KR20090119570A - Apparatus for treating substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for treating a substrate is provided to reduce a product failure by preventing a error of transferring a substrate. CONSTITUTION: An apparatus for treating a substrate is composed of a first substrate transfer parts, a second substrate transfer parts, a substrate processing part, a third substrate transfer parts, and a lifting unit. The first substrate transfer part(3) receives a substrate from the outside, and the second substrate transfer part(4) is installed at a different layer from the first substrate transfer parts. The substrate processing parts(5, 7, 9) process the substrate delivered from the second substrate transfer parts. The lifting units(11, 13) deliver the substrate to a second substrate transfer parts.

Description

기판처리장치{Apparatus for treating substrate}Apparatus for treating substrate

본 발명은 다층구조를 가지는 기판 처리장치에 적용되는 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 부품의 수를 감소시키면서 기판을 원활하게 이동시켜 제조 비용을 줄일 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus applied to a substrate processing apparatus having a multi-layered structure, and more particularly, to a substrate processing apparatus capable of smoothly moving a substrate while reducing the number of parts, thereby reducing manufacturing costs.

다층 구조를 가지는 기판의 처리 장치는 외부에서 공급된 기판을 이송시키는 상부 이송수단을 구비한 상층부, 상층부로부터 공급된 기판을 공급받아 기판을 세정, 건조시키는 장비들이 설치되는 중층부, 그리고 지지부재 및 동력장치들이 설치된 하층부로 이루어진다. 그리고 상층부과 중층부 사이에는 양 사이드에 배치되어 승, 하강하면서 기판을 수직으로 이송하는 수직 이송 수단들이 제공된다. The apparatus for processing a substrate having a multi-layer structure includes an upper layer portion having an upper transfer means for transferring an externally supplied substrate, a middle layer portion on which equipment for cleaning and drying the substrate is received by receiving a substrate supplied from the upper layer portion, and a supporting member; It consists of the lower part where power units are installed. And vertical transfer means are provided between the upper layer and the middle layer disposed on both sides to vertically transfer the substrate while moving up and down.

상층부에는 제공되는 상부 이송수단은 일정한 거리가 띄워지는 한 쌍의 벨트를 구비하고 이 벨트의 상부에 기판을 이송시킬 수 있는 이송유닛이 결합된다. 그리고 벨트는 양끝에 각각 구동풀리와 피동풀리들이 배치된다. 구동풀리는 통상적으로 각각 복수의 서보 모터에 의하여 회전할 수 있다.The upper conveying means provided on the upper portion has a pair of belts with a predetermined distance therebetween, and a conveying unit capable of conveying the substrate on the upper portion of the belt is coupled. The belt is provided with driving pulleys and driven pulleys at both ends, respectively. The drive pulley can typically be rotated by a plurality of servo motors, respectively.

이러한 구조를 가지는 상부 이송수단은 두개의 서보 모터를 제어장치로 제어하게 되는데 동시에 동일한 거리만큼 이동벨트를 이동시키는 동기 제어가 용이하지 않게 되어 벨트들이 서로 이동되는 거리가 차이가 발생할 수 있는 단점이 있었다. 따라서 기판이 이송될 때 이송 불량으로 인하여 제품의 불량이 발생할 수 있는 문제점이 있었다. 또한, 더욱 간단한 구조로 제조하여 제조 비용을 줄일 필요가 있으나, 이에 충분하게 만족하지 못하는 단점이 있다.The upper conveying means having such a structure controls two servo motors with a control device, and at the same time, the synchronous control of moving the moving belt by the same distance is not easy, which may cause a difference in the distance between the belts. . Therefore, when the substrate is transferred, there was a problem that a defect of the product may occur due to the transfer failure. In addition, it is necessary to reduce the manufacturing cost by manufacturing a simpler structure, there is a disadvantage that is not satisfactory enough.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 다층 구조로 이루어지는 기판 처리장치에 사용되는 기판 이송장치에서 기판 이송 불량을 방지하여 제품 불량이 발생하는 것을 줄이는 기판처리장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to reduce the occurrence of product defects by preventing substrate transfer failure in the substrate transfer apparatus used in the substrate processing apparatus having a multilayer structure. To provide a device.

또한, 본 발명의 목적은 기판을 원활하게 이송하면서도 부품의 수를 줄여 제조 비용을 낮출 수 있는 기판처리장치를 제공하는데 있다.In addition, an object of the present invention to provide a substrate processing apparatus that can reduce the number of components while smoothly transporting the substrate to lower the manufacturing cost.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 외부에서 기판을 전달받는 제1 기판 이송부, 상기 제1 기판 이송부와 다른 층에 설치되는 제2 기판 이송부, 상기 제2 기판 이송부로부터 전달받는 기판을 처리하는 기판 처리부, 상기 기판 처리부에서 처리된 기판을 이송하는 제3 기판 이송부, 상기 제1 기판 이송부에서 기판을 전달받아 제2 기판 이송부로 전달하거나 또는 제3 기판 이송부로부터 전달받은 기판을 상기 제1 기판 이송부로 전달하는 수직 이송부를 포함하며, 상기 제1 기판 이송부는 서로 나란하게 배치되는 복수의 이송벨트를 구비하고 하나의 구동 원으로 상기 이송벨트를 동시에 구동하는 기판처리장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a first substrate transfer unit for receiving a substrate from the outside, a second substrate transfer unit installed on a different layer from the first substrate transfer unit, a substrate received from the second substrate transfer unit A substrate processing unit for processing, a third substrate transfer unit for transferring the substrate processed by the substrate processing unit, a substrate received from the first substrate transfer unit and transferred to the second substrate transfer unit, or a substrate received from the third substrate transfer unit It includes a vertical transfer unit for transferring to the substrate transfer unit, the first substrate transfer unit is provided with a plurality of transfer belts arranged in parallel with each other and provides a substrate processing apparatus for driving the transfer belt at the same time with one drive source.

상기 제1 이송벨트, 상기 제1 이송벨트에 마주하여 배치되는 제2 이송벨트, 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트에 결합되며 기판이 적재되는 이송유닛, 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트의 양단에 배치되는 아이들 풀리들, 상기 제1 이송벨트의 중앙부에 배치되는 구동풀리, 상기 구동풀리를 회전시키는 구동원, 상기 제2 이송벨트의 중앙부에 배치되는 종동풀리, 그리고 상기 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하는 동력전달부재를 포함하는 것이 바람직하다.The first transfer belt, a second transfer belt disposed to face the first transfer belt, a transfer unit coupled to the first transfer belt and the second transfer belt, and having a substrate loaded thereon, the first transfer belt and the first transfer belt 2 idle pulleys disposed at both ends of the conveyance belt, a drive pulley disposed at the center portion of the first conveyance belt, a drive source for rotating the drive pulley, a driven pulley disposed at the center portion of the second conveyance belt, and the drive pulley It is preferable to include a power transmission member for connecting the driven pulley.

상기 구동풀리와 상기 종동풀리는 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트의 내주면 또는 외주면에 배치되고, 그 반대편에 텐션 조절부가 제공되는 것이 바람직하다.Preferably, the driving pulley and the driven pulley are disposed on an inner circumferential surface or an outer circumferential surface of the first conveying belt and the second conveying belt, and a tension adjusting part is provided on the opposite side thereof.

상기 텐션 조절부는 풀리로 이루어지는 것이 바람직하다.The tension adjusting unit is preferably made of a pulley.

상기 동력전달부재는 동력전달을 위한 축으로 이루어지는 것이 바람직하다.The power transmission member is preferably made of a shaft for power transmission.

이와 같은 본 발명은 구동풀리를 제1 이송벨트의 중앙부에 배치하고 이 구동풀리와 함께 회전하는 종동풀리는 제2 이송벨트의 중앙부에 배치하여 동력전달부재로 연결함으로써 사이드에서 승, 하강하는 수직 이송부의 이송에 방해가 되지 않아 원활하게 기판을 이송할 수 있다. 또한 본 발명은 중앙부에 하나의 구동원을 배치하여 부품의 수를 줄임으로써 제조 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.In the present invention, the drive pulley is disposed at the center of the first conveyance belt and the driven pulley rotating together with the drive pulley is disposed at the center of the second conveyance belt and connected to the power transmission member to move up and down at the side of the vertical transfer portion. The substrate can be smoothly transferred without disturbing the transfer. In addition, the present invention has the effect of reducing the manufacturing cost by placing one drive source in the center to reduce the number of parts.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명 하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 전체적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 주요 부분을 상세하게 도시한 도면으로, 다층 구조로 이루어지는 기판처리장치(1)에 적용되는 기판 이송부(3)를 도시하고 있다. 본 발명의 실시 예가 적용될 수 있는 기판 처리장치(1)는 상층부(A), 중층부(B), 하층부(C)를 포함한다. FIG. 1 is an overall configuration diagram for explaining an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view illustrating the main parts of FIG. 1 in detail, and the substrate transfer unit 3 applied to the substrate processing apparatus 1 having a multilayer structure. ) The substrate processing apparatus 1 to which an embodiment of the present invention can be applied includes an upper layer A, a middle layer B, and a lower layer C.

상층부(A)는 외부에서 기판(G)을 받아 양측으로 이송시키는 제1 기판 이송부(3)를 포함하고 있다. 그리고 중층부(B)는 기판의 세정과 건조 등을 수행할 수 있는 기판 처리부(5, 7, 9)들이 배치된다. 또한, 중층부(B)에는 기판 처리부(5, 7, 9)에 기판(G)을 공급하는 제2 기판 이송부(4)와 기판 처리부(5, 7, 9)에서 처리된 기판(G)을 이송하는 제3 기판 이송부(10)들이 제공된다. 제2 기판 이송부(4)와 제3 기판 이송부(10)는 롤러 등의 구름부재가 회전하는 구조에 의하여 기판(G)을 수평으로 이송시키는 구조로 이루어질 수 있다. The upper layer portion A includes a first substrate transfer portion 3 that receives the substrate G from the outside and transfers it to both sides. In addition, the middle layer B may include substrate processing units 5, 7 and 9 capable of cleaning and drying the substrate. In addition, the middle layer portion B includes the second substrate transfer portion 4 for supplying the substrate G to the substrate processing portions 5, 7, 9 and the substrate G processed by the substrate processing portions 5, 7, 9. Third substrate transfer portions 10 for transferring are provided. The second substrate transfer unit 4 and the third substrate transfer unit 10 may be configured to transfer the substrate G horizontally by a structure in which rolling members such as rollers rotate.

하층부(C)는 동력장치들이 배치될 수 있다. 본 발명의 실시 예에서 기판 처리 장치가 3개의 층으로 나누어진 예를 설명하고 있으나 이에 한정되는 것은 아니며 다수의 층으로 이루어지는 것에도 적용될 수 있다. The lower layer C may be arranged with power units. In the exemplary embodiment of the present invention, an example in which a substrate processing apparatus is divided into three layers has been described, but the present invention is not limited thereto.

다층 구조의 기판 처리장치(1)는 본 출원인이 출원하여 등록된 대한민국 특허등록 제10-0500169호에 개시되어 있으며, 본 발명의 실시 예인 기판 처리부(3)가 적용될 수 있다.The substrate processing apparatus 1 having a multilayer structure is disclosed in Korean Patent Registration No. 10-0500169, which is filed and filed by the present applicant, and the substrate processing unit 3, which is an embodiment of the present invention, may be applied.

상층부(A)와 중층부(B)의 사이드 측에는 상층부(A)에서 중층부(B) 또는 중층부(B)에서 상층부(A)로 기판을 이동시키는 수직 이송부(11, 13)가 배치된다. 수직 이송부(11, 13)는 상술한 특허 공보에 개시된 바와 같이 구동원에 의하여 승, 하강 하면서 기판 이송부(3)에 의하여 이송되는 기판(G)을 전달받아 이송시킬 수 있다.On the side sides of the upper layer portion A and the middle layer portion B, vertical transfer portions 11 and 13 for displacing the substrate from the upper layer portion A to the middle layer portion B or the middle layer portion B to the upper layer portion A are disposed. The vertical transfer units 11 and 13 may receive and transfer the substrate G transferred by the substrate transfer unit 3 while the vertical transfer units 11 and 13 move up and down by the driving source.

상층부(A)에 제공된 기판 이송부(3)는, 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 모터(M) 등의 구동원에 의하여 회전동력을 전달받는 구동풀리(31), 구동풀리(31)와 연동하여 회전하는 종동풀리(33), 구동풀리(31)와 종동풀리(33)에 의하여 회전하는 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37), 그리고 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)에 결합되어 기판(G)을 이송시키는 이송유닛(39)을 포함한다. 또한, 구동풀리(31)와 종동풀리(33)는 바(bar) 또는 축으로 이루어지는 동력전달부재(41)에 의하여 서로 결합되어 구동풀리(31)의 회전에 따라 종동풀리(33)가 함께 회전할 수 있는 구조로 결합된다.As shown in FIG. 2, the substrate transfer part 3 provided in the upper layer part A is interlocked with the drive pulley 31 and the drive pulley 31 which receive rotational power by a drive source such as a motor M. As shown in FIG. The first conveying belt 35 and the second conveying belt 37 rotated by the driven driven pulley 33, the driving pulley 31 and the driven pulley 33, and the first conveying belt 35 and the second It is coupled to the transfer belt 37 includes a transfer unit 39 for transferring the substrate (G). In addition, the driving pulley 31 and the driven pulley 33 are coupled to each other by a power transmission member 41 consisting of a bar or a shaft, and the driven pulley 33 rotates together according to the rotation of the driving pulley 31. Combined into a structure that can.

구동풀리(31)는 제1 이송벨트(35)의 가운데 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 종동풀리(33)는 제2 이송벨트(37)의 가운데 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 따라서 구동풀리(31)와 종동풀리(33)를 연결하는 동력전달부재(41)는 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)의 가운데 부분에 위치하게 된다. 이러한 동력전달부재(41)의 배치구조는 사이드 측에서 기판을 상, 하 방향으로 이동시키는 수직 이송부(11)의 이동에 방해를 주지 않으므로 다층으로 이루어진 기판 처리장치의 설계 자유도를 높일 수 있다.The drive pulley 31 is preferably installed at the center of the first conveyance belt (35). In addition, the driven pulley 33 is preferably installed in the center portion of the second conveyance belt (37). Therefore, the power transmission member 41 connecting the driving pulley 31 and the driven pulley 33 is positioned at the center of the first conveyance belt 35 and the second conveyance belt 37. Since the arrangement of the power transmission member 41 does not interfere with the movement of the vertical transfer unit 11 that moves the substrate in the up and down directions at the side, the degree of freedom in designing the substrate processing apparatus formed of the multilayer may be increased.

또한, 구동풀리(31)에 회전력을 공급하는 모터 등의 구동원은 중앙부에 1개만 설치하여도 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)를 함께 회전시킬 수 있으므로 부품의 수를 감소시켜 제조 비용을 줄일 수 있다.In addition, even if only one driving source such as a motor for supplying rotational force to the driving pulley 31 can be rotated together with the first conveying belt 35 and the second conveying belt 37, the number of parts is reduced. The manufacturing cost can be reduced.

제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)는 각각 양측에 아이들 풀리(43, 45, 47, 49)들이 제공된다. 따라서 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)는 이러한 아이들 풀리(43, 45, 47, 49)들에 의하여 원활하게 회전할 수 있다. 또한, 구동풀리(31)와 종동풀리(33)가 인접하는 부분에서는 텐션풀리(51, 53, 55, 57)들이 배치된다. 이러한 텐션풀리(51, 53, 55, 57)들은 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)들을 가압하여 항상 적절한 장력을 유지할 수 있다.The first conveyance belt 35 and the second conveyance belt 37 are provided with idle pulleys 43, 45, 47, and 49 on both sides, respectively. Therefore, the first conveyance belt 35 and the second conveyance belt 37 can be smoothly rotated by these idle pulleys (43, 45, 47, 49). In addition, the tension pulleys 51, 53, 55, 57 are disposed at the portion where the driving pulley 31 and the driven pulley 33 are adjacent to each other. These tension pulleys 51, 53, 55, 57 may pressurize the first conveyance belt 35 and the second conveyance belt 37 to maintain proper tension at all times.

한편, 기판(G)을 이송시키는 이송유닛(39)은 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)에 결합된 고정부재(61, 63)들에 결합된다. 이러한 이송유닛(39)은 상술한 특허공보에 개시된 것과 동일한 구조가 사용될 수 있다. 물론 이송유닛(39)은 상술한 예에 한정되는 것은 아니며 단지 기판(G)을 중앙부에서 사이드 측으로 이송시킬 수 있는 것이면 어느 것이나 적용할 수 있다.Meanwhile, the transfer unit 39 for transferring the substrate G is coupled to the fixing members 61 and 63 coupled to the first transfer belt 35 and the second transfer belt 37. The transfer unit 39 may be the same structure as that disclosed in the above-mentioned patent publication. Of course, the transfer unit 39 is not limited to the above-described example, any one can be applied as long as it can transfer the substrate (G) from the center to the side.

도 3은 본 발명의 실시 예를 설명하기 도면으로, 제1 이송벨트(35)를 회전시키는 구동풀리(31)와 텐션풀리(51, 53)들이 배치되는 예를 도시하고 있다. 즉, 구동풀리(31)는 제1 이송벨트(35)의 중앙부 안쪽에 배치되어 제1 이송벨트(35)에 밀착된 상태로 제1 이송벨트(35)를 구동하고 있다. 그리고 텐션풀리(51, 53)는 제1 이송벨트(35)의 외측에서 내측으로 가압하면서 장력을 조절하면서 회전하는 구조로 이루어진다.3 is a view for explaining an embodiment of the present invention, it shows an example in which the drive pulley 31 and the tension pulleys (51, 53) for rotating the first conveying belt 35 is arranged. That is, the driving pulley 31 is disposed inside the central portion of the first conveyance belt 35 to drive the first conveyance belt 35 while being in close contact with the first conveyance belt 35. And the tension pulley (51, 53) is made of a structure that rotates while adjusting the tension while pressing inward from the outside of the first conveyance belt (35).

도 4는 도 3과 대응되며 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 제1 이송벨트(35)를 회전시키는 구동풀리(31)와 텐션풀리(51, 53)들이 다르게 배치된 예를 도시하고 있다. 즉, 구동풀리(31)는 제1 이송벨트(35)의 중앙부 외측에 배치되어 제1 이송벨트(35)에 밀착된 상태로 제1 이송벨트(35)를 구동하고 있다. 그리고 텐션풀리(51, 53)는 제1 이송벨트(35)의 내측에서 외측으로 가압하면서 장력을 조절하는 구조로 이루어져 있다. 이러한 다른 실시 예는 본 발명의 실시 예를 다양하게 실시 할 수 있음을 보여주는 것이다.FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 3 and for explaining another exemplary embodiment, and illustrates an example in which the driving pulley 31 and the tension pulleys 51 and 53 which rotate the first transfer belt 35 are differently disposed. . That is, the driving pulley 31 is disposed outside the central portion of the first conveyance belt 35 to drive the first conveyance belt 35 while being in close contact with the first conveyance belt 35. And the tension pulleys (51, 53) is made of a structure for adjusting the tension while pressing the inside of the first conveyance belt 35 to the outside. These other embodiments show that the embodiments of the present invention can be variously carried out.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 기판처리장치에 의하여 기판이 이송되는 과정을 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the process of transferring the substrate by the substrate processing apparatus of the present invention made as described above will be described in detail.

이송유닛(39)이 가운데 부분에 배치되어 있는 상태에서 상층부(A) 가운데 부분으로 기판 공급장치(도시생략)에 의하여 기판(G)이 공급되어 상술한 이송유닛(39)에 올려진다. 그리고 제어장치에 의하여 모터(M)가 제어되면서 구동풀리(31)가 회전한다. 구동풀리(31)가 회전함에 따라 동력전달부재(41)를 통하여 회전력이 종동풀리(33)로 전달되어 종동풀리(33)가 구동풀리(31)와 동시에 회전한다. 따라서 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)는 함께 회전하여 원활하게 이송 유닛(39)을 사이드 측으로 이송시킬 수 있다. In the state in which the transfer unit 39 is disposed in the center portion, the substrate G is supplied to the center portion of the upper layer portion A by a substrate supply device (not shown) and placed on the transfer unit 39 described above. In addition, the driving pulley 31 rotates while the motor M is controlled by the controller. As the driving pulley 31 rotates, the rotational force is transmitted to the driven pulley 33 through the power transmission member 41 so that the driven pulley 33 rotates simultaneously with the driving pulley 31. Therefore, the first transfer belt 35 and the second transfer belt 37 can rotate together to smoothly transfer the transfer unit 39 to the side.

그리고 사이드로 이송된 기판은 수직 이동부(11, 13) 중의 하나에 의하여 중층부(B)로 이동되어 기판 처리부(5, 7, 9)에서 기판(G)이 처리될 수 있다. 처리된 기판(G)은 다시 수직 이동부(11, 13)의 중의 하나에 의하여 상층부(A)로 이동된다. 그리고 처리된 기판(G)을 받은 이송 유닛(39)은 기판 이송장치(1)의 상술한 동작에 의하여 중앙부로 이동되어 외부로 배출될 수 있다.The substrate transferred to the side may be moved to the middle layer B by one of the vertical moving parts 11 and 13, and the substrate G may be processed by the substrate processing parts 5, 7 and 9. The processed substrate G is again moved to the upper layer portion A by one of the vertical moving portions 11 and 13. In addition, the transfer unit 39 receiving the processed substrate G may be moved to the center portion and discharged to the outside by the above-described operation of the substrate transfer apparatus 1.

따라서 본 발명의 실시 예는 하나의 구동원으로 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37) 동시에 회전하게 되어 부품의 수를 줄일 수 있으며, 또한, 기판 이송 불량을 방지할 수 있다.Therefore, the embodiment of the present invention can rotate the first conveyance belt 35 and the second conveyance belt 37 at the same time as one drive source can reduce the number of parts, it can also prevent the substrate transfer failure.

도 1은 본 발명의 실시 예가 적용될 수 있는 기판 처리 장치의 전체적인 구성도이다.1 is an overall configuration diagram of a substrate processing apparatus to which an embodiment of the present invention can be applied.

도 2는 본 발명의 제1 실시 예를 설명하기 위하여 주요부를 도시한 도면이다.2 is a diagram illustrating main parts of a first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제1 실시 예의 구성도이다.3 is a configuration diagram of a first embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 대응하는 본 발명의 제2 실시 예를 설명하기 위한 구성도이다.4 is a configuration diagram illustrating a second embodiment of the present invention corresponding to FIG. 3.

[도면의 주요 부분의 부호의 설명][Description of Signs of Major Parts of Drawings]

3, 4, 10 : 제1, 2, 3 기판이송부, 5, 7, 9 : 기판처리부 3, 4, 10: 1st, 2, 3 substrate transfer part, 5, 7, 9: substrate processing part

11, 13 : 수직이송부, 31 : 구동풀리, 11, 13: vertical transfer unit, 31: the driving pulley,

33 : 종동풀리 35 : 제1 이송벨트,33: driven pulley 35: the first conveying belt,

37 : 제2 이송벨트, 41 : 동력전달부재, 37: second conveying belt, 41: power transmission member,

43, 45, 47, 49 : 아이들풀리, 51, 53, 55, 57 : 텐션풀리, 43, 45, 47, 49: idle pulley, 51, 53, 55, 57: tension pulley,

61, 63 : 고정부재 61, 63: fixing member

Claims (5)

외부에서 기판을 전달받는 제1 기판 이송부;A first substrate transfer part receiving the substrate from the outside; 상기 제1 기판 이송부와 다른 층에 설치되는 제2 기판 이송부; A second substrate transfer part installed on a layer different from the first substrate transfer part; 상기 제2 기판 이송부로부터 전달받는 기판을 처리하는 기판 처리부;A substrate processing unit processing a substrate received from the second substrate transfer unit; 상기 기판 처리부에서 처리된 기판을 이송하는 제3 기판 이송부;A third substrate transfer part transferring the substrate processed by the substrate processing part; 상기 제1 기판 이송부에서 기판을 전달받아 제2 기판 이송부로 전달하거나 또는 제3 기판 이송부로부터 전달받은 기판을 상기 제1 기판 이송부로 전달하는 수직 이송부를 포함하며,A vertical transfer unit receiving the substrate from the first substrate transfer unit and transferring the substrate to the second substrate transfer unit or transferring the substrate received from the third substrate transfer unit to the first substrate transfer unit, 상기 제1 기판 이송부는 The first substrate transfer unit 서로 나란하게 배치되는 복수의 이송벨트를 구비하고 하나의 구동원으로 상기 이송벨트를 동시에 구동하는 기판처리장치.A substrate processing apparatus having a plurality of conveying belts arranged in parallel with each other and driving the conveying belt at the same time with one drive source. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 기판 이송부는The first substrate transfer unit 제1 이송벨트,First conveying belt, 상기 제1 이송벨트에 마주하여 배치되는 제2 이송벨트,A second conveying belt disposed to face the first conveying belt, 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트에 결합되며 기판이 적재되는 이송유닛, A transfer unit coupled to the first transfer belt and the second transfer belt and loaded with a substrate; 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트의 양단에 배치되는 아이들풀리들,Idle pulleys disposed at both ends of the first conveyance belt and the second conveyance belt, 상기 제1 이송벨트의 가운데 부분에 배치되는 구동풀리,Drive pulley disposed in the center portion of the first conveyance belt, 상기 구동풀리를 회전시키는 구동원,A drive source for rotating the drive pulley, 상기 제2 이송벨트의 가운데 부분에 배치되는 종동풀리, 그리고A driven pulley disposed at the center of the second conveyance belt, and 상기 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하는 동력전달부재Power transmission member for connecting the drive pulley and the driven pulley 를 포함하는 기판처리장치.Substrate processing apparatus comprising a. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 구동풀리와 상기 종동풀리는 The driving pulley and the driven pulley 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트의 내주면 또는 외주면에 배치되고, 그 반대편에 텐션 조절부가 제공되는 기판처리장치.And a tension adjusting part disposed on an inner circumferential surface or an outer circumferential surface of the first conveyance belt and the second conveyance belt. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 텐션 조절부는 풀리로 이루어지는 기판처리장치.The tension control unit substrate processing apparatus consisting of a pulley. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 동력전달부재는 The power transmission member 동력전달을 위한 축으로 이루어지는 기판처리장치.Substrate processing apparatus consisting of a shaft for power transmission.
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