KR20080088314A - 반도체 패키지 - Google Patents

반도체 패키지 Download PDF

Info

Publication number
KR20080088314A
KR20080088314A KR1020070031176A KR20070031176A KR20080088314A KR 20080088314 A KR20080088314 A KR 20080088314A KR 1020070031176 A KR1020070031176 A KR 1020070031176A KR 20070031176 A KR20070031176 A KR 20070031176A KR 20080088314 A KR20080088314 A KR 20080088314A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wire
semiconductor chip
substrate
conductive
molding member
Prior art date
Application number
KR1020070031176A
Other languages
English (en)
Inventor
황유경
Original Assignee
주식회사 하이닉스반도체
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 하이닉스반도체 filed Critical 주식회사 하이닉스반도체
Priority to KR1020070031176A priority Critical patent/KR20080088314A/ko
Publication of KR20080088314A publication Critical patent/KR20080088314A/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32135Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4899Auxiliary members for wire connectors, e.g. flow-barriers, reinforcing structures, spacers, alignment aids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01014Silicon [Si]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01074Tungsten [W]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/102Material of the semiconductor or solid state bodies
    • H01L2924/1025Semiconducting materials
    • H01L2924/10251Elemental semiconductors, i.e. Group IV
    • H01L2924/10253Silicon [Si]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/38Effects and problems related to the device integration
    • H01L2924/386Wire effects
    • H01L2924/3862Sweep

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 패키지를 개시한다. 개시된 본 발명에 따른 반도체 패키지는, 복수개의 전극 단자들을 갖는 기판, 상기 기판상에 배치되며 상기 전극 단자들과 전기적으로 접속되는 본딩 패드들을 갖는 반도체 칩, 상기 각 본딩 패드 및 상기 본딩 패드와 대응하는 전극 단자를 전기적으로 연결하는 도전성 와이어, 상기 도전성 와이어 및 상기 반도체 칩이 덮이도록 상기 기판을 덮는 몰딩 부재 및 상기 반도체 칩 상에 배치되며 상기 각 도전성 와이어들을 가로질러 배치되며 상기 도전성 와이어들의 처짐을 방지하는 와이어 처짐 방지 부재를 포함하며, 상기 와이어 처짐 방지 부재는 상기 몰딩 부재 및 상기 와이어 처짐 방지 부재의 열팽창 계수의 차이를 감소시키기 위해 상기 반도체 칩의 에지로부터 이격되어 상기 본딩 패드에 근접하여 배치된다.

Description

반도체 패키지{SEMICONDUCTOR PACKAGE}
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 반도체 패키지의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 반도체 패키지의 단면을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체 패키지를 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3의 'A' 부분 확대도이다.
본 발명은 반도체 패키지에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 반도체 칩의 본딩 패드 및 기판의 전극 단자를 연결하는 도전성 와이어의 처짐을 방지한 반도체 패키지에 관한 것이다.
일반적인 반도체 소자는 순도 높은 실리콘으로 이루어진 실리콘 웨이퍼에 반도체 칩을 제조하는 반도체 칩 제조 공정, 반도체 칩을 전기적으로 검사하는 다이 소팅 공정 및 양품 반도체 칩을 선별하여 패키징하는 반도체 패키징 공정 등을 통해 제조된다.
반도체 패키징 공정은 일반적으로 반도체 소자 제조 공정을 통해 제조된 반도체 칩을 기판(또는 리드 프레임)상에 다이 어탯치하는 공정, 반도체 칩의 범프 및 기판에 형성된 본딩 패드를 도전성 와이어로 본딩하는 와이어 본딩 공정,반도체 칩 및 도전성 와이어를 에폭시 수지 등으로 밀봉하는 봉지 공정을 포함한다.
최근 들어, 반도체 패키지 공정의 기술 개발에 따라 적어도 2 개 이상의 반도체 칩을 적층 배치하는 적층 반도체 패키지의 제조 기술이 개발되고 있다.
그러나, 종래 적층 반도체 패키지는 상부 반도체 칩의 본딩 패드 및 기판의 전극 단자를 도전성 와이어로 와이어 본딩할 경우 도전성 와이어의 길이가 지나치게 길어져 봉지 공정 중 몰딩 수지의 압력에 의해 도전성 와이어들의 쏠림(sweep)이 발생 되고 이로 인해 도전성 와이어들 끼리 전기적으로 쇼트 되는 등 다양한 문제점이 발생 되고 있다.
본 발명의 목적은 반도체 칩의 본딩 패드 및 기판의 전극 단자를 전기적으로 연결하는 도전성 와이어의 쏠림을 방지하는 반도체 패키지를 제공함에 있다.
본 발명의 목적을 구현하기 위한 반도체 패키지는, 복수개의 전극 단자들을 갖는 기판, 상기 기판상에 배치되며 상기 전극 단자들과 전기적으로 접속되는 본딩 패드들을 갖는 반도체 칩, 상기 각 본딩 패드 및 상기 본딩 패드와 대응하는 전극 단자를 전기적으로 연결하는 도전성 와이어, 상기 도전성 와이어 및 상기 반도체 칩이 덮이도록 상기 기판을 덮는 몰딩 부재 및 상기 반도체 칩 상에 배치되며 상기 각 도전성 와이어들을 가로질러 배치되며 상기 도전성 와이어들의 처짐을 방지하는 와이어 처짐 방지 부재를 포함하며, 상기 와이어 처짐 방지 부재는 상기 몰딩 부재 및 상기 와이어 처짐 방지 부재의 열팽창 계수의 차이를 감소시키기 위해 상기 반도체 칩의 에지로부터 이격되어 상기 본딩 패드에 근접하여 배치된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 도전성 와이어는 상기 와이어 처짐 방지 부재의 상면에 형성된 수납홈에 수납된다.
상기 수납홈에는 상기 도전성 와이어의 일부분이 수납된다.
상기 와이어 처짐 방지 부재의 상면 및 상기 상면과 대응하는 상기 몰딩 부재의 상면 사이의 두께는 200㎛ 이상이다.
(실시예)
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 반도체 패키지의 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 반도체 패키지의 단면을 도시한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 반도체 패키지(100)는 기판(10), 반도체 칩(20), 도전성 와이어(30), 몰딩 부재(40), 와이어 처짐방지 부재(50)를 포함한다.
기판(10)은, 예를 들어, 플레이트 형상을 갖는 인쇄회로기판일 수 있다. 기판(10)의 상면 에지 부분에는 복수개의 전극 단자(12)들이 배치된다. 전극 단자(12)들은 기판(10)의 상면 양쪽 에지 부분에 각각 일렬로 배치될 수 있다.
반도체 칩(20)은 바텀 반도체 칩(22) 및 탑 반도체 칩(24)으로 이루어진다.
바텀 반도체 칩(22)은 기판(10)의 상면 중앙 부분에 배치되며, 바텀 반도체 칩(22)의 바닥면 및 기판(10)의 상면 사이에는 접착 부재(미도시)가 개재되어 바텀 반도체 칩(22)은 기판(10) 상에 고정된다. 바텀 반도체 칩(22)은 제1 평면적을 갖고, 바텀 반도체 칩(22)의 상면 에지에는 복수개의 제1 본딩 패드(23)들이 배치된다.
탑 반도체 칩(24)은 바텀 반도체 칩(22)의 상면에 배치된다. 탑 반도체 칩(24)의 바닥면 및 바텀 반도체 칩(22)의 사이에는 접착 부재(미도시)가 개재되어 탑 반도체 칩(24)은 바텀 반도체 칩(22) 상에 고정된다. 탑 반도체 칩(24)은 제1 평면적 보다 작은 제2 평면적을 갖는다. 탑 반도체 칩(24)의 상면 중앙에는 복수개의 제2 본딩 패드(25)들이 배치된다.
도전성 와이어(30)들은 제1 도전성 와이어(32) 및 제2 도전성 와이어(34)를 포함한다.
제1 도전성 와이어(32)는 바텀 반도체 칩(22)의 제1 본딩 패드(23) 및 기판(10)의 전극 단자(12)들을 전기적으로 연결한다. 제1 도전성 와이어(32)는 제1 길이를 갖는다.
제2 도전성 와이어(34)는 탑 반도체 칩(24)의 제2 본딩 패드(25) 및 기판(10)의 전극 단자(12)들을 전기적으로 연결한다. 제2 도전성 와이어(32)는 제1 길이보다 긴 제2 길이를 갖는다.
제1 도전성 와이어(32)는 제2 도전성 와이어(34)에 비하여 상대적으로 짧은 길이를 갖기 때문에 처짐 또는 형상 변형이 거의 발생 되지 않는다. 반면, 제2 도전성 와이어(34)는 제1 도전성 와이어(32)에 비하여 상대적으로 긴 길이를 갖기 때 문에 미세한 외력에 의하여 쉽게 처짐이 발생 되거나 형상이 변경된다.
도전성 와이어(30)들 중 상대적으로 긴 길이를 갖는 제2 도전성 와이어(34)들의 처짐 또는 형상 변형을 방지하기 위해서 탑 반도체 칩(24) 또는 바텀 반도체 칩(22) 또는 탑 반도체 칩(24)의 일부 또는 바텀 반도체 칩(24)의 사이에는 와이어 처짐 방지 부재(50)가 배치된다.
와이어 처짐 방지 부재(50)는 제2 도전성 와이어(34)들로 탑 반도체 칩(24)상에 형성된 본딩 패드(25) 및 기판(10) 상에 형성된 전극 단자(12)들을 연결할 때에는 유동성을 갖고, 제2 도전성 와이어(34)들로 탑 반도체 칩(24)상에 형성된 본딩 패드(25) 및 기판(10) 상에 형성된 전극 단자(12)들을 연결한 후에는 경화되어 제2 도전성 와이어(34)의 처짐 및 형상 변경을 방지한다.
구체적으로, 와이어 처짐 방지 부재(50)는 제2 도전성 와이어(34)들로 탑 반도체 칩(24)상에 형성된 본딩 패드(25) 및 기판(10) 상에 형성된 전극 단자(12)들을 연결될 때에는 반경화 상태이고, 제2 도전성 와이어(34)들로 탑 반도체 칩(24)상에 형성된 본딩 패드(25) 및 기판(10) 상에 형성된 전극 단자(12)들을 연결한 후에는 열에 의하여 딱딱하게 경화되도록 열 경화성 물질을 포함한다. 이와 다르게, 와이어 처짐 방지 부재(50)는 광에 의하여 경화되는 광 경화성 물질을 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 와이어 처짐 방지 부재(50)는 제1 열팽창 계수를 갖는다.
도 2에 도시된 몰딩 부재(40)는 기판(10), 반도체 칩(20), 도전성 와이어(30) 및 와이어 고정 부재(50)를 덮어 외부의 충격으로부터 앞서 나열된 구성 요 소들을 보호한다. 몰딩 부재(40)로 사용될 수 있는 물질의 예로서는 에폭시 수지 등을 들 수 있다. 몰딩 부재(40)는 제1 열팽창 계수와 다른 제2 열팽창 계수를 갖는다.
한편, 와이어 처짐 방지 부재(50)를 덮어 보호하는 몰딩 부재(40)는 제2 열팽창 계수를 갖고, 와이어 처짐 방지 부재(50)는 제1 열팽창 계수를 갖기 때문에, 몰딩부재(40) 및 와이어 처짐 방지 부재(50)가 가열되거나 냉각될 경우, 와이어 처짐 방지 부재(50) 및 몰딩 부재(40)의 사이에는 열팽창 계수의 편차에 따른 응력(stress)이 가해진다.
와이어 처짐 방지 부재(50) 및 몰딩 부재(40)에 반복적으로 상기 응력이 가해질 경우, 몰딩 부재(40) 또는 와이어 처짐 방지 부재(50)의 손상 또는 파손이 발생될 수 있다. 본 실시에에서, 몰딩 부재(40) 또는 와이어 처짐 방지 부재(50)의 손상을 방지하기 위해서 와이어 처짐 방지 부재(40)의 상면 및 와이어 처짐 방지 부재(40)의 상면과 대응하는 몰딩 부재(40)의 상면 사이의 두께는 최소 약 200㎛ 인 것이 바람직하다. 와이어 처짐 방지 부재(40)의 상면 및 와이어 처짐 방지 부재(40)의 상면과 대응하는 몰딩 부재(40)의 상면 사이의 두께가 약 200㎛ 이하일 경우 몰딩 부재(40)는 열팽창 계수의 편차에 따라 발생된 응력에 의하여 크랙이 발생될 수 있고, 크랙을 통해 수분 또는 산소가 침투하여 반도체 패키지의 성능이 크게 저하될 수 있다.
한편, 본 실시예에서, 몰딩 부재(40) 또는 와이어 처짐 방지 부재(50)의 열팽창 계수의 편차에 따른 몰딩 부재(40) 또는 와이어 처짐 방지 부재(50)의 손상을 방지하기 위해서, 와이어 처짐 방지 부재(50)의 폭(W) 또는 몰딩 부재(40)의 두께를 후박하게 형성할 수 있다. 그러나, 몰딩 부재(40)의 두께를 후박하게 할 경우 반도체 패키지의 전체적인 부피가 크게 증가 되기 때문에 바람직하지 않으며, 따라서 와이어 처짐 방지 부재(50)의 폭(W)을 감소시키는 것이 바람직하다. 본 실시예에서, 와이어 처짐 방지 부재(50)의 폭(W)은 바텀 반도체 칩(22)의 에지 및 탑 반도체 칩(24)의 에지 사이의 거리보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 와이어 처짐 방지 부재(50)는 바텀 반도체 칩(22)의 에지로부터 이격 되어 탑 반도체 칩(24)의 제2 본딩 패드(25)에 근접하게 배치되는 것이 바람직하다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체 패키지를 도시한 단면도이다. 도 4는 도 3의 'A' 부분 확대도이다. 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체 패키지는 와이어 처짐 방지 부재를 제외하면 앞서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 본 발명의 일실시예에 의한 반도체 패키지와 실질적으로 동일하다. 따라서, 동일한 구성 요소에 대한 중복된 설명은 생략하기로 하며, 동일한 부분에 대해서는 동일한 참조부호 및 동일한 명칭을 부여하기로 한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 몰딩 부재(40) 또는 와이어 처짐 방지 부재(50)의 열팽창 계수의 편차에 따른 몰딩 부재(40) 또는 와이어 처짐 방지 부재(50)의 손상을 방지하기 위해서, 와이어 처짐 방지 부재(50)의 두께를 감소시킴으로써 몰딩 부재(40)의 두께 증가 없이 몰딩 부재(40)의 상면 및 와이어 처짐 방지 부재(50) 사이의 높이를 증가시켜 몰딩 부재(40)의 손상을 방지할 수 있다.
한편, 와이어 처짐 방지 부재(50)의 두께를 감소시킬 경우, 와이어 처짐 방지 부재(50)가 도전성 와이어(30)의 처짐을 방지할 수 없게 된다. 본 실시예에서는 와이어 처짐 방지 부재(50)의 두께를 감소 및 도전성 와이어(30)의 처짐을 방지하기 위해서, 도전성 와이어(30)는 도전성 와이어(30)의 직경(D1)의 약 절반 정도의 깊이(D2)로 와이어 처짐 방지 부재(50)에 묻히도록 한다. 이로써, 와이어 처짐 방지 부재(50)에는 도전성 와이어(30)를 약 절반 정도 수납하는 수납홈이 형성된다.
이와 다른 실시예로 바텀 반도체 칩(22) 및/또는 탑 반도체 칩(24)의 후면을 그라인딩하여 반도체 패키지(100)의 전체 두께 증가 없이 몰딩 부재(40)의 두께를 보다 후박하게 형성하여, 몰딩 부재(40)의 파손을 방지할 수 있다.
이상, 앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 본 발명은 서로 다른 열팽창 계수를 갖는 몰딩 부재 및 와이어 처짐 방지 부재 사이에서 발생된 응력에 의한 몰딩 부재의 손상을 방지하기 위해 와이어 처짐 방지 부재의 폭 또는 두께를 조절하거나, 몰딩 부재의 두께를 증가시키거나 반도체 칩의 두께를 감소시킴으로써 도전성 와이어의 처짐을 방지할 뿐만 아니라 반도체 패키지의 손상을 방지할 수 있다.

Claims (4)

  1. 복수개의 전극 단자들을 갖는 기판;
    상기 기판상에 배치되며 상기 전극 단자들과 전기적으로 접속되는 본딩 패드들을 갖는 반도체 칩;
    상기 각 본딩 패드 및 상기 본딩 패드와 대응하는 전극 단자를 전기적으로 연결하는 도전성 와이어;
    상기 도전성 와이어 및 상기 반도체 칩이 덮이도록 상기 기판을 덮는 몰딩 부재; 및
    상기 반도체 칩 상에 배치되며 상기 각 도전성 와이어들을 가로질러 배치되며 상기 도전성 와이어들의 처짐을 방지하는 와이어 처짐 방지 부재를 포함하며,
    상기 와이어 처짐 방지 부재는 상기 몰딩 부재 및 상기 와이어 처짐 방지 부재의 열팽창 계수의 차이를 감소시키기 위해 상기 반도체 칩의 에지로부터 이격되어 상기 본딩 패드에 근접하여 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 도전성 와이어는 상기 와이어 처짐 방지 부재의 상면에 형성된 수납홈에 수납되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 수납홈에는 상기 도전성 와이어의 일부분이 수납되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 와이어 처짐 방지 부재의 상면 및 상기 상면과 대응하는 상기 몰딩 부재의 상면 사이의 두께는 200㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
KR1020070031176A 2007-03-29 2007-03-29 반도체 패키지 KR20080088314A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070031176A KR20080088314A (ko) 2007-03-29 2007-03-29 반도체 패키지

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070031176A KR20080088314A (ko) 2007-03-29 2007-03-29 반도체 패키지

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080088314A true KR20080088314A (ko) 2008-10-02

Family

ID=40150610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070031176A KR20080088314A (ko) 2007-03-29 2007-03-29 반도체 패키지

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080088314A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100750764B1 (ko) 반도체 장치
US7705468B2 (en) Stacked semiconductor package that prevents damage to semiconductor chip when wire-bonding and method for manufacturing the same
US6399418B1 (en) Method for forming a reduced thickness packaged electronic device
US8586413B2 (en) Multi-chip module having a support structure and method of manufacture
US20110074037A1 (en) Semiconductor device
KR20060125574A (ko) 오버행 다이용 에폭시 범프
US8445998B1 (en) Leadframe structures for semiconductor packages
US8003426B2 (en) Method for manufacturing package structure of optical device
US6593652B2 (en) Semiconductor device reinforced by a highly elastic member made of a synthetic resin
JP2000031343A (ja) 半導体装置
KR20110076604A (ko) Pop 패키지 및 그 제조 방법
US7368322B2 (en) Method for mounting a chip on a base and arrangement produced by this method
US9601470B2 (en) Stacked semiconductor device, printed circuit board, and method for manufacturing stacked semiconductor device
US7649250B2 (en) Semiconductor package
US20060231932A1 (en) Electrical package structure including chip with polymer thereon
JP2022014121A (ja) 半導体装置およびその製造方法
US20040032014A1 (en) Substrate for semiconductor package
JP2010182873A (ja) 半導体デバイス
KR20090043945A (ko) 스택 패키지
US7417308B2 (en) Stack type package module and method for manufacturing the same
KR20010025874A (ko) 멀티 칩 반도체 패키지
US6822323B1 (en) Semiconductor package having more reliable electrical conductive patterns
KR20080088314A (ko) 반도체 패키지
US20060231960A1 (en) Non-cavity semiconductor packages
US6949820B2 (en) Substrate-based chip package

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid