KR20080108072A - 포고 핀을 구비한 프로브 유닛 및 이를 이용한 기판리페어장치 - Google Patents

포고 핀을 구비한 프로브 유닛 및 이를 이용한 기판리페어장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 포고 핀과 도전성 판재를 이용한 프로브 유닛에 관한 것으로서, 본 발명의 특징은 검사체와 전기적으로 접촉되는 다수의 포고 핀과 상기 다수의 포고 핀을 지지하도록 투명소재로 이루어지는 지지부, 그리고 상기 다수의 포고 핀을 통해 읽어들인 정보를 전달하는 도전성 핀 및 상기 다수의 포고 핀과 상기 도전성 핀을 전기적으로 연결하는 도전성 플레이트를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 포고 핀을 지지하는 투명블록을 구비하여 접촉 여부를 육안으로 판단가능하게 함으로써, 프로브 유닛을 통한 검사기판의 접속판단의 신뢰성을 높이고, 도전성 플레이트를 이용하여 포고 핀과 도전성 컨택핀을 연결하여 케이블을 제거함으로써 제조공정의 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.
포고 핀, 프로브 유닛

Description

포고 핀을 구비한 프로브 유닛 및 이를 이용한 기판리페어장치{Pogo Probe Unit and Repair Apparatus For Flat Panel Display By The Same}
본 발명은 포고 핀을 구비한 프로브 유닛과 이를 이용한 기판 리페어 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 포고 핀을 지지하는 투명블록을 구비하여 접촉여부를 육안으로 판단가능하게 함으로써, 프로브 유닛을 통한 검사기판의 접속판단의 신뢰성을 높이고, 도전성 플레이트를 이용하여 포고 핀과 도전성 핀을 연결하여 케이블을 제거함으로써 제조공정의 효율성을 높일 수 있는 포고 핀을 구비한 프로브 유닛과 이를 이용한 기판 리페어 장치에 관한 것이다.
본 발명은 평판 디스플레이 기판 회로의 리페어 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 회로의 리페어와 동시에 회로의 개방/단락 검사를 수행할 수 있도록 구성된 평판 디스플레이 기판 회로의 리페어 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이는 음극선관 (CRT, Cathode Ray Tube) 디스플레이를 비롯하여, 액정 디스플레이 (LCD, Liquid Crystal Display)등으로 분류되는데, 이중에서도 LCD는 소비전력이 적고, 무게가 가볍다는 장점이 있어 최근 각광을 받고 있다.
상기 LCD 등 평판 디스플레이는 어레이 기판과, 대향 기판, 액정층 등으로 구성되는데, 이 중 어레이 기판에는 매트릭스 형상으로 배열되는 복수의 화소 전극, 복수의 화소 전극의 행을 따라 배치되는 복수의 주사선과 열을 따라 배치되는 복수의 신호선이 형성된다.
한편, 상기 어레이 기판의 제조 과정에서 전기적 신호선이 중접되는 등 결함이 발생할 수 있는데, 결함이 발생하면 올바른 화상을 형성할 수 없게 된다. 따라서, 중첩된 신호선을 절단하여 상호 중첩되지 않도록 하여야 하는데, 이 과정을 "리페어"라고 한다.
특히 상기 리페어 과정에는 필수적으로 LCD 제조공정에서의 패널 제작 후 각각의 신호전달에 따른 문제점의 유무에 대한 전기적인 특성검사를 받게 되는데, 이는 제조된 LCD 등이 특정기준에 적합하게 제조되었는지 여부를 검사하기 위함이다.
최근에는 반도체 소자나 LCD의 신호전달단자가 고집적화가 진행되면서, 탐침이 널리 사용되고 있으며, 특히 상기의 탐침을 사용한 블록은 테스터나 테스트 보드를 전기적으로 접속하여 사용한다.
도 1을 참조하여 종래의 탐침을 구비한 프로브 유닛(100)을 살펴보면, 각각의 탐침(130)을 구비되며 각각의 탐침이 삽입되도록 다수의 홈을 갖는 반투명의 블록(110)과, 상기 블록을 이동시켜, 검사체(140)에 탐침을 접지하면 그 단이 케이블(150)을 통해 연결되는 테스터(160)에 의해 검사체의 불량 여부를 확인하게 되는 구조이다.
그러나, 이러한 LCD에서 다수의 전기신호를 패널에 전달하도록 형성하는 접지핀이 접하는 부분에서 상기 탐침을 시각적으로 확인이 불가한바, 접지상황을 명 확하게 파악이 어려워 불량연결이 발생하는 되는 문제점이 발생했다. 나아가, 설사 불량으로 파악되더라도, 그러한 불량이 검사체 자체의 불량인지, 탐침의 불량인지, 접촉불량(miss align)인지에 대한 명확한 확인이 불가하여 사람이 일일이 확인해야하므로 자동화가 어려운 문제점도 발생했다.
또한, 이러한 접촉만의 불량을 해결하기 위해 접촉에 대한 감지센서를 부착하는 경우라도 그 신뢰성을 명백히 향상시키기는 어려우며, 검사의 공정단계가 증가하여 택타임이 증가하는 문제도 발생하였다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 평판디스플레이의 전기적신호특성에 대한 검사를 수행하는 프로브 유닛에 포고 핀을 지지하는 투명블록을 구비하여 접촉여부를 육안으로 판단가능하게 함으로써, 프로브 유닛을 통한 검사기판의 접속판단의 신뢰성을 높이고, 도전성 플레이트를 이용하여 포고 핀과 컨택핀을 연결하여 케이블을 제거함으로써 제조공정의 효율성을 높일 수 있는 포고 핀을 구비한 프로브 유닛과 이를 이용한 기판리페어장치를 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 검사체와 전기적으로 접촉되는 다수의 포고 핀; 상기 다수의 포고 핀을 지지하도록 투명소재로 이루어지는 지지부; 상기 다수의 포고 핀을 통해 읽어들인 정보를 전달하는 도전성 핀; 및 상기 다수의 포고 핀과 상기 도전성 핀을 전기적으로 연결하는 도전성 플레이트; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛을 제공하여 종래의 탐침을 지지하던 지지부의 상하판 2중 구조에서 벗어나, 지지부를 하나의 투명소재의 플레이트로 형성하여 포고 핀의 접촉 여부를 육안으로 확인할 수 있도록 하여 검사작업의 신뢰성을 제고함과 아울러, 전기적 통전을 도전성 플레이트를 이용함으로써 제조상의 효율성을 도모할 수 있게 한다.
또한, 본 발명은 상기 도전성 플레이트는 도전성 박판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛을 제공하여 프르브 유닛 장비의 전체의 규모를 박형화 할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명은 상기 도전성 플레이트는 BeCu인 것을 특징으로 하는 프로부 유닛을 제공하여 검사장비의 효율성을 높인다.
또한, 본 발명은 상기 프로브 유닛은 상기 포고 핀과 검사체의 접촉 유무를 확인하기 위한 카메라부; 및 상기 프로브 유닛을 수직 수평방향으로 이동시킬 수 있는 프로브 이동수단; 을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛을 제공하여 검사작업의 효율성을 도모할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명은 상기 카메라부는 상기 포고 핀과 검사체의 접촉유무를 확인하기 위한 카메라 및 상기 카메라를 수평 방향으로 이동시키는 카메라 이송 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 유닛을 구비함으로써, 투명한 소재의 지지부를 통하여 접촉 여부와 불량 여부의 정확성을 자동화할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명은 기판의 결함을 검사하여 리페어를 수행하는 기판 리페어 장치에 있어서, 리페어 대상이 안착되는 스테이지를 구비한 리페어 테이블; 상기 리페어 대상인 기판에 형성되는 결함영역을 검사하는 광학부; 상기 기판의 결함영역을 레이저를 투사하여 리페어 하는 레이져부; 상기 리페어된 기판의 개방과 단락을 검사하는 인스펙션부;로 이루어진 리페어 유닛과 상기 리페어유닛을 X축과 Y축으로 이동시키는 이동수단;을 포함하여 구성되되, 상기 인스펙션부는, 검사체와 전기적 접촉을 이루는 다수의 포고 핀; 상기 다수의 포고 핀을 지지하는 구조인 투명소재의 지지부; 상기 다수의 포고 핀을 통해 읽어들인 정보를 전달하는 도전성 핀; 및 상기 다수의 포고 핀과 상기 도전성 핀을 전기적으로 연결하는 도전성 플레이트;로 이루어진 프로브 유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 기판 리페어장치를 제공하여, 본 발명에 따른 시인성이 개선된 프로브 유닛을 통하여 효율적인 검사작업을 구현하고, 바로 리페어가 가능하도록 하여 검사의 신뢰성을 높이고, 작업공정의 효율성을 실현할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명은 상기 포고 핀과 상기 도전성 핀을 전기적으로 접촉시키는 도전성 플레이트; 상기 포고 핀과 검사체의 접촉 유무를 확인하기 위한 카메라부; 및 상기 프로브 유닛을 수직 수평방향으로 이동시킬 수 있는 프로브 이동수단; 을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판 리페어 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 카메라부는 상기 포고 핀과 검사체의 접촉 유무를 확인하기 위한 카메라 및 상기 카메라를 수평 방향으로 이동시키는 카메라 이송 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판 리페어 장치를 제공한다.
본 발명에 따르면, 포고 핀을 지지하는 투명블록으로 형성되는 지지부를 구비함으로써, 프로브 유닛을 통한 검사기판의 접속판단의 신뢰성을 높이는 효과가 있다.
또한, 포고 핀과 도전성 핀을 도전성 플레이트로 연결하도록 하여 케이블을 제거함으로써 제조공정의 효율성을 높일 수 있는 효과도 있다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 프로브 유닛(1)은, 검사체와 접속하는 다수의 포고 핀(10)과 상기 포고 핀(10)을 지지하는 투명소재의 블럭으로 구성되는 지지부(20), 상기 지지부의 하층에 형성되는 도전성플레이트(40), 상기 도전성플레이트를 관통하여 접촉 형성되는 도전성 핀(30), 상기 도전성 핀(30)과 상기 포고 핀(10)은 상기 도전성 플레이트에 의해 전기적으로 접촉되는 구조로 구성된다.
상기 포고 핀은 내부에 소정의 탄성체를 구비한 것으로, 일반적으로 탐침되는 검사체와 접촉 시에 탄성에 의해 검사체를 보호하면서도 정밀한 접촉을 구현할 수 있도록 한다. 또한, 상기 지지부는 상술한 바와 같이 종래의 상,하부판으로 구분되어 탐침을 지지하던 것과는 달리 하부판을 제거하고, 상부판만으로 형성하되 이를 투명재질로 형성하여 상기 포고 핀(10)의 접촉 여부와 작업상황을 육안으로 볼 수 있도록 할 수 있게 한다. 이 경우 상기 지지부는 투명재질의 블록으로 형성됨이 바람직하다.
이러한 본 발명의 구성은 종래의 불투명 블럭에 의한 탐침의 지지구조를 가짐으로써 생기는 탐침의 정밀도 및 신뢰성 문제로 발생하던 불량을 직접 육안으로 확인을 하면서 검사를 진행할 수 있도록 하여 검사작업의 효율성을 높이는 장점이 있다. 나아가, 종래의 불투명 블럭에 필요하던 접촉 여부를 구분하는 센서를 구비하지 않아도 되는바, 제조공정상의 택 타임의 단축 및 제조비용의 경감을 이룰 수 있는 장점도 있다.
또한, 상기 도전성플레이트(40)는 검사체와 접촉하는 포고 핀(10)과 전기적으로 통전을 형성하기 위하여 케이블을 연결하는 대신 더욱 정밀한 기능을 가진 플레이트로 구성하되, 그 구성을 얇은 도전성 박판(BeCu)등으로 형성하여 전체적인 유닛 구조의 단순화를 꾀할 수 있게 할 수 있다. 특히 상기 포고 핀과 도전성핀을 전기적으로 접촉시키는 구조로 형성시키되, 각각의 포고 핀과 도전성 핀의 말단이 상기 도전성 플레이트의 말단을 관통하는 형상의 콘택트핑거 구조로 연결하여 전기적 통전을 구현함으로써, 검사체의 전기특성시험 시 통전을 원할하게 한다.
구체적으로 상기 포고 핀은 검사하고자 하는 검사체, 세부적으로는 Gate/Data line을 접촉하여 전기적인 신호결함 여부를 감지하고 이러한 정보가 상기 도전성플레이트인 콘택트핑거를 통해 상기 도전성 핀을 타고 정보가 전달 확인되는 과정을 거치게 된다.
도 3을 참조하여 본 발명에 따른 프로브 유닛을 장착한 평판디스플레이 기판 리페어 장치의 구성과 작용을 설명한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 평판 디스플레이 리페어 장치는 리페어 테이블(600)과, 상기 리페어 테이블 상에 마련되고, 리페어 대상인 기판이 안착되는 스테이지(700)와, 상기 기판에 형성될 수 있는 결함 영역을 검사하는 광학부(300)와, 레이저빔을 투사하여 기판의 결함 영역을 리페어하는 레이저부(200)와, 리페어된 기판 회로의 개방/단락을 검사하는 제1 인스펙션부(100)로 이루어진 리페어 유닛과, 상기 리페어 유닛을 X축, Y축으로 이동시키는 X축 이동 수단(400)과 Y축 이동 수단(500)으로 이루어져 있다.
상기 리페어 테이블(600)은 도시되어 있지는 않으나 외부와 내부에서 발생할 수 있는 진동을 제거하기 위한 제진 수단을 구비하고 있으며, 상기 리페어 테이블(600)의 상면에는 X축 방향을 따라 X축 이동 수단(400)이 장착되는데, 상기 X축 이동수단은 상기 리페어 테이블의 X축 방향으로 상호 이격되게 배치, 장착되는 X축 지지대(410)와, 상기 X축 지지대의 상면에 설치되어, Y축 지지대를 X축 방향으로 슬라이딩시키는 X축 레일(420)로 이루어져 있다.
한편, 상기 X축 지지대(410)의 상면에는 상기 X축 지지대와 수직 방향으로 Y축 이동 수단(500)이 마련된다. 상기 Y축 이동 수단(500)은 그 양단이 상기 X축 레일과 연결되어, X축 레일을 따라 슬라이딩되도록 구성된 Y축 지지대(510)와, 상기 Y축 지지대의 측면에 Y축 방향으로 형성된 Y축 레일(520)과, 상기 Y축 레일에 부착되어 Y축 레일을 따라 슬라이딩되고, 상기 리페어 유닛이 장착되는 Y축 레일 블록(530)으로 이루어져 있다. 상기 X축 이동 수단(400)과 Y축 이동 수단(500)이 감싸고 있는 리페어 테이블의 내측면에는 기판을 지지하기 위한 스테이지(700)가 마련된다.
광학부(300)는 평판 디스플레이 기판상에 형성될 수 있는 결함 영역을 검사하기 위한 것으로, 광원(310), 렌즈(320), 센서(미도시)로 구성되어 있다. 상기 광원(310)에서 기판상으로 빛을 조사하면, 상기 빛이 기판에 반사되고, 기판에서 반사되는 빛은 렌즈(320)를 통과하여 센서로 전달된다. 센서는 기판에서 반사된 빛의 광량의 차를 이용하여 불량 유무를 검사하게 된다.
본 발명의 광학부(300)를 이용하면, 기판에 직접 접촉하지 않고 불량 유무를 판별하게 되므로 기판에 손상이 발생할 염려가 적고, 검사 장치의 좌표계와 리페어 장치의 좌표계가 일치하지 않아 발생할 수 있는 오류를 제거함으로써, 불량율을 현저히 줄일 수 있다.
레이저부(200)는 평판 디스플레이 기판상의 결함을 제거하기 위한 것으로, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발진기(210)와, 레이저 빔을 집광하는 집광 렌즈(220), 레이저빔의 이동 통로를 제공하는 레이저 헤드(230)로 구성되어 있다. 상기 레이저 발진기(210)로부터 발생되는 레이저빔이 중첩된 신호선 등을 절단하여 기판의 결함을 리페어하게 된다.
상기 제1 인스펙션부(100a)는 리페어된 기판의 회로의 개방/단락을 검사하기 위한 것으로, 제 1 인스펙션부(100a)는 프로브와 기판의 접촉 여부를 확인하기 위한 카메라부(미도시)와, 본 발명에 따른 프로브 유닛(10)과, 상기 프로부 유닛을 이동시키는 프로브 이동 수단으로 구성되어 있다.
본 발명에 따른 프로브 유닛을 장착한 상기 리페어 장치는 상술한 바와 같이 투명재질을 구비한 포고 핀의 지지부를 형성함으로써, 시인성이 개선되어 육안으로 확인을 하며 탐침 작업이 가능하며, 이를 보다 자동화된 시스템으로 구현하기 위하여 접촉 여부를 더욱 정밀하게 육안으로 확인 가능한 카메라부(미도시)를 더 장착함이 바람직하다. 또한 상기 카메라부는 위치 조정이 가능하도록 이동수단을 구비함이 더욱 바람직하다. 특히 상기 카메라부의 존재로써 포고 핀의 이동 오차를 수정할 수 있으며, 이를 통해 정확한 검사체, 이를 테면 패드에 얼라인(align)할 수 있도록 하며, 나아가 포고 핀 자체의 파손이나 접촉의 실패 등도 상기의 투명소재 지지부를 통하여 구현할 수 있도록 한다. 상기 카메라 부는 포고 핀과 기판의 접촉 상태를 확인하기 위한 것이다. 본 발명의 카메라부(110)는 상기 포고 핀의 상측에 위치하여, 상기 포고 핀과 기판의 접촉 상태를 확인하는 카메라와, 상기 카메라가 접촉여부의 확인을 위하여 보다 정밀한 촬영을 수행할 수 있도록, 수평 방향으로 카메라를 이동시키는 카메라 이송 수단으로 구성된다. 상기 카메라 이송 수단은 카메라 이송 레일과, 그 일측이 카메라와 연결되고, 그 타측은 상기 카메라 이송 레일과 연결되어, 상기 카메라 이송레일을 따라 슬라이딩되는 카메라 연결 블록으로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 프로브 이동수단은 상기 프로브 유닛을 수직, 수평 이동시키기 위한 것으로, 상,하로 움직일 수 있도록 하는 수직 이동 수단과, 전,후로 움직이게 하는 수평 이동 수단으로 구성되는 것이 바람직하며, 수직 이동 수단은 볼 스크류 구동장치로, 수평 이동 수단은 수평 레일과 수평 레일 블록으로 구성될 수 있다.
이하, 본 발명의 리페어 장치를 이용하여 기판을 리페어하는 방법을 살펴보기로 한다.
먼저, 기판이 스테이지에 안착되면, 광학부를 구동하고, 리페어 유닛을 이동시키면서 기판에 결함이 있는지 여부를 검사하게 된다. 리페어 유닛이 장착된 Y 레일 블록이 Y축 레일을 따라 이동하고, Y축 레일이 포함된 Y축 지지대가 X축 레일을 따라 이동하므로, 기판의 모든 지점을 검사할 수 있다.
광학부의 광원에서 기판 위로 빛을 조사하고, 기판에서 반사된 빛은 렌즈부를 통과하여 센서로 전달된다. 센서는 기판에서 반사된 빛의 광량의 차를 이용하 여 결함 여부를 검사하게 된다. 상기 검사 결과 결함이 없는 경우라면, 기판을 반출하도록 한다.
그러나 결함이 발견되면 리페어를 수행할 레이저부를 결함 영역의 상부에 위치하도록 리페어 유닛을 이동시킨 후, 레이저 빔을 투사하여 중첩된 신호선 등을 절단함으로써 리페어를 수행한다.
리페어 과정이 완료되면, 인스펙션부의 프로브 유닛에의 포고 핀이 검사체에 접촉하게되어, 저항값을 측정함으로써 기판 회로의 개방/단락 여부를 검사하게 된다. 이때 기판과 접촉되었는지 여부는 투명소재인 지지부를 통해서 육안으로 확인할 수 있는바, 별도의 센서가 불필요하다. 카메라 이송 수단을 이용하여 관측하고자 하는 위치에 따라 카메라의 위치를 조절할 수 있으며, 프로브 이동 장치를 이용하여 프로브 유닛을 미세하게 이동시킴으로써 정확하게 원하는 위치에 대한 인스펙션을 수행할 수 있다.
전술한 바와 같은 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다. 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 기술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
도 1은 종래기술에 의한 프로브 유닛에 대한 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 프로브 유닛의 요부단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 리페어 장치의 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1: 프로브 유닛
10: 포고 핀
20: 지지부
30: 도전성 핀
40: 도전성 플레이트
200: 레이저부
300: 광학부
400: X축 이동 수단
500: Y축 이동 수단
600: 리페어 테이블
700: 스테이지

Claims (8)

  1. 검사체와 전기적으로 접촉되는 다수의 포고 핀;
    상기 다수의 포고 핀을 지지하도록 투명소재로 이루어지는 지지부;
    상기 다수의 포고 핀을 통해 읽어들인 정보를 전달하는 도전성 핀; 및
    상기 다수의 포고 핀과 상기 도전성 핀을 전기적으로 연결하는 도전성 플레이트를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 플레이트는 도전성 박판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 도전성 플레이트는 BeCu인 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 프로브 유닛은 상기 포고 핀과 검사체의 접촉 유무를 확인하기 위한
    카메라부; 및
    상기 프로브 유닛을 수직 수평방향으로 이동시킬 수 있는 프로브 이동수단을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 카메라부는 상기 포고 핀과 검사체의 접촉유무를 확인하기 위한 카메라및 상기 카메라를 수평 방향으로 이동시키는 카메라 이송 수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  6. 기판의 결함을 검사하여 리페어를 수행하는 기판리페어장치에 있어서,
    리페어 대상이 안착되는 스테이지를 구비한 리페어 테이블;
    상기 리페어 대상인 기판에 형성되는 결함영역을 검사하는 광학부;
    상기 기판의 결함영역을 레이저를 투사하여 리페어하는 레이져부;
    상기 리페어된 기판의 개방과 단락을 검사하는 인스펙션부로 이루어진 리페어 유닛과 상기 리페어유닛을 X축과 Y축으로 이동시키는 이동수단을 포함하여 이루어지되,
    상기 인스펙션부는,
    검사체와 전기적 접촉을 이루는 다수의 포고 핀;
    상기 다수의 포고 핀을 지지하는 구조인 투명소재의 지지부;
    상기 다수의 포고 핀을 통해 읽어들인 정보를 전달하는 도전성 핀; 및
    상기 다수의 포고 핀과 상기 도전성 핀을 전기적으로 연결하는 도전성 플레이트로 이루어진 프로브 유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판리페어장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 프로브 유닛은,
    상기 포고 핀과 상기 도전성 핀을 전기적으로 접촉시키는 도전성 플레이트;
    상기 포고 핀과 검사체의 접촉유무를 확인하기 위한 카메라부; 및
    상기 프로브 유닛을 수직 수평방향으로 이동시킬 수 있는 프로브 이동수단을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판리페어장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 카메라부는 상기 포고 핀과 검사체의 접촉 유무를 확인하기 위한 카메라 및 상기 카메라를 수평 방향으로 이동시키는 카메라 이송 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판리페어장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101348422B1 (ko) * 2013-10-08 2014-01-10 주식회사 아이티엔티 자동 테스트 장비의 포고 블록 장치

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