KR20090117242A - 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법 - Google Patents

액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법 Download PDF

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Abstract

이 발명은 셀갭 안정성과 시야각이 향상되어 플랙시블 콜레스테릭 액정표시소자에 적용할 수 있는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법에 관한 것이다.
이 발명에 따른, 상부기판과 하부기판이 스페이서를 사이에 두고 정렬되는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법은, 상기 하부기판에 다수의 서브스페이서로 이루어진 스페이서를 형성하는 제1단계와, 상기 스페이서와 상기 상부기판의 마이크로 그루브 영역에 접착제를 도포하여 모세관 현상에 의해 상기 스페이서 내에 접착제가 전사되도록 하는 제2단계와, 상기 상부기판에 마이크로 그루브를 형성하고 상기 상부기판과 하부기판이 정렬된 상태에서 상기 스페이서 내에 전사된 접착제를 경화시키는 제3단계를 포함한다.
마이크로 그루브, micro groove, 콜레스테릭, 리소그래픽, 스페이서, 모세관

Description

액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법 { method for manufacturing spacers and micro grooves of a LCD }
이 발명은 액정표시소자의 스페이서와 마이크로 그루브를 형성하는 방법에 관한 것으로서, 특히 셀갭 안정성과 시야각이 향상되어 플랙시블 콜레스테릭 액정표시소자에 적용할 수 있는 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법에 관한 것이다.
액정표시소자는 전극이 형성된 두 장의 기판과, 두 장의 기판을 일정한 간격으로 유지시키는 스페이서(spacer)와, 스페이서의 사이 공간에 주입된 액정층을 포함한다. 스페이서는 두 장의 기판의 간격(gap)을 유지하고 적당한 액정층의 두께를 확보하기 위하여 사용된다.
한편, 액정표시소자는 기판의 종류 및 특성에 따라 평판 액정표시소자와 플렉시블(flexible) 액정표시소자로 분류된다. 평판 액정표시소자는 유리 기판을 사용하여 휘어지지 않는 특성이 있고, 플렉시블 액정표시소자는 잘 휘어지는 플라스틱 기판을 사용하여 휘어지는 특성이 있다. 플렉시블 액정표시소자는 평판 액정표 시소자에 비해 기판이 유연하며, 기판이 휘어지더라도 영상이 왜곡되지 않도록 균일한 셀갭 안정성이 요구된다.
액정표시소자의 액정층에 주입되는 액정의 종류로서, 분자배열에 따라 네마틱(nematic) 액정과, 콜레스테릭(cholesteric) 액정이 있다.
네마틱 액정은 좌우 구별이 없는 긴 분자들로 구성되어 있는데, 분자들은 긴 분자축 방향에 평행하게 한 방향으로 배열되어 있어서 위치질서도는 없지만 장거리의 방향질서도를 가지고 있다. 네마틱 액정에는 트위스트 네마틱(twist nematic) 액정과, 슈퍼 트위스트 네마틱(super twist nematic) 액정이 있다.
콜레스테릭 액정은 미시적으로 볼 때 각 층이 네마틱 액정과 같은 구조를 나타내나, 층을 이루는 분자가 광활성(optically active)이므로 층마다 작은 각도로 회전하여 전체적으로 방향자가 광축을 따라 나선을 그리는 구조를 가진다. 콜레스테릭 액정은 액정의 피치에 따라 빛의 반사특성이 달라져서 다양한 컬러를 구현할 수 있다. 이 콜레스테릭 액정은 포컬코닉(Focalconic) 상태와 플래너(planar) 상태라는 쌍안정(bistable) 상태를 갖기 때문에 전원이 제거되어도 영상을 지속적으로 유지하는 메모리 특성이 있어 소비전력을 낮출 수 있는 표시소자로써, 많은 연구가 진행되어 오고 있다. 그러나, 이 콜레스테릭 액정은 외부 충격이 가해지면, 포컬코닉 상태에서 안정적인 플래너 상태로 쉽게 전환되기 때문에 메모리된 정보를 쉽게 잃어버리는 문제점이 있다.
플래너 상태는 특정한 빛을 반사하여 컬러를 표시하는데, 디스플레이 뒷면에 블랙(black) 흡수판을 붙이고, 전압을 인가하는 조건을 변화시켜 일부의 빛을 반사 하고 일부의 빛을 투과하는 반투명 상태로 만들어서, 컬러(color)와 블랙(black) 상태를 구현한다. 이러한 구조의 콜레스테릭 액정표시소자는 보는 방향에 따라 빛이 반사되는 빛의 양이 달라져서 구현되는 컬러가 다르게 보이는 좁은 시야각 특성이 있다.
즉, 종래의 콜레스테릭 액정은 내충격성이 약하고, 좁은 시야각으로 인해 관찰자의 위치에 따라 균일한 컬러 구현이 어려운 문제점이 있다.
한편, 액정표시소자의 스페이서 형성기술은 지금까지는 주로 평판 구조의 네마틱 액정을 이용한 액정표시소자에 적용할 수 있는 기술들이 주로 연구 개발되어 왔다.
현재 널리 사용되는 스페이서 형성기술에는 볼 스페이서(ball spacer) 형성기술과 포토리소그래픽 스페이서(photolithographic spacer) 형성기술 등이 있으며, 최근 플렉시블 액정표시소자에 적용하기 위하여 반응성 모노머(reactive monomer)를 이용한 스페이서 형성기술이 제안되었다.
볼 스페이서 형성기술은 유리기판을 사용한 평판 액정표시소자에 주로 사용되는 기술로서, 균일한 셀갭을 요구하는 플렉시블 액정표시소자에 적용하기에는 부적합할 뿐만 아니라, 휘도 및 명암비가 다른 스페이서 형성기술에 비해 낮은 문제점이 있다.
포토리소그래픽 스페이서 형성기술은 평판 액정표시소자나 플렉시블 액정표시소자에는 적합하나, 상하판 접착력이 없어서 접거나(foldable) 감기는(rollable) 액정표시소자에 적용하기에는 부적합하다. 접거나 감기는 액정표시소자에도 적용 가능한 포토리소그래픽 스페이서 형성기술로서, J.H.Kim et. al. 그룹은 IMID'05,373p에서 PDMS(polydimetylsiloxane)를 이용한 방법을 제시하였으며, 이 기술을 통해 플렉시블 액정표시소자의 균일한 셀갭을 유지할 수 있다고 보고한 바 있다.
반응성 모노머를 이용한 스페이서 형성기술은 액정에 반응성 모노머(reactive monomer)를 섞어서 주입한 후, 자외선 조사를 통해 고분자 폴리머로 상전이시켜 스페이서를 형성하는 기술이다. 이 반응성 모노머를 이용한 스페이서 형성기술에 관련된 기술은 다수의 미합중국 특허 문헌들(US5,929,960, US5,621,553, US4,640,583, US5,335,103, US5,450,220, US5,473,450, US5,490,001, US5,499,128, US5,517,344, US5,535,026)에 개시되어 있다.
앞서 언급하였듯이 종래의 스페이서 형성기술들은 평판 구조의 액정표시소자에 적용할 수 있는 기술들이 주로 개발되었으며, 플렉시블한 특성을 갖는 콜레스테릭 액정표시소자에 적용하기에는 미흡하다.
즉, 종래의 스페이서 형성기술은 콜레스테릭 액정의 내충격성을 높여 포컬코닉 상태를 어느 정도 유지할 수는 있으나 콜레스테릭 액정의 좁은 시야각 문제를 개선하지는 못하는 문제점이 있다. 반면, 콜레스테릭 액정의 시야각의 향상을 위해 마이크로 그루브를 형성하는 방법이 제안되었는 바, 이러한 마이크로 그루브 형성방법으로는 콜레스테릭 액정의 낮은 내충격성을 개선하지 못하는 문제점이 있다.
상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 이 발명의 목적은, 플렉시블 콜레스테릭 액정표시소자에 포트리소그래픽 스페이서와 마이크로 그루브를 형성하여 내충격 안정성을 향상시키고 넓은 시야각을 구현하는 방법을 제안하기 위한 것이다.
이 발명의 한 실시예에 따른 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법은,
상부기판과 하부기판이 스페이서를 사이에 두고 정렬되는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법에 있어서,
상기 하부기판에 다수의 서브스페이서로 이루어진 스페이서를 형성하는 제1단계와,
상기 스페이서와 상기 상부기판의 마이크로 그루브 영역에 접착제를 도포하여, 모세관 현상에 의해 상기 스페이서 내에 접착제가 전사되도록 하는 제2단계와,
상기 상부기판에 마이크로 그루브를 형성하고 상기 상부기판과 하부기판이 정렬된 상태에서 상기 스페이서 내에 전사된 접착제를 경화시키는 제3단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
이 발명에 따르면 플렉시블 콜레스테릭 액정표시소자에 균일한 셀갭 안정성과 넓은 시야각과 내충격 안정성이 향상되는 효과가 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하며 이 발명의 한 실시예에 따른 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법을 상세하게 설명한다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이 모세관 현상에 의한 접착제의 전사를 유도하는 구조의 스페이서를 형성한다. 이 발명에 따른 스페이서는 다수 개의 서브스페이서들로 이루어지는데, 각 서브스페이서는 원기둥 또는 사각기둥 형상이고, 서브스페이서의 지름 또는 한 변의 길이와 서브스페이서간 사이 간격은 1:1 내지 1:0.5 비율이 되도록 한다. 예컨대, 서브스페이서의 지름 또는 한 변의 길이가 10㎛라면, 서브스페이서간 사이 간격은 5 ~ 10㎛으로 형성한다.
스페이서는 통상적인 포토리소그래픽 방법으로 형성하는데, 모세관 현상에 의한 접착제의 전사를 유도하는 구조의 스페이서를 형성하는 방법을 도 1을 참조하여 설명한다.
먼저, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이 하부기판(11) 위에 포토레지스트(12)를 도포한다.
다음, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이 포토레지스트(12) 위에 스페이서 형상으로 패턴된 마스크(13)를 덮고 자외선(14)을 조사한다.
그러면, 통상적인 포토리소그래픽 방법에 따라 도 1의 (c)에 도시된 바와 같이 하부기판(11) 위에 다수의 서브스페이서(16)들로 이루어진 스페이서(15)가 형성된다.
도 1에서는 4개의 사각기둥 형상의 서브스페이서(16)가 2*2로 배열된 예가 도시되었으나, 이 발명의 스페이서를 형성하는 다수의 서브스페이서는 원주, 세로열, 가로열 또는 그물망 구조로 배열될 수 있고, 각 서브스페이서의 형상은 사각기둥 외에 원기둥 또는 다각기둥이 될 수도 있다.
상술한 바와 같이 하부기판에 모세관 현상에 의한 접착제의 전사를 유도하는 구조의 스페이서를 형성한 후, 스페이서를 통해 하부기판과 상부기판을 접착하고 마이크로 그루브를 형성하는 과정을 수행한다.
도 2는 이 발명의 제1실시예에 따라 도 1의 과정으로 형성된 구조의 스페이서 위에 상부기판을 부착하고 마이크로 그루브를 형성하는 과정을 도시한 도면이다.
먼저, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 상부기판(21) 위에 UV 경화형 접착제(22)를 도포한다.
다음, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이 도 1의 결과물과 도 2의 (a)의 결과물을 합착하는데, 스페이서(15)와 접착제(22)가 맞닿도록 하면서 상부기판(21)과 하부기판(11)을 정렬하여 합착하면서 일정한 압력을 가한다. 이렇게 상부기판(21)과 하부기판(11)을 합착하면 모세관 현상에 의해 스페이서(15)의 서브스페이서들 사이 로 접착제가 전사된다.
그 후, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이 상부기판(21) 위에 스페이서 영역과 마이크로 그루브 영역의 패턴이 형성된 마스크(23)를 정렬하고, UV빛을 조사한다. 그러면, 스페이서 영역에 있는 접착제는 UV빛에 의해 그대로 경화되는데, 이때, 서브스페이서들 사이로 전사된 접착제(24)가 경화되어 상부기판(21)과 하부기판(11)을 강력하게 고정한다.
한편, 마이크로 그루브 영역은 마스크(23)의 패턴에 의해 UV빛이 통과되는 영역과 UV빛이 통과되지 않은 영역으로 구분되며, UV빛이 통과되는 영역에 마이크로 그루브(25)가 형성된다. 즉, UV빛이 통과되는 영역의 접착제가 고분자화(polymerization)되고, UV빛이 통과되지 않은 영역의 접착제는 UV빛이 통과되는 영역 쪽으로 이동하여 고분자화된다. 결국 UV빛이 통과되는 영역에 접착제가 모여서 고분자화되기 때문에 UV빛이 통과되는 영역에 기존 코팅 두깨의 1.5배 내지 2배 높이의 반구 형태의 마이크로 그루브(25)가 형성된다. 여기서, 고분자화라 함은 라디칼 중합으로 단분자의 사슬들이 고분자화되면서 긴 사슬로 이어지는 것을 말한다.
이 발명에 따르면 상부기판과 하부기판이 접착제에 의해 고정되기 때문에 기판이 휘어지더라도 균일한 셀갭을 유지할 수 있으며 강한 내충격성을 확보할 수 있다. 또한, 마이크로 그루브가 콜레스테릭 액정의 배향 방향을 균일하게 해주기 때문에 넓은 시야각을 확보할 수 있다.
이 제1실시예에 따른 방법은 하부기판과 상부기판을 합착한 후, 한 번의 UV 조사만으로 스페이서 내에 전사된 접착제를 경화시키고 동시에 상부기판에 마이크로 그루브를 형성할 수 있는 잇점이 있다.
도 3은 이 발명의 제2실시예에 따라 도 1의 과정으로 형성된 구조의 스페이서 위에 상부기판을 부착하고 마이크로 그루브를 형성하는 과정을 도시한 도면이다.
먼저, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 상부기판(31) 위에 UV 경화형 접착제(32)를 도포한다.
다음, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 도 1의 결과물과 도 3의 (a)의 결과물을 합착하는데, 스페이서(15)와 접착제(32)이 맞닿도록 하면서 상부기판(31)과 하부기판(11)을 정렬하여 합착한다. 이렇게 상부기판(31)과 하부기판(11)을 합착하면 모세관 현상에 의해 스페이서(15)의 서브스페이서들 사이로 접착제가 전사된다.
다음, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이 도 3의 (b)의 결과물의 상부기판(31) 위에 스페이서 영역의 패턴이 형성된 마스크(33)를 정렬하고 UV빛을 조사한다. 그러면, 스페이서 영역에 있는 접착제는 UV빛에 의해 그대로 경화되는데, 이때, 서브스페이서들 사이로 전사된 접착제가 경화되어 상부기판(31)과 하부기판(11)이 강력하게 접착된다.
다음, 도 3의 (d)에 도시된 바와 같이 도 3의 (c)의 결과물의 상부기판(31) 위에 마이크로 그루브 영역의 패턴이 형성된 마스크(34)를 정렬하고 UV빛을 조사한다. 그러면, 마스크(34)의 패턴에 의해 UV빛이 통과되는 영역의 접착제가 고분자 화되고, UV빛이 통과되지 않은 영역의 접착제는 UV빛이 통과되는 영역으로 이동하면서 고분자화되어, 결국 UV빛이 통과되는 영역에 반구 형태의 마이크로 그루브(35)가 형성된다.
이 발명에 따르면 상부기판과 하부기판이 접착제에 의해 고정되기 때문에 기판이 휘어지더라도 균일한 셀갭을 유지할 수 있으며 강한 내충격성을 확보할 수 있다. 또한, 마이크로 그루브가 콜레스테릭 액정의 배향 방향을 균일하게 해주기 때문에 넓은 시야각을 확보할 수 있다.
이 제2실시예에 따른 방법은 스페이서 내에 전사된 접착제를 경화시키기 위한 UV조사단계와, 마이크로 그루브를 형성하기 위한 UV조사단계가 분리되어 있기 때문에, 각 단계별로 최적의 UV조사 조건을 확보할 수 있다.
도 4는 이 발명의 제3실시예에 따라 도 1의 과정으로 형성된 구조의 스페이서 위에 상부기판을 부착하고 마이크로 그루브를 형성하는 과정을 도시한 도면이다.
먼저, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이 상부기판(41) 위에 UV 경화형 접착제(42)를 도포한다.
다음, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 도 4의 (a)의 결과물의 상부기판(41) 위에 마이크로 그루브 영역의 패턴이 형성된 마스크(43)를 정렬하고 UV빛을 조사한다. 그러면, 마스크(43)의 패턴에 의해 UV빛이 통과되는 영역의 접착제가 고분자화되고, UV빛이 통과되지 않은 영역의 접착제는 UV빛이 통과되는 영역으로 이동하 면서 고분자화되어, 결국 UV빛이 통과되는 영역에 반구 형태의 마이크로 그루브(44)가 형성된다.
다음, 도 1의 과정으로 형성된 구조의 스페이서에 접착제를 전사시키는데, 이 과정을 구체적으로 설명한다. 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이 별도의 전사기판(45)에 접착제(46)를 도포하고, 도 1의 결과물의 스페이서(15)와 접착제(46)가 맞닿도록 하면서 하부기판(11)과 전사기판(45)을 합착하고 일정한 압력을 가한다. 그러면, 전사기판(45)에 도포된 접착제(46)가 스페이서(15)에 도포되고 모세관 현상에 의해 서브스페이서들 사이로 전사된다.
다음, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이 전사기판을 떼어내면, 스페이서(15)에 접착제(47)가 도포 및 전사된다.
다음, 도 4의 (b)와 같이 마이크로 그루브(44)가 형성된 상부기판(41)과, 도 4의 (d)와 같이 스페이서(15)에 접착제47)가 전사된 하부기판(11)을, 도 4의 (e)에 도시된 바와 같이 정렬하여 합착을 하고, 상부기판(41) 위에 스페이서 영역의 패턴이 형성된 마스크(48)를 정렬하고 UV빛을 조사한다. 그러면, 스페이서 영역에 있는 접착제(47)가 UV빛에 의해 그대로 경화되어, 상부기판(41)과 하부기판(11)이 강력하게 접착된다.
이 제3실시예에 따른 방법은 상부기판에 미리 마이크로 그루브를 최적의 조건으로 형성한 후, 하부기판에 형성된 스페이서 내로 전사된 접착제를 합착하기 때문에, 충분한 접착면적을 확보할 수 있는 장점이 있다.
도 5는 스페이서의 도면으로서, 도 5의 (a)는 스페이서 내로 접착제가 전사되기 전의 도면이고, 도 5의 (b)는 스페이서 내로 접착제가 전사된 후의 도면이다. 즉, 스페이서가 다수의 서브스페이서로 이루어지고 접착제가 도포되면 모세관 현상에 의해 서브스페이서 사이로 접착제가 전사되어 스페이서 높이만큼 접착제가 존재하게 된다. 이 상태에서 상부기판과 하부기판을 합착한 후 접착제를 경화하면 상부기판과 하부기판이 완전히 접착하여 균일한 셀갭을 확보할 수 있다.
스페이서는 폴리머, 금속, 세라믹 등의 재료로 형성할 수 있다.
이 발명의 마이크로 그루브는 패턴 설계를 통해 공정을 진행하는데, UV경화형 접착제의 경화에너지 즉, UV 인텐시티(intensity)와 조사 시간에 따른 마이크로 그루브 형성 패턴과, 패턴 사이의 간격, 도포된 UV경화형 접착제의 두께에 따라 마이크로 그루브의 형태가 다양하게 나타난다.
이상에서 이 발명에 대한 기술 사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만, 이는 이 발명의 가장 양호한 일 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 이 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 이 발명의 기술 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
이 발명은 평판 액정표시소자와 플렉시블 액정표시소자, 특히 플렉시블 콜레스테릭 액정표시소자의 스페이서 형성 기술에 사용될 수 있을 뿐만 아니라 다른 디스플레이소자(PDP, FED 등)의 스페이서 형성 기술에도 적용할 수 있다.
도 1은 이 발명에 따라 모세관 현상에 의한 접착제의 전사를 유도하는 구조의 스페이서를 형성하는 과정을 도시한 도면,
도 2는 이 발명의 제1실시예에 따라 도 1의 과정으로 형성된 구조의 스페이서 위에 상부기판을 부착하고 마이크로 그루브를 형성하는 과정을 도시한 도면,
도 3은 이 발명의 제2실시예에 따라 도 1의 과정으로 형성된 구조의 스페이서 위에 상부기판을 부착하고 마이크로 그루브를 형성하는 과정을 도시한 도면,
도 4는 이 발명의 제3실시예에 따라 도 1의 과정으로 형성된 구조의 스페이서 위에 상부기판을 부착하고 마이크로 그루브를 형성하는 과정을 도시한 도면,
도 5는 스페이서의 도면으로서, (a)는 스페이서 내로 접착제가 전사되기 전의 도면이고, (b)는 스페이서 내로 접착제가 전사된 후의 도면이다.

Claims (10)

  1. 상부기판과 하부기판이 스페이서를 사이에 두고 정렬되는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법에 있어서,
    상기 하부기판에 다수의 서브스페이서로 이루어진 스페이서를 형성하는 제1단계와,
    상기 스페이서와 상기 상부기판의 마이크로 그루브 영역에 접착제를 도포하여, 모세관 현상에 의해 상기 스페이서 내에 접착제가 전사되도록 하는 제2단계와,
    상기 상부기판에 마이크로 그루브를 형성하고 상기 상부기판과 하부기판이 정렬된 상태에서 상기 스페이서 내에 전사된 접착제를 경화시키는 제3단계를 포함한 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2단계는,
    상기 상부기판의 일면 전체에 접착제를 도포하고, 상기 스페이서와 접착제를 사이에 두고 상기 상부기판과 하부기판을 합착하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제3단계는,
    상기 스페이서의 패턴과 마이크로 그루브의 패턴이 형성된 마스크를 통해 상기 상부기판에 UV빛을 조사하여, 상기 스페이서에 전사된 접착제를 경화시키고 동 시에 상기 마이크로 그루브를 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제3단계는,
    상기 스페이서의 패턴이 형성된 마스크를 통해 상기 상부기판에 UV빛을 조사하여 상기 스페이서에 전사된 접착제를 경화시키고, 상기 마이크로 그루브의 패턴이 형성된 마스크를 통해 상기 상부기판에 UV빛을 조사하여 상기 마이크로 그루브를 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2단계의 스페이서 내에 접착제를 전사하는 단계는,
    전사기판에 접착제를 도포하고 스페이서와 접착제를 사이에 두고 상기 하부기판과 상기 전사기판을 합착하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제3단계는,
    상기 마이크로 그루브의 패턴이 형성된 마스크를 통해 상기 상부기판에 UV빛을 조사하여 상기 마이크로 그루브를 형성하고,
    상기 스페이서가 형성된 하부기판과 상기 마이크로 그루브가 형성된 상부기판을 정렬한 후 상기 스페이서의 패턴이 형성된 마스크를 통해 상기 상부기판에 UV 빛을 조사하여 상기 스페이서 내에 전사된 접착제를 경화시키는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 서브스페이서는 원기둥 또는 다각기둥 형상인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 스페이서는 다수의 서브스페이서가 원형, 행렬, 세로열, 가로열 또는 그물망으로 배열된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제1단계는 상기 하부기판에 포토리소그래픽 방법으로 상기 스페이서를 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 스페이서는 폴리머, 금속 또는 세라믹인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 스페이서 및 마이크로 그루브 형성방법.
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