KR101006640B1 - 디스펜싱용 노즐 유닛 - Google Patents

디스펜싱용 노즐 유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR101006640B1
KR101006640B1 KR1020100100297A KR20100100297A KR101006640B1 KR 101006640 B1 KR101006640 B1 KR 101006640B1 KR 1020100100297 A KR1020100100297 A KR 1020100100297A KR 20100100297 A KR20100100297 A KR 20100100297A KR 101006640 B1 KR101006640 B1 KR 101006640B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nozzle
center
coating liquid
hole
assembly
Prior art date
Application number
KR1020100100297A
Other languages
English (en)
Inventor
이구환
Original Assignee
이구환
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이구환 filed Critical 이구환
Priority to KR1020100100297A priority Critical patent/KR101006640B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101006640B1 publication Critical patent/KR101006640B1/ko
Priority to PCT/KR2011/007684 priority patent/WO2012050403A2/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/30Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages
    • B05B1/3033Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head
    • B05B1/304Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head the controlling element being a lift valve
    • B05B1/3046Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages the control being effected by relative coaxial longitudinal movement of the controlling element and the spray head the controlling element being a lift valve the valve element, e.g. a needle, co-operating with a valve seat located downstream of the valve element and its actuating means, generally in the proximity of the outlet orifice
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0278Arrangement or mounting of spray heads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings

Abstract

본 발명은 디스펜싱용 노즐 유닛에 관한 것으로서, 도포액 공급로를 갖는 플루이딕 본체(10)측 설치공(11)에 조립 설치되며, 상기 설치공(11)으로부터 연장되는 나사연결부(12)를 관통하여 일측으로부터 공급되는 도포액을 한곳으로 집중시켜 유도 공급하기 위한 태핏 심(20)과, 상기 나사연결부(12)의 내부 직경에 안내되는 것으로, 중앙에는 관통공(31)이 마련되고, 하부 중앙에 조립홈턱(32)이 마련된 가이던스(30)와, 중앙에 분사공(41)이 관통되고, 하부에 조립턱(42)이 돌출 형성되어 상기 가이던스(30)의 조립홈턱(32)에 안내되어 도포액을 토출시키는 노즐(40)과, 상기 노즐(40)의 조립턱(42)이 안내되는 통공(51)이 하부에 형성되어 노즐(40)을 포함한 가이던스(30)를 수용하는 형태로 상기 나사연결부(12)에 체결되는 어져스트 너트(50)와, 상기 설치공(11)의 상부에 조립되어 태핏 심(20)의 중심을 지지하는 센터링 피스(60) 및 유체 펌핑을 위한 액츄에이터의 조립을 위한 액츄에이터 연결구(70)를 포함하여 구성된 디스펜싱용 노즐 유닛(100)에 있어서,
상기 노즐(40)을 안내하기 위한 조립홈턱(32)의 내경은 상부로 좁아지는 형태로 경사지게 형성되고, 상기 노즐(40)의 외경은 경사진 조립홈턱(32)에 안내되어 나사연결부(12)에 대한 어져스트 너트(50)의 체결시 노즐(40)의 분사공(41)이 설치공(11)의 중심에 정확히 위치될 수 있는 원뿔형으로 형성된 것을 특징으로 하는바, 노즐이 조립되는 가이던스의 조립홈턱 내부와 노즐의 외경부를 경사지게 형성시켜 하부로부터 가이던스를 포함하는 노즐의 조립이 이루어지도록 한 어져스트 너트를 체결함에 따라 노즐의 분사공은 조립홈턱의 경사진 내경에 중심 선상에서 벗어나지 않는 상태로 조립이 이루어져 작동상에 있어 해당 가공대상물의 도포영역에 도포액을 정확히 분사시킬 수 있는 효과가 있으며, 이는 제품 제조상에 따른 불량을 최대한 낮출 수 있고 특히 반도체제조장치 등과 같이 정밀 가공을 요하는 생산라인에 효과적으로 채택 사용할 수 있게 된다.

Description

디스펜싱용 노즐 유닛{Nozzle unit for dispensing}
본 발명은 디스펜싱용 노즐 유닛에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 소형으로 제작된 노즐 및 노즐을 조립하는 가이던스의 조립홈턱 내경 부분을 개선하여 어져스트 너트의 체결조립에 따른 노즐의 분사공이 중심에 위치할 수 있도록 하여 해당 유체의 공급이 노즐을 통해 정확한 영역에 분사작업이 이루어져 정밀도 높은 가공효과를 얻을 수 있도록 한 디스펜싱용 노즐 유닛에 관한 것이다.
일반적으로 디스펜싱(dispensing)장치는 정밀화학산업 등에서 사용되는 다액형 액체를 미세한 분입자, 유체(이하, '도포액' 칭함)로 변환하여 제품의 특정부위에 소정량 정밀하게 도포하여 요구하는 제품을 접합하는데 사용되고 있으며, 이러한 도포는 디스펜싱 건(dispensing gun) 즉, 노즐 유닛을 통해 분사되어 재료(예를 들면, 반도체 제조공정)의 정밀한 접합, 가공 등에 사용되고 있다.
도포액을 분사하는 노즐은 정밀도 높이기 위해 전반적으로 미세하게 형성됨으로 노즐을 통해 분사되는 도포액의 토출 압력, 시간, 속도 및 도포액이 분사되는 중심 등의 조절이 매우 중요하다.
상기 노즐 유닛은 이송장치로부터 위치 선택 가능하도록 로봇 아암과 같이 이송되면서 특정부위에 도포액을 분사, 도포하여 특정부품을 가공하는바, 이러한 노즐부분으로부터 분사되는 액의 도포는 정화한 포지션 로봇 아암의 정밀제어를 필요로 한다.
외부로부터 접속되어 도포액을 공급하록 도포액 공급로가 마련된 플루이딕 본체(10)측 설치공(11)에 조립 설치되는 노즐 유닛(100)의 구성은, 첨부된 도 1에서 도시한 바와 같다.
상기 플루이딕 본체(10)에 마련된 나사연결부(12)를 관통하여 일측으로부터 공급되는 도포액을 한곳으로 집중시켜 유도하는 태핏 심(20)과, 상기 나사연결부(12)의 내부 직경에 안내되는 것으로, 중앙에는 관통공(31)이 마련되어 하부 중앙에 조립홈턱(32)이 마련된 가이던스(30)와, 중앙에 분사공(41)이 관통되고, 하부에 조립턱(42)이 돌출 형성되어 상기 가이던스(30)의 조립홈턱(32)에 안내되어 도포액을 토출시키는 노즐(40)과, 상기 노즐(40)의 조립턱(42)이 안내되는 통공(51)이 하부에 형성되어 노즐(40)을 포함한 가이던스(30)를 수용하는 형태로 상기 나사연결부(12)에 체결되는 어져스트 너트(50)와, 상기 설치공의 상부에 조립되어 태핏 심의 중심을 지지하는 센터링 피스(60) 및 유체 펌핑을 위한 액츄에이터의 조립을 위한 액츄에이터 연결구(70)를 포함하여 구성된다.
상기 가이던스(30)의 조립홈턱(32)은 원형으로 소정 깊이 함몰 형성되어 중앙에 분사공이 마련된 상기 노즐(41)의 외측둘레가 안치되어 조립될 수 있도록 한 구조이다.
통상 소형으로 성형된 노즐(40)은, 제조상에 따라 조립홈턱(32)에 안내되는 외경과 어져스트 너트(50)의 통공(51)에 안내되는 조립턱(42)의 외경이 일치되는 상태에서 상기 어져스트 너트(50)의 나사체결시 노즐(40)이 조립홈턱(32)으로부터 틀어지는 조립의 사례가 있어, 노즐(40)의 분사공(41)이 정확히 중심에 위치되지 않는 경우가 있었다.
이와 같은 이유는 어져스트 너트(50)가 나사연결부(12)에 체결됨에 있어, 나사산의 체결 특성상 유격을 갖기 때문에 노즐(40)의 분사공(41)이 정확히 중심이 되지 않는 경우가 발생한다.
상기 노즐(40)의 외경은 가이던스(30)측 조립홈턱(32) 내에 위치되고, 노즐의 조립턱(42)부분은 상기 어져스트 너트(50)의 통공(51)에 안치되어 최종적으로 어져스트 너트(50)의 체결로서 조립이 완료되나, 이때 노즐의 분사공 위치는 가이던스(30)의 조립홈턱(32)과 어져스트 너트(50)의 통공(51)이 정확히 중심에서 벗어나는 경우가 있어, 이로 인해 노즐(40)의 분사공(41)은 중심 선상에서 위치 이동되는 현상이 발생하여 결국 분사공이 중심선 상에 위치하지 않게 되는 것이다.
즉, 분사공이 중심 선상으로 미세하게 벗어난 상태라면, 이를 통해 토출되어 분사되는 도포액 또한 가공물에 설정된 위치의 도포영역에서 벗어나 작업이 이루어지므로 해당 제품은 정밀 가공, 부착 작업 등은 제품에 대한 불량이 발생하는 요인이 된다.
상기와 같은 점에서 노즐의 위치를 각 포지션에 정확히 센터링할 수 있는 감지장치 등이 부가적으로 설치되어 운영되고 있지만, 실질적으로 각각 노즐의 분사공 위치가 정확히 가공대상물의 도포영역을 벗어나기 때문에 해당제품의 가공 정밀도는 현저히 떨어져 제조에 따른 불량률이 높고, 생산성 또한 낮아지는 폐단이 있었다.
본 발명은 상기와 같이 제반되는 종래의 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 소형으로 제작된 노즐 및 노즐을 조립하는 가이던스의 조립홈턱 내경 부분을 개선하여 어져스트 너트의 체결조립에 따른 노즐의 분사공이 중심에 위치할 수 있도록 하여 해당 유체의 공급이 노즐을 통해 정확한 영역에 분사작업이 이루어져 정밀도 높은 가공효과를 얻을 수 있도록 한 디스펜싱용 노즐 유닛을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 노즐을 통해 분사되는 도포액이 어져스트 너트의 하부 주변으로 흩날리는 것을 방지하도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의하면, 도포액 공급로를 갖는 플루이딕 본체측 설치공에 조립 설치되며, 상기 설치공으로부터 연장되는 나사연결부를 관통하여 일측으로부터 공급되는 도포액을 한곳으로 집중시켜 유도 공급하기 위한 태핏 심과, 상기 나사연결부의 내부 직경에 안내되는 것으로, 중앙에는 관통공이 마련되고 하부 중앙에 조립홈턱이 마련된 가이던스와, 중앙에 분사공이 관통되고, 하부에 조립턱이 돌출 형성되어 상기 가이던스의 조립홈턱에 안내되어 도포액을 토출시키는 노즐과, 상기 노즐의 조립턱이 안내되는 통공이 하부에 형성되어 노즐을 포함한 가이던스를 수용하는 형태로 상기 나사연결부에 체결되는 어져스트 너트와, 상기 설치공의 상부에 조립되어 태핏 심의 중심을 지지하는 센터링 피스 및 유체 펌핑을 위한 액츄에이터의 조립을 위한 액츄에이터 연결구를 포함하여 구성된 디스펜싱용 노즐 유닛에 있어서,
상기 노즐을 안내하기 위한 조립홈턱의 내경은 상부로 좁아지는 형태로 경사지게 형성되고, 상기 노즐의 외경은 경사진 조립홈턱에 안내되어 나사연결부에 대한 어져스트 너트의 체결시 노즐의 분사공이 설치공의 중심에 정확히 위치될 수 있는 원뿔형으로 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 어져스트 너트의 외측둘레에 체결홈이 더 형성되고, 상기 체결홈에는 노즐의 분사공으로부터 토출되어 분사되는 도포액의 측면 비산을 커버링하기 위해 중앙이 관통되는 커버부가 돌출 형성된 분사 가이드캡이 탈착 가능하게 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 디스펜싱용 노즐 유닛은 노즐이 조립되는 가이던스의 조립홈턱 내부와 노즐의 외경부를 경사지게 형성시켜 하부로부터 가이던스를 포함하는 노즐의 조립이 이루어지도록 한 어져스트 너트를 체결함에 따라 노즐의 분사공은 조립홈턱의 경사진 내경에 중심 선상에서 벗어나지 않는 상태로 조립이 이루어져 작동상에 있어 해당 가공대상물의 도포영역에 도포액을 정확히 분사시킬 수 있는 효과가 있으며, 이는 제품 제조상에 따른 불량을 최대한 낮출 수 있고 특히 반도체제조장치 등과 같이 정밀 가공을 요하는 생산라인에 효과적으로 채택 사용할 수 있게 된다.
도 1은 종래 디스펜싱용 노즐 유닛이 적용 설치된 플루이딕 본체를 도시한 종단면도,
도 2는 본 발명인 디스펜싱용 노즐 유닛이 적용 설치된 플루이딕 본체를 도시한 종단면도,
도 3은 본 발명에 따른 노즐, 가이던스 및 어져스트 너트를 분리하여 체결되는 상태를 예시한 종단면도,
도 4는 본 발명에 따른 노즐을 발췌하여 도시한 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 어져스트 너트에 분사 가이드캡이 적용된 일 예를 도시한 노즐 유닛의 단면도이다.
이하, 본 발명은 첨부된 도 2 내지 도 5를 참조하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.
본 발명은, 도포액 공급로를 갖는 플루이딕 본체(10)측 설치공(11)에 조립 설치되며, 상기 설치공(11)으로부터 연장되는 나사연결부(12)를 관통하여 일측으로부터 공급되는 도포액을 한곳으로 집중시켜 유도 공급하기 위한 태핏 심(20)과, 상기 나사연결부(12)의 내부 직경에 안내되는 것으로, 중앙에는 관통공(31)이 마련되고, 하부 중앙에 조립홈턱(32)이 마련된 가이던스(30)와, 중앙에 분사공(41)이 관통되고, 하부에 조립턱(42)이 돌출 형성되어 상기 가이던스(30)의 조립홈턱(32)에 안내되어 도포액을 토출시키는 노즐(40)과, 상기 노즐(40)의 조립턱(42)이 안내되는 통공(51)이 하부에 형성되어 노즐(40)을 포함한 가이던스(30)를 수용하는 형태로 상기 나사연결부(12)에 체결되는 어져스트 너트(50)와, 상기 설치공(11)의 상부에 조립되어 태핏 심(20)의 중심을 지지하는 센터링 피스(60) 및 유체 펌핑을 위한 액츄에이터의 조립을 위한 액츄에이터 연결구(70)를 포함하여 구성된 디스펜싱용 노즐 유닛(100)에 있어서,
상기 노즐(40)을 안내하기 위한 조립홈턱(32)의 내경은 상부로 좁아지는 형태로 경사지게 형성되고, 상기 노즐(40)의 외경은 경사진 조립홈턱(32)에 안내되어 나사연결부(12)에 대한 어져스트 너트(50)의 체결시 노즐(40)의 분사공(41)이 설치공(11)의 중심에 정확히 위치될 수 있는 원뿔형으로 형성된다.
상기와 같이 가이던스(30)의 조립홈턱(32)은 경사진 내면에 대해 노즐(40)의 경사진 외경부가 안내된 상태에서 어져스트 너트(50)의 체결은 노즐(40)이 경사진 조립홈턱(32) 내에 안내 집중됨으로써, 노즐(40)의 분사공(41)은 어져스트 너트의 체결시 노즐의 조립턱(42)과 경사진 외경부와 뒤틀리는 트러블이 발생하지 않기 때문에 상기 분사공(41)은 설치공(11)의 중심 선상에 그대로 유지되어 조립된다.
따라서 중심이 정확히 맞게 조립된 노즐(40)의 분사공(41)은 다음과 같은 이점이 있다.
플루이딕 본체(10)측 설치공(11)과 연통되는 도포액 공급로를 따라 공급되는 도포액은 액츄에이터 연결구(70)측에 설치되는 액츄에이터(도면에서 생략함)의 구동으로서 주어진 공기압으로 태핏 심(20)을 따라 가이던스(30)의 관통공(31)으로 진입하여 노즐(40)의 분사공(41)을 통해 분사가 이루어진다.
이와 같이 분사되는 도포액은 분사공(41)이 중심을 유지하고 있는 상태이므로, 해당 가공대상물의 도포영역을 벗어나지 않고 도포할 수 있게 된다.
상기와 같이 도포되는 노즐 유닛(100)은 단일 혹은 다수개의 노즐유닛이 각 해당되는 지점에서 노즐의 위치를 포지션 검측장비의 도움으로 정확한 위치를 세팅된 상태에서 노즐의 도포액 정밀한 분사효과는 가공 대상물의 정밀가공, 부착 등의 제조가 가능하기 때문에 제품제조에 따른 불량률이 거의 발생하지 않게 된다.
한편, 첨부된 도 5에서와 같이 본 발명에 따른 상기 어져스트 너트(50)의 외측둘레에 체결홈(52)이 더 형성되고, 상기 체결홈(52)에는 노즐(40)의 분사공(41)으로부터 토출되어 분사되는 도포액의 측면 비산을 커버링하기 위해 중앙이 관통되는 커버부(81)가 돌출 형성된 분사 가이드캡(80)이 탈착 가능하게 설치할 수 있다.
상기 분사 가이드캡은 커버부로 하여금 노즐로부터 토출되어 분사되는 도포액의 측면 비산을 커버링하여 불필요하게 도포영역으로부터 벗어나는 점을 해결할 수 있게 된다.
10: 플루이딕 본체 11: 설치공
12: 나사연결부 20: 태핏 심
30: 가이던스 31: 관통공
32: 조립홈턱 40: 노즐
41: 분사공 42: 조립턱
50: 어져스트 너트 51: 통공
52: 체결홈 60: 센터링 피스
70: 액츄에이터 연결구 80: 분사 가이드캡
81: 커버부 100: 노즐 유닛

Claims (2)

  1. 도포액 공급로를 갖는 플루이딕 본체(10)측 설치공(11)에 조립 설치되며, 상기 설치공(11)으로부터 연장되는 나사연결부(12)를 관통하여 일측으로부터 공급되는 도포액을 한곳으로 집중시켜 유도 공급하기 위한 태핏 심(20)과, 상기 나사연결부(12)의 내부 직경에 안내되는 것으로, 중앙에는 관통공(31)이 마련되고, 하부 중앙에 조립홈턱(32)이 마련된 가이던스(30)와, 중앙에 분사공(41)이 관통되고, 하부에 조립턱(42)이 돌출 형성되어 상기 가이던스(30)의 조립홈턱(32)에 안내되어 도포액을 토출시키는 노즐(40)과, 상기 노즐(40)의 조립턱(42)이 안내되는 통공(51)이 하부에 형성되어 노즐(40)을 포함한 가이던스(30)를 수용하는 형태로 상기 나사연결부(12)에 체결되는 어져스트 너트(50)와, 상기 설치공(11)의 상부에 조립되어 태핏 심(20)의 중심을 지지하는 센터링 피스(60) 및 유체 펌핑을 위한 액츄에이터의 조립을 위한 액츄에이터 연결구(70)를 포함하여 구성된 디스펜싱용 노즐 유닛(100)에 있어서,
    상기 노즐(40)을 안내하기 위한 조립홈턱(32)의 내경은 상부로 좁아지는 형태로 경사지게 형성되고, 상기 노즐(40)의 외경은 경사진 조립홈턱(32)에 안내되어 나사연결부(12)에 대한 어져스트 너트(50)의 체결시 노즐(40)의 분사공(41)이 설치공(11)의 중심에 정확히 위치될 수 있는 원뿔형으로 형성된 것을 특징으로 하는 디스펜싱용 노즐 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 어져스트 너트(50)의 외측둘레에 체결홈(52)이 더 형성되고, 상기 체결홈(52)에는 노즐(40)의 분사공(41)으로부터 토출되어 분사되는 도포액의 측면 비산을 커버링하기 위해 중앙이 관통되는 커버부(81)가 돌출 형성된 분사 가이드캡(80)이 탈착 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 디스펜싱용 노즐 유닛.
KR1020100100297A 2010-10-14 2010-10-14 디스펜싱용 노즐 유닛 KR101006640B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100100297A KR101006640B1 (ko) 2010-10-14 2010-10-14 디스펜싱용 노즐 유닛
PCT/KR2011/007684 WO2012050403A2 (ko) 2010-10-14 2011-10-14 디스펜싱용 노즐 유닛

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100100297A KR101006640B1 (ko) 2010-10-14 2010-10-14 디스펜싱용 노즐 유닛

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101006640B1 true KR101006640B1 (ko) 2011-01-10

Family

ID=43615933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100100297A KR101006640B1 (ko) 2010-10-14 2010-10-14 디스펜싱용 노즐 유닛

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101006640B1 (ko)
WO (1) WO2012050403A2 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101089916B1 (ko) 2011-09-15 2011-12-05 이구환 내측 모서리 접합용 디스펜서 노즐
KR101100549B1 (ko) 2011-10-04 2011-12-30 이구환 디스펜서 유닛의 태핏구조
KR101369364B1 (ko) * 2012-01-09 2014-03-06 삼성전자주식회사 형광체 디스펜서
KR101388123B1 (ko) * 2011-12-06 2014-04-24 신한다이아몬드공업 주식회사 디스펜서 구조
EP2773462B1 (en) * 2011-10-31 2019-04-03 Nordson Corporation Dispensing module, applicator head and nozzle holder for dispensing a fluid, in particular hot-melt adhesive

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107336074A (zh) * 2017-07-26 2017-11-10 嘉善霸器机械制造有限公司 一种定位导向喷水装置
CN207430592U (zh) * 2017-11-15 2018-06-01 常州铭赛机器人科技股份有限公司 流体微量喷射装置及其流道组件

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002210616A (ja) 2000-12-22 2002-07-30 Agie Sa 工作機械の機械加工電極の案内装置および方法
JP2003211049A (ja) 2002-01-22 2003-07-29 Hirata Corp 液体塗布装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4601918B2 (ja) * 2003-05-30 2010-12-22 大日本印刷株式会社 塗工用ダイヘッド、塗工装置及び塗工用ダイヘッドの製造方法
EP2002898A1 (de) * 2007-06-14 2008-12-17 J. Zimmer Maschinenbau Gesellschaft m.b.H. Auftragungseinrichtung zum Auftragen von Fluid auf ein Substrat mit Ventileinrichtungen, Verfahren zum Reinigen des Auftragungseinrichtung und Ventileinrichtung für die Auftragungseinrichtung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002210616A (ja) 2000-12-22 2002-07-30 Agie Sa 工作機械の機械加工電極の案内装置および方法
JP2003211049A (ja) 2002-01-22 2003-07-29 Hirata Corp 液体塗布装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101089916B1 (ko) 2011-09-15 2011-12-05 이구환 내측 모서리 접합용 디스펜서 노즐
KR101100549B1 (ko) 2011-10-04 2011-12-30 이구환 디스펜서 유닛의 태핏구조
EP2773462B1 (en) * 2011-10-31 2019-04-03 Nordson Corporation Dispensing module, applicator head and nozzle holder for dispensing a fluid, in particular hot-melt adhesive
KR101388123B1 (ko) * 2011-12-06 2014-04-24 신한다이아몬드공업 주식회사 디스펜서 구조
KR101369364B1 (ko) * 2012-01-09 2014-03-06 삼성전자주식회사 형광체 디스펜서
US9463479B2 (en) 2012-01-09 2016-10-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Phosphor dispenser

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012050403A2 (ko) 2012-04-19
WO2012050403A3 (ko) 2012-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101006640B1 (ko) 디스펜싱용 노즐 유닛
CN106944279B (zh) 用于喷枪的空气帽和喷嘴组件以及喷枪
TWI657864B (zh) 用於將粉狀塗料選擇性施加至內螺紋緊固件上的設備、系統、與方法
JP2005500175A (ja) 高圧流体ジェットを発生するための装置
KR20140112416A (ko) 습식 블라스트용 분사 건
KR20140035344A (ko) 절연재 적용을 위한 노즐 헤드
JP2012035259A (ja) 液体材料を吐出するノズル構造体
US20180178333A1 (en) Bush press-insertion device
KR20170137928A (ko) 기판 처리 장치
KR20190140295A (ko) 코팅층을 형성한 고정밀 디스펜서의 노즐
TW201600175A (zh) 用於把一種從噴射裝置的給出裝置的給出開口出來的黏性介質聚焦的裝置,噴射系統及生產設備
US20060214031A1 (en) Water spray nozzle
KR101588017B1 (ko) 고압력 분사용 디스펜서노즐
TW201609269A (zh) 用於分注器的閥門座
CA2641508C (en) Spray coating system and method
CN108855657A (zh) 喷嘴和包括它的涂胶系统
US20220305501A1 (en) Nozzle
US9827576B2 (en) Nozzle assembly capable of performing suction and high pressure blowing
WO2012127647A1 (ja) ノズルの先端部材及びそれを用いたノズル
WO2020095778A1 (ja) 液用スリットノズル
US10329079B2 (en) Aerosol/solvent delivery nozzles
US20170368628A1 (en) Spray apparatus and method of ejecting mist using spray apparatus
CN112337731A (zh) 针式喷嘴的压电点胶阀
TWI520782B (zh) Directional High Pressure Nozzle Structure and Its Process
US10471558B2 (en) Anti-vibration device manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131017

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141014

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151102

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171101

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181031

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191223

Year of fee payment: 10