KR20080075609A - 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리 - Google Patents

반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리 Download PDF

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KR20080075609A
KR20080075609A KR1020070014719A KR20070014719A KR20080075609A KR 20080075609 A KR20080075609 A KR 20080075609A KR 1020070014719 A KR1020070014719 A KR 1020070014719A KR 20070014719 A KR20070014719 A KR 20070014719A KR 20080075609 A KR20080075609 A KR 20080075609A
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wafer
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박의진
박인영
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리에 관한 것으로서, 정전 척(100)을 수직으로 관통하여 승강 가능하게 구비되는 복수의 리프트 핀(10)들의 하단부를 고정하게 되는 리프트 플레이트(20)가, 상기 정전 척(100)의 저면에 상향 요입되게 형성한 승강홈(120)을 따라 승강하도록 하면서 가이드 샤프트(30)를 따라 승강하는 리프트 플레이트(20)와 정전 척(100)의 승강홈(120) 상부면 사이의 가이드 샤프트(30)와 그 외측으로 구비되는 스프링(50)을 신축이 가능하도록 벨로우즈 타입으로 구비되는 보호캡(60)에 의해 커버되게 함으로써 리프트 플레이트(20)의 승강 구동 중 가이드 샤프트(30)와의 마찰에 의해 발생되는 부산물들에 의한 정전 척(100)의 상부면 오염이 방지되도록 하여 공정 수행 효율과 신뢰성이 향상되도록 하는 특징이 있다.
Figure P1020070014719
정전 척, 리프트 핀, 리프트 플레이트, 가이드 샤프트

Description

반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리{Wafer lift assembly of semiconductor manufacturing apparatus}
도 1은 종래의 웨이퍼 리프트 어셈블리를 도시한 측단면도,
도 2는 종래의 리프트 플레이트의 형성 구조를 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 실시예 구성을 도시한 구조도,
도 4는 본 발명에 따른 요부의 분리된 구조를 도시한 일부 확대 단면도,
도 5는 도 4의 조립 단면도,
도 6은 본 발명에 따라 리프트 플레이트와 가이드 샤프트간 마찰 저감을 위한 베어링이 구비한 구성을 도시한 요부 확대 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 리프트 핀(lift pin)
20 : 리프트 플레이트(lift plate)
21 : 관통홀
30 : 가이드 샤프트(guide shaft)
40 : 승강 구동부
50 : 스프링
60 : 보호캡
본 발명은 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 리프트 플레이트의 승강을 안내하는 가이드 샤프트의 외부를 벨로우즈 타입의 보호에 의해 커버되게 함으로써 축 가이드와 리프트 플레이트의 결합 부위에서 발생되는 다수의 이물질들에 의한 정전 척에서의 웨이퍼 척킹 불량과 이상 방전에 따른 공정 불량이 방지되도록 하는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 장치에서 웨이퍼를 로딩시켜 웨이퍼에 필요로 하는 가공 공정이 수행되도록 하는 부위를 공정 챔버라 한다.
공정 챔버는 반도체 소자 형성을 위한 막질 증착이나 에칭 또는 이온 주입과 같은 다양한 공정을 수행함으로써 필요로 하는 가공이 이루어지도록 한다.
공정 챔버는 공정 수행을 위하여 특정한 공정 수행 조건을 필요로 하며, 이러한 공정 수행 조건으로는 압력과 온도와 주입되는 가스 등의 다양한 조건들이 필요로 된다.
특히 최근의 막질 증착이나 에칭 등의 공정들이 플라즈마를 생성하여 이 플라즈마에 의해서 공정이 수행되도록 하고 있으므로 일부에서는 플라즈마의 생성을 위한 고주파 전압이 반드시 필요로 되고 있다.
한편 공정 챔버에서 웨이퍼는 통상 복수의 리프트 핀에 의해서 정전 척에 로딩/언로딩되도록 하고 있다.
정전 척에서 리프트 핀은 복수의 핀들이 정전 척을 수직 관통되게 구비되도록 하여 일정 높이를 승강하면서 웨이퍼를 공정 수행 위치인 정전 척에 안착시키거나 로딩/언로딩 위치인 일정 높이로 상승시키도록 하고 있다.
이때 리프트 핀은 정전 척의 하부에서 웨이퍼 리프트 어셈블리에 의해서 승강 작동을 하게 된다.
도 1은 종래의 웨이퍼 리프트 어셈블리를 도시한 측단면도이다.
도시한 바와 같이 웨이퍼 리프트 어셈블리는 크게 복수의 리프트 핀(10)들과, 이 리프트 핀(10)들의 하단이 고정되도록 하는 리프트 플레이트(20)와, 리프트 플레이트(20)를 수직으로 승강 안내하는 가이드 샤프트(30) 및 리프트 플레이트(20)를 승강시키는 승강 구동부(40)로서 구비하고 있다.
리프트 핀(10)은 정전 척(100)을 수직으로 관통한 핀홀(110)을 통해 승강이 가능하게 구비되며, 정전 척(100)에서 동심원 상에 등간격으로 형성되고 있다.
리프트 플레이트(20)는 도 2에서와 같이 중심으로부터 일정 폭이 방사상으로 연장되도록 하여 그 끝단부에 리프트 핀(10)들의 하단부가 각각 결합되도록 하는 구성으로서, 일명 스파이더(spider)라고도 한다.
이러한 리프트 플레이트(20)는 정전 척(100)의 저면으로부터 일정한 높이로 상향 요입시킨 승강홈(120)을 따라 승강이 가능하게 구비되며, 승강홈(120)은 리프 트 플레이트(20)와 동일하나 외경이 보다 큰 형상으로서 형성되도록 하고 있다.
또한 리프트 플레이트(20)는 중심 부위가 수직으로 관통되며, 관통된 부위에는 가이드 샤프트(30)가 끼워지며, 가이드 샤프트(30)는 상단부에 나사산을 형성하여 정전 척(100)에 나사 결합되며, 하단부는 리프트 플레이트(20)에 형성한 관통홀(21)의 직경보다는 외경을 크게 형성되게 하여 리프트 플레이트(20)가 하향 이탈되지 않도록 하는 스토퍼의 기능을 한다.
특히 정전 척(100)과 리프트 플레이트(20)의 사이로 가이드 샤프트(30)에는 스프링(50)이 탄설되도록 하여 리프트 플레이트(20)를 항상 탄력 지지하도록 한다.
따라서 리프트 플레이트(20)는 승강 구동부(40)에 의해서 승강 구동되고, 승강 구동부(40)의 상승 작용에 의해 리프트 플레이트(20)에 탄설된 스프링(50)은 더욱 압축상태가 되며, 이러한 승강 작용은 가이드 샤프트(30)를 따라 수직의 방향으로 이루어지게 된다.
하지만 리프트 플레이트(20) 및 리프트 핀(10)이 승강하면서 리프트 플레이트(20)와 가이드 샤프트(30) 사이에서는 미세한 마찰이 발생하게 되며, 이때 알루미늄 재질인 리프트 플레이트(20)와 베스펠(vespel) 소재인 가이드 샤프트(30) 와의 마찰에 의해 미세한 마찰 부산물들이 발생하게 되고, 이들 부산물들이 정전 척(100)의 냉각을 위한 헬륨 가스의 공급 시 헬륨 가스 공급 통로를 통하여 부상하면서 정전 척(100)의 바닥면에 얹혀지게 되며, 이렇게 얹혀진 부산물들은 웨이퍼의 안착과 쿨링 불량을 유발하고, 이상 방전에 의해 플라즈마의 형성 불량이 발생되면서 공정 불량을 초래하는 대단히 심각한 문제를 발생하게 된다.
따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 주된 목적은 리프트 플레이트와 가이드 샤프트와의 마찰 부위를 커버하여 마찰 부산물의 상승이 방지되도록 하는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리를 제공하는데 있다.
또한 본 발명의 다른 목적으로는 정전 척에 웨이퍼가 항상 안정되게 안착되게 함으로써 웨이퍼의 쿨링과 플라즈마 형성을 안정화시켜 공정 수행 효율과 생산성이 향상되도록 하는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 정전 척을 수직으로 관통하여 승강 가능하게 구비되는 복수의 리프트 핀들과; 상기 정전 척의 하부에서 상기 리프트 핀들의 하단부를 고정하고, 상기 정전 척에 하향 개방되게 저면에 상향 요입되게 형성한 승강홈을 따라 승강하는 리프트 플레이트와; 상단부는 승강홈 상부의 정전 척에 스크류 결합되고, 하단부는 상기 리프트 플레이트의 중앙 부위를 관통하여 상기 리프트 플레이트의 하향 이탈이 방지되도록 하면서 상기 리프트 플레이트를 승강하도록 축지지하는 가이드 샤프트와; 상기 리프트 플레이트의 하단부에 연결되어 상기 리프트 플레이트를 일정한 높이로 승강시키도록 하는 승강 구동부와; 승강홈 내에서 상기 정전 척과 상기 리프트 플레이트 사이의 가이드 샤프트 외측으로 탄설되는 스프링; 및 상기 스프링의 외측을 감싸도록 구비되면서 상기 리프트 플레이트의 승강 구동 중 가이드 샤프트와의 마찰에 의해 발생되는 부산물들에 의한 상기 정전 척의 상부 오염이 방지되도록 하는 보호캡으로 이루어지는 구성이다.
본 발명은 반응 챔버의 내부에서 정전 척으로 웨이퍼를 로딩/언로딩시키도록 구비되는 웨이퍼 리프트 어셈블리의 구조를 간단히 개선한 구성에 관한 것이다.
따라서 본 발명은 전술한 종래 기술에서와 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 적용하기로 한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 정전 척(100)을 수직으로 관통하여 승강하면서 웨이퍼의 안착을 제공하는 복수의 리프트 핀(10)들의 승강 구동시키는 웨이퍼 리프트 어셈블리에 대한 것이다.
웨이퍼 리프트 어셈블리는 전술한 바와 같이 크게 리프트 핀(10)과 리프트 플레이트(20)와 가이드 샤프트(30)와 승강 구동부(40)와 스프링(50)으로 이루어지며, 이와 같은 구성에 보호캡(60)을 부가하여 구비되도록 하는 것이 본 발명의 가장 특징적인 구성이다.
도 3은 본 발명에 따른 실시예 구성을 도시한 구조도이다.
도시한 바와 같이 리프트 핀(10)은 수직의 봉형상이며, 정전 척(100)을 수직 관통하여 일정한 높이를 승강 가능하게 구비되는 구성이다.
리프트 핀(10)은 통상 3~4개가 정전 척(100)의 중심으로부터 동심원상에 등간격으로 구비되며, 리프트 핀(10)의 승강을 위하여 정전 척(100)에는 리프트 핀(10)의 직경보다는 미세하게 큰 직경으로 핀홀(110)이 형성되도록 한다.
리프트 플레이트(20)는 정전 척(100)의 저면에서 하향 개방되도록 일정한 깊이로 상향 요입되게 형성한 승강홈(120)을 따라 승강이 가능하게 구비되도록 한 구성이다.
즉 리프트 플레이트(20)는 정전 척(100)의 하부에서 정전 척(100)의 저면에 형성한 승강홈(120)을 따라서 승하강하도록 구비되며, 이때의 리프트 플레이트(20)는 중앙으로부터 일정한 폭이 방사상으로 연장되도록 하여 이들 연장 단부에 리프트 핀(10)의 하단부가 각각 결합되도록 한다.
한편 정전 척(100)의 승강홈(120)은 리프트 플레이트(20)와 동일한 형상으로 형성되도록 하며, 다만 리프트 플레이트(20)의 외경보다는 일정한 간격만큼 크게 형성되도록 하는 것이 가장 바람직하다.
도 4는 본 발명에 따른 요부의 분리된 구조를 도시한 일부 확대 단면도이고, 도 5는 도 4의 조립 단면도이다.
가이드 샤프트(30)는 상단부의 주면 일부에 나사산이 형성되도록 하고, 하단부에는 공구를 이용하여 스크류 체결이 가능하도록 보다 큰 외경의 헤드를 갖는 볼트 형상이다.
다만 가이드 샤프트(30)는 상단부의 나사산을 정전 척(100)에 일정 깊이로만 체결시키기만 하면 되므로 일부의 높이에만 나사산이 형성되도록 한다.
가이드 샤프트(30)는 리프트 플레이트(20)의 중앙을 수직으로 관통시킨 관통홀(21)을 통과하여 나사산이 형성된 상단부가 승강홈(120)의 상부면 중앙의 정전 척(100)에 견고하게 나사 결합되는 구성이다.
리프트 플레이트(20)의 관통홀(21)은 가이드 샤프트(30)의 외경보다는 미세하게 큰 직경으로 형성되나 가이드 샤프트(30)의 하단부측 헤드는 관통홀(21)보다는 외경이 크게 형성되도록 하여 리프트 플레이트(20)가 가이드 샤프트(30)로부터 결코 하향 이탈되지 못하도록 한다.
특히 본 발명의 리프트 플레이트(20)는 종전과 마찬가지로 알루미늄 재질을 사용하며, 가이드 샤프트(30)는 베스펠 소재로서 사용하도록 하고, 그 외의 재질로도 사용은 가능하다.
한편 리프트 플레이트(20)는 그 하부에서 승강 구동부(40)에 의해 승강이 이루어지게 된다.
승강 구동부(40)는 다시 구동부재와 연결부재로 이루어지며, 구동부재는 승강 구동력을 발생시키는 부위로서 실린더 또는 모터와 볼 스크류로서 이루어지는 구성이다.
이러한 구동부재를 통해 발생되는 구동력은 연결부재에 의해서 리프트 플레이트(20)에 전달되며, 따라서 연결부재의 상단은 리프트 플레이트(20)의 하단부에 연결되도록 한다.
이렇게 리프트 플레이트(20)에 연결되는 승강 구동부(40)의 연결부재의 상단부는 리프트 플레이트(20)의 저부로 돌출되게 형성되는 가이드 샤프트(30)의 헤드 를 포함하는 하단부를 외부로부터 커버할 수 있는 구성으로 형성되도록 하는 것이 보다 바람직하다.
따라서 승강 구동부(40)는 구동부재를 통해 발생되는 승강 구동력을 연결부재를 통해 리프트 플레이트(20)에 전달되게 하여 리프트 플레이트(20)가 승강 가능하도록 한다.
승강 구동부(40)가 리프트 플레이트(20)를 하부에서 승강시키도록 하는 반면 리프트 플레이트(20)의 상부에서는 정전 척(100)의 승강홈(110) 내에서 상부면과의 사이로 스프링(50)이 가이드 샤프트(30)의 외측으로 탄설되도록 한다.
스프링(50)은 리프트 플레이트(20)를 기준으로 승강 구동부(40)와는 대응되는 방향에 구비되도록 함으로써 리프트 플레이트(20)가 항상 긴밀한 탄력으로 지지되는 상태에서 승강이 이루어지도록 한다.
스프링(50)은 리프트 플레이트(20)의 상부면에서 측방으로의 유동이 방지되도록 하기 위하여 스프링(50)이 얹혀지는 리프트 플레이트(20)에는 가이드 샤프트(30)가 안내되는 관통홀(21)의 상부를 더욱 큰 직경으로 확장시켜 단차지게 함으로써 관통홀(21)의 단차진 부위에 스프링(50)의 하단부가 안착되도록 하는 것이 보다 바람직하다.
그리고 스프링(50)이 안치되는 리프트 플레이트(20)의 상부면으로는 관통홀(21)의 외주연부가 소정의 높이로 상향 연장되도록 하여 스프링(50)의 일부가 외측으로부터 커버되도록 한다.
한편 본 발명에서 정전 척(100)의 승강홈(120) 내에서 승강홈(120)의 상부면 과 리프트 플레이트(20)의 상부면 사이의 가이드 샤프트(30)와 스프링(50)을 외부로부터 커버되도록 보호캡(60)이 구비되도록 하는 것이 가장 특징적이다.
보호캡(60)은 승강홈(120)의 상부면과 리프트 플레이트(20)의 상부면 사이에서 리프트 플레이트(20)를 수직 관통하는 가이드 샤프트(30)와의 마찰에 의해 발생되는 부산물의 비산이 방지되도록 구비되는 구성이다.
보호캡(60)은 하단부가 리프트 플레이트(20)의 상부면으로부터 소정의 높이로 상향 연장되도록 하면서 그 안쪽으로는 스프링(50)의 하단부가 탄설되도록 형성한 스프링 가이드(22)의 외측을 감싸면서 이탈 방지되도록 견고하게 결합되도록 한다.
이러한 보호캡(60)의 하단부는 도시한 바와 같이 복수의 스크류(70)를 이용하여 스프링 가이드(22)에 견고하게 결합되도록 하면서 리프트 플레이트(20)의 상부면과의 실링을 위하여 O링(61)이 삽입되도록 한다.
한편 보호캡(60)은 일정한 탄성을 갖도록 하여 하단부가 리프트 플레이트(20)에 안착되어 고정되더라도 상단부가 승강홈(120)의 상부면에 항상 밀착되도록 하는 동시에 리프트 플레이트(20)의 승강 작용에 의해서도 이러한 결합 상태가 유지되도록 신축이 가능한 벨로우즈 타입으로 구비되도록 한다.
이때 보호캡(60)은 상단부가 승강홈(120)의 상부면에 단순히 밀착만 되고 별도의 고정은 생략되도록 하며, 다만 승강홈(120)의 상부면으로 일정한 높이로서 보호캡(60)의 상단부가 삽입되도록 상향 요입되는 삽입홈이 형성되도록 하는 것이 가장 바람직하다.
또한 보호캡(60)의 승강홈(120) 상부면에 밀착되는 상단면에는 하단부에서와 같이 O링(61)이 삽입되게 할 수도 있다.
특히 본 발명의 리프트 플레이트(20)의 관통홀(21)에는 도 6에서와 같이 내부에 베어링(80)이 구비되도록 하여 관통홀(21)을 지나는 가이드 샤프트(30)와의 마찰이 최대한 방지되도록 한다.
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 작용을 살펴보면 다음과 같다.
본 발명은 전술한 바와 같이 리프트 핀(10)을 지지하면서 승강이 가능하게 정전 척(100)의 하부에 구비되는 리프트 플레이트(20)와 이 리프트 플레이트(20)가 원활하게 승강하도록 정전 척(100)의 저면으로부터 하향 요입되게 형성한 승강홈(120)의 상부면 사이의 가이드 샤프트(30) 및 스프링(50)이 구비되는 부위를 외부와 차단되도록 벨로우즈 타입의 보호캡(60)에 의해서 커버되도록 하는 구성이다.
다시 말해 본 발명은 가이드 샤프트(30)와 이 가이드 샤프트(30)의 외측으로 구비되는 스프링(50)을 그 외측에서 보호캡(60)에 의해 감싸지게 함으로써 보호캡(60) 내부의 어떠한 이물질도 외부로 유출되지 않도록 하는 것이다.
따라서 보호캡(60)의 상단부와 하단부의 리프트 플레이트(20) 상부면에 연결되는 부위와 정전 척(100)의 승강홈(120)측 상부면에 연결되는 부위에서의 실링(sealing)이 매우 중요하다.
이러한 실링을 위하여 각 밀착면간에는 O링(61)이 개입되도록 하는 것이 가장 바람직하다.
이와 같이 실링이 이루어진 상태로 보호캡(60)을 구비하게 되면 승강 구동 부(40)의 구동에 의해서 리프트 플레이트(20)가 승강하면서 리프트 플레이트(20)의 관통홀(21)과 가이드 샤프트(30)와의 결합 부위를 보호하게 된다.
승강 구동부(40)의 구동에 의해 리프트 플레이트(20)가 승강 구동을 하게 되면 가이드 샤프트(30)에는 리프트 플레이트(20)와의 마찰이 발생하게 된다.
즉 리프트 플레이트(20)의 중앙에 형성한 관통홀(21)에는 가이드 샤프트(30)가 축지지되고 있으므로 가이드 샤프트(30)를 따라서 리프트 플레이트(20)가 승강하게 되면 관통홀(21)에서의 가이드 샤프트(30)와의 마찰은 불가피하게 발생된다.
리프트 플레이트(20)의 승강 구동 시 가이드 샤프트(30)와의 마찰에 의해 발생되는 부산물들은 리프트 플레이트(20)의 상부 또는 하부로 비산된다.
리프트 플레이트(20)의 하부로 떨어지는 가이드 샤프트(30)와의 마찰 부산물들은 리프트 플레이트(20)의 저면에 연결되는 승강 구동부(40)의 연결부재에 의해 커버된다.
또한 리프트 플레이트(20)의 상부로 이동하는 마찰 부산물들은 이미 가이드 샤프트(30)와 스프링(50)의 외부를 감싸도록 한 벨로우즈 타입의 보호캡(60)에 의해서 외부로의 유출을 방지시키게 된다.
결국 리프트 플레이트(20)의 관통홀(21) 상부로 이동되는 마찰 부산물들은 보호캡(60)의 내부에서 리프트 플레이트(20)의 상부면에 쌓이게 되며, 이들은 일정한 주기로 수행되는 설비의 클리닝 점검 시 구성 부품들의 분해에 의한 클리닝에 의해 제거되도록 한다.
따라서 본 발명에서와 같이 리프트 플레이트(20)와 가이드 샤프트(30) 간의 마찰에 의해 발생되는 부산물의 비산을 방지하게 되므로써 특히 웨이퍼 냉각을 위해 냉각 가스를 정전 척(100)에 공급하게 될 때 냉각 가스 공급 통로를 통해 정전 척(100)의 상부로 마찰 부산물이 이동하여 얹혀지게 되는 사례를 미연에 방지할 수 가 있게 된다.
정전 척(100)에서의 마찰 부산물의 안착을 방지하게 되면 정전 척(100)으로 웨이퍼가 안전하게 안착될 수가 있으므로 냉각 가스에 의한 냉각 효율을 극대화시킬 수가 있게 된다.
또한 웨이퍼가 정전 척(100)에 균일하게 안착되면 정전 척을 통한 고주파 전압의 이상 방전 현상 발생을 방지시킬 수가 있게 되므로 안정된 플라즈마 형성을 제공할 수가 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 리프트 플레이트(20)의 승하강 구동에 의한 가이드 샤프트(30)와의 마찰에 따른 부산물이 정전 척(100)으로 비산되지 않도록 함으로써 이들 부산물에 따른 공정 불량을 미연에 방지시켜 안정된 공정 수행이 유지될 수 있도록 한다.
한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.
따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 정전 척으로 웨이퍼를 로딩/언로딩하기 위하여 정전 척으로부터 승강하게 되는 복수의 리프트 핀들을 고정하는 리프트 플레이트와 이 리프트 플레이트를 승강 지지하는 가이드 샤프트와의 마찰에 따른 부산물에 의한 정전 척의 오염을 방지하여 정전 척에서의 웨이퍼 안착과 안정된 고주파 전압의 방전 및 플라즈마 형성의 안정화에 따른 공정 수행 효율 및 신뢰성을 대단히 향상시키게 되는 매우 유용한 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 정전 척을 수직으로 관통하여 승강 가능하게 구비되는 복수의 리프트 핀들과;
    상기 정전 척의 하부에서 상기 리프트 핀들의 하단부를 고정하고, 상기 정전 척에서 하향 개방되게 저면에 상향 요입되게 형성한 승강홈을 따라 승강하는 리프트 플레이트와;
    상단부는 승강홈 상부의 정전 척에 스크류 결합되고, 하단부는 상기 리프트 플레이트의 중앙 부위를 관통하여 상기 리프트 플레이트의 하향 이탈이 방지되도록 하면서 상기 리프트 플레이트를 승강하도록 축지지하는 가이드 샤프트와;
    상기 리프트 플레이트의 하단부에 연결되어 상기 리프트 플레이트를 일정한 높이로 승강시키도록 하는 승강 구동부와;
    승강홈 내에서 상기 정전 척과 상기 리프트 플레이트 사이의 가이드 샤프트 외측으로 탄설되는 스프링; 및
    상기 스프링의 외측을 감싸도록 구비되면서 상기 리프트 플레이트의 승강 구동 중 가이드 샤프트와의 마찰에 의해 발생되는 부산물들에 의한 상기 정전 척의 상부 오염이 방지되도록 하는 보호캡;
    의 결합으로 이루어지는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 리프트 플레이트는 중앙에 상기 가이드 샤프트가 승강 이동이 가능하도록 상기 가이드 샤프트의 외경보다는 큰 직경의 관통홀을 형성하는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 승강 구동부는 구동력 발생 부위인 구동부재와 상기 구동부재로부터 발생되는 구동력을 상기 리프트 플레이트에 전달되도록 연결되는 연결부재의 결합으로 이루어지는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 승강 구동부의 구동부재는 구동 실린더로서 이루어지는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 승강 구동부의 구동부재는 모터와 볼 스크류로서 이루어지는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 승강 구동부의 연결부재는 상단부가 상기 리프트 플레이트의 저부로 돌출되게 형성되는 상기 가이드 샤프트의 헤드를 포함하는 하단부 를 외부로부터 커버되게 상기 리프트 플레이트의 저면에 연결되는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 보호캡은 신축성을 갖는 벨로우즈 타입으로 구비되는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 보호캡은 하단부가 상기 리프트 플레이트의 상부면으로부터 상향 돌출되게 형성한 스프링 가이드에 스크류 결합되고, 상단부는 상기 정전 척의 승강홈 내의 상부면에 탄력적으로 긴밀하게 밀착되는 구성으로 장착되는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 리프트 플레이트는 상기 가이드 샤프트가 관통하는 중앙의 관통홀에 베어링이 장착되도록 하여 상기 가이드 샤프트와의 마찰이 최소화되도록 하는 반도체 제조 장치의 웨이퍼 리프트 어셈블리.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100980448B1 (ko) * 2008-06-30 2010-09-07 엘아이지에이디피 주식회사 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈
WO2021013332A1 (de) * 2019-07-22 2021-01-28 Osram Opto Semiconductors Gmbh Haftstempel und verfahren zum transfer eines halbleiterchips mit einem haftstempel
CN113611642A (zh) * 2021-10-11 2021-11-05 西安奕斯伟硅片技术有限公司 硅片承载装置和分离设备

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