KR20090117972A

KR20090117972A - 이동체 시스템 및 이동체의 위치 검출 방법

Info

Publication number: KR20090117972A
Application number: KR1020090009292A
Authority: KR
Inventors: 테쯔야 시미즈
Original assignee: 무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date: 2008-05-12
Filing date: 2009-02-05
Publication date: 2009-11-17
Also published as: US8188892B2; JP4438882B2; JP2009276827A; DE102009020183B4; CN101581796B; TW200946272A; KR101266310B1; TWI445591B; CN101581796A; US20090278710A1; DE102009020183A1

Abstract

복수개의 코일로 이루어지는 어레이를 검출 헤드에 설치하고, 어레이 길이와 같은 피치로 주행 경로에 자기 마크를 설치한다. 자기 마크와 코일의 상호 작용으로부터 자기 마크를 기준으로 하는 이동체의 위치를 구한다.

이동체 시스템, 이동체의 위치 검출 방법

Description

이동체 시스템 및 이동체의 위치 검출 방법{MOVING BODY SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING POSITION OF MOVING BODY}

본 발명은 이동체 시스템에 관한 것으로서 특히 이동체의 위치 검출에 관한 것이다.

출원인은 자기 마크와 복수개의 코일을 배열한 코일 어레이를 조합시켜서 이동체의 위치를 연속적으로 검출하는 시스템을 제안하였다(특허문헌1: 일본 특허 공개 2002-337037). 자기 마크의 길이에는 제한이 있으므로, 특허문헌1에서는 자기 마크를 간극 없이 연속적으로 나열해서 검출하는 자기 마크를 바꾸면서 사용한다. 또한, 코일 어레이를 탑재한 검출 헤드의 길이는 개개의 자기 마크의 길이보다 짧게 하고, 헤드는 1개의 자기 마크만의 영향을 받도록 하고 있다.

그러나 긴 이동 경로를 따라 간극 없이 자기 마크를 배치하는 것은 곤란하다. 그래서 발명자는 1개의 검출 헤드로 자기 마크를 간격을 두고 배치하면서 이동체의 위치를 연속적으로 간극 없이 검출하는 것을 검토하여 본 발명에 이르렀다.

본 발명의 과제는 1개의 검출 헤드로, 또한 자기 마크를 간격을 두고 배치하면서 이동체의 위치를 연속적으로 검출할 수 있는 구간을 형성하는 것에 있다.

본 발명에서의 추가 과제는 이동체의 정지 위치 등의 특정의 위치에 대해서만 정확하게 위치를 구하면 좋은 구간에도 대응할 수 있도록 하는 것에 있다.

본 발명에서의 추가 과제는 제 1 구간과 제 2 구간의 스위칭을 제어함과 아울러, 제 2 구간에서도 제 1 구간과 같은 정밀도로 위치를 구할 수 있도록 제 2 구간에서의 검출 범위를 변경하는 것에 있다.

본 발명은 복수개의 코일을 이동체의 이동 방향을 따라 배열한 코일 어레이를 갖는 검출 헤드를 이동체에 설치함과 아울러, 상기 코일 어레이의 길이와 같은 피치로 자기 마크를 이동체의 이동 경로를 따라 배열한 구간을 형성하고, 상기 검출 헤드의 출력으로부터 상기 구간에서의 이동체의 위치를 연속적으로 구하도록 한 이동체 시스템에 있다.

또한, 본 발명의 이동체의 위치 검출 방법에서는 복수개의 코일을 이동체의 이동 방향을 따라 배열한 코일 어레이를 갖는 검출 헤드를 이동체에 설치하기 위한 스텝과,

상기 코일 어레이의 길이와 같은 피치로 자기 마크를 이동체의 이동 경로의 소정 구간을 따라 배열하기 위한 스텝과,

상기 검출 헤드의 출력으로부터 상기 구간에서의 이동체의 위치를 연속적으로 구하기 위한 스텝을 마련한다.

바람직하게는, 상기 구간을 제 1 구간으로 하고, 제 1 구간 외에 상기 피치보다 넓은 간격으로 이동 경로를 따라 자기 마크를 설치한 제 2 구간을 형성한다.

특히 바람직하게는, 자기 마크의 유무를 검출하기 위한 수단을 설치함으로써 제 1 구간과 제 2 구간을 식별함과 아울러,

제 1 구간에서는 구간의 전체 영역에 걸쳐 소정의 정밀도로 이동체의 위치를 출력하고, 제 2 구간에서는 자기 마크 주위의 상기 피치보다 좁은 범위에 대해서 상기 소정의 정밀도로 위치를 출력하도록 검출 헤드의 검출 범위를 변경하기 위한 수단을 설치한다.

<발명의 효과>

본 발명에서는 코일 어레이의 길이와 같은 피치로 자기 마크를 이동체의 이동 경로를 따라 배열한 구간을 형성한다. 이 구간에서는,

ㆍ코일 어레이의 양단 부근에 모두 자기 마크가 있는지,

ㆍ코일 어레이의 양단보다 내측에 1개의 자기 마크가 있는지,

중 어느 하나이다. 코일 어레이의 양단보다 내측에 1개의 자기 마크가 있으면 간단하게 위치를 구할 수 있다. 또한, 코일 어레이의 양단 부근에 2개의 자기 마크가 있으면, 양단 부근의 코일이 모두 자기 마크와 상호 작용하고, 역시 위치를 구할 수 있다. 이 때문에 본 발명에서는 상기 구간 내에서 연속적으로 이동체의 위치를 구할 수 있고, 자기 마크를 연속적으로 간극 없이 배치할 필요가 없으며, 또한, 검출 헤드는 1개이여도 좋다.

여기서, 자기 마크의 피치는 검출 헤드에서의 코일 어레이의 길이와 같으므 로, 검출 헤드는 항상 1개분의 길이의 자기 마크와 상호 작용하게 된다. 예컨대, 코일 어레이의 양단에 자기 마크가 있을 경우도, 코일 어레이의 중앙부에 자기 마크가 있을 경우도 코일 어레이와 대향하고 있는 자기 마크의 합계 길이는 자기 마크 1개분이다. 이 때문에 자기 마크의 검출 조건은 위치에 의하지 않아 일정하게 되고, 검출이 보다 용이해진다.

이동체가 통과하는 빈도가 낮고, 예컨대, 스테이션 등의 특정 위치의 부근에서만 현재 위치를 알면 좋은 경우가 있다. 또한, 커브 및 분기부, 합류부 등과 같이 자기 마크에 의한 위치 검출이 어려운 구간이 있다. 그래서, 넓은 간격으로 이동 경로를 따라 자기 마크를 설치한 제 2 구간을 형성하면, 필요한 장소에서만 위치 검출을 할 수 있다.

또한, 자기 마크의 유무를 검출하기 위한 수단을 설치하면, 소정의 위치에서의 자기 마크의 유무로부터 제 1 구간과 제 2 구간을 용이하게 식별할 수 있다. 그리고 바람직하게는, 제 1 구간에서는 전체 영역에 걸쳐 소정의 정밀도로 이동체의 위치를 출력하고, 제 2 구간에서는 자기 마크 주위의 좁은 범위에 대해서 상기 소정의 정밀도로 위치를 출력하도록 검출 헤드의 검출 범위를 변경한다. 그러면, 제 2 구간에서도 검출 헤드의 검출 범위 내에서 제 1 구간과 동일한 정밀도로 위치를 검출할 수 있다.

[실시예]

도 1~도 7에 실시예의 이동체 시스템을 나타낸다. 도 1에 검출 헤드(2)와 자 기 마크(22)의 배치를 나타낸다. 4는 코일 어레이이며 복수개의 코일(5)을 이동체의 이동 방향을 따라 예컨대 일렬로 배열한 것이다. 또한, 코일 어레이(4)의 주행 방향 전후에 예컨대 1쌍의 홀 소자(6,7)를 설치하여 자기 마크(22)의 유무를 검출한다. 홀 소자(6,7) 대신에 임의의 자기 센서를 이용할 수 있고, 극단적일 경우, 코일 어레이(4) 양단의 코일을 홀 소자(6,7)의 대용으로 해도 좋다. 8은 구동 회로이며 교류 전원(9)으로부터의 교류 전류를 각 코일(5)에 부가하고, 평가 회로(10)는 개별의 코일(5)을 흐르는 전류, 또는 개별의 코일(5)에 부가되는 전압 또는, 전류 또는 전압의 위상 등으로부터 어드레스를 출력한다.

평가 회로(10)로부터의 출력의 궤적이 급격하게 변화됨으로써 카운터(12)의 카운터 값을 1씩 업 다운한다. 검출 범위 스위칭부(14)는 홀 소자(6,7)로부터의 신호에 의해 검출 범위를 스위칭함과 아울러, 검출 모드를 전체 영역 검출과 이산 배치 사이에서 스위칭한다. 검출 범위는 전체 영역 검출에서는 코일 어레이(4)의 길이(P) 즉 자기 마크(22)의 배열 피치분이고, 이산 배치 모드에서는 검출 범위는 피치(P)보다 좁다.

카운터 값은 현재 검출중의 자기 마크(22)를 특정하고, 정전 등으로부터의 복구에 대비해서 카운터 값을 플래시 메모리(16) 등의 비휘발성 메모리에서 보존한다. 그리고 정전 등으로부터의 리셋시에는 플래시 메모리(16)에 보존한 카운터 값을 카운터(12)에 세트한다. 오프셋 테이블(18)은 카운터 값을 오프셋으로 변환한다. 가산기(20)는 오프셋에 평가 회로(10)로부터의 어드레스를 가산하고, 현재 위치를 출력한다. 검출 헤드(2)가 출력하는 현재 위치를 절대 위치라고 하고, 이것은 내계 센서의 신호에 의존하지 않고, 자기 마크(22)를 직접 검출하는 것에 의해 구한 데이터이다. 또한, 오프셋 테이블(18) 및 가산기(20)는 검출 헤드(2)의 후단에 설치해도 된다. 또한, 인코더 등의 내계 센서에 의해 개략의 현재 위치를 인식할 경우, 검출 헤드(2)로부터 평가 회로(10)의 출력을 그대로 출력해도 좋고, 그 경우, 오프셋에 의한 절대 위치로의 환산은 불필요하다.

자기 마크(22)는 영구자석을 극성을 교대로 바꾸어 배열한 어레이로 한다. 단 자석의 어레이 대신에 1개의 자석을 이용해도 되고, 또한, 자석 대신에 자성체를 자기 마크(22)로 해도 좋다. 자기 마크(22)의 배열 피치(P)와, 코일 어레이(4)에서의 검출 가능 범위를 같게 한다. 그러면 코일 어레이(4)로부터 바라봐서 항상 합계 1개분의 자기 마크(22)가 검출 범위 내에 존재하게 된다. 또한, 코일 어레이(4)의 길이는 검출 가능 범위와 동일하다. 자기 마크(22)와 코일(5)의 간격은 아주 약간이므로, 자기 마크(22)로부터 코일 어레이(4)가 받는 자속은 일정하게 되고, 자속의 분포가 자기 마크(22)에 대한 코일 어레이(4)의 상대 위치에 의해 변화되게 된다. 그리고 이 자속의 분포에 의해 개개의 코일(5)을 흐르는 전류가 변화된다. 또한, 전류가 변화된다는 것은 전류의 절대값 또는 위상 또는 일정한 전류를 흘리기 위해 필요한 전압 등이 변화된다는 것을 말한다. 그래서, 개개의 코일(5)에 흐르는 전류의 분포를 평가 회로(10)에서 평가하면 어드레스가 구해진다. 또한, 어드레스는 코일 어레이(4)의 검출 길이(P)를 소정의 분해능으로 나눈 위치를 나타내고 있다.

코일 어레이(4)의 길이 즉 코일 어레이(4)의 검출 길이와, 자기 마크(22)의 배열 피치(P)를 같게 한다. 이것에 의해, 코일 어레이(4)가 자기 마크(22)로부터 받는 자속의 총량이 어느 위치에서도 일정하게 되고, 검출을 용이하게 한다. 예컨대, 코일 어레이(4)의 길이를 300㎜로 할 경우, 자기 마크(22)의 배열 피치(P)를 300㎜±0.2㎜ 이내로 한다. 또한, 허용오차를 작게 할수록 검출 정밀도를 높일 수 있고, 허용오차는 요구되는 검출 정밀도에 의해 정해진다.

도 2에 전체 영역 검출 사양에서의 검출 헤드(2)의 출력을 나타낸다. 24는 주행 경로이며 도면의 우측으로부터 좌측으로 이동체가 주행하고, 코일 어레이의 길이와 같은 피치로 자기 마크(22)가 배열되며, 여기서는 우측에서 좌측으로 (A),(B),(C)의 3개의 자기 마크를 고려한다. 검출 헤드(2)가 a의 위치에 있을 때는 (A)의 자기 마크를 검출하고 있고, 검출 헤드(2)의 우측 끝(정확하게는 코일 어레이(4)의 우측 끝)이 (B)의 자기 마크의 중심에 도달하면, 카운터 값을 1 변경한다. 이 때의 검출 헤드(2)의 위치가 도 2의 ｂ이다. 다음으로, c의 위치에서는 (B)의 자기 마크만을 이용해서 검출하고, d의 위치에서 코일 어레이의 좌측 끝이 (C)의 자기 마크의 중앙부에 도달했으므로, 카운터 값을 또한 1 변경한다. e의 위치에서는 (C)의 자기 마크를 이용해서 검출을 행하고 있다. 이들에 따라, 검출 헤드(2)로부터의 출력되는 어드레스는 도 2의 하측과 같이 변화된다.

도 3에 이산 배치 사양에서의 검출 헤드의 출력을 나타낸다. 주행 경로(24)를 따라 (D)의 자기 마크가 있고, 다른 자기 마크와는 충분히 떨어져 있는 것으로 한다. f의 위치에서 검출 헤드는 (D)의 자기 마크를 인식하고 있지만, 코일 어레이의 좌측 끝에밖에 자기 마크가 없으므로 검출 정밀도가 낮다. g의 위치에서 코일 어레이에 자기 마크(22) 1개분이 면하게 되고, 도 2의 전체 영역 검출 사양의 각 점과 같은 검출 정밀도가 얻어지게 된다. 이 상태가 i의 위치까지 계속되고, j의 위치에서는 코일 어레이에 면한 자기 마크의 길이가 1/2개분으로 되고, 이보다 좌측에서는 위치의 인식이 불가능하다.

이들에 따라 검출 헤드로부터 데이터가 얻어지지 않는 영역(f보다 우측의 영역), 전체 영역 검출보다 낮은 정밀도로만 현재 위치가 얻어지는 영역(f-g 사이와 i-j 사이), 및 전체 영역 검출과 동일한 정밀도로 현재 위치가 얻어지는 영역(g-i 사이)이 생긴다. 또한, 특허청구의 범위 등에서 검출 범위라고 하는 경우, 전체 영역 검출과 동일한 정밀도로 위치가 구해지는 범위를 말한다.

도 4에 주행 경로(24)의 예를 나타낸다. 여기서는 이동체로서 도시하지 않은 천정주행차를 상정하고, 30은 인터 베이루트, 31은 인트라 베이루트이며 루프 형상을 이루고, 주행 경로(24)에는 분기부(32) 및 합류부(33), 커브부(34)가 있다. 인트라 베이루트(31)를 따라 로드 포트(35)가 설치되고, 천정주행차의 정지 위치로 되어 있다. 인트라 베이루트(31) 중의 이산 배치 구간(36)에서는 예컨대 로드 포트(35) 부근에서만 현재 위치를 인식할 수 있으면 된다. 그래서, 정지 위치에 대해서 자기 마크(22)를 배치하고, 자기 마크와 자기 마크 사이는 로터리 인코더 등에 의해 위치를 추측하면서 주행하고, 정지 위치에서는 자기 마크(22)를 이용해서 정지 제어를 행한다. 분기부(32) 및 합류부(33), 커브부(34)에서는 자기 마크를 설치하면 코일 어레이와 간섭할 우려가 있어 자기 마크를 설치할 수 없다. 그 때문에 검출 불능 구간(38)에서는 자기 마크에 의한 현재 위치의 검출을 할 수 없다. 이 이외의 구간에서는 전체 영역 검출이 가능하다.

이와 같이 하면 교통량이 많은 인터 베이루트(30)에서는 정확하게 현재 위치를 구해서 천정주행차 간의 간섭을 방지할 수 있다. 교통량이 적은 인트라 베이루트(31)에서는 로드 포트(35) 등의 정지 위치 부근에만 자기 마크(22)를 설치한다. 검출 불능 구간(38)에서는 자기 마크(22) 이외의 수단에 의해 천정주행차 간의 간섭을 방지한다. 예컨대, 분기부(32) 및 합류부(33)의 주행을 도시하지 않은 지상측의 컨트롤러 등으로 배타 제어한다. 또한, 커브부(34)로 진입 전에 천정주행차 간에 소정 길이 이상의 차간 거리가 존재하도록 한다.

도 5, 도 6에 전체 영역 검출 사양과 이산 배치 사양에서의 현재 위치의 검출 알고리즘을 나타낸다. 전체 영역 검출 사양에서는 코일 어레이로부터의 신호를 평가 회로에서 평가하고, 어드레스를 출력한다(스텝1). 또한, 카운터 값을 오프셋으로 변환하고(스텝2), 홀 소자에서 자기 마크의 유무를 서치(스텝3)한다. 예컨대, 어드레스를 오프셋에 가산해 현재 위치로 변환해서 출력한다(스텝4). 그리고, 평가 회로의 출력 궤적으로부터 즉 평가 회로의 출력이 증가하고 있는지 감소하고 있는지와, 카운터 값의 업 다운용의 소정 값에 도달했는지로부터 카운터의 값을 업 다운한다(스텝5). 또한, 예컨대 평가 회로의 출력이 소정 값에 도달했을 때에 홀 소자가 다음의 자기 마크를 검출하고 있을 경우, 전체 영역 검출(연속 검출)인 채로 하고, 검출하고 있지 않은 경우에는 자기 마크가 전체 영역 검출 사양보다 넓은 간격으로 배치되어 있는 것으로 하여 도 6의 이산 배치 사양의 알고리즘으로 이행한다(스텝6).

도 6에 있어서 도 5와 동일한 스텝은 동일한 것을 나타내고, 이산 배치 사양에서는 검출 범위를 도 3의 정밀 검출이 가능한 범위로 축소하고(스텝11), 검출 범위 내에서는 코일 어레이 간의 신호를 어드레스로 변환하고(스텝1), 예컨대 카운터 값으로부터 구한 오프셋과 가산해서 현재 위치를 출력한다(스텝4). 또한, 이 동안에 홀 소자에서 자기 마크를 서치한다(스텝3). 평가 회로의 출력 궤적으로부터 카운터 값을 업 다운하고(스텝5), 평가 회로의 출력이 소정 값에 도달했을 때에 홀 소자가 다음의 자기 마크를 검출하고 있으면, 도 5의 전체 영역 검출 사양의 알고리즘으로 이행하고, 홀 소자가 자기 마크를 검출하고 있지 않으면, 이산 배치 사양인 채로 한다(스텝12). 그 후, 예컨대 홀 소자가 다음의 자기 마크를 검출하면, 검출 헤드의 상태를 검출 범위 내로 되돌린다(스텝13).

도 7에 스태커 크레인(40)을 이동체로 한 예를 나타낸다. 스태커 크레인(40)의 주행 레일 등을 따라 코일 어레이의 검출 길이와 동일한 피치로 자기 마크(22)를 배열한다. 또한, 마스트(41)를 따라 검출 헤드(2)의 코일 어레이의 검출 길이와 동일한 피치로 자기 마크(22)를 배열한다. 이들에 의해 수평 방향으로도 연직 방향으로도 절대 위치를 구할 수 있다. 42는 승강대이고, 43은 슬라이드 포크 등의 이송 적재 장치이다. 스태커 크레인의 경우, 대차의 주행 범위도 승강대(42)의 승강 범위도 일정하며, 주행 및 승강은 모두 직진 운동이다. 이 때문에 전체 스트로크를 전체 영역 검출 사양으로 하는 것이 바람직하다.

실시예에서는 천정주행차와 스태커 크레인의 2개의 예를 나타내었지만, 이 이외에 유궤도대차, 지상에 기부를 고정한 이송 적재 장치, 공작 기계, 또는 컨베 이어, 그 외에 이동체에 본 발명을 적용할 수 있다.

실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다.

(1) 자기 마크를 띄엄 띄엄 간극을 두고 배치하고, 또한, 1개의 검출 헤드를 이용해서 연속적으로 위치를 검출할 수 있는 구간을 형성할 수 있다.

(2) 코일 어레이의 길이와 자기 마크의 배열 피치를 같게 하므로, 코일 어레이로부터 바라본 자기 마크의 길이는 항상 합계 1개분이며, 검출 조건이 안정하다.

(3) 자기 마크를 코일 헤드의 검출 길이보다 넓은 간격으로 배치한 구간을 형성하면, 직선 구간이지만 특정의 위치 부근에서만 위치를 인식할 수 있으면 좋은 영역 및, 커브 구간 및 분기 합류부와 같이 자기 마크를 소정의 피치로 배치하기 어려운 구간에도 대응할 수 있다. 또한, 직선 구간의 전체 영역에 코일 헤드의 검출 길이와 동일한 피치로 자기 마크를 배치하면, 직선 구간의 길이가 자기 마크의 배열 피치의 정수배로 한정된다. 이것에 대해서, 자기 마크를 코일 헤드의 검출 길이보다 넓은 간격으로 배치한 구간을 형성하면, 직선 구간의 길이에 제약이 생기지 않는다. 이 때문에 인트라 베이루트의 레이아웃 변경, 예컨대 정지 포인트의 변경, 추가 등이 용이해진다.

(4) 어느 자기 마크를 검출하고 있는지를 카운트함으로써 코일 헤드로부터 구해진 어드레스를 절대 위치로 용이하게 환산할 수 있다. 또한, 자기 마크의 수를 카운트해서 비휘발성 메모리에 기억시키면, 정전 등으로부터의 복구가 용이하다.

(5) 자기 마크의 번호 등을 직접 오프셋으로 하는 대신에, 중간에 오프셋 테이블을 설치하면, 이산 배치 사양에서도 용이하게 절대 위치를 구할 수 있다.

(6) 홀 소자 등의 자기 센서에 의한 자기 마크의 검출 결과에 따라 검출 범위를 스위칭함으로써 자기 마크를 넓은 간격으로 배치한 구간에 대해서도 전체 영역 검출 사양의 경우와 동일한 정밀도로 현재 위치를 검출할 수 있다.

도 1은 실시예에서의 절대 위치의 검출 헤드와 자기 마크의 배치를 나타내는 블록도이다.

도 2는 전체 영역 검출 사양에서의 자기 마크에 대한 검출 헤드의 위치와 출력의 관계를 나타내는 도면이다.

도 3은 이산 배치 사양에서의 자기 마크에 대한 검출 헤드의 위치와 출력의 관계를 나타내는 도면이다.

도 4는 천정주행차 시스템에서의 전체 영역 검출 구간과 이산 검출 구간, 및 검출 불능 구간을 나타내는 도면이다.

도 5는 전체 영역 검출 사양에서의 처리를 나타내는 도면이다.

도 6은 이산 배치 사양에서의 처리를 나타내는 도면이다.

도 7은 실시예의 스태커 크레인 시스템을 모식적으로 나타내는 도면이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

2 : 검출 헤드 4 : 코일 어레이

5 : 코일 6,7 : 홀 소자

8 : 구동 회로 9 : 교류 전원

10 : 평가 회로 12 : 카운터

14 : 검출 범위 스위칭부 16 : 플래시 메모리

18 : 오프셋 테이블 20 : 가산기

22 : 자기 마크 24 : 주행 경로

30 : 인터 베이루트 31 : 인트라 베이루트

32 : 분기부 33 : 합류부

34 : 커브부 35 : 로드 포트

36 : 이산 배치 구간 38 : 검출 불능 구간

40 : 스태커 크레인 41 : 마스트

42 : 승강대 43 : 이송 적재 장치

P : 코일 어레이 길이

Claims

복수개의 코일을 이동체의 이동 방향을 따라 배열한 코일 어레이를 갖는 검출 헤드를 이동체에 설치함과 아울러, 상기 코일 어레이의 길이와 같은 피치로 자기 마크를 이동체의 이동 경로를 따라 배열한 구간을 형성하고, 상기 검출 헤드의 출력으로부터 상기 구간에서의 이동체의 위치를 연속적으로 구하도록 한 것을 특징으로 하는 이동체 시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 구간을 제 1 구간으로 하고, 제 1 구간 외에 상기 피치보다 넓은 간격으로 이동 경로를 따라 자기 마크를 설치한 제 2 구간을 형성한 것을 특징으로 하는 이동체 시스템.
제 2 항에 있어서, 상기 자기 마크의 유무를 검출하기 위한 수단을 설치함으로써 상기 제 1 구간과 상기 제 2 구간을 식별함과 아울러,

상기 제 1 구간에서는 구간의 전체 영역에 걸쳐 소정의 정밀도로 이동체의 위치를 출력하고, 상기 제 2 구간에서는 상기 자기 마크 주위의 상기 피치보다 좁은 범위에 대해서 상기 소정의 정밀도로 위치를 출력하도록 상기 검출 헤드의 검출 범위를 변경하기 위한 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 이동체 시스템.
복수개의 코일을 이동체의 이동 방향을 따라 배열한 코일 어레이를 갖는 검 출 헤드를 이동체에 설치하기 위한 스텝;

상기 코일 어레이의 길이와 같은 피치로 자기 마크를 이동체의 이동 경로의 소정 구간을 따라 배열하기 위한 스텝; 및

상기 검출 헤드의 출력으로부터 상기 구간에서의 이동체의 위치를 연속적으로 구하기 위한 스텝을 마련한 것을 특징으로 하는 이동체의 위치 검출 방법.