KR20080073914A - 평판 디스플레이 제조용 장비 - Google Patents

평판 디스플레이 제조용 장비 Download PDF

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KR20080073914A
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이선우
이종석
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 제조용 장비가 제공된다. 평판 디스플레이 제조용 장비는 다수의 기판이 장착되는 슬롯을 구비하는 카세트가 로딩되는 카세트 로딩부, 카세트 로딩부의 일측면에 위치하며, 수납된 기판 상태를 맵핑할 수 있는 맵핑 센서가 장착된 도어를 포함하는 로드락 챔버를 포함한다.
기판, 맵핑, 도어

Description

평판 디스플레이 제조용 장비{Apparatus for manufacturing flat panel display}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 블록도이다.
도 2는 도 1에 따른 개략적인 개념도이다.
도 3은 도 1에 따른 센서가 장착된 도어의 사시도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
100: 카세트 로딩부 150: 카세트
200: 로드락 챔버 210: 도어
220: 센서
본 발명은 평판 디스플레이 제조용 장비에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 카세트에 수납된 기판의 수납 상태를 신속히 맵핑하는 평판 디스플레이 제조용 장비에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작고 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 다양한 공정들, 예를 들어 확산 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정 및 성막 공정 등이 수행될 수 있다. 이러한 공정을 처리하는 평판 디스플레이 제조용 장비는 로드락 챔버 내 이송 로봇에 기판 맵핑 장치를 구비한다. 통상적으로 카세트가 로드락 챔버와 도킹(docking)한 후, 로드락 챔버의 도어가 열리면 맵핑 센서가 장착된 이송 로봇이 구동하여 카세트에 수납된 기판 수납 상태를 감지하여 맵핑한다.
이러한 반복적인 동작, 즉 카세트 도킹 후 도어가 열리고, 이후 이송 로봇이 구동부에 의해 구동되면서 기판 이송 전에 맵핑 센서로 맵핑 하는 단계가 반복되면서 생산 시간이 증가할 수 있다. 또한, 생산 시간이 증가하면서 생산 수율은 저하될 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 카세트에 수납된 기판의 수납 상태를 신속히 맵핑하는 평판 디스플레이 제조용 장비를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비는 다수의 기판이 장착되는 슬롯을 구비하는 카세트가 로딩되는 카세트 로딩부, 카세트 로딩부의 일측면에 위치하며, 수납된 기판 상태를 맵핑할 수 있는 맵핑 센서가 장착된 도어를 포함하는 로드락 챔버를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 블록도이다. 도 2는 도 1에 따른 개략적인 개념도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비는 카세트 로딩부(100) 및 로드락 챔버(200)를 포함한다.
카세트 로딩부(100)에는 랏(lot) 단위의 기판(G)을 보관하는 카세트(150)가 위치한다. 카세트(150)에는 슬롯(slot)이 구비되어 각 슬롯마다 기판(G)을 수납할 수 있다.
여기서는 설명의 편의상, 카세트 로딩부(100)를 플레이트(plate) 형태로 설명하고 있으나 이에 제한되는 것은 아니며, 카세트(150)를 안착시키고 이동시킬 수 있으면 가능하다. 예를 들어, 기판(G)이 대기하는 다른 형태의 로드 스테이션일 수 있음은 물론이다.
카세트 로딩부(100)의 일측면에 위치하는 로드락 챔버(200)가 구비된다. 그리고, 로드락 챔버(200)는 맵핑 센서(220)가 장착된 도어(210)를 포함한다.
로드락 챔버(200)는 공정 전, 후의 기판(G)들을 보관하며, 로드락 챔버(200) 내의 이송 로봇(미도시)에 의해 기판(G)을 공정 챔버로 이송시킬 수 있다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 도어(210)는 기판(G)의 수납 상태 여부를 감지하는 맵핑 센서(220)가 구비된다. 보다 구체적으로 설명하면, 카세트(150)와 대향되는 도어(210)의 외측 부분에 맵핑 센서(220)가 구비된다. 여기서, 맵핑 센서(220)는 광을 조사하는 광센서 일 수 있다. 그리고, 이러한 맵핑 센서(220)가 기판(G) 면에 수평으로 센서광을 조사하며 기판(G)의 수납 위치 및 수납 여부를 감지하여 맵핑할 수 있다.
다시 말하면 도어(210)의 개방시, 즉, 맵핑 센서(220)가 장착된 도어(210)가 구동부(미도시)에 의해 하강하면서 카세트(150)의 슬롯을 차례로 스캐닝(scanning)하면서 각 슬롯에 수납된 기판(G)에 광을 조사한다. 이로써, 이송 로봇(미도시)에 의해 별도의 맵핑 감지 동작을 하지 않고서도, 도어(210)의 개방과 동시에 기판(G)의 수납 위치 및 수납 여부를 맵핑할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 맵핑 센서(220)가 구비된 도어(210)의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 기판(G)이 수납된 카세트(150)의 슬롯을 향해 맵핑 센서(220)에서 광을 조사한다. 이때, 기판(G)면에 수평하도록 광을 조사하면서 어느 슬롯에 기판(G)이 위치하는지, 몇장의 기판(G)이 수납되어 있는지를 맵핑할 수 있다. 여기서 맵핑 센서(220)가 도어(210) 외측의 상측의 좌, 우측에 구비된 것으로 예시하였으나 이에 제한되지 않는 것은 물론이며, 좌, 우측 외에 중앙에 더 구비될 수 있다. 다만 도어(210)가 하강하면서 카세트(150)에 수납된 기판(G) 상태를 전체적으로 감지할 수 있도록, 도어(210)의 상측이면 가능하다. 또한, 기판(G)의 치우침이나 오정렬을 감지할 수 있도록 도어(210)의 좌, 우측에 맵핑 센서(220)를 구비한다. 이로써, 중앙부에 하나의 센서로 감지하는 것에 비해 더욱 효율적인 감지를 할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 동작을 설명하기로 한다.
기판(G)이 수납된 카세트(150)가 카세트 로딩부(100)에 장착된다. 그리고, 카세트(150)는 로드락 챔버(200)와 도킹한다.
카세트(150)와 로드락 챔버(200)가 도킹하면, 도어(210)가 개방 동작을 한다. 이때, 도어(210)가 하강하면서 도어(210)에 장착된 맵핑 센서(220)가 순차적으로 카세트(150)의 슬롯을 스캐닝한다. 맵핑 센서(220)는 도어(210)의 상측부에 구비됨으로써, 하강 동작시 카세트(150)에 수납된 기판(G)을 모두 스캐닝할 수 있다. 또한, 맵핑 센서(220)가 좌, 우측에 각각 구비됨으로써 중앙에 하나 구비되는 것에 비해 기판(G)의 수납 상태를 정확히 감지할 수 있다.
즉, 맵핑 센서(220)가 기판(G) 면에 수평하도록 조사하면서 슬롯에 수납된 기판(G)의 수납 위치 및 여부를 감지한다. 구체적으로 설명하면, 맵핑 센서(220)에서 센서광을 조사함으로써 기판(G)에 의해 빛이 차단되는지 투과되는지를 감지하여 기판(G)의 존재 유무를 파악할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 맵핑 센서(220)가 도어(210)에 구비됨으로써, 이송 로봇(미도시) 또는 맵핑 장치를 통한 별도의 맵핑 동작을 하지 않아도 된다. 도어(210)가 개방됨과 동시에 기판(G)의 수납 위치 및 여부를 신속하게 맵핑 할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같이 본 발명의 평판 디스플레이 제조용 장비에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
첫째, 도어에 맵핑 센서가 구비됨으로써 도어 개방 동작과 동시에 맵핑 동작을 할 수 있다.
둘째, 이송 로봇에 의해 별도의 맵핑 동작을 하는 단계를 줄임으로써 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
셋째, 공정 시간이 단축됨으로써 생산 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (3)

  1. 다수의 기판이 장착되는 슬롯을 구비하는 카세트가 로딩되는 카세트 로딩부; 및
    상기 카세트 로딩부의 일측면에 위치하며, 수납된 상기 기판 수납 위치 및 수납 여부를 맵핑할 수 있는 맵핑 센서가 장착된 도어를 포함하는 로드락 챔버를 포함하는 평판 디스플레이 제조용 장비.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 도어의 개방 동작시, 상기 도어가 하강하면서 상기 맵핑 센서에서 상기 기판 면에 수평으로 센서광을 조사함으로써 상기 슬롯에 수납된 상기 기판의 수납 위치 및 수납 여부를 맵핑하는 평판 디스플레이 제조용 장비.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 카세트와 대향되는 상기 도어 외측의 상측 부분에 상기 맵핑 센서가 구비되는 것을 포함하는 평판 디스플레이 제조용 장비.
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