KR20100004788A

KR20100004788A - 자기기록매체에 서보 패턴을 자기 전사하는 서보 마스터 및이를 이용한 자기 전사 방법

Info

Publication number: KR20100004788A
Application number: KR1020080065138A
Authority: KR
Inventors: 나경원; 손진승; 설상철
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2008-07-04
Filing date: 2008-07-04
Publication date: 2010-01-13
Also published as: JP5400503B2; KR101498172B1; US8085648B2; US20100002565A1; JP2010015669A

Abstract

자기기록매체에 서보 패턴을 자기 전사하는 서보 마스터가 개시된다. 개시된 서보 마스터는 본 발명의 실시예에 따른 서보 마스터는 제1면과 제2면을 가지는 멤브레인; 상기 제1면에 형성된 것으로, 자기기록매체에 자기 전사하고자 하는 서보패턴 형상으로 패턴된 자성층을 포함하는 복수의 스탬프영역; 상기 제2면에 형성된 것으로, 상기 복수의 스탬프영역에 압력을 가하는 가압수단;을 포함한다.

Description

자기기록매체에 서보 패턴을 자기 전사하는 서보 마스터 및 이를 이용한 자기 전사 방법{Servo master for magnetic transferring servo pattern to the magnetic recording medium and magnetic transferring method using the servo master}

본 발명은 자기기록기술에 관련되며, 특히, 자기기록매체에 서보 정보를 담은 서보 패턴을 자기 전사하기 위한 서보 마스터 및 이를 이용한 자기 전사 방법에 관한 것이다.

자기기록매체를 사용하는 하드 디스크 드라이브(Hard Disc Drive, HDD)는 대용량이면서 고속 액세스(access) 등의 특성을 가지고 있기 때문에, 컴퓨터뿐만 아니라 각종 디지탈 기기의 정보기억장치로서 주목 받고 있으며, 최근, 산업화 및 정보화가 빠르게 이루어지면서 취급되는 정보의 양이 급격히 증가함에 따라 하드디스크 드라이브의 고밀도화가 요구되고 있다.

한편, 자기기록매체에는 HDD 구동을 위해, 자기헤드를 자기기록매체 상의 원하는 위치에 올바로 위치될 수 있도록 하기 위한 서보 정보가 미리 기록되어 있어야 한다. 서보 정보는 자기기록매체의 기록층을 소정 패턴으로 자 화(magnetization)시킨 서보 패턴으로 기록되며, 이러한 서보 패턴은 상기 패턴 에 대응하는 형상이 형성된 마스터 기록매체를 자기 전사하는 방법으로 이루어진다.

HDD가 고밀도화됨에 따라 서보 패턴의 선폭도 이에 대응하여 작아져야 하므로, 고밀도 기록에 부합하는 서보 패턴을 효과적으로 자기 전사 할 수 있는 구조의 마스터 기록매체에 대한 연구가 필요하다.

본 발명은 상술한 필요성에 의해 도출된 것으로, 고기록밀도의 자기기록매체에 적합한 서보 패턴을 자기기록매체에 자기 전사할 수 있으며, 자기 전사시에 자기기록매체와의 접촉 특성이 우수한 서보 마스터 및 자기전사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 실시예에 따른 서보 마스터는 제1면과 제2면을 가지는 멤브레인; 상기 제1면에 형성된 것으로, 자기기록매체에 자기 전사하고자 하는 서보패턴 형상으로 패턴된 자성층을 포함하는 복수의 스탬프영역; 상기 제2면에 형성된 것으로, 상기 복수의 스탬프영역에 압력을 가하는 가압수단;을 포함한다.

상기 가압수단은 상기 복수의 스탬프영역에 대응하는 위치에 각각 마련된 복수의 압전소자로 구성될 수 있다.

상기 이웃하는 압전소자 사이의 영역 각각에는 상기 압전소자의 구동시 상기 스탬프영역이 받는 압력을 지지하는 지지부재가 마련된다.

상기 압전소자의 변위 방향은 상기 멤브레인에 대해 수직 방향이 되는 구조 또는 수평 방향이 되는 구조가 될 수 있다.

또한, 상기 압전소자는 단층구조 또는 다층구조로 형성될 수 있다.

상기 멤브레인과 상기 자성층 사이에 버퍼층이 더 형성될 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 의한 자기 전사 방법은 자기기록매체에 자기 전사 하고자 하는 서보패턴이 형성된 복수의 스탬프영역을 포함하는 서보 마스터를 준비하는 단계; 상기 복수의 스탬프영역이 자기기록매체의 표면과 마주하도록, 상기 서보 마스터를 자기기록매체 위에 배치하고, 상기 복수의 스탬프영역에 선택적으로 압력을 가하는 단계;를 포함한다.

상기 복수의 스탬프영역에 압력을 가하기 위해 압전 방식 또는 정전압 방식을 사용할 수 있다.

상기 복수의 스탬프영역이 각각 상기 자기기록매체의 표면과 접착된 정도를 판단하고, 상기 복수의 스탬프영역에 가해지는 압력을 개별적으로 조절하는 단계;를 더 포함할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.

본원발명에 의한 마스터 기록매체 및 이의 제조방법을 설명하기에 앞서, 먼저 도 1 및 도 2를 참조하여, 하드디스크 드라이브에 사용되는 자기기록매체에 서보 패턴을 형성하는 방법을 설명한다.

도 1은 자기기록매체의 일반적인 영역 구조를 보인다. 자기기록매체는 정보가 복수의 원형 트랙을 따라 기록되도록 디스크 형상을 가지며, 그 영역은 데이터가 기록되는 데이터 영역(D)과 트랙에 대한 서보 정보가 기록된 서보 영역(S)으로 나뉘어져 있다. 서보 영역(S)에는 그 영역이 특정 패턴으로 자화되어 이루어진 서 보 패턴이 형성되어 있다. 서보 패턴은 예를 들어, 서보 동기를 제공하는 프리앰블, 서보 섹터의 시작을 알려 이어지는 그레이 코드를 읽기 위한 동기를 제공하는 서보 어드레스 마크(servo address mark, SAM), 트랙 아이디를 제공하는 그레이 코드, 트랙 추종을 위해 요구되는 위치오차신호를 계산하기 위한 정보를 제공하는 버스트를 포함할 수 있다. 도시된 패턴들의 구체적인 형상은 예시적인 것으로, 그 형상은 트랙에 따라 서로 다르며, HDD가 자기기록매체에 대한 기록 재생시, 서보 영역(S)의 서보 패턴으로부터 서보 정보를 읽음으로써 트랙 탐색 및 트랙 추종을 수행하게 된다.

도 2는 자기기록매체에 이와 같은 서보 패턴을 형성하는 방법을 보여준다. 자기기록매체(M)에 서보 패턴을 형성하기 위해, 형성하고자 하는 서보 패턴 형상을 자기전사(magnetic transfer) 할 수 있는 서보 마스터(30)을 사용한다. 예를 들어, 서보 마스터(30)는 서보 패턴 형상이 양각된 기판(10) 및 상기 패턴이 형성된 표면을 따라 CoFe와 같은 물질로 형성된 자성층(20)을 포함한다. 서보 패턴을 형성하고자 하는 자기기록매체(M) 위에 서보 마스터(30)를 올려놓고 외부 자기장(B)을 인가한다. 외부 자기장(B)에 따라 서보 마스터(30)의 자성층(20) 및 자기기록매체(M)의 상층부의 기록층이 자화되며, 이 때, 자화된 패턴은 마스터 기록매체(M)의 양각된 형상과 같게 된다.

한편, 상술한 방법에 따라 서보 패턴을 자기 전사함에 있어서, 서보 마스터(30)의 자성층(20)이 자기기록매체(M)의 표면에 긴밀하게 접촉되어야 한다. 그런데, 일반적으로 서보 마스터(30)의 자성층(20)이나 자기기록매체(M)는 모두 유사한 단단함(hardness) 특성을 가지며, 이는 두 물질이 긴밀하게 접촉하는 것을 용이하지 않게 한다. 두 물질간에 긴밀한 접촉을 유도하기 위해, 과도한 압력을 인가하는 경우 서보 마스터(30)나 자기기록매체(M)를 모두 손상시킬 수 있다.

본 발명은 상기 발생 가능한 문제점에 착안한 것으로, 서보 마스터(30)와 자기기록매체(M) 사이의 접촉 정도를 미세하게 조절할 수 있는 서보 마스터 구조 및 자기전사방법을 제시하고자 하는 것이다.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 의한 서보 마스터(100)의 개략적인 구조를 보이는 단면도이며, 각각, 스탬프영역(120)에 압력이 인가되지 않은 상태 및 인가된 상태를 보인다.

도면들을 참조하면, 서보 마스터(100)는 멤브레인(110), 멤브레인(110)의 일면에 형성된 복수의 스탬프영역(120), 스탬프영역(120)에 압력을 가하는 가압수단(160)을 포함한다.

멤브레인(110)은 인가된 압력에 따라 용이하게 변형되어 이를 스탬프영역(120)에 전달하기 위한 것으로, Ni와 같은 금속재질 또는 폴리머로 형성될 수 있다.

스탬프영역(120)은 자기기록매체에 자기 전사하고자 하는 서보패턴 형상으로 패턴된 자성층(122)을 포함한다. 예를 들어, 스탬프영역(120)은 서보패턴 형상이 음각된 형태의 폴리머층(124)이 마련되고, 상기 음각된 내부를 자성층(122)이 채우는 형태로 되어 있다. 이러한 형상은 예를 들어, 멤브레인(110) 위에 폴리머층(124)을 평탄하게 코팅하고, 서보 패턴 형상이 양각된 나노 스탬프를 이용한 나 노 임프린트 공정에 의해 폴리머층(124)을 음각한 후, 음각된 부분에 자성층(122)을 도금 또는 증착하는 방법으로 형성할 수 있다. 나노 임프린트 공정을 사용하는 것은 자성층(122) 패턴의 선폭을 보다 미세하게 구현하는 것을 가능하게 하므로, 기록밀도가 높은 자기기록매체의 서보 패턴을 전사하기에 적합하다.

가압수단(160)은 멤브레인(110)의 면에서 스탬프영역(120)이 형성된 면의 이면에 형성되어 스탬프영역(120)에 압력을 가하기 위한 것으로, 예를 들어, 복수의 스탬프영역(120)에 대응하는 위치에 각각 마련된 복수의 압전소자(161)로 구성될 수 있다. 압전소자(161)는 전기장이 가해지면 변형을 일으키는 압전물질을 이용한 것으로, 도면에 상세히 도시되지는 않았지만, 압전물질과 압전물질에 전기장을 인가하기 위한 전극부를 구비하게 된다. 복수의 압전소자(161)는 각각에 동일한 전압이 인가되는 구조이거나 또는 개별적으로 인가 전압의 크기가 조절될 수 있는 구조가 될 수도 있다. 복수의 압전소자(161)를 개별적으로 구동하는 경우, 스탬프영역(120)마다 인가되는 압력 정도를 조절할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 압전소자(161)는 단층구조 또는 다층구조로 형성될 수 있다. 다층 구조를 사용하는 경우, 낮은 전압으로 압전소자(161)를 구동할 수 있다는 이점이 있다. 본 실시예에서 압전소자(161)는 압전물질이 변형되는 변위방향이, 화살표로 도시한 바와 같이, 멤브레인(110)에 대해 수직 방향이 되도록 마련되어 있으며, 압전소자(161)의 푸시 모드(push mode) 구동에 따라 멤브레인(110)을 하방으로 밀어내며 스탬프영역(120)에 압력을 인가하게 된다.

이웃하는 압전소자(161)들 사이의 영역 각각에는 압전소자(161)의 구동시 상 기 스탬프영역(120)이 받는 압력을 지지하는 지지부재(140)가 마련된다. 또한, 압전소자(140)의 푸시모드 구동을 지지하기 위해, 압전소자(140)의 측면과 지지부재(141)에 접하는 지지부재(141)가 더 마련된다. 여기서, 지지부재(140,141)의 형태나 위치는 예시적인 것이며, 압전소자(161)의 푸시모드 구동에 따라 멤브레인(110)이 하방으로 휘도록 지지할 수 있는 어떤 형상이든지 가능하다.

기판층(180)은 서보 마스터(100)의 구성에 있어 필수적인 것은 아니며, 다만, 얇은 멤브레인(110) 상에 스탬프영역(120)을 형성하는 과정에서 멤브레인(110)을 지탱하도록 마련된 것이며, 압전소자(161)의 구동시 멤브레인(110)이 잘 휘도록 스탬프영역(120)의 양단 쪽에 대응하는 기판층(180) 부분은 식각되어 있다.

도면들은 서보 마스터의 일부분만을 예시하여 도시한 것으로, 하나의 압전소자(161)가 커버하는 스탬프영역(120)은 도 1에 도시한 복수의 서보섹터(S) 중의 일부에 해당하는 서보 패턴을 자기 전사할 수 있는 영역이다. 즉, 한 스탬프영역(120)에 형성된 서보 패턴은 한 개 또는 복수개 트랙의 서보섹터(S)에 서보 패턴을 전사하는 형태가 될 수도 있고, 한 트랙의 서보 섹터에 해당하는 서보 패턴 중에서도 일부 패턴만을 전사하는 형태가 될 수도 있다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 서보 마스터(200)의 개략적인 구조를 보이는 단면도이며, 각각, 스탬프영역(120)에 압력이 인가되지 않은 상태 및 인가된 상태를 보인다.

서보 마스터(200)는 멤브레인(110), 멤브레인(110)의 일면에 형성된 복수의 스탬프영역(120), 스탬프영역(120)에 압력을 가하는 가압수단(160)을 포함한다. 본 실시예에서 가압수단(160)은 화살표로 도시한 것과 같이, 멤브레인(110)에 대해 수평 방향으로 변위되는 구조의 압전소자(261)로 마련되어 있다.

이웃하는 압전소자(261)들 사이의 영역 각각에는 압전소자(261)의 구동시 상기 스탬프영역(110)이 받는 압력을 지지하는 지지부재(140)가 마련된다.

압전소자(261)는 벤딩 모드(bending mode) 구동에 따라 멤브레인(110)을 하방으로 밀어내며 스탬프영역(110)에 압력을 인가하게 된다. 이와 같은 구조의 서보 마스터(200)는 도 3a 및 도 3b에서 설명한 서보 마스터(100)에 비해 전체 두께를 작게 할 수 있다는 장점이 있다.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 서보 마스터의 개략적인 구조를 보이는 단면도이며, 각각, 스탬프영역에 압력이 인가되지 않은 상태 및 인가된 상태를 보인다.

본 실시예의 서보 마스터(300)는 멤브레인(110)과 스탬프영역(120) 사이에 버퍼층(130)이 더 형성된 점에서 3a 및 도 3b에서 설명한 서보 마스터(100)와 차이가 있으므로, 이에 대해서만 설명한다.

버퍼층(130)은 스탬프영역(110)이 자기전사시 자기기록매체와 보다 긴밀하게 접촉할 수 있도록 마련된 것이다. 또한, 접촉 유도나 자기전사유도에 유리한 특징을 갖는 기능성 물질을 도입할 수 있어 자기전사성능을 개선할 수 있다.

버퍼층(130)은 자성층(122)에 비해 유연한(soft) 특성을 가지는 물질로 형성될 수 있다. 이 경우, 기계적 충격 방지와 함께, 자기전사시 자기기록매체와의 접착력을 보다 향상시킬 수 있다. 버퍼층(130)의 재질로는 예를 들어, 레진(resin), 폴리머(polymer), 고무(rubber) 재질이 채용될 수 있다. 또한, 버퍼층(130)은 자성물질로 형성될 수 있으며, 이 경우, 자성층(122) 패턴이 자기 전사되는 것을 촉진할 수 있다. 버퍼층(130)을 형성하는 자성물질로는 예를 들어, CoFe, CoNiFe, NiFe와 같은 물질로 형성될 수 있다.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 서보 마스터(400)의 개략적인 구조를 보이는 단면도이며, 각각, 스탬프영역(110)에 압력이 인가되지 않은 상태 및 인가된 상태를 보인다.

본 실시예의 서보 마스터(400)는 멤브레인(110)과 스탬프영역(120) 사이에 버퍼층(130)이 더 형성된 점에서 4a 및 도 4b에서 설명한 서보 마스터(200)와 차이가 있으며, 버퍼층(130)은 도 5a 및 도 5b에서 설명한 것과 실질적으로 동일하다. 즉, 본 실시예의 구조는 벤딩 모드(bending mode) 구동에 따라 멤브레인(110)을 하방으로 밀어내며 스탬프영역(110)에 압력을 인가하는 구조로 서보 마스터(400)의 전체 두께를 줄일 수 있으며, 또한, 버퍼층(130)을 도입하여 자기기록매체와의 보다 긴밀한 접촉을 유도하고 있으며, 버퍼층(130)의 재질을 적절히 선택하여 보다 효과적인 자기 전사를 수행하기에 적합하다.

이상 설명한 본 발명의 실시예들에 의한 서보 마스터(100,200,300,400)는 자기 전사시 서보 마스터(100,200,300,400)와 자기기록매체가 보다 긴밀하게 접촉되게 하는 구조를 갖는다. 또한, 서보 마스터(100,200,300,400)의 스탬프영역(120)만이 자기기록매체와 접촉되고 스탬프영역(120)을 제외한 영역 부분은 자기기록매체에 접촉되지 않게 하여 기계적 손상이나 표면 오염을 줄일 수 있다.

도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 실시예에 의한 자기전사방법을 설명하는 도면이다.

도 7a를 참조하면, 자기기록매체(M)에 자기전사할 서보패턴이 형성된 스탬프영역(120)을 포함하는 서보 마스터(100)를 마련하고, 이를 자기기록매체(M) 위에 배치한다. 도면에서는 도 3a 및 도 3b에서 설명한 실시예의 서보 마스터(100)를 사용하는 것을 예시하고 있으나, 다른 실시예의 서보 마스터(200,300,400)를 사용하거나 또는 본 방법을 수행할 수 있는 기타 다른 구조의 서보 마스터를 사용하는 것도 가능하다.

자기기록매체(M)는 일반적으로 하지층, 기록층을 포함하는 다층 구조로 형성되며, 상층부의 기록층은 수직 자기 이방성이 좋은 Co 합금 또는 Fe 합금을 포함하여 이루어질 수 있다. 자기 전사를 위해 서보 마스터(100)의 스탬프영역(120)은 자기기록매체(M)의 기록층을 자화시킬 수 있도록, 자기기록매체(M)의 표면과 접촉되어야 한다.

도 7b는 가압수단(160)에 의해 스탬프영역(120)에 압력을 인가하는 것을 보인다. 스탬프영역(120)에 압력을 가하기 위해 정전압방식 또는 압전 방식을 사용할 수 있다. 도면에서는 가압수단(160)으로는 압전소자(161)를 채용한 것을 보이고 있으며, 정전압방식을 이용하는 경우에는, 예를 들어, 멤브레인(110) 상에, 스탬프영역(120)에 대응하는 영역에 전극부를 형성하고 자기기록매체(M)와의 사이에 정전인력이 발생하게 하는 구성을 채택할 수 있다.

압전소자(161)에 전압이 인가되면 압전소자(161)가 변형되면서 멤브레 인(110)을 하방으로 밀어 스탬프영역(120)이 자기기록매체(M)의 표면에 접촉되게 된다. 이 때, 압전소자(161)는 멤브레인(110) 상에서, 스탬프영역(120)과 대응하는 영역에만 형성되어 있어, 서보 마스터(100)에서 스탬프영역(120)을 제외한 영역은 자기기록매체(M)의 표면과 접촉되지 않는다. 도면에서는 복수의 압전소자(161) 각각이 다르게 변형되어 스탬프영역(120)과 자기기록매체(M)의 접촉 정도가 다르게 된 것을 보이고 있다. 즉, 본 발명의 자기전사방법은 각 스탬프영역(120)과 자기기록매체(M) 표면의 접촉 정도를 판단하고, 이에 따라 복수의 스탬프영역(120)에 가해지는 압력을 개별적으로 조절하는 단계를 포함할 수 있다. 스탬프영역(120)과 자기기록매체(M)의 접촉 정도를 조절하기 위해 압전소자(161)에 인가하는 전압을 조절하여 압전소자(161)의 변형 정도를 조절한다. 복수의 스탬프영역(120)은 각각의 표면상태에 따라 미세한 높이 차를 가질 수 있으며, 이 경우, 동일한 전압을 인가하더라도 각 스탬프영역(120)이 자기기록매체(M)의 표면에 접촉한 정도는 다를 수 있기 때문이다.

도 7c와 같이, 스탬프영역(120) 전체가 자기기록매체(M) 표면에 접촉된 후 외부 자기장(B)을 인가한다. 외부 자기장의 인가를 위해 예를 들어, 전자석 장치를 사용할 수 있으며, 서보 마스터(100)가 자기기록매체(M)에 접촉된 구조의 상 하부에 각각 N극 S극이 형성되도록 전자석 장치를 배치하여, 도시한 방향의 외부 자기장(B)을 인가할 수 있다. 이에 따라, 스탬프영역(120)에 형성된 자성층(122) 패턴에 따라 자기기록매체(M)이 서보 패턴이 전사된다.

설명된 단계들, 특히, 서보 마스터를 자기기록매체 위에 배치하고, 스탬프영 역(120)에 압력을 가하는 단계는 통상의 자기전사방법과 마찬가지로 진공챔버 내에서 수행될 수 있다. 이 경우, 스탬프영역(120)과 자기기록매체(M) 표면이 진공 흡입에 의해 접촉된 정도를 개별적으로 판단하고, 접촉 상태가 좋지 않은 스탬프영역(120)에 대응하는 압전소자(161)만을 구동하여 접촉 상태를 양호하게 할 수 있다.

상술한 설명의 자기전사방법에 의하면 서보 마스터(100)에서 스탬프영역(120)만이 자기기록매체(M)의 표면에 접하도록 하여 효과적으로 고품질의 서보 패턴을 자기기록매체(M)에 전사할 수 있다.

이러한 본원 발명인 서보 마스터 및 자기전사방법은 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

도 1은 자기기록매체의 일반적인 영역 구조를 보인다.

도 2는 자기기록매체에 서보 패턴을 자기 전사하는 방법을 보인다.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 의한 서보 마스터의 개략적인 구조를 보이는 단면도이며, 각각, 스탬프영역에 압력이 인가되지 않은 상태 및 인가된 상태를 보인다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 서보 마스터의 개략적인 구조를 보이는 단면도이며, 각각, 스탬프영역에 압력이 인가되지 않은 상태 및 인가된 상태를 보인다.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 서보 마스터의 개략적인 구조를 보이는 단면도이며, 각각, 스탬프영역에 압력이 인가되지 않은 상태 및 인가된 상태를 보인다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100,200,300,400...서보 마스터 110...멤브레인

120...스탬프영역 122...자성층

124...폴리머층 140,141,240...지지부재

160,260...압전소자

Claims

제1면과 제2면을 가지는 멤브레인;

상기 제1면에 형성된 것으로, 자기기록매체에 자기 전사하고자 하는 서보패턴 형상으로 패턴된 자성층을 포함하는 복수의 스탬프영역;

상기 제2면에 형성된 것으로, 상기 복수의 스탬프영역에 압력을 가하는 가압수단;을 포함하는 서보 마스터.
제1항에 있어서,

상기 가압수단은 상기 복수의 스탬프영역에 대응하는 위치에 각각 마련된 복수의 압전소자로 구성되는 서보 마스터.
제2항에 있어서,

상기 이웃하는 압전소자 사이의 영역 각각에는 상기 압전소자의 구동시 상기 스탬프영역이 받는 압력을 지지하는 지지부재가 마련된 서보 마스터.
제3항에 있어서,

상기 압전소자의 변위 방향이 상기 멤브레인에 대해 수직 방향이 되는 구조의 서보 마스터.
제4항에 있어서,

상기 지지부재는 인접하는 압전소자의 측면에 접하게 마련된 서보 마스터.
제3항에 있어서,

상기 압전소자의 변위가 상기 멤브레인에 대해 수평 방향이 되는 구조의 서보 마스터.
제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 압전소자는 단층구조 또는 다층구조로 된 서보 마스터.
제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 멤브레인과 상기 자성층 사이에 버퍼층이 형성된 것을 특징으로 하는 서보 마스터.
제8항에 있어서,

상기 버퍼층은 상기 자성층에 비해 유연한 성질을 가지는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스터 기록매체.
제9항에 있어서,

상기 버퍼층은 레진(resin), 폴리머(polymer), 러버(rubber) 중 어느 한 물 질로 형성된 것을 특징으로 하는 서보 마스터.
제8항에 있어서,

상기 버퍼층은 자성물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 서보 마스터.
(가) 자기기록매체에 자기 전사하고자 하는 서보패턴이 형성된 복수의 스탬프영역을 포함하는 서보 마스터를 준비하는 단계;

(나) 상기 복수의 스탬프영역이 자기기록매체의 표면과 마주하도록, 상기 서보 마스터를 자기기록매체 위에 배치하고, 상기 복수의 스탬프영역에 선택적으로 압력을 가하는 단계;를 포함하는 자기 전사 방법.
제12항에 있어서,

상기 서보 마스터는 상기 복수의 스탬프영역이 멤브레인 위에 형성된 구조를 갖는 자기 전사 방법.
제13항에 있어서,

압전 방식 또는 정전압 방식에 의해 상기 복수의 스탬프영역에 압력을 가하는 자기 전사 방법.
제14항에 있어서,

상기 복수의 스탬프영역이 각각 상기 자기기록매체의 표면과 접착된 정도를 판단하고, 상기 복수의 스탬프영역에 가해지는 압력을 개별적으로 조절하는 단계;를 더 포함하는 자기 전사 방법.
제12항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 (나) 단계는 진공 챔버 내에서 수행되는 자기 전사 방법.