KR20100006954U - Roll brush for large area substrate - Google Patents

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KR20100006954U KR2020080017326U KR20080017326U KR20100006954U KR 20100006954 U KR20100006954 U KR 20100006954U KR 2020080017326 U KR2020080017326 U KR 2020080017326U KR 20080017326 U KR20080017326 U KR 20080017326U KR 20100006954 U KR20100006954 U KR 20100006954U
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

본 고안은 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 관한 것으로, 기판의 상하측에 각각 마련된 롤브러시들과, 상기 롤브러시들 각각의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지부와, 상기 롤브러시들 각각의 회전축의 일측단에 회전구동력을 전달하는 구동부를 포함하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 있어서, 상기 구동부가 위치하는 측의 상기 일측 지지부 내에 위치하여, 상기 롤브러시들의 중앙측을 향하는 에어커튼을 형성하는 에어커튼부를 더 포함한다. 이와 같은 구성의 본 고안은, 롤브러시의 양단을 지지하는 지지부 내에 외부에서 정화된 공기를 공급하여 그 롤브러시의 양단측에서 롤브러시 중앙측으로 분사되는 에어커튼을 형성하여, 흄이 구동부측으로 유출되는 것을 방지함으로써, 구동부의 손상을 방지하여 생산성의 저하를 방지하는 효과가 있다.The present invention relates to a contact cleaning apparatus for a large-area substrate, roll brushes provided on the upper and lower sides of the substrate, a support portion rotatably supporting both ends of each of the roll brushes, and a rotation shaft of each of the roll brushes. In a contact cleaning apparatus for a large-area substrate comprising a drive unit for transmitting a rotational driving force to one side end of the substrate, located in the one side support portion of the side where the drive unit is located, to form an air curtain toward the center side of the roll brush It further comprises an air curtain portion. The present invention of such a configuration is to supply air purified from the outside to the support portion for supporting both ends of the roll brush to form an air curtain that is injected from the both ends of the roll brush to the roll brush center side, so that the fume flows out to the driving part side. By preventing the damage, there is an effect of preventing damage to the drive portion and preventing a decrease in productivity.

롤브러시, 흄, 에어커튼 Roll Brush, Fume, Air Curtain

Description

대면적 기판의 접촉식 세정장치{Roll brush for large area substrate}Roll brush for large area substrate

본 고안은 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 관한 것으로, 특히 흄의 유출을 방지할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a contact cleaning device for a large area substrate, and more particularly to a contact cleaning device for a large area substrate that can prevent the outflow of fume.

일반적으로 대면적 기판은 초기세정 등에 회전하는 브러시를 이용한 접촉식 세정장치를 사용하고 있다. 접촉식 세정장치는 세정수가 공급되는 분위기에서 원통에 브러시를 감은 롤브러시를 회전시켜 그 브러시와 기판이 직접 접촉되어 세정이 이루어진다.In general, a large area substrate uses a contact cleaning device using a brush that rotates for initial cleaning or the like. The contact cleaning apparatus rotates the roll brush wound around the cylinder in the atmosphere in which the washing water is supplied, and the brush is directly contacted with the substrate to perform cleaning.

상기 롤브러시가 고속으로 회전하기 때문에 이물과 물이 혼합된 흄(fume)이 발생하게 되며, 이는 접촉식 세정장치의 구조상 그 롤브러시를 회전시키는 구동부측으로 유입되어 고장의 원인이 될 수 있으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 접촉식 세정장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Since the roll brush rotates at a high speed, a fume mixed with foreign matter and water is generated, which may flow into the driving unit to rotate the roll brush due to the structure of the contact cleaning device, which may cause a failure. When described in detail with reference to the accompanying drawings of the conventional contact cleaning apparatus of a large-area substrate as follows.

도 1은 종래 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 정면 구성도이다.1 is a front configuration diagram of a conventional contact cleaning device of a large area substrate.

도 1을 참조하면 종래 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 이송되는 기판(S) 의 상부와 하부측에 각각 위치하여 회전에 의해 그 기판(S)의 상하면에 각각 접촉되어 기판(S)을 세정하는 상부롤브러시(1) 및 하부롤브러시(2)와, 상기 상부롤브러시(1)와 하부롤브러시(2) 각각의 양단을 지지하되 그 상부롤브러시(1) 및 하부롤브러시(2)가 회전할 수 있도록 지지하고, 높이의 조절이 가능한 상부지지부(3) 및 하부지지부(4)와, 세정이 이루어지는 영역을 정의하는 배스(5)에 마련된 장공을 통해 상기 상부롤브러시(1)와 하부롤브러시(2) 각각에 구동력을 전달하는 상부구동부(6) 및 하부구동부(7)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 1, a conventional contact cleaning apparatus for a large area substrate is located on the upper and lower sides of the substrate S to be transferred, respectively, and is in contact with the upper and lower surfaces of the substrate S by rotation, respectively. An upper roll brush (1) and a lower roll brush (2) to be cleaned, and both ends of the upper roll brush (1) and the lower roll brush (2) are supported, but the upper roll brush (1) and the lower roll brush (2). ) The upper roll brush (1) through a long hole provided in the upper support (3) and the lower support (4) and the bath (5) defining the area to be cleaned, so that the support is rotatable and the height can be adjusted. And a lower driving part 7 and an upper driving part 6 for transmitting a driving force to each of the lower roll brushes 2.

이와 같은 구성에서 상기 상부롤브러시(1)와 하부롤브러시(2)는 각각 상부구동부(6)와 하부구동부(7)에 의해 회전하며, 그 상부롤브러시(1) 및 하부롤브러시(2)의 브러시 부분이 이송되는 기판(S)의 상면과 저면에 접하여 세정이 이루어진다.In this configuration, the upper roll brush 1 and the lower roll brush 2 rotate by the upper driving part 6 and the lower driving part 7, respectively, and the upper roll brush 1 and the lower roll brush 2 are rotated. Cleaning is performed in contact with the upper and lower surfaces of the substrate (S) to which the brush portion is transferred.

상기 상부롤브러시(1)와 하부롤브러시(2)는 기판(S)과의 간격이 조정가능한 것이어야 하며, 이는 기판(S)에 주는 압력을 적당하게 조정하기 위한 것이다. 또한 기판(S)에 걸리는 압력이 너무 크거나 다른 이상이 발생하였을 때에는 상기 상부롤브러시(1)와 하부롤브러시(2)를 급격하게 상하로 각각 이동시키는 동작이 필요하다.The upper roll brush 1 and the lower roll brush 2 should have an adjustable distance between the substrate S, which is to adjust the pressure applied to the substrate S appropriately. In addition, when the pressure applied to the substrate S is too large or other abnormality occurs, an operation of rapidly moving the upper roll brush 1 and the lower roll brush 2 up and down respectively is required.

이와 같은 롤브러시들의 조건에 의해 상기 상부롤브러시(1)와 하부롤브러시(2)의 회전축은 배스(5)에 마련된 장공을 통해 상기 상부구동부(6)와 하부구동부(7)의 구동력을 전달받아 회전한다.By the conditions of the roll brushes, the rotary shafts of the upper roll brush 1 and the lower roll brush 2 transmit the driving force of the upper driving part 6 and the lower driving part 7 through the long holes provided in the bath 5. Take it and rotate it.

이때, 기판(S)의 세정에 따라 이물과 공급되는 세정수가 혼합되어 흄이 상기 상부롤브러시(1)와 하부롤브러시(2)의 회전축을 따라 측면으로 이동하여, 상기 배스(5)에 마련된 장공측으로 유출되어 상부구동부(6)와 하부구동부(7)를 오염시키며, 모터를 포함하는 상부구동부(6)와 하부구동부(7)를 손상시키는 원인이 된다.At this time, the foreign material and the washing water supplied by the cleaning of the substrate (S) is mixed so that the fume is moved to the side along the rotation axis of the upper roll brush (1) and the lower roll brush (2), provided in the bath (5) It flows out to the long side and contaminates the upper drive part 6 and the lower drive part 7, and causes the upper drive part 6 and the lower drive part 7 including the motor to be damaged.

상기 상부롤브러시(1)와 하부롤브러시(2)를 각각 회전가능한 상태로 지지하는 상부지지부(3)와 하부지지부(4)의 형상은 간략화하여 도시한 것이며, 높이의 조절이 가능한 형상을 가진다.Shapes of the upper support part 3 and the lower support part 4 for supporting the upper roll brush 1 and the lower roll brush 2 in a rotatable state are illustrated in a simplified manner, and have a shape capable of adjusting the height. .

이와 같이 상기 유출된 흄에 의해 상부구동부(6)와 하부구동부(7)가 손상되면 이를 교체 또는 수리하는 동안 세정공정을 진행할 수 없으며, 공정의 지연과 생산성을 저하시킬 수 있는 문제점이 있었다.As such, if the upper drive part 6 and the lower drive part 7 are damaged by the leaked fume, the cleaning process cannot be performed during the replacement or repair, and there is a problem that the process delay and productivity may be reduced.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 고안이 해결하고자 하는 과제는, 롤브러시에서 발생된 흄이 장공을 통해 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치를 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention in consideration of the above problems is to provide a contact cleaning device for a large-area substrate that can prevent the fume generated in the roll brush to be leaked to the outside through the long hole.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 고안은, 기판의 상하측에 각각 마련된 롤브러시들과, 상기 롤브러시들 각각의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지부와, 상기 롤브러시들 각각의 회전축의 일측단에 회전구동력을 전달하는 구동부를 포함하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 있어서, 상기 구동부가 위치하는 측의 상기 일측 지지부 내에 위치하여, 상기 롤브러시들의 중앙측을 향하는 에어커튼을 형성하는 에어커튼부를 더 포함한다.The present invention for solving the above problems, roll brushes provided on the upper and lower sides of the substrate, a support for rotatably supporting both ends of each of the roll brushes, and one side end of the rotation shaft of each of the roll brushes In a contact cleaning apparatus for a large-area substrate comprising a drive unit for transmitting a rotational driving force to the air, the air curtain that is located in the one side support portion of the side where the drive unit is located, to form an air curtain toward the center side of the roll brushes Includes more wealth.

상기와 같이 구성되는 본 고안은 롤브러시의 양단을 지지하는 지지부 내에 외부에서 정화된 공기를 공급하여 그 롤브러시의 양단측에서 롤브러시 중앙측으로 분사되는 에어커튼을 형성하여, 흄이 구동부측으로 유출되는 것을 방지함으로써, 구동부의 손상을 방지하여 생산성의 저하를 방지하는 효과가 있다.The present invention constituted as described above forms an air curtain that is sprayed from the outside of the roll brush to the center of the roll brush by supplying purified air from the outside into a support part supporting both ends of the roll brush, so that the fume flows out to the driving part side. By preventing the damage, there is an effect of preventing damage to the drive portion and preventing a decrease in productivity.

이하, 상기와 같은 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention as described above in detail as follows.

도 2는 본 고안 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이고, 도 3은 도 2에서 상부지지부의 상세 구성도이다.Figure 2 is a block diagram according to a preferred embodiment of the contact cleaning apparatus of the present invention large area substrate, Figure 3 is a detailed block diagram of the upper support in FIG.

도 2와 도 3을 각각 참조하면 본 고안 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 이송되는 기판(S)의 상부와 하부측에 각각 위치하여 회전에 의해 그 기판(S)의 상하면에 각각 접촉되어 기판(S)을 세정하는 상부롤브러시(10) 및 하부롤브러시(20)와, 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20) 각각의 양단을 지지하되 그 상부롤브러시(10) 및 하부롤브러시(20)가 회전할 수 있도록 지지하고, 높이의 조절이 가능한 상부지지부(30) 및 하부지지부(40)와, 상기 상부지지부(30)와 하부지지부(40) 각각의 내측에 위치하여 외부에서 공급되는 정화된 공기를 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 중앙측으로 분사하여 흄의 유출을 차단하는 에어커튼부(80)와, 상기 세정이 이루어지는 영역을 정의하는 배스(50)에 마련된 장공을 통해 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20) 각각에 구동력을 전달하는 상부구동부(60) 및 하부구동부(70)를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 2 and 3, the contact cleaning apparatus of the large-area substrate of the present invention is positioned on the upper and lower sides of the substrate S to be transferred, respectively, and is in contact with the upper and lower surfaces of the substrate S by rotation. An upper roll brush 10 and a lower roll brush 20 for cleaning the substrate S, and both ends of each of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20 are supported, and the upper roll brush 10 and Supported so that the lower roll brush 20 can rotate, the height of the upper support portion 30 and the lower support portion 40 and the upper support portion 30 and the lower support portion 40 is located inside each An air curtain part 80 which blocks the outflow of the fume by injecting purified air supplied from the outside to the center of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20, and a bath defining a region in which the cleaning is performed. The upper roll brush 10 and the lower roll brush 20 through the long hole provided in the 50 It is configured to include an upper driver 60 and lower driver 70 for transmitting a driving force to each.

상기 에어커튼부(80)는 상기 상부지지부(30)와 하부지지부(40) 각각에 위치하여 외부의 정화된 공기를 공급하는 공급포트(81)와, 상기 공급포트(81)를 통해 공급된 정화된 공기가 환형으로 균일하게 배출될 수 있도록 저장하는 버퍼부(82)와, 상기 버퍼부(82)에 저장된 정화된 공기를 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 회전축의 외주면 전면에서 그 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 중앙측 방향으로 에어커튼을 형성하는 배출부(83)을 포함하여 구성된다.The air curtain portion 80 is located in each of the upper support portion 30 and the lower support portion 40, the supply port 81 for supplying the external purified air, and the purification supplied through the supply port 81 Buffer unit 82 for storing the compressed air so as to be uniformly discharged in an annular shape, and the outer circumferential surface of the rotary shaft of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20 to store the purified air stored in the buffer portion 82 It comprises a discharge portion 83 to form an air curtain in the direction of the center of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20 on the front surface.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the contact cleaning apparatus of the present invention large-area substrate configured as described above will be described in more detail.

먼저, 상부구동부(60)와 하부구동부(70)의 구동력은 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)를 회전시켜, 기판(S)의 표면을 접촉식으로 세정한다.First, the driving force of the upper driving unit 60 and the lower driving unit 70 rotates the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20 to clean the surface of the substrate S in a contact manner.

이때 상기 상부구동부(60)와 하부구동부(70)의 구동력은 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 회전축에 각각 직접전달되며, 그 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 회전축은 각각 상부지지부(60)와 하부지지부(70)에 회전가능한 상태로 지지되어 있다.At this time, the driving force of the upper driving unit 60 and the lower driving unit 70 is directly transmitted to the rotation axis of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20, respectively, the upper roll brush 10 and the lower roll brush ( The rotating shaft of 20 is supported by the upper support part 60 and the lower support part 70 in a rotatable state, respectively.

상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 회전에 의해 기판(S)이 세정되면서 발생한 흄은 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20) 각각의 회전축을 따라 그 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 외측으로 이동하게 된다.The fumes generated while the substrate S is cleaned by the rotation of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20 are rolled along an axis of rotation of each of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20. The brush 10 and the lower roll brush 20 are moved outward.

이와 같은 이동은 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)가 고속으로 회전하면서 발생하는 원심력 때문이다.This movement is due to the centrifugal force generated while the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20 rotate at high speed.

이와 같은 상태에서 상기 에어커튼부(80)는 정화된 공기를 상부지지부(30)와 하부지지부(40)측에서 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 중앙측을 향해 분사한다. In this state, the air curtain part 80 injects the purified air toward the center of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20 from the upper support part 30 and the lower support part 40. .

이때의 분사는 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 회전축의 표면을 따라 이루어지며, 따라서 그 회전축을 따라 외측으로 진행하던 흄은 그 에어커튼의 영향으로 더 이상 측면으로 이동할 수 없게 된다.At this time, the injection is made along the surface of the rotary shaft of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20, so that the fume traveling outward along the rotation axis can no longer move to the side under the influence of the air curtain. do.

즉, 에어커튼부(80)는 공급포트(81)를 통해 공급된 정화된 공기를 버퍼부(82)에 저장하고, 그 저장된 정화 공기를 배출부(83)를 통해 배출하여 상기와 같은 방향성을 가지는 에어커튼을 형성할 수 있다.That is, the air curtain unit 80 stores the purified air supplied through the supply port 81 in the buffer unit 82, and discharges the stored purified air through the discharge unit 83 to maintain the directionality as described above. The branches can form air curtains.

또한 상기 버퍼부(82)는 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 회전축을 감싸는 환형의 공간이며, 그 환형의 공간에서 균일하게 공기가 위치하는 상태에서 역시 환형의 배출부(83)를 통해 배출되도록 하여, 상기 상부롤브러시(10)와 하부롤브러시(20)의 회전축의 표면에 접하는 환형의 에어커튼을 형성할 수 있게 된다.In addition, the buffer portion 82 is an annular space surrounding the rotation axis of the upper roll brush 10 and the lower roll brush 20, and the annular discharge portion (also in the state where the air is uniformly positioned in the annular space ( 83 to be discharged, it is possible to form an annular air curtain in contact with the surface of the rotary shaft of the upper roll brush 10 and the lower roll brush (20).

이와 같이 흄의 이동이 차단됨에 따라 흄이 상기 배스(50)에 마련된 장공을 통해 상부구동부(60)와 하부구동부(70)로 유입되는 것을 방지할 수 있게 되며, 따라서 상기 상부구동부(60)와 하부구동부(70)의 고장 요인을 제거할 수 있으며, 고 장의 수리 또는 교체에 필요한 시간동안 공정을 중지하는 등의 생산성 저하 요인을 제거할 수 있게 된다.As the movement of the fume is blocked as described above, it is possible to prevent the fume from flowing into the upper driving part 60 and the lower driving part 70 through the long holes provided in the bath 50, and thus the upper driving part 60 and The failure factor of the lower driving part 70 can be removed, and the productivity deterioration factor such as stopping the process for a time required for repair or replacement of the failure can be eliminated.

도 1은 종래 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional contact cleaning device of a large area substrate.

도 2는 본 고안 대면적 기판의 접촉시 세정장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.Figure 2 is a block diagram according to a preferred embodiment of the cleaning device in contact with the large area of the present invention.

도 3은 도 2에서 에어커튼부의 상세 구성도이다.FIG. 3 is a detailed configuration diagram of the air curtain unit in FIG. 2.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10:상부롤브러시 20:하부롤브러시10: upper roll brush 20: lower roll brush

30:상부지지부 40:하부지지부30: upper support part 40: lower support part

50:배스 60:상부구동부50: Bath 60: Upper drive part

70:하부구동부 80:에어커튼부70: lower drive part 80: air curtain part

81:공급포트 82:버퍼부81: supply port 82: buffer

83:배출부83: discharge part

Claims (3)

기판의 상하측에 각각 마련된 롤브러시들과, 상기 롤브러시들 각각의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지부와, 상기 롤브러시들 각각의 회전축의 일측단에 회전구동력을 전달하는 구동부를 포함하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 있어서,Large areas including roll brushes provided on upper and lower sides of the substrate, a support part rotatably supporting both ends of each of the roll brushes, and a driving part transmitting a rotation driving force to one end of the rotation shaft of each of the roll brushes. In the contact cleaning device of the substrate, 상기 구동부가 위치하는 측의 상기 일측 지지부 내에 위치하여, 상기 롤브러시들의 중앙측을 향하는 에어커튼을 형성하는 에어커튼부를 더 포함하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.The apparatus of claim 1, further comprising an air curtain portion positioned in the one side support portion on the side of the driving portion to form an air curtain toward the center side of the roll brushes. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어커튼부는,The air curtain portion, 외부로부터 정화된 공기를 유입받는 공급포트;Supply port for receiving the purified air from the outside; 상기 공급포트를 통해 공급된 정화된 공기를 저장하는 버퍼부; 및A buffer unit which stores the purified air supplied through the supply port; And 상기 버퍼에 저장된 정화공기를 상기 롤브러시들 각각의 회전축에 접하게 분사하여 에어커튼을 형성하는 분사부를 포함하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.And a spraying unit for spraying purge air stored in the buffer to contact the rotating shaft of each of the roll brushes to form an air curtain. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 버퍼는 상기 롤브러시들의 회전축에 대응하는 환형의 에어커튼을 고르 게 형성할 수 있도록 상기 회전축의 표면을 둘러싸는 환형의 공간인 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.And the buffer is an annular space surrounding the surface of the rotating shaft so as to evenly form an annular air curtain corresponding to the rotating shaft of the roll brushes.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101387919B1 (en) * 2012-12-24 2014-04-22 주식회사 케이씨텍 Substrate cleaning apparatus
KR20200036282A (en) 2018-09-28 2020-04-07 무진전자 주식회사 Chemical fume removing apparatus using air curtain
KR20200036283A (en) 2018-09-28 2020-04-07 무진전자 주식회사 Chemical fume removing apparatus using integrated local nozzle

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