KR20100013533A - Light emitting diode display device and method for driving the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 발광 표시장치에 관한 것으로, 특히 발광 표시장치의 제조시 발생되는 불량을 최소화하여 영상의 표시 효율을 상승시킬 수 있도록 한 발광 표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting display device, and more particularly, to a light emitting display device and a method of manufacturing the same, which minimize the defects generated during manufacturing of the light emitting display device to increase the display efficiency of an image.
다양한 정보를 영상으로 구현해 주는 영상 표시장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. Video display device that realizes a variety of information as a video is the core technology of the information and communication era, and is developing in a direction of thinner, lighter, portable and high performance.
이에, 최근에는 AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diode) 패널에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있는데, 이러한 AMOLED 패널은 스스로 빛을 내는 자체 발광형이기 때문에 명암대비(Contrast Ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 용이하다. 또한, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 5V 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다. 아울러, AMOLED 패널의 제조공정은 증착 공정 및 인캡슐레이션(encapsulation) 공정이 전부라고 할 수 있기 때문에 제조공정이 매우 단순하다. Recently, research on active matrix organic light emitting diode (AMOLED) panels has been actively conducted. Since the AMOLED panel is a self-luminous type that emits light by itself, high contrast ratio and ultra-thin display are realized. It is possible to implement a moving picture with a response time of several microseconds. In addition, there is no restriction on the viewing angle, it is stable even at low temperatures, and it is easy to manufacture and design a driving circuit because it is driven at a low voltage of 5V to 15V. In addition, the manufacturing process of the AMOLED panel is very simple because the deposition process and the encapsulation (encapsulation) process is all.
종래의 AMOLED 패널은 하나의 기판에 3색(R, G, B) 서브 화소로 구성된 복수의 화소들이 매트릭스 형태로 배열되고, 다른 하나의 기판이 상기 서브 화소들이 구성된 기판을 캡슐레이션한 형태로 이루어진다. 여기서, 각각의 서브 화소는 유기 전계 발광 셀과, 그 발광 셀을 독립적으로 구동하는 셀 구동부로 이루어진다. 이와 같은 종래의 AMOLED 패널은 각 서브 화소의 발광 셀과 셀 구동부가 함께 형성되기 때문에 발광 셀과 셀 구동부 중 어느 한쪽에서라도 불량이 발생하면 패널 자체가 불량 판정을 받아 불량률이 높아지는 문제점이 있었다. In the conventional AMOLED panel, a plurality of pixels consisting of three color (R, G, B) sub-pixels are arranged in a matrix form on one substrate, and the other substrate is formed in a form in which the sub-pixels are encapsulated. . Here, each sub-pixel consists of an organic electroluminescent cell and a cell driver for independently driving the light emitting cell. In the conventional AMOLED panel, since the light emitting cells and the cell driver of each sub-pixel are formed together, when a failure occurs in any one of the light emitting cell and the cell driver, the panel itself is judged to be defective and the defective rate increases.
이에 따라, 최근에는 발광 셀과 셀 구동부를 서로 다른 기판에 각각 형성한 후 각각의 기판들을 서로 마주보도록 결합시킨 듀얼 패널타입(dual panel type)의 AMOLED 패널이 대두되고 있다. 하지만, 듀얼 패널타입의 경우 각 기판의 합착시 발광 셀이 셀 구동부에 접촉할 수 있도록 하는 복수의 스페이서가 형성되는데, 이러한 스페이서들은 투명한 유기물로 형성되기 때문에 발광 셀 공정시 접착력이 떨어지는 등의 문제점이 발생한다. 다시 말하여, 발광 셀은 기판상에 유기물로 형성된 스페이서와 스페이서를 덮도록 형성된 유기 발광층 및 적어도 하나의 전극으로 이루어진다. 하지만, 스페이서는 투명한 유기물로 형성되기 때문에 패터닝 공정시 노광량을 일정하게 받지못하여 표면이 불균일해지거나 높이가 서로 달라지는 등의 문제가 발생한다. 이로 인해, 불균일한 스페이서와 유기 발광층의 접촉력이 떨어져 충격에 약해지고, 접촉 저항이 불균일해져 영상의 표시 효율이 떨어지게 된다. 아울러, 유기물로 이루어져 서로 접촉된 스페이서와 유기 발광층의 경우 열 증착에 매우 취약하여 메탈로 이루어진 전극의 형성시 서로 다른 탄성계수로 인해 접촉력이 더 떨어지는 등의 취약함을 보이고 있다. Accordingly, recently, a dual panel type AMOLED panel, in which a light emitting cell and a cell driver are formed on different substrates and then coupled to face each other, has emerged. However, in the case of the dual panel type, a plurality of spacers are formed to allow the light emitting cells to contact the cell driving unit when the substrates are bonded together. Since the spacers are formed of a transparent organic material, problems such as poor adhesive strength during the light emitting cell process are eliminated. Occurs. In other words, the light emitting cell includes a spacer formed of an organic material on a substrate, an organic light emitting layer formed to cover the spacer, and at least one electrode. However, since the spacer is formed of a transparent organic material, there is a problem that the surface is uneven or the height is different from each other because the exposure dose is not uniformly received during the patterning process. As a result, the contact force between the non-uniform spacer and the organic light emitting layer is reduced, thereby weakening the impact, and the contact resistance is nonuniform, resulting in a decrease in display efficiency of an image. In addition, the spacer and the organic light emitting layer made of an organic material are very vulnerable to thermal evaporation, which shows that the contact force is further decreased due to different elastic modulus when forming a metal electrode.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 발광 표시장치의 제조시 발생되는 불량을 최소화하여 영상의 표시 효율을 상승시킬 수 있도록 한 발광 표시장치 및 이의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can increase display efficiency of an image by minimizing defects generated during manufacturing of the light emitting display device.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치는 비 발광영역 및 다수의 발광영역을 포함하며, 서로 마주보는 하부 및 상부 기판; 상기 하부 기판의 비 발광영역에 형성된 복수의 스위칭 소자; 상기 각 스위칭 소자의 드레인 전극과 전기적으로 접속된 컨택 전극; 상기 상부 기판의 비 발광영역에 형성된 보조 전극; 상기 하부 기판의 컨택 전극과 대응하도록 상기 상부 기판의 비 발광영역에 형성된 컨택 스페이서; 상기 발광 영역을 서브 화소 단위로 구분하기 위해 상기 비 발광영역의 보조 전극에 형성된 세퍼레이터; 상기 세퍼레이터 및 상기 컨택 스페이서를 모두 덮도록 상부 기판의 하부 전면에 형성된 제 1 전극; 상기 상부 기판의 비 발광영역에 대응하도록 상기 제 1 전극 하부에 무기 절연물질로 형성된 버퍼층; 상기 버퍼층을 포함한 상기 상부 기판의 하부 전면에 형성된 유기 발광층; 및 상기 유기 발광층의 전면에 형성되어 상기 하부 기판의 컨택 전극과 전기적으로 접촉되는 제 2 전극을 구비한 것을 특징으로 한다. A light emitting display device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a lower light emitting region and a plurality of light emitting regions, the lower and upper substrates facing each other; A plurality of switching elements formed in the non-light emitting area of the lower substrate; A contact electrode electrically connected to the drain electrode of each switching element; An auxiliary electrode formed in the non-light emitting area of the upper substrate; A contact spacer formed in the non-light emitting area of the upper substrate to correspond to the contact electrode of the lower substrate; A separator formed on the auxiliary electrode of the non-light emitting area to divide the light emitting area into sub pixel units; A first electrode formed on the lower front surface of the upper substrate to cover both the separator and the contact spacer; A buffer layer formed of an inorganic insulating material under the first electrode so as to correspond to a non-light emitting area of the upper substrate; An organic emission layer formed on an entire lower surface of the upper substrate including the buffer layer; And a second electrode formed on the entire surface of the organic light emitting layer and electrically contacting the contact electrode of the lower substrate.
상기 제 1 전극은 ITO(Induim Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Al- dopped Zinc Oxide) 중 적어도 하나의 물질로 상기 상부 기판의 하부 전면에 형성 되어 상기 보조 전극과는 전기적으로 접촉된 것을 특징으로 한다. The first electrode is formed of at least one of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and Al- dopped zinc oxide (AZO), and is formed on the lower front surface of the upper substrate to be in electrical contact with the auxiliary electrode. It is characterized by.
상기 제 1 전극은 상기 세퍼레이터 및 컨택 스페이서보다 먼저 형성되어 상기 보조 전극과 함께 비 발광 영역의 공통 전원배선으로부터 공통전원을 공급받는 것을 특징으로 한다. The first electrode may be formed before the separator and the contact spacer to receive common power from the common power line in the non-light emitting area together with the auxiliary electrode.
상기 버퍼층은 PECVD 또는 스퍼터링 방법으로 SiNx, SiOx, SiON, SiOy 중 어느 하나의 무기 절연물질로 형성된 것을 특징으로 한다. The buffer layer is formed of an inorganic insulating material of any one of SiNx, SiOx, SiON, SiOy by PECVD or sputtering.
상기 유기 발광층은 열전사법을 통해 유기 물질로 상기 버퍼층을 포함한 상기 제 1 전극의 전면을 덮도록 형성된 것을 특징으로 한다. The organic light emitting layer is formed to cover the entire surface of the first electrode including the buffer layer with an organic material through a thermal transfer method.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조 방법은 상부 기판의 비 발광영역에 보조 전극을 형성하는 단계; 상기 상부 기판의 비 발광영역에 컨택 스페이서를 형성하는 단계; 상기 상부 기판의 발광 영역을 서브 화소 단위로 구분하기 위해 상기 비 발광영역의 보조 전극에 세퍼레이터를 형성하는 단계; 상기 세퍼레이터 및 상기 컨택 스페이서를 모두 덮도록 상부 기판의 전면에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 상부 기판의 비 발광영역에 대응하도록 상기 제 1 전극에 무기 절연물질로 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 버퍼층을 포함한 상기 상부 기판의 전면에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 발광층의 전면에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다. Further, a method of manufacturing a light emitting display device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object comprises the steps of forming an auxiliary electrode in a non-light emitting region of the upper substrate; Forming a contact spacer in a non-light emitting area of the upper substrate; Forming a separator on the auxiliary electrode of the non-light emitting area to divide the light emitting area of the upper substrate into sub pixel units; Forming a first electrode on an entire surface of the upper substrate to cover both the separator and the contact spacer; Forming a buffer layer of an inorganic insulating material on the first electrode so as to correspond to a non-light emitting area of the upper substrate; Forming an organic light emitting layer on an entire surface of the upper substrate including the buffer layer; And forming a second electrode on the entire surface of the organic light emitting layer.
상기 제 1 전극 형성단계는 ITO(Induim Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Al- dopped Zinc Oxide) 중 적어도 하나의 물질로 상기 보조 전극과 전기적으로 접촉되도록 상기 상부 기판의 전면에 형성한 것을 특징으로 한다. The first electrode forming step is formed on the front surface of the upper substrate to be in electrical contact with the auxiliary electrode with at least one of Indium Tin Oxide (ITO), Indium Zinc Oxide (IZO), and Al-dopped Zinc Oxide (AZO). It is characterized by one.
상기 제 1 전극 형성단계는 상기 세퍼레이터 및 컨택 스페이서 형성 단계보다 먼저 수행되어 상기 제 1 전극이 상기 보조 전극과 함께 비 발광 영역의 공통 전원배선과 전기적으로 접촉되도록 상기 제 1 전극을 형성한 것을 특징으로 한다. The first electrode forming step is performed before the separator and contact spacer forming step to form the first electrode such that the first electrode is in electrical contact with the common power wiring of the non-light emitting region together with the auxiliary electrode. do.
상기 버퍼층 형성 단계는 PECVD 또는 스퍼터링 방법으로 SiNx, SiOx, SiON, SiOy 중 어느 하나의 무기 절연물질로 상기 버퍼층을 형성한 것을 특징으로 한다. The buffer layer forming step is characterized in that the buffer layer is formed of an inorganic insulating material of any one of SiNx, SiOx, SiON, SiOy by PECVD or sputtering.
상기 유기 발광층 형성단계는 열전사법을 통해 유기 물질로 상기 버퍼층을 포함한 상기 제 1 전극의 전면을 덮도록 상기 유기 발광층을 형성한 것을 특징으로 한다. The organic light emitting layer forming step is characterized in that the organic light emitting layer is formed to cover the entire surface of the first electrode including the buffer layer with an organic material through a thermal transfer method.
상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 발광 표시장치 및 이의 제조방법은 비 표시 영역에 형성되는 유기 물질의 컨택 스페이서와 접촉되도록 금속재질의 제 1 전극을 형성한 다음, 비 표시영역의 제 1 전극과 접속되도록 무기물질의 버퍼층을 형성하게 된다. 이로 인해, 이 후에 형성되는 유기 발광층과 상기 버퍼층과의 접착력을 향상시켜 발광 표시장치의 제조 불량을 최소화시킬 수 있고 영상의 표시 효율을 상승시킬 수 있다. The light emitting display device and the method of manufacturing the same of the present invention as described above have a first electrode made of a metal material so as to be in contact with a contact spacer of an organic material formed in a non-display area, and then a first electrode of a non-display area. The buffer layer of the inorganic material is formed to be connected. Thus, the adhesion between the organic light emitting layer and the buffer layer formed thereafter may be improved, thereby minimizing manufacturing defects of the light emitting display device and increasing display efficiency of an image.
이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치 및 이의 제조방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a light emitting display device and a method of manufacturing the same according to an exemplary embodiment of the present invention having the above characteristics will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 한 서브 화소를 나타낸 등가 회로도이다. 1 is an equivalent circuit diagram illustrating one sub-pixel of a light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 하나의 서브 화소는 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL) 및 전원 라인(PL)과 접속된 셀 구동부(DRV), 셀 구동부(DRV)와 제 2 전원신호(GND) 사이에 접속되어 등가적으로는 다이오드로 표현되는 발광 셀(OEL)을 구비한다. One sub-pixel illustrated in FIG. 1 includes a cell driver DRV, a cell driver DRV, and a second power signal GND connected to a gate line GL, a data line DL, and a power line PL. And a light emitting cell OEL equivalently represented by a diode.
셀 구동부(DRV)는 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)과 접속된 제 1 스위칭 소자(T1), 제 1 스위칭 소자(T1)와 전원 라인(PL) 및 발광 셀(OEL) 사이에 접속된 제 2 스위칭 소자(T2), 전원 라인(PL)과 제 1 스위칭 소자(T1) 사이에 접속된 스토리지 커패시터(C)를 구비한다. The cell driver DRV is connected between the first switching element T1, the first switching element T1, the power supply line PL, and the light emitting cell OEL connected to the gate line GL and the data line DL. And a storage capacitor C connected between the second switching element T2, the power supply line PL, and the first switching element T1.
제 1 스위칭 소자(T1)의 게이트 전극은 게이트 라인(GL)에 접속되고, 소스 전극은 데이터 라인(DL)에 접속되며, 드레인 전극은 제 2 스위칭 소자(T2)의 게이트 전극에 접속된다. 이러한, 제 1 스위칭 소자(T1)는 게이트 라인(GL)에 게이트 온 신호가 공급되면 턴-온되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 스토리지 커패시터(C) 및 제 2 스위칭 소자(T2)의 게이트 전극으로 공급한다. The gate electrode of the first switching element T1 is connected to the gate line GL, the source electrode is connected to the data line DL, and the drain electrode is connected to the gate electrode of the second switching element T2. When the gate-on signal is supplied to the gate line GL, the first switching element T1 turns on and supplies the data signal supplied to the data line DL to the storage capacitor C and the second switching element T2. It is supplied to the gate electrode of.
제 2 스위칭 소자(T2)의 소스 전극은 전원 라인(PL)과 접속되고 드레인 전극은 발광 셀(OEL)에 접속된다. 이러한, 제 2 스위칭 소자(T2)는 제 1 스위칭 소자로부터의 데이터 신호에 응답하여 전원 라인(PL)으로부터 발광 셀(OEL)로 공급되는 전류(I)을 제어함으로써 발광 셀(OEL)의 발광량을 조절하게 된다. The source electrode of the second switching element T2 is connected to the power supply line PL and the drain electrode is connected to the light emitting cell OEL. The second switching element T2 controls the amount of light emitted from the light emitting cell OEL by controlling the current I supplied from the power supply line PL to the light emitting cell OEL in response to a data signal from the first switching element. Will be adjusted.
스토리지 커패시터(C)는 전원 라인(PL)과 제 2 스위칭 소자(T2)의 게이트 전극 사이에 접속된다. 그리고, 제 2 스위칭 소자(T2)는 제 1 스위칭 소자(T1)가 턴-오프 되더라도 스토리지 커패시터(C)에 충전된 전압에 의해 온 상태를 유지하여 다음 프레임의 데이터 신호가 공급될 때까지 발광 셀(OEL)의 발광을 유지시킨다. 여기서, 제 1 및 제 2 스위칭 소자(T1, T2)는 PMOS 또는 NMOS 트랜지스터가 사용될 수 있으나 이하에서는 NMOS 트랜지스터가 사용된 경우만을 설명하기로 한다. The storage capacitor C is connected between the power supply line PL and the gate electrode of the second switching element T2. The second switching element T2 remains on by the voltage charged in the storage capacitor C even when the first switching element T1 is turned off, until the data signal of the next frame is supplied. The emission of (OEL) is maintained. Here, the PMOS or the NMOS transistor may be used as the first and second switching elements T1 and T2, but only the case where the NMOS transistor is used will be described below.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 한 서브 화소를 나타낸 제조 단면도이다. 2 is a cross-sectional view illustrating a sub pixel of a light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 발광 표시장치는 서로 마주보도록 합착된 하부 및 상부 기판(10, 30)으로 이루어진 발광 표시패널을 포함한다.As shown in FIG. 2, the light emitting display device of the present invention includes a light emitting display panel including lower and
하부 및 상부 기판(10, 30)은 영상이 표시되는 다수의 발광영역과 영상이 비 표시되는 비 발광영역으로 이루어지며, 비 발광영역에는 상기 각 발광영역의 발광 셀(OEL)을 동작시키는데 필요한 각종 신호를 제공하는 셀 구동부(DRV)가 구비된다. 이러한, 하부 및 상부 기판(10, 30)은 실런트(sealant)에 의해 서로 합착되는데, 실런트는 하부 및 상부 기판(10, 30)의 외곽부에 형성된다. The lower and
비 발광영역은 발광영역들을 노출시키는 격자 형태를 이루기도 한다. 여기서, 발광영역은 발광 셀(OEL)들로부터의 광이 출사되는 화소 영역을 의미하며, 상기 비 발광영역은 상기 발광 셀(OEL)들을 동작시키기 위한 스위칭 소자(T1, T2) 등이 형성되는 영역을 의미한다.The non-light emitting area may form a grid to expose the light emitting areas. Here, the light emitting area means a pixel area where light from the light emitting cells OEL is emitted, and the non-light emitting area is an area where switching elements T1 and T2 for operating the light emitting cells OEL are formed. Means.
도 2에 도시된 하부 기판(10)의 스위칭 소자는 아몰퍼스 실리콘(a-Si)을 사용한 바텀 게이트 구조가 될 수 있으며, 도시하지 않았지만 스위칭 소자는 폴리 실리콘을 사용한 탑 게이트 구조를 가질 수도 있다.The switching element of the
여기서, 하부 기판(10)의 구조를 상세히 설명하면 다음과 같다.Here, the structure of the
하부 기판(10)은 이 하부 기판(10)의 화소 영역에 형성된 게이트 전극(11), 게이트 전극(11)을 포함한 하부 기판(10)의 전면에 형성된 게이트 절연막(12), 게이트 전극(11)과 중첩되도록 게이트 절연막(12) 상에 형성된 반도체 층(13), 반도체층(13)의 양측 가장자리에 중척되도록 형성된 오믹 접촉층(14), 오믹 접촉층(14) 상에 형성된 소스/드레인 전극(15, 16), 상기 소스/드레인 전극(15, 16)을 포함한 하부 기판(10)의 전면에 형성된 보호막(17)을 포함한다. 여기서, 게이트 전극(11), 소스/드레인 전극(15, 16), 반도체층(13), 오믹 접촉층(14), 게이트 절연막(12), 및 보호막(17)은 하나의 스위칭 소자를 형성한다. 그리고, 보호막(17)에는 서브 화소 영역별로 보호막(17)을 관통하는 콘택홀(18)이 형성되어 드레인 전극(16)의 일부를 노출시키며, 각 콘택홀(18)에는 콘택 전극(19)이 형성되어 드레인 전극과 전기적으로 접촉된다. The
한편, 도면으로 도시되지 않았지만 상기 하부 기판(10)의 외곽부 비표시 영역에 위치한 게이트 절연막 상에는 전원 라인(PL)이 형성된다. 전원 라인(PL)은 제 1 전압원 또는 제 2 전압원을 전송하는 라인으로서, 상기 전원 라인(PL)을 통해 인가되는 제 1 전압원 또는 제 2 전압원은 발광 셀(OEL)들의 각 제 1 또는 제 2 전극에 인가되는 전원을 의미한다. 전원 라인(PL)은 소스/드레인 전극(15, 16)과 동일한 재질로 형성된다. 다시 말하여, 상기 전원 라인(PL)과 소스/드레인 전극(15, 16)은 동일한 마스크 공정을 통해 동시에 제조될 수도 있다. 이와 같은, 전원 라인(PL)은 도시되지 않은 패드 전극을 통해 발광 셀(OEL)들의 각 제 1 또는 제 2 전극에 전기적으로 연결된다. 따라서, 보호막(17)에는 드레인 전극(16)과 접속되는 콘택홀(18) 외에 전원 라인(PL)과 접속되는 콘택홀들이 더 형성되기도 한다. Although not shown in the drawings, a power line PL is formed on the gate insulating layer positioned in the outer non-display area of the
다음으로, 발광 셀(OEL)이 형성된 상부 기판(30)의 구조를 상세히 설명하면 다음과 같다.Next, the structure of the
상부 기판(30)에는 비 발광영역에 형성되는 보조 전극(31), 하부 기판(10)의 컨택 전극(19)과 대응하도록 상기 상부 기판(30)의 비 발광영역에 형성되는 컨택 스페이서(33), 발광 영역을 서브 화소 단위로 구분하기 위해 상기 비 발광영역의 보조 전극(31)에 형성되는 세퍼레이터(32), 상기 보조 전극(31)과 세퍼레이터(32) 및 컨택 스페이서(33)를 모두 덮도록 상부 기판(30)의 하부 전면에 형성된 제 1 전극(32), 상기 보조 전극(31)과 세퍼레이터(32) 및 컨택 스페이서(33)가 형성된 비 발광영역에 대응하도록 상기 제 1 전극(32) 하부에 무기 절연물질로 형성된 버퍼층(35), 상기 버퍼층(35)과 제 1 전극(32)을 포함한 상부 기판(30)의 하부 전면에 형성된 유기 발광층(36) 및 상기 유기 발광층(36)의 전면에 형성되어 상기 하부 기판(10)의 컨택 전극(19)과 전기적으로 접촉되는 제 2 전극(37)이 형성된다. The
보조 전극(31)은 제 1 전극(202)의 저항 성분을 보상하여 더욱 효과적인 전압을 인가하기 위해 저 저항 금속물질로 형성되는데, 이러한 보조 전극(31)은 상부 기판(30)의 비 발광영역에 형성된다. 보조 전극(31)을 이루는 저 저항 금속물질로는 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 은(Ag), 구리 합금 중 적어도 하나의 금속물질이 사용될 수 있다. The
컨택 스페이서(33)는 상부 기판(30)의 제 2 전극(37)과 하부 기판(10)의 컨택 전극(19)의 전기적인 접촉이 필요한 영역에 정렬되어 기둥 형태로 형성되는데, 컨택 스페이서(33)는 역 테이퍼 즉, 역 사다리꼴 형태로 형성될 수 있다. 이러한, 컨택 스페이서(33)는 제 2 기판(30)의 하부면에 가장 아래 형성된 제 2 전극(37)이 제 1 기판(10)의 컨택 전극(19)과 접촉되도록 하기 위한 것으로, 제 1 기판(10)의 컨택 전극(19) 형성영역과 일부 대응되는 위치에 역 사다리꼴 형태로 형성된다. 컨택 스페이서(33)는 가시광 대역의 굴절율을 가지는 투명한 유기물질 예를 들어, poly styrenr, poly 2-vinylthiophene, poly vinylcarbazole 중 적어도 하나의 물질로 패터닝되어 형성된다. The contact spacers 33 are formed in a columnar shape by being aligned in an area requiring electrical contact between the
세퍼레이터(32)는 각 서브 화소를 감싸는 격벽 형태로 상기 보조 전극(32)의 하부면에 형성되는데, 보조 전극(32)의 위치에 따라 제 1 기판(10)의 게이트 라인(GL) 또는 데이터 라인(DL)에 대응되도록 형성될 수도 있다. 세퍼레이터(32)는 컨택 스페이서(33)와는 달리 보조 전극(31)을 기준으로 테이퍼 형태 구체적으로, 보조 전극(31)을 기준으로 이에 수직하게 절단하였을 경우, 그 단면구조가 보조 전극(31)과 접촉하는 면이 좁고 그 하부로 갈수록 넓어지는 사다리꼴 형태로 형성된다. 이와 같은 테이퍼 구조의 세퍼레이터(32)에 의해 유기 발광층(36)과 제 2 전극(37) 등이 각 서브 화소 영역 단위로 분리된다. 세퍼레이터(32)는 감광성 유기물질 예를 들어, 포토 레지스트(PR), 포토 아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB) 등이 도포된 후 패터닝되어 형성될 수 있다. 세퍼레이터(32)의 높이는 컨택 스페이서(33)의 높이보다는 낮게 형성해야 하며 컨택 스페이서(33)의 높이의 2/1 내지 2/3 정도가 되도록 형성하는 것이 바람직하다. 이는, 세퍼레이터(32)를 너무 낮게 형성하면 유기 발광층(36) 및 제 2 전극(37)이 세퍼레이터(32)에 의해 각 서브 화소별로 분리되지 않게 될 수 있으며, 너무 높게 형성하며 컨택 스페이 서(33)와 같이 제 1 기판(10)의 보호막(17) 등에 접촉될 수 있기 때문이다.The
제 1 전극(34)은 보조 전극(31)과 세퍼레이터(32) 및 컨택 스페이서(33)를 모두 덮도록 상부 기판(30)의 하부 전면에 형성된다. 이러한, 제 1 전극(32)은 애노드 전극이 될 수 있으며, ITO(Induim Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Al- dopped Zinc Oxide) 중 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다. 여기서, ITO는 일함수가 비교적 균일하여 유기 발광층(36)에 대한 정공 주입 장벽이 작은 투명 도전막이다. 도 2에서는 제 1 전극(34)이 보조 전극(31)과 세퍼레이터(32) 및 컨택 스페이서(33)를 모두 덮도록 형성된 구조만을 도시하였지만, 제 1 전극(34)은 세퍼레이터(32) 및 컨택 스페이서(33)보다 먼저 형성되어 보조 전극(31)과 상부 기판(30)의 하부 전면을 덮도록 형성될 수도 있다(미도시). 이 경우, 세퍼레이터(32)와 컨택 스페이서(33)는 제 1 전극(34)의 하부 면에 형성된다. 상술한 바와 같은, 제 1 전극(34)의 일측은 비 발광 영역의 패드 전극(미도시)을 통해 공통 전원배선에 접속되기 때문에 제 1 전극(34)과 보조 전극(31)은 공통전원배선으로부터 공통전원을 공급받는다. The
도면으로는 도시되지 않았지만, 상술한 컨택 스페이서(33)는 투명한 감광성의 유기물질로 패터닝되기 때문에 노광 공정시 상부 기판(30)이나 자체 반사되는 빛에 의해 노광량이 불균일해질 수 있다. 노광량이 불균일하면 식각 공정시 컨택 스페이서(33)의 표면이 불균일하게 형성된다. 또한, 컨택 스페이서(33) 자체가 유기 물질이기 때문에 열 증착되는 또 다른 유기물질과 접촉되면 접착불량이 일어나 외부 충격에 약해지게 된다. 이에, 컨택 스페이서(33)를 포함한 상부 기판(30)의 하부 전면에 금속성 도전물질의 제 1 전극(34)을 스퍼터링 등의 증착 방법으로 형성하면 1차적으로 상기 컨택 스페이서(33)를 평탄화할 수 있으면서도 컨택 스페이서(33)와의 접착력을 향상시킬 수 있다. Although not shown in the drawing, since the above-described
버퍼층(35)은 보조 전극(31)과 세퍼레이터(32) 및 컨택 스페이서(33)가 형성된 비 발광영역에 무기 절연물질로 형성된다. 이러한, 버퍼층(35)은 컨택 스페이서(33)의 불량 상태를 보완하기 위한 것으로, SiNx, SiOx, SiON, SiOy 중 어느 하나의 무기 절연물질로 이루어질 수 있다. 다시 말해, 표면이 불균일한 컨택 스페이서(33)에 의해 상기 컨택 스페이서(33)를 덮고있는 제 1 전극(34)의 표면 또한 다소 불균일할 수 있는데, 무기 절연물질로 이루어진 버퍼층(35)을 형성함으로써 이 후에 형성되는 유기 발광층(36)을 더욱 평탄한 형태로 형성할 수 있다. 아울러, 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging) 등으로 형성되는 유기 발광층(36)과 상기 버퍼층(35)과의 접착력 또한 더욱 향상시킬 수 있다. The
유기 발광층(36)은 도면으로 자세히 도시하진 않았지만 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL), 발광층(OEL), 전자 주입층(EIL) 및 전자 수송층(ETL)을 포함한다. 정공 주입층(HIL)은 제 1 전극(34) 예를 들어, 애노드 전극과 버퍼층(35)을 포함한 상부 기판(30)의 전면에 형성되며, 정공 수송층(HTL)은 정공 주입층(HIL)을 포함한 상부 기판(30)의 전면에 형성된다. 아울러, 발광층(OEL)은 발광영역의 정공 수송층(HTL) 상에 형성되며, 전자 주입층(EIL)은 발광층(OEL) 및 정공 수송층(HTL)을 포함한 상부 기판(30)의 전면에 형성된다. 그리고 전자 수송층(ETL)은 전자 주입층(EIL)을 포함한 상부 기판(30)의 전면에 형성된다.Although not shown in detail in the drawings, the
발광층(OEL)은 단위 화소 단위로 적색을 표시하기 위한 적색 발광층, 녹색을 표시하기 위한 녹색 발광층, 및 청색을 표시하기 위한 청색 발광층을 포함한다. 각 발광영역에 형성된 발광층(OEL)은 상기 적색 발광층, 녹색 발광층 및 청색 발광층 중 어느 하나이다. 즉, 적색 발광층, 녹색 발광층 및 청색 발광층이 하나의 단위 화소를 이룬다. 한편, 단위 화소는 백색 발광층을 더 포함할 수도 있으며, 이때는 하나의 단위 화소가 적색 발광층, 녹색 발광층, 청색 발광층 및 백색 발광층으로 이루어진다. The light emitting layer OEL includes a red light emitting layer for displaying red, a green light emitting layer for displaying green, and a blue light emitting layer for displaying blue in unit pixel units. The light emitting layer OEL formed in each light emitting area is any one of the red light emitting layer, the green light emitting layer, and the blue light emitting layer. That is, the red light emitting layer, the green light emitting layer, and the blue light emitting layer form one unit pixel. The unit pixel may further include a white light emitting layer, in which one unit pixel includes a red light emitting layer, a green light emitting layer, a blue light emitting layer, and a white light emitting layer.
이러한 발광층(OEL)은 발광영역에만 선택적으로 형성되도록 패터닝되는데, 상기 발광층을 패터닝하기 위한 방법으로는 상기 발광층이 저분자 유기 물질일 경우 섀도우 마스크(shadow mask)를 사용하는 방법이 사용될 수 있으며, 상기 발광층이 고분자 물질일 경우 잉크젯 프린팅(inkjet printing) 또는 레이저에 의한 열전사법이 사용될 수 있다. 이 중, 레이저에 의한 열 전사법은 발광층을 미세하게 패터닝할 수 있고, 대면적에 사용할 수 있으며 고해상도에 유리하다는 장점이 있을 뿐만 아니라, 잉크젯 프린팅이 습식 공정인데 반해 이는 건식 공정이라는 장점이 있다. The light emitting layer (OEL) is patterned to be selectively formed only in the light emitting region. As a method for patterning the light emitting layer, a method using a shadow mask may be used when the light emitting layer is a low molecular organic material. In the case of the polymer material, inkjet printing or thermal transfer by laser may be used. Among these, the thermal transfer method using a laser has a merit that the light emitting layer can be finely patterned, can be used for a large area, and is advantageous for high resolution, and inkjet printing is a wet process, whereas it has a merit of a dry process.
제 2 전극(37)은 상기의 세퍼레이터(32) 등에 의해 서브 화소 단위로 분리된 유기 발광층(36)을 덮도록 형성된다. 이러한, 제 2 전극(32)은 캐소드 전극이 될 수 있으며, 일함수값이 비교적 작은 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리 합금, ITO/Ag, ITO/Ag/ITO, ITO/Ag/IZO(Indium Zinc Oxide), 은합금(ITO/Ag 합금/ITO) 및 그 등가물 중 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다. 여 기서, Ag는 전면 발광방식에서 특히 유기 발광층(36)으로부터의 빛을 상면으로 반사시키는 막이다. 제 2 전극(37)은 상기의 세퍼레이터(32) 등에 의해 각 서브 화소 단위로 분리되고, 분리된 각각의 제 2 전극(37)은 컨택 스페이서(33)의 높이 또는 두께에 의해 하부 기판(10)의 컨택 전극(19)과 전기적으로 접촉된다. The
도 3은 도 2에 도시된 발광 표시장치의 하부 기판 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다. 그리고, 도 4a 내지 도 4c는 도 2에 도시된 발광 표시장치의 상부 기판 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이며, 도 5는 도 3의 하부 기판과 도 4c의 상부 기판이 합착된 상태의 공정 단면도이다. 3 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a lower substrate of the light emitting display device illustrated in FIG. 2. 4A through 4C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an upper substrate of the light emitting display device of FIG. 2, and FIG. 5 is a cross-sectional view of a process in which the lower substrate of FIG. 3 and the upper substrate of FIG. 4C are bonded to each other. to be.
먼저, 도 3을 참조하여 본 발명의 하부 기판 제조 방법을 설명하면 다음과 같다. First, the lower substrate manufacturing method of the present invention will be described with reference to FIG. 3.
도 3을 참조하면, 먼저 하부 기판(10)으로 사용되는 유리 기판상에 게이트 금속물질을 증착하고 패터닝하여 게이트 전극(11)을 형성한다. 그리고, 게이트 전극(11)을 포함한 하부 기판(10)의 전면에 게이트 절연막(12)을 증착한 후, 게이트 절연막(12) 상에 반도체 층 형성물질과 오믹 접촉층 형성물질 및 소스/드레인 형성물질을 순차적으로 증착한다. 이 후, 상기의 반도체 층 형성물질과 오믹 접촉층 형성물질 및 소스/드레인 형성물질을 동시 또는 순차적으로 패터닝함으로써 반도체 층(13)과 오믹 접촉층(14) 및 소스/드레인 전극(15, 16) 등으로 이루어진 스위칭 소자를 형성한다. 다음으로, 상기 스위칭 소자와 게이트 절연막(12)을 포함한 하부 기판(12)의 전면에 보호막(12)을 형성한 후 패터닝함으로써 스위칭 소자의 드레인 전극(16)이 소정 영역 노출되도록 컨택홀(18)을 형성한다. 그리고, ITO 등의 금속 물질을 증착하고 패터닝하여 컨택 전극(19)을 형성한다. 여기서, 상기의 하부 기판(10)으로는 유리기판 외에 실리콘 기판이나 자성 박막 기판 또는 자성 지지 기판 등이 사용될 수도 있다. Referring to FIG. 3, first, a gate metal material is deposited and patterned on a glass substrate used as the
다음으로, 도 4a 내지 도 4c를 참조하여 본 발명의 상부 기판 제조 방법을 설명하면 다음과 같다. Next, the upper substrate manufacturing method of the present invention will be described with reference to FIGS. 4A to 4C.
도 4a를 참조하면, 상부 기판(30) 상에 PPECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposion) 또는 스퍼터링 등의 증착 방법으로 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리 합금, 티탄(Ti), 크롬(Cr) 중 적어도 하나의 저 저항 금속물질을 증착한다. 그리고, 증착된 저 저항 금속물질층을 포토 리소그래피 공정 및 식각 공정 등으로 패터닝하여 비 발광영역에 보조 전극(31)을 형성한다. Referring to FIG. 4A, aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, titanium (Ti) may be deposited on the
이 후, 보조 전극(31)을 포함한 상부 기판(30)의 전면에 투명한 유기물질 예를 들어, poly styrenr, poly 2-vinylthiophene, poly vinylcarbazole 중 적어도 하나의 물질을 증착하고 패터닝하여 컨택 스페이서(33)를 형성한다. 여기서, 컨택 스페이서(33)의 높이는 상기 증착되는 유기물질의 두께에 의해 설정될 수 있으며, 컨택 스페이서(33)를 형성하는 과정에서 습식 식각 공정을 수행하면 컨택 스페이서(33)의 형성 패턴에 인접한 영역은 다른 부분에 비해 식각되는 시간이 길어지게 되므로 컨택 스페이서(33)는 사다리꼴 형상으로 패터닝된다. Thereafter, at least one material of a transparent organic material, for example, poly styrenr, poly 2-vinylthiophene, and poly vinylcarbazole, is deposited and patterned on the front surface of the
다음으로, 상기의 보조 전극(31)과 컨택 스페이서(33)를 포함한 상부 기판(30)의 전면에 상기 컨택 스페이서(33)를 이루는 유기물질과 다른 감광성의 유기 절연물질 예를 들면, 포토 레지스트(PR), 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이 클로부텐(BCB) 등을 증착하고 이를 패터닝함으로써 상기 보조 전극(31) 상에 위로 역 사다리꼴 형태의 세퍼레이터(32)를 형성한다. 이러한, 세퍼레이터(32)는 각 서브 화소를 감싸는 격벽 형태로 보조 전극(32)의 상부면에 형성되는데, 보조 전극(32)의 위치에 따라 제 1 기판(10)의 게이트 라인(GL) 또는 데이터 라인(DL)에 대응되도록 형성될 수 있다. 이때, 상기 세퍼레이터(32)의 높이는 컨택 스페이서(33)의 높이보다는 낮게 형성해야 하며 컨택 스페이서(33)의 높이의 2/1 내지 2/3 정도가 되도록 형성하는 것이 바람직하다. Next, a photosensitive organic insulating material different from an organic material constituting the
도 4b에 도시된 바와 같이 세퍼레이터(32)와 컨택 스페이서(33) 등이 형성된 상부 기판(30)의 전면에 PECVD 또는 스퍼터링 등의 증착 방법을 통해 ITO(Induim Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Al- dopped Zinc Oxide) 또는 그 등가 물질을 증착하여 제 1 전극(34)을 형성한다. 이러한, 제 1 전극(34)은 상기의 보조 전극(31) 등과 전기적으로 접촉된다. 그리고, 제 1 전극(34)을 포함한 상부 기판(30)의 전면에 PECVD, 스핀 코팅(Spin Coating), 스핀리스 코팅(Spinless Coating) 등의 방법으로 SiNx, SiOx, SiON 또는 SiOy로 이루어진 무기 절연물질을 증착한 다음 이를 패터닝하여 보조 전극(31)과 세퍼레이터(32) 및 컨택 스페이서(33)가 형성된 비 발광영역에 버퍼층(35)을 형성한다. 이러한 버퍼층(35)은 표면이 불균일한 컨택 스페이서(33)에 의해 상기 컨택 스페이서(33)를 덮고있는 제 1 전극(34)의 표면 또한 다소 불균일할 수 있는데, 평탄하게 무기 절연물질로 이루어진 버퍼층(35)을 형성함으로써 이 후에 형성되는 유기 발광층(36)을 더욱 평탄한 형태로 형성할 수도 있다. 아울러, 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging) 등 으로 형성되는 유기 발광층(36)과 상기 버퍼층(35)과의 접착력 또한 더욱 향상시킬 수 있다. As shown in FIG. 4B, indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO) are deposited on the entire surface of the
다음으로, 도 4c에 도시된 바와 같이, 프린팅 방법이나 섀도우 마스크 방법 또는 열전사법 등을 이용하여 버퍼층(35) 및 제 1 전극(34)이 형성된 상부 기판(30)의 전면에 유기 발광층(36)을 형성한다. 즉, 도면으로 자세히 도시하진 않았지만 유기 발광층(36)은 열전사법 등으로 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL), 발광층(OEL), 전자 주입층(EIL) 및 전자 수송층(ETL)을 순차적으로 증착함으로써 형성된다. 특히, 레이저에 의한 열 전사법으로 발광층(OEL) 등을 형성하는 경우에는 상기의 다른 방법들보다 미세하게 패터닝할 수 있고, 대면적에 사용할 수 있으며 고해상도에 유리하다는 장점이 있을 뿐만 아니라, 잉크젯 프린팅이 습식 공정인데 반해 이는 건식 공정이라는 장점을 활용할 수 있다. 이와 같이, 상기 무기 물질로 이루어진 버퍼층(35) 상에 형성된 유기 발광층(36)은 버퍼층(35)의 접착력이 강화되어 충격에도 강하고 보다 평판하게 형성되어 전류 전송 효율 등이 향상될 수 있다. Next, as shown in FIG. 4C, the organic
이 후, 유기 발광층(36)이 형성된 상부 기판(30)의 전면에 PECVD나 스퍼터링 공정을 수행하여 일함수값이 비교적 작은 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리 합금 중 적어도 하나의 금속물질에 은/칼슘(Ag/Ca) 등이 적층된 구조의 제 2 전극(37)을 형성한다. 이러한, 제 2 전극(37)은 상기의 세퍼레이터(32) 등에 의해 서브 화소 단위로 분리된 유기 발광층(36)을 덮도록 형성된다. Thereafter, PECVD or sputtering is performed on the entire surface of the
마지막으로, 도 5에 도시된 바와 같이 스위칭 소자 및 컨택 전극(19) 등이 형성된 하부 기판(10)상에 유기 발광층(36)과 제 2 전극(37) 등이 형성된 상부 기판(30)을 서로 마주 보도록 합착시킨다. 이때, 상부 기판(30)의 제 2 전극(37)은 상기 컨택 스페이서(33)의 높이 또는 두께에 의해 하부 기판(10)의 컨택 전극(19)과 전기적으로 접촉된다. Finally, as shown in FIG. 5, the organic
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술 될 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음이 자명하다. Although the detailed description of the present invention described above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art have ordinary skill in the art. It is apparent that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and technical scope.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 한 서브 화소를 나타낸 등가 회로도. 1 is an equivalent circuit diagram illustrating one sub-pixel of a light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 한 서브 화소를 나타낸 제조 단면도. 2 is a cross-sectional view illustrating a sub-pixel of a light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 도 2에 도시된 발광 표시장치의 하부 기판 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도. FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a lower substrate of the light emitting display device illustrated in FIG. 2.
도 4a 내지 도 4c는 도 2에 도시된 발광 표시장치의 상부 기판 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도.4A to 4C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an upper substrate of the light emitting display device illustrated in FIG. 2.
도 5는 도 3의 하부 기판과 도 4c의 상부 기판이 합착된 상태의 공정 단면도. 5 is a cross-sectional view of a process in which the lower substrate of FIG. 3 and the upper substrate of FIG. 4C are bonded to each other.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명><Simple explanation of the code | symbol about the main part of drawing>
10 : 하부 기판 11 : 게이트 전극10
12 : 게이트 절연막 15, 16 : 소스/드레인 전극12:
30 : 상부기판 31 : 보조 전극30: upper substrate 31: auxiliary electrode
32 : 세퍼레이터 33 : 컨택 스페이서32: separator 33: contact spacer
34 : 제 1 전극 35 : 버퍼층34: first electrode 35: buffer layer
36 : 유기 발광층 37 : 제 2 전극36 organic
Claims (10)
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---|---|---|---|
KR1020080075101A KR20100013533A (en) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | Light emitting diode display device and method for driving the same |
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---|---|---|---|
KR1020080075101A KR20100013533A (en) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | Light emitting diode display device and method for driving the same |
Publications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI678803B (en) * | 2018-12-26 | 2019-12-01 | 友達光電股份有限公司 | Display device |
-
2008
- 2008-07-31 KR KR1020080075101A patent/KR20100013533A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
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TWI678803B (en) * | 2018-12-26 | 2019-12-01 | 友達光電股份有限公司 | Display device |
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