가능하도록 장착된 조정 피스톤으로 형성된다.
본 발명에 따른 도포장치는, 특히 유체와 함께 도포장치의 모든 밸브장치를 공급하는 분배유체챔버가 도포장치의 개방 혹은 해체 없이도 쉽고 효과적으로 세척될 수 있다는 것이다. 세척 밸브장치는 본 발명에 따라 설계되어 있는바, 세척 노즐이 개방되고 도포노즐이 차단될 경우, 공동의 유체챔버는 가압상태의 세척 유체가 고속으로 강제로 분사되어 분배유체챔버를 통해 오염물질을 반출하여서 세정된다. 분배유체챔버를 통해 세적 유동경로를 형성하기 위해서, 세척 밸브장치의 밸브노즐은 비교적 큰 노즐 유동 단면을 갖는다. 이 노즐 단면은 유체 도포용으로 적합하지 않다. 결과적으로, 세척 밸브장치는 도포 밸브장치와는 결정적으로 다르다. 다른 한편으로, 도포장치의 세척 밸브장치와 도포 밸브장치는 밸브 제어를 간단하게 하고 도포장치를 저렴하게 제작하기 위해서 동일하거나 일치되게 설계된다.
본 발명에 따른 도포장치에 관해, 특히 효과적인 세척방법이 실행될 수 있다. 그러므로 만약 도포 밸브장치는 단계 ⅰ) 내지 ⅲ)이 전기 제어수단을 사용하는 프로그램의 제어로 실행되어 세척되되, 밸브 노즐은 밸브 작동장치의 제어로 개폐되며, 단계 ⅲ)에서 도포 밸브장치는 도포 밸브 노즐을 개방하기 위해서 개방된다. 바람직하기로, 도포 밸브장치는 각각의 경우에 개별적으로 하나씩 개방되는 한편, 다른 도포 밸브 노즐은 차단되어 있다. 만약 도포 물질 혹은 다른 적당한 세척 유체를 분해하는 세척제를 필요로 한다면, 적당한 물이 세척용 유체로서 사용된다.
노즐 개방의 제어된 개폐를 포함한 세척 방법의 제어는 이러한 목적을 위해 설계된 전자 프로세서 제어장치로 간단하게 발생할 수 있는데, 후자는 방법 단계의 후속을 나타내고 이를 실행한다. 이러한 제어장치는 통상적인 방식, 예컨대 방법의 단계를 재현하는 프로그램에 연계된 컴퓨터로 설계될 수 있다.
비록 세척 밸브장치와 유체흡입덕트 사이에 각각 배열된 본 발명에 따른 다수 그룹의 밸브장치가 하나의 도포장치에 형성되어도, 본 발명의 바람직한 실시예는 유체흡입덕트와 이에 병합된 세척 밸브장치가 단독으로 구비되되, 도포장치의 모든 도포 밸브장치가 다른 유체흡입덕트와 다른 세척 밸브장치 사이에 배열된다. 특히 이러한 배열에서, 만약 세척 밸브장치의 세척 밸브 노즐이 도포 밸브장치의 도포 밸브 노즐의 대응하거나 큰 유동 단면보다 몇 배 큰, 바람직하기로 10배 큰 유효 유동 단면을 갖는다면, 분배유체챔버를 지나는 효과적인 세척 유동경로가 생성된다.
특히 착색 도포용 본 발명에 따른 도포 장치는 1개의 세척 밸브장치와 8개의 도포 밸브장치를 구비한다. 하지만. 더 작은 갯수, 예컨대 5개의 노즐을 갖춘 도포 노즐을 갖추거나 더 많은 갯수, 예컨대 15개의 노즐을 갖춘 도포 노즐을 갖춘 도포장치가 특히 실용적인 것으로 입증되었다. 바람직하기로 5개에서 15개의 도포 밸브장치를 갖춘 도포 유닛은 열과 행으로 배열된 노즐을 갖춘 도포 장치에 동일한 모듈부재로 조립된 모듈부재와 같이 설계되는 것이 적당하다. 이러한 도포 모듈부재는 소켓연결 및/또는 나사연결로 조립될 수 있다.
본 발명에 따른 도포장치는 바람직한 실시예에서 전자기로 작동하는 밸브장치를 구비한다. 본 발명에 따른 세척 밸브장치의 배열에 결합하여, 특정한 장점이 이뤄질 수 있다.
본 발명에 따른 도포장치의 전자기 실시예는, 밸브장치의 밸브 작동장치가 밸브장치의 밸브 노즐을 구비한 도포장치의 노즐 측면과 분배유체챔버 사이 공간에서 일렬로 배열되도록 구성되되, 각각의 밸브 작동장치는 복귀력에 대해서 전후방향으로 이동할 수 있는 밸브 피스톤을 갖춘 전자기 장치로 이루어지고, 각 밸브장치는 밸브 노즐을 상호작용하여 개폐하도록 병합된 밸브 피스톤을 갖춘 밸브 노즐과 밸브 시트를 구비한 밸브 하우징을 구비하고, 각 밸브장치는 밸브 피스톤이 작동하는 것에 대한 피스톤 고정자를 갖도록 되어 있으며, 피스톤 고정자는 피스톤 행정을 설정 및 조정하도록 행정의 거리에서 변위가능하도록 장착된 조정 피스톤으로 형성되며, 각 밸브장치는 유동 코너에서 자유롭게 보장하고 공동의 유체챔버를 밸브 시트에 연결하고, 밸브 피스톤과 조정 피스톤의 일부가 직선의 유체덕트의 벽을 형성하며, 도포장치의 노즐 측면 상에 각 밸브장치는 차단부재가 분리가능하고 밸브 하우징이 제거되면 밸브장치에서 제기된 밸브 피스톤을 자유롭게 하는 밸브 하우징에 장착 개구부와 피스톤 벽을 이루는 직선의 유체덕트를 구비한다.
본 발명에 따른 세척 밸브장치와 이로 인해 형성된 세척 유동경로에 결합되어, 전자기 밸브를 장착한 본 발명에 따른 전술된 밸브장치는 분배유체챔버와 도포 밸브 노즐 사이에 밸브유체덕트를 세척하는 데에 유용하다. 그러므로 본 발명에 따라, 우선적으로 분배유체챔버의 세척이 고속의 유체 유동으로 실현되고 공급유체덕트에서 세척 밸브 노즐까지 오염물을 반출하는 세척 유체의 상당한 흐름이 만들어진다. 공동의 분배유체챔버가 우선 세척되도록, 개별적인 도포 밸브장치가 전술된 바와 같이 적당히 연속적으로 고압으로 세정될 수 있다. 오물이 분배유체챔버와 이에 병합된 도포 밸브 노즐 사이에서 세정된 밸브 유체덕트로 이미 세정되어 있어 분배유체챔버를 통과할 수 없다. 유체코너에서 자유롭게 보장된 직선형 밸브유체덕트는 훌륭한 세정(flushing)을 보장한다. 언더컷(undercut), 데드 코너(dead corner), 느린 유속에서의 영역 등과 같은 이유로 해서 공지된 도포장치에서 야기되는 유동 섀도우(flow shadow)가 제거된다. 특히 효과적인 탈기(deaeration)가 조정 피스톤과 밸브 피스톤의 벽면으로 운행하는 직선의 유동경로로서 달성되기 때문에, 유해한 공기거품이 제거된다. 각각의 경우에 개별적으로 개방되는 도포 밸브로, 세척 유체가, 도포 장치가 제거되지 않은 채로, 분배유체챔버와 밸브 시트 혹은 그 위에 배열된 밸브 노즐 사이의 경로를 세척한다. 주요한 장점은 밸브의 조정 피스톤이 조정 피스톤을 갖춘 밸브 피스톤 세트의 조정 위치가 유지되도록 놓인다.
적당하게, 밸브 노즐은 밸브 하우징의 일부를 형성한다. 노즐 오리피스가 형성된다. 다른 크기의 노즐을 갖춘 밸브 노즐용 밸브 하우징을 교체하여, 다른 정도의 정밀도와 유체 정량(잉크 정량)이 도포를 위해서 달성될 수 있다.
전술된 실시예의 다른 장점은, 분배유체챔버가 본 발명에 따라서 세척된 후에, 분배유체챔버와 이와 병합된 도포 노즐 사이의 유체덕트는 탈착가능하게 장착된 밸브 하우징이 주 오염원에서 제거되어 세척될 수 있다. 밸브 하우징과 밸브 피스톤은 도포장치의 노즐 측면 상에서, 즉 도포면을 형성하는 장치의 하부 측면 상에서 쉽게 제거되고 재장착된다. 만약 유체의 변경, 예컨대 색깔의 변경을 만들면, 이와 같은 부분적인 해체가 필요할 수 있다. 종래의 도포장치와는 달리, 도포장치의 상부 측면 혹은 후미 측면 상에 이러한 목적을 위해 배열된 조정 장치가 해체되지 않는다. 이는 조정장치가 손상에 대해서 매우 민감하기 때문에 상당한 장점이다. 경미한 손상이 약간 마이크로미터의 범위에서 이미 오류 조정될 수 있다. 본 발명에 따른 세척 밸브장치와 함께 분배유체챔버의 세정은 도포장치의 상부면/후미면에서 일어나는 해체없이도 세척을 위해서 조정피스톤을 덮어씌운다.
심지어 단일 형태로 된 본 발명에 따른 도포장치의 밸브장치는 공급유체챔버와 밸브 노즐 사이에 직선의 밸브덕트경로를 따라서 직선의 길이방향 유동이 일어나게 한다. 길이연장된 구조는 유동 섀도우를 제거하는바, 그렇지 않다면 이 유동 섀도우가 언더컷, 데드 코너, 느린 유속의 영역 등 때문에 야기된다. 이미 기술된 바와 같이 단일 밸브장치가 세정을 통해서 특히 세척될 수 있다. 길이방향의 유동으로 인하여, 전자기 장치의 내부영역, 즉 부분적으로 조정 피스톤과 밸브 피스톤을 에워싸는 자석코일이 효과적으로 냉각된다. 이는 밸브장치의 수명에 상당한 효과를 가져온다. 밸브장치의 구조와 조립이 특히 쉬어진다.
덧붙여서, 단일형 밸브장치는 도포장치의 밸브장치와 결합되는 장점을 가지고 있다. 주요 억제의 경우, 밸브 하우징은 쉽게 제거될 수 있다. 장착 개구부는 대형으로 밸브 피스톤이 쉽게 빠질 수 있다. 여기서, 밸브유체덕트 혹은 피스톤 챔버는 노즐 측면, 즉 아래방향을 향하여 개방된다. 가압상태의 세척 유체로 세정함으로써, 밸브유체덕트와 피스톤 챔버는 이를 통해 세정되고, 임의의 더러운 입자들이 아래방향으로 흘려 버려진다. 조정 피스톤과 조정 장치는 해체되지 않는다. 설정 조정이 장치의 작동중, 즉 도포 중에 더욱 정밀하게 될 수 있다.
종속항은 다른 적당하고 유용한 본 발명의 실시예를 목적으로 한다. 특히, 본 발명의 적당하고 유용한 실시예 혹은 바람직한 구조는 개략도에 도시된 실례의 내용을 통하여 더욱 상세하게 기술된다.
이상 본 발명의 설명에 의하면, 본 발명은 별도의 해체작업 없이도 도포 장치와 이의 밸브 장치의 세척 및 유지를 향상하고 단순화하는 목적을 기본으로 한다. 특히, 유지 및 세척이 밸브 노즐의 설정 조절을 유지하면서 효과적이면서 쉽게 실현할 수 있도록 한다.
도 1a 내지 도 1d는 본 발명에 따른 8개의 도포 밸브 노즐과 1개의 세척 밸브 노즐을 갖춘 본 발명에 따른 도포장치를 엑소노메트릭 기법으로 도시한 도면과 측면도이다.
도 2는 도 1a 내지 도 1d에 따른 도포장치의 길이방향 단면도이다.
도 3은 도 2의 D 부분에 대한 상세도이다.
도 4는 본 발명에 따른 단일형 밸브장치의 도면이다.
도 1a 내지 도 1d에 도시된 본 발명에 따른 도포장치는 하부 소켓부(151)와 상부 덮개부(152)로 구성된 박스형상의 밸브 본체(15)로 이루어진다. 하부(151)는 밸브 노즐(3)을 수용하는 협소하게 길게 뻗은 노즐 플레이트(121)로 폐쇄된다. 밸브 노즐(3)은 노즐/도포 측면(12) 상에 직선으로 일렬로 배열된다. 반대쪽 측면 상에, 도포장치(1)가 전기 플러그-인 연결부(17)와 도포 유체를 위한 연결 개구부(16)를 구비한다. 실례에서, 밸브 노즐(3)의 열은 8개의 도포 밸브 노즐(31)과 이 노즐의 열에 근접한 1개의 세척 밸브 노즐(30)로 형성된다. 세척 밸브 노즐(30)은 연결 개구부(16)와 반대쪽으로 노즐의 열 끝에 배열된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 밸브 본체(15)는 전력 스위칭장치(9)에 연결된다. 이 스위칭장치(9)는 상부(152)의 캡(153)에 플러그-인 연결부(18)의 프레임(19)을 수단으로 하여 연결된다. 이러한 연결에서, 스위칭장치(9)는 플랫-스트립 케이블 연결을 사용하지 않고서 플러그-인 연결부(17)를 매개로 직접 밸브 본체(15)에 전기연결된다. 전기 플러그-인 연결부(17)는 도포장치(1)의 전자기 밸브 작동장치(5)에 도시되지는 않았지만 전기연결을 구현한다.
도 2 및 상세한 도 3은 실시예에서 본 발명에 따른 도포장치(1)의 밸브장치(2)의 구조와 형상을 도시한다.
하부(151)에 서로 직선으로 일렬로 9개의 밸브장치(2)를 수용하는 오목부를 형성한다. 열의 한 단부에서, 밸브장치(20)는 세척 밸브 노즐(30)을 설치한 본 발명에 따른 세척 밸브장치로 되어 있다. 나머지 8개의 밸브장치(21)는 정상작동 중에 가압상태의 도포 유체를 방출하는 밸브 노즐(31)의 도포 밸브장치이다.
밸브 본체(15)의 상부(152)에는 한쪽 측면에서 유체흡입덕트(110)을 매개로 연결 개구부(16)로 가압된 유체를 공급할 수 있는 분배유체챔버(11)를 형성한다. 챔버는 밸브장치(2)의 열을 따라서 뻗되, 실제로 원형 단면을 갖는 길이연장된 덕트의 형태로 되어 있다. 분배유체챔버(11)는 밸브 작동장치(5)를 향해 접촉하는 면 상에 일정한 간격으로 개구부(73)를 구비한다. 이는 하부(151)에 관통-보어(70) 혹은 관통-구멍의 개구부(73)에 들어간다. 관통-보어(70)은 노즐 플레이트(121)의 장착 개구부(13)에 맞물리는 돌출부(154)으로 전개된다.
하부(151)와, 바닥에서 하부와 인접해 있는 노즐 플레이트(121), 및 상부에서 하부와 인접해 있는 상부(152)와 캡(153)은 상세하게 도시되지 않았지만 나사연결로 함께 적당하게 결합된다. 본 발명으로 달성될 장점은, 도포장치(1)가 세척될 경우에 이 부분들이 장착된 상태로 유지된다는 것이다.
도 1a 내지 도 1d에는 유체흡입덕트(110)과 마주보는 단부에 밀봉되게 차단된 유체분배덕트(111)를 갖춘 차단부재(155)를 도시할 수 있다. 이 차단부재는 필요하다면 분배유체챔버(11)을 탈기하는 데에 사용될 수 있다. 본 발명에 따른 측정 때문에, 하지만 도포장치(1)를 세척하기 위해 이 차단부재(155)를 제거할 필요는 없다. 심지어 탈기는 예외로서만 발생한다.
밸브장치(2), 즉 세척 밸브장치(20)와 도포 밸브장치(21)는 기본적으로 동일하고 일치되게 설계된다. 하지만, 본 발명에 따라, 열의 끝에서 세척 밸브장치(20)는 각각의 도포 밸브장치(21)의 도포 밸브 노즐(31)의 유동 단면보다 실제로 큰 유동 단면을 갖는 세척 밸브노즐(30)을 설치한다는 차이점을 갖는다. 이 실시예에서, 도포 밸브 노즐(31)은 동일한 유동 단면을 갖는다. 실시예에서, 세척 밸브 노즐(30)의 유동 단면은 도포 밸브 노즐(31)의 유동 단면보다 10배 크게 되어 있다.
9배로 구비된 밸브장치(2)가 아래에서 기술된다.
전자기 밸브장치(2)는 밸브 본체(15)에 배열된 밸브 작동장치(5)와, 밸브 노즐(2)과 밸브 시트(41)를 갖춘 밸브 하우징(4), 밸브 피스톤(51), 및 밸브 피스톤(51)의 작동에 대한 조정 피스톤(61)을 갖춘 조정장치(6)로 이루어진다. 밸브 노즐(3)을 갖춘 밸브 하우징(4)은 스크류식 노즐 오리피스를 형성한다.
밸브 작동장치(5)는 관통-보어(70)를 둘러싸는 자석 코일(50)을 갖춘 전자기 장치로 설계되어 있다. 밸브 피스톤(50)이 관통-보어(70)로부터 돌출부(154) 위를 지나 내부챔버(8)를 향해 아래방향으로 돌출한다. 밸브 피스톤(51)이 자석 코일(50)의 전자석 전기자를 형성하고 관통-보어(70)의 자석 코일(50)로 들어간다. 밸브 피스톤(51)은 관통-보어(70) 중심에 장착된다. 본 발명에 따른 적당한 다수의 장착점(미도시)이 구비된다. 이는 밸브 피스톤(51)의 길이방향 원주면에서 120°로 오프셋된 3개의 노브(knob)로 형성될 수 있다. 그러므로, 밸브 피스톤(51)의 길이방향 원주면과 관통-보어(70)의 보어 벽면 사이에 환형상의 틈새가 형성된다. 관통-보어(70)와 밸브 피스톤(51)은 적당한 원형 단면을 갖는다.
자석코일(50)에 놓인 밸브 피스톤(51)의 후면은 조정 피스톤(61)의 적합한 피스톤 고정자(60)에 인접한다. 조정 피스톤(61)은 분배유체챔버(11)의 측면에서 관통-보어(70)에 자석코일(50)로 들어간다. 과정에서, 조정 피스톤(61)이 자석코일(50)의 2/3까지 뻗는 한편, 밸브 피스톤(51)은 나머지 1/3 만큼 뻗는다. 관통-보어(70) 혹은 관통-구멍은 공동의 피스톤 챔버를 형성하여 2개의 피스톤이 유지된다. 조정장치(6)는 유체흡입개구부(73)을 갖춘 벽과 반대쪽에 놓인 분배유체챔버(11)의 벽면 상에 형성된 나사연결부(63)를 구비한다.
조정 피스톤(61)은 밸브 피스톤(51)과 같이 동일한 단면형상을 갖는바, 2개의 피스톤이 정렬된다. 조정 피스톤(61)은 나사연결부(63)의 나사장착으로 관통-보어(70)의 중심에 위치된다. 그럼으로써, 조정 피스톤(61)의 길이방향 원주와 관통-보어(70)의 벽면 사이에 환형상의 틈새를 형성한다. 관통-보어(70)에서 조정 피스톤(61)과 밸브 피스톤(51)을 따라서 2개의 환형상의 틈새가 링-챔버 덕트(72)의 형태로 밸브 유체덕트(7)를 형성한다. 밸브 유체덕트는 유체흡입덕트(73)에서 돌출부(154)의 배출 개구부(74)까지 뻗는다. 링-챔버 덕트(72)는 2개의 피스톤(51,61)과 관통-보어(70)를 따라서 유동 섀도우를 형성하는 코너와 엣지에서 자유롭게 자유롭게 보장된 직선형 유동경로를 형성한다. 이 점에 있어서, 조정 피스톤(61)과 밸브 피스톤(51)이 폐쇄면과 접촉한다. 실례에서 접촉면들 사이에서 행정 거리는 약 0.5㎛이다. 모든 경우에, 2개의 피스톤(51,61)의 폐쇄단면과 행정 거리는 유체관통 링-챔버 덕트(72)가 부드럽고 직선 경로를 방해하지 않도록 유지된다.
조정 피스톤(61)은 링-챔버 덕트(72)의 유체흡입개구부(73)에서 분배유체챔버(11)로 뻗는다. 조정 피스톤(61)의 단면은 분배유체챔버(11)의 유동 단면에서 비교적 작게 유지되되, 분배유체챔버(11)에 유체흡입개구부(73)를 향하여 큰 유동 단면을 획득할 수 있다.
밸브 하우징(4)은 부착 및 제거가 용이한 차단부재(14)로 된 노즐 오리피스의 형태로 설계된다. 밸브 하우징(4)은 외부 나사산을 갖춘 회전 고리부로 형성되고 노즐 플레이트(121)에 내부에 나사산을 형성한 장착 개구부(13)에 제거가능하게 나사연결부로 나사체결된다. 밸브 하우징(4)은 노즐/도포 측면(12)에 대해 인접하는 엣지 오리피스를 갖춘 외부에서 종결된다. 밸브 노즐(3)은 밸브 하우징(4) 중심에 끼워 넣는다. 바람직하기로, 세라믹으로 만들어지고 가압되어 밸브 하우징(4)에 확실하게 삽입될 수 있다.
밸브 하우징(4)은 돌출부(154)에 정밀하고 중심에 수용하도록 돌출부(154)와 대응하는 절두된 원뿔형상의 내부챔버(8)를 갖춘다. 덧붙여서, 밸브 하우징(4)의 내부챔버(8)는 밸브 작동장치(5)의 부분을 형성하는 프리텐션된 원뿔형 스프링(52)을 수용하도록 설계되어 밸브 노즐(3)을 차단하도록 밸브 피스톤(51)의 헤드 차단부재(54)를 가압한다. 밸브 피스톤(51)의 측면 상에 밸브 노즐(3)이 헤드 차단부재(54)를 갖춘 밸브 피스톤(51)으로 맞물리는 밸브 시트(41)로 오목하게 된다. 이 과정에서, 밸브 피스톤(51)에 안착될 원뿔형 스프링(52)은 돌출부(154)의 환형상의 엣지와 밸브 피스톤(51)의 헤드단부에서 환형상의 엣지 사이에서 프리텐션된 상태로 고정 혹은 체결된다.
여기서 상세하게 설명되지 않고 도면에 도시되었듯이, 도포장치(1)의 구성부재들은 예컨대 O-링과 같은 일반적인 밀봉 방식으로 유체-안내챔버와 덕트의 영역에서 접촉 형성-체결면에 서로 밀봉되어 있다.
특히 도 2 및 도 3을 참조로 하여, 밸브장치(20)의 세척 작업과 본 발명에 따른 방법 단계의 실행을 도해한다.
분배유체챔버(11)는 유체흡입덕트(110)를 매개로 가압된 세척 유체를 인도한다. 이는 모든 밸브장치(2)가 차단된 상태에서 일어난다. 도 2 및 도 3에서, 도면을 명료하게 하기 위해서 세척 밸브 노즐(30)만이 노즐 플레이트(121)에 삽입된다. 본질적으로, 모든 밸브장치(2)를 차단하기 위해서 나머지 밸브 하우징(4)이 개별적으로 노즐 플레이트(121) 상에 장착된다. 만약 도포 물질을 용해하는 특정한 세척제를 필요로 한다면, 적당한 물이 세척용 유체로서 사용된다.
도포 밸브장치(21)가 이제 차단된 채로 되어 있지만, 세척 밸브 노즐(30)은 밸브 작동장치(5)와 병합되어 개방된다. 밸브 피스톤(51)이 조정 피스톤(61)을 향해 행정 거리 이상으로 원뿔형 스프링(52)의 힘에 대해서 이동하여, 세척 유체가 가압상태로 세척 밸브 노즐(30) 밖으로 유출된다. 세척 밸브노즐(30)은 전술된 바와 같이 비교적 큰 유동 단면을 갖는다. 결과적으로, 유체는 유체흡입덕트(110)에서 분배유체챔버(11)의 경로(100)를 따라 고속의 유속으로 세척 밸브장치(20)의 링-챔버 덕트(72)를 관통해 세척 밸브노즐(30)로 지나간다. 모든 밸브장치(2)를 지나가는 유동경로(100)를 따라서, 입자 혹은 침전물과 같은 오염물이 분배유체챔버(11)에서 효과적으로 제거된다. 이는 직선형 링-챔버 덕트(72)가 방해되지 않는 아주 작은 입자를 유발한다. 큰 노즐 개구부로 인하여, 매우 미세한 오염물을 반출하는 고속의 유동이 발생한다. 세척 밸브 노즐(30)의 유동 단면이 매우 커서 이 노즐은 도포에는 적합하지 않고 이를 위해서 사용되지 않는다. 세척 밸브장치의 조정장치(6)의 행정은 밸브 노즐(30)의 유동 단면이 진가를 발휘하도록 길게 설정된다.
분배 밸브챔버(11)가 전술된 방식으로 세정된 후에, 세척 밸브장치(20)가 밸브 작동장치(5)를 꺼서 차단된다. 도포 밸브장치(21)는 병합된 밸브 작동장치(5)의 작동으로 연속적으로 개방된다. 다시 말하자면, 연속적으로 도포 밸브 노즐(31) 중 하나만이 개방되는 한편, 나머지 도포 밸브 노즐(31)은 폐쇄상태를 유지한다. 분배유체챔버(11)가 가압된 세척 유체를 공급한다. 이러한 방식으로, 링-챔버 덕트(72) 뿐만 아니라 도포 밸브 노즐(30)을 구비하고 원뿔형 스프링(52)를 수용하는 밸브 하우징(4)의 내부챔버(8)의 효과적인 세척 및 세정작업이 각 도포 밸브 노즐(31)에서 달성된다.
가압상태의 세척 유체의 후속 도포 뿐만 아니라 세척 방법을 위해서 실행되는 밸브장치(2)의 개방 및 폐쇄는 전기 제어장치로 바람직하게 실현된다. 전기 제어장치는 제어프로그램으로 설계되되, 후속 방법 단계가 미리 결정되고 본 발명에 다른 방식으로 실행될 수 있다. 컴퓨터의 일반적인 전기 제어수단 및/또는 도포제어용 논리 회로가 전기 제어장치로 사용될 수 있는바, 추가로 본 발명에 따른 프로그램 단계가 통합된다. 이러한 유형의 전지 제어장치는 도면에 도시하지 않는다. 논리 회로기판을 사용하도록 전력장치(9)의 전기접지(91)에 유선연결된다.
전술된 실례에 세척 방법에 따라, 도포장치(1)는 특히 최초 조립후에 효과적으로 세정된다. 도포장치(1)의 조정장치(6)가 장착되어 도포장치의 상태에서 세척 및 세정작업이 이루어지는 것이 상당한 장점이다. 노즐 플레이트(121)와 반대쪽인 도포장치(1)의 측면 상에서, 해체를 위한 작업이 이루어지지 않는다.
특정한 경우, 즉 밸브장치 내에 주 오염물질이 제거되면, 세척 밸브장치(20)의 세척 밸브 노즐(30)을 개방하여 분배유체챔버(11)의 세정이 우선적으로 본 발명에 따라서 실현되는 반면 도포 밸브장치(20)는 차단되고, 그런 다음에 도포 밸브장치(21)의 밸브 하우징(4)이 연속적으로 나사체결을 분리하고 재장착되어, 매번 오직 하나의 도포 밸브장치(21)만이 세척된다.
밸브 하우징(4)의 제거는 특히 간단하다. 밸브 하우징(4)이 제거된 후에, 장착 개구부(13)가 밸브 피스톤(51)과 원뿔형 스프링(52)을 노출하여, 장착 개구부(13)를 통해 아래방향으로 쉽게 제거될 수 있다. 그런 다음에, 세정작업이 예컨대 물 혹은 특정 세척제를 고압상태로 하여 발생한다. 밸브 피스톤(51)과 원뿔형 스프링(52) 및 밸브 노즐(3)을 갖춘 밸브 하우징(4)이 개별적으로 세척된다. 덧붙여서, 세척작업이 완료되면 세척 밸브장치(20)의 밸브 하우징(4)이 제거될 수 있는 한편, 도포 밸브장치는 그런 다음에 폐쇄되고 물로 세정된다. 이러한 측정들은 예외적으로 주 오염물질이 있는 곳에서만 발생한다. 대부분의 경우에, 도포 밸브장치(21)는 밸브 하우징(4)(노즐 오리피스)를 제거하지 않고서 본 발명에 따라 특히 효과적으로 세척될 수 있다.
추후에 기술될 세척 방법에서, 조정장치(6)가 장착된 상태로 있는 것이 중요하다. 처리작업이 도포장치(1)의 하측면에서만 필요하다.
각각의 도포 밸브장치(21)가 밸브 피스톤(51)과 원뿔형 스프링(52) 및 밸브 하우징(4)에 다시 장착된 후에, 조정 장치(6)를 갖춰, 밸브 피스톤(51)의 폐쇄위치와 개방위치 사이에서 바람직한 미세한 행정이 간단한 방식으로 조정될 수 있다. 이러한 목적을 위해, 조정장치(6)가 조정 나사(621)를 갖춘 마이크로미터 미세 나사산(622)를 구비한다.
도 1 내지 도 3의 실례에서 기술된 바와 같이 도포장치(1)는 열과 행으로 배열된 노즐을 갖춘 도포장치에서 동일한 모듈 유닛으로 조립될 수 있는 모듈 유닛으로 적당하게 구비될 수 있다.
기술된 실시예에서, 밸브장치(2)는 공동의 밸브 본체(15)의 부분(151~153)에 형성되고 수용된다. 본질적으로, 밸브장치는 또한 단일형 밸브장치로 형성될 수 있다. 이러한 밸브장치는 도 4에 실시예로 도시되었다.
단일형 밸브장치는 기술된 도포장치(1)의 밸브장치(2)와 같이 동일한 부품 혹은 유사 부품을 갖춘다. 도 4에서, 도 1 내지 도 3에서 사용되었던 참조부호에 점 다음에 숫자 1을 추가하여 사용된다. 도 4에 따른 단일형 밸브장치(2.1)는 본 발명에 따른 도포장치에서 다수개로 조립될 수 있다. 그런 다음에, 도 4에 도시되지 않았지만, 도시되지 않은 적당한 밀봉수단으로 일렬로 공급유체챔버(11.1)에 연결할 필요가 있다. 이러한 방식으로 단일형 밸브장치의 결합은 종래기술로서 이미 알려져 있다. 도 4에 따른 밸브장치(2.1)는 전술된 실례의 도포장치(1)의 밸브장치(2)를 위한 특징, 기능 및 장점을 갖는다.
특히, 링-챔버 덕트(72.1)의 직선의 유동경로가 쉽게 제거되고 끼워 넣어지는 노즐 오리피스를 갖춰 쉽고 효과적으로 세척될 수 있다. 노즐 오리피스는 바람직한 밸브 노즐(3.1)을 신속하게 교체 및 장착할 수 있다. 밸브장치(2.1)의 상부 측면/후측면 상에서, 모든 부품들이 장착되어 있다. 설정 조정은 교체가능한 노즐 오리피스에도 불구하고 쉽고 정밀하게 실행될 수 있다. 링-챔버 덕트(72.1)의 직선의 유동경로는 유동 섀도우를 제거하는 장점을 갖는바, 입자들이 남아 있는 공기로 인하여 예컨대 관통유동을 나쁘게 하거나 침전물이 야기되는 영역에서 포획된다.길이방향의 유동 때문에, 자석코일(50.1)의 내부영역이 매우 효과적으로 냉각된다.

Claims (16)

  1. 일렬로 배열되며 압력상태로 유체를 방출하는 도포 밸브 노즐(31)을 각각 설치하고 상기 도포 밸브 노즐(31)을 개폐하여 유체의 방출을 조절하도록 밸브 작동장치(5)에 병합되어 있는 밸브 장치(21)를 구비하고, 유체로부터 압력의 영향을 받을 수 있고 유체의 인도를 위해서 서로 상기 도포 밸브장치(21)를 연결하는 공동의 분배유체챔버(11)를 구비하며, 상기 분배유체챔버(11)는 상기 분배유체챔버(11) 내에 가압 상태의 유체가 상기 일렬의 도포 밸브 장치(21)를 따라 분배되는 방식으로 배열되어 있는 유체흡입덕트(110)를 구비하는, 기판에 유체를 도포하는 도포장치(1)에 있어서,
    상기 분배유체챔버(11)에 연결하기 위하여 상기 일렬의 도포 밸브장치(21)와 병합되고 상기 세척 밸브 노즐(30)에 끼워 넣어지며 상기 분배유체챔버(11)의 하나 이상의 유체흡입덕트(110)와 병합된 세척 밸브 노즐(30)을 개폐하도록 상기 밸브 작동장치(5)와 병합되는데 하나 이상의 세척 밸브장치(20)는 상기 분배유체챔버(11)의 하나 이상의 유체흡입덕트(110)와 병합되며, 상기 공동의 분배유체챔버(11)를 세척하기 위해서 상기 세척 밸브 노즐(30)이 개방될 경우, 유동경로(100)가 상기 유체흡입덕트(110)와 하나 이상의 병합된 세척 밸브장치(20) 사이에 상기 분배유체챔버(11)에 형성되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유체흡입덕트(110)와 이에 병합된 세척 밸브장치(20)는 단독으로 구비되되, 상기 도포장치(1)의 모든 도포 밸브장치(21)가 하나의 유체흡입덕트(110)와 하나의 세척 밸브장치(20) 사이에 배열되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 도포장치(1)는 5~15개, 바람직하게는 8개의 도포 밸브장치와 하나의 세척 밸브장치(20)로 이루어진 것을 특징으로 하는 도포장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세척 밸브장치(20)의 세척 밸브 노즐(30)이 상기 도포 밸브장치(21)의 도포 밸브 노즐(31)의 대응하거나 큰 유동 단면보다 몇 배 큰, 바람직하기로 10배 큰 유효 유동 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밸브장치(2)의 밸브 작동장치(5)가 밸브장치(2)의 밸브 노즐(3)을 구비한 상기 도포장치(1)의 노즐 측면(11)과 상기 분배유체챔버(11) 사이 공간에서 일렬로 배열되도록 구성되며, 각각의 밸브 작동장치(5)는 복귀력에 대해서 전후방향으로 이동할 수 있는 밸브 피스톤(51)을 갖춘 전자기 장치(54)로 이루어지고, 상기 각 밸브장치(2)는 밸브 노즐(30,31)을 상호작용하여 개폐하도록 병합된 상기 밸브 피스톤(51)을 갖춘 밸브 노즐(3)과 밸브 시트(41)를 구비한 밸브 하우징(4)을 구비하고, 각 밸브장치(2)는 상기 밸브 피스톤(51)이 작동하는 것에 대한 피스톤 고정자(60)를 갖도록 되어 있으며, 상기 피스톤 고정자(60)는 피스톤 행정을 설정 및 조정하도록 행정의 거리에서 변위가능하도록 장착된 조정 피스톤(61)으로 형성되며, 각 밸브장치(2)는 유동 코너에서 자유롭게 보장하고 상기 분배유체챔버(11)를 상기 밸브 시트(41)에 연결하고, 상기 밸브 피스톤(51)과 조정 피스톤(61)의 일부(61)가 상기 직선의 유체덕트(7)의 벽(71)을 형성하며, 상기 도포장치(1)의 노즐 측면(12) 상에 각 밸브장치(2)는 차단부재(14)가 분리가능하고 상기 밸브 하우징(4)이 제거되면 상기 밸브장치(2)에서 제기된 상기 밸브 피스톤(51)을 자유롭게 하는 상기 밸브 하우징(4)에 장착 개구부(13)을 구비하고 상기 직선의 유체덕트(7)는 피스톤 벽으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 세척 밸브 노즐(30)은 상기 밸브 하우징(4)의 일부로 형성되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 열과 행으로 배열된 노즐들을 갖춘 도포 장치에 동일한 모듈부재로 조립될 수 이는 모듈부재로 형성되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  8. ⅰ) 서로 병합된 세척 유도경로(100)를 따라 일렬로 밸브장치(2)를 연결하는 유체유동챔버(11)가 가압된 세척 유체를 허용하는 단계와;
    ⅱ) 도포 밸브 장치(21)가 차단되는 한편 상기 세척 유동경로(100)와 병합된 세척 밸브장치(20)의 세척 밸브 노즐(100)이 개방되는 단계; 및
    ⅲ) 그런 다음에, 분배유체챔버(20)가 가압된 세척 유체를 허용한 경우에 세척 밸브장치(20)의 세척 밸브 노즐(30)이 차단되고 도포 밸브 장치(21)가 개방되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 청구범위 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 도포장치(1)의 세척 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 단계 ⅲ)에서, 상기 밸브 노즐(31)이 상기 도포장치(1)의 노즐 측면(12) 상에서 탈착가능하게 장착된 밸브 하우징(4)으로 폐쇄하기 위한 목적을 위해, 상기 도포 밸브장치(21)는 각 도포 밸브 노즐(21)이 밸브 노즐(31)을 갖춘 상기밸브 하우징(4)을 제거하고 상기 장착 개구부(13)를 자유롭게 하여서 개방되는 것을 특징으로 하는 세척 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 도포 밸브장치(21)는 단계 ⅰ) 내지 ⅲ)가 전기 제어수단을 사용하는 프로그램의 제어로 실행되어 세척되는데, 상기 밸브 노즐(3)은 상기 밸브 작동장치(5)의 제어로 개폐되며, 단계 ⅲ)에서 상기 도포 밸브장치(5)는 상기 도포 밸브 노즐(31)을 개방하기 위해서 개방되는 것을 특징으로 하는 세척 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 도포 밸브 노즐(31)은 개별적으로 하나씩 개방되는 한편, 다른 도포 밸브 노즐(31)은 차단되어 있는 것을 특징으로 하는 세척 방법.
  12. 밸브장치(2)의 밸브 작동장치(5)의 작동으로 상기 밸브장치(2)의 밸브 노즐(3)을 개방상태 혹은 폐쇄상태로 제어하는 청구범위 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 도포 밸브장치(1)을 위한 전기 제어장치에 있어서,
    상기 전기 제어장치는 청구범위 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 단계들을 연속으로 나타내고 이들을 실행하는 것을 특징으로 하는 전자 제어장치.
  13. 압력상태로 유체를 방출하기 위해 밸브 노즐(3.1)과 함께 밸브 시트(41.1)를 구비한 밸브 하우징(4.1), 유체 압력에 영향을 받을 수 있는 공급유체챔버(11.1), 상기 밸브 노즐(3.1)을 개폐하도록 상기 밸브 시트(41.1)에 결합되어 복귀력에 대해서 전후방향으로 이동할 수 있는 밸브 피스톤을 갖춘 전자기 장치로 형성된 밸브 작동장치(5.1), 및 밸브 피스톤(51.1)의 작동에 대한 피스톤 고정자(60.1)로 이루어지며, 상기 밸브 작동장치(5.1)는 상기 공급유체챔버(11.1)와 상기 밸브 하우징(4.1) 사이에 배열되고, 상기 밸브 노즐(3.1)과 함께 상기 밸브 하우징(4.1)은 상기 밸브 노즐(3.1)을 갖춘 상기 밸브장치(2)의 노즐 측면(12.1) 상에서 탈착가능하게 장착되어, 상기 밸브 피스톤(51.1)은 상기 밸브 하우징(4.1)이 제거될 경우 분리되는, 청구범위 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 기판에 유체를 도포하는 도포장치(1)의 밸브장치(2.1)에 있어서,
    상기 밸브장치(2.1)가 유동 코너에서 자유롭게 보장하고 상기 밸브 작동장치(5.1)를 지나가며 상기 공급유체챔버(11.1)를 상기 밸브 시트(41.1)에 연결하고, 상기 밸브 피스톤(51.1)과 상기 피스톤 고정자(60)의 일부가 상기 밸브 하우징(4.1)이 제거될 경우에 자유롭게 직선의 유체덕트(7.1)의 벽(71.1)을 형성하고, 상기 피스톤 고정자(60.1)가 피스톤 행정을 설정 혹은 조정하도록 행정의 거리에서 변위가능하도록 장착된 조정 피스톤(61.1)로 형성되는 것을 특징으로 하는 밸브장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 밸브 노즐(3.1)는 상기 밸브 하우징(4.1)의 일부로 형성되는 것을 특징으로 하는 밸브장치.
  15. 제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 조정 피스톤(61.1)과 밸브 피스톤(51.1)은 근접해 있는 면과 접촉하고, 상기 접촉 면 사이에는 대략 0.5~50㎛의 행정 거리를 구비하는 것을 특징으로 하는 밸브장치.
  16. 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밸브 피스톤(51.1)과 조정 피스톤(61.1)은 상기 밸브 피스톤(51.1)과 조정 피스톤(61.1)의 일부를 둘러싸고 상기 공급유체챔버(11.1)과 밸브 시트(4.1) 사이에 직선의 유체연결을 만드는 링-챔버 덕트(7.1)을 형성하는 공동의 피스톤 챔버(70)에 고정되는 것을 특징으로 하는 밸브장치.

KR1020107000763A 2007-06-14 2008-05-20 밸브장치를 구비하여 기판에 유체를 도포하는 도포장치와, 이 도포장치를 세척하는 방법, 및 이 도포장치용 밸브장치 KR20100021651A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP07090124A EP2002898A1 (de) 2007-06-14 2007-06-14 Auftragungseinrichtung zum Auftragen von Fluid auf ein Substrat mit Ventileinrichtungen, Verfahren zum Reinigen des Auftragungseinrichtung und Ventileinrichtung für die Auftragungseinrichtung
EP07090124.4 2007-06-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20100021651A true KR20100021651A (ko) 2010-02-25

Family

ID=38713602

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020107000763A KR20100021651A (ko) 2007-06-14 2008-05-20 밸브장치를 구비하여 기판에 유체를 도포하는 도포장치와, 이 도포장치를 세척하는 방법, 및 이 도포장치용 밸브장치
KR1020107000762A KR101398760B1 (ko) 2007-06-14 2008-05-20 기판에 유체를 도포하는 도포장치의 밸브장치와, 도포장치

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020107000762A KR101398760B1 (ko) 2007-06-14 2008-05-20 기판에 유체를 도포하는 도포장치의 밸브장치와, 도포장치

Country Status (9)

Country Link
US (2) US20100132612A1 (ko)
EP (3) EP2002898A1 (ko)
JP (2) JP5228039B2 (ko)
KR (2) KR20100021651A (ko)
CN (2) CN101711186B (ko)
AT (1) ATE520473T1 (ko)
CA (2) CA2690108A1 (ko)
IL (2) IL202426A (ko)
WO (2) WO2008151714A1 (ko)

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2163312A1 (en) * 2008-09-13 2010-03-17 Abb Ag Device for application of a fluid material
PL2392408T3 (pl) * 2010-06-02 2016-09-30 Urządzenie do aplikacji kleju i sposób jego czyszczenia
KR101006640B1 (ko) * 2010-10-14 2011-01-10 이구환 디스펜싱용 노즐 유닛
US8985396B2 (en) 2011-05-26 2015-03-24 Pepsico. Inc. Modular dispensing system
US8746506B2 (en) 2011-05-26 2014-06-10 Pepsico, Inc. Multi-tower modular dispensing system
US20130052359A1 (en) * 2011-08-26 2013-02-28 Nordson Corporation Pneumatically-driven jetting valves with variable drive pin velocity, improved jetting systems and improved jetting methods
CN103567103A (zh) * 2012-07-26 2014-02-12 中国石油化工股份有限公司 一种可在线拆装的喷嘴装置
DE102013104670A1 (de) * 2013-05-07 2014-11-13 Amazonen-Werke H. Dreyer Gmbh & Co. Kg Flüssigkeitsleitung mit zugeordnetem Düsenkörper
EP3346332B1 (en) 2013-06-18 2019-11-13 Agfa Nv A lithographic printing plate precursor having a non-contineuous back layer
US9925552B2 (en) * 2015-03-09 2018-03-27 Nordson Corporation Liquid dispensing applicators having backpressure control devices, and related methods
ITUB20151950A1 (it) 2015-07-08 2017-01-08 System Spa Dispositivo attuatore, in particolare per una testina di stampa a getto di inchiostro, con isolamento elettromagnetico
ITUB20151903A1 (it) * 2015-07-08 2017-01-08 System Spa Dispositivo attuatore, in particolare per una testina di stampa a getto di inchiostro, con sistema di raffreddamento
CA3003436A1 (en) 2015-10-27 2017-05-04 Lyd Llc Smart drink container
DE102016000390A1 (de) * 2016-01-14 2017-07-20 Dürr Systems Ag Lochplatte mit vergrößertem Lochabstand in einem oder beiden Randbereichen einer Düsenreihe
DE102016000356A1 (de) 2016-01-14 2017-07-20 Dürr Systems Ag Lochplatte mit reduziertem Durchmesser in einem oder beiden Randbereichen einer Düsenreihe
CN105817398A (zh) * 2016-06-02 2016-08-03 淮南市宜留机械科技有限公司 双液点胶机点胶作业阀门堵塞预防模块
CN106269390B (zh) * 2016-08-30 2018-10-16 杭州特工包装机械有限公司 加工异形钢用的刷油系统
CN106423747B (zh) * 2016-08-30 2018-10-16 杭州特工包装机械有限公司 防锈涂膜装置
WO2018048968A1 (en) 2016-09-08 2018-03-15 Nordson Corporation Active adhesive recirculation regulation
DE102016014948A1 (de) * 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Druckkopf und zugehöriges Betriebsverfahren
DE102016014919A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Applikationsvorrichtung und Verfahren zum Applizieren eines Beschichtungsmittels
DE102016014944A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Beschichtungsverfahren und entsprechende Beschichtungseinrichtung
DE102016014952A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Beschichtungseinrichtung zur Beschichtung von Bauteilen
DE102016014953A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Lackieranlage und entsprechendes Lackierverfahren
DE102016014956A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Beschichtungseinrichtung und zugehöriges Betriebsverfahren
DE102016014951A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Beschichtungseinrichtung und zugehöriges Betriebsverfahren
DE102016014943A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Druckkopf mit Temperiereinrichtung
DE102016014946A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Druckkopf zur Applikation eines Beschichtungsmittels auf ein Bauteil
DE102016014947A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Druckkopf zur Applikation eines Beschichtungsmittels
DE102016014955A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Dürr Systems Ag Beschichtungseinrichtung und entsprechendes Beschichtungsverfahren
US10563384B2 (en) * 2017-05-12 2020-02-18 Norman Faiola Quick clean faucet
CN107131342A (zh) * 2017-05-23 2017-09-05 江苏圣泰防腐设备东台有限公司 一种户外缓冲性能强的电动阀门
EP3424707A1 (de) 2017-07-07 2019-01-09 Covestro Deutschland AG Verfahren zur herstellung von verbundelementen mit gezieltem auftragen eines haftvermittlers
DE102017122492A1 (de) 2017-09-27 2019-03-28 Dürr Systems Ag Applikator mit einer integrierten Steuerschaltung
DE102018108915A1 (de) * 2018-04-16 2019-10-17 Atlas Copco Ias Gmbh Dosierventil
CN110860415A (zh) * 2019-12-17 2020-03-06 安徽普尔德无纺科技有限公司 一种医用复合铺单生产设备用喷胶机构
JP7304628B2 (ja) * 2019-12-25 2023-07-07 Ｋｎｅ株式会社 液剤塗布ヘッドおよび液剤塗布装置
DE102020123966A1 (de) * 2020-09-15 2022-03-17 Atlas Copco Ias Gmbh Verfahren zum Zusammenbau eines Nadelventils
CN114082600A (zh) * 2021-11-26 2022-02-25 深圳市世椿机器人有限公司 一种三组份柱塞阀装置
KR102675535B1 (ko) 2022-08-05 2024-06-13 여정동 세정에어 분사노즐모듈 및 이를 포함하는 건식세정 유니트
KR102675534B1 (ko) 2022-08-05 2024-06-13 여정동 건식세정장치용 노즐 바 및 이를 포함하는 건식 세정 유니트

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1974381A (en) * 1931-08-28 1934-09-18 Swanson Peter Fishing tackle
DE2044423A1 (de) * 1970-09-08 1972-03-16 Ibema Sobotta U Rehme Gmbh & C Farbspritzgerät, insbesondere zur Mar kierung von Fehlerstellen bei der Werk stoffprufung
US3811601A (en) * 1972-09-11 1974-05-21 Nordson Corp Modular solenoid-operated dispenser
US3827604A (en) * 1972-09-11 1974-08-06 Nordson Corp Modular solenoid-operated dispenser
US4488665A (en) * 1982-05-24 1984-12-18 Spraymation, Inc. Multiple-outlet adhesive applicator apparatus and method
US4721252A (en) * 1985-02-22 1988-01-26 Slautterback Corporation Hot-melt sputtering apparatus
US4962871A (en) * 1989-07-24 1990-10-16 Valco Cincinnati, Inc. Applicator utilizing high speed non-contact extrusion valve
US5027976A (en) * 1989-10-10 1991-07-02 Nordson Corporation Multi-orifice T-bar nozzle
US5085402A (en) * 1990-08-10 1992-02-04 The Lee Company High speed solenoid valve actuator
US5145689A (en) * 1990-10-17 1992-09-08 Exxon Chemical Patents Inc. Meltblowing die
US5172833A (en) * 1992-01-09 1992-12-22 Slautterback Corporation Modular applicator having a separate flow loop to prevent stagnant regions
DE4302686C2 (de) * 1992-02-05 1994-12-15 Bierther Hans Dietmar Hochleistungsventil
US5535919A (en) * 1993-10-27 1996-07-16 Nordson Corporation Apparatus for dispensing heated fluid materials
US5598974A (en) * 1995-01-13 1997-02-04 Nordson Corporation Reduced cavity module with interchangeable seat
US5915591A (en) * 1997-09-10 1999-06-29 Illinois Tool Works Inc. Electric solenoid valve for hot melt adhesive and method therefor
US5875922A (en) * 1997-10-10 1999-03-02 Nordson Corporation Apparatus for dispensing an adhesive
US7470547B2 (en) * 2003-07-31 2008-12-30 Biodot, Inc. Methods and systems for dispensing sub-microfluidic drops
DE19910261B4 (de) * 1999-03-08 2004-12-09 Alfred Schütze Apparatebau GmbH Sprühventil
US6401976B1 (en) * 2000-03-23 2002-06-11 Nordson Corporation Electrically operated viscous fluid dispensing apparatus and method
DE10023673B4 (de) * 2000-05-16 2007-11-22 Nordson Corp., Westlake Verteilervorrichtung zum Verteilen von Fluiden sowie Vorrichtung zum Abgeben und Auftragen von Fluid, insbesondere Klebstoff
JP2002320895A (ja) * 2001-04-27 2002-11-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体塗布装置
JP4060619B2 (ja) * 2002-03-22 2008-03-12 マークテック株式会社 ソレノイド式高速印字用ガン
US6994234B2 (en) * 2003-04-03 2006-02-07 Nordson Corporation Electrically-operated dispensing module
DE202005011119U1 (de) * 2005-07-12 2005-09-29 Elektrobau Wehrmann Gmbh Auftragsvorrichtung zum Auftragen von mehreren Kleberraupen

Also Published As

Publication number Publication date
CA2690062C (en) 2015-03-31
US7837071B2 (en) 2010-11-23
EP2162235B1 (de) 2011-08-17
JP2010528852A (ja) 2010-08-26
CA2690062A1 (en) 2008-12-18
US20100170918A1 (en) 2010-07-08
US20100132612A1 (en) 2010-06-03
EP2162235A1 (de) 2010-03-17
IL202426A0 (en) 2010-06-30
WO2008151713A8 (de) 2009-03-12
EP2162234A2 (de) 2010-03-17
JP5228039B2 (ja) 2013-07-03
WO2008151713A2 (de) 2008-12-18
WO2008151714A1 (de) 2008-12-18
WO2008151713A3 (de) 2009-05-07
IL202426A (en) 2014-06-30
KR20100051786A (ko) 2010-05-18
ATE520473T1 (de) 2011-09-15
IL202427A0 (en) 2010-06-30
EP2002898A1 (de) 2008-12-17
JP2010531213A (ja) 2010-09-24
CN101711186B (zh) 2013-07-17
KR101398760B1 (ko) 2014-06-27
CN101784348A (zh) 2010-07-21
CA2690108A1 (en) 2008-12-18
CN101711186A (zh) 2010-05-19
EP2002898A8 (de) 2009-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20100021651A (ko) 밸브장치를 구비하여 기판에 유체를 도포하는 도포장치와, 이 도포장치를 세척하는 방법, 및 이 도포장치용 밸브장치
KR101093146B1 (ko) 일체형 유체 노즐
JP5511339B2 (ja) バルブ装置
JP2746975B2 (ja) 霧吹弁装置および御制システム
CA2455054C (en) Repeatable mounting unit for automatic spray device
EP1318916A1 (en) A self-cleaning print head for an ink jet printer
CN110561907A (zh) 多流道喷墨装置
KR101360021B1 (ko) 스크린 프린터용 솔더 크림 공급 장치
US4873925A (en) Spray nozzle and valve assembly
MXPA06011699A (es) Dispositivo operado neumaticamente que tiene un respiradero en la valvula de retencion.
CA2492825C (en) Nozzle assembly for applying a liquid to a substrate
CN211463563U (zh) 一种防滴水喷雾装置
JP2004337849A (ja) スプレーヘッド用スプレー要素
CN116587739B (zh) 喷墨打印设备及其电磁阀式喷头组件
CN115674906A (zh) 一种电磁阀式喷印喷头和喷印装置
CN210501913U (zh) 用于清洗喷头的清洗座及打印机
JP2004230333A (ja) 粘性流体の塗布方法と装置、および粘性流体用の塗布ノズル
JP2506195B2 (ja) 塗料色替装置
KR20190124857A (ko) 솔더공급기
EP2163312A1 (en) Device for application of a fluid material
KR100719999B1 (ko) 실리콘 도포장치 및 방법
JP2010125359A (ja) インクジェット塗布装置のノズルヘッド洗浄装置、これを備えたインクジェット塗布装置のノズルワイピング装置
JPH02180660A (ja) 塗装機用塗料色替装置
KR20160148110A (ko) 노즐 청소 장치
KR20110003693U (ko) 이물질 차단 가능한 매니폴드형 전자밸브 조립체

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid