KR20090053982A - Transferring guide device for display susbstrate - Google Patents

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KR20090053982A
KR20090053982A KR1020070120603A KR20070120603A KR20090053982A KR 20090053982 A KR20090053982 A KR 20090053982A KR 1020070120603 A KR1020070120603 A KR 1020070120603A KR 20070120603 A KR20070120603 A KR 20070120603A KR 20090053982 A KR20090053982 A KR 20090053982A
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Abstract

본 발명은 기판의 이송시 기판을 좌우 정렬 상태로 가이드하는 디스플레이 기판 이송 가이드 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display substrate transfer guide device for guiding the substrate in a left-right alignment state when transferring the substrate.

본 발명의 구성은, 기판의 저면을 지지하는 이송롤러를 구비하며 회전 구동되어 상기 기판을 이송하는 기판 이송축과, 상기 기판의 좌측 모서리와 우측 모서리에 각각 대응하는 위치에서 복수의 상기 기판 이송축에 구비되는 풀리와, 상기 풀리에 권취되어 상기 기판 이송축의 회전에 연동하며 상기 이송되는 기판의 좌/우측 모서리를 지지하되 기판과의 접촉부위가 경사면으로 형성된 가이드 부재를 포함하여 이루어진다.A configuration of the present invention includes a substrate feed shaft having a feed roller for supporting a bottom surface of a substrate and rotationally driven to feed the substrate, and a plurality of substrate feed shafts at positions corresponding to left and right edges of the substrate, respectively. And a guide member wound on the pulley and interlocked with the rotation of the substrate transfer shaft to support left and right edges of the substrate being transferred, but having a contact portion formed with an inclined surface.

본 발명에 따르면, 경사면으로 형성된 가이드 부재에 의해 디스플레이 기판이 가이드되므로, 이송되는 기판의 측면 모서리와 접하는 부위에서 발생하는 마모와 손상이 최소화된다. 따라서, 본 발명에서는 가이드 부재의 교체 주기가 종래보다 길어짐으로써 기판 이송 장비 운용의 비용이 절감된다.According to the present invention, the display substrate is guided by the guide member formed in the inclined surface, thereby minimizing wear and damage occurring at the portion in contact with the side edge of the substrate to be transferred. Therefore, in the present invention, the replacement cycle of the guide member is longer than in the prior art, thereby reducing the cost of operating the substrate transfer equipment.

기판 이송, 샤프트, 가이드, 벨트, 풀리, 경사면, 마모 Board Transfer, Shaft, Guide, Belt, Pulley, Slope, Wear

Description

디스플레이 기판 이송 가이드 장치{Transferring guide device for display susbstrate}Display board transfer guide device {Transferring guide device for display susbstrate}

본 발명은 디스플레이 기판을 공정 챔버로 또는 공정 챔버 내에서 이송하는 기판 이송장치에 관한 것으로서, 특히 기판의 이송시 기판을 좌우 정렬 상태로 가이드하는 디스플레이 기판 이송 가이드 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a display substrate to or within a process chamber, and more particularly, to a display substrate transfer guide apparatus for guiding a substrate in a left-right alignment state when transferring the substrate.

평판 디스플레이 패널과 같은 디스플레이 기판의 제조시 기판에 패턴을 형성하기 위해 증착, 세정, 건조, 식각, 노광 등과 같은 다양한 공정들이 수행된다. 그리고, 이러한 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 공정 챔버에서 이루어지며, 기판은 기판이송장치에 의해 각각의 공정 챔버로 이송된다.Various processes such as deposition, cleaning, drying, etching, exposure, and the like are performed to form a pattern in a substrate in manufacturing a display substrate such as a flat panel display panel. And, most of these processes are performed in a process chamber for performing the corresponding process, and the substrate is transferred to each process chamber by the substrate transfer device.

첨부도면 도 1은 종래의 디스플레이 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다. 도 1에 나타난 바와 같이 종래의 기판 이송장치는, 기판(S)의 이송경로를 따라 병렬로 배치된 다수의 기판 이송축(1)들과, 각각의 기판 이송축(1)에 설치되어 기판(S)의 저면을 지지하면서 기판(S)을 이송하는 다수의 이송롤러(2)들과, 기판 이송축(1)의 양단을 회전 가능하게 지지하는 기판이송 프레임(3), 그리고 기판 이송축(1)에 회전 구동력을 제공하는 구동부(도시되지 않음)를 구비하고 있다. 아울러, 상기 프레임(3)에는 기판(S)의 좌우 측면 모서리와 대향하는 부위에 기판(S)의 좌우 측면 모서리를 지지하는 가이드 롤러(4)들이 설치되어 있다. 이에 따라, 구동부의 회전 구동에 의해 회전하는 기판 이송축(1) 상의 이송롤러(2)에 기판(S)이 놓여지면 기판(S)이 이송롤러(2) 상에서 기판이송경로를 따라 수평이송되며, 이때 기판(S)의 좌우 측면 모서리는 가이드 롤러(4)에 의해 지지됨에 따라 좌우 정렬된 상태를 유지할 수 있게 된다.1 is a perspective view showing a conventional display substrate transfer device. As shown in FIG. 1, a conventional substrate transfer apparatus includes a plurality of substrate transfer shafts 1 arranged in parallel along a transfer path of a substrate S and each substrate transfer shaft 1. A plurality of feed rollers 2 for transporting the substrate S while supporting the bottom surface of S, a substrate transport frame 3 for rotatably supporting both ends of the substrate transport shaft 1, and a substrate transport shaft ( It is provided with the drive part (not shown) which provides rotation drive force to 1). In addition, the frame 3 is provided with guide rollers 4 for supporting the left and right side edges of the substrate S at portions facing the left and right side edges of the substrate S. Accordingly, when the substrate S is placed on the feed roller 2 on the substrate feed shaft 1 which is rotated by the rotational drive of the driving unit, the substrate S is horizontally transferred along the substrate feed path on the feed roller 2. At this time, the left and right side edges of the substrate S are maintained by the guide roller 4 so that the left and right side edges may be aligned.

위와 같이 구성된 종래의 디스플레이 기판 이송장치에서, 상기 가이드 롤러(4)는 이송되는 기판(S)의 좌우 측면 모서리와 접하면서 회전할 수 있도록 원주형 구조로 이루어져 있다. 그런데, 이러한 구조의 가이드 롤러(4)는 그 원주면에 기판(S)의 모서리 전체가 반복하여 지속적으로 접촉하기 때문에 해당 원주면이 쉽게 마모되거나 손상되는 문제가 있다. 따라서, 기판(S)과 접촉하는 원주면의 마모와 손상으로 인해 가이드 롤러(4)의 교체 주기가 짧아지고, 이는 기판 이송 장비 운용의 비용증가를 초래하는 문제가 되고 있다.In the conventional display substrate transfer apparatus configured as described above, the guide roller 4 has a columnar structure to rotate while contacting the left and right side edges of the substrate (S) to be transferred. By the way, the guide roller 4 of this structure has a problem that the circumferential surface is easily worn or damaged because the entire edge of the substrate (S) is continuously contacted with the circumferential surface repeatedly. Therefore, the replacement cycle of the guide roller 4 is shortened due to wear and damage of the circumferential surface in contact with the substrate S, which causes a problem of increasing the cost of operating the substrate transfer equipment.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은, 이송되는 디스플레이 기판의 측면 모서리와 접하는 부위에서 발생하는 마모와 손상이 최소화되는 디스플레이 기판 이송 가이드 장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a display substrate transfer guide device in which wear and damage occurring at a portion contacting a side edge of a display substrate to be transferred are minimized. Is in.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판의 저면을 지지하는 이송롤러를 구비하며 회전 구동되어 상기 기판을 이송하는 기판 이송축과, 상기 기판의 좌측 모서리와 우측 모서리에 각각 대응하는 위치에서 복수의 상기 기판 이송축에 구비되는 풀리와, 상기 풀리에 권취되어 상기 기판 이송축의 회전에 연동하며 상기 이송되는 기판의 좌/우측 모서리를 지지하되 기판과의 접촉부위가 경사면으로 형성된 가이드 부재를 포함하여 이루어진 디스플레이 기판 이송 가이드 장치를 개시한다.The present invention for achieving the above object is provided with a feed roller for supporting the bottom surface of the substrate is rotated and driven to transfer the substrate and a plurality of positions at positions corresponding to the left and right edges of the substrate, respectively A pulley provided on the substrate feed shaft of the substrate, and a guide member wound around the pulley to support rotation of the substrate feed shaft and supporting left / right edges of the substrate being conveyed, the contact member having an inclined surface in contact with the substrate. Disclosed is a display substrate transfer guide device.

여기서, 상기 가이드 부재는 벨트 또는 체인으로 구체화될 수 있다.Here, the guide member may be embodied as a belt or a chain.

그리고, 상기 가이드 부재의 경사면에는 배수구가 형성될 수 있다.In addition, a drain hole may be formed on the inclined surface of the guide member.

또, 상기 풀리는 인접하는 두 개의 기판 이송축에 각각 좌우 한 쌍으로 구비되거나, 세 개 이상의 기판 이송축 상에 상기 가이드 부재가 배치되도록 원격 위치의 기판 이송축에 각각 좌우 한 쌍으로 구비될 수 있다.In addition, the pulley may be provided in a pair of left and right each on two adjacent substrate transfer shafts, or may be provided in a pair of left and right respectively on the substrate transfer shaft in a remote position so that the guide member is disposed on three or more substrate transfer shafts. .

또한, 상기 풀리와 상기 가이드 부재의 접촉면에는 가이드 부재의 슬립을 방지하기 위한 슬립방지수단이 구비되는 것이 바람직하며, 이 슬립방지수단은 톱니로 실시될 수 있다.In addition, the contact surface between the pulley and the guide member is preferably provided with slip preventing means for preventing the slip of the guide member, the slip preventing means may be implemented with a tooth.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 디스플레이 기판의 측면 모서리 부분과 접촉 면적이 작은 경사면으로 형성된 가이드 부재에 의해 기판이 가이드되므로, 이송되는 기판의 측면 모서리와 접하는 부위에서 발생하는 마모와 손상이 최소화된다. 따라서, 본 발명에서는 가이드 부재의 교체 주기가 종래보다 길어짐으로써 기판 이송 장비 운용의 비용이 절감된다.According to the present invention configured as described above, the substrate is guided by the guide member formed in the inclined surface having a small contact area with the side edge portion of the display substrate, thereby minimizing wear and damage occurring at the portion in contact with the side edge of the substrate being transported. . Therefore, in the present invention, the replacement cycle of the guide member is longer than in the prior art, thereby reducing the cost of operating the substrate transfer equipment.

또, 본 발명에서 풀리와 가이드 부재는 기판 이송축에 설치되어 기판 이송축의 회전에 연동하기 때문에 구동 속도가 항상 일정하게 된다. 따라서, 본 발명은 기판의 이송 속도에 맞추어 기판을 안정적으로 가이드할 수가 있다.In addition, in the present invention, the pulley and the guide member are installed on the substrate feed shaft and interlock with the rotation of the substrate feed shaft so that the driving speed is always constant. Therefore, this invention can guide a board | substrate stably according to the conveyance speed of a board | substrate.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. It doesn't happen.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예가 적용된 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2에 적용된 가이드 부재와 풀리에 대한 분해 사시도이다.2 is a perspective view illustrating a substrate transfer apparatus to which a preferred embodiment of the present invention is applied, and FIG. 3 is an exploded perspective view of a guide member and a pulley applied to FIG. 2.

도 2 및 도 3에 나타난 바와 같이, 기판 이송 장치는 디스플레이 기판(S)을 이송하기 위한 수단으로서, 좌·우 대칭으로 마련된 기판 이송 프레임(10)과, 이 기판 이송 프레임(10)에 양단부가 회전 가능하게 설치되어 기판 이송 방향으로 회전하게 되는 다수의 기판 이송축(20)들, 이 기판 이송축(20)의 축상에 설치되어 이송되는 기판(S)의 저면을 지지하는 다수의 이송롤러(30)들, 그리고 기판(S)의 좌/우측 모서리를 지지할 수 있도록 기판 이송축(20)에 설치된 풀리(40)와 가이드 부재(50)를 구비하고 있다. 이러한 기판 이송 장치에서 본 실시예에 따른 기판 이송 가이드 장치는 구체적으로 다음과 같이 이루어진다.As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the substrate transfer apparatus is a means for transferring the display substrate S, and both ends of the substrate transfer frame 10 are provided in a symmetrical manner. A plurality of substrate feed shafts 20 rotatably installed to rotate in the substrate feed direction, and a plurality of feed rollers supporting the bottom surface of the substrate S to be installed and conveyed on the shaft of the substrate feed shaft 20 ( 30 and a pulley 40 and a guide member 50 provided on the substrate feed shaft 20 so as to support the left and right edges of the substrate S. In the substrate transfer apparatus, the substrate transfer guide apparatus according to the present embodiment is specifically made as follows.

먼저, 상기 기판 이송축(20)은 기판 이송 프레임(10)에 양단부가 베어링 블록(11)으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 도면에 도시되지 않은 회전구동모터에 의해 기판 이송 방향으로 회전하게 된다.First, both ends of the substrate transfer shaft 20 are rotatably installed in the substrate transfer frame 10 as the bearing block 11. And, it is rotated in the substrate transfer direction by the rotation drive motor not shown in the figure.

상기 이송롤러(30)는 기판 이송축(20)의 축상에 설치되는데, 기판(S) 이송시 기판(S)의 저면과 접촉함으로써 기판(S)의 저면을 지지하게 된다.The feed roller 30 is installed on the axis of the substrate feed shaft 20, and the substrate S supports the bottom surface of the substrate S by contacting the bottom surface of the substrate S when the substrate S is transferred.

상기 풀리(40)는 기판(S)의 좌측 모서리와 우측 모서리에 각각 대응하는 위치에서 복수의 기판 이송축(20)에 구비된다. 그리고, 상기 가이드 부재(50)는 풀리(40)에 권취되어 기판 이송축(20)이 회전할 때 이에 연동하여 기판(S)의 좌/우측 모서리를 지지함으로써, 기판(S)이 이송 경로 상에서 좌우 정렬되도록 한다. 이 가이드 부재(50)의 예로는 벨트 또는 체인을 들 수 있다. 특히, 가이드 부재(50)는 기판(S)과의 접촉부위가 경사면(51)으로 이루어져 있는데, 이 때문에 기판(S)과 접촉하는 면적이 작아서 기판(S)에 의한 마모와 손상이 최소화된다.The pulleys 40 are provided on the plurality of substrate transfer shafts 20 at positions corresponding to the left and right edges of the substrate S, respectively. In addition, the guide member 50 is wound around the pulley 40 to support the left and right edges of the substrate S in association with the rotation of the substrate transfer shaft 20, thereby allowing the substrate S to move on the transfer path. Be sure to align it. An example of this guide member 50 is a belt or a chain. In particular, the guide member 50 is in contact with the substrate (S) is made of the inclined surface 51, for this reason the area in contact with the substrate (S) is small, thereby minimizing wear and damage by the substrate (S).

본 실시예에서, 상기 풀리(40)는 앞뒤로 인접하고 있는 두 개의 기판 이송축(20)에 각각 좌우 한 쌍으로 구비되어 있으며, 상기 가이드 부재(50)는 이들 풀리(40)에 권취되어 있다.In this embodiment, the pulleys 40 are provided in pairs left and right, respectively, on the two substrate transfer shafts 20 adjacent to the front and rear, and the guide member 50 is wound around these pulleys 40.

기판 이송축(20)의 회전 구동시 가이드 부재(50)가 슬립되지 않도록 풀리(40)와 가이드 부재(50)의 접촉면에는 슬립방지수단(40a,50a)이 구비되어 있다. 이 슬립방지수단(40a,50a)은 본 실시예에서 톱니로 구체화되어 있다.Slip preventing means 40a and 50a are provided on the contact surface between the pulley 40 and the guide member 50 so that the guide member 50 does not slip when the substrate feed shaft 20 is rotated. These slip preventing means 40a, 50a are embodied by teeth in this embodiment.

가이드 부재(50)의 경사면(51)에는 홈이나 호울 형태의 배수구(51a)가 형성될 수가 있는데, 이는 세정공정에서 기판(S)을 경사 상태로 이송하는 경우에 세정수 혹은 세정액이 배출될 수 있도록 하기 위한 것이다.The inclined surface 51 of the guide member 50 may be formed with a groove or a hole drain 51a, which may be discharged when the substrate S is transferred to the inclined state in the cleaning process. It is to ensure that.

상기와 같이 구성된 본 발명에서 기판 이송 가이드는 다음과 같이 이루어진다.In the present invention configured as described above, the substrate transfer guide is made as follows.

먼저, 기판 이송 프레임(10)에 설치된 기판 이송축(20)이 회전구동모터(도시되지 않음)에 의해 회전 구동됨에 따라, 기판 이송축(20) 상에 설치되어 있는 이송롤러(30)가 기판 이송축(20)과 함께 회전하게 되고, 이송롤러(30)에 로딩된 기판(S)은 이송롤러(30)에 의해 저면부가 지지되면서 기판 이송 경로를 따라 이송된다.First, as the substrate transfer shaft 20 installed on the substrate transfer frame 10 is rotationally driven by a rotation driving motor (not shown), the transfer roller 30 installed on the substrate transfer shaft 20 is substrate. The substrate S is rotated together with the feed shaft 20, and the substrate S loaded on the feed roller 30 is transported along the substrate transfer path while the bottom portion is supported by the feed roller 30.

이때, 이송되는 기판(S)의 좌측 모서리와 우측 모서리에 각각 대응하는 위치 에서 기판 이송축(20)에 설치되어 있는 풀리(40)도 기판 이송축(20)과 함께 회전하게 된다. 또한, 풀리(40)에 권취되어 있는 가이드 부재(50) 역시 풀리(40)에 연동하여 회전 구동된다. 따라서, 이송롤러(30)에 의해 이송되는 기판(S)의 좌·우측 모서리는 각각 가이드 부재(50)에 접하게 되는데, 특히 도 4에서 볼 수 있는 바와 같이 가이드 부재(50)의 경사면(51) 상에 기판(S)의 모서리가 접촉한 상태로 지지된다. 이와 같이 기판(S)의 좌/우측 모서리가 가이드 부재(50)에 의해 지지됨으로써, 기판(S)이 이송 경로 상에서 좌우 정렬된다.At this time, the pulley 40 installed on the substrate transfer shaft 20 also rotates together with the substrate transfer shaft 20 at positions corresponding to the left and right edges of the substrate S being transferred. In addition, the guide member 50 wound around the pulley 40 is also driven to rotate in conjunction with the pulley 40. Therefore, the left and right edges of the substrate S conveyed by the feed roller 30 are in contact with the guide member 50, respectively, and as shown in FIG. 4, the inclined surface 51 of the guide member 50 is shown. The edge of the board | substrate S is supported on the state in contact with it. Thus, the left / right edges of the board | substrate S are supported by the guide member 50, and the board | substrate S is left-right aligned on a conveyance path | route.

더욱이, 기판(S)의 모서리와 접촉하는 가이드 부재(50)의 해당 부위가 경사면(51)으로 이루어져 있기 때문에, 가이드 부재(50)와 기판(S)의 접촉 면적이 작아서 기판(S)에 의한 가이드 부재(50)의 마모와 손상이 최소화된다.Moreover, since the corresponding part of the guide member 50 which contacts the edge of the board | substrate S consists of the inclined surface 51, the contact area of the guide member 50 and the board | substrate S is small, and the board | substrate S Wear and damage of the guide member 50 is minimized.

한편, 도 5는 본 발명의 다른 실시예가 적용된 기판 이송 장치를 나타내고 있는데, 여기서는 여섯 개의 기판 이송축(20') 상에 가이드 부재(50')가 배치되도록 풀리(40')가 원격 위치의 기판 이송축(20')에 각각 좌우 한 쌍으로 구비된 구조로 개시되어 있다.On the other hand, Figure 5 shows a substrate transfer apparatus to which another embodiment of the present invention is applied, wherein the pulley 40 'is positioned at a remote position so that the guide member 50' is disposed on the six substrate transfer shafts 20 '. Disclosed is a structure provided with a pair of left and right respectively on the feed shaft (20 ').

이와 같이, 풀리(40')는 전술한 실시예에서와 같이 인접하는 두 개의 기판 이송축(20')에 설치되어 가이드 부재(50')로 연결되는 구조로 개시될 수도 있지만, 본 실시예에서와 같이 세 개 이상의 기판 이송축(20') 상에 가이드 부재가 배치되도록 한 개 이상의 기판 이송축(20')을 건너뛰어 서로 원격된 위치에 있는 두 개의 기판 이송축(20')에 설치되는 구조로 개시될 수도 있다.As such, the pulley 40 'may be installed in two adjacent substrate transfer shafts 20' as in the above-described embodiment, but may be disclosed as a structure connected to the guide member 50 '. It is installed on the two substrate transfer shaft 20 'in a position remote from each other by skipping the one or more substrate transfer shaft 20' such that the guide member is disposed on the three or more substrate transfer shaft 20 ' It may be disclosed as a structure.

이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.In the above described the present invention based on the preferred embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment, various modifications by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention This is possible.

도 1은 종래의 기판 가이드 수단이 구비된 디스플레이 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a display substrate transfer device equipped with a conventional substrate guide means.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예가 적용된 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus to which a preferred embodiment of the present invention is applied.

도 3은 도 2에 적용된 가이드 부재와 풀리에 대한 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view of the guide member and the pulley applied to FIG.

도 4는 본 발명의 가이드 부재에 기판의 측면 모서리가 지지되고 있는 상태를 나타낸 도면이다.4 is a view showing a state in which the side edge of the substrate is supported by the guide member of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시예가 적용된 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.5 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus to which another embodiment of the present invention is applied.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 기판 이송 프레임 11 : 베어링 블록10 substrate transfer frame 11 bearing block

20 : 기판 이송축 30 : 이송롤러20: substrate feed shaft 30: feed roller

40 : 풀리 40a,50a : 슬립방지수단40: pulley 40a, 50a: slip preventing means

50 : 가이드 부재 51 : 경사면50: guide member 51: inclined surface

51a : 배수구 S : 기판51a: drain port S: substrate

Claims (7)

기판의 저면을 지지하는 이송롤러를 구비하며 회전 구동되어 상기 기판을 이송하는 기판 이송축;A substrate feed shaft having a feed roller for supporting a bottom surface of the substrate and being rotationally driven to convey the substrate; 상기 기판의 좌측 모서리와 우측 모서리에 각각 대응하는 위치에서 복수의 상기 기판 이송축에 구비되는 풀리;Pulleys provided on the substrate transfer shafts at positions corresponding to left and right edges of the substrate, respectively; 상기 풀리에 권취되어 상기 기판 이송축의 회전에 연동하며 상기 이송되는 기판의 좌/우측 모서리를 지지하되 기판과의 접촉부위가 경사면으로 형성된 가이드 부재를 포함하여 이루어진 디스플레이 기판 이송 가이드 장치.And a guide member wound around the pulley and interlocked with the rotation of the substrate transfer shaft to support left and right edges of the substrate being transferred, the guide member having an inclined surface in contact with the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드 부재는 벨트 또는 체인인 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 이송 가이드 장치.And the guide member is a belt or a chain. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 가이드 부재의 경사면에는 배수구가 형성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 이송 가이드 장치.Display substrate transfer guide device characterized in that the inlet is formed in the inclined surface of the guide member. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 풀리는 인접하는 두 개의 기판 이송축에 각각 좌우 한 쌍으로 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 이송 가이드 장치.The pulley is a display substrate transfer guide device, characterized in that provided in a pair of left and right respectively on two adjacent substrate transfer shafts. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 풀리는 세 개 이상의 기판 이송축 상에 상기 가이드 부재가 배치되도록 원격 위치의 기판 이송축에 각각 좌우 한 쌍으로 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 이송 가이드 장치.The pulley is a display substrate transfer guide device, characterized in that provided with a pair of left and right each on the substrate transfer shaft in a remote position so that the guide member is disposed on three or more substrate transfer shaft. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 풀리와 상기 가이드 부재의 접촉면에는 가이드 부재의 슬립을 방지하기 위한 슬립방지수단이 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 이송 가이드 장치.And a slip preventing means for preventing slip of the guide member on the contact surface between the pulley and the guide member. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 슬립방지수단은 톱니인 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 이송 가이 드 장치.The slip preventing means is a display substrate transfer guide device, characterized in that the tooth.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101102243B1 (en) * 2010-10-18 2012-01-03 주식회사 케이씨텍 Aligner for large area substrate
KR20130077053A (en) * 2011-12-29 2013-07-09 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus for conveying substrate
CN104619620A (en) * 2012-10-12 2015-05-13 旭硝子株式会社 Glass plate conveying device and glass plate conveying method

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04313514A (en) * 1991-04-10 1992-11-05 Kubota Corp Bucket for bucket conveyor and discharge mechanism
JP2004131233A (en) * 2002-10-09 2004-04-30 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd Roller conveyor
KR101147662B1 (en) * 2008-08-25 2012-05-23 세메스 주식회사 Substrate transfer apparatus
KR101510771B1 (en) * 2011-12-08 2015-04-10 최제학 Guide device for substrate transport

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101102243B1 (en) * 2010-10-18 2012-01-03 주식회사 케이씨텍 Aligner for large area substrate
KR20130077053A (en) * 2011-12-29 2013-07-09 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus for conveying substrate
CN104619620A (en) * 2012-10-12 2015-05-13 旭硝子株式会社 Glass plate conveying device and glass plate conveying method

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