KR20080078141A - 기판 외관 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

검사 대상인 기판으로부터 나오는 빛을 파장대별로 검출하여 각 파장대의 얼룩 발생을 검출할 수 있는 기판 외관 검사 장치를 제공한다. 이는 기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판의 표면에 빛을 공급하는 상방 조명 유닛, 기판 내부의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판의 후방에서 투과 조명을 공급하는 후방 조명 유닛, 상방 조명 유닛 및 후방 조명 유닛으로부터 공급되는 빛이 기판 표면에 조사되도록 기판을 회전 및 이동시키는 기판 구동 유닛, 및 기판 구동 유닛의 전방에 위치되어 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파하는 필터 유닛을 포함한다.
기판 외관 검사 장치, 액정 표시 장치, 얼룩 검출, 필터

Description

기판 외관 검사 장치{Apparatus for inspecting surface of Liquid crystal display}
도 1은 종래 기술에 따른 기판 외관 검사 장치를 개략적으로 나타낸 모식도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치를 나타낸 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 구동 원리를 설명하기 위한 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 필터 유닛을 통과한 빛의 분광복사휘도를 측정한 결과를 나타낸 그래프이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 필터 유닛을 도시한 구성도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 필터 유닛을 도시한 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 필터 유닛을 도시한 구성도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
110: 상방 조명 유닛 112: 광원
114: 반사부 116: 집광부
118: 산란부 120: 후방 조명 유닛
122: 조명부 124: 이동부
130: 기판 구동 유닛 132: 고정부
134: 구동부 140: 필터 유닛
150: 검사자 160: 기판
500, 600, 700: 제1, 제2, 제3 필터 유닛
510, 610, 710: 제1, 제2, 제3 필터부
520: 지지부 530: 구동부
540: 연결부 620: 하우징
630: 손잡이부 720: 안경 조립체
본 발명은 기판 표면의 결함 여부를 육안으로 검사하는 기판 외관 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼나 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel: PDP), 유기이엘(Organic Electro Luminescence Display) 등의 대형 기판을 제조할 때, 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 검출하기 위하여 목시 검사를 이용한다. 즉, 검사자의 육안으로 결함 여부를 검사한다.
이때, 결함의 검출을 용이하게 하기 위하여 기판 전체를 균일하게 조명하는 조명 장치가 사용된다.
이하, 종래 기판 외관 검사 장치의 구성에 대해 살펴보기로 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 외관 검사 장치를 개략적으로 나타낸 모식도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 종래 기술에 따른 기판 외관 검사 장치는 크게 광원(10)과, 반사부(20), 집광부(30), 산란부(40), 검사 대상인 기판(50)으로 구성된다.
따라서, 광원(10)으로부터 빛이 반사부(20)에서 반사되어 집광부(30)와 산란부(40)를 투과한 후, 검사 대상인 기판(50)에 조사된다. 그리고, 기판(50)에 의해 반사된 빛은 검사자(60)의 육안으로 향하게 되고, 검사자(60)는 그 반사된 빛을 관찰함으로써 기판(50)의 결함 여부를 검사하게 되는 것이다.
즉, 결함이 없는 기판(50) 표면에서 반사되는 빛과, 결함이 있는 부분에서 반사되는 빛의 강도 및 반사각의 차이에 의해 기판(50)의 결함 여부를 확인하는 육안 검사가 행해진다.
그런데, 종래 기술에 따른 기판 외관 검사 장치를 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판에 사용하는 경우, 컬러필터 기판의 공정 및 모니터링 특성상 검출이 제대 로 이루어지지 않아 후속 공정 진행에 따른 손실이 크다.
다시 말해, 액정 표시 장치용 컬러필터 기판은 적색, 녹색, 청색의 서브컬러필터뿐만 아니라, 블랙매트릭스, 스페이서(spacer) 등 다양한 패턴이 존재한다. 이처럼, 액정 표시 장치용 컬러필터 기판은 다양한 파장대별 패턴이 공존하기 때문에, 액정 표시 장치용 컬러필터 기판을 외관을 검사한 경우 얼룩 발생의 유무 및 원인 판단이 어려운 문제점이 있다.
특히, 액정 표시 장치용 컬러필터 기판 중 녹색 서브컬러필터에 얼룩이 발생한 경우, 그 얼룩이 기판 외관 검사시 발견되지 않는 수준이라 하더라도, 녹색 서브컬러필터의 안료가 다른 서브컬러필터의 안료에 비하여 휘도에 가장 큰 영향을 미치기 때문에 후속 제조 공정 후의 온-오프 검사 단계에서 불량이 되고 있다.
예를 들면, 액정 표시 장치용 컬러필터 기판의 제조 공정에서는 컬러필터 기판의 두께를 분광값 기준으로 55/10000 내지 60/10000 범위에서 관리를 하고 있는데, 특정 영역에서 15/10000 정도의 미세한 두께 차이가 발생하게 되면 분광 차이는 분명히 존재하나, 특정 영역을 포인트로 측정하여 두께 모니터링하는 방법을 통해서는 얼룩이 검출되지 않는다. 게다가, 얼룩을 판단하는 기판 외관 검사에서는 분광 차이가 워낙 작아 검출이 되지 않는다. 따라서, 앞서 설명한 바와 같이 기판 외관 검사시에는 얼룩 유무가 검출되지 않고, 후속 검사 단계에서 검출되어 불량으로 판단하기는 하나, 후속 공정을 진행하게 됨에 따른 손실이 큰 문제점이 있다.
또한, 최근 들어 기판이 대형화되면서, 대형 기판을 검사하기 위하여 집광부의 크기를 확대하고, 광원의 세기를 높여 기판 표면의 넓은 영역에 빛을 조사할 수 있도록 하고 있으나, 이 역시 눈이 부실 정도의 높은 밝기를 갖는 광원에서 숙련도가 높은 검사자가 주의 깊게 관찰하여야 발견될 정도이기 때문에 누출 및 얼룩 검사의 정확도가 떨어지는 문제점이 있다.
또한, 작업자의 시력이 저하될 뿐만 아니라 피로가 누적되어, 검사 작업의 효율성이 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 검사 대상인 기판으로부터 나오는 빛을 파장대별로 검출하여 얼룩 발생을 검출할 수 있는 기판 외관 검사 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 기판으로부터 나오는 빛을 파장대별로 검출함으로써 얼룩 발생의 원인을 파악할 수 있는 기판 외관 검사 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 외관 검사 장치는, 기판 표면상의 결함 유무를 검사하기 위하여 상기 기판의 표면에 빛을 공급하는 상방 조명 유닛, 상기 기판 내부의 결함 유무를 검사하기 위하여 상기 기판의 후방에서 투과 조명을 공급하는 후방 조명 유닛, 상기 기판을 고정시키며, 상기 고정된 기판 표면에 상기 상방 조명 유닛 및 상기 후방 조명 유닛으로부터 공급되는 빛이 조사되도록 상기 기판을 회전 및 이동시키는 기판 구동 유닛, 및 상기 기판 구동 유닛의 전방에 위치되어 상기 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파하는 필터 유닛을 포함한다.
여기서, 상기 필터 유닛은, 상기 빛의 적색, 녹색, 청색 파장대 중 어느 하나를 선택적으로 투과시키는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 필터 유닛은, 상기 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파하는 제1 필터부, 상기 제1 필터부를 지지하는 지지부, 상기 지지부에 안착된 제1 필터부를 상하 또는 좌우 방향으로 이동시키는 구동부, 및 상기 지지부와 상기 구동부를 연결하기 위한 연결부를 포함할 수 있다.
상기 연결부는 볼 베어링이 구비되어 상기 지지부의 각도를 조절하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 필터부는 특정 파장대만 통과시키는 물질이 도포된 것을 특징으로 한다.
상기 물질은 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료 중 하나인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 필터 유닛은, 상기 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장 대만 검파하는 제2 필터부, 상기 제2 필터부의 외관을 감싸는 하우징, 및 상기 하우징의 측면에 구비되어 휴대가 가능한 손잡이부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 필터 유닛은, 상기 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파하는 제3 필터부, 및 상기 제3 필터부를 검사자의 눈에 거치할 수 있도록 구비되는 안경 조립체를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제2 필터부 및 상기 제3 필터부는 특정 파장대만 통과시키는 물질이 도포된 것을 특징으로 한다.
상기 물질은 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료 중 하나인 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치를 나타낸 구성도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 구동 원리를 설명하기 위한 모식도이다.
먼저 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치는, 기 판(160)의 표면에 빛을 공급하기 위한 상방 조명 유닛(110)과, 기판(160)의 후방에서 투과 조명을 공급하는 후방 조명 유닛(120), 기판(160)을 이동시키기 위한 기판 구동 유닛(130), 기판(160)의 표면으로부터 나오는 빛을 선택적으로 투과시키는 필터 유닛(140)을 포함한다.
여기서, 기판(160)은 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 서브컬러필터를 구비한 액정 표시 장치용 컬러필터 기판일 수 있다.
상방 조명 유닛(110)은 도시된 바와 같이 기판 구동 유닛(130)의 상방에 설치되고, 기판(160)의 표면에 빛을 공급하여 기판(160) 표면 상에 결함이 있는지 여부를 검사한다.
이러한 상방 조명 유닛(110)은 세부적으로 광원(112)과, 반사부(114), 집광부(116), 산란부(118)로 구성된다.
광원(112)은 기판(160) 표면에 조사되는 빛을 생성하는 구성요소이고, 반사부(114)는 광원(112)에서 조사되는 빛을 반사시켜서 빛의 경로를 집광부(116)로 변경시키는 역할을 하며, 집광부(116)는 반사부(114)로부터 조사되는 빛을 집속하는 역할을 한다. 그리고, 산란부(118)는 전원의 인가 여부에 따라 빛을 그대로 통과시키거나 산란시켜서 기판(160)의 얼룩 검출을 용이하게 하는 역할을 한다.
한 예로, 집광부(116)는 볼록렌즈에 비해 두께가 작은 프레넬 렌즈(Fresnel lens)를 이용할 수 있다.
이때, 광원(112), 반사부(114), 집광부(116), 산란부(118)는 모두 그 각도를 조정할 수 있는 구조로 각각 구비된다.
후방 조명 유닛(120)은 기판 구동 유닛(130)의 후방에 위치되며, 기판(160)의 내부 결함 여부를 검사하기 위하여 기판(160) 후면에서 투과 조명을 조사하는 역할을 한다.
이를 위한 후방 조명 유닛(120)은 조명부(122)와 이동부(124)로 구성되며, 조명부(122)는 투과 조명을 발생시키며, 이동부(124)는 조명부(122)를 전후 방향으로 구동시킨다.
후방 조명 유닛(120)에서 조명부(122)를 전후 방향으로 구동시키는 이유는 다음과 같다.
검사 대상인 기판(160)이 대형화되면서, 기판(160)의 회전 반경을 확보하기 위하여 후방 조명 유닛(120)을 기판 구동 유닛(130)으로부터 일정 거리 이상 이격시켜야 한다. 그러나, 후방 조명 유닛(120)이 기판 구동 유닛(130)으로부터 일정 거리 이상 이격되어 있으면, 기판(160) 내부의 결함 검사시 조도가 약해지는 문제점이 있으므로, 기판(160) 내부의 결함 검사시에는 조명부(122)를 기판 구동 유닛(130) 쪽으로 접근시킬 필요가 있다. 따라서, 조명부(122)를 전후 방향으로 이동 가능하게 구비시킬 필요가 있는 것이다.
기판 구동 유닛(130)은 기판(160)을 고정시키는 고정부(132), 및 고정부(132)를 상하 또는 좌우 방향으로 회전시키는 구동부(134)로 구성될 수 있다.
이와 같이 구성되는 기판 구동 유닛(130)은 기판(160)을 고정시키는 동시에 여러 방향으로 회전 및 이동시킴으로써, 상방 조명 유닛(110) 및 후방 조명 유닛(120)으로부터 공급되는 빛이 기판(160) 표면에 전체에 걸쳐 조사되도록 한다.
즉, 기판 구동 유닛(130)은 기판(160) 표면에 대한 외관 검사시 가장 적합한 기판의 각도를 찾을 때 이용되며, 기판(160) 내부의 결함을 검사하기 위하여 기판(160)을 지면에 수직되게 위치시키는 경우에도 이용된다.
필터 유닛(140)은 기판 구동 유닛(130)의 전방에 위치되어 기판(160)의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파한다.
특히, 필터 유닛(140)은 빛의 적색, 녹색, 청색 파장 중 어느 하나를 선택적으로 투과시킴으로써, 기판(160) 내부에 공존하는 여러 파장대 중 선택된 하나의 파장을 갖는 빛에 대하여 얼룩 유무를 검출한다.
예컨대, 액정 표시 장치용 컬러필터 기판은 유리기판 상에 적색, 녹색, 청색을 구현하기 위한 적색, 녹색, 청색의 서브컬러필터와, 블랙매트릭스, 스페이서 등 다양한 패턴이 마련되어 있기 때문에, 액정 표시 장치용 컬러필터 기판의 표면을 검사하는 경우, 컬러필터 기판의 표면으로부터 나오는 빛은 다양한 파장을 갖게 된다.
그런데, 필터 유닛(140)을 사용하게 되면, 다양한 파장을 갖는 빛에서 특정 파장대만 통과시켜 검사자(150)의 육안으로 조사함으로써, 검사자(150)는 특정 파장을 갖는 빛으로부터 용이하게 얼룩 유무를 검출할 수 있다.
이를 위한 필터 유닛(140)은 특정 파장대만 통과시키는 물질 등을 이용하여 구현할 수 있다. 필터 유닛(140)의 세부 구조는 하기에서 자세히 설명한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 구동 원리가 도시되어 있다.
즉, 상방 조명 유닛(110)의 광원(112)으로부터 발생된 빛은 반사부(114)에서 반사되어 집광부(116)와 산란부(118)를 투과한 후, 검사 대상인 기판(160)에 조사된다. 그리고, 기판(160)에 의해 반사된 빛은 필터 유닛(140)을 통과하면서 분광되어, 필터 유닛(140)을 투과한 특정 파장대의 빛만 검사자(150)의 육안으로 향하게 된다. 이에 따라, 검사자(150)는 필터 유닛(140)을 통과하여 나오는 빛을 관찰함으로써 기판(160)의 결함 여부를 검사한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 필터 유닛을 통과한 빛의 분광복사휘도를 측정한 결과를 나타낸 그래프로, 도 4의 (a)는 필터 유닛을 통과하기 전 기판으로부터 나오는 빛의 분광복사휘도(spectral radiance)를 RGB별 측정한 그래프이고, 도 4의 (b)는 필터 유닛을 통과하여 나오는 빛의 분광복사휘도를 RGB별 측정한 그래프이다.
필터 유닛을 통과하기 전, 기판의 표면으로부터 나오는 빛은 통상, 650nm 파장대를 갖는 적색 빛과, 550nm 파장대를 갖는 녹색 빛, 450nm 파장대를 갖는 청색 빛이 혼색되어 구성되는데, 이들 적색 빛, 녹색 빛, 청색 빛들의 휘도는 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이 서로 다르게 나타난다.
이후, 필터 유닛을 통과한 빛은 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 550nm 파장대를 갖는 녹색 빛만 나타나고, 이 외의 적색 빛과 청색 빛의 세기는 0으로 감소시킴으로써, 타 파장의 휘도 변동폭을 무시할 정도로 감소되었다.
이러한 그래프에 따르면, 필터 유닛은 녹색 빛만 통과시키는 녹색 필터이며, 녹색 필터를 구비한 기판 외관 검사 장치는 기판의 표면으로부터 나오는 빛 중 녹 색 빛에 대해서 얼룩을 검출할 수 있다.
이 외, 필터 유닛은 적색 필터, 청색 필터를 선택적으로 변경함으로써 파장대별로 빛의 얼룩을 검출하도록 한다.
이하, 필터 유닛의 세부 구성을 설명한다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 필터 유닛을 도시한 구성도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제1 실시예에 따른 제1 필터 유닛(500)은 제1 필터부(510)와 지지부(520), 구동부(530), 연결부(540)를 포함한다.
제1 필터부(510)는 빛의 특정 파장대만 투과시키는 기판으로, 기판의 표면으로부터 나오는 빛이 통과하면서 특정 파장의 빛만 투과되고, 다른 파장의 빛은 차단된다.
이를 위하여 제1 필터부(510)는 소정의 기판 상에 특정 파장대만 통과시키는 물질이 도포된다.
여기서, 특정 파장대만 통과시키는 물질은 액정 표시 장치용 컬러필터 기판 제조시 사용되는 안료처럼, 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료 중 하나일 수 있다.
지지부(520)는 제1 필터부(510)가 기판 구동 유닛(도 2의 130)의 전방에 장착되도록 지지한다.
구동부(530)는 지지부(520)에 안착된 제1 필터부(510)를 이동시키기 위한 것으로, 지지부(520)를 상하 또는 좌우 방향으로 회전 및 이동시킨다.
그리고, 연결부(540)는 지지부(520)와 구동부(530)를 서로 연결하기 위한 것 으로, 그 내부에 볼 베어링이 구비됨으로써 자유자재로 지지부(520)의 각도를 조절할 수 있다.
이때, 구동부(530)는 도시된 바와 같이 지면 상의 받침대에 장착됨으로써 지면에 의해 지지될 수 있으며, 또는 기판 구동 유닛(도2의 130)의 일측부에 장착되어 기판(도2의 160)이 고정되는 소정 높이와 대응되게 구비될 수도 있다.
이와 같이 구성되는 제1 필터 유닛(500)은 지지부(520)에 안착된 제1 필터부(510)를 기판(도2의 160)의 전방에서 이동 및 회전시켜 그 위치를 자유자재로 변경함으로써 기판(도2의 160) 전체에 대한 얼룩 검출을 용이하게 수행하도록 한다.
이에 따르면, 대형 기판을 검사하는 경우에도 기판의 크기에 관계없이 용이하게 검사를 수행할 수 있으며, 제1 필터부(510)가 기판의 크기와는 관계없이 검사자의 시야에만 존재하면 되므로 컴팩트한 사이즈로 구비될 수 있음은 물론이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 필터 유닛을 도시한 구성도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제2 실시예에 따른 제2 필터 유닛(600)은 제2 필터부(610), 하우징(620), 손잡이부(630)를 포함한다.
제2 필터부(610)는 제1 필터부(510)와 마찬가지로, 빛의 특정 파장대만 투과시키는 기판이다.
즉, 제2 필터부(610)는 기판의 표면으로부터 나오는 빛이 통과하면서 특정 파장의 빛만 투과되고, 다른 파장의 빛은 차단시킨다. 이를 위한 제2 필터부(610)는 특정 파장대만 통과시키는 물질을 이용한다.
이를 테면, 소정의 기판 상에, 액정 표시 장치용 컬러필터 기판 제조시 사용되는 안료처럼, 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료 중 하나를 도포함으로써 구현할 수 있다.
하우징(620)은 제2 필터부(610)의 외곽을 감싸며, 손잡이부(630)는 하우징(620)의 양측면 또는 모든 측면에 마련된다.
이러한 구조에 따르면, 제2 실시예에 따른 제2 필터 유닛(600)은 기판 외관 검사 장치에 장착되는 구조와는 다르게 휴대가 가능하다. 따라서, 평상시에는 소정 공간에 비치해 두었다가, 검사시 검사자가 직접 손잡이부(630)를 이용하여 이동해 가면서 기판 표면상의 얼룩을 검출하는 데 이용할 수 있다.
이러한 제2 필터 유닛(600)은 검사자가 쉽게 다룰 수 있으며, 기존 기판 외관 검사 장치와의 호환성이 높아 활용도가 우수하다.
또한, 제2 필터부(610)가 검사자의 시야에 존재하면 되므로 컴팩트한 사이즈로 구비할 수 있으며, 이에 따라 크기가 작으므로 자유자재로 움직이기가 용이하다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치의 필터 유닛을 도시한 구성도이다.
제3 실시예에 따른 제3 필터 유닛(700)은 도 7에 도시된 바와 같이 안경 형태로 구비된다.
즉, 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 투과하는 제3 필터부(710), 및 제3 필터부(710)의 외곽을 감싸면서 검사자의 눈에 거치할 수 있도록 구비되는 안경 조립체(720)를 포함한다.
여기서, 도시된 안경 조립체(720)의 형상은 이해의 편의를 돕기 위해 일 예로 도시한 것일 뿐, 도시된 형상에 한정되지 않고, 검사자의 눈에 거치할 수 있도록 구비되는 형태라면 어느 구조라도 적용이 가능할 것이다.
제3 필터부(710)는 제1 및 제2 필터부(510,610)와 마찬가지로, 기판의 표면으로부터 나오는 빛을 통과시키면서 특정 파장의 빛만 투과시키고, 다른 파장의 빛은 차단시키는 역할을 한다.
이를 위한 제3 필터부(710)는 특정 파장대만 통과시키는 물질을 이용하여 구현할 수 있다.
이러한 구조에 따르면, 제3 필터 유닛(700)을 검사자의 눈에 직접 착용하여 기판 표면상의 얼룩을 검출함으로써 검사 작업이 편리하고, 검사자가 쉽게 다룰 수 있는 이점이 있다.
또한, 제3 필터부(710)가 검사자의 시야에 존재하면 되므로, 구조 특성상 제1 실시예 및 제2 실시예보다 더욱 컴팩트한 사이즈로 구비될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모 든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따른 기판 외관 검사 장치는, 다양한 파장을 갖는 빛에서 특정 파장대만 통과시켜 검사자의 육안으로 조사함으로써 기판 표면의 얼룩 유무 및 발생 원인을 정확하게 파악할 수 있으며, 이로 인하여 고질 불량을 미연에 검출함으로써 양산의 손실을 방지할 수 있다.
또한, 검사자의 눈의 피로를 감소시켜 검사자의 검사 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판이 대형화되는 추세임에도 불구하고 기판의 크기와 관계없이 필터 유닛을 컴팩트한 사이즈로 구현할 수 있는 효과가 있다.
또한, 휴대가 용이하며, 검사자가 쉽게 다룰 수 있고 검사 작업을 편리하게 하는 효과가 있다.

Claims (13)

  1. 기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 상기 기판의 표면에 빛을 공급하는 상방 조명 유닛;
    상기 기판 내부의 결함 유무를 검사하기 위하여 상기 기판의 후방에서 투과 조명을 공급하는 후방 조명 유닛;
    상기 기판을 고정시키며, 상기 고정된 기판 표면에 상기 상방 조명 유닛 및 상기 후방 조명 유닛으로부터 공급되는 빛이 조사되도록 상기 기판을 회전 및 이동시키는 기판 구동 유닛; 및
    상기 기판 구동 유닛의 전방에 위치되어 상기 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파하는 필터 유닛
    을 포함하는 기판 외관 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필터 유닛은, 상기 빛의 적색, 녹색, 청색 파장대 중 어느 하나를 선택적으로 투과시키는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 필터 유닛은,
    상기 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파하는 제1 필터부;
    상기 제1 필터부를 지지하는 지지부;
    상기 지지부에 안착된 제1 필터부를 상하 또는 좌우 방향으로 이동시키는 구동부; 및
    상기 지지부와 상기 이동부를 연결하기 위한 연결부
    를 포함하는 기판 외관 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 연결부는 볼 베어링이 구비되어 상기 지지부의 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1 필터부는 특정 파장대만 통과시키는 물질이 도포된 것을 특징으로 하는 기판 외관 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 물질은 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료 중 하나인 것을 특징으로 하는 기판 외관 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 필터 유닛은,
    상기 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파하는 제2 필터부;
    상기 제2 필터부의 외관을 감싸는 하우징; 및
    상기 하우징의 측면에 구비되어 휴대가 가능한 손잡이부
    를 포함하는 기판 외관 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 필터 유닛은,
    상기 기판의 표면으로부터 나오는 빛의 특정 파장대만 검파하는 제3 필터부; 및
    상기 제3 필터부를 검사자의 눈에 거치할 수 있도록 구비되는 안경 조립체
    를 포함하는 기판 외관 검사 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 제2 필터부 및 상기 제3 필터부는 특정 파장대만 통과시키는 물질이 도포된 것을 특징으로 하는 기판 외관 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 물질은 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료 중 하나인 것을 특징으로 하는 기판 외관 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 상방 조명 유닛은,
    상기 빛을 발생시키는 광원;
    상기 광원에서 발생된 빛을 반사시켜 빛의 경로를 바꾸는 반사부;
    상기 반사부를 통과한 빛을 집광시키는 집광부; 및
    상기 집광부를 통과한 빛을 전원의 인가 여부에 따라 그대로 통과시키거나 산란시키는 산란부
    를 포함하는 기판 외관 검사 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 기판 구동 유닛은,
    상기 기판을 고정시키는 고정부; 및
    상기 고정부를 상하 및 좌우 방향으로 회전 및 이동시키는 구동부
    를 포함하는 기판 외관 검사 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 액정 표시 장치용 컬러필터 기판인 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
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