KR20090127818A - Levitation transportation device - Google Patents

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가부시키가이샤 아이에이치아이
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Abstract

PURPOSE: A floating/returning apparatus is providing to prevent the front end of an object from colliding with a floating device even when the floating height of the object is uniform. CONSTITUTION: A floating/returning apparatus comprises a plurality of floating units(21), a plurality of support rollers(7), and a returning unit. The floating unit comprises an even upper surface and a jetting hole for jetting a fluid. The floating unit jets the fluid from the jetting hole so that there is a reference height between the upper surface and the lower surface of an object. The object is floated. The support roller has a vertex. The support roller is contactable with the object at the vertex. The returning unit sends back the object.

Description

부상 반송 장치{LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE}Injury Return Device {LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE}

본 발명은, 압축 공기 등의 유체(流體)를 사용하여 대상물을 부상(浮上)시키면서 반송(搬送)하는 부상 반송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a floating conveying apparatus for conveying a floating object while using a fluid such as compressed air.

압축 공기 등의 유체를 사용하여 대상물을 부상시키면서 반송하는 부상 반송 장치가 몇가지 제안되어 있다. 이들 부상 반송 장치는, 전형적으로는, 공기 등의 유체를 통과시키는 분출공을 각각 구비한 복수 개의 부상 장치를 구비한다. 부상 장치와 대상물 사이에 분출된 공기 등의 유체가 압력을 발생시키고, 대상물은 그 압력에 의해 부상하고, 반송 장치에 의한 구동력을 받아 반송된다. 관련된 기술이, 일본 특허출원공개번호 2006-324510 공보에 개시되어 있다.There have been some proposals for a floating conveying device which conveys an object while using a fluid such as compressed air. These flotation conveyance apparatuses are typically provided with the several flotation apparatus provided with the blowing hole which let fluid, such as air, pass through. Fluid such as air blown out between the flotation device and the object generates a pressure, and the object floats by the pressure, and is conveyed under the driving force by the conveying device. Related arts are disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 2006-324510.

대상물이, 하나의 부상 장치 위로부터 다른 부상 장치 위로 이행할 때, 특히 대상물이 휘기 쉬운 재질인 경우에, 대상물의 선단이 상기 다른 부상 장치의 전단(前端)과 충돌할 우려가 생긴다. 본 발명은, 대상물의 부상 높이가 일정해도 대상물의 선단이 부상 장치와 충돌하는 문제를 회피할 수 있는 부상 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.When the object moves from one floating device to another, especially when the object is a flexible material, the tip of the object may collide with the front end of the other floating device. An object of the present invention is to provide a floating conveying apparatus capable of avoiding the problem that the tip of the object collides with the floating device even if the floating height of the object is constant.

본 발명의 제1 측면에 의하면, 하면을 가지는 대상물을 압력을 가한 유체에 의해 부상시켜 제1 단으로부터 제2 단을 향해 반송하기 위한 부상 반송 장치가 제공된다. 부상 반송 장치는, 하면을 가지는 대상물을 압력을 가한 유체에 의해 부상시켜 제1 단으로부터 제2 단을 향해 반송하기 위한 부상 반송 장치로서, 평면형의 상면과, 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 각각 구비하고, 상기 상면과 상기 대상물의 상기 하면 사이에 기준 높이를 가지도록 상기 분출공으로부터 상기 유체를 분출하여 상기 대상물을 부상시킨다, 상기 제1 단으로부터 상기 제2 단을 향해 간격을 두고 열을 이루어 배치된 복수 개의 부상 장치와, 정점(頂点)을 가지고, 상기 정점에서 상기 대상물과 접촉 가능하고 회전 가능한 지지 롤러로서, 상기 정점이 상기 부상 장치의 상기 상면보다 위쪽으로 돌출하도록, 또한 상기 부상 장치의 상기 상면으로부터 상기 정점까지의 높이가 상기 기준 높이보다 낮아지도록 조정된 지지 롤러와, 상기 대상물을 반송하기 위한 반송 장치를 포함한다.According to the first aspect of the present invention, there is provided a floating conveying apparatus for conveying an object having a lower surface with a pressurized fluid and conveying it from the first stage to the second stage. The floating conveying apparatus is a floating conveying apparatus for conveying an object having a lower surface with a pressurized fluid and conveying it from the first stage to the second stage. The floating conveying apparatus includes a planar upper surface and a blower for ejecting the fluid. And ejecting the fluid from the ejection hole so as to have a reference height between the upper surface and the lower surface of the object to float the object, the rows being spaced apart from the first end to the second end. A support roller having a plurality of floating devices and a vertex disposed thereon, the support roller being rotatable in contact with the object at the vertex such that the vertices protrude above the upper surface of the floating device, A support roller adjusted to have a height from the upper surface to the vertex lower than the reference height, and the object It includes a conveying device for conveying.

바람직하게는, 상기 분출공은, 상기 지지 롤러는 상기 부상 장치의 상기 제2 단 측의 끝에 인접하고 있다.Preferably, the ejection hole has the support roller adjacent to an end of the second end side of the floating apparatus.

보다 바람직하게는, 상기 분출공은, 적어도 상기 상면 근방에 있어서 상기 부상 장치의 중심을 향해 경사져 있다.More preferably, the blowing hole is inclined toward the center of the floating apparatus at least in the vicinity of the upper surface.

본 발명은, 대상물의 부상 높이가 일정해도 대상물의 선단이 부상 장치에 충돌하는 문제를 회피할 수 있는 부상 반송 장치가 제공된다.The present invention provides a floating conveying device capable of avoiding the problem that the tip of the object collides with the floating device even if the floating height of the object is constant.

본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 이하에 설명한다. 본 명세서, 청구의 범위 및 도면을 통해서, 전방, 후방, 좌측 및 우측은, 도면 중에 각각 FF, FR, L 및 R이라고 기록된 방향으로 정의한다. 이러한 정의는 설명의 편의를 위한 것이며, 본 발명은 반드시 이에 한정되지 않는다.Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Throughout this specification, claims, and drawings, the front, rear, left and right sides are defined in the directions written as FF, FR, L and R, respectively, in the drawings. This definition is for convenience of description, and the present invention is not necessarily limited thereto.

부상 반송 장치는, 대상물(W)을 수직 방향으로 부상시켜 수평인 반송 방향(예를 들면, 전방 FF로부터 후방 FR을 향한 방향)으로 반송하기 위한 장치이다. 대상물(W)로서는, 전체적으로 평면형인 비교적 얇은 물체, 예를 들면, LCD(액정 표시기)용의 유리 기판 등의 박판(薄板)이 바람직하다. 대상물(W)은, 반드시 전체적으로 평면형일 필요는 없고, 그 하면의 적어도 일부가 평면형이면 된다. 부상시키기 위해 예를 들면, 공기와 같은 유체가 이용된다.The floating conveying apparatus is an apparatus for floating the object W in the vertical direction and conveying it in the horizontal conveying direction (for example, the direction from the front FF to the rear FR). As the object W, a thin plate, such as a relatively thin object which is generally planar, for example, a glass substrate for an LCD (liquid crystal display), is preferable. The object W does not necessarily need to be planar as a whole, and at least a part of the lower surface thereof may be planar. For example, a fluid such as air is used to float.

대상물(W)이, LCD용의 얇은 유리 기판 등의 클린 환경 하에서 반송할 필요가 있는 것인 경우에는, 상기 부상 반송 장치(1)는 클린룸 내 등의 클린 환경 하에서 사용된다.When the object W needs to be conveyed in a clean environment, such as a thin glass substrate for LCD, the said floating conveyance apparatus 1 is used in clean environments, such as a clean room.

본 발명의 제1 실시예를 도 1 내지 도 7을 참조하여 이하에 설명한다. 본 실시예에 의한 부상 반송 장치(1)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 세로 방향으로 신장된 기대(基臺)(3)와, 기대(3) 상에 세로 방향으로 열을 이룬 반송 장치(5)와, 기대(3) 상에 세로 방향 및 가로 방향의 양쪽으로 간격을 두고 각각 열을 이룬 복수 개의 부상 장치(21)를 구비하고 있다. 부상 반송 장치(1)의 전단(제2 단)은 도 1의 우측으로 표시되어 있고, 후단(제1 단)은 도 1의 좌측의 시야의 밖에 있다. 대상물(W)은, 부상 반송 장치(1)의, 예를 들면, 후단(제1 단)으로부터 전단(제2 단)을 향해 반송된다. 부상 장치(21)에는, 도시하지 않지만, 압축 공기를 공급하기 위한 공기 공급 장치가 연결되어 있다. 압축 공기 대신에, 질소나 아르곤 등의 다른 압력이 가해진 가스, 또는 액체 등의 다른 압력이 가해진 유체를 이용해도 된다.A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 7. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the floating conveying apparatus 1 according to the present embodiment has a column 3 extending in the longitudinal direction and a column formed on the base 3 in the vertical direction. On the conveying apparatus 5 and the base 3, the several floating apparatuses 21 lined up at both the longitudinal direction and the horizontal direction at intervals are provided. The front end (second stage) of the floating conveying apparatus 1 is shown by the right side of FIG. 1, and the rear end (first stage) is outside the visual field of the left side of FIG. The object W is conveyed toward the front end (2nd end) of the floating conveyance apparatus 1 from a rear end (1st end), for example. Although not shown, an air supply device for supplying compressed air is connected to the floating device 21. Instead of compressed air, other pressurized gas such as nitrogen or argon or a fluid pressurized such as liquid may be used.

반송 장치(5)는, 기대(3) 상의 좌측단 및 우측단 부근에, 대상물(W)의 반송 방향으로 각각 열을 이루는 복수 개의 롤러(7)를 가진다. 각 롤러(7)는, 각각 회전축(7s)을 통하여 웜휠(11)과 일체로 연결되어 있고, 브래킷(9)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 기대(3)를 세로 방향으로 관통하도록 하여, 한 쌍의 구동축(13)이 구비되어 있고, 각 구동축(13)은 각 웜휠(11)과 구동 가능하게 서로 맞물리는 웜(15)을 구비한다. 각 구동축(13)의 앞끝에는, 커플링 등을 통하여 모터(17)의 출력축(17s)이 구동 가능하게 연결되어 있다. 이에 의해, 각 롤러(7)는, 모터(17)의 구동력을 받아, 같은 회전 속도로 회전하도록 되어 있다. 도 3에 나타 낸 바와 같이, 상기 각 롤러(7)의 상단부는, 상기 부상 장치(21)의 상면보다 약간 위쪽으로 돌출되어, 단일의 면 상에 정렬되도록 배치되어 있다. 대상물(W)은, 부상한 상태에 있어서도, 도 3에 나타낸 바와 같이, 구동력을 받도록 롤러(7)와 접촉할 수 있다.The conveying apparatus 5 has the several roller 7 which forms a row in the conveyance direction of the target object W in the vicinity of the left end and the right end on the base 3, respectively. Each roller 7 is integrally connected with the worm wheel 11 via the rotation shaft 7s, respectively, and is rotatably supported by the bracket 9. A pair of drive shafts 13 are provided to penetrate the base 3 in the longitudinal direction, and each drive shaft 13 includes a worm 15 that engages with each worm wheel 11 so as to be able to drive. The output shaft 17s of the motor 17 is driveably connected to the front end of each drive shaft 13 via a coupling or the like. Thereby, each roller 7 receives the drive force of the motor 17, and is made to rotate at the same rotational speed. As shown in FIG. 3, the upper end part of each said roller 7 is arrange | positioned so that it may protrude slightly upward rather than the upper surface of the said floating apparatus 21, and is aligned on a single surface. Even when the object W is floating, as shown in FIG. 3, the object W can contact the roller 7 so as to receive a driving force.

모터(17)는 한 쌍일 필요는 없고, 양 구동축(13)은 체인 등의 적당한 결합 수단을 통하여 단일의 모터와 연결해도 된다. 또한, 롤러 대신에, 구동 가능한 클램퍼나 벨트 컨베이어 등의 반송 수단을 반송 장치(5)에 적용해도 된다.The motors 17 need not be a pair, and the two drive shafts 13 may be connected to a single motor through suitable coupling means such as a chain. In addition, you may apply the conveying means, such as a clamper which can be driven, a belt conveyor, to the conveying apparatus 5 instead of a roller.

도 4, 도 5 및 도 6을 참조하면, 각각의 부상 장치(21)는, 베이스부(23)를 구비하고 있고, 각 베이스부(23)는, 브래킷(25)을 통하여 기대(3) 상에 고정되어 있다. 각 베이스부(23)는, 그 내측에 공기 공급 장치로부터 공급된 압축 공기가 일시적으로 통과하는 챔버(27)를 구획하고 있다.4, 5 and 6, each floating apparatus 21 is provided with the base part 23, and each base part 23 is on the base 3 through the bracket 25. As shown in FIG. It is fixed at. Each base portion 23 partitions a chamber 27 through which compressed air supplied from an air supply device temporarily passes.

베이스부(23)는, 그 위의 중앙에, 챔버(27)의 위쪽을 덮는 직사각형의 섬 부재(31)과 섬 부재를 에워싸는 외곽 부재(29, 33)를 구비하고 있다. 섬 부재(31)의 상면은, 대략 수평인 평면형이다. 외곽 부재 중 상부 외곽 부재(33)의 상면은, 섬 부재(31)의 상면과 단일인 평면을 구성하도록, 상기 평면과 높이가 나란히 되어 있다.The base part 23 is provided with the rectangular island member 31 which covers the upper part of the chamber 27, and the outer member 29 and 33 which enclose an island member in the center above it. The upper surface of the island member 31 is planar substantially horizontal. The upper surface of the upper outer member 33 among the outer members is parallel with the plane so that the upper surface of the upper outer member 33 forms a single plane with the upper surface of the island member 31.

외곽 부재(29, 33)의 내면과 경사면(31a)을 포함하는 섬 부재(31)의 측면은, 대략 평행이다. 상부 외곽 부재(33)의 내면(33a)은 경사면(31a)을 따라 부상 장치(21)의 중심을 향해 경사져 있다. 경사면(33a)을 포함하는 외곽 부재(29, 33)의 내면과 경사면(31a)을 포함하는 섬 부재(31)의 측면은, 챔버(27)와 연통된 균일한 폭을 가지는 간극을 구획하고 있고, 이 간극은 챔버(27) 중의 압축 공기를 인도하여 위쪽으로 분출할 수 있는 분출공(37)으로서 작용한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 분출공(37)의 부상 장치(21)의 상면에의 개구는, 직사각형의 환형이다.The inner surface of the outer member 29, 33 and the side surface of the island member 31 including the inclined surface 31a are substantially parallel. The inner surface 33a of the upper outer member 33 is inclined toward the center of the floating device 21 along the inclined surface 31a. The inner surface of the outer members 29 and 33 including the inclined surface 33a and the side surface of the island member 31 including the inclined surface 31a define a gap having a uniform width communicating with the chamber 27. This gap serves as a blowing hole 37 capable of guiding compressed air in the chamber 27 and blowing upward. As shown in FIG. 4, the opening to the upper surface of the floating apparatus 21 of the blowing hole 37 is a rectangular annular shape.

전술한 바와 같이, 경사면(31a, 33a)은, 섬 부재(31)의 상면의 중심을 향해 경사져 있으므로, 분출공(37)은, 적어도 부상 장치(21)의 상면 근방에서는, 부상 장치(21)의 상면의 중심(내측)을 향해 경사져 있다. 경사는 예를 들면 45도가 바람직하지만, 이에 한정되지 않는다.As mentioned above, since the inclined surfaces 31a and 33a are inclined toward the center of the upper surface of the island member 31, the blower hole 37 is at least near the upper surface of the floating apparatus 21, so as to raise the floating apparatus 21. It is inclined toward the center (inner side) of the upper surface of the. The inclination is preferably 45 degrees, for example, but is not limited thereto.

분출공(37)은, 직사각형의 환형에 한정되지 않고, 타원형의 환형이나, 환형의 일부가 폐색된 형상 등, 다른 각종의 형상이어도 된다. 섬 부재(31)는, 분출공(37)의 폭을 균일하게 할 수 있도록, 그 경사진 외주(31a) 면 상에, 동일한 높이를 가지는 복수 개의 돌기(35)를 구비해도 된다.The blowing hole 37 is not limited to a rectangular annular shape, but may be other various shapes such as an elliptical annular shape or a shape in which a part of the annular shape is occluded. The island member 31 may include a plurality of projections 35 having the same height on the inclined outer circumferential 31a surface so as to make the width of the jet hole 37 uniform.

바람직하게는, 복수 개의 부상 장치(21)는, 그 상면끼리가 단일의 평면을 이루도록 정렬되어 있다. 이것은, 대상물(W)의 부상 높이를 안정화하는 데 유리하다.Preferably, the plurality of floating devices 21 are aligned such that their upper surfaces form a single plane. This is advantageous for stabilizing the floating height of the object W.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 복수 개의 부상 장치(21)는, 하나의 부상 장치(21)의 후단(제1 단 측의 끝)이 다른 부상 장치(21)의 전단(제2 단 측의 끝)과 마주보도록 열을 이루고 있다. 각 부상 장치(21)는, 그 전단(제2 단 측의 끝)에 인접하도록, 지지 롤러(39)를 구비하고 있다. 지지 롤러(39)는 브래킷(41)에 의해, 제1 단으로부터 제2 단을 향한 방향으로 회전 가능하게 되어 있다. 지지 롤러(39)는 자유로운 회전이 가능하지만, 롤러(7)와 마찬가지로 모터(17)의 구동력을 받아 회전하도록 변형되어도 된다. 그 경우는, 롤러(7)와 지지 롤러(39)는 동일한 주속도(周速度)인 것이 바람직하다. 지지 롤러(39)의 정점은, 부상 장치(21)의 상면보다 위쪽으로 돌출하도록 장착되어 있다. 또한, 그 높이는, 후술하는 바와 같이 특정한 범위로 미리 조정된다.Referring to FIGS. 1 to 3, the plurality of floating devices 21 includes a front end (the second end side) of another floating unit 21 whose rear end (the end of the first end side) of one floating unit 21 is different. End to the end). Each floating apparatus 21 is provided with the support roller 39 so that it may be adjacent to the front end (end of a 2nd end side). The support roller 39 is rotatable by the bracket 41 in the direction from the first end to the second end. The support roller 39 can be freely rotated, but may be deformed to rotate under the driving force of the motor 17 similarly to the roller 7. In that case, it is preferable that the roller 7 and the support roller 39 have the same peripheral speed. The apex of the support roller 39 is attached so as to protrude upward from the upper surface of the floating apparatus 21. In addition, the height is previously adjusted to a specific range as mentioned later.

각 부상 장치(21)의 각 챔버(27)는, 도시하지 않은 배관에 의해 서로 연통되어 있고, 또한 외부의 공기 공급 장치와 연통되어 있다. 공기 공급 장치는, 배관을 통하여 압축 공기를 각 부상 장치(21)에 제어 가능하게 공급한다. 공기 공급 장치로서는, 인버터 전원에 전기적으로 접속된 블로워 모터와, 블로워 모터에 의해 구동되는 블로워를 구비한 것이 바람직하지만, 이에 한정되지 않는다. 공기 공급 장치는, 대상물(W)의 정보를 판독하는 적당한 판독 장치나, 공기의 유량을 제어하는 컨트롤러 등을 구비해도 된다.Each chamber 27 of each floating apparatus 21 is mutually communicated by the piping which is not shown in figure, and also communicates with an external air supply apparatus. The air supply device controllably supplies the compressed air to each floating device 21 through a pipe. As the air supply device, one having a blower motor electrically connected to the inverter power supply and a blower driven by the blower motor is preferable, but is not limited thereto. The air supply device may include a suitable reading device for reading information of the object W, a controller for controlling the flow rate of air, and the like.

공기 공급 장치로부터 각 챔버(27)에 압축 공기를 공급하면, 각 분출공(37)으로부터 압축 공기가 분출된다. 분출된 압축 공기는, 도 2, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 섬 부재(31)의 상면과 대상물(W)의 하면의 사이에 있어서, 분출공(37)의 개구가 에워싸는 공간에, 상기 압축 공기가 균일한 압력이 생기는 공간(S)이 생기게 한다. 균일한 압력을 가지는 공간(S)에 의해 지지됨으로써, 상기 대상물(W)에 부력(浮力)이 주어져 부상한다. 이 때, 공기의 유량 또는 압력을 적당히 조정함으로써, 부상 장치(21)의 상면과 대상물(W)의 하면 사이는 일정한 높이가 된다. 이 높이를 기준 높이라고 할 때, 지지 롤러(39)의 정점은 기준 높이보다 낮아지도록, 지지 롤러의 높이는 미리 조정된다.When compressed air is supplied to each chamber 27 from an air supply apparatus, compressed air is blown out from each blowing hole 37. FIG. As shown in FIG. 2, FIG. 5, and FIG. 6, the blown compressed air is spaced between the upper surface of the island member 31 and the lower surface of the object W in the space which the opening of the blowing hole 37 surrounds, The compressed air creates a space S in which a uniform pressure is produced. By being supported by the space S having a uniform pressure, buoyancy is applied to the object W and floats. At this time, by appropriately adjusting the flow rate or pressure of the air, the height between the upper surface of the floating apparatus 21 and the lower surface of the object W becomes a constant height. When this height is referred to as the reference height, the height of the support roller is adjusted in advance so that the vertex of the support roller 39 is lower than the reference height.

대상물(W)이 부상한 상태에 있어서, 한 쌍의 모터(17)를 구동함으로써, 한 쌍의 구동축(13)이 동기하여 회전한다. 웜휠(11)과 웜(15)의 맞물림에 의해, 구동축(13)의 회전은 각 롤러(7)에 전해진다. 회전하는 롤러(7)에 접촉함으로써, 부상 반송 장치(1) 상에 반입된 대상물(W)은, 부상한 상태로 반송된다.In the state where the object W floats, by driving the pair of motors 17, the pair of drive shafts 13 rotate in synchronization. By the engagement of the worm wheel 11 and the worm 15, the rotation of the drive shaft 13 is transmitted to each roller 7. By contacting the rotating roller 7, the object W carried in on the floating conveying apparatus 1 is conveyed in the state which floated.

도 2를 참조하면, 대상물(W)이, 도면 중 좌측 방향에 나타낸 하나의 부상 장치(21) 위로부터, 도면 중 우측으로 나타낸 다른 부상 장치(21) 위로 이동할 때, 대상물(W)의 선단은 일시적으로 부력을 받을 수 없다. 만약 대상물(W)이 휘기 쉬운 재질인 경우에는, 대상물(W)의 선단은 하나의 부상 장치(21)의 전단(제2 단 측의 끝)보다 아래쪽에 늘어져, 다른 부상 장치(21)의 후단(제1 단 측의 끝)과 충돌할 우려가 생긴다. 그러나, 본 실시예에 의하면, 아래쪽으로 늘어지려고 하는 대상물(W)은, 지지 롤러(39)의 정점과 접촉하여 지지되므로, 다른 부상 장치(21)와 충돌하는 문제가 회피된다. 또한, 지지 롤러(39)의 정점은 기준 높이보다 낮으므로, 대상물(W)이 아래쪽으로 늘어지지 않을 때는, 대상물(W)은 지지 롤러(39)와 접촉되지 않는다. 대상물의 부상 높이를 특별히 높게 하지 않아도, 대상물의 선단이 다른 부상 장치(21)에 충돌하는 경우에도, 지지 롤러(39)와 접촉되는 경우도 없다. 대상물의 부상 높이를 높게 함으로써 부상 장치(21)에의 충돌을 회피하는 데 비교하여, 소비 에너지의 점에서 유리하다.Referring to FIG. 2, when the object W moves from one floating device 21 shown in the left direction in the drawing to another floating device 21 shown in the right in the drawing, the tip of the object W is Temporarily unable to receive buoyancy. If the object W is a flexible material, the front end of the object W is lower than the front end (end of the second end side) of one floating device 21, and the rear end of the other floating device 21. There is a possibility of collision with the (end of the first end side). However, according to this embodiment, since the object W to be stretched downward is supported in contact with the apex of the support roller 39, the problem of colliding with another floating apparatus 21 is avoided. In addition, since the vertex of the support roller 39 is lower than the reference height, when the object W is not stretched downward, the object W is not in contact with the support roller 39. Even if the floating height of the object is not particularly high, even when the tip of the object collides with the other floating device 21, it does not come into contact with the support roller 39. It is advantageous in terms of energy consumption as compared with avoiding a collision with the floating device 21 by raising the floating height of the object.

전단(제2 단 측의 끝)에 인접한 지지 롤러(39)가 대상물(W)을 충분히 지지하므로, 후단(제1 단 측의 끝)에는 충돌을 방지하는 수단은 필요가 없다. 또는, 후단도, 상면보다 아래쪽으로 후퇴한 단차면이나, 대상물과 접촉 가능한 롤러 등의, 충돌을 방지하는 수단을 구비해도 된다.Since the support roller 39 adjacent to the front end (end of the second end side) fully supports the object W, there is no need for a means for preventing collision at the rear end (end of the first end side). Alternatively, the rear end may be provided with a means for preventing a collision, such as a stepped surface retreating downward from the upper surface, or a roller capable of contacting the object.

본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 상기 개시 내용에 기초하여, 본 기술 분야의 통상의 기술을 가지는 사람이, 실시예의 수정 내지 변형에 의해 본 발명을 행할 수 있다.Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments. Based on the above disclosure, a person having ordinary skill in the art can carry out the present invention by modification or modification of the embodiment.

도 1은, 본 발명의 실시예에 관한 부상 반송 장치의 부분 평면도이다.1 is a partial plan view of a floating conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는, 도 1의 II－II선에 따른 부분 단면도이다.FIG. 2 is a partial cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1.

도 3은, 도 1의 III－III선에 따른 부분 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 1.

도 4는, 상기 실시예에 관한 부상 장치의 평면도이다.4 is a plan view of the flotation device according to the embodiment.

도 5는, 도 4의 V－V선에 따른 상기 부상 장치의 종단면도로서, 대상물을 부상시킨 상태를 나타내고 있다.FIG. 5: is a longitudinal cross-sectional view of the said floating apparatus along the V-V line | wire of FIG. 4, and has shown the state which floated the object.

도 6은, 도 4의 VI－VI선에 따른 상기 부상 장치의 횡단면도로서, 대상물을 부상시킨 상태를 나타내고 있다.FIG. 6: is a cross-sectional view of the said floating apparatus along the VI-VI line of FIG. 4, and has shown the state which floated the object.

Claims (3)

하면을 가지는 대상물을 압력을 가한 유체(流體)에 의해 부상(浮上)시켜 제1 단으로부터 제2 단을 향해 반송(搬送)하기 위한 부상 반송 장치로서,A floating carrier device for floating an object having a lower surface by a fluid under pressure and conveying it from the first stage to the second stage, 평면형의 상면과, 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 각각 구비하고, 상기 상면과 상기 대상물의 상기 하면 사이에 기준 높이를 가지도록 상기 분출공으로부터 상기 유체를 분출하여 상기 대상물을 부상시키며, 상기 제1 단으로부터 상기 제2 단을 향해 간격을 두고 열을 이루어 배치된, 복수 개의 부상 장치와,A plane upper surface and a ejection hole for ejecting the fluid, respectively, ejecting the fluid from the ejection hole so as to have a reference height between the upper surface and the lower surface of the object to float the object; A plurality of floating devices arranged in rows at intervals from the first stage toward the second stage, 정점(頂点)을 가지고, 상기 정점에서 상기 대상물과 접촉 가능하고 회전 가능한 지지 롤러로서, 상기 정점이 상기 부상 장치의 상기 상면보다 위쪽으로 돌출하고, 또한 상기 부상 장치의 상기 상면으로부터 상기 정점까지의 높이가 상기 기준 높이보다 낮아지도록 조정된, 지지 롤러와,A support roller having a vertex and rotatable in contact with the object at the vertex, wherein the vertex protrudes above the upper surface of the flotation device, and is the height from the upper surface of the flotation device to the vertex. A support roller, adjusted to be lower than the reference height, 상기 대상물을 반송하기 위한, 반송 장치Carrying apparatus for conveying the said object 를 포함하는 부상 반송 장치.Injury conveying device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지 롤러는 상기 부상 장치의 상기 제2 단 측의 끝에 인접한, 부상 반송 장치.And the supporting roller is adjacent to an end of the second end side of the floating apparatus. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분출공은, 적어도 상기 상면 근방에 있어서 상기 부상 장치의 중심을 향해 경사져 있는, 부상 반송 장치.The blowing hole is inclined toward the center of the floating device at least in the vicinity of the upper surface.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5604940B2 (en) * 2010-03-31 2014-10-15 株式会社Ｉｈｉ Levitation transfer device
CN103159028B (en) * 2011-12-09 2017-05-03 株式会社妙德 Floating transfer unit

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001010724A (en) * 1999-06-28 2001-01-16 Watanabe Shoko:Kk Floating carrier device
JP2004196482A (en) * 2002-12-18 2004-07-15 Maruyasu Kikai Kk Roller conveyor
JP4626205B2 (en) * 2004-07-28 2011-02-02 シンフォニアテクノロジー株式会社 Substrate delivery method and apparatus
JP4613800B2 (en) * 2004-12-01 2011-01-19 株式会社Ｉｈｉ Levitation device and transfer device
JP4780984B2 (en) * 2005-03-18 2011-09-28 オリンパス株式会社 Substrate transfer device
JP4529794B2 (en) * 2005-05-19 2010-08-25 シンフォニアテクノロジー株式会社 Gas levitation transfer device
CN101920849A (en) * 2005-11-14 2010-12-22 株式会社Ihi Levitation device and transfer device therewith
JP4842748B2 (en) * 2006-09-22 2011-12-21 オリンパス株式会社 Substrate transfer system

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