KR100375743B1 - Apparatus for transferring a board - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정 표시 장치의 글래스 기판 등과 같은 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 둘 이상의 이송 롤러(114)를 가지는 다수의 이송축(110)과, 이송축들을 구동하는 구동원(120)과, 다수의 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)와, 정렬 롤러 이동부를 포함한다. 제 1 및 제 2 정렬 롤러는 이송되는 기판(B)의 양측 가장자리에 각각 그 외주면이 구름 접촉되며, 기판의 이송 방향을 따라 배치된다. 정렬 롤러 이동부는 이송되는 기판의 폭에 맞추어 제 1 및 제 2 정렬 롤러를 이동시키기 위한 것으로, 이송축과 평행하게 이송축들의 아래에 배치되고, 서로 반대 방향으로 형성된 한 쌍의 스크류를 가지는 다수의 스크류 부재(142); 제 1 및 제 2 정렬 롤러들을 지지하며, 스크류 부재의 각 스크류에 각각 나사 결합되는 다수의 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146); 및 스크류 부재들을 구동하기 위한 모터(148)를 가진다. 이에 따르면, 기판을 정렬하기 위한 제 1 및 제 2 정렬 롤러가 기판의 양측 가장자리에 기판의 이송 방향으로 구름 접촉되므로, 기판의 양측 가장자리와 정렬 롤러 사이의 마찰이 최소화될 수 있다.The present invention relates to an apparatus for transferring a substrate such as a glass substrate of a liquid crystal display device. The substrate transfer apparatus according to the present invention includes a plurality of transfer shafts 110 having two or more transfer rollers 114, a drive source 120 for driving the transfer shafts, and a plurality of first and second alignment rollers 132, 134, and an alignment roller moving part. The outer peripheral surfaces of the first and second alignment rollers are in rolling contact with both edges of the substrate B to be conveyed, respectively, and are disposed along the conveying direction of the substrate. The alignment roller moving part is for moving the first and second alignment rollers in accordance with the width of the substrate to be conveyed. The alignment roller moving part is disposed below the conveying shafts in parallel with the conveying axis, and has a plurality of screws formed in opposite directions to each other. Screw member 142; A plurality of first and second support members 144, 146 which support the first and second alignment rollers and which are respectively screwed to each screw of the screw member; And a motor 148 for driving the screw members. According to this, since the first and second alignment rollers for aligning the substrate are in rolling contact with both edges of the substrate in the conveying direction of the substrate, friction between both edges of the substrate and the alignment roller can be minimized.
Description
본 발명은 액정 표시 장치의 글래스 기판 등과 같은 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for transferring a substrate such as a glass substrate of a liquid crystal display device.
액정 표시 장치의 글래스 기판이나 반도체 웨이퍼의 기판 등과 같은 기판을 제조하는 공정에는 기판의 표면에 기계적 또는 화학적 처리를 가하는 공정이 수반되며, 이에 따라 처리된 기판의 표면을 세정하는 공정이 또한 필요하다. 이와 같은 세정 공정에 있어서, 기판들은 기판 이송 장치에 의해 세정 장치를 연속적으로 통과하면서 순수(純水) 등과 같은 세정액에 의해 세정되고 나서 다음 공정으로 이송된다.The process of manufacturing a substrate, such as a glass substrate of a liquid crystal display device, a substrate of a semiconductor wafer, or the like, involves a process of applying a mechanical or chemical treatment to the surface of the substrate, thus requiring a process of cleaning the surface of the processed substrate. In such a cleaning process, the substrates are washed by a cleaning liquid such as pure water while continuously passing through the cleaning device by the substrate transfer device, and then transferred to the next step.
세정 장치 내에서 기판을 이송하기 위한 이송 장치는 기본적으로 기판이 놓여지는 이송 롤러를 가지며 기판의 이송 방향을 따라 소정 간격으로 배치된 다수의 이송축들과, 이송축들을 구동하기 위한 구동원을 포함한다.The conveying apparatus for conveying the substrate in the cleaning apparatus basically includes a plurality of conveying axes having a conveying roller on which the substrate is placed and arranged at predetermined intervals along the conveying direction of the substrate, and a driving source for driving the conveying shafts. .
최근 하나의 공정 라인에서 다양한 크기를 가지는 기판들이 제조되고 있으며, 이를 위하여 다양한 크기의 기판들이 기판의 이송 방향을 따라 정확히 정렬된 상태로 이송되는 것이 매우 중요하다.Recently, substrates having various sizes have been manufactured in one process line, and for this purpose, it is very important to transfer substrates having various sizes accurately aligned along a transfer direction of the substrate.
일본특허공개 2000-286320은 다양한 크기의 기판들을 이송 방향을 따라 정렬할 수 있는 기판 이송 장치의 일 예를 개시하고 있다. 일본특허공개 2000-286320에 따르면, 도 1에 도시된 바와 같이, 이송축(12)은 기판이 놓여지는 한 쌍의 이송 롤러(14)를 가지고 있으며, 이송 롤러들(14)은 이송축(12)의 축선 방향으로 서로 대향하는 다수의 단차부(15)가 형성되어 있다. 서로 대향하는 단차부들 사이의 폭은 다양한 크기의 기판의 폭에 대응한다. 이에 따라 다양한 크기의 기판들(B)은 기판(B)의 폭에 대응하는 이송 롤러들(14)의 단차부(15)에 그 양측부가 각각 놓여지고 단차부(15) 양측의 벽에 의해 지지됨으로써, 이송 방향을 따라 정렬된다. 그리고, 이송축들이 회전되는 것에 의해 이송 방향으로 이송된다.Japanese Patent Laid-Open No. 2000-286320 discloses an example of a substrate transfer apparatus capable of aligning substrates of various sizes along a transfer direction. According to Japanese Patent Laid-Open No. 2000-286320, as shown in Fig. 1, the feed shaft 12 has a pair of feed rollers 14 on which a substrate is placed, and the feed rollers 14 have a feed shaft 12 A plurality of stepped portions 15 are formed to face each other in the axial direction of the cross section. The width between the stepped portions facing each other corresponds to the width of the substrate of various sizes. Accordingly, the substrates B of various sizes are placed on the stepped portions 15 of the transfer rollers 14 corresponding to the widths of the substrates B, respectively, and supported by the walls on both sides of the stepped portions 15. Thereby aligned along the conveying direction. Then, the feed shafts are fed in the feed direction by rotating.
그러나, 일본특허공개 2000-286320에 개시된 이송 장치의 이송 롤러(14)는 단차부(15)의 측벽들이 기판(B)의 양측 가장자리를 지지함으로써 기판(B)이 정렬되는데, 기판(B)은 이송 방향을 따라 수평으로 이동되는데 반하여 단차부(15)가 형성된 이송 롤러(14)는 이송축(12) 상에서 회전 운동된다. 이에 따라 기판(B)의 양측 가장자리와 롤러(14)의 단차부(15) 측벽 사이에 마찰이 일어나며, 그 결과 기판(B)의 이송이 원활하게 이루어지지 않거나 롤러(15)의 측벽이 마모되어 파티클(particle)이 발생되는 등의 문제점이 발생된다. 이러한 문제점을 해결하기 위한 방법으로서, 일본특허공개 2000-286320은 기판(B)과 측벽의 접촉을 최소화하기 위하여 기판(B)의 양측 가장자리를 지지하는 단차부의 측벽을 경사지게 형성하였다. 그러나, 이는 근본적인 해결책이 되지는 않으며 여전히 상술한 문제점은 발생된다. 또한, 롤러(14)의 형태가 복잡하여 제조가 어려운 단점이 있다.However, in the conveying roller 14 of the conveying apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-286320, the substrate B is aligned by sidewalls of the step 15 supporting both edges of the substrate B. While moving horizontally along the conveying direction, the conveying roller 14 having the stepped portion 15 is rotated on the conveying shaft 12. As a result, friction occurs between both edges of the substrate B and the side wall of the stepped portion 15 of the roller 14. As a result, the substrate B may not be smoothly transferred or the sidewall of the roller 15 may be worn. Problems such as generation of particles occur. As a method for solving this problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-286320 has inclined sidewalls of the stepped portions supporting both edges of the substrate B in order to minimize contact between the substrate B and the sidewalls. However, this is not a fundamental solution and the problem described above still arises. In addition, there is a disadvantage that the roller 14 is complicated in shape and difficult to manufacture.
본 발명은, 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 기판과 기판을 정렬하도록 기판의 양측 가장자리에 접촉되는 부위 간의 마찰이 최소화될 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a substrate transfer apparatus capable of minimizing friction between a substrate and a portion contacting both edges of the substrate to align the substrate.
도 1은 종래의 기판 이송 장치의 이송 롤러를 도시한 정면도.1 is a front view showing a transfer roller of a conventional substrate transfer apparatus.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도시한 평면도.2 is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 주요부인 기판 정렬부를 도시한 정면도.Figure 3 is a front view showing a substrate alignment unit which is a main part of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
110 : 이송축 114 : 이송 롤러110: feed shaft 114: feed roller
120 : 구동원 132, 134 : 정렬 롤러120: drive source 132, 134: alignment roller
142 : 스크류 부재 144, 146 : 지지 부재142: screw member 144, 146: support member
148 : 구동 모터148: drive motor
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 기판이 놓여지는 둘 이상의 원통형 이송 롤러를 각각 가지며, 기판의 진행 방향으로 배열되는 다수의 이송축; 이송축들을 회전시키기 위한 구동원; 이송되는 기판의 양측 가장자리에 각각 그 외주면이 구름 접촉되며, 기판의 이송 방향을 따라 배치되는 다수의 제 1 및 제 2 정렬 롤러; 및 이송되는 기판의 폭에 맞추어 제 1 및 제 2 정렬 롤러를 이동시키기 위한 정렬 롤러 이동부를 포함한다.In order to achieve the above object, the substrate transfer apparatus according to the present invention comprises a plurality of transfer shafts each having two or more cylindrical transfer rollers on which the substrate is placed, arranged in the advancing direction of the substrate; A drive source for rotating the feed shafts; A plurality of first and second alignment rollers whose outer circumferential surfaces are in rolling contact with both edges of the substrate to be conveyed, respectively, arranged along the conveying direction of the substrate; And an alignment roller moving unit for moving the first and second alignment rollers in accordance with the width of the substrate to be conveyed.
이에 따르면, 기판을 정렬하기 위한 제 1 및 제 2 정렬 롤러가 기판의 양측 가장자리에 기판의 이송 방향을 따라 구름 접촉되므로, 기판의 양측 가장자리와 정렬 롤러 사이의 마찰이 최소화될 수 있다.According to this, since the first and second alignment rollers for aligning the substrate are in rolling contact with both edges of the substrate along the transport direction of the substrate, friction between both edges of the substrate and the alignment roller can be minimized.
정렬 롤러 이동부는 이송축과 평행하게 이송축들의 아래에 배치되고, 서로 반대 방향으로 형성된 한 쌍의 스크류를 가지는 다수의 스크류 부재; 제 1 및 제 2 정렬 롤러들을 지지하며, 스크류 부재의 각 스크류에 각각 나사 결합되는 다수의 제 1 및 제 2 지지 부재; 및 스크류 부재들을 구동하기 위한 모터를 가진다. 바람직하게는, 정렬 롤러 이동부는 기판의 이송 방향을 따라 연장하며 제 1 지지 부재들을 연결하는 제 1 연결 부재와, 기판의 이송 방향을 따라 연장하며 제 2 지지 부재들을 연결하는 제 2 연결 부재를 더 가진다.The alignment roller moving unit includes: a plurality of screw members disposed below the conveying shafts in parallel with the conveying shaft and having a pair of screws formed in opposite directions to each other; A plurality of first and second support members supporting the first and second alignment rollers, the plurality of first and second support members respectively screwed to each screw of the screw member; And a motor for driving the screw members. Preferably, the alignment roller moving portion further comprises a first connecting member extending along the conveying direction of the substrate and connecting the first supporting members, and a second connecting member extending along the conveying direction of the substrate and connecting the second supporting members. Have
또한, 제 1 및 제 2 정렬 롤러는 기판의 양측 가장자리를 수용하기 위한 안내홈을 각각 가질 수도 있다.Further, the first and second alignment rollers may each have guide grooves for receiving both edges of the substrate.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 다수의 이송축(110), 구동원(120, 도 3 참조), 다수의 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134), 및 정렬 롤러 이동부를 포함하고 있으며, 기판(B)을 세정하기 위한 세정 장치 내에 설치된다.As shown in FIG. 2, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes a plurality of transfer shafts 110, a driving source 120 (see FIG. 3), and a plurality of first and second alignment rollers 132 and 134. And an alignment roller moving part, and are installed in a cleaning device for cleaning the substrate B.
다수의 이송축(110)은 예를 들어 기판(B)을 세정하기 위한 세정 장치 몸체(101)의 개방된 상면에 설치되어 있다. 이송축들(110)은 기판(B)의 진행 방향을 따라 배열되어 있으며, 그 양측 가장자리가 지지 브라켓(112)에 의해 각각 회전 가능하게 지지되어 있다.The plurality of feed shafts 110 are provided on the open upper surface of the cleaning apparatus body 101 for cleaning the substrate B, for example. The feed shafts 110 are arranged along the traveling direction of the substrate B, and both edges thereof are rotatably supported by the supporting brackets 112, respectively.
각 이송축(110)은 다수의 이송 롤러(114)를 가진다. 이송 롤러들(114)은 이송축(110)과 일체로 회전되며, 이 이송 롤러들(114) 위에 기판(B)이 놓여진다.Each feed shaft 110 has a plurality of feed rollers 114. The conveying rollers 114 are rotated integrally with the conveying shaft 110, and the substrate B is placed on the conveying rollers 114.
본 실시예의 이송 장치에 의해 이송될 기판들(B) 중 가장 작은 크기의 기판(B)을 지지할 수 있도록, 적어도 2개의 이송 롤러(114)가 가장 작은 크기의 기판(B)의 폭에 대응하는 간격을 두고 이송축(110)의 중앙부에 설치된다. 바람직하게는 가장 큰 크기의 기판(B)의 양측을 지지하도록 중앙의 2개의 이송 롤러(114) 외에 2개의 이송 롤러(114)가 가장 큰 크기의 기판(B)의 폭에 대응하는 간격으로 더 설치된다. 더욱 바람직하게 또는 필요에 따라, 다양한 크기의 기판(B)의 양측 폭에 대응하는 간격으로 다수 쌍의 이송 롤러(114)가 더 설치될 수도 있다.At least two conveying rollers 114 correspond to the width of the smallest sized substrate B so as to support the smallest sized substrate B among the substrates B to be conveyed by the conveying apparatus of this embodiment. It is installed in the central portion of the feed shaft 110 at intervals. Preferably, in addition to the two transfer rollers 114 in the center to support both sides of the substrate B of the largest size, two transfer rollers 114 are further spaced at intervals corresponding to the width of the substrate B of the largest size. Is installed. More preferably or as necessary, a plurality of pairs of transfer rollers 114 may be further provided at intervals corresponding to both widths of the substrate B of various sizes.
구동원(120)에 의해 이송축들(110)이 회전됨으로써, 이송 롤러들(114) 위에 놓여진 기판(B)은 진행 방향을 따라 진행된다. 각 이송축(114)에 각각 1개의 구동원(120)이 설치될 수도 있지만, 가장 작은 크기의 기판(B)의 길이를 벗어나지 않는 간격으로 수 개의 이송축(110)마다 1개의 구동원(120)이 설치될 수도 있고, 하나의 구동원(120)에 의해 다수의 이송축들(110)이 함께 구동되도록 다수의 이송축들(110)이 체인과 같은 동력 전달 기구에 의해 연결될 수도 있다.As the transfer shafts 110 are rotated by the driving source 120, the substrate B placed on the transfer rollers 114 proceeds along the traveling direction. One drive source 120 may be installed in each of the transfer shafts 114, but one drive source 120 may be provided for every several transfer shafts 110 at intervals not departing from the length of the substrate B having the smallest size. The plurality of transfer shafts 110 may be connected by a power transmission mechanism such as a chain so that the plurality of transfer shafts 110 are driven together by one drive source 120.
정렬 롤러 이동부는, 도 3에도 상세하게 도시된 바와 같이, 스크류부재(142)와 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)와 스크류 부재용 구동 모터(148)를 가진다. 스크류 부재(142)는 이송축(110)과 평행하도록 이송축(110)의 아래에 설치되며, 예를 들어 세정 장치의 몸체(101)의 양측벽에 그 양단이 각각 회전 가능하게 지지된다. 스크류 부재(142)의 양단이 세정 장치의 몸체(101)의 양측벽에 지지되는 부분들에는 누설 방지용 실링 부재(143)가 각각 설치되어 있다. 또한, 스크류 부재(142)는 주름관식 커버에 의해 감싸져 보호될 수도 있다. 이 스크류 부재(142)에는 한 쌍의 스크류가 서로 반대로 형성되어 있다.The alignment roller moving part has a screw member 142, first and second support members 144 and 146, and a drive motor 148 for the screw member, as also shown in detail in FIG. 3. The screw member 142 is installed below the feed shaft 110 so as to be parallel to the feed shaft 110, and for example, both ends of the screw member 142 are rotatably supported on both side walls of the body 101 of the cleaning apparatus. Leak-proof sealing members 143 are provided at portions where both ends of the screw member 142 are supported on both side walls of the body 101 of the cleaning apparatus. In addition, the screw member 142 may be wrapped and protected by a corrugated cover. The screw member 142 is provided with a pair of screws opposite to each other.
제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)는 스크류 부재(142)의 각 스크류에 하단이 각각 나사 결합되어 있고, 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)의 각 상단은 대체로 이송축(110)이 설치된 높이로 연장하고 있다. 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)가 각각 나사 결합된 스크류 부재(142)의 스크류들이 서로 반대 방향으로 형성되어 있으므로, 스크류 부재(142)가 회전될 때 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)는 서로 반대 방향으로 이동된다. 그리고, 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)의 상단에 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)가 각각 수직 축선을 중심으로 자유회전 가능하게 설치되어 있다.The first and second support members 144 and 146 have lower ends screwed to respective screws of the screw member 142, respectively, and each upper end of the first and second support members 144 and 146 generally has a feed shaft ( 110) extends to the installed height. Since the screws of the screw member 142 in which the first and second support members 144 and 146 are respectively screwed are formed in opposite directions, the first and second support members ( 144 and 146 are moved in opposite directions. Then, first and second alignment rollers 132 and 134 are provided on the upper ends of the first and second support members 144 and 146 so as to be freely rotatable about the vertical axis.
제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)의 외주면은 이송축들(110)을 따라 이송되는 기판(B)의 양측 가장자리에 각각 구름 접촉된다. 바람직하게는, 기판(B)의 두께보다 약간 큰 폭을 가지며 기판(B)의 양측 가장자리를 수용하는 기판 안내홈(132a, 134a)이 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)의 외주를 따라 각각 형성되어 있다. 또한 바람직하게는 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)는 베어링을 개재하여 제 1 및제 2 지지 부재(144, 146)의 상단에 설치되어 있으며, 약간의 탄성을 가지는 구조를 가질 수도 있다.The outer circumferential surfaces of the first and second alignment rollers 132 and 134 are in rolling contact with both edges of the substrate B, which are conveyed along the transfer shafts 110, respectively. Preferably, the substrate guide grooves 132a and 134a having a width slightly larger than the thickness of the substrate B and accommodating both edges of the substrate B are provided with outer peripheries of the first and second alignment rollers 132 and 134. Are formed respectively. Also preferably, the first and second alignment rollers 132 and 134 are installed on the upper ends of the first and second support members 144 and 146 via bearings, and may have a structure having some elasticity.
스크류 부재(142)를 회전시키기 위한 구동 모터(148)는 벨트(149)를 통해 스크류 부재(142)에 구동력을 전달하도록 설치되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 직접 연결 또는 기어 연결 등과 같은 방법을 통해서 구동력을 전달하도록 구성될 수도 있다.The drive motor 148 for rotating the screw member 142 is installed to transmit the driving force to the screw member 142 through the belt 149, but is not necessarily limited thereto and may be a method such as direct connection or gear connection. It may be configured to transmit the driving force through.
한편, 제 2 지지 부재(146)의 나사 결합부, 즉 제 2 지지 부재(146)의 하단과 구동 모터(148)에 인접한 스크류 부재(142)의 일단 하측에 리미트 스위치(152)와 걸림 부재(153)로 이루어지는 기준 위치 확인 기구가 설치되어 있다. 기준 위치 확인 기구는 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)가 스크류 부재(142)를 따라 이동될 때 정확한 기준 위치를 맞출 수 있도록 한다. 또한, 참조 부호 154는 기준 위치 확인 기구의 고장에 대비한 것으로, 제 1 및 제 2 지지부(144, 146)가 스크류 부재(142)의 양측으로 이동되어 세정 장치의 몸체(101)의 양측벽에 부딪치는 것을 방지하기 위한 스토퍼이다.Meanwhile, the limit switch 152 and the locking member (1) below the screw coupling portion of the second supporting member 146, that is, the lower end of the second supporting member 146 and the screw member 142 adjacent to the driving motor 148 ( A reference positioning mechanism composed of 153 is provided. The reference positioning mechanism allows the first and second support members 144, 146 to be aligned with the correct reference position when moved along the screw member 142. In addition, reference numeral 154 is prepared for a failure of the reference positioning mechanism, and the first and second supporting portions 144 and 146 are moved to both sides of the screw member 142, so as to be provided on both side walls of the body 101 of the cleaning apparatus. It is a stopper to prevent a bump.
이와 같은 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)와 정렬 롤러 이송부는 가장 작은 크기의 기판(B)의 길이 범위를 벗어나지 않는 간격으로 기판(B)의 이송 방향을 따라 다수가 설치되어 있다. 바람직하게는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(B)의 이송 방향을 따라 설치된 다수의 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)는 각각 제 1 및 제 2 연결 부재(145, 147)에 의해 서로 연결되어 있다. 제 1 및 제 2 연결 부재(145, 147)는 길이 방향으로 그 중앙부 및 양단부의 하부가 각각 스크류부재(142)에 나사 결합되어 있으며, 스크류 부재용 구동 모터(148)는 중앙의 스크류 부재(142)에만 연결되어 있다.A plurality of such first and second alignment rollers 132 and 134 and the alignment roller conveying unit are provided along the conveying direction of the substrate B at intervals without departing from the length range of the substrate B of the smallest size. Preferably, as shown in FIG. 2, the plurality of first and second support members 144 and 146 provided along the conveying direction of the substrate B may have the first and second connection members 145 and 147, respectively. Are connected to each other by The first and second connection members 145 and 147 are screwed to the screw member 142 in the lower portion of the center portion and both ends thereof in the longitudinal direction, respectively, and the drive motor 148 for the screw member has a central screw member 142. Only).
이하, 상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention as described above will be described.
이송될 기판(B)이 시작 위치의 이송 롤러들(114) 위에 놓여지면, 스크류 부재용 구동 모터(148)가 구동되어 스크류 부재(142)가 회전된다. 이에 따라, 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)는 스크류 부재(142)의 양측을 향해, 기준 위치까지 이동된다. 기준 위치 확인 기구에 의해 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)의 기준 위치가 확인되면, 구동 모터(148)는 스크류 부재(142)를 반대 방향으로 회전시킨다. 이에 따라 제 1 및 제 2 지지 부재(144, ,146)는 스크류 부재(142)의 중앙을 향하여 이동된다. 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)의 상단에 설치된 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)의 외주면이 기판(B)의 양측 가장자리에 접촉되면 구동 모터(148)의 구동은 정지된다. 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)의 외주면이 기판(B)의 양측 가장자리에 접촉될 때 구동 모터(148)가 정지되도록, 제 1 및 제 2 정렬 롤러(132, 134)의 외주면이 기판(B)의 양측 가장자리에 접촉되는 것을 감지하는 센서들이 설치될 수 있다.When the substrate B to be conveyed is placed on the conveying rollers 114 in the starting position, the drive motor 148 for the screw member is driven to rotate the screw member 142. Accordingly, the first and second support members 144, 146 are moved to the reference position toward both sides of the screw member 142. When the reference positions of the first and second support members 144 and 146 are confirmed by the reference positioning mechanism, the drive motor 148 rotates the screw member 142 in the opposite direction. Accordingly, the first and second support members 144 and 146 are moved toward the center of the screw member 142. When the outer circumferential surfaces of the first and second alignment rollers 132 and 134 provided on the upper ends of the first and second support members 144 and 146 contact both edges of the substrate B, the driving of the driving motor 148 is stopped. do. The outer circumferential surfaces of the first and second alignment rollers 132 and 134 are stopped so that the driving motor 148 is stopped when the outer circumferential surfaces of the first and second alignment rollers 132 and 134 contact both edges of the substrate B. Sensors for detecting contact with both edges of the substrate B may be installed.
그리고 나서, 구동원(120)에 의해 이송축들(110)이 구동되는 것에 의해 이송 롤러들(114) 위에 놓인 기판(B)은 이송 방향을 따라 이송되며, 이 과정에서 세정 장비에 의해 기판(B)에 대한 세정 작업이 이루어진다. 정렬 롤러들(132, 134)이 기판(B)의 양측 가장자리에 구름 접촉되어 있으므로, 기판(B)이 이송될 때 기판들(B)은 정렬된 상태에서 이송축(110)의 축선 방향으로 이동되지 않고 정확하게 이송될 수 있다.Then, the substrate B placed on the conveying rollers 114 by the driving source 120 is driven along the conveying direction by the conveying shafts 110 being driven by the driving source 120. ) Cleaning is performed. Since the alignment rollers 132 and 134 are in rolling contact with both edges of the substrate B, when the substrate B is transferred, the substrates B move in the axial direction of the feed shaft 110 in the aligned state. Can be conveyed accurately.
도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 연결 부재(145, 147)에 의해 다수의 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)가 서로 연결되어 있는 경우, 각각의 제 1 및 제 2지지 부재에 대응하는 다수의 스크류 부재(142)와 다수의 구동 모터(148)가 필요없이 1개의 구동 모터(148)와 수 개의 스크류 부재(142)를 이용하여 다수의 제 1 및 제 2 지지 부재(144, 146)를 한꺼번에 이송축(110)의 축선 방향을 따라 이동시킬 수 있으므로, 구조가 간단하고 부품 수가 작아질 수 있다.As shown in FIG. 2, when the plurality of first and second support members 144, 146 are connected to each other by the first and second connection members 145, 147, respectively, the first and second ones, respectively. A plurality of first and second support members using one drive motor 148 and several screw members 142 without the need for a plurality of screw members 142 and a plurality of drive motors 148 corresponding to the support members. Since 144 and 146 can be moved along the axial direction of the feed shaft 110 at once, the structure can be simplified and the number of parts can be reduced.
상기된 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판을 정렬하기 위한 제 1 및 제 2 정렬 롤러가 기판의 양측 가장자리에 기판의 이송 방향을 따라 구름 접촉되도록 설치되어 있다. 따라서, 종래와 달리 기판의 양측 가장자리와 정렬 롤러 사이의 마찰이 최소화되므로, 기판이 원활하게 이송될 수 있고 롤러의 마모로 인한 파티클 발생도 최소화되는 장점이 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 이송 롤러와 정렬 롤러의 형상이 단순하여 제조가 용이한 장점도 있다. 더욱이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 정렬 롤러들이 스크류 부재에 의해 이송축의 축선 방향을 따라 연속적으로 이동되므로, 기준 위치를 벗어나지 않는 범위 내에서 어떠한 크기의 기판도 정렬할 수 있는 장점도 있다.As described above, the substrate transfer apparatus according to the present invention is provided such that the first and second alignment rollers for aligning the substrate are in rolling contact with each other on the edges of the substrate along the transfer direction of the substrate. Therefore, unlike the prior art, since friction between both edges of the substrate and the alignment roller is minimized, the substrate can be smoothly transferred and there is an advantage that the generation of particles due to the wear of the roller is minimized. In addition, the substrate transfer apparatus according to the present invention has the advantage that the shape of the transfer roller and the alignment roller is simple and easy to manufacture. Furthermore, the substrate transfer apparatus according to the present invention has the advantage that the alignment rollers are continuously moved along the axial direction of the transfer shaft by the screw member, so that the substrate of any size can be aligned within the range not departing from the reference position.
이상에서는, 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경실시할 수 있을 것이다.In the above, the present invention has been illustrated and described with respect to certain preferred embodiments. However, the present invention is not limited only to the above-described embodiments, and those skilled in the art to which the present invention pertains may vary without departing from the spirit of the technical idea of the present invention described in the claims below. It may be changed.
Claims (4)
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