KR20080072264A - 평판 디스플레이 제조용 장비 - Google Patents

평판 디스플레이 제조용 장비 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 제조용 장비가 제공된다. 평판 디스플레이 제조용 장비는 기판을 일시적으로 대기시키는 로드락 챔버, 기판에 공정을 진행하는 공정 챔버, 로드락 챔버에서 공정 챔버로 기판이 이송되는 통로이며, 기판 통과시 상기 기판의 위치를 감지할 수 있는 센서가 구비된 개구부를 포함한다.
기판, 개구부, 도어

Description

평판 디스플레이 제조용 장비{Apparatus for manufacturing flat panel display}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 개념도이다.
도 2는 도 1에 따른 센서가 장착된 개구부의 사시도이다.
도 3은 도 1에 따른 센서가 장착된 개구부의 개략적인 개념도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
100: 로드락 챔버 150: 카세트
200: 공정 챔버 210: 개구부
220: 센서 300: 이송 로봇
본 발명은 평판 디스플레이 제조용 장비에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 기판의 위치를 감지하여 기판 파손을 방지하는 평판 디스플레이 제조용 장비에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작고 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 다양한 공정들, 예를 들어 확산 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정 및 성막 공정 등이 수행될 수 있다. 이러한 각 공정들을 수행하기 위해서 기판들은 카세트(Cassette)에 장착되어 각 공정을 수행하기 전, 후에 기판들을 보관하는 로드락 챔버(Load-lock chamber)로 이송된다. 로드락 챔버로 이송된 기판들은 낱장 단위로 공정 챔버로 이송되어 평판 디스플레이 제조 공정이 수행된다.
이 때, 카세트 내에 수납된 기판들이 이송 로봇에 의해 공정 챔버로 이송시, 기판을 지지하는 이송 로봇의 지지핀들의 상승 높이에 차이가 발생하면, 기판이 미끄러지는 현상이 발생할 수 있다. 이로 인해, 기판이 정해진 위치에서 이탈되면 기판이 손상될 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판의 위치를 감지하여 기판 파손을 방지하는 평판 디스플레이 제조용 장비를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비는 기판을 일시적으로 대기시키는 로드락 챔버, 기판에 공정을 진행하는 공정 챔버, 로드락 챔버에서 공정 챔버로 기판이 이송되는 통로이며, 기판 통과시 상기 기판의 위치를 감지할 수 있는 센서가 구비된 개구부를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 개념도이다. 도 2는 도 1에 따른 센서가 장착된 개구부의 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비는 로드락 챔버(100), 공정 챔버(200) 및 개구부(210)를 포함한다.
보다 구체적으로 설명하면, 로드락 챔버(100)는 평판 디스플레이 제조 공정이 수행되는 환경과 비슷한 환경의 밀폐된 공간으로써 이송 로봇(300)을 포함한다. 로드락 챔버(100)는 공정 챔버(200)로 이송되기전 기판(G)을 일시적으로 대기시킨다.
이송 로봇(300)이 구비되어 기판(G)을 공정 챔버(200)로 이송시킨다.
이송 로봇(300)은 로드락 챔버(100) 내에 구비되어 기판(G)을 공정 챔버(200)내로 로딩(loading)하거나 공정 챔버(200)로부터 로드락 챔버(100)로 언로딩(unloading)하는 역할을 한다. 여기서, 이송 로봇(300)을 이송 암의 형태로 예시하였으나 이에 제한되지 않으며 바(bar) 형상의 블레이드 타입일 수 있다.
이와 같이 공정 챔버(200)는 로드락 챔버(100)와 일측면을 공유하도록 결합되고, 결합된 일측면에는 기판(G)이 로드락 챔버(100)와 공정 챔버(200) 상호간 이송될 수 있도록 기판 이동 통로인 개구부(210)가 형성된다.
이때, 공정 챔버(200)는 기판(G)에 원활한 공정이 이루어지도록 소정 압력, 즉 고진공으로 유지되어야 한다. 따라서, 공정 챔버(200)와 로드락 챔버(100) 사이에 형성된 기판(G) 이동 통로인 개구부(210)는, 기판(G)이 공정 챔버(200)로 이송된 후 공정 챔버(200)의 압력이 소정 압력을 유지할 수 있도록 밀폐되어야 한다. 따라서, 공정 챔버(200)의 도어부(미도시)가 개구부(210)를 밀폐하며 소정 압력을 유지할 수 있도록 한다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 개구부(210)는 센서(220)가 장착됨으로써, 기판(G)의 위치를 감지하여 기판(G)의 파손을 방지할 수 있다.
자세히 설명하면, 이송 로봇(300)에 의해 기판(G) 이송시, 도시하지는 않았으나 기판(G)을 지지하고 있던 이송 로봇(300)의 지지핀들의 상승 높이가 서로 다를 수 있다. 이로써, 기판(G)은 이송 로봇(300)으로부터 미끄러질 수 있다. 그리하여, 기판(G)이 미끄러지면 지정 위치에서 이탈될 수 있다.
하지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 개구부(210)는 센서(220)가 구비됨으로써, 기판(G)의 위치를 감지할 수 있다. 즉, 센서(220)가 개구부(210)의 상측의 양단 및 중앙에 위치함으로써 기판(G)이 공정 챔버(200)로 이송시, 바르게 정렬되지 않은 상태로 이송하는 것을 감지하여 기판(G)의 파손을 방지하거나 공정의 불량을 방지할 수 있다.
다시 말하면, 이송 도중 기판(G)이 전술한 바와 같은 이유로 지정된 위치에서 벗어나 이탈될 수 있다. 그리하여, 기판(G)이 지정 위치로부터 이탈 될 경우 로드락 챔버(100)에서 공정 챔버(200)로 기판(G) 이송시 공정 챔버(200)의 바디와 충돌하여 기판(G)이 손상될 수 있다. 또한, 기판(G)이 충돌되지 않더라도 기판(G)의 위치가 정렬되지 않은 상태로 이송됨으로써 공정 수행 중 공정 불량이 유발될 수 있다. 하지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서(220)는 이러한 기판(G)이 지정 위치에서 벗어나는지 여부를 감지할 수 있으므로 공정의 불량 방지 및 기판(G) 파손을 방지할 수 있다.
여기서, 설명의 편의상 센서(220)가 개구부(210)의 상측에 구비되는 것으로 예시하였으나, 개구부(220)의 하측에 구비될 수 있음은 물론이다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서(220)는 반사형 센서로 예시하였으나, 이에 제한되지 않으며 발광부와 수광부를 각각 구비하는 센서일 수도 있다.
도 3을 참조하여 기판(G)이 지정 위치에서 이탈되는 경우를 설명하기로 한다.
도 3은 센서(220)가 구비된 개구부(210)의 개략적인 개념도를 나타낸다.
공정 챔버(200)로 기판(G)이 이송시, 이송 도중 미끄러지는 현상이 발생할 수 있다. 이때, 센서(220)는 기판(G) 면에 수직 방향으로 센서광을 조사함으로써 기판(G)의 유무 및 기판(G)의 지정 위치를 감지할 수 있다.
구체적으로 설명하면, 센서(220)가 센서광을 조사시, 빛이 투과하는지 반사하는지 여부로 기판(G)의 유무를 감지할 수 있다. 기판(G)이 이송 로봇(도 1 참조)으로부터 미끄러져 지정 위치에서 이탈되면, 센서(220)에서 조사한 센서광이 어느 하나의 센서(220)에 의해서는 감지되지 않을 수 있다. 이로써, 센서(220)에 의해 센서광이 감지되지 않을 경우, 기판(G)의 위치가 오정렬됨을 감지할 수 있다. 그리하여, 공정 챔버(200)에서 공정이 진행되지 않도록 제어하는 인터락을 발생시킴으로써 기판(G)이 다른 물체와 충돌하여 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 동작을 설명하기로 한다.
먼저, 로드락 챔버(100) 내부의 이송 로봇(300)에 의해 기판(G)을 지지하며 센서(220)가 구비된 개구부(210)를 통하여 공정 챔버(200)로 이송한다.
이 때, 센서(220)는 기판(G)의 유무 또는 위치를 감지하기 위하여 센서광을 조사한다. 기판(G)에 조사한 센서광이 감지되지 않는 센서(220)가 있으면, 기판(G)의 위치가 오정렬된 것을 감지하고 장비의 동작을 중단시키는 인터락을 발생시킬 수 있다. 이로써, 개구부(210)가 밀폐되는 동작을 중단시킴으로써 밀폐시키는 동작으로 인한 기판(G)의 파손을 방지할 수 있다.
이와 같이 개구부(210) 상측 또는 하측에 기판(G)의 지정 위치에서 이탈하는 것을 감지하는 센서를 설치함으로써 공정 수행전 기판(G)의 위치를 미리 감지할 수 있게 된다. 따라서 기판(G)이 미끄러져 지정 위치에서 이탈시, 기판(G)이 손상되거나 공정 수행시 공정 불량이 유발되는 것을 사전에 방지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같이 본 발명의 평판 디스플레이 제조용 장비에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
첫째, 개구부에 센서가 구비됨으로써 기판의 위치를 감지할 수 있다.
둘째, 기판의 위치를 감지함으로써 기판이 지정 위치에서 이탈되는 것을 감 지할 수 있다.
셋째, 기판의 지정 위치에서 이탈함으로 인해 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
넷째, 기판이 파손되는 것을 방지함으로써 생산 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (3)

  1. 기판을 일시적으로 대기시키는 로드락 챔버;
    상기 기판에 공정을 진행하는 공정 챔버; 및
    상기 로드락 챔버에서 상기 공정 챔버로 기판이 이송되는 통로이며, 상기 기판 통과시 상기 기판의 위치를 감지할 수 있는 센서가 구비된 개구부를 포함하는 평판 디스플레이 제조용 장비.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 센서는 상기 개구부의 상측 또는 하측에 구비되는 평판 디스플레이 제조용 장비.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 센서는 상기 기판 면에 수직으로 센서광을 조사함으로써 상기 기판의 위치를 감지하는 평판 디스플레이 제조용 장비.
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