KR20090126565A - 장력 센서 - Google Patents
장력 센서 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090126565A KR20090126565A KR1020080052715A KR20080052715A KR20090126565A KR 20090126565 A KR20090126565 A KR 20090126565A KR 1020080052715 A KR1020080052715 A KR 1020080052715A KR 20080052715 A KR20080052715 A KR 20080052715A KR 20090126565 A KR20090126565 A KR 20090126565A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- base
- diaphragm
- resistors
- protrusion
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/04—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring tension in flexible members, e.g. ropes, cables, wires, threads, belts or bands
- G01L5/10—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring tension in flexible members, e.g. ropes, cables, wires, threads, belts or bands using electrical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
Claims (5)
- 링(ring) 형상을 이루며 하부에 나사산으로 이루어진 결합부가 형성된 베이스와,상기 베이스의 결합부가 형성된 하부와 반대하는 상부에 상기 한 몸체를 이루도록 막 형태로 형성된 다이아프램과,상기 다이아프램의 중심 부분에 한 몸체를 이루면서 상기 베이스에 에워싸이고 서로 반대하는 방향으로 제 1 및 제 2 토드 와이어가 각각 연결되도록 돌출되게 형성되는 돌출부와,상기 다이아프램과 용접에 의해 형성된 접합부에 의해 접합되는 경도가 높고 내열 특성이 좋으며 탄성력이 큰 절연 물질로 형성된 기판과,상기 기판상의 상기 베이스와 돌출부 사이에 각각 좁은 폭과 긴 길이를 갖고 상기 제 1 및 제 2 토드 와이어와 일렬을 이루도록 형성된 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 저항체와,상기 기판 상의 상기 돌출부와 대응하는 부분에 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 저항체와 휘스톤 브릿지 구성을 이루도록 형성된 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 전극과,상기 기판 상의 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 저항체를 덮으며 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 전극을 노출하는 개구가 형성된 보호막을 구비하는 장력 센서.
- 청구항 1에 있어서 상기 베이스, 상기 다이아프램 및 상기 돌출부가 티타늄(Ti), 티타늄 합금, 스테인레스강 또는 스프링용 동합금으로 형성되며, 상기 접합부는 AgCuTi 또는 AgCuInTi이 주성분인 경땜납(brazing solder)을 용접하므로써 형성된 장력 센서.
- 청구항 1에 있어서 상기 돌출부는 상기 제 1 및 제 2 토드 와이어가 상기 베이스에 접촉되지 않도록 상기 베이스보다 길게 형성된 장력 센서.
- 청구항 1에 있어서 상기 기판은 Al2O3를 주재료로 하는 알루미나 또는 사파이어나, 또는, 실리콘을 주재료로 하는 SOI(Silicon On Insulator) 구조로 형성된 장력 센서.
- 청구항 1에 있어서 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 저항체의 각각이 사각 톱니 형태로 형성된 장력 센서.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080052715A KR100993208B1 (ko) | 2008-06-04 | 2008-06-04 | 장력 센서 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080052715A KR100993208B1 (ko) | 2008-06-04 | 2008-06-04 | 장력 센서 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090126565A true KR20090126565A (ko) | 2009-12-09 |
KR100993208B1 KR100993208B1 (ko) | 2010-11-09 |
Family
ID=41687662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080052715A KR100993208B1 (ko) | 2008-06-04 | 2008-06-04 | 장력 센서 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100993208B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101015790B1 (ko) * | 2010-03-23 | 2011-02-18 | (주)센서시스템기술 | 역학 센서 및 그의 제조방법 |
CN115290232A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-11-04 | 无锡盛赛传感科技有限公司 | 环状超小型力敏陶瓷张力传感器 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101267469B1 (ko) | 2012-12-26 | 2013-05-31 | (주)센서시스템기술 | 압력 센서 |
KR102021103B1 (ko) * | 2018-03-02 | 2019-09-16 | 주식회사 오토닉스 | 높은 감도를 갖는 실리콘 스트레인 게이지 및 이를 포함하는 압력 변환기 |
WO2020209397A1 (ko) * | 2019-04-08 | 2020-10-15 | 주식회사 오토닉스 | 높은 감도를 갖는 실리콘 스트레인 게이지 및 이를 포함하는 압력 변환기 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100528636B1 (ko) | 2004-04-26 | 2005-11-15 | (주)센서시스템기술 | 압력센서 및 그의 제조방법 |
-
2008
- 2008-06-04 KR KR1020080052715A patent/KR100993208B1/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101015790B1 (ko) * | 2010-03-23 | 2011-02-18 | (주)센서시스템기술 | 역학 센서 및 그의 제조방법 |
CN115290232A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-11-04 | 无锡盛赛传感科技有限公司 | 环状超小型力敏陶瓷张力传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100993208B1 (ko) | 2010-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100993208B1 (ko) | 장력 센서 | |
JP2783059B2 (ja) | プロセス状態検出装置、及び半導体センサおよびその状態表示装置 | |
KR100432068B1 (ko) | 압력센서 | |
CN101802541A (zh) | 半导体应变传感器 | |
US6655216B1 (en) | Load transducer-type metal diaphragm pressure sensor | |
KR100528636B1 (ko) | 압력센서 및 그의 제조방법 | |
US3060395A (en) | Strain gage | |
JP2008082835A (ja) | 半導体歪測定装置、歪測定方法、圧力センサ及び加速度センサ | |
KR101267469B1 (ko) | 압력 센서 | |
KR20150082119A (ko) | Mems 센서 | |
JP6410048B2 (ja) | 温度センサ | |
KR20150129913A (ko) | 압저항형 세라믹 압력센서 | |
JPH0758795B2 (ja) | 圧力センサ | |
KR200355935Y1 (ko) | 압력 센서 | |
JPH08136378A (ja) | 薄膜ゲージ圧力計 | |
JPH06296032A (ja) | 力変換素子 | |
JP2010025760A (ja) | 半導体センサ | |
KR200355939Y1 (ko) | 압력센서 | |
JPH05340956A (ja) | 加速度センサ | |
KR100543371B1 (ko) | 압력센서 | |
JPS6155263B2 (ko) | ||
KR200355940Y1 (ko) | 압력센서 | |
JP2748077B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3150500B2 (ja) | 複合機能形圧力検出器 | |
KR840001795B1 (ko) | 반도체다이어프램형센서 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130814 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140813 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150813 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160826 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170829 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180827 Year of fee payment: 9 |