KR20090112683A

KR20090112683A - 전자 소자 핸들러 상의 벤투리 진공 발생기

Info

Publication number: KR20090112683A
Application number: KR1020097016240A
Authority: KR
Inventors: 보쉬트 더글라스 반
Original assignee: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
Priority date: 2007-01-29
Filing date: 2008-01-25
Publication date: 2009-10-28
Also published as: WO2008094828A1; CN101595392B; US20080179224A1; US7819235B2; CN101595392A; JP2010517057A; TWI440866B; TW200907368A

Abstract

본 발명은 전자 회로 소자 핸들러로 사용되기 위해 적어도 하나의 벤투리 발생기를 제공한다. 핸들러는 고정된 진공판 및 시험판을 포함한다. 진공판은 진공 채널을 포함하고, 시험판은 시험대를 포함한다. 벤투리 발생기는 고정된 진공판 상의 진공 채널로 지나가는 진공압을 생성하도록 작동가능하고, 시험판 상의 시험대 안으로 전자 소자가 들어오도록 하기 위해 이용된다. 벤투리 발생기는 진공압의 독점적인 공급원일 수 있으며, 다른 진공 공급원을 보충할 수 있다.

Description

전자 소자 핸들러 상의 벤투리 진공 발생기 {VENTURI VACUUM GENERATOR ON AN ELECTRONIC COMPONENT HANDLER}

본 발명은 전자 회로 소자 핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수의 전자 소자 시험대로 진공을 제공하는 벤투리 발생기를 포함하는 핸들러에 관한 것이다.

전자 회로 소자 핸들러는 선행기술에서 제공된다. 전자 회로 소자 핸들러라는 명칭을 갖고 본 출원의 양수인에게 양도된 미국 특허 제5,842,579호는, 이러한 회로 소자 시험 장치를 설명한다.

도 2를 참조하면, 본 발명에 전체 내용이 참조로 포함되는 미국 특허 제5,842,579호의 전자 회로 소자 핸들러에 대한 전반적인 사시도가 도시되어 있다. 도 2는 로딩 구역(loading zone, 13)을 형성하는 로딩 프레임(12)과, 시험 구역(test zone, 15)을 형성하는 복수의 시험 모듈(14) 및 블로우 오프 구역(blow off zone, 17)을 형성하는 블로우-오프(blow-off, 16)를 구비하는 핸들러(10)를 도시한다. 작동에 있어서, 전자 소자는 로드 프레임(12)을 통과하고, 개별적으로 시험대(test seat, 24) 안으로 들어가며, 진공에 의해 시험판(test plate, 20) 상에 제공된다.

도 3은 종래의 시험판(20)를 도시한다. 시험판(20)은 동심의(concentric) 시험대 링(test seat ring, 22)을 포함한다. 각각의 시험대 링(22)은 복수의 시험대(24)를 포함한다. 시험대(24)는 시험판(20)을 관통하는 개구(aperture)에 의해 형성된다.

도 4를 참조하면, 도 4에는 종래의 시험판(20)의 하측이 도시된다. 진공 링크(26)가 각각의 시험대(24)에 제공되어, 그 결과, 진공 링크(26) 및 시험대(24)는 진공압(vacuum pressure)에 노출된다.

도 5를 참조하면, 도 5에는 시험판(20)의 아래에 놓여진 고정된 진공판(30)이 도시되어 있다. 고정된 진공판(30)은 복수의 진공 채널(32)을 포함하고, 이 진공 채널에 진공압이 전달되어 시험대(24)에 진공압을 생성한다.

전자 소자가 시험대(24) 안으로 들어간 후에, 핸들러(10)는 시험판(20)에 지시하여, 전자 소자는 시험 구역(15)에서 시험될 수 있다. 전자 소자는 블로우 오프 구역(17)에서 시험판(20)으로부터 제거된다. 그 후에 전자 소자는 시험 결과에 따라 분류된다.

전자 소자 핸들러는, 고정된 진공판, 시험판 및 적어도 하나의 벤투리 발생기를 포함하여 제공된다. 고정된 진공판은, 로딩 구역, 시험 구역 및 블로우 오프 구역을 바람직하게 포함하는 동심의 진공 채널을 구비한 복수의 동심의 진공 채널을 포함한다. 시험판은 고정된 진공판에 인접하게, 바람직하게는 회전 가능하게 배치되고, 상기 시험판은 동심의 복수의 시험대 링을 포함한다. 각각의 시험대 링은 시험되는 전자 소자를 수용하기 위한 복수의 개구를 포함한다. 각각의 개구는 연관된 진공 링크를 갖고, 각각의 진공 링크는 선택적으로 진공 채널에 인접하여 있다. 벤투리 발생기는 진공 채널의 적어도 하나와 공압적인 소통(pneumatic communication)을 한다.

벤투리 발생기는 진공 채널을 위한 독점적인 진공 공급원을 제공할 수 있고, 피크(peak) 요구 구간 동안 보충적인 진공압이 제공할 수 있다.

또한, 진공 채널은 3개의 별도의 구역인 로딩 구역, 시험 구역 및 블로우 오프 구역으로 나뉠 수 있다.

본 발명에 대한 다른 출원은, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자가, 본 발명이 실시되는 데 있어 고려될 수 있는 최적의 모드에 대하여, 아래의 설명이 첨부된 도면과 함께 인식할 때, 명백하게 될 것이다.

본 명세서에서 설명은 첨부된 도면을 참조하여 이루어지고, 이들 도면에서 동일한 도면 번호는 다양한 도면의 전반에 걸쳐 동일한 부분을 언급한다.

도 1은 본 발명에 대한 바람직한 제1 실시예의 개략도이다.

도 2는 종래 기술의 전자 회로 소자 핸들러의 기본적인 구조의 사시도이다.

도 3은 종래 기술의 시험판의 사시도이다.

도 4는 종래 기술의 시험판 하측의 부분도이다.

도 5는 종래 기술의 시험판을 통해 평균적으로 확장된 방사형 라인을 따라 취한 시험판의 부분적인 단면도이다.

도 6a 및 6b는 본 발명에 대한 바람직한 제2 실시예를 도시하는 개략도이다.

도 7은 본 발명에 대한 바람직한 제1 실시예 또는 제2 실시예의 시험판 및 고정된 진공판의 분해도이다.

동일한 부분은 동일한 번호를 갖는 도면과 관련하여, 도면에는 전자 회로 소자 핸들러 및 그것의 서브 시스템이 도시되어 있다. 어떤 환경 하에서는, 전자 소자를 시험대 안으로 가져오도록 이용 가능한 진공은 제어하기 어렵거나 불충분할 수 있다. 바람직한 제1 실시예에서, 벤투리 발생기는 로딩 구역에서 독점적으로 진공을 생성하는 데 이용될 수 있다. 바람직한 제2 실시예에서, 벤투리 발생기는 진공 요구 피크 구간 동안 진공 공급원을 보충하는 데 이용될 수 있다.

전자 회로 소자 핸들러에서 진공압을 생성하는 데 이용되는 진공 공급원은 핸들러가 설치되는 시설에 구비될 수 있다. 대안으로, 진공 공급원은 내장된 핸들러(10)에 구비되는 진공 펌프일 수 있다. 때때로, 진공 공급원은 상대적으로 약할 수 있다. 이용 가능한 진공 공급원의 강도는 시험판 상의 시험대의 수(number)를 제한할 수 있다. 어떤 환경 하에서는, 예를 들면, 진공 헤드 룸(head room)과 관련된 이유로, 진공압은 제어하기 어려울 수 있다. 진공압 문제는 핸들러의 효율에 영향을 미칠 수 있거나, 또는 손상된 전자 소자를 초래할 수 있다. 예를 들면, 대략 -2PSI의 로딩 구역에서의 진공압을 갖는 것이 바람직하다. 만약 진공압이 불충분하면, 상기 진공압은 전자 소자를 로딩 구역에 구비된 시험대 안으로 가져오도록 하기에 불충분할 수 있다. 만약 진공압이 너무 높다면, 추가적인 전자 소자가 시험대 로 들어올 수 있다. 이러한 상황은 모두 바람직하지 못하다.

도 1을 참조하면, 도 1에는 로딩 구역(13)으로 제어된 소정량의 진공을 제공하는 벤투리 발생기(50)가 도시된다. 바람직한 제1 실시예에서, 벤투리 발생기(50)가 압축 공기 라인(56)으로부터 공기를 수용하는 한, 벤투리 발생기(50)는 진공 라인(58)에 갖춰지는 진공에 대하여 독립적으로 작동할 수 있다. 압축 공기 라인(56)은 벤투리 발생기(50)으로 제공되는 공기를 제어할 수 있는 공기 조절기(52)로 압축공기를 전달하여, 로딩 구역(13)에서의 진공압을 조절한다. 바람직한 제1 실시예에서, 벤투리 발생기(50)는 로딩 구역(13)에 갖춰지는 시험대(24) 안으로 진공을 가져온다.

게이지(guage, 59)는 로딩 구역(13)의 진공압을 측정할 수 있고, 이에 의해 로딩 구역(13)에 갖춰진 진공압을 제어한다. 바람직한 제1 실시예에서, 대략적인 바람직한 진공압은 -2PSI이다. 그러므로, 로딩 구역(13)에 갖춰진 시험대(24)가 실질적으로 비어있을 때에는, 진공 요구 피크 및 공기 조절기(52)는 더 많은 압축 공기가 벤투리 발생기(50)로 들어가는 것을 허용할 것이다. 반대로, 로딩 구역(13)에서 시험대(24)가 거의 차있을 때에는, 바람직한 대략적인 -2PSI 압력을 달성하는 공기 흐름이 줄어들고, 그 결과 조절기(52)는 바람직한 -2PSI를 유지하도록 공기 흐름을 제한한다. 바람직한 제1 실시예에서, 벤투리 발생기(50)는 부품 번호 제CDF 500H호로서 Vaccon으로부터 입수 가능하다.

도 1을 계속하여 참조하면, 진공압은 시험 구역(15)에 제공되고, 블로우 오프 구역(17)은 진공 라인(58)을 이용하여 제공될 수 있다. 진공 라인(58)을 이용하 는 것보다는 오히려, 도시되지 않은 진공 펌프가 이용될 수도 있다. 시험 구역(15) 및 블로우 오프 구역(17)에서 대략적인 바람직한 진공압은 -5.8PSI이다. 진공압은 비례 밸브(60)를 이용함으로써 시험 구역(15) 및 로딩 구역(13)에서 제어될 수 있다.

하나 이상의 매니폴드(manifold, 61)는 진공압을 진공 채널 안으로 이송하는 데 이용될 수 있다.

도 6a 및 6b를 참조하면, 도 6a 및 6b에는, 벤투리 발생기(51)가 피크 요구 구간 동안 진공 펌프(62)에 의해 발생되는 진공압으로 선택적으로 부스트(boost)를 제공하는 데 이용될 수 있는 바람직한 제2 실시예가 도시된다. 이러한 피크 요구 구간은 상대적으로 복수의 개방된 시험대(24)를 구비하는 시험판이 원인이 될 수 있다. 더욱 상세하게, T조인트(T joint, 68)는 진공 라인(64)에 배치될 수 있다. T조인트(68)는 공압으로 벤투리 발생기(51)에 연결될 수 있다. 압축 공기 라인(57)은 압축 공기를 공기 조절기(53)로 전달할 수 있어서, 벤투리 발생기(51)에 의해 전달되는 진공의 양을 조절한다. 도 6a는 공기 흐름을 나타내는 어두운 선으로서 진공 라인을 도시한다. 도 6a에서, 진공 라인(65)은 어둡지 않으며, 벤투리 발생기(51)는 부스트를 제공하지 않는다. 도시된 바와 같이, 공기 조절기(53)가 폐쇄되기 때문에, 어떠한 진공 부스트도 제공되지 않는다. 도 6b는 부스트를 제공하는 벤투리 발생기(53)를 도시한다. 더욱 상세하게는, 공기 조절기(53)가 개방된 위치로 이동하되, 벤투리 발생기(51)는 추가적인 진공을 가져올 수 있다.

도 7을 참조하면, 도 7에는 바람직한 제1 실시예 또는 제2 실시예 또는 다른 실시예 둘 중에 하나에서 이용될 수 있는 시험판(21)과 고정된 진공판(31)의 상호 관계도가 도시된다. 시험판(21)은 종래 기술의 시험판(20)과 비교하였을 때 실질적으로 더 많은 수의 시험대(24)를 포함한다. 고정된 진공판(31)은 동심의 복수의 진공 채널(33)을 포함한다. 도시된 바와 같이, 동심의 복수의 진공 채널(33)은 로딩 구역(13), 시험 구역(15) 및 블로우 오프 구역(17)에 대응하는 별도의 섹션에 있다. 시험판(21)은 고정된 진공판(31) 위의 소자 핸들러 상에 설치될 수 있어서, 모든 시험대(25) 안으로 진공을 가져올 수 있다. 각각의 진공 채널(33)을 위한 3개의 별도의 섹션을 제공함으로써, 로딩 구역, 시험 구역 및 블로우 오프 구역에서의 진공압은 독립적으로 제어될 수 있다.

본 발명은 가장 실제적이고 바람직한 실시예를 현재 고려한 것과 연결하여 서술한 것이지만, 본 발명은 공개된 실시예에 한정되는 것이 아니며, 오히려 반대로, 첨부되는 특허청구범위의 사상 및 범위 내에 포함되는 다양한 변경과 균등한 배열을 포함하는 것이고, 상기 범주는 넓게 해석되는 것이 허용되어서, 법에서 허용되는 것과 같이 이러한 변경과 균등한 구조 모두가 포함된다.

Claims

진공판 및 시험판을 포함하되, 상기 진공판은 상기 진공판의 상부면에 배치된 복수의 진공 채널을 포함하고, 상기 시험판은 복수의 시험대를 포함하며, 상기 시험대는 각각 상기 시험판에 개구를 형성하고, 상기 시험판은 각각의 상기 시험대 안으로 진공압을 이송하도록 진공판에 대해 배치되는 것인 전자 소자 핸들러에 있어서,

복수의 진공 링크 채널이 상기 시험판 하측 상에 있으며, 각각의 상기 시험대에 링크되고,

상기 진공판에는 벤투리 발생기가 공압적으로 연결되며, 상기 복수의 진공 채널 중 하나 이상의 안으로 진공을 가져오도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러.
제1항에 있어서, 진공 공급원이 상기 진공판과 공압적으로 연결되고, 상기 벤투리 발생기는 피크 요구(peak demand) 동안 상기 진공 공급원을 보충하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러.
제2항에 있어서, 상기 진공 공급원은 진공 펌프인 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 진공 채널은 각각 불연속적이며, 적어도 로딩 구역과 시험 구역 및 블로우 오프 구역을 포함하는 다수의 구역으로 분리되는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러.
제4항에 있어서, 상기 로딩 구역에 대응하는 진공 채널에서의 진공압은, 상기 시험 구역 및 블로우 오프 구역에 대응하는 진공 채널에서의 진공압보다 작은 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러.
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 벤투리 발생기는 진공판으로의 진공압의 단독 공급원인 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러.
제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로딩 구역, 시험 구역 및 블로우 오프 구역의 각각에 대한 별도의 벤투리 발생기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러.
제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공압이 상기 로딩 구역, 시험 구역 및 블로우 오프 구역으로 동시에 공급되고,

하나 이상의 비례 밸브가 상기 시험 구역 및 블로우 오프 구역에서 상기 진공압을 제어하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러.
진공판 및 시험판을 포함하되, 상기 진공판은 상기 진공판의 상부면에 배치되는 복수의 진공 채널을 포함하고, 상기 시험판은 복수의 시험대를 포함하며, 상기 시험대는 각각 상기 시험판에 개구를 형성하고, 상기 시험판은 각각의 상기 시험대 안으로 진공압을 이송하도록 고정된 진공판에 대해 배치되는 것인 전자 소자 핸들러를 제어하는 방법에 있어서,

상기 진공판에 공압적으로 연결되는 벤투리 발생기를 이용하여 복수의 진공 채널 중 하나 이상의 안으로 진공을 가져오는 것으로서, 각각의 상기 시험대는 각각의 진공 채널에 상기 시험대를 연결하는 상기 시험판의 하측 상에 진공 링크 채널을 포함하고, 상기 복수의 진공 채널은 각각 로딩 구역, 시험 구역 또는 블로우 오프 구역으로 분리되는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러를 제어하는 방법.
제9항에 있어서, 상기 로딩 구역, 시험 구역 및 블로우 오프 구역으로 진공압을 동시에 공급하고,

상기 시험 구역 및 블로우 오프 구역과는 별개로 상기 로딩 구역의 진공압을 제어하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러를 제어하는 방법.
제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 벤투리 발생기와는 다른 진공 공급원을 이용하여 상기 로딩 구역, 시험 구역 및 블로우 오프 구역으로 진공압을 공급하고,

상기 벤투리 발생기를 이용하여 피크 요구 동안 상기 진공 공급원을 보충하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러를 제어하는 방법.
제9항 또는 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시험 구역 및 블로우 오프 구역에 대응하는 진공 채널에서의 진공압보다 낮은 압력으로 상기 로딩 구역에 대응하는 진공 채널에서의 진공압을 공급하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 핸들러를 제어하는 방법.