KR20090016777A - 유기물 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 도가니로부터 증발된 증착물질의 제어 변수를 센싱하는 센서부와 센서부를 수납하며 선택적으로 개폐가 가능한 셔터가 부착된 가이드를 포함하여, 센서부의 교체 주기를 연장시킬 수 있는 유기물 증착 장치를 제공한다.
유기물, 증착, 셔터, 개폐, 센서부

Description

유기물 증착 장치{EVAPORATING APPARATUS OF ORGANIC MATTER}
유기물 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 증착 두께 및 증착 속도를 감지하는 센서부의 교체 주기를 연장시킬 수 있는 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
표시장치는 정보통신의 발달과 더불어 큰 발전을 하고 있으며, 현대인에게 있어 필수품으로 자리잡고 있다. 이와 같은 표시장치 중 유기발광다이오드 표시장치는 액정표시장치와 같이 백라이트 광원이 필요하지 않아 경량 박형이 가능하다. 또한, 유기발광다이오드 표시장치는 단순한 공정을 통해 제조될 수 있어 가격 경쟁력을 가질 수 있다. 이에 더하여, 유기발광다이오드 표시장치는 저전압 구동, 높은 발광효율, 넓은 시야각을 가진다. 이에 따라, 유기발광다이오드 표시장치는 차세대 디스플레이로서 급상승하고 있다.
유기발광다이오드 표시장치는 기본적으로 애노드 전극, 캐소드 전극 및 상기 두 전극 사이에 개재된 유기발광층을 갖는 유기발광다이오드 소자를 포함한다. 여기서, 유기발광다이오드 소자는 애노드 전극과 캐소드 전극에서 각각 제공된 정 공(hole)과 전자(electron)가 유기발광층에서 재결합하여 여기자를 형성하고, 상기 여기자가 불안정한 상태에서 안정한 상태로 떨어지면서 광이 발생되는 발광 원리를 이용한다. 이에 더하여, 유기발광다이오드 표시장치는 유기발광층으로 정공과 전자를 원활하게 제공하여 발광 효율을 향상시킬 수 있는 유기층을 더 포함할 수 있다. 유기층은 정공주입층, 정공수송층, 정공억제층, 전자수송층 및 전자주입층 중 적어도 어느 하나 이상일 수 있다.
유기발광층 및 유기층의 형성은 증착물질, 예컨대 유기물질을 저장 및 증발시키는 도가니, 상기 도가니의 상측에 배치된 센서부, 및 상기 도가니와 대응되어 증착물질이 증착되는 기판을 고정하는 기판 장착부를 포함하는 증착 장치가 사용되고 있다.
센서부는 증착물질의 증착공정중에 증착물질의 제어 변수, 예컨대 증착 두께 및 증착 속도를 감지하여, 사용자에게 제공하거나, 증착 장치의 증착 조건을 제어하는 제어부로 제공한다. 그러나, 기판으로 증착하지 않는 시간, 예컨대 도가니에서 잔류된 증착물질을 제거할 경우 또는 증착전이나 증착후에 기판 장착부에 의해 기판이 로딩, 정렬 및 언로딩될 경우에, 증착물질이 센서부에 증착되어, 센서부를 오염시켜 센서부의 수명이 단축될 수 있다. 이로써, 센서부를 자주 교체해야 하므로, 센서부에 대한 비용 추가 및 센서부의 교체를 위한 공정이 추가될 수 있다.
따라서, 종래의 유기물 증착장치는 센서부에 불필요한 증착물질이 증착되어 센서부의 수명을 단축하여, 센서부의 잦은 교체로 인해 공정 시간이 증가하며, 제조 원가가 상승하는 문제점이 있다.
본 발명의 하나의 과제는 센서부에 선택적으로 개폐가 가능한 셔터를 구비하여 센서부로 불필요한 물질이 증착되는 것을 방지하므로, 센서부의 교체 주기를 연장할 수 있는 유기물 증착장치를 제공함에 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 유기물 증착 장비를 제공한다. 상기 유기물 증착장치는 증착 챔버, 상기 증착 챔버의 내부에 배치되며, 증착물질이 증착되는 기판을 고정하는 기판 장착부, 상기 기판 장착부와 대향하며, 회전이 가능한 회전부, 상기 회전부에 배치되며, 상기 증착 물질을 저장 및 증발시키는 도가니, 상기 회전부에 고정되며, 적어도 상기 도가니와 대응된 개구를 갖는 가이드, 상기 가이드의 개구에 의해 상기 도가니와 대향된 전면(front face)이 노출되며, 상기 증착물질의 제어 변수를 센싱하는 센서부, 및 상기 가이드에 배치되며, 상기 가이드로부터 노출된 개구를 선택적으로 개폐하는 셔터부를 포함한다.
본 발명은 선택적으로 개폐가 가능한 셔터부를 센서부상에 구비하여 센서부에 불필요한 증착물질이 증착되어 센서부의 수명이 저하되는 것이 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명은 센서부의 교체주기를 연장시킬 수 있으며, 이에 따라 센서부의 비용 및 센서부의 교체를 위한 시간등을 절약할 수 있다.
또한, 본 발명은 도가니상에 증발된 증착물질을 저장할 수 있는 홈을 구비하고, 선택적으로 도가니를 덮을 수 있는 캡을 구비함에 따라 센서부로 증착물질이 쌓이는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 캡에 의해 불필요한 증착에 의해 챔버가 오염되는 것을 방지할 수 있다. 이에 더하여, 본 발명은 캡에 증착된 증착물질을 회수 및 재생하여, 환경 오염을 방지하며 재료비에 대한 원가를 줄일 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예들은 유기물 증착장치의 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기물 증착장치를 설명하기 도시한 개략도이고, 도 2는 도 1에 도시된 회전부의 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 유기물 증착장치는 증착 챔버(100)를 구비한다. 증착 챔버(100)는 그 내부를 진공 분위기로 유지되도록 제어할 수 있다. 이로써, 기판으로 유기물 증착은 진공 분위기에서 수행될 수 있다.
증착 챔버(100)의 내부에 기판 장착부(110)가 배치되어 있다. 기판 장착부(110)는 증착물질이 증착될 기판(115)을 증착 챔버(100)의 내부로 이송시키거나 외부로 반송시킨다. 또한, 기판 장착부(110)는 증착 공정동안 기판(115)을 고정시킨다.
증착 챔버(100)의 내부에 기판 장착부(110)와 대향하며, 회전이 가능한 회전부(120)가 배치되어 있다. 회전부(120)는 파티션(125)에 의해 적어도 2 이상의 셀(122)들로 구분될 수 있다.
회전부(120)의 각 셀(122)에 증착물질을 저장 및 증발시키는 도가니(130)가 배치되어 있다. 도가니(130)의 외부에는 열원, 예컨대 열선(도면에는 도시하지 않음.)이 배치되어, 도가니(130)에 저장된 증착물질을 증발시켜, 기판(115)상으로 증착물질을 증착시킨다. 예를 들면, 기판(115)상에 단일 물질로 이루어진 유기층을 형성할 경우, 적어도 2 이상의 도가니(130)에는 각각 동일한 증착 물질이 저장될 수 있다. 이때, 적어도 2 이상의 도가니(130)는 동시에 기판(115)상으로 증착 물질을 증발시킬 수 있다. 또는, 각 도가니(130)에 개폐가 가능한 캡(135)을 더 구비하여, 다수의 도가니(130) 중 적어도 하나의 도가니(130)의 캡(135)은 열고, 나머지 도가니(130)의 캡(135)은 닫은 상태에서 증착 공정을 수행한다. 이후, 캡(135)이 열린 도가니의 증착물질이 모두 증발되면, 다른 도가니(130)의 캡(135)을 열고, 다시 증착 공정을 수행한다. 즉, 도가니(130)에 저장된 증착 물질이 모두 증발된 후, 도가니(130)에 다시 증착 물질을 채우지 않고, 다른 도가니(130)의 증착 물질을 이용하여 연속적으로 증착 공정을 수행하므로, 도가니(130)에 채우는 시간을 단축할 수 있다.
이와 달리, 기판(115)상에 다른 종류의 물질, 예를 들면 호스트 및 도판트를 포함하는 유기발광층을 형성할 경우, 적어도 2 이상의 도가니(130) 중 일부는 호스트 물질을 저장하고, 나머지 일부는 도판트 물질을 저장할 수 있다. 이때, 도가니(130)들은 동시에 기판(115)상으로 호스트 물질과 도판트 물질을 증발시켜, 기판(115)상에 호스트 물질과 도판트 물질이 혼합된 유기발광층을 형성할 수 있다.
각 셀(122)과 대응하며 회전부(120)상에 가이드(150)가 배치되어 있다. 가이드(150)는 적어도 도가니(130)와 대향된 개구를 갖는다. 또한, 가이드(150)는 후술될 센서부(160)가 수납되기 위한 수납공간을 가진다. 예를 들면, 가이드(150)는 원통형의 형태를 가질 수 있다. 여기서, 가이드(150)는 회전부(120)에 고정된 지지부재(140)에 결합되어 있다. 이로써, 가이드(150)는 회전부(120)에 고정될 수 있다.
가이드(150)의 수납공간에 센서부(160)가 수납되어 있다. 가이드(150)의 개구는 도가니와 대향하는 센서부(160)의 전면(front face)을 노출시킨다. 이로써, 센서부(160)는 가이드(150)의 개구를 통과한 증착물질이 상기 전면에 증착되어, 증착물질의 제어 변수, 예컨대 증착물질의 증착 속도 및 기판(115)에 형성될 박막의 두께를 센싱할 수 있다. 여기서, 센서부(160)는 증착되는 증착 물질의 양에 따라 가변적인 압전 주파수를 크리스탈 센서를 포함할 수 있다.
가이드(150)에 결합되어, 가이드(150)로부터 노출된 개구를 선택적으로 개폐할 수 있는 셔터부(170)가 배치되어 있다. 셔터부(170)는 개구에 의해 노출된 센서부(160)의 전면으로 증착 물질의 증착 여부를 제어할 수 있다. 이로써, 센서부(160)가 박막의 두께 및 증착 속도를 감지해야 할 경우, 셔터부(170)는 가이드(150)의 개구를 열어 센서부(160)의 전면으로 증착물질이 증착되게 한다. 이와 달리, 센서부(160)가 박막의 두께 및 증착속도를 감지하지 않을 경우, 셔터부(170)는 가이드(150)의 개구를 닫아 센서부(160)로 불필요한 증착물질이 증착되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 셔터부의 다양한 형태에 관하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 3a 내지 도 3d들은 도 1에 도시된 셔터부의 다양한 형태를 도시한 도면들이다.
도 3a에서와 같이, 셔터부(170a)는 셔터(171a) 및 힌지부재(172a)를 포함한다. 셔터(171a)는 센서부(160)를 노출하고, 도가니(도 2에서 130)와 대향하며 개구(190)와 근접한 가이드(150)에 부착되어 있다. 힌지부재(172a)는 셔터(171a)의 일정 부분이 횡으로 돌출된 형태일 수 있다. 힌지부재(172a)에 관통된 제 1 홀이 형성되어 있을 수 있다.
가이드(150)에 고정부재(174a)가 배치되어 있다. 고정부재(174a)는 가이드(150)와 일체로 이루어져 있을 수 있다. 고정부재(174a)는 가이드(150)로부터 돌출되어 있을 수 있다. 고정부재(174a)에 힌지부재(172a)가 체결될 수 있다. 즉, 고정부재(172a)는 힌지부재(172a)의 양측에 배치될 수 있다. 이로써, 셔터(171a)는 가이드(150)에 고정될 수 있다. 이때, 고정부재(174a)에 힌지부재(172a)의 제 1 홀과 대응된 제 2 홀을 구비하고, 제 1 홀 및 제 2 홀에 힌지핀(173a)이 삽입됨에 따라, 힌재부재(172a)는 셔터(171a)를 접었다 펼 수 있어, 가이드(150)의 개구(190)를 선택적으로 개폐할 수 있다. 이로써, 가이드(150)의 개구(190)로부터 노출된 센 서부(160)에 불필요한 물질이 증착되는 것을 방지할 수 있다.
도면에서는 힌지부재(172a)와 셔터(171a)가 일체로 형성된 것으로 설명하였으나, 이와 달리 힌지부재(172a)는 가이드(150)와 일체로 형성될 수도 있다.
도 3b에서와 같이, 셔터부(170b)는 셔터(171b) 및 회전부재(172b)를 포함할 수 있다. 셔터(171b)는 센서부를 노출하는 가이드(150)의 개구(190)를 개폐한다. 회전부재(172b)는 셔터(171b)의 일정부분이 종으로 돌출된 돌기부의 형태일 수 있다. 회전부재(172b)는 회전이 용이하도록 원기둥의 형태일 수 있다.
가이드(150)는 개구(190)와 근접하여 고정부재(173b)가 배치되어 있다. 고정부재(173b)는 관통홀을 구비할 수 있다. 이때, 관통홀에 회전부재(172b)가 삽입됨에 따라 셔터(171b)는 가이드(150)에 대해 횡으로 회전이 가능하다. 이로써, 셔터(171b)는 선택적으로 가이드(150)의 개구(190)를 개폐시킬 수 있다.
도면에는 도시되지 않았으나, 관통홀에 삽입된 회전부재(172b)가 일탈되는 것을 방지하기 위해, 회전부재(172b)의 일끝단에 너트를 더 체결할 수 있다.
또한, 도면에서는 회전부재(172b)가 셔터(171a)와 일체로 형성된 것으로 도시 및 설명하였으나, 이와 달리 회전부재(172b)는 핀을 이용할 수도 있다.
도 3c에서와 같이, 셔터부(170c)는 셔터(171c) 및 회전부재(172c)를 포함한다. 회전부재(172c)는 가이드(150)의 고정부재(173c)에 체결되어, 셔터(171c)를 횡으로 회전시킨다. 이때, 센서부(160)에 셔터를 근접시키기 위해, 가이드(150)는 센서부(160)와 근접하며, 셔터(171c)가 삽입되기 위해 횡으로 일정한 홈(155)을 구비할 수 있다. 홈(155)을 통해, 셔터(171c)는 선택적으로 홈(155)에 삽입되었다 배출 된다. 이로써, 셔터(171c)는 센서부(160)의 전면에 불필요한 물질이 증착되는 것을 방지할 수 있다.
도 3d에서와 같이, 가이드(150)는 센서부(160)의 후면을 노출하는 후면 개구를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 가이드(150)는 관통형의 형태를 가질 수 있다.
셔터부(170d)는 셔터(171d) 및 회전부재(172d)를 포함한다. 셔터(171a)는 가이드의 후면 개구에 노출된 센서부(160)에 고정될 수 있다. 즉, 셔터(171a)는 센서부(160)의 후면의 적어도 일부분을 닫을 수 있다.
회전부재(172d)의 일측은 셔터(171d)의 외측에 배치되며, 회전부재(172d)의 타측은 가이드(150)를 지지하는 지지부재(140)에 결합될 수 있다.
회전부재(172d)는 셔터(171d) 및 가이드(150)를 전후로 회전할 수 있다. 즉, 센서부(160)로 불필요한 물질이 증착될 경우, 셔터(171d)에 의해 닫힌 센서부(160)의 후면을 도가니(도 2에서 130)와 대향되도록 셔터(171d) 및 가이드(150)를 회전시킨다.
도면에는 도시되었으나, 상세한 설명해서 설명하지 않은 참조번호 180은 센서부에서 감지된 신호를 제어부로 제공하는 케이블이다.
따라서, 본 발명의 실시예에서는 센서부(160)에 선택적으로 개폐가 가능한 셔터부(170;170a, 170b, 170c, 170d)를 구비하여, 센서부(160)로 증착되지 말아야 할 물질이 증착되는 것을 방지할 수 있어, 센서부(160)의 수명을 연장시킬 수 있다. 또한, 도가니(130)는 회전부(120)에 의해 회전하며 증착공정을 수행함에 따라, 기판(115)상에 균일한 박막을 형성할 수 있다. 이와 더불어, 센서부(160)는 도가 니(130)와 같이 회전하며, 각 도가니(130)로부터 증발된 증착물질에 의해 증착된 박막의 두께 및 증착 속도를 측정할 수 있다. 또한, 센서부(160)가 회전할 때 셔터부(160)도 함께 회전하게 될 뿐만 아니라, 센서부(160)와 셔터부(170)는 동일하게 이동될 수 있어, 센서부(160)에 셔터부(170)가 얼라인되지 않아 센서부(160)가 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기물 증착 장치를 설명하기 위해 도시한 도면들이다. 도 4a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 회전부의 사시도이고, 도 4b는 도 4a에 도시된 캡의 확대도이다. 제 2 실시예에서 캡을 제외하고 앞서 설명한 제 1 실시예와 동일한 구성을 가진다. 따라서, 제 2 실시예는 제 1 실시예와 반복되는 설명은 생략하기로 하며, 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 지칭한다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 유기물 증착 장치는 증착 챔버(도 1에 도시된 100)내에 배치된 기판장착부(도 1에 도시된 110), 회전부(120), 도가니(130), 가이드(150), 센서부(160) 및 셔터부(170)를 포함한다.
회전부(120)는 파티션(125)에 의해 적어도 2 이상의 셀(122)들로 구분되며, 각 셀(122)에는 도가니(130), 센서부(160) 및 셔터부(170)가 배치되어 있을 수 있다.
각 도가니(130)에는 캡(235)이 부착되어 있다. 캡(235)은 도가니(130)에 배치된 힌지부재(240)에 체결되어, 도가니(130)를 선택적으로 개폐할 수 있다. 즉, 다수의 도가니(130), 예를 들면 제 1 및 제 2 도가니를 구비할 경우, 제 1 및 제 2 도가니는 동일한 물질을 저장하고 있을 수 있다. 이때, 제 1 도가니는 캡을 열고, 제 2 도가니는 캡을 닫은 상태에서 증착공정을 수행한다. 이후, 제 1 도가니의 증착물질이 소멸될 경우, 제 2 도가니는 캡을 열은 후 증착공정을 다시 수행한다. 이로써, 증착공정시 증착물질을 모두 증발시킨후에 다시 증착물질을 도가니에 채우는 시간을 단축할 수 있다.
그러나, 제 2 도가니를 이용하는 증착공정에서, 제 1 도가니가 열려 있을 경우 제 1 도가니에 잔류할 수 있는 증착물질이 증발되어 센서부(150)를 오염시키거나 기판에 불균일한 두께를 갖는 박막을 형성할 수 있다. 또는, 증착 챔버(100)의 내부를 오염시킬 수 있다. 이로써, 제 2 도가니를 이용할 경우 제 1 도가니는 캡으로 닫아서, 센서부(150)가 오염되는 것을 1차적으로 방지하며, 센서부(150)에 배치된 셔터부(170)에 의해 2차적으로 방지할 수 있다.
또한, 캡(235)은 증착물질이 저장될 수 있도록 일정한 공간을 가질 수 있다. 예를 들어, 캡(235)은 컵의 형상을 가질 수 있다. 이로써, 캡(235)으로 닫힌 도가니(130)에 물질이 증발되어 캡(235)에 증착될 경우, 캡(235)에 증착된 물질을 재생하여 사용할 수 있다. 이로써, 환경 오염을 방지하며 재료비에 대한 원가를 줄일 수 있다. 또한, 캡(235)에 증착물질이 과도하게 증착되어 캡(235)과 도가니(130)사이에 틈이 형성되는 것을 방지하기 위해 캡(235)을 자주 세정하는 공정을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기물 증착장치를 설명하기 도시한 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시된 회전부의 사시도이다.
도 3a 내지 도 3d들은 도 1에 도시된 셔터부의 다양한 형태를 도시한 도면들이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기물 증착 장치를 설명하기 위해 도시한 도면들이다.
(도면의 주요 부분에 대한 참조 부호의 설명)
100 : 진공챔버 110 : 기판장착부
115 : 기판 120 : 회전부
130 : 도가니 135, 235 : 캡
140 : 지지부재 150 : 가이드
160 : 센서부
170, 170a, 170b, 170c, 170d : 셔터부

Claims (9)

  1. 증착 챔버;
    상기 증착 챔버의 내부에 배치되며, 증착물질이 증착되는 기판을 고정하는 기판 장착부;
    상기 기판 장착부와 대향하며, 회전이 가능한 회전부;
    상기 회전부에 배치되며, 상기 증착 물질을 저장 및 증발시키는 도가니;
    상기 회전부에 고정되며, 적어도 상기 도가니와 대응된 개구를 갖는 가이드;
    상기 가이드의 개구에 의해 상기 도가니와 대향된 전면(front face)이 노출되며, 상기 증착물질의 제어 변수를 센싱하는 센서부; 및
    상기 가이드에 배치되며, 상기 가이드로부터 노출된 개구를 선택적으로 개폐하는 셔터부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 셔터부는
    상기 개구와 근접하는 상기 가이드에 배치되어 상기 가이드의 개구를 개폐할 수 있는 셔터; 및
    상기 가이드와 상기 셔터를 결합시키며, 상기 셔터가 상기 가이드의 개구를 선택적으로 개폐시키기 위해 상기 셔터를 접었다 펼 수 있는 힌지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 셔터부는
    상기 개구와 근접하는 상기 가이드에 배치되어, 상기 가이드의 개구를 개폐할 수 있는 셔터; 및
    상기 가이드와 상기 셔터를 결합시키며, 상기 셔터가 상기 가이드의 개구를 선택적으로 개폐시키기 위해 상기 셔터를 상기 가이드의 횡으로 회전시키는 회전부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드는 상기 센서부의 전면과 근접하여 횡으로 일정한 홈을 구비하고, 상기 셔터부는 상기 홈으로 삽입되었다 배출되어 상기 센서부의 전면을 개폐할 수 있는 셔터; 및
    상기 홈과 근접하는 상기 가이드에 배치되어, 상기 가이드와 상기 셔터를 결합시키며, 상기 셔터가 상기 가이드의 개구를 선택적으로 개폐시키기 위해 상기 셔터를 상기 가이드의 횡으로 회전시키는 회전부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 셔터부는 센서부의 후면에 고정된 셔터; 및
    상기 셔터의 외측면에 부착되어, 상기 셔터 및 상기 가이드를 전후로 회전시키는 회전부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 도가니를 선택적으로 개폐할 수 있는 캡을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 캡은 증착된 증착 물질을 저장할 수 있도록 일정한 깊이를 갖는 공간을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 캡은 컵의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전부를 적어도 하나 이상의 셀들로 구분하며 상기 회전부상에 배치된 파티션을 포함하며,
    상기 도가니 및 상기 센서부는 각 셀에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
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