KR20090122693A - Method of forming isolation layer for semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법에 관한 것으로, 특히 셀 영역에 형성하는 소자 분리막의 높이를 균일하게 형성하기 위한 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of forming a device isolation film of a semiconductor device, and more particularly to a method of forming a device isolation film of a semiconductor device for uniformly forming a height of a device isolation film formed in a cell region.
반도체 소자는 데이터가 저장되는 셀 영역과 구동전압을 전달하는 주변회로 영역을 포함한다. 플래시 소자(flash device)를 예를 들어 설명하면 다음과 같다.The semiconductor device includes a cell region in which data is stored and a peripheral circuit region in which a driving voltage is transferred. A flash device is described as an example.
플래시 소자의 셀 영역에 형성되는 소자 분리막용 트렌치의 폭은 주변회로 영역에 형성되는 소자 분리막용 트렌치의 폭보다 좁게 형성된다. 이는, 사용되는 전압 레벨의 차이에 따라 전기적 특성 열화를 방지하기 위하여 서로 다른 폭으로 형성한다.The width of the device isolation film trench formed in the cell region of the flash device is smaller than the width of the device isolation film trench formed in the peripheral circuit region. It is formed in different widths in order to prevent deterioration of electrical characteristics according to the difference in the voltage level used.
한편, 플래시 소자의 집적도가 증가함에 따라 트렌이의 폭 또한 좁아지고 있으며, 이에 따라 트렌치의 종횡비(aspect ratio)가 증가하고 있다. 트렌치의 종횡 비가 증가하면 트렌치의 내부를 채우기 위한 갭필(gap-fill) 공정 또한 점차 어려워지기 때문에, 최근에는 갭필 공정을 용이하게 수행하기 위하여 소자 분리막용 절연막을 유동성 절연물질로 사용하기도 한다. 예를 들면, 유동성 절연물질은 SOD(spin on dielectric)막으로 형성할 수 있다. 하지만, 유동성 절연물질을 형성한 후에는 유동성의 막질을 고형화하기 위하여 열처리 공정을 수행해야 한다. 이때, 유동성 절연물질로부터 부산물이 빠져나가면서 막의 밀도가 저하될 수 있다. On the other hand, as the integration degree of the flash device increases, the width of the trench is also narrowed, and accordingly, the aspect ratio of the trench is increased. As the aspect ratio of the trench increases, a gap-fill process for filling the inside of the trench also becomes more difficult. In recent years, an insulating film for a device isolation layer is also used as a fluid insulating material to facilitate the gap-fill process. For example, the flowable insulating material may be formed of a spin on dielectric (SOD) film. However, after forming the flowable insulating material, a heat treatment process must be performed to solidify the flowable film quality. At this time, as the by-product is released from the flowable insulating material, the density of the film may be reduced.
특히, 트렌치를 형성하는 공정시 마스크로 사용한 소자분리 마스크 패턴을 제거하는 공정에서, 소자 분리막의 일부도 동시에 식각되어 각각의 트렌치의 내부에 채워진 소자 분리막의 높이가 서로 달라져 단차를 유발할 수 있다. 이러한 단차는 후속 소자 분리막의 EFH(effective field oxide height)를 조절하는 공정에서도 그대로 전사되어 반도체 소자의 전기적 특성이 열화될 수가 있다.In particular, in the process of removing the device isolation mask pattern used as a mask during the process of forming the trench, a portion of the device isolation layer may also be etched at the same time so that the heights of the device isolation layers filled in the respective trenches may be different from each other to cause a step. Such a step may be transferred as it is in the process of controlling the effective field oxide height (EFH) of the subsequent device isolation layer, thereby deteriorating electrical characteristics of the semiconductor device.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 유동성 반사 방지막을 사용하여 소자 분리막 간에 발생한 단차가 반사 방지막의 표면에 전사되지 않도록 한 후, 반사 방지막과 소자 분리막의 식각 속도가 동일하거나 유사한 식각 조건으로 식각 공정을 수행함으로써 소자 분리막의 최종 높이를 균일하게 형성할 수 있다. The problem to be solved by the present invention is to prevent the step difference between the device isolation film is transferred to the surface of the anti-reflection film by using a fluid anti-reflection film, and then the etching process is performed under the same or similar etching conditions of the etching rate of the anti-reflection film and the device isolation film. By performing this, the final height of the device isolation film can be uniformly formed.
본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법은, 반도체 기판에 트렌치들을 형성한다. 트렌치들의 내부를 절연막으로 채운다. 절연막의 높이를 낮춘다. 절연막을 포함한 반도체 기판의 상부에 유동성 반사 방지막을 형성한다. 반사 방지막 및 절연막을 식각하는 제1 식각 공정을 실시하는 단계를 포함하는 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법으로 이루어진다. In the method of forming a device isolation layer of a semiconductor device according to an embodiment of the present disclosure, trenches are formed in a semiconductor substrate. Fill the trenches with insulating film. Lower the height of the insulating film. A flowable antireflection film is formed on the semiconductor substrate including the insulating film. A method of forming a device isolation film of a semiconductor device, the method including performing a first etching process of etching an anti-reflection film and an insulating film.
절연막은 유동성 절연막으로 형성하며, 절연막은 SOD(spin on dielectric)막으로 형성한다. The insulating film is formed of a fluid insulating film, and the insulating film is formed of a spin on dielectric (SOD) film.
제1 식각 공정은, 반사 방지막과 절연막의 식각 속도 비를 1:0.8 내지 1.2로 실시한다. In the first etching process, an etching rate ratio between the antireflection film and the insulating film is performed at 1: 0.8 to 1.2.
제1 식각 공정을 실시하는 단계 이후에, 셀 영역의 절연막이 모두 노출되면, 절연막의 상부 프로파일(profile)을 "U" 형태로 형성하기 위한 제2 식각 공정을 실시하는 단계를 더 포함한다. After performing the first etching process, if all of the insulating films of the cell region are exposed, the method may further include performing a second etching process for forming an upper profile of the insulating film in a “U” shape.
제2 식각 공정은 건식 식각 공정으로 실시하며, 건식 식각 공정은 CF4 가스 및 CHF3 가스의 혼합가스를 사용한다. 이때, CF4 가스 및 CHF3 가스는 1:10 내지 20의 혼합비로 혼합하여 사용한다. 또한, 제2 식각 공정을 실시한 이후에 세정 공정을 수행하는 단계를 더 포함한다. The second etching process is performed by a dry etching process, and the dry etching process uses a mixed gas of CF 4 gas and CHF 3 gas. At this time, CF 4 gas and CHF 3 gas is used by mixing in a mixing ratio of 1:10 to 20. The method may further include performing a cleaning process after performing the second etching process.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법은, 반도체 기판 상에 게이트 절연막, 도전막 및 소자분리 마스크 패턴을 형성한다. 소자분리 마스크 패턴에 따라 도전막 및 게이트 절연막을 패터닝하고, 노출된 반도체 기판을 식각하여 트렌치를 형성한다. 트렌치의 내부를 절연막으로 채운다. 소자분리 마스크 패턴을 제거한다. 절연막 및 도전막의 상부에 유동성 반사 방지막을 형성한다. 유동성 반사 방지막 및 절연막을 순차적으로 식각하는 단계를 포함하는 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법으로 이루어진다. In the method of forming a device isolation layer of a semiconductor device according to another exemplary embodiment of the present disclosure, a gate insulating layer, a conductive layer, and a device isolation mask pattern are formed on a semiconductor substrate. The conductive and gate insulating layers are patterned according to the device isolation mask pattern, and the exposed semiconductor substrate is etched to form trenches. Fill the trench with an insulating film. Remove the device isolation mask pattern. A fluid antireflection film is formed over the insulating film and the conductive film. A method of forming a device isolation film of a semiconductor device, the method comprising sequentially etching a flowable antireflection film and an insulating film.
트렌치의 내부를 절연막으로 채우는 단계는, 트렌치의 내부를 채우되, 소자분리 절연막이 모두 덮이도록 절연막을 형성한다. 소자분리 마스크 패턴이 노출되도록 평탄화 공정을 실시하는 단계를 포함한다. Filling the inside of the trench with an insulating film forms an insulating film so as to fill the inside of the trench and cover the device isolation insulating film. And performing a planarization process to expose the device isolation mask pattern.
소자분리 마스크 패턴을 제거하는 단계 이후에, 절연막의 높이를 낮추는 단계를 더 포함한다. After removing the device isolation mask pattern, the method may further include lowering the height of the insulating layer.
절연막의 상부가 도전막의 상부보다 낮아지도록 절연막의 높이를 낮춘다. 이때, 절연막의 상부면이 도전막의 상부면보다 50Å 내지 200Å 깊이만큼 낮아지도록 한다. The height of the insulating film is lowered so that the top of the insulating film is lower than the top of the conductive film. At this time, the upper surface of the insulating film is lowered by a depth of 50 kPa to 200 kPa than the upper surface of the conductive film.
유동성 반사 방지막 및 절연막을 순차적으로 식각하는 단계는 인시추(in-situ) 공정으로 실시한다.The etching of the flowable antireflection film and the insulating film sequentially is performed by an in-situ process.
본 발명은, 유동성 반사 방지막을 사용하여 소자 분리막 간에 발생한 단차가 반사 방지막의 표면에 전사되지 않도록 한 후, 반사 방지막과 소자 분리막의 식각 속도가 동일하거나 유사한 식각 조건으로 식각 공정을 수행함으로써 소자 분리막의 최종 높이를 균일하게 형성할 수 있다. 이에 따라, 반도체 소자의 전기적 특성 열화를 방지할 수 있다.According to the present invention, a step between the device isolation layers is prevented from being transferred to the surface of the anti-reflection layer by using a flowable anti-reflection film, and then the etching process is performed under the same or similar etching conditions as the etching rate of the anti-reflection film and the device isolation layer. The final height can be formed uniformly. As a result, it is possible to prevent deterioration of electrical characteristics of the semiconductor device.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information.
도 1a 내지 도 1g는 본 발명에 따른 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법을 설명하기 위한 단면도이다.1A to 1G are cross-sectional views illustrating a method of forming a device isolation film of a semiconductor device according to the present invention.
도 1a를 참조하면, 플래시 소자를 예를 들어 설명하면 다음과 같다.Referring to FIG. 1A, a flash device is described as follows.
웰(well)이 형성되고 문턱전압 조절용 이온주입 공정이 수행된 반도체 기 판(100)의 상부에 게이트 절연막(102) 및 플로팅 게이트(floating gate)용 도전막(104)을 형성한다. 게이트 절연막(102)은 산화막으로 형성할 수 있고, 도전막(104)은 폴리실리콘막으로 형성할 수 있다. 예를 들면, 도전막(104)은 600Å 내지 1200Å의 두께로 형성하는 것이 바람직하다. A well is formed and a gate insulating layer 102 and a floating gate
도 1b를 참조하면, 도전막(도 1a의 104)의 상부에 소자 분리용 트렌치(trench)를 형성하기 위한 소자분리 마스크 패턴(106)을 형성한다. 소자분리 마스크 패턴(106)은 질화막으로 형성할 수 있으며, 200Å 내지 600Å의 두께로 형성할 수 있다. 또한, 소자분리 마스크 패턴(106)과 도전막(104)의 사이에 도전막(104)의 표면을 보호하기 위한 버퍼막(미도시; 예컨대, 산화막으로 형성할 수 있다)을 더 형성할 수도 있다. 소자분리 마스크 패턴(106)에 따라 식각 공정을 수행하여 도전패턴(104a) 및 게이트 절연 패턴(102a)을 형성하고, 노출된 반도체 기판(100)을 식각하여 제1 트렌치(Tc) 및 제2 트렌치(Tp)를 형성한다. 제1 트렌치(Tc)는 제2 트렌치(Tp)의 폭보다 좁게 형성하는 것이 바람직하며, 이로 인해 셀 영역 및 주변회로 영역이 정의된다. 제1 및 제2 트렌치(Tc 및 Tp)를 형성한 후에는, 노출된 반도체 기판(100)의 식각 손상을 보상하기 위하여 제1 및 제2 트렌치(Tc 및 Tp)의 표면을 따라 월절연막(미도시) 또는 라인너 절연막(미도시)을 더 형성할 수도 있다.Referring to FIG. 1B, a device
도 1c를 참조하면, 제1 및 제2 트렌치(Tc 및 Tp)의 내부에 소자 분리막용 절연막(108)을 채운다. 바람직하게는, 제1 및 제2 트렌치(Tc 및 Tp)의 내부를 완전히 채우기 위하여 절연막(108)을 소자분리 마스크 패턴(106)의 상부가 덮이도록 형성 한다. 특히, 반도체 소자의 집적도가 증가함에 따라 갭필(gap-fill) 공정을 용이하게 하기 위하여 절연막(108)은 유동성 절연막으로 형성하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 절연막(108)은 SOD(spin on dielectric)막으로 형성할 수 있으며, SOD막 중에서도 PSZ(perhydro-polysilazne)막으로 형성하는 것이 바람직하다. 이어서, 유동설 절연막을 형성한 후에는 유동성의 막질을 고형화하기 위하여 열처리 공정을 실시한다.Referring to FIG. 1C, the
도 1d를 참조하면, 소자분리 마스크 패턴(106)이 드러나도록 평탄화 공정(예컨대, 화학적기계적연마) 공정을 실시한다. 설명의 편의를 위하여, 제1 트렌치(Tc)의 내부에 잔류하는 절연막(도 1c의 108)은 제1 소자 분리막(108a)이라 하고, 제2 트렌치(Tp)의 내부에 잔류하는 절연막(도 1c의 108)은 제2 소자 분리막(108b)이라 하기로 한다. Referring to FIG. 1D, a planarization process (eg, chemical mechanical polishing) process is performed to expose the device
평탄화 공정시, 셀 영역과 주변회로 영역 간의 밀도 차이로 인하여 제2 소자 분리막(108b)의 상부 프로파일(profile)이 제1 소자 분리막(108a)의 상부보다 더 움푹해 질 수 있다. 이어서, 후속 소자분리 마스크 패턴(106)을 용이하게 제거하기 위하여 소자분리 마스크 패턴(106)의 상부에 잔류할 수 있는 절연막(도 1c의 108)을 제거한다. 이는, 제1 및 제2 소자 분리막(108a 및 108b)의 급속한 식각을 방지하기 위하여 건식 식각 공정으로 실시하는 것이 바람직하다.During the planarization process, an upper profile of the second
도 1e를 참조하면, 소자분리 마스크 패턴(도 1d의 106)을 제거하기 위한 시각공정을 실시한다. 식각 공정은 습식 식각 공정으로 실시할 수 있으며, 예를 들면 인산용액을 사용하여 실시하는 것이 바람직하다. 이어서, 제1 및 제2 소자 분리 막(108a 및 108b)의 높이를 낮춘다. 바람직하게는, 제1 및 제2 소자 분리막(108a 및 108b)의 상부면이 도전패턴(104a)의 상부면보다 50Å 내지 200Å 깊이만큼 낮아지도록 한다. Referring to FIG. 1E, a vision process for removing the device
이때, 제2 소자 분리막(108b)보다 폭이 좁은 제1 소자 분리막(108a)은 서로 이웃하는 제1 소자 분리막(108a) 간의 식각 속도에 의하여 단차(D)가 발생할 수 있다.In this case, the step D may occur in the first
도 1f를 참조하면, 셀 영역에 형성된 제1 소자 분리막(108a)과 주변회로 영역에 형성된 제2 소자 분리막(108b)의 높이차이를 감소시키기 위하여, 셀 영역의 제1 소자 분리막(108a)의 높이를 선택적으로 낮추는데, 이를 위하여 반사 방지막(110)을 형성한다. 구체적으로 설명하면 다음과 같다. Referring to FIG. 1F, in order to reduce the height difference between the first
제1 소자 분리막(108a), 제2 소자 분리막(108b) 및 도전패턴(104a)의 상부에 반사 방지막(110)을 형성한다. 특히, 반사 방지막(110)은 상부 표면이 제1 소자 분리막(108a) 간의 단차(도 1e의 D)에 영향을 받지 않도록 하기 위하여 유동성 유기 반사 방지막(organic BARC)을 형성한다. 유동성 유기 반사 방지막을 형성하면, 제1 및 제2 소자 분리막(108a 및 108b) 상부의 단차 부분이 모두 유동성 유기 반사 방지막으로 채워지게 되므로, 반사 방지막(110)의 상부 표면은 평탄해 진다.An
도 1g를 참조하면, 반사 방지막(도 1f의 110)의 상부에 셀 영역이 오픈(open)된 포토레지스트 패턴(112)을 형성한다. 포토레지스트 패턴(112)에 따라 제1 식각 공정을 수행하여 반사 방지패턴(110a)을 형성하고, 셀 영역에서 노출되는 제1 소자 분리막(108a)의 높이를 낮춘다. 특히, 제1 식각 공정은 인시추(in-situ) 공정으로 실시하며, 반사 방지막(도 1f의 110)과 제1 소자 분리막(108a)의 식각 속도 비는 1:0.8 내지 1.2가 되도록 한다. 바람직하게는, 반사 방지막(도 1f의 110)과 제1 소자 분리막(108a)의 식각 속도 비는 동일하게 한다. Referring to FIG. 1G, a
이어서, 제1 소자 분리막(108a)의 EFH(effective field oxide height) 특성을 향상시키기 위하여 셀 영역의 제1 소자 분리막(108a)이 모두 노출되면 제1 소자 분리막(108a)의 상부 프로파일(profile)을 "U" 형태로 형성하기 위한 제2 식각 공정을 더 실시할 수 있다. 제2 식각 공정은 건식 식각 공정으로 실시할 수 있으며, 이때, 식각 가스는 CF4 가스 및 CHF3 가스를 혼합하여 사용할 수 있다. CF4 가스 및 CHF3 가스의 혼합가스를 이용하면 CHF를 포함한 폴리머가 발생하면서 제1 소자 분리막(108a)의 가장자리 부근에 축적되고, 이로 인해 제1 소자 분리막(108a)의 상부 프로파일을 "U"형태로 형성할 수 있다. 이때, CF4 가스 및 CHF3 가스는 1:10 내지 20의 혼합비로 혼합하는 것이 바람직하다. 이어서, 식각 공정에 의한 잔류물을 제거하는 세정 공정을 수행한다. Subsequently, in order to improve the effective field oxide height (EFH) characteristics of the first
이에 따라, 셀 영역의 제1 트렌치(Tc) 내에 형성된 제1 소자 분리막(108a)의 높이(H)는 균일하게 형성할 수 있으므로, 균일한 EFH를 형성할 수 있으며, 이로 인해 반도체 소자의 전기적 특성을 개선할 수 있다. Accordingly, since the height H of the first
상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님 을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명은 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention described above has been described in detail in a preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, the present invention will be understood by those skilled in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.
도 1a 내지 도 1g는 본 발명에 따른 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법을 설명하기 위한 단면도이다.1A to 1G are cross-sectional views illustrating a method of forming a device isolation film of a semiconductor device according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100 : 반도체 기판 102 : 게이트 절연막100 semiconductor substrate 102 gate insulating film
104 : 도전막 106 : 소자분리 마스크 패턴104: conductive film 106: device isolation mask pattern
108 : 절연막 110 : 반사 방지막108: insulating film 110: antireflection film
112 : 포토레지스트 패턴112: photoresist pattern
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---|---|---|---|
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
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B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |