KR20100016783A - Organic light emitting display and manufacturing method for the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An organic light emitting display and a manufacturing method for the same are provided to prevent reduction of a life expectancy of an organic light emitting layer by minimizing the out gassing emitted from a structure formed within a panel. CONSTITUTION: A contact electrode(116) is connected to a source or a drain. The first electrode(122) is located on a second substrate. A spacer(123a) is located on the first electrode, and protrudes on an area facing the contact electrode. An inorganic layer(124) includes an undercut pattern area exposing a part of the first electrode through a sacrifice layer and an opening area exposing the other part of the first electrode between the sacrifice layer and the spacer. An organic light-emitting layer(125) is classified on the inorganic layer by the undercut pattern area.

Description

유기전계발광표시장치와 이의 제조방법{Organic Light Emitting Display and Manufacturing Method for the same}Organic Light Emitting Display and Manufacturing Method for the Same

본 발명은 유기전계발광표시장치와 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof.

유기전계발광표시장치에 사용되는 유기전계발광소자는 기판 상에 위치하는 두 개의 전극 사이에 발광층이 형성된 자발광소자였다.An organic light emitting display device used in an organic light emitting display device is a self-light emitting device in which a light emitting layer is formed between two electrodes positioned on a substrate.

또한, 유기전계발광표시장치는 빛이 방출되는 방향에 따라 전면발광(Top-Emission) 방식, 배면발광(Bottom-Emission) 방식 또는 양면발광(Dual-Emission) 방식 등이 있다. 그리고, 구동방식에 따라 수동매트릭스형(Passive Matrix)과 능동매트릭스형(Active Matrix) 등으로 나누어져 있다.In addition, the organic light emitting display device may include a top-emission method, a bottom-emission method, or a dual-emission method according to a direction in which light is emitted. According to the driving method, it is divided into a passive matrix type and an active matrix type.

이러한 유기전계발광표시장치는 매트릭스 형태로 배치된 복수의 서브 픽셀에 스캔 신호, 데이터 신호 및 전원 등이 공급되면, 선택된 서브 픽셀이 발광을 하게 됨으로써 영상을 표시할 수 있다.In the organic light emitting display device, when a scan signal, a data signal, and a power are supplied to a plurality of subpixels arranged in a matrix form, the selected subpixels emit light to display an image.

종래 유기전계발광표시장치 중 일부는 트랜지스터와 유기 발광다이오드를 각각 제1기판과 제2기판에 형성하고 제1기판과 제2기판을 접착부재로 접착 밀봉한 구조가 있다. 이와 같은 구조는 제1기판 상에 형성된 트랜지스터와 제2기판 상에 위 치하는 유기 발광다이오드 간의 전기적인 연결을 하기 위해 스페이서를 이용하였다. 이 구조의 경우 유기격벽에 의해 캐소드가 분리 형성된다.Some conventional organic light emitting display devices have a structure in which a transistor and an organic light emitting diode are formed on a first substrate and a second substrate, and the first substrate and the second substrate are adhesively sealed with an adhesive member. Such a structure uses spacers for electrical connection between a transistor formed on the first substrate and an organic light emitting diode positioned on the second substrate. In this structure, the cathode is separated by the organic partition.

한편, 앞서 설명한 바와 같은 유기전계발광표시장치의 경우 유기 발광다이오드에 포함된 유기 발광층의 수명에 치명적인 영향을 줄 수 있는 아웃게싱(out-gassing)을 발산하는 두 개의 구조물이 있다. 첫 번째 구조물은 유기물로 형성된 스페이서가 이에 해당된다. 비록, 스페이서는 개구영역 내에 위치하지 않지만 인접해 있는 유기 발광층에 직접적인 영향을 미칠 수 있어 아웃게싱 발산시 계면을 타고 유기 발광층에 확산되어 수명 저하를 일으킬 수 있다. 두 번째 구조물은 유기물로 형성된 격벽이 이에 해당된다. 유기격벽 역시 개구영역 내에 위치하지 않지만 패널 전체에 차지하고 있는 면적이 커서 스페이서와 같이 제품의 신뢰성 측면에 좋지 않은 영향을 일으킬 수 있다.Meanwhile, in the organic light emitting display device as described above, there are two structures that emit out-gassing, which may have a fatal effect on the lifespan of the organic light emitting layer included in the organic light emitting diode. The first structure corresponds to a spacer formed of organic material. Although the spacers are not located in the opening region, the spacers may directly affect adjacent organic light emitting layers, and may diffuse through the interface and diffuse into the organic light emitting layers, resulting in a decrease in lifespan. The second structure corresponds to a partition formed of organic material. The organic barrier is also not located in the opening area, but the large area occupies the entire panel, which may adversely affect the reliability of the product, such as spacers.

따라서, 종래 유기전계발광표시장치는 구조물로부터 발산되는 아웃게싱을 최소화하여 유기 발광층의 수명 저하를 방지하고 제품의 신뢰성을 향상할 수 있는 방안이 마련되어야 할 것이다.Therefore, the conventional organic light emitting display device should minimize the outgassing emitted from the structure to prevent the life of the organic light emitting layer deterioration and to improve the reliability of the product.

상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 실시예는, 패널 내에 형성된 구조물로부터 발산되는 아웃게싱을 최소화하여 유기 발광층의 수명 저하를 방지하고 제품의 신뢰성을 향상할 수 있는 유기전계발광표시장치와 이의 제조방법을 제공하는 것이다.Embodiments of the present invention for solving the above problems of the background art, the organic light emitting display device that can minimize the outgassing emitted from the structure formed in the panel to prevent the life of the organic light emitting layer is reduced and the reliability of the product can be improved And to provide a method of manufacturing the same.

상술한 과제 해결 수단으로 본 발명은, 제1기판 상에 위치하며 게이트, 소오스 및 드레인을 포함하는 트랜지스터; 트랜지스터 상에 위치하며 소오스 또는 드레인에 연결된 콘택전극; 제2기판 상에 위치하는 제1전극; 제1전극 상에 위치하며 콘택전극에 대향하는 영역에서 돌출된 스페이서와, 스페이서 주변에 위치하는 희생층 을 포함하는 유기층; 유기층 상에 위치하는 스페이서를 덮고 희생층을 통해 제1전극의 일부가 노출되도록 언더컷 패턴된 영역과 희생층과 스페이서 사이의 하부에 위치하는 제1전극의 다른 일부가 노출되도록 개구영역을 갖는 무기층; 언더컷 패턴된 영역에 의해 무기층 상에서 구분되도록 형성된 유기 발광층; 언더컷 패턴된 영역에 의해 유기 발광층 상에서 구분되도록 형성되며 스페이서에 의해 콘택전극과 전기적으로 연결되는 제2전극; 및 제1기판과 제2기판을 합착 밀봉하는 접착부재를 포함하는 유기전계발광표시장치를 제공한다.The present invention as a means for solving the above problems, the transistor is located on the first substrate and comprises a gate, a source and a drain; A contact electrode on the transistor and connected to the source or the drain; A first electrode on the second substrate; An organic layer on the first electrode and including a spacer protruding in a region opposite the contact electrode and a sacrificial layer positioned around the spacer; An inorganic layer covering the spacer positioned on the organic layer and having an opening region so that the undercut patterned region is exposed through the sacrificial layer to expose a portion of the first electrode and another portion of the first electrode positioned below the sacrificial layer and the spacer is exposed. ; An organic light emitting layer formed to be separated on the inorganic layer by an undercut patterned region; A second electrode formed to be separated on the organic light emitting layer by an undercut patterned region and electrically connected to the contact electrode by a spacer; And an adhesive member configured to bond and seal the first substrate and the second substrate.

제1전극의 상부 또는 하부에는, 보조전극이 위치할 수 있다.An auxiliary electrode may be positioned above or below the first electrode.

희생층의 높이는, 무기층, 유기 발광층 및 제2전극보다 두꺼울 수 있다.The height of the sacrificial layer may be thicker than the inorganic layer, the organic light emitting layer, and the second electrode.

트랜지스터는, 제1기판 상에 위치하는 게이트와, 게이트 상에 위치하는 제1절연막과, 제1절연막 상에 위치하는 액티브층과, 액티브층 상에 위치하는 소오스 및 드레인과 소오스 및 드레인 상에 위치하는 제2절연막을 포함하고, 콘택전극은 제2절연막 상에 위치하고 소오스 또는 드레인에 연결되며 적어도 하나의 층으로 위치할 수 있다.The transistor includes a gate positioned on the first substrate, a first insulating layer positioned on the gate, an active layer positioned on the first insulating layer, a source and a drain positioned on the active layer, and a source and drain positioned on the first insulating layer. And a second insulating layer, wherein the contact electrode is disposed on the second insulating layer and connected to a source or a drain and positioned in at least one layer.

한편, 다른 측면에서 본 발명의 실시예는, 제1기판 상에 게이트, 소오스 및 드레인을 포함하는 트랜지스터를 형성하는 단계; 트랜지스터 상에 소오스 또는 드레인에 연결된 콘택전극을 형성하는 단계; 제2기판 상에 제1전극을 형성하는 단계; 제1전극 상에 콘택전극에 대향하는 영역에서 돌출된 스페이서와, 스페이서 주변에 위치하는 희생층을 포함하는 유기층을 형성하는 단계; 유기층 상에 위치하는 스페이서를 덮고 희생층을 통해 제1전극의 일부가 노출되도록 언더컷 패턴된 영역과 희생층과 스페이서 사이의 하부에 위치하는 제1전극의 다른 일부가 노출되도록 개구영역을 갖는 무기층을 형성하는 단계; 무기층 상에서 상호 구분되도록 유기 발광층을 형성하는 단계; 유기 발광층 상에서 상호 구분되도록 제2전극을 형성하는 단계; 및 제1기판과 제2기판 사이에 접착부재를 형성하고 제1기판과 제2기판을 합착 밀봉하는 단계를 포함하며, 제1기판과 제2기판이 합착 밀봉됨에 따라 제2전극은 스페이서에 의해 콘택전극과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공한다.On the other hand, an embodiment of the present invention, forming a transistor including a gate, a source and a drain on a first substrate; Forming a contact electrode connected to a source or a drain on the transistor; Forming a first electrode on a second substrate; Forming an organic layer on the first electrode, the organic layer including a spacer protruding in a region facing the contact electrode and a sacrificial layer positioned around the spacer; An inorganic layer covering the spacer positioned on the organic layer and having an opening region so that the undercut patterned region is exposed through the sacrificial layer to expose a portion of the first electrode and another portion of the first electrode positioned below the sacrificial layer and the spacer is exposed. Forming a; Forming an organic light emitting layer to be distinguished from each other on the inorganic layer; Forming a second electrode on the organic light emitting layer so as to be distinguished from each other; And forming an adhesive member between the first substrate and the second substrate and sealingly bonding the first substrate and the second substrate, wherein the second electrode is formed by the spacer as the first substrate and the second substrate are bonded and sealed. The present invention provides a method of manufacturing an organic light emitting display device, which is electrically connected to a contact electrode.

제1전극의 상부 또는 하부에, 보조전극을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있 다.The method may further include forming an auxiliary electrode on the upper or lower portion of the first electrode.

희생층의 높이는, 무기층, 유기 발광층 및 제2전극보다 두껍게 형성할 수 있다.The sacrificial layer may be formed to be thicker than the inorganic layer, the organic light emitting layer, and the second electrode.

유기층 형성 단계에서는, 하프톤 마스크(HTM) 또는 그레이톤 마스크(GTM)를 이용하여 스페이서와, 희생층을 동시에 형성할 수 있다.In the organic layer forming step, the spacer and the sacrificial layer may be simultaneously formed using a halftone mask (HTM) or a graytone mask (GTM).

제1전극은, ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide), AZO(ZnO doped Aluminum) 중 어느 하나로 이루어진 애노드로 형성할 수 있다.The first electrode may be formed of an anode including any one of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), and znO doped aluminum (AZO).

트랜지스터는, 제1기판 상에 위치하는 게이트와, 게이트 상에 위치하는 제1절연막과, 제1절연막 상에 위치하는 액티브층과, 액티브층 상에 위치하는 소오스 및 드레인과 소오스 및 드레인 상에 위치하는 제2절연막을 포함하고, 콘택전극은 제2절연막 상에 위치하고 소오스 또는 드레인에 연결되며 적어도 하나의 층으로 위치할 수 있다.The transistor includes a gate positioned on the first substrate, a first insulating layer positioned on the gate, an active layer positioned on the first insulating layer, a source and a drain positioned on the active layer, and a source and drain positioned on the first insulating layer. And a second insulating layer, wherein the contact electrode is disposed on the second insulating layer and connected to a source or a drain and positioned in at least one layer.

본 발명의 실시예는, 패널 내에 형성된 구조물로부터 발산되는 아웃게싱을 최소화하여 유기 발광층의 수명 저하를 방지하고 제품의 신뢰성을 향상할 수 있는 유기전계발광표시장치와 이의 제조방법을 제공하는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 무기층의 하부에 위치하는 희생층을 언더컷함으로써 공정의 효율성을 주는 효과가 있어 생산 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Embodiment of the present invention, there is an effect of providing an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can minimize the outgassing emitted from the structure formed in the panel to prevent the reduction of the life of the organic light emitting layer and improve the reliability of the product. . In addition, according to the embodiment of the present invention, the undercutting of the sacrificial layer located below the inorganic layer has the effect of giving the efficiency of the process has the effect of improving the production yield.

이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the specific content for the practice of the present invention will be described.

도 1은 유기전계발광표시장치의 서브 픽셀 회로 구성 예시도 이다.1 illustrates an exemplary subpixel circuit configuration of an organic light emitting display device.

도 1을 참조하면, 서브 픽셀은 스캔 배선(Scan)에 게이트가 연결되고 데이터 배선(Data)에 일단이 연결된 스위칭 트랜지스터(SWTFT)를 포함할 수 있다. 또한, 서브 픽셀은 스위칭 트랜지스터(SWTFT)의 타단에 게이트가 연결되고 제2전원배선(VSS)에 일단이 연결된 구동 트랜지스터(DRTFT)를 포함할 수 있다. 또한, 서브 픽셀은 구동 트랜지스터(DRTFT)의 게이트와 제2전원배선(VSS) 사이에 연결된 커패시터(CST)를 포함할 수 있다. 또한, 서브 픽셀은 제1전원배선(VDD)에 애노드가 연결되고 구동 트랜지스터(DRTFT)의 타단에 캐소드가 연결된 유기 발광다이오드(OLED)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the subpixel may include a switching transistor SWTFT having a gate connected to the scan line Scan and one end connected to the data line Data. In addition, the subpixel may include a driving transistor DRTFT having a gate connected to the other end of the switching transistor SWTFT and having one end connected to the second power line VSS. In addition, the subpixel may include a capacitor CST connected between the gate of the driving transistor DRTFT and the second power line VSS. In addition, the subpixel may include an organic light emitting diode OLED having an anode connected to the first power line VDD and a cathode connected to the other end of the driving transistor DRTFT.

본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는 서브 픽셀에 포함된 스위칭 트랜지스터(SWTFT), 구동 트랜지스터(DRTFT) 및 커패시터(CST) 등이 제1기판 상에 위치하고, 유기 발광다이오드 등이 제2기판 상에 위치하는 구조로 형성될 수 있다.In an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention, a switching transistor (SWTFT), a driving transistor (DRTFT), a capacitor (CST), etc., included in a subpixel are positioned on a first substrate, and an organic light emitting diode, etc., is disposed on a second substrate. It may be formed into a structure located on the substrate.

이러한 서브 픽셀 구조는 데이터 구동부 및 스캔 구동부로부터 데이터 신호 및 스캔 신호 등이 공급되면, 유기 발광다이오드(OLED)의 캐소드와 구동 트랜지스터(DRTFT)의 소오스 또는 드레인을 연결하는 스페이서를 통해 구동전류가 흐름으로 써 유기 발광다이오드(OLED)가 발광을 하게 되고 또한 영상을 표현할 수 있게 된다.In the sub-pixel structure, when a data signal and a scan signal are supplied from the data driver and the scan driver, a driving current flows through a spacer connecting the cathode of the organic light emitting diode OLED to the source or drain of the driving transistor DRTFT. The organic light emitting diode (OLED) emits light and can display an image.

이하, 개략적인 단면도를 참조하여 설명을 더욱 자세히 한다.Hereinafter, description will be made in more detail with reference to a schematic cross-sectional view.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는 제1기판(110)과 제1기판(110)과 대향하는 제2기판(120)을 포함할 수 있다. 제1기판(110)과 제2기판(120)은 접착부재(130)에 의해 합착 밀봉될 수 있다.Referring to FIG. 2, an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention may include a first substrate 110 and a second substrate 120 facing the first substrate 110. The first substrate 110 and the second substrate 120 may be bonded and sealed by the adhesive member 130.

제1기판(110) 및 제2기판(120)은 소자를 형성하기 위한 재료로 기계적 강도나 치수 안정성이 우수한 것을 선택할 수 있다.The first substrate 110 and the second substrate 120 may be selected from those having excellent mechanical strength or dimensional stability as materials for forming the device.

제1기판(110) 및 제2기판(120)의 재료로는, 유리판, 금속판, 세라믹판 또는 플라스틱판(폴리카보네이트 수지, 아크릴 수지, 염화비닐 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 에폭시 수지, 실리콘 수지, 불소수지 등) 등을 예로 들 수 있다.As a material of the first substrate 110 and the second substrate 120, a glass plate, a metal plate, a ceramic plate or a plastic plate (polycarbonate resin, acrylic resin, vinyl chloride resin, polyethylene terephthalate resin, polyimide resin, polyester) Resins, epoxy resins, silicone resins, fluororesins, and the like).

제1기판(110) 상에는 스캔 배선, 데이터 배선 및 전원 배선에 각각 연결된 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터 및 커패시터 등이 위치할 수 있고, 제2기판(120) 상에는 유기 발광다이오드와 구동 트랜지스터의 소오스 또는 드레인과 연결되는 스페이서 등이 위치할 수 있다.Switching transistors, driving transistors, and capacitors connected to scan wirings, data wirings, and power wirings may be disposed on the first substrate 110, and sources or drains of the organic light emitting diode and the driving transistor may be disposed on the second substrate 120. Spacers to be connected may be located.

이하, 제1기판(110) 상에 위치하는 트랜지스터 등에 대해 더욱 자세히 설명한다.Hereinafter, a transistor or the like positioned on the first substrate 110 will be described in more detail.

제1기판(110) 상에는 게이트(111)가 위치할 수 있다. 게이트(111)는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다.The gate 111 may be located on the first substrate 110. The gate 111 is any one selected from the group consisting of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd) and copper (Cu). It may be made of one or an alloy thereof.

또한, 게이트(111)는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 다중층일 수 있다. 또한, 게이트(111)는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴 또는 몰리브덴/알루미늄의 2중층일 수 있다.In addition, the gate 111 may include molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). It may be a multilayer made of any one or alloys thereof. In addition, the gate 111 may be a double layer of molybdenum / aluminum-neodymium or molybdenum / aluminum.

게이트(111) 상에는 제1절연막(112)이 위치할 수 있다. 제1절연막(112)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 다중층일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first insulating layer 112 may be positioned on the gate 111. The first insulating layer 112 may be a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a multilayer thereof, but is not limited thereto.

제1절연막(112) 상에는 액티브층(113)이 위치할 수 있다. 액티브층(113)은 비정질 실리콘 또는 이를 결정화한 다결정 실리콘을 포함할 수 있다. 여기서 도시하지는 않았지만, 액티브층(113)은 채널 영역, 소오스 영역 및 드레인 영역을 포함할 수 있으며, 소오스 영역 및 드레인 영역에는 P형 또는 N형 불순물이 도핑될 수 있다. 또한, 액티브층(113)은 접촉 저항을 낮추기 위한 오믹 콘택층을 포함할 수도 있다.The active layer 113 may be positioned on the first insulating layer 112. The active layer 113 may include amorphous silicon or polycrystalline silicon crystallized therefrom. Although not shown, the active layer 113 may include a channel region, a source region, and a drain region, and the source region and the drain region may be doped with P-type or N-type impurities. In addition, the active layer 113 may include an ohmic contact layer to lower the contact resistance.

액티브층(113) 상에는 소오스(114a) 및 드레인(114b)이 위치할 수 있다. 소 오스(114a) 및 드레인(114b)은 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있으며, 소오스(114a) 및 드레인(114b)이 단일층일 경우에는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다.The source 114a and the drain 114b may be positioned on the active layer 113. The source 114a and the drain 114b may be formed of a single layer or multiple layers. When the source 114a and the drain 114b are a single layer, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), Gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd) and copper (Cu) may be made of any one or an alloy thereof.

또한, 소오스(114a) 및 드레인(114b)이 다중층일 경우에는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴의 2중층, 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴 또는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴/몰리브덴의 3중층으로 이루어질 수 있다.In addition, when the source 114a and the drain 114b are multiple layers, the double layer of molybdenum / aluminum-neodymium and the triple layer of molybdenum / aluminum / molybdenum or molybdenum / aluminum-neodymium / molybdenum may be used.

소오스(114a) 및 드레인(114b) 상에는 제2절연막(115)이 위치할 수 있다. 제2절연막(115)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 다중층일 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 제2절연막(115)은 패시베이션막 또는 평탄화막일 수 있다.The second insulating layer 115 may be positioned on the source 114a and the drain 114b. The second insulating layer 115 may be, but is not limited to, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a multilayer thereof. The second insulating film 115 may be a passivation film or a planarization film.

제2절연막(115) 상에는 트랜지스터의 소오스(114a) 또는 드레인(114b)에 연결된 콘택전극(116)이 위치할 수 있다. 콘택전극(116)은 제1콘택전극(116a) 및 제2콘택전극(116b)와 같이 복층으로 위치할 수 있으나, 단층으로 위치할 수도 있다.The contact electrode 116 connected to the source 114a or the drain 114b of the transistor may be positioned on the second insulating layer 115. The contact electrode 116 may be positioned in multiple layers like the first contact electrode 116a and the second contact electrode 116b, but may also be positioned in a single layer.

이상은 제1기판(110) 상에 위치하는 트랜지스터가 바탐 게이트형 인 것을 일례로 설명하였다. 그러나, 제1기판(110) 상에 위치하는 트랜지스터는 이에 한정되지 않고 탑 게이트형으로도 형성될 수 있다.In the above, as an example, the transistor located on the first substrate 110 is a batam gate type. However, the transistor located on the first substrate 110 is not limited thereto and may also be formed as a top gate type.

이하, 제2기판(120) 상에 위치하는 유기 발광다이오드 등에 대해 더욱 자세히 한다.Hereinafter, an organic light emitting diode or the like positioned on the second substrate 120 will be described in more detail.

제2기판(120) 상에는 제1전극(122)이 위치할 수 있다. 제1전극(122)은 애노드로 선택될 수 있으며, 애노드로 선택된 제1전극(122)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide), AZO(ZnO doped Aluminum) 등과 같이 투명한 재료를 사용할 수 있다.The first electrode 122 may be positioned on the second substrate 120. The first electrode 122 may be selected as an anode, and the first electrode 122 selected as the anode may be indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), or AZO (ZnO doped). Transparent materials such as aluminum).

제1전극(122) 상에는 제1기판(110) 상에 위치하는 콘택전극(116)에 대향하는 영역에서 돌출된 스페이서(123a)와 스페이서(123a) 주변에 위치하는 희생층(123b)을 포함하는 유기층(123)이 위치할 수 있다. 유기층(123)은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene,BCB)계 수지, 아크릴계 수지 또는 폴리이미드 수지 등의 유기물을 포함할 수 있다. 여기서, 유기층(123)은 제1전극(122)의 일부를 노출하는 뱅크층 역할을 할 수 있다.The first electrode 122 includes a spacer 123a protruding from a region facing the contact electrode 116 on the first substrate 110 and a sacrificial layer 123b positioned around the spacer 123a. The organic layer 123 may be located. The organic layer 123 may include an organic material such as benzocyclobutene (BCB) -based resin, acrylic resin, or polyimide resin. Here, the organic layer 123 may serve as a bank layer exposing a part of the first electrode 122.

한편, 제1전극(122)의 상부 또는 하부에는 보조전극(121)이 위치할 수 있는데, 보조전극(121)은 희생층(123b)이 위치하는 영역에 대응하는 영역에 위치할 수 있다. 보조전극(121)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.Meanwhile, the auxiliary electrode 121 may be positioned above or below the first electrode 122, and the auxiliary electrode 121 may be located in an area corresponding to an area in which the sacrificial layer 123b is located. The auxiliary electrode 121 may be formed of any one of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). have.

유기층(123) 상에는 스페이서(123a)를 덮고 희생층(123b)을 통해 제1전극(122)의 일부가 노출되도록 언더컷 패턴된 영역(UC)과 희생층(123b)과 스페이서(123a) 사이의 하부에 위치하는 제1전극(122)의 다른 일부가 노출되도록 개구영역을 갖는 무기층(124)이 위치할 수 있다. 무기층(124)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 등의 무기물을 포함할 수 있다.The undercut patterned area UC and the lower portion between the sacrificial layer 123b and the spacer 123a are disposed on the organic layer 123 to cover the spacer 123a and expose a portion of the first electrode 122 through the sacrificial layer 123b. An inorganic layer 124 having an opening region may be positioned to expose another portion of the first electrode 122 positioned at. The inorganic layer 124 may include an inorganic material such as a silicon oxide film (SiOx), a silicon nitride film (SiNx), or the like.

무기층(124) 상에는 유기 발광층(125)이 위치할 수 있다. 유기 발광층(125) 은 적색, 청색 및 녹색을 발광하는 발광층을 포함할 수 있다. 이러한 발광층은 두 개 이상의 층으로 구성되어 백색을 발광할 수도 있다.The organic emission layer 125 may be positioned on the inorganic layer 124. The organic emission layer 125 may include an emission layer that emits red, blue, and green light. The light emitting layer may be composed of two or more layers to emit white light.

유기 발광층(125)은 언더컷 패턴된 영역(UC)에 의해 무기층(124) 상에서 구분되도록 형성될 수 있다.The organic emission layer 125 may be formed to be separated on the inorganic layer 124 by the undercut patterned area UC.

유기 발광층(125) 상에는 돌출 형성된 스페이서(123a)에 의해 콘택전극(116)과 전기적으로 연결되는 제2전극(126)이 위치할 수 있다. 제2전극(126)은 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd) 등과 같이 불투명한 재료를 사용할 수 있다. 제2전극(126)은 언더컷 패턴된 영역(UC)에 의해 유기 발광층(125) 상에서 구분되도록 형성될 수 있다.The second electrode 126 electrically connected to the contact electrode 116 may be positioned on the organic emission layer 125 by the protruding spacer 123a. The second electrode 126 may be made of an opaque material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), or the like. The second electrode 126 may be formed to be separated on the organic emission layer 125 by the undercut patterned area UC.

한편, 제2기판(120) 상에 언더컷 패턴된 영역(UC)을 형성하면, 종래와 같이 역테이퍼 형태의 격벽이나 마스크를 사용하지 않고도 유기 발광층(125)과 제2전극(126)이 각 서브 픽셀별로 구분되어 형성될 수 있다.On the other hand, when the undercut patterned area UC is formed on the second substrate 120, the organic light emitting layer 125 and the second electrode 126 may serve as sub-tappings without using a reverse tapered partition or mask as in the related art. It may be formed by dividing pixel by pixel.

그리고, 유기층(123) 상에 위치하는 스페이서(123a)와 희생층(123b)을 덮도록 무기층(124)을 형성하면, 유기 재료로부터 발생하는 아웃게싱(out-gassing) 문제를 최소화할 수 있어 유기 발광층(125)의 수명 저하를 방지하고 제품의 신뢰성을 향상할 수 있다.In addition, when the inorganic layer 124 is formed to cover the spacer 123a and the sacrificial layer 123b disposed on the organic layer 123, the out-gassing problem generated from the organic material may be minimized. The lifespan of the organic light emitting layer 125 may be prevented and the reliability of the product may be improved.

이하, 유기 발광다이오드의 계층 구조에 대해 더욱 자세히 설명한다.Hereinafter, the hierarchical structure of the organic light emitting diode will be described in more detail.

도 3은 유기 발광다이오드의 계층 구조 예시도이다.3 illustrates an example of a hierarchical structure of an organic light emitting diode.

유기 발광다이오드는 제1전극(122), 유기 발광층(125) 및 제2전극(126)을 포 함할 수 있다. 여기서, 유기 발광층(125)은 정공주입층(125a), 정공수송층(125b), 발광층(125c), 전자수송층(125d) 및 전자주입층(125e)을 포함할 수 있다.The organic light emitting diode may include a first electrode 122, an organic light emitting layer 125, and a second electrode 126. The organic emission layer 125 may include a hole injection layer 125a, a hole transport layer 125b, an emission layer 125c, an electron transport layer 125d, and an electron injection layer 125e.

정공주입층(125a)은 정공의 주입을 원활하게 하는 역할을 할 수 있으며, CuPc(cupper phthalocyanine), PEDOT(poly(3,4)-ethylenedioxythiophene), PANI(polyaniline) 및 NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenyl benzidine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The hole injection layer 125a may play a role of smoothly injecting holes. CuPc (cupper phthalocyanine), PEDOT (poly (3,4) -ethylenedioxythiophene), PANI (polyaniline), and NPD (N, N-dinaphthyl) -N, N'-diphenyl benzidine) may be composed of any one or more selected from the group consisting of, but is not limited thereto.

정공수송층(125b)은 정공의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenyl benzidine), TPD(N,N'-bis-(3-methylphenyl)-N,N'-bis-(phenyl)-benzidine), s-TAD 및 MTDATA(4,4',4"-Tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)-triphenylamine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The hole transport layer 125b serves to facilitate the transport of holes, NPD (N, N-dinaphthyl-N, N'-diphenyl benzidine), TPD (N, N'-bis- (3-methylphenyl) -N , N'-bis- (phenyl) -benzidine), s-TAD and MTDATA (4,4 ', 4 "-Tris (N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino) -triphenylamine) It may be made of one or more, but is not limited thereto.

발광층(125c)은 적색, 녹색 및 청색을 발광하는 물질을 포함할 수 있으며, 인광 또는 형광물질을 이용하여 형성할 수 있다.The emission layer 125c may include a material emitting red, green, and blue light and may be formed using phosphorescent or fluorescent materials.

발광층(125c)이 적색인 경우, CBP(carbazole biphenyl) 또는 mCP(1,3-bis(carbazol-9-yl)를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, PIQIr(acac)(bis(1-phenylisoquinoline)acetylacetonate iridium), PQIr(acac)(bis(1-phenylquinoline)acetylacetonate iridium), PQIr(tris(1-phenylquinoline)iridium) 및 PtOEP(octaethylporphyrin platinum)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 도펀트를 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리 PBD:Eu(DBM)3(Phen) 또는 Perylene을 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.When the light emitting layer 125c is red, it includes a host material including carbazole biphenyl (CBP) or mCP (1,3-bis (carbazol-9-yl), and PIQIr (acac) (bis (1-phenylisoquinoline) acetylacetonate Phosphorescent light containing a dopant including any one or more selected from the group consisting of iridium), PQIr (acac) (bis (1-phenylquinoline) acetylacetonate iridium), PQIr (tris (1-phenylquinoline) iridium) and PtOEP (octaethylporphyrin platinum) It may be made of a material, alternatively may be made of a fluorescent material including PBD: Eu (DBM) 3 (Phen) or perylene, but is not limited thereto.

발광층(125c)이 녹색인 경우, CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, Ir(ppy)3(fac tris(2-phenylpyridine)iridium)을 포함하는 도펀트 물질을 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum)을 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.When the emission layer 125c is green, the light emitting layer 125c may include a host material including CBP or mCP, and may be made of a phosphor including a dopant material including Ir (ppy) 3 (fac tris (2-phenylpyridine) iridium). Alternatively, the composition may be made of a fluorescent material including Alq3 (tris (8-hydroxyquinolino) aluminum), but is not limited thereto.

발광층(125c)이 청색인 경우, CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, (4,6-F2ppy)2Irpic을 포함하는 도펀트 물질을 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있다. 이와는 달리, spiro-DPVBi, spiro-6P, 디스틸벤젠(DSB), 디스트릴아릴렌(DSA), PFO계 고분자 및 PPV계 고분자로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.When the emission layer 125c is blue, the light emitting layer 125c may include a host material including CBP or mCP, and may be formed of a phosphor including a dopant material including (4,6-F2ppy) 2Irpic. Alternatively, it may be made of a fluorescent material including any one selected from the group consisting of spiro-DPVBi, spiro-6P, distilbenzene (DSB), distriarylene (DSA), PFO-based polymer and PPV-based polymer, but It is not limited.

전자수송층(125d)은 전자의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq 및 SAlq로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The electron transport layer 125d serves to facilitate the transport of electrons, and may be made of any one or more selected from the group consisting of Alq3 (tris (8-hydroxyquinolino) aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq, and SAlq. However, the present invention is not limited thereto.

전자주입층(125e)은 전자의 주입을 원활하게 하는 역할을 하며, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq 또는 SAlq를 사용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The electron injection layer 125e serves to facilitate the injection of electrons, and may be Alq3 (tris (8-hydroxyquinolino) aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq or SAlq, but is not limited thereto.

여기서, 본 발명의 실시예는 도 3에 한정되는 것은 아니며, 정공주입층(125a), 정공수송층(125b), 전자수송층(125d) 및 전자주입층(125e) 중 적어도 어 느 하나가 생략될 수도 있다.Here, the embodiment of the present invention is not limited to FIG. 3, and at least one of the hole injection layer 125a, the hole transport layer 125b, the electron transport layer 125d, and the electron injection layer 125e may be omitted. have.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention will be described.

도 4 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도 이다.4 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 다음과 같을 수 있다.A method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention may be as follows.

먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1기판(110) 상에 게이트(111), 소오스(114a) 및 드레인(114b)을 포함하는 트랜지스터를 형성하는 단계를 실시한다.First, as shown in FIG. 4, a transistor including a gate 111, a source 114a, and a drain 114b is formed on the first substrate 110.

트랜지스터는 제1기판(110) 상에 위치하는 게이트(111)와, 게이트(111) 상에 위치하는 제1절연막(112)과, 제1절연막(112) 상에 위치하는 액티브층(113)과, 액티브층(113) 상에 위치하는 소오스(114a) 및 드레인(114b)과, 소오스(114a) 및 드레인(114b) 상에 위치하는 제2절연막(115)을 포함할 수 있다.The transistor includes a gate 111 positioned on the first substrate 110, a first insulating layer 112 positioned on the gate 111, an active layer 113 positioned on the first insulating layer 112. And a source 114a and a drain 114b on the active layer 113, and a second insulating layer 115 on the source 114a and the drain 114b.

다음, 도 4에 도시된 바와 같이, 트랜지스터 상에 소오스(114a) 또는 드레인(114b)에 연결된 콘택전극(116)을 형성하는 단계를 실시한다.Next, as shown in FIG. 4, a step of forming a contact electrode 116 connected to the source 114a or the drain 114b on the transistor is performed.

콘택전극(116)은 트랜지스터의 제2절연막(115) 상에 위치하며, 소오스(114a) 또는 드레인(114b)에 연결될 수 있다. 콘택전극(116)은 제1콘택전극(116a) 및 제2콘택전극(116b)과 같이 적어도 하나의 층으로 형성될 수 있다.The contact electrode 116 is positioned on the second insulating layer 115 of the transistor and may be connected to the source 114a or the drain 114b. The contact electrode 116 may be formed of at least one layer like the first contact electrode 116a and the second contact electrode 116b.

다음, 도 5에 도시된 바와 같이, 제2기판(120) 상에 제1전극(122)을 형성하 는 단계를 실시한다.Next, as shown in FIG. 5, the step of forming the first electrode 122 on the second substrate 120 is performed.

제2기판(120) 상에 형성된 제1전극(122)은 애노드로 선택할 수 있다. 제1전극(122)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide), AZO(ZnO doped Aluminum) 중 어느 하나로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first electrode 122 formed on the second substrate 120 may be selected as an anode. The first electrode 122 may be formed of any one of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), and znO doped aluminum (AZO), but is not limited thereto.

한편, 제1전극(122) 형성하기 전후에는 보조전극(121)을 형성하는 단계를 더 실시할 수 있다. 보조전극(121)은 제1전극(122)의 상부 또는 하부에 형성할 수 있으며, 이후 형성할 희생층과 대응하는 영역에 형성할 수 있다. 보조전극(121)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. 보조전극(121) 패턴시 습식 식각(Wet Etching)을 사용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Meanwhile, before and after forming the first electrode 122, the forming of the auxiliary electrode 121 may be further performed. The auxiliary electrode 121 may be formed above or below the first electrode 122 and may be formed in a region corresponding to the sacrificial layer to be formed later. The auxiliary electrode 121 may be formed of any one of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). have. Wet etching may be used when the auxiliary electrode 121 is patterned, but is not limited thereto.

다음, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1전극(122) 상에 콘택전극(116)에 대향하는 영역에서 돌출된 스페이서(123a)와, 스페이서(123a) 주변에 위치하는 희생층(123b)을 포함하는 유기층(123)을 형성하는 단계를 실시한다.Next, as shown in FIG. 5, the spacer 123a protruding from the region facing the contact electrode 116 on the first electrode 122 and the sacrificial layer 123b positioned around the spacer 123a are disposed. Forming an organic layer 123 to be included is performed.

제1전극(122) 상에 위치하는 유기층(123)은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene,BCB)계 수지, 아크릴계 수지 또는 폴리이미드 수지 등의 유기물을 포함할 수 있다. 여기서, 유기층(123)은 제1전극(122)의 일부를 노출하는 뱅크층 역할을 할 수 있다.The organic layer 123 disposed on the first electrode 122 may include an organic material such as benzocyclobutene (BCB) resin, acrylic resin, or polyimide resin. Here, the organic layer 123 may serve as a bank layer exposing a part of the first electrode 122.

유기층(123)은 식각에 의해 스페이서(123a)와 희생층(123b)으로 각각 형성될 수 있다. 그러나, 이와 달리 유기층(123) 형성 단계에서는 하프톤 마스크(HTM) 또는 그레이톤 마스크(GTM)를 이용하여 스페이서(123a)와 희생층(123b)을 동시에 형성할 수 있다. The organic layer 123 may be formed as a spacer 123a and a sacrificial layer 123b by etching. However, in the forming of the organic layer 123, the spacer 123a and the sacrificial layer 123b may be simultaneously formed using the halftone mask HTM or the graytone mask GTM.

희생층(123b)의 높이는, 이후 형성할 무기층, 유기 발광층 및 제2전극보다 두껍게 형성할 수 있다. 희생층(123b)의 높이를 무기층, 유기 발광층 및 제2전극보다 두껍게 형성하면, 유기 발광층과 제2전극 형성시 숏트(short)가 발생하지 않고 각각 구분되어 형성될 수 있다. 스페이서(123a)의 높이가 3 ~ 4㎛ 라고 가정하면, 그 중간 정도인 2㎛ 수준 또는 이하로 형성하면 유기 발광층과 제2전극 형성시 숏트(short)가 발생하지 않고 각각 구분되어 형성될 수 있다.The sacrificial layer 123b may have a height greater than that of the inorganic layer, the organic light emitting layer, and the second electrode. If the height of the sacrificial layer 123b is formed thicker than that of the inorganic layer, the organic light emitting layer, and the second electrode, a short may not be generated when the organic light emitting layer and the second electrode are formed, and may be formed separately. Assuming that the height of the spacer 123a is 3 to 4 μm, when the spacer 123a is formed at a level of 2 μm or less, a short may not be generated when the organic light emitting layer and the second electrode are formed. .

다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 유기층(123) 상에 위치하는 스페이서(123a)를 덮고 희생층(123b)을 통해 제1전극(122)의 일부가 노출되도록 언더컷 패턴된 영역(UC)과 희생층(123b)과 스페이서(123a) 사이의 하부에 위치하는 제1전극(122)의 다른 일부가 노출되도록 개구영역(OP)을 갖는 무기층(124)을 형성하는 단계를 실시한다.Next, as shown in FIG. 6, the undercut patterned region UC covers the spacer 123a positioned on the organic layer 123 and exposes a portion of the first electrode 122 through the sacrificial layer 123b. The inorganic layer 124 having the opening region OP is formed to expose another portion of the first electrode 122 positioned below the sacrificial layer 123b and the spacer 123a.

무기층(124)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 등의 무기물을 포함할 수 있다. 유기층(123) 상에 무기층(124) 형성 이후, 건식 식각(Dry Etching)을 사용하여 언더컷 패턴된 영역(UC)과 개구영역(OP)을 형성할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The inorganic layer 124 may include an inorganic material such as a silicon oxide film (SiOx), a silicon nitride film (SiNx), or the like. After the inorganic layer 124 is formed on the organic layer 123, the undercut patterned area UC and the opening area OP may be formed using dry etching, but are not limited thereto.

한편, 언더컷 패턴된 영역(UC) 형성 후, 스트립(strip) 또는 드라이 에싱(Dry ashing) 등을 하여 무기층(124)의 하부에 위치하는 희생층(123b)을 완전히 제거할 수도 있다.Meanwhile, after the undercut patterned area UC is formed, the sacrificial layer 123b disposed under the inorganic layer 124 may be completely removed by stripping or dry ashing.

다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 무기층(124) 상에서 상호 구분되도록 유기 발광층(125)을 형성하는 단계를 실시한다.Next, as shown in FIG. 7, the step of forming the organic light emitting layer 125 to be distinguished from each other on the inorganic layer 124 is performed.

무기층(124) 상에는 유기 발광층(125)을 형성하면, 유기 발광층(125)은 언더컷 패턴된 영역(UC)에 의해 무기층(124) 상에서 구분되도록 형성될 수 있다. 유기 발광층(125)은 적색, 청색 및 녹색을 발광하는 발광층을 포함할 수 있다. 이러한 발광층은 두 개 이상의 층으로 구성되어 백색을 발광할 수도 있다.When the organic emission layer 125 is formed on the inorganic layer 124, the organic emission layer 125 may be formed to be distinguished on the inorganic layer 124 by the undercut patterned area UC. The organic emission layer 125 may include an emission layer that emits red, blue, and green light. The light emitting layer may be composed of two or more layers to emit white light.

다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 유기 발광층 상에서 상호 구분되도록 제2전극을 형성하는 단계를 실시한다.Next, as shown in FIG. 7, a step of forming a second electrode to be distinguished from each other on the organic light emitting layer is performed.

유기 발광층(125) 상에는 제2전극(126)을 형성하면, 제2전극(126)은 언더컷 패턴된 영역(UC)에 의해 유기 발광층(125) 상에서 구분되도록 형성될 수 있다. 제2전극(126)은 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd) 등과 같이 불투명한 재료를 사용할 수 있다.When the second electrode 126 is formed on the organic light emitting layer 125, the second electrode 126 may be formed to be distinguished on the organic light emitting layer 125 by the undercut patterned area UC. The second electrode 126 may be made of an opaque material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), or the like.

다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1기판(110)과 제2기판(120) 사이에 접착부재(130)를 형성하고 제1기판(110)과 제2기판(120)을 합착 밀봉하는 단계를 실시한다.Next, as shown in FIG. 8, the adhesive member 130 is formed between the first substrate 110 and the second substrate 120, and the first substrate 110 and the second substrate 120 are bonded and sealed. Carry out the steps.

제1기판(110)과 제2기판(120) 사이에 접착부재(130)를 형성하고 제1기판(110)과 제2기판(120)을 합착 밀봉하면, 제2전극(126)은 돌출 형성된 스페이서(123a)에 의해 콘택전극(116)과 전기적으로 연결될 수 있다.When the adhesive member 130 is formed between the first substrate 110 and the second substrate 120 and the first substrate 110 and the second substrate 120 are bonded and sealed, the second electrode 126 is formed to protrude. The contact electrode 116 may be electrically connected by the spacer 123a.

이상 본 발명의 실시예는, 패널 내에 형성된 구조물로부터 발산되는 아웃게싱을 최소화하여 유기 발광층의 수명 저하를 방지하고 제품의 신뢰성을 향상할 수 있는 유기전계발광표시장치와 이의 제조방법을 제공하는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 무기층의 하부에 위치하는 희생층을 언더컷함으로써 공정의 효율성을 주는 효과가 있어 생산 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Embodiments of the present invention have an effect of providing an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can minimize the outgassing emitted from the structure formed in the panel, thereby preventing the life of the organic light emitting layer from deteriorating and improving the reliability of the product. have. In addition, according to the embodiment of the present invention, the undercutting of the sacrificial layer located below the inorganic layer has the effect of giving the efficiency of the process has the effect of improving the production yield.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the technical configuration of the present invention described above may be modified in other specific forms by those skilled in the art to which the present invention pertains without changing its technical spirit or essential features. It will be appreciated that it may be practiced. Therefore, the embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. In addition, the scope of the present invention is shown by the claims below, rather than the above detailed description. Also, it is to be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention.

도 1은 유기전계발광표시장치의 서브 픽셀 회로 구성 예시도.1 is a diagram illustrating a subpixel circuit configuration of an organic light emitting display device.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 개략적인 단면도.2 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention;

도 3은 유기 발광다이오드의 계층 구조 예시도.3 is an exemplary hierarchical structure of an organic light emitting diode.

도 4 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.4 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

110: 제1기판 111: 게이트110: first substrate 111: gate

114a: 소오스 114b: 드레인114a: source 114b: drain

116: 콘택전극 120: 제2기판116: contact electrode 120: second substrate

122: 제1전극 123a: 스페이서122: first electrode 123a: spacer

123b: 희생층 124: 무기층123b: sacrificial layer 124: inorganic layer

125: 유기 발광층 126: 제2전극125: organic light emitting layer 126: second electrode

Claims (10)

제1기판 상에 위치하며 게이트, 소오스 및 드레인을 포함하는 트랜지스터;A transistor positioned on the first substrate and including a gate, a source, and a drain; 상기 트랜지스터 상에 위치하며 상기 소오스 또는 상기 드레인에 연결된 콘택전극;A contact electrode on the transistor and connected to the source or the drain; 제2기판 상에 위치하는 제1전극;A first electrode on the second substrate; 상기 제1전극 상에 위치하며 상기 콘택전극에 대향하는 영역에서 돌출된 스페이서와, 상기 스페이서 주변에 위치하는 희생층을 포함하는 유기층;An organic layer on the first electrode, the spacer including a spacer protruding in a region facing the contact electrode and a sacrificial layer positioned around the spacer; 상기 유기층 상에 위치하는 상기 스페이서를 덮고 상기 희생층을 통해 상기 제1전극의 일부가 노출되도록 언더컷 패턴된 영역과 상기 희생층과 상기 스페이서 사이의 하부에 위치하는 상기 제1전극의 다른 일부가 노출되도록 개구영역을 갖는 무기층;An undercut patterned region covering the spacer on the organic layer and exposing a portion of the first electrode through the sacrificial layer and another portion of the first electrode disposed under the sacrificial layer and the spacer An inorganic layer having an opening region so as to; 상기 언더컷 패턴된 영역에 의해 상기 무기층 상에서 구분되도록 형성된 유기 발광층;An organic light emitting layer formed to be separated on the inorganic layer by the undercut patterned region; 상기 언더컷 패턴된 영역에 의해 상기 유기 발광층 상에서 구분되도록 형성되며 상기 스페이서에 의해 상기 콘택전극과 전기적으로 연결되는 제2전극; 및A second electrode formed to be separated on the organic light emitting layer by the undercut patterned region and electrically connected to the contact electrode by the spacer; And 상기 제1기판과 상기 제2기판을 합착 밀봉하는 접착부재를 포함하는 유기전계발광표시장치.And an adhesive member for bonding and sealing the first substrate and the second substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1전극의 상부 또는 하부에는,Above or below the first electrode, 보조전극이 위치하는 것을 포함하는 유기전계발광표시장치.An organic light emitting display device comprising an auxiliary electrode positioned thereon. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 희생층의 높이는,The height of the sacrificial layer, 상기 무기층, 상기 유기 발광층 및 상기 제2전극보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.And an inorganic layer, the organic light emitting layer, and the second electrode. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 트랜지스터는,The transistor, 상기 제1기판 상에 위치하는 상기 게이트와, 상기 게이트 상에 위치하는 제1절연막과, 상기 제1절연막 상에 위치하는 액티브층과, 상기 액티브층 상에 위치하는 상기 소오스 및 상기 드레인과 상기 소오스 및 상기 드레인 상에 위치하는 제2절연막을 포함하고,The gate positioned on the first substrate, the first insulating layer positioned on the gate, the active layer positioned on the first insulating layer, the source, the drain, and the source positioned on the active layer. And a second insulating layer on the drain; 상기 콘택전극은 상기 제2절연막 상에 위치하고 상기 소오스 또는 상기 드레인에 연결되며 적어도 하나의 층으로 위치하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.And the contact electrode is disposed on the second insulating layer and connected to the source or the drain and positioned in at least one layer. 제1기판 상에 게이트, 소오스 및 드레인을 포함하는 트랜지스터를 형성하는 단계;Forming a transistor including a gate, a source, and a drain on the first substrate; 상기 트랜지스터 상에 상기 소오스 또는 상기 드레인에 연결된 콘택전극을 형성하는 단계;Forming a contact electrode connected to the source or the drain on the transistor; 제2기판 상에 제1전극을 형성하는 단계;Forming a first electrode on a second substrate; 상기 제1전극 상에 상기 콘택전극에 대향하는 영역에서 돌출된 스페이서와, 상기 스페이서 주변에 위치하는 희생층을 포함하는 유기층을 형성하는 단계;Forming an organic layer on the first electrode, the organic layer including a spacer protruding in a region facing the contact electrode and a sacrificial layer positioned around the spacer; 상기 유기층 상에 위치하는 상기 스페이서를 덮고 상기 희생층을 통해 상기 제1전극의 일부가 노출되도록 언더컷 패턴된 영역과 상기 희생층과 상기 스페이서 사이의 하부에 위치하는 상기 제1전극의 다른 일부가 노출되도록 개구영역을 갖는 무기층을 형성하는 단계;An undercut patterned region covering the spacer on the organic layer and exposing a portion of the first electrode through the sacrificial layer and another portion of the first electrode disposed under the sacrificial layer and the spacer Forming an inorganic layer having an opening region so as to be possible; 상기 무기층 상에서 상호 구분되도록 유기 발광층을 형성하는 단계;Forming an organic light emitting layer on the inorganic layer to be distinguished from each other; 상기 유기 발광층 상에서 상호 구분되도록 제2전극을 형성하는 단계; 및Forming a second electrode on the organic light emitting layer so as to be distinguished from each other; And 상기 제1기판과 상기 제2기판 사이에 접착부재를 형성하고 상기 제1기판과 상기 제2기판을 합착 밀봉하는 단계를 포함하며, 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착 밀봉됨에 따라 상기 제2전극은 상기 스페이서에 의해 상기 콘택전극과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.Forming an adhesive member between the first substrate and the second substrate and sealingly sealing the first substrate and the second substrate, wherein the first substrate and the second substrate are bonded and sealed to form the adhesive member. 2. The method of manufacturing an organic light emitting display device, wherein the two electrodes are electrically connected to the contact electrode by the spacers. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1전극의 상부 또는 하부에,Above or below the first electrode, 보조전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.A method of manufacturing an organic light emitting display device further comprising the step of forming an auxiliary electrode. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 희생층의 높이는,The height of the sacrificial layer, 상기 무기층, 상기 유기 발광층 및 상기 제2전극보다 두껍게 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.And forming the inorganic layer, the organic light emitting layer, and the second electrode thicker than the inorganic layer. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 유기층 형성 단계에서는,In the organic layer forming step, 하프톤 마스크(HTM) 또는 그레이톤 마스크(GTM)를 이용하여Using halftone mask (HTM) or graytone mask (GTM) 상기 스페이서와, 상기 희생층을 동시에 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.And forming the spacers and the sacrificial layer at the same time. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1전극은,The first electrode, ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide), AZO(ZnO doped Aluminum) 중 어느 하나로 이루어진 애노드로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.A method of manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that it is formed of an anode made of any one of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), and AZO (ZnO doped aluminum). 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 트랜지스터는,The transistor, 상기 제1기판 상에 위치하는 상기 게이트와, 상기 게이트 상에 위치하는 제1 절연막과, 상기 제1절연막 상에 위치하는 액티브층과, 상기 액티브층 상에 위치하는 상기 소오스 및 상기 드레인과 상기 소오스 및 상기 드레인 상에 위치하는 제2절연막을 포함하고,The gate positioned on the first substrate, the first insulating layer positioned on the gate, the active layer positioned on the first insulating layer, the source, the drain, and the source positioned on the active layer. And a second insulating layer on the drain; 상기 콘택전극은 상기 제2절연막 상에 위치하고 상기 소오스 또는 상기 드레인에 연결되며 적어도 하나의 층으로 위치하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.And the contact electrode is disposed on the second insulating layer and connected to the source or the drain and positioned in at least one layer.
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