KR20090013120A

KR20090013120A - 액정 표시 장치

Info

Publication number: KR20090013120A
Application number: KR1020080074743A
Authority: KR
Inventors: 히로유끼 아베; 히로아끼 아스마; 다까미쯔 가마다
Original assignee: 가부시키가이샤 히타치 디스프레이즈
Priority date: 2007-07-31
Filing date: 2008-07-30
Publication date: 2009-02-04
Also published as: EP2023186A3; CN101923231A; EP2023186A2; TW200919014A; CN101923231B; KR101039158B1; CN101359110A; JP2009036794A; CN101359110B; US20090033857A1

Abstract

한쪽의 기판 상에 이면 도전막이 형성되는 액정 표시 장치에서, 이면 도전막에 기준 전위를 확실하게 공급한다. 제1 기판과, 제2 기판과, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되는 액정을 갖는 액정 표시 장치로서, 상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면에 이면 도전막을 갖고, 상기 제1 기판은, 상기 제1 기판 상에 설치되며 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속되는 패드 전극과, 상기 제1 기판 상에서 상기 패드 전극보다도 아래의 층에 형성되는 도전막과, 상기 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과, 상기 패드 전극과 상기 도전막을 접속하는 적어도 1개의 컨택트홀을 갖는다. 상기 제1 기판의 상기 도전막은 금속막 혹은 투명 도전막이다.

제1 기판, 제2 기판, 도전성 부재, GND 패드 전극, GND 배선, 금속막

Description

액정 표시 장치{LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}

본 발명은, 액정 표시 장치에 관한 것으로, 특히 한쪽의 기판 상에 이면측 투명 도전막이 형성되는 액정 표시 장치에 적용하기에 유효한 기술에 관한 것이다.

액정 표시 장치로서, IPS(In Plane Switching) 방식의 액정 표시 장치가 알려져 있고, 이 IPS 방식의 액정 표시 장치에서는 화소 전극과 대향 전극을 동일한 기판 상에 형성하고, 그 사이에 전계를 인가시켜 액정을 기판 평면 내에서 회전시킴으로써, 명암의 컨트롤을 행하고 있다. 그 때문에, 경사로부터 화면을 보았을 때에 표시상의 농담이 반전되지 않는다고 하는 특징을 갖는다.

IPS 방식의 액정 표시 패널은 TN 방식의 액정 표시 패널이나 VA 방식의 액정 표시 패널과는 달리, 컬러 필터가 설치되는 기판 상에 대향 전극이 존재하지 않는다. 그 때문에, 표시 노이즈를 저감하는 등의 이유에 의해, 컬러 필터 등이 설치되는 기판 상에 이면측 투명 도전막이 형성되어 있다(하기, 특허 문헌 1 참조).

이 이면측 투명 도전막은 박막 트랜지스터 등이 형성되는 기판 상에 형성된 GND 패드 전극과 도전성 부재에 의해 전기적으로 접속된다. 그리고, GND 패드 전극은 플렉시블 배선 기판의 GND 단자에 접속되므로, 이면측 투명 도전막에는 GND의 기준 전압이 공급된다.

또한, 본원 발명에 관련되는 선행 기술 문헌으로서는 이하의 것이 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 평9-105918호 공보

전술한 GND 패드 전극과, GND 패드 전극과 플렉시블 배선 기판의 GND 단자를 접속하는 GND 배선은, 절연막 상에 형성된다.

그러나, 종래의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 구조에서는 절연막의 응력에 의해, GND 패드 전극 혹은 GND 배선에 크랙이 생겨, 이면측 투명 도전막과, 플렉시블 배선 기판의 GND 단자 사이의 도통(접속) 불량이 발생하는 경우가 있었다. 본 발명은, 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 한쪽의 기판 상에 이면 도전막이 형성되는 액정 표시 장치에서, 이면 도전막에 기준 전위를 확실하게 공급하는 것이 가능하게 되는 기술을 제공하는 데에 있다.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 신규의 특징은, 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 명백하게 된다.

본원에서 개시되는 발명 중, 대표적인 것의 개요를 간단히 설명하면, 하기와 같다.

(1) 제1 기판과, 제2 기판과, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되 는 액정을 갖는 액정 표시 장치로서, 상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면에 이면 도전막을 갖고, 상기 제1 기판은, 상기 제1 기판 상에 설치되며 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속되는 패드 전극과, 상기 제1 기판 상에서 상기 패드 전극보다도 아래의 층에 형성되는 도전막과, 상기 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과, 상기 패드 전극과 상기 도전막을 접속하는 적어도 1개의 컨택트홀을 갖는다.

(2) (1)에 있어서, 상기 적어도 1개의 컨택트홀은, 상기 제2 기판에 의해 덮여져 있다.

(3) (1) 또는 (2)에 있어서, 상기 제1 기판의 상기 도전막은 금속막이다.

(4) (1) 또는 (2)에 있어서, 상기 제1 기판의 상기 도전막은 투명 도전막이다.

(5) 제1 기판과, 제2 기판과, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되는 액정을 갖는 액정 표시 장치로서, 상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면에 이면 도전막을 갖고, 상기 제1 기판은, 상기 제1 기판 상에 설치되며 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속되는 패드 전극과, 상기 제1 기판 상에서 상기 패드 전극보다도 아래의 층에 형성되는 제1 도전막과, 상기 제1 기판 상에서 상기 제1 도전막보다도 아래의 층에 형성되는 제2 도전막과, 상기 제2 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과, 상기 패드 전극과 상기 제1 도전막을 접속하는 컨택트부와, 상기 패드 전극과 상기 제2 도전막을 접속하는 적어도 1개의 제1 컨택트홀을 갖는다.

(6) (5)에 있어서, 상기 컨택트부는, 상기 패드 전극과 상기 제2 도전막을 접속하는 적어도 1개의 제2 컨택트홀과, 상기 패드 전극과 상기 제1 도전막을 접속하는 적어도 1개의 제3 컨택트홀을 갖는다.

(7) (5) 또는 (6)에 있어서, 상기 적어도 1개의 제1 컨택트홀은, 상기 제2 기판에 의해 덮여져 있다.

(8) (5) 내지 (7) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 도전막은 투명 도전막이며, 상기 제2 도전막은 금속막이다.

(9) 제1 기판과, 제2 기판과, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되는 액정을 갖는 액정 표시 장치로서, 상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면에 이면 도전막을 갖고, 상기 제1 기판은, 상기 제1 기판의 표면보다도 아래의 층에 형성되는 도전막과, 상기 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과, 상기 도전막을 노출하는 개구부를 갖고, 상기 도전막은, 상기 개구부 내에서 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속된다.

(10) (9)에 있어서, 상기 개구부의 일부는, 상기 제2 기판에 의해 덮여져 있다.

(11) (9) 또는 (10)에 있어서, 상기 제1 기판의 상기 도전막은 금속막이다.

(12) (9) 또는 (10)에 있어서, 상기 제1 기판의 상기 도전막은 투명 도전막이다.

(13) 제1 기판과, 제2 기판과, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되는 액정을 갖는 액정 표시 장치로서, 상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면 에 이면 도전막을 갖고, 상기 제1 기판은, 상기 제1 기판의 표면보다도 아래의 층에 형성되는 도전막과, 상기 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과, 상기 도전막을 노출하는 개구부와, 상기 제1 기판 상에 설치되며, 상기 개구부를 덮는 패드 전극을 갖고, 상기 패드 전극은, 상기 개구부 내에서 상기 도전막과 접속됨과 함께, 상기 개구부 내에서 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속된다.

(14) (13)에 있어서, 상기 개구부의 일부는, 상기 제2 기판에 의해 덮여져 있다.

(15) (13) 또는 (14)에 있어서, 상기 제1 기판의 상기 도전막은 금속막이다.

(16) (13) 또는 (14)에 있어서, 상기 제1 기판의 상기 도전막은 투명 도전막이다.

(17) (4), (8), (16)에 있어서, 상기 제1 기판의 상기 패드 전극과 상기 제1 기판의 상기 투명 도전막 사이에, 질화 실리콘막을 갖는다.

(18) (1) 내지 (8) 혹은 (13) 내지 (17) 중 어느 하나에 있어서, 상기 패드 전극과 상기 기준 전압 단자를 접속하는 제2 접속 배선을 갖는다.

(19) (1) 내지 (8) 혹은 (13) 내지 (18) 중 어느 하나에 있어서, 상기 패드 전극은 투명 도전막이다.

본원에서 개시되는 발명 중 대표적인 것에 의해 얻어지는 효과를 간단히 설명하면, 하기와 같다.

본 발명에 따르면, 한쪽의 기판 상에 이면 도전막이 형성되는 액정 표시 장치에서, 이면 도전막에 기준 전위를 확실하게 공급하는 것이 가능하게 된다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.

또한, 실시예를 설명하기 위한 전체 도면에서, 동일 기능을 갖는 것은 동일부호를 붙이고, 그 반복된 설명은 생략한다.

<실시예 1>

도 1은 본 발명의 실시예 1의 액정 표시 장치의 개략 구성을 도시하는 평면도이며, 도 2는 본 발명의 실시예 1의 액정 표시 장치의 개략 구성을 도시하는 측면도이다. 본 실시예의 액정 표시 장치는, 휴대 전화기 등의 표시부로서 사용되는 소형의 TFT 방식의 액정 표시 장치이다.

도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 액정 표시 패널은 화소 전극, 박막 트랜지스터 등이 설치된 제1 기판(이하, TFT 기판이라고 함)(12)과, 컬러 필터 등이 형성되는 제2 기판(이하, CF 기판이라고 함)(11)을, 소정의 간극을 두고 서로 겹치고, 상기 양 기판간의 주연부 근방에 틀 형상으로 설치한 시일재에 의해, 양 기판을 접합함과 함께, 시일재의 일부에 설치한 액정 봉입구로부터 양 기판간의 시일재의 내측에 액정을 봉입, 밀봉하고, 또한 양 기판의 외측에 편광판을 접착하여 구성된다(일부 도시 생략). 이와 같이, 본 실시예의 액정 표시 장치에서는, 액정이 한 쌍의 기판 사이에 협지된 구조로 되어 있다.

또한, TFT 기판(12)은 CF 기판(11)보다도 큰 면적을 갖고, TFT 기판(12)의, CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역에는 박막 트랜지스터를 구동하는 드라이버를 구성하는 반도체 칩(도시하지 않음)이 실장되고, 또한 그 영역의 한 변의 주변부에는 플렉시블 배선 기판(FPC)이 실장된다.

IPS 방식의 액정 표시 패널은 TN 방식의 액정 표시 패널이나 VA 방식의 액정 표시 패널과는 달리, 컬러 필터가 설치되는 CF 기판(11) 상에 대향 전극(CT)이 존재하지 않는다. 그 때문에, 표시 노이즈를 저감하는 등의 이유에 의해, 도 2에 도시한 바와 같이, CF 기판(11)의 외측에는 이면측 투명 도전막(CD)이 형성되어 있다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 이 이면측 투명 도전막(CD) 상에는 편광판(POL)이 형성된다.

이 이면측 투명 도전막(CD)은, 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 예를 들면 도전성 수지막 등으로 이루어지는 도전성 부재(14)에 의해, TFT 기판(12) 상에 형성된 GND 패드 전극(15)과 전기적으로 접속된다. 또한, 이 GND 패드 전극(15)은 TFT 기판(12)에서의 CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역의 한 변의 주변부에 형성된 GND 단자(도시하지 않음)에 접속된다. 그리고, GND 단자는 플렉시블 배선 기판(FPC)측의 GND 단자에 접속되므로, 이면측 투명 도전막(CD)에는 GND의 기준 전압이 공급된다.

도 11은, 종래의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)의 구성을 도시하는 평면도이며, 도 12는, 종래의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)의 단면 구조를 도시하는 단면도이다.

또한, 도 12 및 후술하는 도 4, 도 5, 도 6, 도 8, 도 10에서, PAS1∼PAS3은 층간 절연막이며, 층간 절연막(PAS1) 및 층간 절연막(PAS3)은, 예를 들면 질화 실리콘(SiN)막으로 구성되고, 층간 절연막(PAS2)은 광 경화성 고분자막으로 구성된다. 또한, SUB는, 예를 들면 글래스 기판이나 플라스틱 기판 등의 투명한 기판이다. 또한, 도 11 및 후술하는 도 3, 도 7, 도 9에서, 참조 부호 19는 CF 기판(11)의 가장자리(혹은, 블랙 매트릭스(BM)의 가장자리)이다.

도 11에 도시한 바와 같이, 종래의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)은 사각 형상의 투명 전극이며, 이 GND 패드 전극(15)은, 예를 들면 ITO 등으로 형성된다. 또한, GND 패드 전극(15)은 GND 배선(20)에 의해, TFT 기판(12)에서의 CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역의 한 변의 주변부에 형성된 GND 단자(도시하지 않음)와 접속된다.

여기서, 도 12에 도시한 바와 같이, 전술한 GND 패드 전극(15)과, GND 배선(20)은, 층간 절연막(PAS1) 상에 형성된다.

그러나, 전술한 바와 같이, 종래의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 구조에서는 층간 절연막(PAS1)의 응력에 의해, 도 11의 A로 나타내는 바와 같이 GND 패드 전극(15) 혹은 도 11의 B로 나타내는 바와 같이 GND 배선(20)에 크랙이 생겨, 이면측 투명 도전막(CD)과, 플렉시블 배선 기판(FPC)의 GND 단자 사이의 도통(접속) 불량이 발생하는 경우가 있었다.

도 3은, 본 실시예의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)의 구성을 도시하는 평면도이며, 도 4는, 도 3에 도시한 A-A' 절단선에 상당하는 부분의 단면 구조를 도시하는 단면도이며, 도 5는, 도 3에 도시한 B-B' 절단선에 상당하는 부분의 단면 구조를 도시하는 단면도이며, 도 6은 도 3에 도시한 C-C' 절단선에 상당하는 부분의 단면 구조를 도시하는 단면도이다.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)도, 사각 형상의 투명 전극이며, 이 GND 패드 전극(15)은, 예를 들면 ITO 등으로 형성된다. 또한, GND 패드 전극(15)은 GND 배선(20)에 의해, TFT 기판(12)에서의 CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역의 한 변의 주변부에 형성된 GND 단자(도시하지 않음)와 접속된다.

본 실시예에서는, 기판(SUB) 상에 형성되는 금속막(17)과, GND 배선(21)을 갖는다. 금속막(17)은 가늘고 긴 띠 형상을 가짐과 함께, GND 배선(21)에 의해, TFT 기판(12)에서의 CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역의 한 변의 주변부에 형성된 GND 단자(도시하지 않음)와 접속된다. 또한, 금속막(17)과 GND 배선(21)은, 예를 들면 Al 혹은 Al 합금 등으로 형성된다.

도 4에 도시한 바와 같이, 금속막(17)은 컨택트홀(16a)에 의해, GND 패드 전극(15)과 전기적으로 접속된다. 또한, 도 3에서는, 컨택트홀(16a)은 5개 형성한 경우를 도시하고 있지만, 적어도 1개 있으면 된다.

도 4에서는, 컨택트홀(16a)을, 층간 절연막(PAS2)의 구멍(16a1)과, 층간 절연막(PAS1) 및 층간 절연막(PAS3)의 구멍(16a2) 2개로 형성한 경우를 도시하고 있다. 또한, 구멍(16a2)은 적어도 1개 있으면 된다.

본 실시예에서, 컨택트홀(16a)은 금속막(17)과 GND 패드 전극(15)을 전기적으로 접속하기 위해 형성되는 것이며, 따라서 컨택트홀(16a)은 1개이어도 되지만, 복수개 형성함으로써 용장성을 향상시키는 것이 가능하다.

또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 컨택트홀(16a)이 형성되는 영역에서는 층간 절연막(PAS2)이 제거되고(16a1), 구멍(16a2)은 PAS1과 PAS3의 층간 절연막에 형성된다.

또한, 본 실시예에서는 층간 절연막(PAS2) 상에 형성되고, 가늘고 긴 띠 형상의 투명 도전막(18)을 갖는다. 또한, 투명 도전막(18)은, 예를 들면 ITO 등으로 형성되고, 대향 전극(CT)과 동일 공정에서 형성된다.

도 5에 도시한 바와 같이, 투명 도전막(18)은 컨택트홀(16b)에 의해, GND 패드 전극(15)과 전기적으로 접속된다. 도 5에서는, 컨택트홀(16b)은 층간 절연막(PAS1)의 2개의 구멍(16b2)으로 형성하고 있지만, 구멍(16b2)은 적어도 1개 있으면 된다.

그리고, GND 패드 전극(15)은 컨택트홀(16a)에 의해, 금속막(17)에 접속된다. 또한, 도 3에서는, 컨택트홀(16b)은 5개 형성한 경우를 도시하고 있다.

본 실시예에서, 컨택트홀(16b)은 투명 도전막(18)과 GND 패드 전극(15)을 전기적으로 접속하기 위해, 또한 컨택트홀(16a)은 GND 패드 전극(15)과 금속막(17)을 전기적으로 접속하기 위해 형성되는 것이며, 따라서 참조 부호 16a, 16b의 컨택트홀은 1개 있어도 되지만, 복수개 형성함으로써 용장성을 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 컨택트홀(16b)은 층간 절연막(PAS1)에 형성된다.

도 6은, 도 3의 C-C'절단선의 단면을 도시하는 도면로서, 도 3의 점선 틀(23)로 둘러싼 컨택트부를 도시하고 있다. 투명 도전막(18)과 금속막(17)은 컨택트홀(16b), GND 패드 전극(15), 컨택트홀(16a)을 통하여 전기적으로 접속되어 있다.

본 실시예에서는, 층간 절연막(PAS1)의 응력에 의해, 도 11의 A로 나타내는 바와 같이 GND 패드 전극(15) 혹은 도 11의 B로 나타내는 바와 같이 GND 배선(20)에 크랙이 생겼다고 하여도, 금속막(17) 및 GND 배선(21)에 의해, 이면측 투명 도전막(CD)과, 플렉시블 배선 기판(FPC)의 GND 단자는 전기적으로 접속되므로, 이면측 투명 도전막(CD)과, 플렉시블 배선 기판(FPC)의 GND 단자 사이의 도통(접속) 불량이 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시예에서, 금속막(17)은 TFT 기판(12)과 CF 기판(11)이 대향하는 영역 내에 형성할 수 있으므로, 외관상, 금속막(17)을 보이지 않게 할 수 있다.

또한, 본 실시예에서, 이면측 투명 도전막(CD)과, 플렉시블 배선 기판(FPC)의 GND 단자는 금속막(17) 및 GND 배선(21)에 의해 전기적으로 접속되므로, GND 배선(20)은 반드시 필요한 것은 아니지만, 참조 부호 20과 21의 GND 배선을 형성함으로써, 보다 용장성을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

마찬가지로, 투명 도전막(18)도 반드시 필요한 것은 아니지만, 투명 도전막(18), 컨택트홀(16b) 및 컨택트부(23)(예를 들면, 도 6과 같이)를 형성함으로써, 보다 용장성을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 금속막(17) 대신에, 층간 절연막(PAS2) 상에 형성되는 투명 도전막을 이용하는 것도 가능하다.

<실시예 2>

도 7은, 본 발명의 실시예 2의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)의 구성을 도시하는 평면도이며, 도 8은, 본 발명의 실시예 2의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 단면 구조를 도시하는 단면도이다.

도 7에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)도, 사각 형상의 투명 전극이며, 이 GND 패드 전극(15)은, 예를 들면 ITO 등으로 형성된다. 또한, GND 패드 전극(15)은 GND 배선(20)에 의해, TFT 기판(12)에서의 CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역의 한 변의 주변부에 형성된 GND 단자(도시하지 않음)와 접속된다.

본 실시예에서는, 층간 절연막(PAS2) 상에 형성되는 투명 도전막(18)과, GND 배선(22)을 갖는다. 투명 도전막(18)은 GND 배선(22)에 의해, TFT 기판(12)에서의 CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역의 한 변의 주변부에 형성된 GND 단자(도시하지 않음)와 접속된다. 또한, 투명 도전막(18) 및 GND 배선(22)은, 예를 들면 ITO 등으로 형성되고, 대향 전극(CT)과 동일 공정에서 형성된다.

본 실시예에서는, 투명 도전막(18)도 사각 형상으로 되고, 투명 도전막(18)은 GND 패드 전극(15)과 거의 동등한 면적으로 된다. 또한, 투명 도전막(18)의 면적은 GND 패드 전극(15)의 면적에 대해 80∼120％의 범위가 바람직하다.

또한, 본 실시예에서는 투명 도전막(18)의 대부분(80％ 이상이 바람직함)을 노출하는 개구부(25)가, 층간 절연막(PAS1)에 형성된다. GND 패드 전극(15)은 이 개구부(25)를 덮도록 형성된다.

따라서, 본 실시예에서는 층간 절연막(PAS1)의 응력에 의해, 도 11의 A로 나타내는 바와 같이 GND 패드 전극(15) 혹은 도 11의 B로 나타내는 바와 같이 GND 배선(20)에 크랙이 생기는 일이 없으므로, 이면측 투명 도전막(CD)과, 플렉시블 배선 기판(FPC)의 GND 단자 사이의 도통(접속) 불량이 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시예에서, 이면측 투명 도전막(CD)과, 플렉시블 배선 기판(FPC)의 GND 단자는 투명 도전막(18) 및 GND 배선(22)에 의해 전기적으로 접속되므로, GND 배선(20)은 반드시 필요한 것은 아니지만, 참조 부호 20과 22의 GND 배선을 형성함으로써, 보다 용장성을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시예에서는 GND 패드 전극(15)이 없는 경우라도, 개구부(25) 내에 충전한 도전성 부재(14)에 의해, 이면측 투명 도전막(CD)과, 투명 도전막(18)을 전기적으로 접속할 수 있으므로, GND 패드 전극(15)도 반드시 필요한 것은 아니다. 그러나, 개구부(25) 내에 먼지 등이 들어가, 이면측 투명 도전막(CD)과, 투명 도전막(18)의 접속 불량이 발생하는 것을 방지하기 위해, 개구부(25)를 덮도록, GND 패드 전극(15)을 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 이 투명 도전막(18)은 가늘고 긴 띠 형상이어도 된다.

<실시예 3>

도 9는, 본 발명의 실시예 3의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)의 구성을 도시하는 평면도이며, 도 10은 본 발명의 실시예 3의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 단면 구조를 도시하는 단면도이다.

도 9에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극(15)도, 사각 형상의 투명 전극이며, 이 GND 패드 전극(15)은, 예를 들면 ITO 등으로 형성된다. 또한, GND 패드 전극(15)은 GND 배선(20)에 의해, TFT 기판(12)에서의 CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역의 한 변의 주변부에 형성된 GND 단자(도시하지 않음)와 접속된다.

본 실시예에서는, 기판(SUB) 상에 형성되는 금속막(17)과, GND 배선(21)을 갖는다. 금속막(17)은 GND 배선(21)에 의해, TFT 기판(12)에서의 CF 기판(11)과 대향하지 않는 영역의 한 변의 주변부에 형성된 GND 단자(도시하지 않음)와 접속된다. 또한, 금속막(17) 및 GND 배선(21)은, 예를 들면 Al 혹은 Al 합금 등으로 형성된다.

본 실시예에서는, 금속막(17)도 사각 형상으로 되고, 금속막(17)은 GND 패드 전극(15)과 거의 동등한 면적으로 된다. 또한, 금속막(17)의 면적은 GND 패드 전극(15)의 면적에 대해 80∼120％의 범위가 바람직하다.

또한, 본 실시예에서는 금속막(17)의 대부분(80％ 이상이 바람직함)을 노출하는 개구부(25)가 형성된다. 이 개구부(25) 내에서, GND 패드 전극(15)과 금속막(17)은 전기적으로 접속된다. GND 패드 전극(15)은, 이 개구부(25)를 덮도록 형성된다. 또한, 도 10에 도시한 바와 같이, 개구부(25)가 형성되는 영역에서는 층간 절연막(PAS2)이 제거되고, 개구부(25)는 PAS1과 PAS3의 층간 절연막에 형성된다.

따라서, 본 실시예에서는 층간 절연막(PAS1)의 응력에 의해, 도 11의 A로 나 타내는 바와 같이 GND 패드 전극(15) 혹은 도 11의 B로 나타내는 바와 같이 GND 배선(20)에 크랙이 생기는 일이 없으므로, 이면측 투명 도전막(CD)과, 플렉시블 배선 기판(FPC)의 GND 단자 사이의 도통(접속) 불량이 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시예에서는, GND 패드 전극(15)이 없는 경우라도, 개구부(25) 내에 충전한 도전성 부재(14)에 의해, 이면측 투명 도전막(CD)과, 금속막(17)을 전기적으로 접속할 수 있으므로, GND 패드 전극(15)도 반드시 필요한 것은 아니다. 그러나, 그 후의 제조 공정에서, 금속막(17)이 산화하여, 이면측 투명 도전막(CD)과, 금속막(17)의 접속 불량이 발생하는 것을 방지하기 위해, 개구부(25)를 덮도록, GND 패드 전극(15)을 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 이 금속막(17)은 가늘고 긴 띠 형상이어도 된다.

이상, 본 발명자에 의해 이루어진 발명을, 상기 실시예에 기초하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은, 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경 가능한 것은 물론이다.

도 1은 본 발명의 실시예 1의 액정 표시 장치의 개략 구성을 도시하는 평면도.

도 2는 본 발명의 실시예 1의 액정 표시 장치의 개략 구성을 도시하는 측면도.

도 3은 본 발명의 실시예 1의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 구성을 도시하는 평면도.

도 4는 도 3에 도시한 A-A' 절단선에 상당하는 부분의 단면 구조를 도시하는 단면도.

도 5는 도 3에 도시한 B-B' 절단선에 상당하는 부분의 단면 구조를 도시하는 단면도.

도 6은 도 3에 도시한 C-C' 절단선에 상당하는 부분의 단면 구조를 도시하는 단면도.

도 7은 본 발명의 실시예 2의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 구성을 도시하는 평면도.

도 8은 본 발명의 실시예 2의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 단면 구조를 도시하는 단면도.

도 9는 본 발명의 실시예 3의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 구성을 도시하는 평면도.

도 10은 본 발명의 실시예 3의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 단면 구조 를 도시하는 단면도.

도 11은 종래의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극의 구성을 도시하는 평면도.

도 12는 종래의 액정 표시 장치의 GND 패드 전극부의 단면 구조를 도시하는 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

11 : 제2 기판

12 : 제1 기판

14 : 도전성 부재

15 : GND 패드 전극

16a, 16b : 컨택트홀

17 : 금속막

18 : 투명 도전막

20, 21, 22 : GND 배선

23 : 컨택트부

25 : 개구부

Claims

제1 기판과,

제2 기판과,

상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되는 액정을 갖는 액정 표시 장치로서,

상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면에 이면 도전막을 갖고,

상기 제1 기판은, 상기 제1 기판 상에 설치되며 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속되는 패드 전극과,

상기 제1 기판 상에서 상기 패드 전극보다도 아래의 층에 형성되는 도전막과,

상기 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과,

상기 패드 전극과 상기 도전막을 접속하는 적어도 1개의 컨택트홀을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서,

상기 적어도 1개의 컨택트홀은, 상기 제2 기판에 의해 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서,

상기 제1 기판의 상기 도전막은 금속막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서,

상기 제1 기판의 상기 도전막은 투명 도전막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제1 기판과,

제2 기판과,

상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되는 액정을 갖는 액정 표시 장치로서,

상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면에 이면 도전막을 갖고,

상기 제1 기판은, 상기 제1 기판 상에 설치되며 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속되는 패드 전극과,

상기 제1 기판 상에서 상기 패드 전극보다도 아래의 층에 형성되는 제1 도전막과,

상기 제1 기판 상에서 상기 제1 도전막보다도 아래의 층에 형성되는 제2 도전막과,

상기 제2 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과,

상기 패드 전극과 상기 제1 도전막을 접속하는 컨택트부와,

상기 패드 전극과 상기 제2 도전막을 접속하는 적어도 1개의 제1 컨택트홀을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제5항에 있어서,

상기 컨택트부는, 상기 패드 전극과 상기 제2 도전막을 접속하는 적어도 1개의 제2 컨택트홀과,

상기 패드 전극과 상기 제1 도전막을 접속하는 적어도 1개의 제3 컨택트홀을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제5항에 있어서,

상기 적어도 1개의 제1 컨택트홀은, 상기 제2 기판에 의해 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제5항에 있어서,

상기 제1 도전막은 투명 도전막이며,

상기 제2 도전막은 금속막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제1 기판과,

제2 기판과,

상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되는 액정을 갖는 액정 표시 장 치로서,

상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면에 이면 도전막을 갖고,

상기 제1 기판은, 상기 제1 기판의 표면보다도 아래의 층에 형성되는 도전막과,

상기 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과,

상기 도전막을 노출하는 개구부를 갖고,

상기 도전막은, 상기 개구부 내에서 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제9항에 있어서,

상기 개구부의 일부는, 상기 제2 기판에 의해 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제9항에 있어서,

상기 제1 기판의 상기 도전막은 금속막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제9항에 있어서,

상기 제1 기판의 상기 도전막은 투명 도전막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제1 기판과,

제2 기판과,

상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 협지되는 액정을 갖는 액정 표시 장치로서,

상기 제2 기판은, 상기 액정과 반대측의 면에 이면 도전막을 갖고,

상기 제1 기판은, 상기 제1 기판의 표면보다도 아래의 층에 형성되는 도전막과,

상기 도전막과 기준 전압 단자를 접속하는 제1 접속 배선과,

상기 도전막을 노출하는 개구부와,

상기 제1 기판 상에 설치되며, 상기 개구부를 덮는 패드 전극을 갖고,

상기 패드 전극은, 상기 개구부 내에서 상기 도전막과 접속됨과 함께, 상기 개구부 내에서 도전성 부재를 통하여 상기 이면 도전막과 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제13항에 있어서,

상기 개구부의 일부는, 상기 제2 기판에 의해 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제13항에 있어서,

상기 제1 기판의 상기 도전막은 금속막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제13항에 있어서,

상기 제1 기판의 상기 도전막은 투명 도전막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제4항에 있어서,

상기 제1 기판의 상기 패드 전극과 상기 제1 기판의 상기 투명 도전막 사이에, 질화 실리콘막을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서,

상기 패드 전극과 상기 기준 전압 단자를 접속하는 제2 접속 배선을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제1항에 있어서,

상기 패드 전극은 투명 도전막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.