KR20090056136A - Preliminary dispensing apparatus of slit coater - Google Patents

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KR20090056136A
KR20090056136A KR1020070123163A KR20070123163A KR20090056136A KR 20090056136 A KR20090056136 A KR 20090056136A KR 1020070123163 A KR1020070123163 A KR 1020070123163A KR 20070123163 A KR20070123163 A KR 20070123163A KR 20090056136 A KR20090056136 A KR 20090056136A
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slit coater
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장범권
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

A preliminary dispensing apparatus of a slit coater is provided to lower manufacturing costs by performing preliminary dispensing of a nozzle successively and repetitively and to facilitate maintenance and administration of the apparatus itself. A preliminary dispensing apparatus of a slit coater includes a supporting plate(100) providing contact surface which is movable to a straight line in a state being connected with the discharge edge of the slit nozzle(10); a spray nozzle spraying cleansing solution to the upper surface of the supporting plate; a wiper(300) which wipes off washing solution while moved in a state being connected the upper surface of the supporting plate; and a reservoir(400) installed at the lower part by including a space part storing cleansing solution flowing from the upper side of the supporting plate and is installed at the lower side of the supporting plate.

Description

슬릿코터의 예비토출장치{Preliminary dispensing apparatus of slit coater}Preliminary dispensing apparatus of slit coater

본 발명은 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 슬릿코터을 이용하여 도포하기 직전에 슬릿코터의 토출단부에 괴어있던 도포액을 예비토출시키는 데 사용되는 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a preliminary discharging apparatus for a slit coater, and more particularly, to a preliminary discharging apparatus for a slit coater used for preliminary discharging of the coating liquid stuck to the discharge end of the slit coater immediately before application using the slit coater. will be.

슬릿코터는 슬릿노즐을 이용하여 평판형의 기판에 도포액을 도포하는 장치로, 슬릿노즐 토출단부에 위치하는 도포액은 슬릿노즐을 이용한 도포공정 사이의 대기시간 동안 공기와의 접촉에 의해 농도가 보다 상승하게 되는데, 그대로 다음 도포공정으로 도입되어 기판에 도포액을 공급하게 되면, 도포액의 농도 및 도포막의 두께가 균일하지 못하여 불량이 발생하게 된다.The slit coater is a device for applying a coating liquid to a flat substrate using a slit nozzle. The coating liquid located at the discharge end of the slit nozzle has a concentration due to contact with air during the waiting time between the coating processes using the slit nozzle. When the concentration of the coating liquid and the thickness of the coating film are not uniform, defects may occur.

종래에는 이러한 원인으로 인한 도포막의 불량을 방지하기 위하여, 슬릿노즐에 접속된 상태로 롤러를 회전시킴으로써 도포 직전에 슬릿노즐 내에 괴어있는 도포액을 버리는 예비토출을 행하고 롤러를 세정액으로 세정시키는 작동구조를 가지는 예비토출장치 다수가 개시되어 있다.Conventionally, in order to prevent defects of the coating film due to such a cause, by operating the roller in the state connected to the slit nozzle, a preliminary ejection of discarding the coating liquid stuck in the slit nozzle is performed and the roller is cleaned with a cleaning liquid. Many pre-discharge devices have been disclosed.

이러한 예비토출장치로써 대한민국특허청 공개특허공보 제2004-41012호의 슬 릿 코팅기의 예비 토출장치에 대해 간단히 설명하기로 한다. 도 1은 상기 종래기술의 구조를 도시한 개략도이다.As the preliminary ejection device, the preliminary ejection device of the slit coater of the Republic of Korea Patent Publication No. 2004-41012 will be briefly described. Figure 1 is a schematic diagram showing the structure of the prior art.

상기 종래기술은 세척액을 보유하는 세척조(11)와, 상기 세척조(11) 내에 배치되어 토출노즐(9)로부터 도포액을 표면에 부착시켜 제거하는 회전롤러(12)와, 상기 회전롤러(12)의 표면을 향해 세척액을 분출하는 샤워노즐(15, 18, 21)과, 회전롤러의 표면에 건조가스를 분출하는 가스분출노즐(16)과, 회전롤러의 표면에 부착되어 있는 도포액을 긁어서 떨어뜨리는 스퀴즈(17, 20)와, 상기 세척조(11) 내에서 상기 회전롤러(12)에 접촉하는 브러쉬롤러(19)를 구비한 구조를 가진다.The prior art is a washing tank 11 having a washing liquid, a rotating roller 12 disposed in the washing tank 11 to remove the coating liquid from the discharge nozzle 9 by attaching it to the surface, and the rotating roller 12 The shower nozzles 15, 18 and 21 for spraying the cleaning liquid toward the surface of the roller, the gas ejection nozzle 16 for ejecting dry gas to the surface of the rotating roller, and the coating liquid attached to the surface of the rotating roller are scraped off. The squeeze 17 and 20 to stir, and the brush roller 19 in contact with the rotary roller 12 in the washing tank 11 has a structure.

종래에는 상기와 같이 회전롤러(12)상에의 도포액의 예비토출과 상기 회전롤러(12)의 세척이 동시에 지속적으로 이루어지도록 하기 위해서, 상기 회전롤러(12)의 명확한 세척을 위해 세척조(11), 다수의 샤워노즐(15, 18, 21) 및 스퀴즈(17, 20), 가스분출노즐(16), 브러쉬롤러(19)를 구비한 복잡한 구조를 가짐에 따라 예비토출장치의 제작에 고가의 비용이 소요되었다.Conventionally, in order to ensure that the preliminary discharge of the coating liquid on the rotary roller 12 and the washing of the rotary roller 12 are continuously performed at the same time as described above, the washing tank 11 for clear washing of the rotary roller 12 is performed. ), A large number of shower nozzles (15, 18, 21) and squeeze (17, 20), gas ejection nozzles (16), brush rollers (19) has a complex structure, which is expensive to manufacture a pre-discharge device It cost.

또한, 상기 구성요소 중 하나의 구성요소라도 손상되거나 기능이 원활하지 못하면 예비토출 및 세척기능이 제대로 이루어질 수 없어 큰 손실이 발생하게 되므로, 사용자가 다수의 구성요소 전부를 유지`관리하는 데 노력을 기울여야 하는 불편함이 있었다.In addition, if one component of the above components are damaged or not functioning properly, the preliminary discharging and cleaning functions may not be performed properly, resulting in a large loss, and the user may try to maintain all the components. There was an inconvenience to pay.

그리고, 상기 세척조(11)내로 도입되는 도포액이 많아질수록 상기 세척조(11)내에 수용된 세정액의 오염이 가중되는데, 상기 세척조(11)내에 수용된 세정액의 오염정도에 따라 세정성능 또한 차이가 발생하게 되며, 세정액이 지정농도 이 상으로 오염되면 상기 회전롤러(12)의 세척이 제대로 이루어질 수 없어 세정액을 정기적으로 공급 및 교체 처리시켜 주어야 하는데 그때마다 상기 세척조(11) 내에 수용된 세정액의 전체의 교체가 이루어져야 함에 따른 비용부담 또한 크다는 문제점이 있었다.In addition, as the coating liquid introduced into the washing tank 11 increases, the contamination of the washing liquid contained in the washing tank 11 is increased, and the cleaning performance also varies according to the degree of contamination of the washing liquid contained in the washing tank 11. If the cleaning solution is contaminated above the designated concentration, the washing of the rotary roller 12 cannot be performed properly. Therefore, the cleaning solution must be regularly supplied and replaced. Whenever the cleaning solution contained in the cleaning tank 11 is replaced, There was also a problem in that the cost burden was also great.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 슬릿노즐의 예비토출이 이루어짐에 있어서 보다 간단한 구조로써 구현가능하며, 세정액의 지속적인 교체처리가 이루어질 필요가 없어 유지`관리 또한 용이하게 이루어질 수 있는 슬릿코터의 예비토출장치를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention devised to solve the problems as described above, the preliminary discharge of the slit nozzle can be implemented with a simpler structure, it does not have to be made a continuous replacement process of the cleaning solution can be easily maintained An object of the present invention is to provide a preliminary discharge device for a slit coater.

상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 발명은, 슬릿노즐의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동가능한 접속면을 제공하는 받침판; 상기 받침판 상면측으로 세정액을 분사하는 세정액분사노즐; 상기 받침판 상면에 접속된 채로 왕복이동하며 세정액을 닦아내는 와이퍼; 상기 받침판의 상면으로부터 흘러내리는 세정액을 수용가능한 공간부를 구비하여 상기 받침판 하측에 설치되는 수용조;를 포함하여 구성되는 슬릿코터의 예비토출장치를 기술직 요지로 한다.The present invention for achieving the above object is a support plate for providing a connection surface that is linearly movable in the state that the discharge end of the slit nozzle is connected; A cleaning liquid spray nozzle for spraying a cleaning liquid on an upper surface of the support plate; A wiper for wiping the cleaning liquid while reciprocating while being connected to the upper surface of the support plate; The preliminary discharging device of the slit coater comprising a; the receiving tank is provided on the lower side of the support plate provided with a space for accommodating the cleaning liquid flowing down from the upper surface of the support plate.

여기서, 상기 받침판의 측면에는 상기 와이퍼의 진행방향을 따라 연장형성되며 일측으로 경사진 형상의 골이 형성되어 있는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the side of the support plate is formed extending in the direction of the wiper and the bone of the inclined shape to one side.

그리고, 상기 받침판의 측면에는 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상의 골이 형성되어 있는 것이 바람직하다.And, it is preferable that the side of the support plate is formed with a valley of the shape that narrows toward the lower side.

또한, 상기 세정액분사노즐은, 상기 와이퍼의 진행방향의 전방부에 결합되어 상기 와이퍼와 함께 이동되는 것이 바람직하다.In addition, the cleaning liquid spray nozzle is preferably coupled to the front portion of the moving direction of the wiper is moved together with the wiper.

그리고, 상기 와이퍼는, 상기 받침판 상면을 가로방향으로 가로지르도록 연 장형성되어 상기 받침판의 상면에 접속되는 세정부; 상기 세정부의 양단부에 결합되며, 상기 세정부가 일정한 이동경로로 이동가능하도록 지정경로를 따라 연장형성된 레일상에 하단부가 결합되는 이동지지부;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The wiper may include a washing unit extending to cross the upper surface of the supporting plate in a horizontal direction and connected to the upper surface of the supporting plate; And a moving support part coupled to both ends of the cleaning part and having a lower end coupled to a rail extending along a designated path such that the cleaning part is movable in a predetermined movement path.

또한, 상기 와이퍼는, 상기 와이퍼의 진행방향과 사선을 이루도록 연장형성되는 것이 바람직하다.In addition, the wiper is preferably extended so as to form an oblique line with the traveling direction of the wiper.

그리고, 상기 수용조는, 내부에 수용된 세정액이 배출되는 배출공이 하단부에 형성되며, 하단부가 상기 배출공 측으로 갈수록 하향경사진 형상을 가지는 것이 바람직하다.And, the receiving tank, it is preferable that the discharge hole for discharging the cleaning liquid contained therein is formed in the lower end, the lower end has a shape inclined downward toward the discharge hole side.

또한, 세정액의 휘발공기를 흡입하여 배기시키는 배기모듈;을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.In addition, the exhaust module for sucking and exhausting the volatile air of the cleaning liquid; preferably further comprises a.

여기서, 상기 배기모듈은, 유해가스를 흡입하여 외부로 배기하는 배기포트; 상기 배기포트측으로 공기흐름을 유도하도록 공기를 분사하는 송풍포트;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.Here, the exhaust module, the exhaust port for sucking the harmful gas and exhaust to the outside; It is preferably configured to include; a blowing port for injecting air to induce air flow to the exhaust port side.

상술한 바와 같은 구성에 의한 본 발명은, 받침판, 세정액분사노즐, 와이퍼, 수용조로 이루어진 간단한 구조로써 노즐의 예비토출이 연속적, 반복적으로 이루어질 수 있도록 함으로써, 예비토출장치의 제작원가를 낮출 수 있을 뿐 아니라, 장치 자체의 유지 및 관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다는 효과가 있다.The present invention by the above-described configuration, a simple structure consisting of a backing plate, cleaning liquid spray nozzle, wiper, the receiving tank can be made to continuously and repeatedly the pre-discharge of the nozzle, it can only lower the manufacturing cost of the pre-discharge device In addition, there is an effect that the maintenance and management of the device itself can also be easily made.

또한, 노즐을 받침판 상면에 인접하게 위치시킨 상태에서 노즐의 위치를 이 동조정시킴으로써 노즐의 예비토출이 명확하게 이루어질 수 있으며, 받침판 상면에 세정액을 분사하고 와이퍼로 닦아냄으로써 받침판 상면을 예비토출이 이루어지기 전과 동일한 초기상태로 되돌릴 수 있다는 다른 효과가 있다.In addition, by dislocating the nozzle adjacent to the upper surface of the support plate, the nozzle can be clearly discharged by preliminarily discharging the nozzle, and the preliminary discharge of the upper plate is made by spraying a cleaning liquid on the upper surface of the support plate and wiping with a wiper. There is another effect of returning to the same initial state as before losing.

그리고, 와이퍼에 의해 밀려난 세정액 및 도포액을 수용조에 수집하여 일괄적으로 배출처리시키는 작동구조를 가짐으로써, 수용조에 수집된 세정액의 오염상태를 관리하거나 수용조 내에 수용된 세정액을 지속적으로 교체 및 공급해야하는 부담이 없으며, 세정액으로 인한 주변기기의 오염 또한 방지시킬 수 있어 유지`관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다는 다른 효과가 있다.And, by having a working structure to collect the cleaning liquid and the coating liquid pushed by the wiper in the container and discharged collectively, to manage the contamination of the cleaning liquid collected in the container or to continuously replace and supply the cleaning liquid contained in the container There is no burden, and there is another effect that maintenance can be easily performed because it can also prevent contamination of peripheral devices due to the cleaning liquid.

또한, 배기모듈을 구비하여, 세정액 및 도포액의 휘발로 인해 생성되는 유해가스를 장치 외부로 배기시킬 수 있어 안전한 작업환경을 조성할 수 있다는 다른 효과가 있다.In addition, by providing an exhaust module, it is possible to exhaust the harmful gas generated by the volatilization of the cleaning liquid and the coating liquid to the outside of the apparatus has another effect that can create a safe working environment.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명을 다음의 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도 2는 본 발명에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제1실시예를 도시한 정면개략도이고, 도 3은 도 2의 평면개략도이며, 도 4는 도 2의 측면개략도이고, 도 7은 받침판 측면에 형성된 골의 다른 실시예를 도시한 측면도이다.The present invention having the configuration as described above will be described in detail with reference to the following drawings. Figure 2 is a front schematic view showing a first embodiment of the preliminary ejection apparatus of the slit coater according to the present invention, Figure 3 is a plan schematic view of Figure 2, Figure 4 is a side schematic view of Figure 2, Figure 7 is a backing plate side Side view showing another embodiment of the valley formed in the.

본 발명에 따른 슬릿코터의 예비토출장치는 크게 받침판(100), 세정액분사노즐(200), 와이퍼(300), 수용조(400)로 이루어지며, 상기 받침판(100) 상면에 슬릿노즐(10)의 토출단부를 접속시킨 상태로 이동시키면서 예비토출이 이루어지고, 도포액이 도포된 상기 받침판(100)의 상면에 상기 세정액분사노즐(200)로 세정액을 분사하며, 상기 와이퍼(300)로 닦아내고, 상기 받침판(100)의 상면으로부터 밀려난 세정액 및 도포액은 상기 수용조(400)에 담겨지게 되는 작동구조를 가진다.The preliminary discharging device of the slit coater according to the present invention is composed of a support plate 100, a cleaning liquid spray nozzle 200, a wiper 300, a receiving tank 400, the slit nozzle 10 on the upper surface of the support plate 100. The preliminary discharging is performed while the discharging end of the discharging end is connected, and the cleaning liquid is sprayed onto the upper surface of the support plate 100 to which the coating liquid is applied, and the cleaning liquid is sprayed onto the upper surface of the support plate 100, and wiped off with the wiper 300. The cleaning liquid and the coating liquid pushed out from the upper surface of the support plate 100 have an operating structure to be contained in the receiving tank 400.

상기 받침판(100)은 슬릿노즐(10)의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동가능한 접속면을 제공하는 구성요소로, 이하에서는 상기 슬릿노즐(10)이 상기 받침판(100)을 도포대상물로 하여 도포가 이루어질 수 있을 정도로 상기 받침판(100) 상면과 거리를 둔 상태를 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부와 받침판(100)이 접속된 상태라고 하기로 한다.The support plate 100 is a component that provides a connection surface that can be linearly moved with the discharge end of the slit nozzle 10 connected. Hereinafter, the slit nozzle 10 uses the support plate 100 as an application object. The state where the distance from the upper surface of the support plate 100 so that the coating can be made will be referred to as a state in which the discharge end of the slit nozzle 10 and the support plate 100 is connected.

상기 받침판(100)은 상기 슬릿노즐(100)의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동될 수 있고, 상기 슬릿노즐(100)이 직선이동되는 동안 상기 받침판(100) 상면과 일정한 이격거리를 유지할 수 있도록 상면이 평탄한 형상을 가지며, 상기 슬릿노즐(10)은 상기 받침판(100)에 접속된 상태에서 이동된 변위만큼 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부측에 위치한 도포액의 예비토출이 이루어지게 된다.The support plate 100 may be linearly moved in a state where the discharge end of the slit nozzle 100 is connected, and the support plate 100 may maintain a constant distance from the upper surface of the support plate 100 while the slit nozzle 100 is linearly moved. The upper surface has a flat shape so that the slit nozzle 10 is preliminarily discharged of the coating liquid located on the discharge end side of the slit nozzle 10 by the displacement moved in the state connected to the support plate 100. .

상기 슬릿노즐(10)이 상기 받침판(100)의 상면 중 일측에 치우치도록 초기위치를 가지는 상태에서 상기 슬릿노즐(10)이 예비토출을 위한 지정된 이동변위로 이동가능하도록, 상기 받침판(100)의 상면은 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출을 위한 지정된 이동변위 이상의 가로폭을 가지도록 형성된다.The support plate 100 so that the slit nozzle 10 is movable at a designated movement displacement for preliminary discharge in a state in which the slit nozzle 10 has an initial position to be biased to one side of the upper surface of the support plate 100. The upper surface of the slit nozzle 10 is formed to have a width greater than the specified movement displacement for preliminary discharge of the slit nozzle (10).

예비토출이 이루어지면서 상기 받침판(100)의 상면에 남겨진 도포액은 상기 세정액분사노즐(200)과 와이퍼(300)(이하 설명)의 작동에 의해 세정이 이루어지게 되는데, 상기 받침판(100) 상면에 분사된 세정액은 상기 받침판(100) 상면에 토출된 도포액과 혼합된 상태로 상기 와이퍼(300)에 밀려 상기 받침판(100)의 측면을 타고 흘러내리게 된다.While the preliminary discharge is made, the coating liquid left on the upper surface of the support plate 100 is cleaned by the operation of the cleaning liquid spray nozzle 200 and the wiper 300 (to be described below), and on the upper surface of the support plate 100. The sprayed cleaning liquid is pushed by the wiper 300 in a mixed state with the coating liquid discharged on the upper surface of the support plate 100 to flow down the side of the support plate 100.

상기 받침판(100)의 측면이 밋밋한 수직형으로 형성되면 세정액이 상기 받침판(100) 측면 전반에 걸쳐 불규칙적으로 흘러내리게 되는데, 상측으로부터 흘러내리는 세정액의 흐름을 일정한 형태로 이루어지도록 유도하면, 상기 받침판(100)의 세척 시 세척시켜야 할 면적이 줄어들어 세척작업이 보다 용이하게 이루어질 수 있을 뿐 아니라, 상기 세정액의 수집 및 배출처리 또한 보다 깔끔하고 명확하게 이루어질 수 있다.When the side of the support plate 100 is formed in a flat vertical shape, the cleaning liquid is randomly flowed down over the side of the support plate 100. When the flow of the cleaning liquid flowing down from the upper side is made to have a constant shape, the support plate ( In the washing of 100), the area to be cleaned is reduced, so that the washing operation can be performed more easily, and the collection and discharge treatment of the cleaning liquid can also be made more clearly and clearly.

도 5는 상기와 같이 상기 받침판(100)의 측면을 흘러내리는 세정액의 흐름이 일정한 형태로 이루어질 수 있도록 상기 받침판(100)의 측면에 일정한 형상의 골(이하 흐름유도홈(110)이라 한다)을 형성시킨 다수의 실시예를 도시한 것이다.5 is a valley of a certain shape (hereinafter referred to as flow guide groove 110) on the side of the support plate 100 so that the flow of the cleaning liquid flowing down the side of the support plate 100 as described above in a predetermined form. Many embodiments are shown.

상기 흐름유도홈(110)이 도 4 및 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 와이퍼(300)의 진행방향을 따라 연장형성되며 일측으로 하향 경사지게 형성되면, 상측으로부터 흘러내리던 세정액이 상기 흐름유도홈(110)으로 도입이 이루어지게 되면 더이상 수직방향으로 흘러내리지 않고 상기 흐름유도홈(110)을 따라 하향 경사진 단부측으로 일정하게 그 흐름이 유도되어지게 된다.When the flow guide groove 110 is formed to extend along the traveling direction of the wiper 300 and are inclined downward toward one side as shown in FIGS. 4 and 5 (a), the cleaning liquid flowing down from the upper side is flowed. When introduced into the guide groove 110 is no longer flow in the vertical direction, the flow is constantly guided to the end side inclined downward along the flow guide groove 110.

도 5의 (b)는 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상으로 형성된 실시예를 도시한 것으로, 상기 받침판(100) 상단 전반으로부터 흘러내리던 세정액이 상기 흐름유도홈(110)으로 도입이 이루어지게 되면서 상기 흐름유도홈(110)의 저면부를 타고 자연히 상기 흐름유도홈(110)의 좁아진 하부경로측으로 흐름이 유도되어 상기 흐름유도홈(110)의 좁은 하단부를 통해서만 일정하게 흘러내리게 된다.Figure 5 (b) shows an embodiment formed in a shape that narrows toward the lower side, the cleaning liquid flowing down from the entire upper end of the support plate 100 is introduced into the flow guide groove 110 is made Naturally, the flow is guided to the narrower lower path side of the flow guide groove 110 by riding the bottom of the flow guide groove 110 so that it flows uniformly only through the narrow bottom end of the flow guide groove 110.

도 5의 (c)에 도시된 실시예는 도 5의 (a), (b)에 도시된 실시예들을 복합적용시킨 것으로 상부는 도 5의 (b)에 도시된 실시예와 같이 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상으로 형성되고, 하부는 폭이 좁아진 각각의 단부가 하나로 연결되도록 도 5의 (a)에 도시된 실시예와 같은 형상으로 형성되며, 도 5의 (d)는 도 5의 (c)와 동일한 흐름유도형태를 가지나 도포액이 유선형의 곡면을 타고 흘러내릴 수 있도록 형성시킨 실시예를 도시한 것이다.The embodiment shown in (c) of FIG. 5 is a combination of the embodiments shown in (a) and (b) of FIG. 5, and the upper portion thereof is gradually lowered as in the embodiment shown in (b) of FIG. 5. It is formed in a narrower shape, the lower portion is formed in the same shape as the embodiment shown in Fig. 5 (a) so that each narrower end is connected to one, and (d) of FIG. It shows an embodiment having the same flow guide form as c) but formed so that the coating liquid flows down the streamlined curved surface.

상기 받침판(100)은 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출이 이루어질 수 있는 접속면을 제공한다면, 직육면체 형상으로 형성되거나, 정단면이 하부 너비가 큰 사다리꼴로 이루어져 측면부가 경사형성되거나, 상판과 상판을 지지하는 다리부로 이루어지는 다양한 실시예들을 포함하여 어떠한 형태나 구조로 이루어져도 무방하다.The support plate 100 is provided in the form of a rectangular parallelepiped, or if the front end surface is formed in a trapezoid with a large lower width, if the slit nozzle 10 provides a connection surface for the preliminary discharge, or the top plate and the top plate It may be made of any shape or structure, including various embodiments consisting of a leg portion for supporting.

상기 받침판(100) 상측에서 상기 슬릿노즐(10)을 이동시킴으로써 예비토출이 이루어지고 나면, 다음 예비토출이 이루어지기 이전에 상기 받침판(100) 상면에 도포된 도포액을 닦아내어 상기 받침판(100) 상면을 초기의 깔끔한 상태로 복귀시키는 받침판세정공정이 이루어지게 된다.After the preliminary ejection is made by moving the slit nozzle 10 from the upper support plate 100, the backing plate 100 is wiped by wiping the coating liquid applied to the upper surface of the support plate 100 before the next preliminary ejection is made. Support plate cleaning process is performed to return the upper surface to the initial neat state.

상기 세정액분사노즐(200)은 상기 받침판(100) 상면으로부터 도포액을 씻어내기 위해 도포액을 녹여낼 수 있는 용제인 세정액을 상기 받침판(100) 상면측으로 분사하는 구성요소이며, 상기 와이퍼(300)는 상기 받침판(100) 상면에 접속된 채로 왕복이동하면서 도포액을 녹여 혼합된 상태의 세정액을 닦아내고 상기 받침판(100)의 측면부 측으로 밀어내어 상기 받침판(100)의 상면으로부터 세정액, 도포액과 같은 오염물질을 제거하는 구성요소이다.The cleaning liquid spray nozzle 200 is a component that sprays a cleaning liquid, which is a solvent capable of dissolving the coating liquid, to wash the coating liquid from the upper surface of the supporting plate 100, onto the upper surface of the supporting plate 100, and the wiper 300. While dissolving the coating liquid while reciprocating while being connected to the upper surface of the supporting plate 100, the cleaning liquid in the mixed state is wiped off and pushed to the side of the supporting plate 100 to contaminate the cleaning liquid and the coating liquid from the upper surface of the supporting plate 100. It is a component that removes substances.

상기 세정액분사노즐(200)은 상기 와이퍼(300)와 별도로 제작되어 상기 와이퍼(300)와 독립적으로 이동되며 세정액을 분사시킬 수도 있으며, 상기 와이퍼(300)의 진행방향의 전방부에 결합되어 상기 와이퍼(300)와 함께 이동되면서 세정액을 분사시킬 수도 있고, 상기 와이퍼(300)에 결합됨에 있어서는 상기 와이퍼(300)의 왕복이동을 고려하여 상기 와이퍼(300)의 전방부 및 후방부 양측에 결합될 수도 있다.The cleaning liquid spray nozzle 200 may be manufactured separately from the wiper 300 to move independently of the wiper 300 and spray the cleaning liquid, and may be coupled to the front portion of the wiper 300 in the traveling direction of the wiper 300. The cleaning solution may be injected while being moved together with the 300, and when coupled to the wiper 300, the wiper 300 may be coupled to both the front and rear sides of the wiper 300 in consideration of the reciprocating movement of the wiper 300. have.

상기 와이퍼(300)는 상기 받침판(100) 상면을 가로방향으로 가로지르도록 연장형성되어 상기 받침판(100)의 상면에 직접적으로 접속이 이루어지게 되는 세정부(310)와, 상기 세정부(310)를 일정한 경로로 이동시킬 수 있도록 지지하는 이동지지부(320)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The wiper 300 is formed to extend across the upper surface of the support plate 100 in the transverse direction to be directly connected to the upper surface of the support plate 100 and the cleaning unit 310, the cleaning unit 310 It is preferably configured to include a moving support 320 to support to move in a predetermined path.

상기 세정부(310)는 상기 받침판(100)을 상면을 가로방향으로 가로지름에 있어서 진행방향에 수직되는 방향으로 연장형성되면, 상기 세정부(310)가 상기 받침판(100) 상면의 가로폭에 해당되는 폭으로 상기 받침판(100)의 상면과 접속이 이루어질 수 있으며, 상기 세정부(310)의 전방에 도포 내지 분사되어 있던 세정액이 상기 세정부(310)의 전방단면에 부딪혀 상기 세정부(310)의 진행방향의 좌,우양측으로 밀려나게 된다.When the cleaning unit 310 is formed to extend in the direction perpendicular to the traveling direction in the transverse cross-section of the upper plate in the horizontal direction, the cleaning unit 310 in the horizontal width of the upper surface of the base plate 100 The upper surface of the support plate 100 may be connected to the upper surface of the support plate 100, and the cleaning liquid applied or sprayed to the front of the cleaning part 310 hits the front end surface of the cleaning part 310, so that the cleaning part 310 is closed. ) Will be pushed to the left and right of the direction of travel.

상기 세정부(310)가 도 3에 도시된 바와 같이 진행방향과 사선을 이루도록 설치되면, 상기 받침판(100)이 진행방향에 수직되는 방향으로 설치된 상기 실시예와 비교하여, 상기 세정부(310)가 상기 받침판(100)의 상면과 보다 확장된 너비로 접속이 이루어질 수 있어 세정성능을 보다 향상시킬 수 있으며, 상기 세정부(310) 의 전방단면에 부딪힌 세정액이 주로 상기 세정부(310)의 좌, 우 양단부 중 보다 후방측에 위치하는 측으로 밀려나게 된다.When the cleaning unit 310 is installed to be diagonal to the traveling direction as shown in FIG. 3, the cleaning unit 310 is compared with the embodiment in which the support plate 100 is installed in a direction perpendicular to the traveling direction. The upper surface of the support plate 100 can be connected to a wider width can be improved to improve the cleaning performance, the cleaning liquid hit the front end surface of the cleaning unit 310 mainly left of the cleaning unit 310 And, it is pushed to the side located in the rear side rather than the right end part.

상기 이동지지부(320)는 상기 세정부(310)의 이동이 일정하게 이루어질 수 있도록 상기 세정부(310)상에 결합된다면 특정한 형상이나 구조로 제한되지 않으나, 일단부가 상기 세정부(310)의 좌, 우 양단부(진행방향 기준)에 각각 결합되고 상기 세정부(310)가 일정한 이동경로로 이동가능하도록 지정경로를 따라 연장형성된 레일(600)상에 타단부가 결합되는 구조를 가지는 가지는 것이 바람직하다.The moving support part 320 is not limited to a specific shape or structure if coupled to the cleaning part 310 so that the movement of the cleaning part 310 is made constant, but one end thereof is left of the cleaning part 310. It is preferable to have a structure in which the other end is coupled to each of the right ends (based on the direction of travel) and the other end is coupled to the rail 600 extending along the designated path so that the cleaning part 310 is movable in a predetermined movement path. .

상기 수용조(400)는 상기 받침판(100)의 상면으로부터 흘러내리는 세정액을 수용가능한 공간부를 구비하여 상기 받침판(100) 하측에 설치되는 구성요소로, 상기 와이퍼(300)에 의해 상기 받침판(100)의 상면으로 부터 밀려난 세정액은 상기 받침판(100)의 측면을 타고 흘러내려 최종적으로는 상기 수용조(400)에 담겨지게 된다.The receiving tank 400 is a component installed below the supporting plate 100 by having a space portion for accommodating the cleaning liquid flowing down from the upper surface of the supporting plate 100, and the supporting plate 100 by the wiper 300. The washing liquid pushed out of the upper surface of the washing liquid flows down the side of the support plate 100 and finally is contained in the receiving tank 400.

상기 수용조(400)에는 내부에 수용된 세정액이 배출되는 배출공(410)이 하단부에 형성되어, 상기 수용조(400) 내부에 세정액이 지정용량만큼 수용되면 상기 배출공(410)을 통해 일정한 배출경로로 배출이 이루어지거나 상시배출이 이루어지도록 하며, 상기 배출공(410)을 통해 배출이 원활하게 이루어질 수 있도록 상기 수용조(400)를 상기 배출공(410)이 위치한 측으로 갈수록 하향 경사지는 하단면 형상을 가지도록 형성하는 것이 바람직하다.The receiving tank 400 has a discharge hole 410 for discharging the cleaning liquid contained therein is formed at the lower end, and when the cleaning liquid is accommodated in the receiving tank 400 by a predetermined capacity, a predetermined discharge through the discharge hole 410 The discharge is made to the path or the regular discharge is made, and the lower surface inclined downward toward the side where the discharge hole 410 is located so that the discharge can be made smoothly through the discharge hole (410) It is preferable to form so as to have a shape.

본 발명에 따른 슬릿코터의 예비토출장치는, 상기 받침판(100), 세정액분사노즐(200), 와이퍼(300), 수용조(400)로 이루어진 간단한 구조로써 상기 슬릿노 즐(10)의 예비토출이 연속적, 반복적으로 이루어질 수 있도록 함으로써, 스퀴즈, 샤워노즐, 가스분출노즐, 브러쉬롤러와 같은 다수의 구성요소를 복합적으로 구비하여야 하던 기존의 구조와 비교하여 예비토출장치의 제작원가를 낮출 수 있을 뿐 아니라, 다수의 구성요소를 지속적으로 유지`관리해야하는 불편함을 줄여 장치 자체의 유지 및 관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다는 효과가 있다.The preliminary discharging device of the slit coater according to the present invention has a simple structure consisting of the support plate 100, the cleaning liquid spray nozzle 200, the wiper 300, the receiving tank 400, and preliminary discharging of the slit nozzle 10. By making this continuous and repetitive, the manufacturing cost of the preliminary discharging device can be lowered as compared with the existing structure, which had to be provided with a plurality of components such as squeeze, shower nozzle, gas ejection nozzle, and brush roller. In addition, there is an effect that the maintenance and management of the device itself can also be easily made by reducing the inconvenience of having to continuously maintain a plurality of components.

그리고, 상기 와이퍼(300)에 의해 밀려난 세정액 및 도포액을 상기 수용조(400)에 수집하여 일괄적으로 배출처리시키는 작동구조를 가짐으로써, 상기 수용조(400)에 수집된 세정액의 오염상태를 관리하거나 상기 수용조(400) 내에 수용된 세정액을 지속적으로 교체 및 공급해야하는 부담이 없으며, 세정액으로 인한 주변기기의 오염 또한 방지시킬 수 있어 유지`관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다.And, by having a working structure to collect the cleaning liquid and the coating liquid pushed by the wiper 300 in the receiving tank 400 in a batch discharge treatment, the contamination state of the cleaning liquid collected in the receiving tank 400 There is no burden to manage or continuously replace and supply the cleaning solution contained in the receiving tank 400, it can also prevent the contamination of the peripheral device due to the cleaning solution can be easily maintained.

도포액의 희석제 및 용제로써 사용되는 세정액은 현기증, 메스꺼움, 구토 등의 증상을 야기시키는 인체에 유해한 자극적인 증기를 생성하게 되는데, 상기와 같이 세정액의 분사 및 배출처리가 이루어지는 동안에 휘발되어 생성된 유해가스를 강제흡입하여 배기 및 제거시킬 수 있는 배기모듈(500)을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The cleaning liquid used as a diluent and solvent of the coating liquid generates irritating vapors that are harmful to the human body causing symptoms such as dizziness, nausea and vomiting. The harmful substances generated by volatilization during the injection and discharge treatment of the cleaning liquid as described above are generated. It is preferably configured to include an exhaust module 500 capable of forcibly sucking and exhausting and removing gas.

상기 배기모듈(500)은 유해가스를 강제흡입하여 외부로 배기시키는 배기포트(510)와, 세정액의 외부노출이 주요하게 이루어지게 되는 상기 받침판(100) 내지 수용조(400)로부터 발산되는 유해가스의 공기흐름을 상기 배기포트(510)측으로 적극적으로 유도하도록 공기를 분사하는 송풍포트(520)를 구비하는 것이 바람직하다.The exhaust module 500 is an exhaust port 510 for forcibly sucking harmful gas and exhausting it to the outside, and harmful gas emitted from the support plate 100 or the receiving tank 400 in which the external exposure of the cleaning liquid is mainly performed. It is preferable to have a blowing port 520 for injecting air to actively guide the air flow toward the exhaust port 510 side.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 설명한 것으로, 본 발명은 이 러한 실시예에 한정되는 것이 아니고 상기 실시예들을 기존의 공지기술과 단순히 조합적용한 실시예와 함께 본 발명의 특허청구범위와 상세한 설명에서 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 변형하여 이용할 수 있는 균등한 기술범위를 당연히 포함한다고 보아야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to these embodiments, and the claims and detailed description of the present invention together with the embodiments in which the above embodiments are simply combined with existing known techniques. It should be seen that naturally include the equivalent technical scope that can be modified and used by those skilled in the art to which the present invention pertains.

도 1 - 종래기술에 따른 슬릿 코팅기의 예비 토출장치를 도시한 개략도1-a schematic diagram showing a preliminary ejection device of a slit coater according to the prior art

도 2 - 본 발명에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제1실시예를 도시한 정면개략도2 is a front schematic view showing a first embodiment of a preliminary ejection device for a slit coater according to the present invention;

도 3 - 도 2의 평면개략도3-a top schematic view of FIG.

도 4 - 도 2의 측면개략도4-side schematic view of FIG.

도 7 - 받침판 측면에 형성된 골의 다른 실시예를 도시한 측면도7-side view showing another embodiment of a valley formed on the side of the backing plate;

<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols Used in Drawings>

10 : 슬릿노즐 100 : 받침판 10: slit nozzle 100: support plate

110 : 흐름유도홈 200 : 세정액분사노즐 110: flow guide groove 200: cleaning liquid spray nozzle

300 : 와이퍼 310 : 세정부 300: wiper 310: cleaning unit

320 : 이동지지부 400 : 수용조 320: moving support 400: receiving tank

410 : 배출공 500 : 배기모듈 410: discharge hole 500: exhaust module

510 : 배기포트 520 : 송풍포트 510: exhaust port 520: blowing port

600 : 레일 600: rail

Claims (9)

슬릿노즐의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동가능한 접속면을 제공하는 받침판;A support plate providing a connection surface which is linearly movable with the discharge end of the slit nozzle connected; 상기 받침판 상면측으로 세정액을 분사하는 세정액분사노즐;A cleaning liquid spray nozzle for spraying a cleaning liquid on an upper surface of the support plate; 상기 받침판 상면에 접속된 채로 왕복이동하며 세정액을 닦아내는 와이퍼; 및A wiper for wiping the cleaning liquid while reciprocating while being connected to the upper surface of the support plate; And 상기 받침판의 상면으로부터 흘러내리는 세정액을 수용가능한 공간부를 구비하여 상기 받침판 하측에 설치되는 수용조;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치A preliminary discharging device of the slit coater, comprising: a receiving tank provided at a lower side of the supporting plate, having a space portion accommodating the cleaning liquid flowing down from the upper surface of the supporting plate. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 받침판의 측면에는 상기 와이퍼의 진행방향을 따라 연장형성되며 일측으로 경사진 형상의 골이 형성되어 있음을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치Preliminary discharging device of the slit coater is formed on the side surface of the support plate is formed extending along the direction of the wiper and inclined to one side 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 받침판의 측면에는 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상의 골이 형성되어 있음을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치Preliminary discharging device of the slit coater, characterized in that the side of the support plate is formed a valley of the narrow shape toward the lower side 제 1항에 있어서, 상기 세정액분사노즐은,The method of claim 1, wherein the cleaning liquid spray nozzle, 상기 와이퍼의 진행방향의 전방부에 결합되어 상기 와이퍼와 함께 이동됨을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치Preliminary discharging device of the slit coater characterized in that coupled to the front portion of the wiping direction of the moving direction moves with the wiper 제 1항에 있어서, 상기 와이퍼는,The method of claim 1, wherein the wiper, 상기 받침판 상면을 가로방향으로 가로지르도록 연장형성되어 상기 받침판의 상면에 접속되는 세정부;A cleaning unit extending to cross the upper surface of the supporting plate in a horizontal direction and connected to the upper surface of the supporting plate; 상기 세정부의 양단부에 결합되며, 상기 세정부가 일정한 이동경로로 이동가능하도록 지정경로를 따라 연장형성된 레일상에 하단부가 결합되는 이동지지부;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치A preliminary discharging device of the slit coater, comprising: a moving support part coupled to both ends of the cleaning part, the lower end being coupled to a rail extending along a designated path such that the cleaning part is movable in a predetermined movement path 제 1항에 있어서, 상기 와이퍼는,The method of claim 1, wherein the wiper, 상기 와이퍼의 진행방향과 사선을 이루도록 연장형성됨을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치Preliminary discharging device of the slit coater, characterized in that extending to form a diagonal line with the direction of the wiper 제 1항에 있어서, 상기 수용조는,The method of claim 1, wherein the receiving tank, 내부에 수용된 세정액이 배출되는 배출공이 하단부에 형성되며, 하단부가 상기 배출공 측으로 갈수록 하향경사진 형상을 가짐을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치A discharge hole for discharging the cleaning liquid contained therein is formed in the lower end, and the preliminary discharging device of the slit coater, characterized in that the lower end has a shape inclined downward toward the discharge hole side. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 세정액의 휘발공기를 흡입하여 배기시키는 배기모듈;을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치Preliminary discharge device of the slit coater, characterized in that it further comprises; an exhaust module for sucking and exhausting the volatile air of the cleaning liquid 제 8항에 있어서, 상기 배기모듈은,The method of claim 8, wherein the exhaust module, 유해가스를 흡입하여 외부로 배기하는 배기포트;An exhaust port for sucking harmful gas and exhausting it to the outside; 상기 배기포트측으로 공기흐름을 유도하도록 공기를 분사하는 송풍포트;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치And a blower port for injecting air to induce airflow toward the exhaust port side.
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