KR101144878B1 - Levitation device and levitation transportation device - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 하면을 가지는 대상물을 유체(流體)에 의해 부상(浮上)시켜 반송(搬送)하기 위한 부상 반송 장치에 관한 것으로서, 상기 유체가 통과하는 챔버를 구획하는 베이스부와; 상기 챔버를 덮도록 배치되어 변위 가능하고, 외면과 평면형의 상면을 가지는 섬부재와; 상기 섬부재를 에워싸고, 상기 부재의 외면과 대향하는 내면을 가지는 외곽 부재와; 상기 섬부재의 외면과 상기 외곽 부재의 내면에 의해 구획되어 상기 상면과 상기 대상물의 상기 하면과의 사이에 상기 유체가 균일한 압력이 되게 하는 공간이 생길 수 있도록 배치되고, 적어도 상기 상면 근방에서 상기 영역의 내측을 향해 경사져 있고, 상기 챔버와 연통되어 상기 유체를 분출하기 위한 분출공과; 상기 분출공에 개재되어 상기 유체의 압력을 받은 상기 섬부재에 의해 압압(押壓)되어 상기 분출공의 내면과 맞닿아 상기 분출공의 폭을 균일하게 하는 복수 개의 돌기를 구비한 부상 장치와; 상기 유체를 여압(與壓)하여 상기 챔버에 공급하는 유체 공급 장치와, 상기 대상물을 반송하기 위한 반송 장치를 포함한다.The present invention relates to a floating conveying apparatus for floating and conveying an object having a lower surface by a fluid, comprising: a base portion for partitioning a chamber through which the fluid passes; An island member disposed to cover the chamber and displaceable, the island member having an outer surface and an upper surface of a planar shape; An outer member surrounding the island member and having an inner surface facing the outer surface of the member; The space is partitioned by an outer surface of the island member and an inner surface of the outer member so that a space is formed between the upper surface and the lower surface of the object to allow a uniform pressure, and at least near the upper surface. A blowing hole inclined toward an inner side of the region and in communication with the chamber for ejecting the fluid; A flotation device having a plurality of protrusions interposed in the blow hole and pressed by the island member under pressure of the fluid to contact an inner surface of the blow hole to make the width of the blow hole uniform; The fluid supply apparatus which pressurizes the said fluid and supplies it to the said chamber, and the conveying apparatus for conveying the said object are included.

Description

부상 장치 및 부상 반송 장치 {LEVITATION DEVICE AND LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE}Injury and Injury Returns {LEVITATION DEVICE AND LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE}

본 발명은, 압축 공기 등의 유체(流體)를 사용하여 대상물을 부상(浮上)시키는 부상 장치 및 부상시키면서 반송(搬送)하는 부상 반송 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flotation device that floats an object using a fluid such as compressed air, and a flotation carrier that conveys while floating.

압축 공기 등의 유체를 사용하여 대상물을 부상시키면서 반송하는 부상 반송 장치가 몇가지 제안되어 있다. 이들 부상 반송 장치는, 전형적으로는, 공기 등의 유체가 통과하는 분출공을 구비한 부상 장치를 구비한다. 부상 장치와 대상물과의 사이에 분출된 공기 등의 유체가 압력을 발생시키고, 대상물은 그 압력에 의해 부상하고, 반송 장치에 의한 구동력을 받아 반송된다. 관련된 기술이, 일본공개특허 2006-182563호 공보에 개시되어 있다.There have been some proposals for a floating conveying device which conveys an object while using a fluid such as compressed air. These floating conveying apparatuses are typically provided with the floating apparatus provided with the blowing hole which fluids, such as air, pass. Fluid such as air blown out between the flotation device and the object generates a pressure, and the object floats by the pressure, and is conveyed under the driving force by the conveying device. Related arts are disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2006-182563.

본 발명은, 분출공의 폭의 균일성을 작동 중에도 유지함으로써, 대상물이 받는 부력(浮力)을 안정되게 하는 것에 기여하는 부상 장치 및 부상 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a floating device and a floating conveying device which contribute to stabilizing the buoyancy received by an object by maintaining the uniformity of the width of the ejection hole even during operation.

본 발명의 제1 태양은, 하면을 가지는 대상물을 유체에 의해 부상시키는 부상 장치를 제공한다. 상기 부상 장치는, 상기 유체가 통과하는 챔버를 구획하는 베이스부와; 상기 챔버를 덮도록 배치되어 변위 가능하고, 외면과 평면형의 상면을 가지는 섬부재와, 상기 섬부재를 에워싸고, 상기 섬부재의 외면과 대향하는 내면을 가지는 외곽 부재와; 상기 섬부재의 외면과 상기 외곽 부재의 내면에 의해 구획되어 상기 상면과 상기 대상물의 상기 하면과의 사이에 상기 유체가 균일한 압력이 되게 하는 공간이 생길 수 있도록 배치되고, 적어도 상기 상면 근방에서 상기 영역의 내측을 향해 경사져 있고, 상기 챔버와 연통되어 상기 유체를 분출하기 위한 분출공과, 상기 분출공에 개재되고, 상기 유체의 압력을 받은 상기 섬부재에 의해 압압(押壓)되어 상기 분출공의 내면과 맞닿아 상기 분출공의 폭을 균일하게 하는 복수 개의 돌기를 구비한다.A first aspect of the present invention provides a flotation device for floating an object having a lower surface by a fluid. The flotation device includes: a base portion defining a chamber through which the fluid passes; An outer member disposed to cover the chamber and displaceable, the outer member having an outer surface and a planar upper surface, and an outer member surrounding the island member and having an inner surface facing the outer surface of the island member; The space is partitioned by an outer surface of the island member and an inner surface of the outer member so that a space is formed between the upper surface and the lower surface of the object to allow a uniform pressure, and at least near the upper surface. The ejection hole inclined toward the inner side of the region and communicated with the chamber to eject the fluid, and pressurized by the island member interposed in the ejection hole and subjected to the pressure of the fluid. It is provided with a plurality of protrusions in contact with the inner surface to uniform the width of the jet hole.

본 발명의 제2 태양은, 하면을 가지는 대상물을 유체에 의해 부상시켜 반송하기 위한 부상 반송 장치를 제공한다. 상기 부상 반송 장치는, 상기 유체가 통과하는 챔버를 구획하는 베이스부와; 상기 챔버를 덮도록 배치되어 변위 가능하고, 외면과 평면형의 상면을 가지는 섬부재와; 상기 섬부재를 에워싸고, 상기 섬부재의 외면과 대향하는 내면을 가지는 외곽 부재와; 상기 섬부재의 외면과 상기 외곽 부재의 내면에 의해 구획되어 상기 상면과 상기 대상물의 상기 하면과의 사이에 상기 유체가 균일한 압력이 되게 하는 공간이 생길 수 있도록 배치되고, 적어도 상기 상면 근방에서 상기 영역의 내측을 향해 경사져 있고, 상기 챔버와 연통되어 상기 유체를 분출하기 위한 분출공과; 상기 분출공에 개재되고, 상기 유체의 압력을 받은 상기 섬부재에 의해 압압되어 상기 분출공의 내면과 맞닿아 상기 분출공의 폭을 균일하게 하는 복수 개의 돌기를 구비한 부상 장치와, 상기 유체를 여압(與壓)하여 상기 챔버에 공급하는 유체 공급 장치와; 상기 대상물을 반송하기 위한 반송 장치를 포함한다.The 2nd aspect of this invention provides the floating conveyance apparatus for floating and conveying the object which has a lower surface with a fluid. The floating conveying apparatus includes: a base portion that partitions a chamber through which the fluid passes; An island member disposed to cover the chamber and displaceable, the island member having an outer surface and an upper surface of a planar shape; An outer member surrounding the island member and having an inner surface facing the outer surface of the island member; The space is partitioned by an outer surface of the island member and an inner surface of the outer member so that a space is formed between the upper surface and the lower surface of the object to allow a uniform pressure, and at least near the upper surface. A blowing hole inclined toward an inner side of the region and in communication with the chamber for ejecting the fluid; A floating device having a plurality of protrusions interposed in the jet hole and pressed by the island member under pressure of the fluid to contact the inner surface of the jet hole to make the width of the jet hole uniform; A fluid supply device which pressurizes and supplies the chamber to the chamber; And a conveying device for conveying the object.

바람직하게는, 상기 외곽 부재는, 상기 섬부재를 위쪽으로 지지하는 걸림클릭을 구비한다.Preferably, the outer member has a locking click for supporting the island member upward.

대상물이 받는 부력을 안정되게 하는 것에 기여하는 부상 장치 및 부상 반송 장치가 제공된다.There is provided a floating device and a floating conveying device which contribute to stabilizing the buoyancy received by the object.

도 1은 본 발명의 실시예에 관한 부상 반송 장치의 부분 평면도이다.
도 2는 도 1의 II-II선에 따른 부분 단면도이다.
도 3은 상기 부상 반송 장치가 구비하는 부상 장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 IV-IV선에 따른 부분 단면도이다.
도 5는 도 3의 V-V선에 따른 부분 단면도이다. 1 is a partial plan view of a floating conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partial cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1.
It is a top view of the floating apparatus with which the said floating conveyance apparatus is equipped.
4 is a partial cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 3.
FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 3.

본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 이하에 설명한다. 본 명세서, 청구의 범위 및 도면에 있어서, 전방, 후방, 좌측 및 우측은, 도면 중에 각각 FF, FR, L 및 R로 기록된 방향으로 정의한다. 이러한 정의는 설명의 편의를 위한 것이며, 본 발명은 반드시 이에 한정되지 않는다.Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the present specification, claims, and drawings, front, rear, left, and right sides are defined by directions written as FF, FR, L, and R in the drawings, respectively. This definition is for convenience of description, and the present invention is not necessarily limited thereto.

본 발명의 실시예에 의한 부상 반송 장치(1)는, 대상물 W를 수직 방향으로 부상시켜 수평인 반송 방향(예를 들면, 후방 FR)으로 반송하기 위한 장치이다. 대상물 W로서는, 전체적으로 평면형인 비교적 얇은 물체, 예를 들면, LCD(액정 표시기)용의 유리 기판 등의 박판이 바람직하다. 대상물 W는, 반드시 전체적으로 평면형일 필요는 없고, 그 하면의 적어도 일부가 평면형이면 된다. 부상시키기 위해 예를 들면, 공기와 같은 유체가 사용된다.The floating conveying apparatus 1 by the Example of this invention is an apparatus for floating the object W in a vertical direction, and conveying it to a horizontal conveyance direction (for example, rear FR). As the object W, a thin plate such as a relatively thin object which is generally planar, for example, a glass substrate for an LCD (liquid crystal display), is preferable. The object W does not necessarily need to be planar as a whole, and at least part of its lower surface may be planar. For example, a fluid such as air is used to float.

대상물 W가, LCD용의 얇은 유리 기판 등의 클린 환경 하에서 반송할 필요가 있는 것인 경우에는, 상기 부상 반송 장치(1)는 클린룸 내 등의 클린 환경 하에서 사용된다.When the object W needs to be conveyed in a clean environment, such as a thin glass substrate for LCD, the said floating conveyance apparatus 1 is used in clean environments, such as a clean room.

부상 반송 장치(1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 전후 방향으로 신장된 기대(基臺)(3)와, 기대(3) 상에 전후 방향으로 열을 이룬 반송 장치(5)와, 기대(3) 상에 전후 방향 및 좌우 방향의 양쪽으로 열을 이룬 복수 개의 부상 장치(21)를 구비하고 있다. 부상 장치(21)에는, 유체를 공급하기 위한 유체 공급 장치로서, 도시하지 않은 압축 공기를 공급하는 공기 공급 장치가 연결되어 있다. 압축 공기 대신에, 질소나 아르곤 등의 다른 가스, 또는 액체 등의 다른 유체를 사용해도 된다.As shown in FIG. 1, the floating conveying apparatus 1 is the base 3 extended in the front-back direction, the conveying apparatus 5 which formed the column in the front-back direction on the base 3, and the base. A plurality of floating devices 21 are arranged on (3) in both the front-rear direction and the left-right direction. The floating device 21 is connected with an air supply device for supplying compressed air (not shown) as a fluid supply device for supplying a fluid. Instead of compressed air, you may use other gas, such as nitrogen and argon, or another fluid, such as a liquid.

반송 장치(5)는, 기대(3) 상의 좌측단 및 우측단 부근에, 대상물 W의 반송 방향으로 각각 열을 이루는 복수 개의 롤러(7)를 가진다. 각 롤러(7)는, 각각 회전축(7s)을 통하여 웜 휠(worm wheel)(11)과 일체적으로 연결되어 있고, 브래킷(9)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 기대(3)를 전후 방향으로 관통하도록 하여, 한쌍의 구동축(13)이 구비되어 있고, 각 구동축(13)은 각 웜 휠(11)과 구동 가능하게 서로 맞물리는 웜(15)을 구비한다. 각 구동축(13)의 전단에는, 커플링 등을 통하여 모터(17)의 출력축(17s)이 구동 가능하게 연결되어 있다. 이것에 의해, 각 롤러(7)는, 모터(17)의 구동력을 받아, 같은 회전 속도로 회전하도록 되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 각 롤러(7)의 상단부는, 상기 부상 장치(21)의 상면보다 약간 위쪽으로 돌출되어, 단일의 면 상에 정렬되도록 배치되어 있다. 대상물 W는, 부상한 상태에 있어서도, 도 2에 나타낸 바와 같이, 구동력을 받기 위해 롤러(7)와 접촉할 수 있다.The conveying apparatus 5 has the several roller 7 which forms a row in the conveyance direction of the target object W in the vicinity of the left end and the right end on the base 3, respectively. Each roller 7 is integrally connected with the worm wheel 11 via the rotation shaft 7s, respectively, and is rotatably supported by the bracket 9. A pair of drive shafts 13 are provided so as to penetrate the base 3 in the front-rear direction, and each drive shaft 13 includes a worm 15 that engages with each worm wheel 11 so as to be able to drive. The output shaft 17s of the motor 17 is driveably connected to the front end of each drive shaft 13 via a coupling or the like. As a result, the rollers 7 receive the driving force of the motor 17 and rotate at the same rotational speed. As shown in FIG. 2, the upper end part of each said roller 7 is arrange | positioned so that it may protrude slightly upward rather than the upper surface of the said floating apparatus 21, and is aligned on a single surface. The object W can be in contact with the roller 7 in order to receive a driving force even in a floating state, as shown in FIG. 2.

모터(17)는 한쌍일 필요는 없고, 양 구동축(13)은 체인 등의 적당한 결합 수단을 통하여 단일의 모터와 연결해도 된다. 또한, 롤러 대신에, 구동 가능한 클램퍼나 벨트 컨베이어 등의 반송 수단을 반송 장치(5)에 적용해도 된다.The motors 17 need not be a pair, and the two drive shafts 13 may be connected to a single motor through suitable coupling means such as a chain. In addition, you may apply the conveying means, such as a clamper which can be driven, a belt conveyor, to the conveying apparatus 5 instead of a roller.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 각각의 부상 장치(21)는, 베이스부(23)를 구비하고 있고, 각 베이스부(23)는, 브래킷(25)을 통하여 기대(3) 상에 고정되어 있다. 각 베이스부(23)는, 그 내측에 공기 공급 장치로부터 공급된 압축 공기가 일시적으로 통과하는 챔버(27)를 구획하고 있다.3 to 5, each floating device 21 includes a base portion 23, and each base portion 23 is fixed on the base 3 via the bracket 25. have. Each base portion 23 partitions a chamber 27 through which compressed air supplied from an air supply device temporarily passes.

베이스부(23)는, 그 상부의 주변에, 외곽 부재(29)를 구비하고 있다. 외곽 부재(29)가 에워싸도록, 또한 챔버(27)를 덮도록, 직사각형의 섬부재(31)가 설치되어 있다. 외곽 부재(29)는 섬부재(31)를 위쪽으로 지지하기 위한 걸림클릭(35)을 구비하고 있다. 섬부재(31)는 고정되어 있지 않으므로, 챔버(27) 내의 압축 공기의 압력을 받아, 약간 위쪽으로 변위할 수 있다. 외곽 부재(29)와 섬부재(31)와의 사이에는, 챔버(27)와 연통되어 압축 공기가 통과하는 간극이 남아 있다. 외곽 부재(29)와 섬부재(31)가 구획하는 이 간극을, 이하에서는 분출공(37)이라고 한다.The base part 23 is provided with the outer member 29 around the upper part. The rectangular island member 31 is provided so that the outer member 29 may enclose and cover the chamber 27. The outer member 29 has a locking click 35 for supporting the island member 31 upward. Since the island member 31 is not fixed, it can be displaced slightly upward under the pressure of the compressed air in the chamber 27. Between the outer member 29 and the island member 31, a gap is maintained in communication with the chamber 27 and through which compressed air passes. This gap defined by the outer member 29 and the island member 31 is referred to as a blowout hole 37 below.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 분출공(37)은, 직사각형의 환형 슬릿이다. 외곽 부재(29)의 상부의 내주(29a)는 내측을 향해 경사져 있고, 섬부재(31)의 상부의 외주(31a)나 내측을 향해 경사져 있다. 그러므로, 분출공(37)에 있어서, 외곽 부재(29)의 상부의 내주(29a)와 섬부재(31)의 상부의 외주(31a)로 구획되는 부분, 즉 부상 장치(21)의 상면 근방에서는, 분출공(37)은 내측을 향해 경사져 있다. 한편, 분출공(37)에 있어서, 외곽 부재(29)의 하부의 내주(29b)와 섬부재(31)의 하부의 외주(31b)로 에워싸인 부분은, 대략 연직으로 서 있다. 또는, 분출공(37)의 전체를, 내측을 향해 경사지게 해도 된다.3 to 5, the jet hole 37 is a rectangular annular slit. The inner circumference 29a of the upper portion of the outer member 29 is inclined inward and inclined toward the outer circumference 31a or the inner portion of the upper portion of the island member 31. Therefore, in the ejection hole 37, the part divided into the inner periphery 29a of the upper part of the outer member 29, and the outer periphery 31a of the upper part of the island member 31, ie, in the vicinity of the upper surface of the floating apparatus 21, , The blowing hole 37 is inclined toward the inside. On the other hand, in the blowing hole 37, the part enclosed by the inner periphery 29b of the lower part of the outer member 29, and the outer periphery 31b of the lower part of the island member 31 stands substantially perpendicular. Alternatively, the entire blower holes 37 may be inclined inward.

분출공(37)이, 내측을 향한 경사를 가지는 경우에는, 압축 공기의 유량이 많을수록 대상물 W가 부상하는 높이는 높아진다. 그러므로, 환형으로서 내측으로 경사진 분출공(37)은, 압축 공기의 유량의 제어를 통하여, 대상물 W의 부상 높이의 제어성을 제공한다. 경사가 클수록 그 경향은 현저하지만, 너무 크면 외곽 부재(29)의 제작이 곤란해지므로, 경사는 예를 들면 45°가 바람직하지만, 이에 한정되지 않는다.In the case where the blow hole 37 has an inclination toward the inside, the higher the flow rate of the compressed air, the higher the height at which the object W rises. Therefore, the blowing hole 37 inclined inwardly as an annular shape provides controllability of the floating height of the object W through the control of the flow rate of the compressed air. The larger the inclination, the more prominent the tendency is. However, if the inclination is too large, the fabrication of the outer member 29 becomes difficult. For example, the inclination is preferably 45 degrees, but is not limited thereto.

섬부재(31)는, 또한 그 경사진 외주(31a) 면 상에, 동일한 높이를 가지는 복수 개의 돌기(33)를 구비한다. 섬부재(31)는 압축 공기의 압력을 받아, 약간 위쪽으로 변위하게 된다. 섬부재(31)가 변위되면, 돌기(33)는 각각 외곽 부재(29)의 경사진 내주(29a)와 맞닿으므로, 분출공(37)의 폭을 균일하게 한다. 또는, 섬부재(31) 대신에, 외곽 부재(29)의 경사진 내주(29a)가 복수 개의 돌기(33)를 구비해도 된다. 이 경우에는, 섬부재(31)가 변위되면, 돌기(33)는 각각 섬부재(31)의 경사진 외주(31a)와 맞닿으므로, 분출공(37)의 폭을 균일하게 한다.The island member 31 is further provided with the some protrusion 33 which has the same height on the inclined outer periphery 31a surface. The island member 31 is displaced slightly upward under the pressure of the compressed air. When the island member 31 is displaced, the projections 33 abut the inclined inner circumference 29a of the outer member 29, respectively, thereby making the width of the ejection hole 37 uniform. Alternatively, the inclined inner circumference 29a of the outer member 29 may include a plurality of protrusions 33 instead of the island member 31. In this case, when the island member 31 is displaced, the projections 33 abut the inclined outer periphery 31a of the island member 31, respectively, thereby making the width of the jet hole 37 uniform.

분출공(37)은, 직사각형의 환형에 한정되지 않고, 타원형의 환형이나, 환의 일부가 폐색된 형상 등, 다른 각종의 형상이라도 된다.The blowing hole 37 is not limited to a rectangular annular shape, but may be other various shapes such as an elliptical annular shape or a shape in which part of the ring is occluded.

바람직하게는, 섬부재(31)의 상면과 외곽 부재(29)의 상면은, 단일의 평면을 이루도록 정렬하였다. 보다 바람직하게는, 복수 개의 부상 장치(21)는, 상기 정렬된 상면끼리가 더욱 단일의 평면을 이루도록 정렬하였다. 이들은, 대상물 W의 부상 높이를 안정화시키는 데 유리하다.Preferably, the upper surface of the island member 31 and the upper surface of the outer member 29 are aligned to form a single plane. More preferably, the plurality of floating devices 21 are aligned such that the aligned upper surfaces form a single plane. These are advantageous for stabilizing the floating height of the object W.

각 부상 장치(21)의 각 챔버(27)는, 도시하지 않은 배관에 의해 서로 연통되어 있고, 또한 공기 공급 장치와 연통되어 있다. 공기 공급 장치는, 배관을 통하여 압축 공기를 각 부상 장치(21)에 제어 가능하게 공급한다. 공기 공급 장치로서는, 인버터 전원에 전기적으로 접속된 블로워 모터와, 블로워 모터에 의해 구동되는 블로워를 구비한 것이 바람직하지만, 이에 한정되지 않는다. 공기 공급 장치는, 대상물 W의 정보를 판독하는 적당한 판독 장치나, 공기의 유량을 제어하는 컨트롤러 등을 구비해도 된다.Each chamber 27 of each floating apparatus 21 is mutually communicated by the piping which is not shown in figure, and also communicates with an air supply apparatus. The air supply device controllably supplies the compressed air to each floating device 21 through a pipe. As the air supply device, one having a blower motor electrically connected to the inverter power supply and a blower driven by the blower motor is preferable, but is not limited thereto. The air supply device may include a suitable reading device for reading the information of the object W, a controller for controlling the flow rate of air, and the like.

공기 공급 장치로부터 각 챔버(27)에 압축 공기를 공급하면, 각 분출공(37)으로부터 압축 공기가 분출된다. 분출된 압축 공기는, 도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 섬부재(31)의 상면과 대상물 W의 하면과의 사이로서, 분출공(37)의 개구가 에워싸는 공간에, 상기 압축 공기가 균일한 압력이 되게 하는 공간 S가 생기게 한다. 균일한 압력을 가지는 공간 S에 의해 지지됨으로써, 상기 대상물 W에 부력이 주어져 부상한다. 한편, 한쌍의 모터(17)를 구동함으로써, 한쌍의 구동축(13)이 동기하여 회전한다. 웜 휠(11)과 웜(15)의 맞물림에 의해, 구동축(13)의 회전은 각 롤러(7)에 전해진다. 회전하는 롤러(7)와 접촉함으로써, 부상 반송 장치(1) 상에 반입된 대상물 W는, 부상한 상태로 반송된다.When compressed air is supplied to each chamber 27 from an air supply apparatus, compressed air is blown out from each blowing hole 37. FIG. The compressed air blown out is between the upper surface of the island member 31 and the lower surface of the object W, as shown in FIGS. 3 to 5, and the compressed air is uniform in a space surrounded by the opening of the blowing hole 37. It creates a space S that creates a pressure. By being supported by the space S having a uniform pressure, the object W is buoyant and floated. On the other hand, by driving the pair of motors 17, the pair of drive shafts 13 rotate in synchronization. By the engagement of the worm wheel 11 and the worm 15, the rotation of the drive shaft 13 is transmitted to each roller 7. The object W carried in on the floating conveying apparatus 1 is conveyed in the floating state by contacting the rotating roller 7.

작동 전 또는 작동 중에 있어서, 외곽 부재(29)는 섬부재(31)에 대하여 정규의 위치로부터 변위하는 경우가 있다. 이 때, 분출공(37)의 폭의 균일성이 손상되므로, 공간 S에 있어서의 압력의 균일성이 손상되거나, 압력의 변동이 발생할 우려가 있다. 전술한 실시예에 따르면, 부상 반송 장치(1)는, 변위 가능한 섬부재(31)와 동일한 높이를 가지는 복수 개의 돌기(33)를 조합시켜 구비하고 있다. 섬부재(31)는 압축 공기의 압력을 받아 변위하고, 돌기(33)가 분출공(37)의 내면과 맞닿은 것에 의해, 분출공(37)의 폭을 균일하게 유지한다. 그러므로 공간 S에 있어서의 압력의 균일성이나 안정성이 회복되고, 따라서 대상물이 받는 부력이 안정된다.Before or during the operation, the outer member 29 may be displaced from the normal position with respect to the island member 31. At this time, since the uniformity of the width | variety of the blowing hole 37 is impaired, there exists a possibility that the uniformity of the pressure in space S may be impaired, or a fluctuation | variation of a pressure may arise. According to the embodiment mentioned above, the floating conveying apparatus 1 is provided combining the several protrusion 33 which has the same height as the island member 31 which can be displaced. The island member 31 is displaced under the pressure of compressed air, and the projection 33 abuts against the inner surface of the jet hole 37, thereby maintaining the width of the jet hole 37 uniformly. Therefore, the uniformity and stability of the pressure in space S are restored, and the buoyancy which an object receives is stabilized.

본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 상기 개시 내용에 기초하여, 본 기술 분야의 통상의 기술을 가진 자가, 실시예의 수정 내지 변형에 의해 본 발명을 행할 수 있다.
Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments. Based on the above disclosure, a person having ordinary skill in the art can carry out the present invention by modification or modification of the embodiment.

Claims (4)

하면을 가지는 대상물을 유체(流體)에 의해 부상(浮上)시키는 부상 장치로서,
상기 유체가 통과하는 챔버를 구획하는 베이스부와,
상기 챔버를 덮도록 배치되어 변위 가능하고, 외면 및 평면의 상면을 가지는 섬부재와,
상기 섬부재를 에워싸고, 상기 섬부재의 외면과 대향하는 내면을 가지는 외곽 부재와,
상기 섬부재의 외면과 상기 외곽 부재의 내면에 의해 구획되어 상기 상면과 상기 대상물의 상기 하면과의 사이에 상기 유체가 균일한 압력이 되게 하는 공간이 생길 수 있도록 배치되고, 적어도 상기 상면 근방에서 상기 영역의 내측을 향해 경사져 있고, 상기 챔버와 연통되어 상기 유체를 분출하기 위한 분출공과,
상기 분출공에 개재되고, 상기 유체의 압력을 받은 상기 섬부재에 의해 압압(押壓)되어 상기 분출공의 내면과 맞닿아 상기 분출공의 폭을 균일하게 하는 복수 개의 돌기를
포함하는, 부상 장치.A flotation device that floats an object having a lower surface by a fluid,
A base portion for partitioning the chamber through which the fluid passes;
An island member disposed to cover the chamber and displaceable and having an outer surface and an upper surface of a plane;
An outer member surrounding the island member and having an inner surface facing the outer surface of the island member;
The space is partitioned by an outer surface of the island member and an inner surface of the outer member so that a space is formed between the upper surface and the lower surface of the object to allow a uniform pressure, and at least near the upper surface. An ejection hole inclined toward an inner side of the region and in communication with the chamber to eject the fluid;
A plurality of protrusions interposed in the jet hole and pressed by the island member under pressure of the fluid to contact the inner surface of the jet hole to make the width of the jet hole uniform;
Included, wound device. 제1항에 있어서,
상기 외곽 부재는, 상기 섬부재를 위쪽으로 지지하는 걸림클릭을 구비한, 부상 장치.The method of claim 1,
The outer member is provided with an engaging click for supporting the island member upward. 하면을 가지는 대상물을 유체에 의해 부상시켜 반송하기 위한 부상 반송 장치로서,
상기 유체가 통과하는 챔버를 구획하는 베이스부와,
상기 챔버를 덮도록 배치되어 변위 가능하고, 외면 및 평면의 상면을 가지는 섬부재와,
상기 섬부재를 에워싸고, 상기 섬부재의 외면과 대향하는 내면을 가지는 외곽 부재와,
상기 섬부재의 외면과 상기 외곽 부재의 내면에 의해 구획되어 상기 상면과 상기 대상물의 상기 하면과의 사이에 상기 유체가 균일한 압력이 되게 하는 공간이 생길 수 있도록 배치되고, 적어도 상기 상면 근방에서 상기 영역의 내측을 향해 경사져 있고, 상기 챔버와 연통되어 상기 유체를 분출하기 위한 분출공과,
상기 분출공에 개재되고, 상기 유체의 압력을 받은 상기 섬부재에 의해 압압되어 상기 분출공의 내면과 맞닿아 상기 분출공의 폭을 균일하게 하는 복수 개의 돌기를 구비한 부상 장치와,
상기 유체를 여압(與壓)하여 상기 챔버에 공급하는 유체 공급 장치와,
상기 대상물을 반송하기 위한 반송 장치
를 포함하는,
부상 반송 장치.A floating conveying device for floating and conveying an object having a lower surface by a fluid,
A base portion for partitioning the chamber through which the fluid passes;
An island member disposed to cover the chamber and displaceable and having an outer surface and an upper surface of a plane;
An outer member surrounding the island member and having an inner surface facing the outer surface of the island member;
The space is partitioned by an outer surface of the island member and an inner surface of the outer member so that a space is formed between the upper surface and the lower surface of the object to allow a uniform pressure, and at least near the upper surface. An ejection hole inclined toward an inner side of the region and in communication with the chamber to eject the fluid;
A floating apparatus having a plurality of protrusions interposed in the blowing hole and pressed by the island member under pressure of the fluid to contact an inner surface of the blowing hole to make the width of the blowing hole uniform;
A fluid supply device for supplying the fluid to the chamber by pressurizing the fluid;
Carrying apparatus for conveying the said object
Including,
Levitation conveying device. 제3항에 있어서,
상기 외곽 부재는, 상기 섬부재를 위쪽으로 지지하는 걸림클릭을 구비한, 부상 반송 장치.
The method of claim 3,
The said outer member is a floating conveying apparatus provided with the locking click which supports the said island member upward.
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