KR20090130084A - 절연된 패드 컨디셔너 및 이를 이용하는 방법 - Google Patents

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KR20090130084A
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개리 엠. 팜그렌
브라이언 디. 고어스
더글라스 제이. 피셔
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Abstract

본 발명은 컨디셔닝 툴(14)의 연마재 표면을 전기 절연하는 전기 절연체를 가진 컨디셔닝 툴(14)에 의한 웨이퍼 평탄화 공정에 관한 것이다. 전기 절연체는 전기화학적으로 유발되는 부식의 레벨을 감소시킴으로써 컨디셔닝 툴(14)의 연마재 표면의 유효 수명을 연장시킨다.
연마재, 컨디셔닝 툴, 연마 패드, 패드 컨디셔너, 평탄화 시스템

Description

절연된 패드 컨디셔너 및 이를 이용하는 방법{INSULATED PAD CONDITIONER AND METHOD OF USING SAME}
본 발명은 대체로 연마 공정에 관한 것이며, 구체적으로 반도체 장치의 제조에 사용되는 평탄화 공정에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 전기 절연된 패드 컨디셔너를 가진 평탄화 공정에 관한 것이다.
제조 동안, 반도체 제작에 사용되는 반도체 웨이퍼는 통상적으로 증착, 패터닝 및 에칭 단계를 포함한 수많은 처리 단계를 거친다. 반도체 웨이퍼를 위한 이들 제조 단계의 상세는 톤쇼프(Tonshoff) 등의 "실리콘의 연마 가공(Abrasive Machining of Silicon)"[생산 기술 연구를 위한 국제 학회의 연보(Annals of the International Institution for Production Engineering Research), 39/2/1990편, 제621쪽 내지 제635쪽]에 보고되어 있다. 각각의 제조 단계에 있어서는, 웨이퍼의 다음 제작 단계 또는 제조 단계를 준비하기 위해 웨이퍼의 노출된 표면을 변형 또는 개량하는 것이 종종 필요하거나 또는 그렇게 하는 것이 바람직하다.
웨이퍼의 노출된 표면을 변형 또는 개량하는 한가지 방법은 액체 내에 분산된 복수의 유리 연마재 입자(loose abrasive particle)를 함유하는 슬러리로 웨이 퍼 표면을 처리하는 것이 수반된다. 통상적으로는, 이러한 슬러리가 연마 패드(polishing pad)에 도포된 다음, 웨이퍼 표면의 물질을 제거하거나 또는 떼어내기 위해 웨이퍼 표면이 패드에 대해 이동된다. 슬러리는 웨이퍼 표면과 화학적으로 반응하는 작용제를 함유할 수도 있다. 이러한 유형의 공정은 일반적으로 화학-기계적 평탄화 또는 연마(Chemical-Mechanical Planarization or Polishing: CMP) 공정으로 지칭된다.
CMP의 변형예인 전기-화학-기계적 평탄화 또는 연마(ECMP)는 전해질 용액과 작업편의 표면을 통한 전류 흐름을 부가한 것이다. 예를 들어, 화학 기계적 평탄화 방법을 전기화학적 평탄화 방법과 결합함으로써 웨이퍼의 표면을 평탄화하는 방법을 설명한 미국 특허 제5,911,619호[우조(Uzoh 등)]를 참고하기 바란다.
전기-화학 기계적 증착(ECMD) 방법 및 설비는 종래 기술에도 설명되어 있다. 예를 들어, 웨이퍼 상에 도전성 재료의 증착과 연마를 동시에 실행하는 방법을 설명한 미국 특허 제6,176,992호[탈리에(Talieh)]를 참고하기 바란다. 전류는 예를 들어 처리 단계의 종료 점을 검출하는 등의 다른 목적을 위해 웨이퍼 평탄화 공정에 사용될 수도 있다.
CMP, ECMP, ECMD 및 다른 웨이퍼 평탄화 및 연마 공정의 한가지 문제점은 원하는 웨이퍼 표면 토포그래피(topography)를 달성하기 위해서는 주의 깊게 공정이 관찰되어야 한다는 것이다. 예를 들어 연마 패드의 사용 이력은 연마 결과에 영향을 미칠 수 있다. 연마 패드 표면은 적절한 형태로 유지되도록 상태 조절되어야 한다.
연마 패드는 패드 컨디셔너라고 일반적으로 지칭되는 연마재 제품으로 상태 조절된다. 반복된 상태 조절 단계 후에, 패드 컨디셔너는 결국 만족스러운 속도 및 균일성으로 연마 패드를 상태 조절할 수 없게 된다. 패드 컨디셔너가 자주 사용되는 고부식성 환경은 패드 컨디셔너가 소모되는 속도를 가속할 수 있다.
웨이퍼 처리 시스템에 있어서의 소모된 패드 컨디셔너의 교체는 생산성에 부정적인 영향을 미치며, 웨이퍼 처리 조건에 바람직하지 않은 변화를 야기한다. 따라서, 패드 컨디셔너의 유효 수명이 증가될 수 있다면, 웨이퍼 평탄화 공정의 효율이 증가될 수 있다. 유사한 고찰이 다른 슬러리 및 고정형 연마재 연마 공정에 적용된다.
다른 부식성 요소뿐만 아니라, 패드 컨디셔너를 통한 전류 흐름도 전기화학적으로 유발되는 부식을 야기할 수 있다. 예를 들어 ECMP 또는 ECMD 공정 등에서는 웨이퍼 공정에 의도적으로 전류가 도입될 수 있다. 예를 들어 CMP 공정 등에서 는 표유(stray) 전류 경로에 의해 전류의 도입이 의도적이지 않을 수도 있다.
일 태양에 있어서, 본 발명은 제1 전극 및 제2 전극을 가진 전원을 구비한 웨이퍼 평탄화 시스템을 제공한다. 이 웨이퍼 평탄화 시스템은 제1 전극에 접속된 연마 패드 캐리어와, 제2 전극에 접속된 작업편 캐리어를 구비한다. 연마재 표면을 구비한 컨디셔닝 툴이 연마 패드를 상태 조절한다. 컨디셔닝 툴의 연마재 표면은 전기 절연체에 의해 전극들 중 적어도 하나로부터 전기 절연된다. 임의의 실시예에 있어서, 컨디셔닝 툴은 전기 절연체를 구비한다.
다른 태양에 있어서, 웨이퍼 평탄화 시스템은 전기-화학적 평탄화 시스템이다. 이 전기-화학적 평탄화 시스템은 캐소드에 접속된 연마 패드 캐리어와, 애노드에 접속된 작업편 캐리어를 구비한다. 연마재 표면을 구비한 컨디셔닝 툴이 연마 패드를 상태 조절한다. 컨디셔닝 툴의 연마재 표면은 전기 절연체에 의해 전극들 중 적어도 하나로부터 전기 절연된다.
다른 태양에 있어서, 컨디셔닝 툴은 연마재 표면 및 기판을 가진 전기 절연된 컨디셔닝 디스크를 구비한다. 이 컨디셔닝 디스크는 기판에 부착된 캐리어를 구비할 수 있다. 캐리어는 전기 절연체일 수 있다.
또한, 전기화학-기계적 연마 패드를 상태 조절하는 방법들이 제공된다. 이 방법은 컨디셔닝 툴의 연마재 표면을 전기 절연하는 단계를 포함한다. 연마재 표면은 연마 패드와 접촉하여 배치되며, 연마 패드에 대해 상대 이동된다.
본 발명의 다른 태양에 있어서는, 웨이퍼의 제1 측면을 평탄화하는 방법이 제공된다. 이 방법들은 가동식 연마 패드를 제공하는 단계를 포함한다. 웨이퍼의 제1 측면이 연마 패드와 접촉하여 배치된다. 그 후, 웨이퍼의 제1 측면을 통해 전류가 흐르게 한다. 전류로부터 전기 절연된 컨디셔닝 툴의 연마재 표면이 연마 패드와 접촉하여 배치된다.
상기 개요는 개시된 각각의 실시예 또는 본 발명의 모든 실시를 설명하고자 하는 것이 아니다. 설명에 도움이 되는 실시예들을 이하의 도면 및 상세한 설명에서 보다 구체적으로 예시한다.
본 발명은 전기 절연된 연마재 표면을 제공한다. 보다 구체적으로, 본 발명은 컨디셔닝 툴의 연마재 표면을 전기 절연하는 전기 절연체를 가진 컨디셔닝 툴을 이용한 웨이퍼 평탄화 공정을 제공한다. 전기 절연체는 전기화학적으로 유발되는 부식의 레벨을 감소시킴으로써 컨디셔닝 툴의 연마재 표면의 유효 수명을 연장시킨다.
본 발명은 전기 절연된 연마재 표면을 제공한다. 보다 구체적으로, 본 발명은 컨디셔닝 툴의 연마재 표면을 전기 절연하는 전기 절연체를 가진 컨디셔닝 툴을 이용한 웨이퍼 평탄화 공정을 제공한다. 전기 절연체는 전기화학적으로 유발되는 부식의 레벨을 감소시킴으로써 컨디셔닝 툴의 연마재 표면의 유효 수명을 연장시킨다.
본 명세서에 사용된 "전기 절연된(electrically insulated)"이라는 용어는 참고되는 전원으로부터 확인된 아이템으로 기본적으로 전류 흐름이 없음을 의미하 는 상대적인 용어입니다. 예를 들어, 연마재 표면이 참고되는 전원과의 전기 접속을 갖지 않으면 연마재 표면은 "전기 절연된" 것이다. 전기 접속은 예를 들어 와이어, 도전성 유체, 금속 플레이트 또는 체결구, 도전성 연마재 입자, 도전성 금속 매트릭스 및 이들의 조합을 포함하는 임의의 수단에 의해 형성될 수 있다. 연마재 표면이 전원의 오직 하나의 전극에만 전기 접속되어 있고, 연마재 표면과 이 연마재 표면에 접속된 임의의 다른 전원 사이에 기본적으로 전위차가 없는 경우에(즉, 약 100 mV 미만), 연마재 표면은 또한 전원으로부터 "전기 절연된" 것으로 간주된다. 환언하면, 기본적으로 참고되는 전원으로부터의 전류가 연마재 표면을 통해 흐를 수 없으면 연마재 표면은 "전기 절연된" 것이다.
도1은 전기 절연된 컨디셔닝 툴(14)을 가진 예시적인 전기화학-기계적 평탄화 시스템(10)의 개략도이다. 도1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 캐리어(12)가 연마 패드(24)에 대해 상대 이동되어, 웨이퍼 캐리어(12)에 의해 유지된 웨이퍼의 표면을 변형시킨다. 연마 패드(24)는 연마 패드 캐리어(26)에 부착된다. 제1 전극(20) 및 제2 전극(22)을 구비한 전원(18)이, 전류계(19)에 의해 개략적으로 표시된 작업편을 통과하는 전류를 생성하는데 사용된다. 제1 전극은 통상적으로 연마 패드(26)에 접속되고, 연마 패드(24)의 표면과 작업편에 전류가 흐르도록 하는데 도전성 유체가 사용된다.
연마 패드(24)는 컨디셔닝 툴(14)에 의해 상태 조절된다. 컨디셔닝 툴(14)은 연마 패드(24)와 접촉하는 컨디셔닝 디스크(34)를 포함한다. 전류계(21)는 연마 패드(24)와 접촉하는 임의의 도전성 유체를 포함하는 연마 패드(24)의 표면과 컨디셔닝 툴(14) 사이에 기본적으로 전류의 흐름이 없음을 개략적으로 나타낸다. 환언하면, 컨디셔닝 툴(14)은 작업편을 통해 흐르는 어떠한 전류 흐름으로부터도 전기 절연된다.
예를 들어 전자-화학 기계적 평탄화 공정에 있어서, 제1 전극(20)은 캐소드(즉, 전원의 음의 포스트에 접속됨)일 것이며, 제2 전극(22)은 애노드(즉, 전원의 양의 포스트에 접속됨)일 것이다. 다른 구성에 있어서는, 극성이 교호하거나 역전될 수 있다. 예를 들어 도금 단계에서는, 제1 전극(20)이 애노드이고, 제2 전극(22)이 캐소드일 것이다.
도2는 예시적인 컨디셔닝 디스크 조립체의 측단면도이다. 컨디셔닝 디스크 조립체는 컨디셔닝 디스크 홀더(32)에 장착된 컨디셔닝 디스크(34)를 포함한다. 컨디셔닝 디스크 홀더(32)는 장착 척(30)에 의해 컨디셔닝 툴(14)에 부착된다. 컨디셔닝 디스크(34)는 기판(36) 상에 연마재 표면(16)을 포함한다.
연마재 표면(16)은 연마 패드를 상태 조절하는데 적합한 거친 표면이다. 예를 들어 연마재 표면은 본 명세서에 참고 문헌으로 인용된 미국 특허 제6,123,612호[고어스(Goers)]에 개시된 것과 같이 연마재 입자 및 매트릭스 재료를 포함할 수 있다. 연마재 표면을 형성하기 위해 연마재 입자를 지지체에 부착하는데는 예를 들어 전기도금, 소결 및 브레이징을 포함하는, 당 기술 분야에 공지된 다른 기술들이 사용될 수 있다.
연마재 입자의 크기와 종류는 의도하는 응용예에 기초하여 선택된다. 적절한 연마재 입자는 예를 들어 융해된 산화 알루미늄, 세라믹 산화 알루미늄, 열처리 된 산화 알루미늄, 탄화 규소, 탄화 붕소, 탄화 텅스텐, 알루미나 지르코니아, 산화 철, 다이아몬드(천연 및 합성), 산화 세륨, 입방정계 질화 붕소, 석류석, 카보런덤(carborundum), 아산화 붕소 및 이들의 조합을 포함한다. 임의의 바람직한 실시예에 있어서, 연마재 입자는 적어도 약 8의 모스(Mohs) 경도를 갖는다. 다른 실시예에 있어서, 모스 경도는 적어도 약 9이다. 또다른 실시예에 있어서, 모스 경도는 적어도 약 10이다.
본 발명에 있어서 유용한 연마재 입자는 적어도 약 3 마이크로미터의 평균 크기를 갖는다. 임의의 실시예에 있어서, 연마재 입자는 적어도 약 20 마이크로미터의 평균 크기를 갖는다. 다른 실시예에 있어서, 연마재 입자는 적어도 약 40 마이크로미터의 평균 크기를 갖는다. 또다른 실시예에 있어서, 연마재 입자는 적어도 약 80 마이크로미터의 평균 크기를 갖는다. 본 발명에 있어서 유용한 연마재 입자는 약 1000 마이크로미터 미만의 평균 크기를 갖는다. 임의의 실시예에 있어서, 연마재 입자는 약 600 마이크로미터 미만의 평균 크기를 갖는다. 다른 실시예에 있어서, 연마재 입자는 약 300 마이크로미터 미만의 평균 크기를 갖는다.
임의의 실시예에 있어서, 연마재 입자는 서로 접합되어 단위 미립자를 형성하는 복수의 개별 연마재 입자를 포함하는 연마재 덩어리의 형태일 수 있다. 연마재 덩어리는 불규칙한 형상을 갖거나 또는 사전 결정된 형상을 가질 수 있다. 연마재 입자는 예를 들어 결합 작용제, 금속 또는 세라믹 코팅과 같은 표면 처리제를 더 포함할 수 있다.
연마재 입자를 부착하기 위해 연마재 층에 사용되는 매트릭스 재료는 예를 들어 주석, 청동, 은, 철 및 이들의 합금 또는 조합을 포함할 수 있다. 매트릭스 재료는 예를 들어 스테인리스강, 티타늄, 티타늄 합금, 지르코늄, 지르코늄 합금, 니켈, 니켈 합금, 크롬 및 크롬 합금을 포함하는 다른 금속 및 금속 합금을 포함할 수도 있다. 기판(36)은 예를 들어 스테인리스강 포일, 니켈 또는 미국 일리노이주 시카고 소재의 맥-마스터 카 서플라이 코포레이션(McMaster-Carr Supply Co., Chicago, Illinois)에 의해 등록 상표명 "INCONEL"로 판매되는 니켈-크롬-철 합금과 같은 임의의 적절한 재료로 제조될 수 있다.
연마재 표면(16)은 제1 전극(20)과 제2 전극(22) 중 적어도 하나로부터 전기 절연된다. 임의의 바람직한 실시예에 있어서, 연마재 표면은 제1 전극(20)과 제2 전극(22)의 각각으로부터 전기 절연된다. 연마재 표면은 예를 들어 전기 절연된 기판(36), 전기 절연된 캐리어(40) 또는 전기 절연된 컨디셔닝 툴(14)에 연마재 표면을 부착함으로써 전기 절연될 수 있다.
예를 들어 플라스틱, 고무, 나무, 종이, 코르크, 유리, 세라믹 등을 포함하는 물체를 전기 절연하는데는 다양한 재료와 이들 재료의 조합이 사용될 수 있다. 예를 들어, 비도전성 플라스틱 기판에 연마재 표면을 부착하면 연마재 표면을 전기 절연할 수 있다.
임의의 실시예에 있어서, 연마재 표면은 제1 전극(20)과 제2 전극(22) 중 적어도 하나로부터 전기 절연된 컨디셔닝 디스크(34)에 의해 전기 절연된다. 임의의 실시예에 있어서, 컨디셔닝 디스크는 제1 전극(20)과 제2 전극(22)의 각각으로부터 전기 절연된다. 컨디셔닝 디스크는 전기 절연된 컨디셔닝 디스크 홀더(32), 전기 절연된 장착 척(30) 또는 전기 절연 컨디셔닝 툴(14)에 의해 전기 절연될 수 있다. 장착 척(30)은 예를 들어 비도전성 플라스틱으로 제조될 수 있다.
또다른 실시예에 있어서, 연마재 표면은 제1 전극(20)과 제2 전극(22) 중 적어도 하나로부터 전기 절연된 컨디셔닝 툴(14)에 의해 전기 절연된다. 임의의 실시예에 있어서, 컨디셔닝 툴은 제1 전극(20)과 제2 전극(22)의 각각으로부터 전기 절연된다. 컨디셔닝 툴은 예를 들어 전기 절연 재료 또는 이들 재료의 조합을 이용하여 컨디셔닝 툴을 그 지지체에 부착함으로써 제1 전극과 제2 전극 중 어느 하나로부터 전기 절연될 수 있다. 예를 들어, 컨디셔닝 툴에는 비도전성 고무 또는 플라스틱 지지체가 장착될 수 있다.
도3은 캐리어(40)를 구비한 예시적인 컨디셔닝 디스크(38)의 측단면도이다. 도3에 도시된 바와 같이, 컨디셔닝 디스크(38)는 캐리어(40)에 부착된 기판(36)에 부착되는 연마재 표면(16)을 포함한다. 임의의 바람직한 실시예에 있어서, 캐리어는 예를 들어 플라스틱 또는 고무와 같은 전기 절연 재료이다. 임의의 바람직한 실시예에 있어서, 캐리어는 폴리카보네이트로 제조된다. 캐리어는 예를 들어 세라믹으로 충전되거나 또는 충전되지 않은, 에폭시, 폴리술폰, 페놀릭, 폴리아크릴레이트, 폴리메타크릴레이트, 폴리올레핀, 스티렌 및 이들의 조합과 같은 플라스틱을 포함하는 다른 재료로 제조될 수도 있다. 다른 실시예에 있어서, 캐리어는 예를 들어 스테인리스강과 같은 금속이다.
본 발명의 이점 및 다른 실시예는 이하의 예들에 의해 더 설명되지만, 이 예들에 인용된 특정 재료 및 이들의 양뿐만 아니라 다른 조건 및 상세는 본 발명을 부당하게 한정하도록 해석되어서는 안 된다. 예를 들어, 연마재 층은 기판과 일체형일 수 있거나 또는 기판에 부착될 수 있다. 모든 비율 및 백분율은 달리 지정되어 있지 않다면 중량에 의한 것이다.
비교예 1
미국 미네소타주 세인트폴 소재의 3M으로부터 입수한 지정 번호 A160 및 파트 번호 60-9800-3429-6의 다이아몬드 패드 컨디셔너를 사용하여, 패드 컨디셔너의 연마재 층을 전기 절연하지 않고, 연마 패드를 CMP 머신 상에서 상태 조절하였다.
비교예 2
*미국 미네소타주 세인트폴 소재의 3M으로부터 입수한 지정 번호 A160 및 파트 번호 60-9800-3429-6의 다이아몬드 패드 컨디셔너를 가열하여, 연마재 요소를 스테인리스강 기저 판에 접합하는 접착제를 연화시켰다. 주걱을 사용하여 다이아몬드 연마재 요소를 제거한 후, 그것을 3.8 ㎝ ×10 ㎝ 잘라냈다. 연마재 스트립을 0.75 몰의 인산, 3.75% 과산화수소 및 충분한 수산화나트륨을 담고 있는, 커버되지 않은 비이커 안에 가라앉혀 pH를 2.0으로 상승시켰다. 연마재 스트립은 정전류 전원장치의 양의 출력부에 접속되었다. 제2 니켈 전극이 또한 비이커 안에 배치되었고, 그렇게 만들어진 전지에 1.0 암페어의 전류가 통과하였다. 약 16시간 동안 테스트가 진행되도록 함으로써, 증발에 의해 전류에 노출된 연마재 스트립의 면적이 감소되었고, 전해질의 농도 및 전류 밀도가 모두 증가되었다. 전류 밀도가 가장 낮은 판의 상부는 녹색이었고, 다이아몬드를 둘러싸는 금속 매트릭스의 손실을 약간 나타냈다. 전류 밀도가 높은 영역인 판의 하부 근처에서는 금속 매트릭스 및 다이아몬드가 사라지고, 이들을 지지하는 기판이 분해되기 시작하였다. 최초의 녹색 부식 생성물은 비교예 1에서 나타난 부식과 유사하였다.
예 1
본 발명의 패드 컨디셔너가 준비되고, 전류가 인가되지 않는 것을 제외하고는 비교예 2와 동일한 방식으로 테스트되었다. 약 16시간 동안 테스트가 진행된 후에, 외관상의 부식은 없었다.
본 발명의 구성 및 기능의 상세와 함께, 위의 설명 및 예들에 나타난 본 발명의 많은 특징 및 이점에 있어서도, 그 개시내용은 설명을 위한 것일 뿐이다. 특히 전기 절연된 패드 컨디셔너의 형상, 크기 및 구성과, 사용 방법의 문제에 있어서, 첨부된 청구범위를 표현하는 용어의 의미에 의해 지시되는 최대 범위까지의 본 발명의 원리와, 그러한 구성 및 방법의 동등물의 범위 내에서 세부 사항에 변경이 이루어질 수 있다.
도1은 전기 절연된 패드 컨디셔너를 가진 예시적인 전기화학-기계적 평탄화 시스템의 개략도.
도2는 예시적인 컨디셔닝 디스크 조립체의 측단면도.
도3은 캐리어를 구비한 예시적인 컨디셔닝 디스크의 측단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 전기화학-기계적 평탄화 시스템
12: 웨이퍼 캐리어
14: 컨디셔닝 툴
20: 제1 전극
22: 제2 전극
24: 연마 패드
26: 연마 패드 캐리어
32: 컨디셔닝 디스크 홀더
34: 컨디셔닝 디스크
36: 기판

Claims (7)

  1. 대향하는 제1 및 제2 주표면을 갖는 기판;
    기판의 제1 주표면 상에 배치되고, 연마재 입자 및 매트릭스 재료를 포함하는 연마재 표면; 및
    기판의 제2 주표면에 부착된 캐리어를 포함하며;
    연마재 표면은 캐리어로부터 전기 절연되는 컨디셔닝 디스크.
  2. 제1항에 있어서, 기판은 스테인리스강 및 스테인리스강 합금, 니켈 및 니켈 합금, 니켈-크롬-철 합금, 및 이들의 조합을 포함하는 컨디셔닝 디스크.
  3. 제1항에 있어서, 기판 또는 캐리어 중 적어도 하나는 비도전성 재료를 포함하는 컨디셔닝 디스크.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 연마재 입자는 산화알루미늄, 탄화규소, 탄화붕소, 탄화텅스텐, 알루미나 지르코니아, 산화철, 다이아몬드, 세리아, 입방정계 질화붕소, 석류석, 카보런덤(carborundum), 아산화붕소, 또는 이들의 조합 중 적어도 하나를 포함하는 컨디셔닝 디스크.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 매트릭스 재료는 붕소, 청동, 크 롬, 철, 니켈, 은, 스테인리스강, 티타늄, 지르코늄, 이들의 합금, 또는 이들의 조합 중 적어도 하나를 포함하는 컨디셔닝 디스크.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 캐리어는 스테인리스강, 폴리카보네이트, 에폭시, 폴리술폰, 페놀수지, 폴리올레핀, 또는 이들의 조합 중 적어도 하나를 포함하는 컨디셔닝 디스크.
  7. 대향하는 제1 및 제2 주표면을 갖는 스테인리스강 기판;
    기판의 제1 주표면 상에 배치되고, 붕소, 청동, 크롬, 철, 니켈, 은, 스테인리스강, 티타늄, 지르코늄, 이들의 합금, 또는 이들의 조합 중 적어도 하나를 포함하는 매트릭스 재료, 및 다이아몬드 연마재 입자를 포함하는 연마재 표면; 및
    기판의 제2 주표면에 부착되고, 스테인리스강 또는 폴리카보네이트를 포함하는 캐리어를 포함하며;
    연마재 표면은 캐리어로부터 전기 절연되는 컨디셔닝 디스크.
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