KR20090008517A - 흡착포 - Google Patents

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Abstract

케미컬 용액을 닦을 때 케미컬 용액과 Ph물질간의 화학반응에 의해 색깔변화로 산 또는 알카리 케미컬의 흡착상태를 구분할 수 있도록 하는 흡착포에 관한 것이다.
케미컬 용액을 닦은 흡착포가 산, 알카리, 유기물 중 어느 케미컬을 닦았는지 구분할 수 있도록 케미컬용액과 화학반응에 의해 색깔로 표시하고, 케미컬용액을 닦을 때 케미컬 성상에 맞는 색깔로 변색되도록 하여 오 분리수거로 인한 화재발생을 방지하기 위한 본 발명의 케미컬용액을 흡착하는 흡착포는, 상기 흡착포로 닦은 케미컬 용액의 종류를 확인할 수 있도록 산, 알카리, 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질을 도포한다.
반도체 제조공정에서 리크된 케미컬용액을 흡착포로 닦을 시 케미컬용액과 산, 알카리, 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질간의 화학반응에 의해 흡착포의 색깔이 변색됨에 따라 어떤 케미컬용액을 닦은 흡착포인지 육안으로 확인가능하여 성상에 맞는 흡착포를 분리 수거하여 화재사고를 사전에 예방한다.
케미컬 용액, Ph페이퍼, Ph물질, 흡착포, 케미컬용액의 성상간의 화재예방, 산성도측정

Description

흡착포{ADSORPTION FABRIC}
본 발명은 흡착포에 관한 것으로, 특히 케미컬 용액을 닦을 때 케미컬 용액과 Ph물질간의 화학반응에 의해 색깔변화로 산 또는 알카리 케미컬의 흡착상태를 구분할 수 있도록 하는 흡착포에 관한 것이다.
일반적으로 알데히드(aldehyde) 류는 원래, 암모니아(ammonia), 트리메틸아민(trimethylamine) 등의 알칼리성 냄새 성분, 황화수소, 메틸 메르캅탄(methyl mercaptan), 초산 등의 산성 냄새 성분에 비교하여 적당한 흡착재가 적다. 이와 같은 점으로부터, 주로 알데히드(aldehyde) 류를 타겟(target)이라고 한 흡착부재나, 알데히드(aldehyde) 류의 흡착을 확인하기 위한 검출 수단이 다수 제안 되어 있다.
일본국 특허공개 평 11-128329호 공보에 개시되는 포름알데히드(formaldehyde) 포착제는, 무기 암모늄(ammonium) 소금에 pH 지시약을 첨가하고 있다. 그리고 무기 암모늄(ammonium) 소금이 포름알데히드(formaldehyde)를 포착한 때, 암모늄(ammonium) 소금보다 산이 해방시키고, pH 지시약을 정색시킨다.
일본국 특허공개 소 56-66260호 공보에 개시되는 소독 지시약은, 아미노산과 pH 지시약으로 되어 있다. 그리고, 아미노산의 아미노기가 알데히드(aldehyde)를 포착하고 알칼리성을 잃어버린 때, 카르복실기에 따라서 강해지는 아미노산의 산성을 pH 지시약에 따라서 나타내게 되어 있다.
또한 케미컬용액은 반도체 제조공정 내에서 사용되며, 반도체 제조공정에서 사용되는 케미컬용액은 반도체 제조설비 상에서 리크(Leak)가 발생될 수 있다. 상기 반도체 제조설비 상에서 리크된 케미컬용액은 흡착포를 이용하여 닦은 후 그 흡착포를 성상별 분리 수거하도록 되어 있다. 흡착포를 분리 수거하는 이유는 케미컬 용액의 성상(산+유기물, 산+알카리, 알카리+유기) 간 반응에 의해 분리수거 봉투 내에서 화재가 발생할 수 있기 때문이다.
따라서 분리수거 봉투는 성상별로 구분하여 노란봉투, 청색봉투, 적색봉투를 구비하고 있다. 케미컬 용액중 산을 닦은 흡착포는 노란봉투, 알카리를 닦은 흡착포는 청색봉투, 유기물을 닦은 흡착포는 적색봉투에 각각 분리 수거한다.
그런데 케미컬 용액을 닦은 흡착포는 산, 알카리, 유기물 중 어느 케미컬을 닦았는지 구분할 수 없다. 이 때문에 간혹 작업자가 분리수거 봉투에 잘못 투입하는 경우가 발생되어 화재발생 우려가 있다.
따라서 본 발명의 목적은 케미컬 용액을 닦은 흡착포는 산, 알카리, 유기물 중 어느 케미컬을 닦았는지 구분할 수 있도록 케미컬용액과 화학반응에 의해 색깔로 표시하는 흡착포를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 케미컬용액을 닦을 때 케미컬 성상에 맞는 색깔로 변색되도록 하여 오 분리수거로 인한 화재발생을 방지하는 흡착포를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 케미컬용액을 닦을 때 케미컬의 종류를 육안으로 구분할 수 있는 흡착포를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 케미컬용액을 흡착하는 흡착포는, 상기 흡착포로 닦은 케미컬 용액의 종류를 확인할 수 있도록 산, 알카리, 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질을 도포한 것을 특징으로 한다.
상기 물질은 Ph페이퍼임을 특징으로 한다.
상기 케미컬용액 중 산을 닦을 경우 적색으로 색깔이 변색됨을 특징으로 한다.
상기 케미컬용액 중 알카리를 닦을 경우 청색으로 색깔이 변색됨을 특징으로 한다.
상기 케미컬 용액 중 유기물을 닦을 경우 황색으로 색깔이 변화됨을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시 양태에 따른 케미컬용액을 흡착하는 흡착포는, 상기 흡착포의 전,후면에 종이나 천으로 형성된 Ph측정판을 부 착함을 특징으로 한다.
상기 Ph측정판은 케미컬 용액의 종류를 확인할 수 있도록 산, 알카리, 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질로 형성됨을 특징으로 한다.
상기 Ph측정판은 상기 케미컬용액 중 산을 닦을 경우 적색으로 색깔이 변색됨을 특징으로 한다.
상기 Ph측정판은 상기 케미컬용액 중 알카리를 닦을 경우 청색으로 색깔이 변색됨을 특징으로 한다.
상기 Ph측정판은 상기 케미컬 용액 중 유기물을 닦을 경우 황색으로 색깔이 변화됨을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조공정에서 리크된 케미컬용액을 흡착포로 닦을 시 케미컬용액과 산, 알카리, 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질간의 화학반응에 의해 흡착포의 색깔이 변색됨에 따라 어떤 케미컬용액을 닦은 흡착포인지 육안으로 확인 가능하여 성상에 맞는 흡착포를 분리 수거하여 화재사고를 사전에 예방할 수 있는 이점이 있다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 발명의 일 실시 예에서는 흡착포로 닦은 케미컬 용액의 종류를 확인할 수 있도록 산(Acid), 알카리(Alkali), 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질(Material)을 흡착포에 도포한다. 산(Acid), 알카리(Alkali), 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질(Material)은 Ph가 된다. 상기 흡착포는 상기 색깔이 변색되는 물질에 담그어 상기 흡착포에 스며들도록 도포를 한다. 상기 흡착포는 상기 색깔이 변색되는 물질로 감싸도록 도포할 수도 있다.
반도체 제조공정에서 케미컬 용액은 산, 알카리, 유기물 등을 사용하며, 공정 진행 중에 리크된 산, 알카리, 유기물 등을 닦게 된다. 이때 산을 닦은 흡착포는 산성도가 예컨대 5.0Ph이하로 적색으로 변화되고, 알카리를 닦은 흡착포는 산성도가 예컨대 0.8Ph이상으로 청색으로 변화되며, 유기물을 닦은 흡착포는 산성도가 예컨대 6.0~7.0Ph의 황색으로 변화된다.
Ph는 용액의 산성도를 가늠하는 척도로서 수소이온농도의 상용로그 값을 구한 후 마이너스를 취한 값이다(pH = -log10[H+]). 일반적으로 용액의 수소이온농도는 매우 작은 값이기 때문에 다루기가 불편하다.
용액의 산성의 정도는 보통 수소이온농도 또는 수소이온지수(pH)로 나타낸다. 산의 세기의 정도는 산도(酸度)라고 하기도 하는데, 산도에는 본래 다른 뜻이 있으므로 구별하여 쓰는 것이 보통이다. 산 HA를 용매(溶媒) S에 녹였을 때, HA로 부터 양성자가 어느 정도의 세기로 방출되는가를 그 척도로 삼는다. 즉, HA+SA-+HS+와 같은 평형 상태가 있다 하고, 이 때의 평형상수 K는 하기 수학식 1에 의해 구할 수 있다.
Figure 112007051850213-PAT00001
용매가 대량일때는 [S]는 일정하므로, KA는 하기 수학식 2와 같이 구할 수 있다.
Figure 112007051850213-PAT00002
이때, logKA = pKA라고 놓고, pKA는 산성도를 나타낸다. 그리고 KA의 값을 산성도 상수라고 한다.
따라서 본 발명의 일 실시 예에서는 산을 닦은 흡착포는 적색, 알카리를 닦은 흡착포는 청색, 유기물을 닦은 흡착포는 황색으로 색깔이 변화되기 때문에 흡착포의 색깔로서 어떠한 성상의 케미컬용액을 닦은 흡착포인지 쉽게 구별할 수 있다. 이에 따라 흡착포의 분리수거를 잘못하였을 경우 흡착포의 색깔로 성상의 종류를 구별하여 잘못 분리된 분리수거 봉투에서 흡착포를 꺼내어 기준에 맞는 분리수거로 화재사고를 사전에 예방할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에서는 흡착포의 전,후면에 천이나 종이로 형성된 Ph 측정판을 부착한다. Ph측정판은 색으로 산성도를 측정할 수 있도록 흡착포에 부착하여 케미컬 용액을 닦았을 때 케미컬용액의 성상에 따라 색깔이 변색된다.
이때 산을 닦은 흡착포의 Ph측정판은 적색으로 변색되고, 알카리를 닦은 흡착포의 Ph측정판은 청색으로 변색되며, 유기물을 닦은 흡착포의 PH측정판은 황색으로 변색된다.
본 발명의 실시 예에서는 흡착포에 산(Acid), 알카리(Alkali), 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질(Material)을 도포하거나 흡착포에 Ph측정판을 부착하도록 하고 있으나, 흡착포를 Ph페이퍼로 감싸거나 흡착포에 Ph페이퍼를 부착하는 것도 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 실시 가능하다.
상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다, 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 예들 들어 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 산(Acid), 알카리(Alkali), 유기물 대응하여 색깔이 변색되는 물질(Material)을 흡착포에 부착하여 본 발명을 실시할 수 있는 것이 명백하다. 때문에 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.

Claims (11)

  1. 케미컬용액을 흡착하는 흡착포에 있어서,
    상기 흡착포로 닦은 케미컬 용액의 종류를 확인할 수 있도록 산, 알카리, 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질을 도포한 것을 특징으로 하는 흡찹포.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 물질은 Ph임을 특징으로 하는 흡착포.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 물질은 Ph페이퍼임을 특징으로 하는 흡착포.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 케미컬용액 중 산을 닦을 경우 적색으로 색깔이 변색됨을 특징으로 하는 흡착포.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 케미컬용액 중 알카리를 닦을 경우 청색으로 색깔이 변색됨을 특징으로 하는 흡착포.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 케미컬 용액 중 유기물을 닦을 경우 황색으로 색깔이 변화됨을 특징으로 하는 흡착포.
  7. 케미컬용액을 흡착하는 흡착포에 있어서,
    상기 흡착포의 전,후면에 종이나 천으로 형성된 Ph측정판을 부착함을 특징으로 하는 흡찹포.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 Ph측정판은 케미컬 용액의 종류를 확인할 수 있도록 산, 알카리, 유기물에 대응하여 색깔이 변색되는 물질로 형성됨을 특징으로 하는 흡착포.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 Ph측정판은 상기 케미컬용액 중 산을 닦을 경우 적색으로 색깔이 변색됨을 특징으로 하는 흡착포.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 Ph측정판은 상기 케미컬용액 중 알카리를 닦을 경우 청색으로 색깔이 변색됨을 특징으로 하는 흡착포.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 Ph측정판은 상기 케미컬 용액 중 유기물을 닦을 경우 황색으로 색깔이 변화됨을 특징으로 하는 흡착포.
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