KR20090077036A - 동적 주사 자동 현미경 및 동적 주사 방법 - Google Patents

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KR20090077036A
KR20090077036A KR1020097004508A KR20097004508A KR20090077036A KR 20090077036 A KR20090077036 A KR 20090077036A KR 1020097004508 A KR1020097004508 A KR 1020097004508A KR 20097004508 A KR20097004508 A KR 20097004508A KR 20090077036 A KR20090077036 A KR 20090077036A
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야닝 주
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Abstract

본 발명은, 현미경 슬라이드 및 다른 상호 교환 가능 광경로 컴포넌트를 동적으로 주사하는 자동 현미경에 관한 것이다.
Figure P1020097004508
현미경 슬라이드, 현미경 슬라이드 스테이지, 자동 주사 현미경, 스테이지 액추에이터, 작동 에너지원, 전자 처리 디바이스, 광 컴포넌트, 캐루셀, 동기화 컨트롤러.

Description

동적 주사 자동 현미경 및 동적 주사 방법{DYNAMIC SCANNING AUTOMATIC MICROSCOPE AND METHOD}
본 발명은 동적 주사 자동 현미경 및 동적 주사 방법에 관한 것이다.
본 출원은 미국 가출원 제60/821,552로부터 우선권을 주장하며, 상기 가출원의 모든 내용 및 그 참조 내용은, 추가적 또는 다른 상세사항, 특징 및/또는 기술적 배경을 교시하기 위해 적절한 곳에서 원용에 의해 포함된다.
자동 현미경 기술이 의학 분야에 응용되고 있다. 예로서, 정위치 하이브리드 형성 형광(fluorescence in-situ hybridization), 즉 FISH 하에 놓였던 신체 조직의 분석은 염색체 이상(chromosomal abnormalities)의 진단에서 효율적인 툴이 되어 왔다. 조명에 의해 조사(irradiate)되었을 때, 하이브리드 형성되거나 본딩된 마커(marker)는, 소정의 파장으로 형광을 방사함으로써 DNA 사슬의 목표 부분을 식별한다. 이들 형광 돗트(dot)는 현미경 하에 검출될 수 있다. FISH 돗트를 세고, 여러 가지 색의 FISH 돗트의 분포를 판정함으로써 분석된다.
진단 FISH 광 돗트 카운팅은 종래에 숙련된 현미경 사용자에 의해 수동적으로 수행되었다. 돗트와 그 색을 올바르게 식별하는 것 외에도, 염색체의 상태를 올바르게 식별하기 위해 사이즈 및 형상 특성이 분류되어야 한다. 현상에 의해 부 과되는 시간상의 제한으로 인해 분석이 더욱 어렵게 된다. 따라서, 검사를 수행하기 위해 현미경 사용자는 끊임 없이 훈련하여야 한다. 최상의 상태에서도, 과정은 지루하고, 시간이 많이 걸리며, 인간의 오류가 생긴다는 것이 입증되었다.
자동화된 현미경 검사를 적용하면, 수동식 방식의 단점 중 많은 것을 극복할 가능성이 있다. 자동화 현미경은 조직 샘플에서 형광 돗트를 신뢰성 있게 식별하고, 돗트의 색을 정확하게 판정하며, 돗트를 형상 및 사이즈에 따라 분류하고, 조작자에 의해 발생하는 불가피한 주관적 요소가 개재되지 않은 상태에서 목표 상태의 존재 여부를 결정하는 데에 필요한 요약적 분석을 모두 신속히 수행할 수 있다.
자동화 현미경을 사용하는 조직 샘플의 검사에 필요한 프로토콜에 의하면, 관심의 대상이 되는 각각의 영역이 시야에 있도록, 시편을 포함하는 슬라이드가 위치될 필요가 있다. 그러나, 통상적으로, 현미경의 시야는 시편의 영역보다 현저하게 작다. 또한, 현미경의 슬라이드에 놓인 시편의 두께 및 깊이는 현미경의 촛점 깊이보다 현저하게 클 수 있다. 이들 요소들로 인해, 전체 샘플을 순차적으로 검사하기 위해 슬라이드를 포함하여 시편을 기계적으로 위치를 재설정하는 것이 필요하게 된다. 종래에 이러한 위치의 재설정은, 슬라이드를 3개의 직교축에서 이동시킬 수 있는 선형 액추에이터를 통상적으로 포함하는 현미경 스테이지에 의해 수행되었다.
작동시에, 시편을 포함하는 대물 슬라이드(subject slide)는 현미경 스테이지에 적재된다. 스테이지 액추에이터는 슬라이드를 현미경의 접안렌즈 아래에 위치시키고, 정위치에 고정 유지한다. X-축 및 Y-축 액추에이터는, 검사를 위해 선 택된 시야를 결정하고, Z-축은 촛점 평면을 결정한다. 다음에 샘플이 조명되고, 영상이 포착된다. 광 경로를 따라 삽입되는 필터 휠의 위치에 의해 결정된 각각의 파장에 대해 별개의 영상이 취해진다. 영상이 포착된 후, 스테이지는 슬라이드를 다음 고정 위치로 3차원으로 다시 재위치시키고, 다음 영상이 포착된다. 이러한 과정은, 전체 샘플이 촬영될 때까지 반복된다. 각각의 영상에 대해 슬라이드를 재위치시키고 유지하는 데에 필요한 시간은 중요할 수 있다. 또한, 각각의 시동/정지 재위치 이동은 기계적 진동을 야기시킨다. 진동을 감쇄시키기 위해, 각각의 이동 후에 시스템은 정지되어야 한다.
통상적 FISH 검사 프로토콜은 예를 들면 200 시편 슬라이드의 촬영 및 분석을 필요로 할 수 있다. 또한, 시편의 깊이로 인해, 영상은 통상적으로 9개의 촛점 평면과 3개의 파장 각각에서 취해져야 한다. 현미경의 작은 시야로 인해, 각각의 슬라이드의 각각의 촛점 평면 각각을 망라하기 위해 수십외의 슬라이드 x, y 위치설정이 필요할 수 있다. 따라서, 1회의 진단을 수행하기 위해 필요한 전체 시간은 수용할 수 없을 정도로 길게 될 수 있다. 따라서, 진단을 수행하는 데에 필요한 시간을 현저하게 감소시키는 것이 매우 바람직할 것이다.
본 명세서에 기술된 실시예에서, 검사를 수행하기 위해 필요한 시간 및 야기되는 진동을 현저히 감소시키고, 진단 결과를 제공할 수 있는 자동 현미경이 기술된다. 촬영 과정 동안에, 스테이지 및 칼라 필터는 종래의 방법에서 고정되어 있던 것과는 다르게 지속적으로 이동된다. 각각의 이동 부시스템 상에 있는 실시간 위치 센서는 스테이지 장착 슬라이드 및 칼라 필터 휠의 순간적 위치를 정확하게 전송한다. 컬라 필터 휠은 각각의 필터 파장, 각각의 촬영 위치 및 촛점 평면에서 영상을 포착할 수 있게 하기에 충분한 속도로 회전된다. 촬영 장치의 유효 셔터 속도는, 바람직한 영상이 기록될 수 있도록, 슬라이드와 칼라 휠의 이동을 "정지"시키기에 적합하다. 종래의 디지털 영상 처리 기술은 스테이지의 이동으로부터 발생하는 작은 측방향 변위를 교정하도록 사용될 수 있다.
본 요약은, 스테이지 및 칼라 휠만 포함하는 시스템을 기술하지만, 본 개념은 다른 상호 교환 가능 광경로 컴포넌트 및 조명원으로 용이하게 확장될 수 있다.
본 명세서에 기술된 실시예는, 3개의 직교축 각각에서 현미경 슬라이드를 연속적으로 위치시키도록 구성된 액추에이터를 포함하는 현미경 슬라이드 스테이지를 포함하는 자동 현미경, 현미경 슬라이드 상에 장착되는 시편을 연속적으로 조사하도록 위치되는 하나 이상의 조명 에너지원, 시편의 영상을 연속적으로 포착하도록 위치되는 하나 이상의 전자 촬영 디바이스, 상호 교환 가능 컴포넌트를 자동 현미경의 광축으로 연속적으로 주기적으로 삽입하도록 구성되는 하나 이상의 상호 교환 가능 컴포넌트 캐루셀(carousel), 하나 이상의 스테이지 액추에이터, 전자 처리 디바이스, 및 캐루셀에 작동 가능하게 연결되고 제어 신호를 연속적으로 발생시키며 원격 계측 자료를 수신하도록 작동 가능하게 구성되는 동기화 컨트롤러를 포함하는 동적 주사 자동 현미경 시스템을 포함한다. 실시예들은 또한, 상호 교환 가능 컴포넌트들이 필터, 렌즈, 조명원 및/또는 영상 포착원인 동적 주사 자동 현미경 시스템을 포함한다. 실시예는 또한, 영상 증배 디바이스를 더 포함할 수 있는 전자 촬영 디바이스를 포함하며, 시스템은 영상 처리기를 더 포함할 수 있다.
본 명세서에 기술된 실시예는, 동적 주사 현미경에서 현미경 슬라이드 상에 장착된 시편을 동적으로 주사하기 위한 방법으로서, 현미경은, 현미경 슬라이드 스테이지, 하나 이상의 조명 에너지원, 하나 이상의 전자 촬영 디바이스, 하나 이상의 상호 교환 가능 컴포넌트 캐루셀, 및 동기화 컨트롤러를 포함하고, 상기 방법은, 현미경 슬라이드 스테이지 상에 현미경 슬라이드를 장착시키는 단계, 동기화 컨트롤러에서 제어 신호를 발생시키고, 제어 신호를 상기 현미경 슬라이드 스테이지, 하나 이상의 조명 에너지원, 하나 이상의 전자 촬영 디바이스, 하나 이상의 상호 교환 가능 컴포넌트 캐루셀로 공급하는 단계, 상기 제어 신호에 따라 상기 현미경 슬라이드 스테이지를 소정 방식으로 이동시키는 단계, 제어 신호에 따라 캐루셀을 순환시키는 단계, 및 스테이지 또는 캐루셀이 이동하는 동안에 제어 신호에 따라 영상을 포착하는 단계를 포함하는, 시편을 동적으로 주사하기 위한 방법을 더 포함한다. 상기 방법은, 현미경 슬라이드 스테이지, 조명원, 전자 촬영 디바이스 및/또는 상호 교환 가능 컴포넌트 캐루셀로부터 동기화 컨트롤러로 원격 계측 자료(telemetry)를 송신하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 방법은 또한 영상 품질을 향상시키기 위해 영상 처리 기술을 사용하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 실시예는 다음의 도면의 도움을 받아 설명된다.
도 1은 동적 주사 자동 현미경의 실시예의 단순화된 도면이다.
도 2는 상호 교환 가능 필터 캐루셀(carousel)의 실시예의 단순화된 도면이 다.
도 3은 X, Y, Z축 선형 액추에이터들을 포함하는 현미경 슬라이드 스테이지의 실시예의 단순화된 도면이다.
도 4는 Z축 선형 액추에이터 및 부착된 슬라이드 홀더의 실시예의 단순화된 도면이다.
일 실시예에서, 자동화 현미경 시스템은, 슬라이드 위치 설정 스테이지, 및 광 경로로의 지속적 주기적 삽입을 가능하게 하는 상호 교환 가능 컴포넌트를 포함한다. 액추에이터 구동 캐루셀에 구성될 수 있는 이들 상호 교환 가능 컴포넌트는, 필터, 렌즈, 광 배플(baffle), 조명원 및/또는 촬영 디바이스를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 에피(epi-) 및 에포(epo-) 조명원들은 반사 및 전달 영상을 포착하기 위해 순환될 수 있다. 스테이지 및 상호 교환 가능 컴포넌트 각각의 위치 설정은 각각의 피드백-루프 제어 액추에이터에 의해 결정된다. 각각의 순간적 위치는 동기화 컨트롤러로 정확하고 정밀하게 송신된다.
작동시에, 시편 슬라이드는 스테이지에 적재된다. X축 및 Y축 선형 액추에이터는, 전체 시편 영역이 현미경의 시야 내에서 통과하도록, 슬라이드의 X, Y 위치를 조사할 수 있다. 동시에, 스테이지의 Z축 액추에이터는 슬라이드의 Z 위치를 주사할 수 있어, 현미경의 촛점 평면은 그에 대응하여, 관심의 대상이 되는 각각의 물체에 대한 "최적으로 촛점이 맞추어진" 촛점 평면을 포함하여 시편의 전체 깊이를 주사할 수 있다. 동시에, 영상을 얻기 위해 각각의 필터가 적절한 시간 동안 광 경로 내에 유지되도록, 선택된 필터를 포함하는 캐루셀이 회전된다. 영사 획득 노출 시간 및 대응 필터 삽입 시간은 스테이지의 이동을 "정지(freeze)"시키기에 충분하도록 짧다.
영상은 검사 프로토콜, 및 동기화 제어 발생기로부터 나오는 동기화 제어 신호에 기초하여 노출된다. 상호 교환 가능 컴포넌트 각각의 상태 및 스테이지의 순간적 위치는 각각의 노출에 대해 기록된다. 각각의 상호 교환 가능 필터를 통한 노출로부터 발생하는 별개의 파장의 영상이 결합되어 FISH 구조의 분석을 가능하게 한다. 결합되고 있는 영상의 등록은 종래의 영상 처리 기술을 사용하여 교정될 수 있다.
현미경 컴포넌트의 각각의 상대적 타이밍은 상호연관되고 동기화된다. 촬영 디바이스는 노출 시간(즉, 노출의 지속 시간) 및 노출간 사이클 시간(즉, 노출 사이의 시간)으로 특징된다. 이들 시간은 촬영 디바이스 기술에 의해 결정된다. 노출 시간은, 시편 슬라이드 및 필터 휠의 이동이 효율적으로 정지되는 것을 확실하게 하기에 충분히 짧아야 한다. 통상적으로, 시편의 각각의 이동에 대해 3회 이상의 노출이 취해져야 한다. 필터 휠이 회전될 때, 다음의 순차적 필터를 촬영 디바이스의 노출간 사이클 시간에 대응하는 시간 간격으로 광 경로 내에 위치시켜야 한다. 3개의 다른 파장에 대응하는 1개의 세트의 3개의 노출는 시편의 각각의 Z축 깊이에 대해 포착되어야 한다. 예를 들면, 1개의 x, y 위치에서 시편을 완전히 특징짓기 위해 9개의 촛점 평면에서의 영상이 필요할 수 있다. 따라서, 각각의 현미경 시야에 대해 총 27회의 노출이 필요할 것이다. z축 액추에이터는, 이들 타이밍 요구사항을 모두 만족시키는 이동을 제공하여야 한다. 시편을 완전히 촬영하기 위해 시편은 x, y 평면에서 주사되어야 한다. 따라서, x, y 평면에서의 주사 속도는 각각의 현미경 시야에 대해 27개의 영상이 포착될 수 있게 해야 한다. 여러 가지 이동에 따라 필요한 영상들 사이의 등록을 교정하기 위해 영상 처리가 사용될 수 있다.
일 실시예에서, 자동화 현미경의 측면도가 도 1에 도시되어 있다. 스테이지(100)는 시편 슬라이드를, 카세트 핸들러(110)에 장착되는 카세트로부터 현미경의 광축(120)으로 이송한다. 도 2에 도시된 바와 같은 상호 교환 가능 필터 캐루셀(130)은, 각각의 상호 교환 가능 필터(210)가 광축(120)에 위치될 수 있도록, 현미경에 위치된다. 필터 캐루셀(130)은 동기화된 모터(135)에 의해 회전된다.
전자 촬영 디바이스(140)는 광감성 전하 결합 디바이스(CCD) 또는 상보성 금속 산화물 반도체(CMOS) 소자 또는 광 영상을 전기 신호로 변환하기에 적합한 임의의 다른 기술의 다중 화소 평면 어레이일 수 있다. 저강도 검출은 영상 증배관(image intensifier) 및 유사한 기술을 사용하여 강화될 수 있다.
일 실시예에서, 스테이지는 도 3에 도시된 바와 같이 3개의 선형 액추에이터로 구성된다. 슬라이드 홀더 스테이지(290)는, 필요한 이동을 제공하기 위해 기계식으로 결합되는 3개의 직교 선형 액추에이터(310, 320, 330)로 구성된다. X축 선형 액추에이터(310)는, 모터(312)에 의해 구동되어 리드-스크루(lead-screw) 너트를 X축을 따라 이동시키는 리드 스크루 기구(311)이다. Y축 선형 액추에이터(320)는 X축 선형 액추에이터(310)의 리드 스크루 너트에 기계식으로 연결된다. Y축 선 형 액추에이터(320)는, 리드 스크루 너트(323)를 Y축을 따라 이동시키는 모터(322)에 의해 구동된다. Z축 선형 액추에이터(330)는 Y축 선형 액추에이터의 리드 스크루에 기계식으로 연결된다. 도 4에 도시된 바와 같은 Y축 선형 액추에이터는, 전기 제어 신호를 비례 선형 이동으로 변환시키는 압전 변환기(331)로 구성된다. 슬라이드 홀더 기저부(285)는 압전 변환기(331)에 기계식으로 고정되어, 전기 신호가 인가되면 Z축을 따라 선형 이동이 일어난다. 따라서, 슬라이드 홀더 기저부(285)는, 3개의 액추에이터에 적절한 신호를 인가함으로써 3개의 직교 좌표에 위치될 수 있다.
X축 선형 액추에이터(310) 및 Y축 선형 액추에이터(320)에 장착되는 Z축 선형 액추에이터(330)의 구성은, Z축 이동을 제공하기 위해 이동되어야 하는 질량을 최소화시키는 작용을 한다. Z축 주사 제어 신호는 정현파, 삼각형 또는 다른 적절한 형상을 가질 수 있어, 대응 이동을 발생시킨다. Z축 주사 제어 신호의 주파수는, 관심의 대상이 되는 주어진 시편 위치에 대해 각각의 바람직한 촛점 길이로 영상이 포착될 수 있게 하도록, X축 및 Y축 이동에 대해 충분히 높다.
이러한 실시예가 현미경 스테이지 및 칼라 필터 휠의 동적 주사를 제공하지만, 다른 실시예는, 영상 포착 디바이스, 조명원, 렌즈 및 광 배플에 한정되지는 않고 이들을 포함하는 다른 광 경로 컴포넌트 및 부-조립체를 주사하는 것을 제공한다. 광 컴포넌트를 주사하는 것에 더하여, 추가적 실시예는 온도, 전이 현상에 대한 경과 시간, 변하는 압력 등과 같은 실험 변수를 주사하는 것을 포함한다.
본 발명은 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 당업자는, 첨부된 청 구범위에 의해 정의된 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서 여러 가지 변경 및/또는 수정이 본 발명에 대해 이루어질 수 있다는 것을 쉽게 이해할 것이다. 본 명세서에 인용된 모든 문헌은 추가적 또는 다른 상세사항, 특징 및/또는 기술적 배경을 교시하기 위해 적절한 곳에 원용에 의해 포함되었다.

Claims (13)

  1. 현미경에서 위에 시편이 있는 현미경 슬라이드를 동적으로 주사하기 위한 방법으로서,
    상기 현미경은, 제어 신호에 따라 3개의 직교축에서 이동되도록 작동 가능하게 구성된 스테이지, 상기 시편을 작동시키는 작동원, 상기 시편의 작동에 의해 발생되는 신호로부터 영상을 발생시키도록 작동 가능하게 구성된 영상 포착 디바이스, 및 상기 시편의 작동에 의해 발생되는 상기 신호의 성질을 변경시키도록 디자인된 상호 교환 가능 광 컴포넌트의 캐루셀(carousel)을 포함하고,
    상기 방법은,
    상기 스테이지 상에 상기 현미경 슬라이드를 장착시키는 단계,
    상기 제어 신호에 따라 상기 스테이지를 소정 방식으로 이동시키는 단계,
    상기 제어 신호에 따라 상기 캐루셀을 순환시키는 단계, 및
    상기 영상 포착 디바이스에서, 상기 스테이지 또는 상기 캐루셀이 이동하는 동안에 상기 제어 신호에 따라 영상을 포착하는 단계
    를 포함하는, 현미경 슬라이드를 동적으로 주사하기 위한 방법.
  2. 3개의 직교축을 따라 이동될 수 있으며 위에 시편이 있는 현미경 슬라이드를 유지할 수 있도록 작동 가능하게 구성된 현미경 슬라이드 스테이지를 포함하는 자동 주사 현미경,
    액추에이터 제어 신호에 따라, 3개의 직교축 각각에서 상기 현미경 슬라이드를 동적으로 위치시키도록 작동 가능하게 구성된 하나 이상의 스테이지 액추에이터,
    상기 현미경 슬라이드 상에 장착된 시편을 조사(irradiate)하기 위해 상기 현미경 상에서 상기 시편에 대해 위치된 작동 에너지원,
    상기 현미경 슬라이드 상에 장착된 상기 시편의 상기 조사로부터 발생하는 광 정보를 처리하도록 위치된 전자 처리 디바이스,
    복수개의 광 컴포넌트를 수용하고 있는 캐루셀(carousel), 및
    상기 하나 이상의 스테이지 액추에이터, 상기 전자 처리 디바이스, 및 상기 캐루셀에 작동 가능하게 연결되어 있는 동기화 컨트롤러
    를 포함하며,
    상기 복수개의 광 컴포넌트 중 하나 이상이, 상기 전자 처리 디바이스에 이용 가능한 상기 광 정보를 상기 복수개의 광 컴포넌트 중 다른 것과는 구별되는 방식으로 변경시킬 수 있고,
    상기 캐루셀은 상기 전자 촬영 디바이스와 상기 스테이지 사이에 위치되어 있으며, 제어 신호를 수신할 때 상기 광 컴포넌트 중 하나를 상기 광 컴포넌트 중 다른 것과 주기적으로 상호 교환하도록 구성되어 있고,
    상기 동기화 컨트롤러는 상기 스테이지 액추에이터이 작동, 상기 전자 처리 디바이스, 및 상기 캐루셀의 이동을 동기화시키도록 작동 가능하게 구성되어 있는,
    동적 주사 자동 현미경 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 광 컴포넌트는 필터와 렌즈로 구성된 그룹으로부터 선택된, 동적 주사 자동 현미경 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 광 컴포넌트는 조명원인, 동적 주사 자동 현미경 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 광 컴포넌트는 영상 포착 디바이스인, 동적 주사 자동 현미경 시스템.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 현미경 슬라이드 스테이지와 작동 가능하게 결합된 실시간 위치 센서를 더 포함하는 동적 주사 자동 현미경 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 캐루셀과 작동 가능하게 결합된 실시간 위치 센서를 더 포함하는 동적 주사 자동 현미경 시스템.
  8. 동적 주사 현미경에서 현미경 슬라이드 상에 장착된 시편을 동적으로 주사하 기 위한 방법으로서,
    상기 현미경은, 현미경 슬라이드 스테이지, 하나 이상의 조명 에너지원, 하나 이상의 전자 촬영 디바이스, 하나 이상의 상호 교환 가능 컴포넌트 캐루셀, 및 동기화 컨트롤러를 포함하고,
    상기 방법은,
    상기 현미경 슬라이드 스테이지 상에 상기 현미경 슬라이드를 장착시키는 단계,
    상기 동기화 컨트롤러에서 제어 신호를 발생시키고, 상기 제어 신호를 상기 현미경 슬라이드 스테이지, 상기 하나 이상의 조명 에너지원, 상기 하나 이상의 전자 촬영 디바이스, 상기 하나 이상의 상호 교환 가능 컴포넌트 캐루셀로 공급하는 단계,
    상기 제어 신호에 따라 상기 현미경 슬라이드 스테이지를 소정 방식으로 이동시키는 단계,
    상기 제어 신호에 따라 상기 캐루셀을 순환시키는 단계, 및
    상기 스테이지 또는 상기 캐루셀이 이동하는 동안에 상기 제어 신호에 따라 영상을 포착하는 단계
    를 포함하는, 시편을 동적으로 주사하기 위한 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 현미경 슬라이드 스테이지로부터 상기 동기화 컨트롤러로 원격 계측 자 료(telemetry)를 송신하는 단계를 더 포함하는 시편을 동적으로 주사하기 위한 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 하나 이상의 조명 에너지원으로부터 상기 동기화 컨트롤러로 원격 계측 자료를 송신하는 단계를 더 포함하는 시편을 동적으로 주사하기 위한 방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 하나 이상의 전자 촬영 디바이스로부터 상기 동기화 컨트롤러로 원격 계측 자료를 송신하는 단계를 더 포함하는 시편을 동적으로 주사하기 위한 방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 하나 이상의 상호 교환 가능 컴포넌트 캐루셀로부터 상기 동기화 컨트롤러로 원격 계측 자료를 송신하는 단계를 더 포함하는 시편을 동적으로 주사하기 위한 방법.
  13. 제9항에 있어서,
    영상 품질을 향상시키기 위해 영상 처리 기술을 사용하는 단계를 더 포함하는 시편을 동적으로 주사하기 위한 방법.
KR1020097004508A 2006-08-04 2007-08-03 동적 주사 자동 현미경 및 동적 주사 방법 KR20090077036A (ko)

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