KR20080072272A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20080072272A
KR20080072272A KR1020070010776A KR20070010776A KR20080072272A KR 20080072272 A KR20080072272 A KR 20080072272A KR 1020070010776 A KR1020070010776 A KR 1020070010776A KR 20070010776 A KR20070010776 A KR 20070010776A KR 20080072272 A KR20080072272 A KR 20080072272A
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clamping
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소병열
이성희
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세메스 주식회사
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Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 고정 블레이드와, 고정 블레이드 상에 설치되고, 소정 구동 부재의 구동력에 의해 움직이는 이송 바(bar)와, 다수의 힌지(hinge)로, 각 힌지는 제1 내지 제3 연결 포인트를 갖고, 제1 연결 포인트는 고정 블레이드에 연결되고, 제2 연결 포인트는 이송 바에 연결된 다수의 힌지와, 기판을 클램핑하는 다수의 클램핑부로, 각 클램핑부는 각 힌지의 제3 연결 포인트에 연결된 다수의 클램핑부를 포함한다.
힌지, 이송 바, 클램핑부

Description

기판 이송 장치{Apparatus for carrying substrate}
도 1은 종래의 기판 이송 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 2의 III 부분을 자세히 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 힌지를 자세히 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 3의 힌지 및 클램핑부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100 : 기판 이송 장치 110 : 고정 블레이드
120 : 이송 바 130 : 클램핑부
140 : 구동 부재 150 : 힌지
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 장치를 제조하기 위해서는, 기판이 예컨대, 식각, 세정 및/또는 건조 등과 같은 다양한 제조 공정을 거쳐야 한다. 예를 들어, 식각 장비, 세정 장비, 건 조 장비 또는 식각, 세정, 건조 등이 연속적으로 이루어질 수 있는 제조 장비를 이용하여, 기판에 다양한 제조 공정을 진행하게 된다. 하나의 장비에서 다른 장비로 기판을 이송할 때 기판 이송 장치를 이용하여 기판을 이송하게 된다.
도 1은 종래의 기판 이송 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 기판 이송 장치(1)는 고정 블레이드(10), 이송 바(20), 클램핑부(30), 실린더(40)를 포함한다.
구체적으로, 이송 바(20)는 고정 블레이드(10) 상에 설치되고, 실린더(40)의 구동력에 의해 직선 운동을 하며, 종단에는 4개의 클램핑부(30)가 고정 장착되어 있다. 따라서, 종래의 기판 이송 장치에 기판이 놓여지면, 실린더의 구동력에 의해 4개의 클램핑부(30)가 조여들면서 기판을 클램핑하게 된다.
그런데, 기판이 여러가지 공정을 거치다 보면, 기판의 외경의 곡률이 일정하지 않게 된다. 그런데, 종래의 기판 이송 장치는 하나의 실린더(40)에 의해 4개의 클램핑부(30)가 동작되므로, 기판의 중심이 정확하게 가운데에 오도록 클램핑하기 어렵고, 기판이 일측으로 치우치게 될 수 있다. 그렇다고 해서, 4개의 클램핑부 각각을 별개의 실린더를 이용하여 구동시키려면, 기판 이송 장치의 구동이 복잡해 지고 제조 원가가 높아지게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판을 안정적으로 클램핑할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으 며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 기판 이송 장치는 고정 블레이드와, 고정 블레이드 상에 설치되고, 소정 구동 부재의 구동력에 의해 움직이는 이송 바(bar)와, 다수의 힌지(hinge)로, 각 힌지는 제1 내지 제3 연결 포인트를 갖고, 제1 연결 포인트는 고정 블레이드에 연결되고, 제2 연결 포인트는 이송 바에 연결된 다수의 힌지와, 기판을 클램핑하는 다수의 클램핑부로, 각 클램핑부는 각 힌지의 제3 연결 포인트에 연결된 다수의 클램핑부를 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상 의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 3은 도 2의 III 부분을 자세히 도시한 도면이다. 도 4는 도 3의 힌지를 자세히 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 도 3의 힌지 및 클램핑부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
우선 도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 고정 블레이드(110), 이송 바(120), 다수의 힌지(150), 다수의 클램핑부(130), 구동 부재(140)를 포함한다.
고정 블레이드(110)는 기판 이송 장치(100)의 바디(body) 역할을 하며, 이송 바(120), 다수의 힌지(150), 클램핑부(130), 구동 부재(140) 등을 지지하는 부분이다.
이송 바(bar)(120)는 고정 블레이드(110) 상에 설치되고, 구동 부재(140)의 구동력에 의해 움직인다.
여기서, 구동 부재(140)는 실린더로 구현될 수 있으며, 실린더로 구현될 경우에는 이송 바(120)는 직선 운동을 하게 된다. 그러나, 구동 부재(140)는 실린더로 한정되지 않고, 구동력을 제공할 수 있는 것이면 무엇이든 가능하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 특히, 클램핑부(130)가 고정되어 있지 않고, 이송 바(120)가 움직임에 따라 다수의 힌지(hinge)(150)를 통해서 클램핑부(130)가 움직이게 된다.
이러한 역할을 하는 각각의 힌지(150)는 제1 내지 제3 연결 포인트(A, B, C)를 갖는다. 제1 연결 포인트(A)는 고정 블레이드(110)에 연결되어 있어, 힌지(150)가 고정 블레이드(110)에 고정될 수 있도록 한다. 또한, 제2 연결 포인트(B)는 이송 바(120)에 연결되어 있어, 이송 바(120)가 직선 운동을 하면 힌지(150)는 회전 운동을 하게 된다.
또한, 제3 연결 포인트(C)는 클램핑부(130)에 연결되어 있어, 힌지(150)가 회전 운동하면 그에 따라 클램핑부(130)가 움직일 수 있도록 한다. 또한, 클램핑부(130)는 기판(W)과의 접촉 부분에 따라서 조금씩 움직일 수 있다.
도 4 및 도 5를 참조하여 더욱 구체적으로 설명하면, 각각의 힌지(150)는 제 1 및 제2 연결 포인트(A, B) 사이의 거리(L1)와, 제1 및 제3 연결 포인트(A, C) 사이의 거리(L2)가 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 제1 연결 포인트(A)를 기준으로 제2 연결 포인트(B)가 움직이는 거리는, 제1 연결 포인트(A)를 기준으로 제3 연결 포인트(C)가 움직이는 거리와 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는 다수의 힌지(150) 및 클램핑부(130)가 3개씩인 것을 예로 들고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 기판의 중심이 정확하게 가운데에 올 수 있다면, 다수의 힌지 및 클램핑부가 2개씩, 4개씩, 5개씩이어도 무관하다.
본 발명의 일 실시예에서는, 힌지(150)가 회전 운동하면 그에 따라 클램핑부(130)가 움직일 수 있고, 기판(W)의 외경의 곡률이 일정치 않아도 클램핑부(130)는 기판(W)과의 접촉 부분에 따라서 조금씩 움직일 수 있어, 기판(W)을 안정적으로 클램핑할 수 있다. 또한, 하나의 구동 부재(140)에 의해 3개의 클램핑부(130)를 모두 제어하여도, 기판(W)의 중심이 정확하게 가운데에 올 수 있도록 조절할 수 있다. 따라서, 기판 이송 장치(100)의 구동이 쉬워지고, 제조 원가가 낮아진다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같은 기판 이송 장치는 하나 이상의 효과가 있다.
첫째, 기판을 안정적으로 클램핑할 수 있다.
둘째, 하나의 구동 부재에 의해 다수의 클램핑부를 모두 제어하여도, 기판의 중심이 정확하게 가운데에 올 수 있도록 조절할 수 있다.
셋째, 기판 이송 장치의 구동이 쉬워지고, 제조 원가가 낮아진다.

Claims (4)

  1. 고정 블레이드;
    상기 고정 블레이드 상에 설치되고, 소정 구동 부재의 구동력에 의해 움직이는 이송 바(bar);
    다수의 힌지(hinge)로, 상기 각 힌지는 제1 내지 제3 연결 포인트를 갖고, 상기 제1 연결 포인트는 상기 고정 블레이드에 연결되고, 상기 제2 연결 포인트는 상기 이송 바에 연결된 다수의 힌지; 및
    기판을 클램핑하는 다수의 클램핑부로, 상기 각 클램핑부는 각 힌지의 제3 연결 포인트에 연결된 다수의 클램핑부를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 다수의 힌지 및 클램핑부는 3개씩인 기판 이송 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 연결 포인트 사이의 거리와, 상기 제1 및 제3 연결 포인트 사이의 거리는 실질적으로 동일한 기판 이송 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 구동 부재는 실린더이고,
    상기 이송 바는 상기 실린더와 연결되어 직선 운동하는 기판 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104576472A (zh) * 2013-10-25 2015-04-29 英属开曼群岛商精曜有限公司 直立式基板传送装置
WO2020194310A1 (en) 2019-03-27 2020-10-01 Yaskawa Europe Technology Ltd. Semiconductor flipper

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