KR20080068581A - Substrate conveying apparatus - Google Patents

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KR20080068581A
KR20080068581A KR1020080005483A KR20080005483A KR20080068581A KR 20080068581 A KR20080068581 A KR 20080068581A KR 1020080005483 A KR1020080005483 A KR 1020080005483A KR 20080005483 A KR20080005483 A KR 20080005483A KR 20080068581 A KR20080068581 A KR 20080068581A
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roller
conveying
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KR1020080005483A
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미쯔히로 사까이
가즈히또 미야자끼
겐지 시오자끼
히로시 고메다
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

A substrate conveying apparatus is provided to improve through-put of substrate processing by using a small substrate conveyer. A substrate conveyer receives a substrate from an arm supporting the substrate, and conveys the substrate to a processing device. The substrate conveyer includes roller conveyers(120) and an elevator(118). The roller conveyers convey a substrate in a horizontal direction, and are disposed in two stages. The elevator elevates the roller conveyers of the two stages. A vessel(110) receives the roller conveyers of the two stages and the elevator. Carry holes(111,115) are formed in a side surface of the vessel, and carries the substrate. Discharge hole(112,116) discharge the substrate. An inner temperature of the processing device is greater than that of the vessel. An exhaust hole(113) is formed in a lower side of the vessel, and exhausts atmosphere in the vessel.

Description

기판 반송 장치{SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS}Substrate conveying apparatus {SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS}

본 발명은, 기판을 지지하는 아암으로부터 기판을 수취하여, 이 기판을 처리 장치로 반송하는 기판 반송 장치에 관한 것이다. This invention relates to the board | substrate conveying apparatus which receives a board | substrate from the arm which supports a board | substrate, and conveys this board | substrate to a processing apparatus.

예를 들어, 액정 디스플레이의 제조 프로세스의 포토리소그래피 공정에서는, 글래스 기판 상의 유기물을 제거하는 엑시머 UV 조사 처리, 글래스 기판 상에 레지스트액을 도포하여 레지스트막을 형성하는 레지스트 도포 처리, 레지스트막에 소정의 패턴을 노광하는 노광 처리, 노광된 레지스트막을 현상하는 현상 처리 등의 각종 처리가 행해지고 있다.For example, in the photolithography process of the manufacturing process of a liquid crystal display, an excimer UV irradiation process which removes the organic substance on a glass substrate, the resist coating process which forms a resist film by apply | coating a resist liquid on a glass substrate, and a predetermined pattern to a resist film Various processes, such as the exposure process which exposes the light, and the image development process which develops the exposed resist film, are performed.

이들 일련의 처리는, 예를 들어 각종 처리 장치가 복수 탑재된 도포 현상 처리 시스템에서 행해진다. 도포 현상 처리 시스템은, 통상 상기 각종 처리 장치에 대하여 글래스 기판을 반출입하기 위한 카세트 스테이션, 상기 각종 처리 장치가 설치되어 있는 처리 스테이션, 노광 장치와의 사이에서 글래스 기판을 수수하기 위한 인터페이스부 등을 갖고 있다.These series of processes are performed in the coating-development processing system in which the various processing apparatus was mounted in multiple numbers, for example. The coating and developing processing system usually has a cassette station for carrying in and out of glass substrates to the various processing apparatuses, a processing station in which the various processing apparatuses are installed, an interface portion for receiving the glass substrates between the exposure apparatus, and the like. have.

카세트 스테이션에는, 복수의 글래스 기판을 수용할 수 있는 카세트를 재치하는 재치대와, 이 재치대에 재치된 카세트에 대하여 액세스하여, 카세트 스테이션 과 처리 스테이션 사이에서 글래스 기판을 반송하는 반송 장치가 설치되어 있다. 반송 장치는 기판을 지지하여 반송하는 반송 아암을 갖고, 반송 아암에 의해, 카세트 내의 글래스 기판은 순차적으로 처리 스테이션으로 반입된다(특허 문헌1).The cassette station is provided with a mounting table for placing a cassette capable of accommodating a plurality of glass substrates, and a conveying device for accessing the cassette placed on the mounting table and conveying the glass substrate between the cassette station and the processing station. have. The conveying apparatus has a conveying arm which supports and conveys a board | substrate, and the glass substrate in a cassette is carried in to a processing station sequentially by the conveying arm (patent document 1).

<특허 문헌1> 일본 특허 공개2005-142372호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2005-142372

그러나, 반송 아암으로 글래스 기판을 재치대로부터 처리 장치로 반송하면, 재치대로부터 글래스 기판을 취출하는 작업, 반송 아암의 이동, 글래스 기판을 처리 장치에 재치하는 작업이 필요해져, 1매의 글래스 기판을 반송하는데 시간이 걸렸다. 그 결과, 필요할 때에 처리 장치에 글래스 기판을 반송할 수 없어, 글래스 기판의 처리의 스루풋이 나빠졌다.However, when a glass substrate is conveyed from a mounting table to a processing apparatus with a conveyance arm, the operation | work which takes out a glass substrate from a mounting stand, the movement of a conveying arm, and the operation which places a glass substrate in a processing apparatus are needed, and one glass substrate is needed. It took time to return. As a result, the glass substrate could not be conveyed to the processing apparatus when needed, and throughput of the glass substrate was deteriorated.

그래서, 예를 들어 도17에 도시한 바와 같이 카세트 스테이션(301)과 처리 장치(313) 사이에, 글래스 기판(G)을 재치하는 재치 에어리어(311)와, 글래스 기판(G)을 반송하는 반송 에어리어(312)를 갖는 기판 반송 장치(310)를 설치하는 것이 생각되고 있다. 재치 에어리어(311)와 반송 에어리어(312)에는, 글래스 기판(G)을 지지하여 반송하는 반송 롤러(R)가 글래스 기판(G)의 반송 방향으로 복수 설치되어 있다.So, for example, as shown in FIG. 17, between the cassette station 301 and the processing apparatus 313, the mounting area 311 which mounts the glass substrate G, and the conveyance which conveys the glass substrate G are carried out. It is thought to provide the board | substrate conveying apparatus 310 which has the area 312. In the mounting area 311 and the conveyance area 312, the conveyance roller R which supports and conveys the glass substrate G is provided in the conveyance direction of the glass substrate G in multiple numbers.

그리고 카세트 스테이션(301)의 반송 아암(320)에 지지된 글래스 기판(G)은, 재치 에어리어(311) 내에 설치된 승강 핀(321)으로 수수되어, 반송 롤러(R)에 재치된다. 재치된 글래스 기판(G)은, 반송 에어리어(312)로 반송되고, 계속하여 처리 장치(313)로 반송된다. 글래스 기판(G)이 재치 에어리어(311)로부터 반송 에어리어(312) 내로 반송되면, 다음에 처리되는 글래스 기판(G)이 재치 에어리어(311)로 반입된다. 이렇게 재치 에어리어(311)나 반송 에어리어(312)에 미리 글래스 기판(G)을 반송해 둠으로써, 필요할 때에 글래스 기판(G)을 처리 장치(313)로 반송할 수 있다.And the glass substrate G supported by the conveyance arm 320 of the cassette station 301 is received by the lifting pin 321 provided in the mounting area 311, and is mounted on the conveyance roller R. As shown in FIG. The mounted glass substrate G is conveyed to the conveyance area 312, and is conveyed to the processing apparatus 313 continuously. When the glass substrate G is conveyed from the mounting area 311 into the conveyance area 312, the glass substrate G processed next is carried in to the mounting area 311. Thus, the glass substrate G can be conveyed to the processing apparatus 313 as needed by conveying the glass substrate G to the mounting area 311 or the conveyance area 312 beforehand.

그러나, 재치 에어리어(311)와 반송 에어리어(312)는, 각각 반송 방향으로 글래스 기판(G)의 약 1매분의 길이를 필요로 한다. 따라서, 기판 반송 장치(310)의 반송 방향의 길이는 글래스 기판(G)의 약 2매분으로 되어, 도포 현상 처리 시스템(1)의 점유 면적이 커진다.However, the mounting area 311 and the conveyance area 312 each require a length of about one sheet of the glass substrate G in the conveyance direction. Therefore, the length of the conveyance direction of the board | substrate conveyance apparatus 310 becomes about two sheets of the glass substrate G, and the occupation area of the coating | coating development process system 1 becomes large.

본 발명은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 점유 면적이 작은 기판 반송 장치를 이용하여, 기판 처리의 스루풋을 향상시키는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a point, and an object of this invention is to improve the throughput of a board | substrate process using the board | substrate conveying apparatus with small occupied area.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 반송 장치는, 기판을 지지하는 아암으로부터 기판을 수취하여, 이 기판을 처리 장치로 반송하는 기판 반송 장치이며, 기판을 수평 방향으로 반송 가능하고 상하 2단으로 배치된 롤러 반송 컨베이어와, 상기 2단의 롤러 반송 컨베이어를 승강시키는 승강 기구를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.In order to achieve the said objective, the board | substrate conveying apparatus of this invention is a board | substrate conveying apparatus which receives a board | substrate from the arm which supports a board | substrate, and conveys this board | substrate to a processing apparatus, and can convey a board | substrate in a horizontal direction, It has a roller conveyance conveyor arrange | positioned at the stage, and the lifting mechanism which raises and lowers the said 2nd roller conveyance conveyor, It is characterized by the above-mentioned.

본 발명의 기판 반송 장치에 의하면, 예를 들어 상하 2단의 롤러 반송 컨베이어 중, 어느 한 쪽의 롤러 반송 컨베이어로부터 처리 장치에 기판이 반송되고 있는 동안에, 다른 쪽의 롤러 반송 컨베이어에 대하여, 다음에 처리되는 기판을 반입 할 수 있다. 그리고 승강 기구로 상하 2단의 롤러 반송 컨베이어를 승강시킴으로써, 상하 2단의 롤러 반송 컨베이어에 교대로 기판을 반입하고, 이 반입한 기판을 처리 장치로 반송할 수 있다. 이 반송, 재치 작업을 반복해 행할 수 있다. 따라서, 필요할 때에 기판을 처리 장치로 반송할 수 있어, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또한 이 경우, 예를 들어 상하 2단의 롤러 반송 컨베이어가, 반송 방향으로 기판을 재치할 수 있는 길이, 즉 기판의 약 1매분의 길이를 갖고 있으면 되므로 점유 면적이 작은 기판 반송 장치를 구축할 수 있다.According to the board | substrate conveying apparatus of this invention, while the board | substrate is conveyed to the processing apparatus from either the roller conveying conveyor of two upper and lower stage roller conveying conveyors, about the other roller conveying conveyor next, The substrate to be processed can be brought in. And by elevating the roller conveyance conveyor of the upper and lower stages by a lifting mechanism, a board | substrate can be carried in to the roller conveyer of the upper and lower stages alternately, and this carried-in board | substrate can be conveyed to a processing apparatus. This conveyance and placing operation can be repeated. Therefore, the substrate can be conveyed to the processing apparatus when necessary, and the throughput of the substrate processing can be improved. In this case, for example, the roller conveying conveyors of the upper and lower stages need to have a length that allows the substrate to be placed in the conveying direction, that is, about one sheet of the substrate, so that a substrate conveying apparatus having a small occupied area can be constructed. have.

상기 2단의 롤러 반송 컨베이어와 상기 승강 기구를 수용하는 용기를 갖고, 상기 용기의 상기 아암의 반입 영역을 향하는 측면에는, 기판을 반입하기 위한 반입구가 형성되고, 상기 용기의 상기 처리 장치측의 측면에는, 기판을 반출하기 위한 반출구가 형성되고, 상기 처리 장치의 내부는, 상기 용기의 내부보다도 고압으로 유지되고, 상기 용기의 측면의 하부에는, 상기 용기 내의 분위기를 배기하는 배기구가 형성되어 있어도 된다. 이에 의해, 용기 내에 반입구로부터 배기구로의 기류가 생기므로, 예를 들어 롤러 반송 컨베이어나 승강 기구로부터 파티클이 생긴 경우에도, 이 파티클을 배기구로부터 배출할 수 있다. 이 용기 내의 파티클이 처리 장치 내로 유입하지 않으므로, 처리 장치에서의 기판의 처리를 적절하게 행할 수 있다. The container which accommodates the said 2nd stage roller conveyance conveyor and the said lifting mechanism, The carrying inlet for carrying in a board | substrate is formed in the side surface which faces the loading area of the arm of the said container, and the said processing apparatus side of the said container An outlet port for carrying out the substrate is formed on the side surface, the inside of the processing apparatus is maintained at a higher pressure than the inside of the container, and an exhaust port for exhausting the atmosphere in the container is formed below the side surface of the container. You may be. As a result, airflow from the inlet to the exhaust port is generated in the container, so that even when particles are generated from the roller conveying conveyor or the lifting mechanism, the particles can be discharged from the exhaust port. Since the particles in this container do not flow into the processing apparatus, the substrate can be properly processed in the processing apparatus.

상기 용기의 내부에는, 상기 2단의 롤러 반송 컨베이어를 수용하는 컨베이어 커버가 설치되고, 상기 컨베이어 커버의 상기 아암의 반입 영역에 면하는 측면에는, 기판을 반입하기 위한 다른 반입구가 형성되고, 상기 컨베이어 커버의 상기 처 리 장치측의 측면에는, 기판을 반출하기 위한 다른 반출구가 형성되어 있어도 된다. 이에 의해, 컨베이어 커버 내에 다른 반입구로부터 다른 반출구에의 일방향의 기류가 생기므로, 예를 들어 컨베이어 커버 내에 파티클이 발생한 경우에도, 이 파티클을 기류에 의해 다른 반출구로부터 배출하고, 그 후 용기의 배기구로부터 배출 할 수 있다. In the container, a conveyor cover for accommodating the two-stage roller conveying conveyor is provided, and a side surface facing the loading area of the arm of the conveyor cover is provided with another loading hole for loading a substrate. Another carrying-out port for carrying out a board | substrate may be formed in the side surface at the said processing apparatus side of a conveyor cover. As a result, one-way airflow is generated from the other inlet to the other outlet in the conveyor cover. Therefore, even when particles are generated in the conveyor cover, the particles are discharged from the other outlet by the airflow, and then the container Can be discharged from the exhaust port.

상기 아암의 선단측에는, 기판을 지지하는 직선 형상의 지지부가 평행하게 복수 설치되고, 상기 롤러 반송 컨베이어는, 기판을 지지 가능하고, 적어도 기판의 반송 방향으로 회전 가능한 복수의 반송 롤러와, 상기 복수의 반송 롤러를 지지하고, 기판의 반송 방향으로 연장되는 복수의 지지 부재를 갖고, 상기 복수의 지지 부재는, 상기 지지 부재 사이에 상기 지지부가 진입하도록, 기판의 반송 방향과 직각 방향으로 배열하여 배치되어 있어도 된다. 이에 의해, 아암이 반송 롤러와 간섭하지 않고, 기판을 아암으로부터 반송 롤러에 직접 재치할 수 있다. On the distal end side of the arm, a plurality of linear support portions for supporting a substrate are provided in parallel, and the roller conveying conveyor is capable of supporting a substrate, and at least a plurality of conveying rollers rotatable in a conveying direction of the substrate, and the plurality of It has a several support member which supports a conveyance roller, and extends in the conveyance direction of a board | substrate, The said some support member is arrange | positioned in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate so that the said support part may enter between the said support members, You may be. As a result, the arm can be placed directly on the conveying roller from the arm without interfering with the conveying roller.

상기 반송 롤러는, 무방향으로 회전 가능한 프리 롤러이어도 된다. The conveying roller may be a free roller which can be rotated in an undirected direction.

기판의 반송 방향과 직각 방향으로, 상기 반송 롤러에 지지된 기판의 위치를 조정하는 가이드 롤러를 갖고 있어도 된다. 이에 의해, 기판을 반송 방향으로 정확하게 반송할 수 있다.You may have the guide roller which adjusts the position of the board | substrate supported by the said conveyance roller in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate. Thereby, a board | substrate can be conveyed correctly in a conveyance direction.

상기 롤러 반송 컨베이어는, 기판을 지지할 수 있고, 기판의 반송 방향으로 회전 가능하며 반송 방향과 직각 방향으로 배열하여 배치된 복수의 반송 롤러와, 상기 복수의 반송 롤러의 중심부를 관통하여 상기 반송 롤러를 지지하는 회전축을 갖고, 상기 복수의 반송 롤러와 회전축은, 기판의 반송 방향으로 복수 모두 배치되 고, 상기 반송 롤러의 직경은, 상기 반송 롤러의 상단과 상기 회전축의 상단 사이에 상기 아암을 진입할 수 있는 크기로 설정되어 있어도 된다. The said roller conveying conveyor can support a board | substrate, is rotatable in the conveyance direction of a board | substrate, the conveyance roller which penetrates the center of the said some conveyance roller, and the conveyance roller arrange | positioned and arranged in the direction orthogonal to a conveyance direction And a plurality of the plurality of conveying rollers and the rotating shaft are arranged in the conveying direction of the substrate, and the diameter of the conveying roller enters the arm between the upper end of the conveying roller and the upper end of the rotating shaft. It may be set to the size which can be made.

기판의 반송 방향과 직각 방향으로, 상기 반송 롤러에 지지된 기판의 위치를 조정하는 가이드 롤러를 갖고 있어도 된다.You may have the guide roller which adjusts the position of the board | substrate supported by the said conveyance roller in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate.

본 발명에 의하면, 점유 면적이 작은 기판 반송 장치를 이용하여, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.According to this invention, the throughput of a substrate process can be improved using the board | substrate conveying apparatus with small occupied area.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다. 도1은, 본 실시 형태에 관한 기판 반송 장치(100)를 탑재한 도포 현상 처리 시스템(1)의 구성의 개략을 도시하는 평면도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferable embodiment of this invention is described. 1 is a plan view showing an outline of the configuration of a coating and developing processing system 1 on which the substrate transfer device 100 according to the present embodiment is mounted.

도포 현상 처리 시스템(1)은, 도1에 도시한 바와 같이 예를 들어 복수의 글래스 기판(G)을 카세트 단위로 외부에 대하여 반출입하기 위한 카세트 스테이션(2)과, 포토리소그래피 공정 중에서 매엽식으로 소정의 처리를 실시하는 각종 처리 장치가 배치된 처리 스테이션(3)과, 처리 스테이션(3)에 인접하여 설치되고, 처리 스테이션(3)과 노광 장치(4) 사이에서 글래스 기판(G)의 수수를 행하는 인터페이스 스테이션(5)을 일체로 접속한 구성을 갖고 있다.As shown in Fig. 1, the coating and developing processing system 1 includes, for example, a cassette station 2 for carrying in and out of a plurality of glass substrates G from the outside in a cassette unit, and a sheet-fed type in a photolithography step. It is provided adjacent to the processing station 3 and the processing station 3 in which the various processing apparatuses which perform predetermined | prescribed process are arrange | positioned, and transfer of the glass substrate G between the processing station 3 and the exposure apparatus 4 is carried out. It has the structure which connected the interface station 5 which performs the connection integrally.

카세트 스테이션(2)에는, 카세트 재치대(10)가 설치되고, 상기 카세트 재치대(10)는, 복수의 카세트(C)를 X 방향(도1에서의 상하 방향)으로 일렬로 재치 가능하게 되어 있다. 카세트 스테이션(2)에는, 반송로(11) 상을 X 방향을 향하여 이동 가능한 반송 아암(12)이 연직 방향으로 2단 설치되어 있다. 반송 아암(12)은, 카세트(C)에 수용된 글래스 기판(G)의 배열 방향(Z 방향 ; 연직 방향)으로도 이동 가능하여, X 방향으로 배열된 각 카세트(C) 내의 글래스 기판(G)에 대하여 선택적으로 액세스할 수 있다. 또한 반송 아암(12)은, Z 축 주위의 θ 방향으로 회전 가능하고, 후술하는 처리 스테이션(3)측의 기판 반송 장치(100)나 냉각 처리 장치(33)에 대해서도 액세스할 수 있다.The cassette station 2 is provided with a cassette holder 10, and the cassette holder 10 is capable of placing a plurality of cassettes C in a line in the X direction (up and down direction in FIG. 1). have. The cassette station 2 is provided with the transfer arm 12 which can move on the conveyance path 11 toward an X direction two steps in a perpendicular direction. The transfer arm 12 is also movable in the arrangement direction (Z direction; vertical direction) of the glass substrate G accommodated in the cassette C, and the glass substrate G in each cassette C arrange | positioned in the X direction Can optionally be accessed. Moreover, the conveyance arm 12 can rotate in the (theta) direction around a Z axis | shaft, and can also access the board | substrate conveyance apparatus 100 and the cooling processing apparatus 33 of the processing station 3 side mentioned later.

반송 아암(12)의 선단측에는, 도2에 도시한 바와 같이 글래스 기판(G)이 휘지 않도록 글래스 기판(G)의 하면의 복수 개소를 지지하는 직선 형상의 지지부(13)가 한 방향으로 평행하게 복수 설치되어 있다. 반송 아암(12)의 기단측에는, 지지부(13)와 일체로 형성되고, 또한 지지부(13)를 지지하는 기단부(14)가 설치되어 있다.On the front end side of the transfer arm 12, as shown in FIG. 2, the linear support part 13 which supports the several places of the lower surface of the glass substrate G so that it may not bend in parallel may be parallel to one direction. Plural are installed. On the base end side of the conveyance arm 12, the base end part 14 which is formed integrally with the support part 13, and supports the support part 13 is provided.

처리 스테이션(3)은, 예를 들어 Y 방향(도1의 좌우 방향)으로 연장되는 2열의 반송 라인(A, B)을 구비하고 있다. 이 반송 라인(A, B)은, 롤러 반송에 의해 글래스 기판(G)을 수평 방향으로 직선적으로 반송할 수 있다. 처리 스테이션(3)의 정면측[X 방향 마이너스 방향측(도1의 하측)]에 있는 기판 반송로로서의 반송 라인(A)에는, 카세트 스테이션(2)측으로부터 인터페이스 스테이션(5)측을 향하여 순서대로, 예를 들어 본 실시 형태에 관한 글래스 기판(G)을 반송하는 기판 반송 장치(100), 글래스 기판(G) 상의 유기물을 제거하는 엑시머 UV 조사 장치(20), 글래스 기판(G)을 세정하는 스크러버 세정 장치(21), 글래스 기판(G)을 가열 처리하는 가열 처리 장치(22), 글래스 기판(G)을 냉각 처리하는 냉각 처리 장치(23), 글래스 기판(G)에 레지스트액을 도포하는 레지스트 도포 처리 장치(24), 글래스 기판(G)을 감압 건조하는 감압 건조 장치(25), 가열 처리 장치(26), 냉각 처리 장치(27) 및 글래스 기판(G)을 일시적으로 대기시키는 아우터 스테이지(28)가 직선적으로 일렬로 배치되어 있다.The processing station 3 has, for example, two conveying lines A and B extending in the Y direction (left and right directions in FIG. 1). These conveyance lines A and B can convey the glass substrate G linearly in a horizontal direction by roller conveyance. The conveyance line A as a substrate conveyance path in the front side (X direction minus direction side (lower side of FIG. 1)) of the processing station 3 is sequenced toward the interface station 5 side from the cassette station 2 side. As it is, for example, the substrate conveying apparatus 100 which conveys the glass substrate G which concerns on this embodiment, the excimer UV irradiation apparatus 20 which removes the organic substance on the glass substrate G, and the glass substrate G are wash | cleaned. The resist liquid is applied to the scrubber cleaning apparatus 21, the heat treatment apparatus 22 for heating the glass substrate G, the cooling treatment apparatus 23 for cooling the glass substrate G, and the glass substrate G. Outer which temporarily waits the resist coating apparatus 24, the pressure reduction drying apparatus 25 which heat-drys the glass substrate G, the heat processing apparatus 26, the cooling processing apparatus 27, and the glass substrate G to The stages 28 are arranged in a straight line.

처리 스테이션(3)의 배면측[X 방향 플러스 방향측(도1의 상방측)]의 반송 라인(B)에는, 인터페이스 스테이션(5)측으로부터 카세트 스테이션(2)측을 향하여 순서대로, 예를 들어 글래스 기판(G)을 현상 처리하는 현상 처리 장치(30), 글래스 기판(G)의 탈색 처리를 행하는 i선 UV 조사 장치(31), 가열 처리 장치(32) 및 냉각 처리 장치(33)가 직선 형상으로 일렬로 배치되어 있다.In the conveyance line B of the back side (X direction plus direction side (upper side of FIG. 1)) of the processing station 3, an example is shown in order from the interface station 5 side toward the cassette station 2 side. For example, the development processing apparatus 30 which develops a glass substrate G, the i-line UV irradiation apparatus 31 which performs the decolorization process of the glass substrate G, the heat processing apparatus 32, and the cooling processing apparatus 33 are It is arranged in a line in a straight line.

반송 라인(A)의 아우터 스테이지(28)와 반송 라인(B)의 현상 처리 장치(30) 사이에는, 그 동안의 글래스 기판(G)의 반송을 행하는 반송체(40)가 설치되어 있다. 이 반송체(40)는, 후술하는 인터페이스 스테이션(5)의 익스텐션·쿨링 장치(60)에 대해서도 글래스 기판(G)을 반송할 수 있다.Between the outer stage 28 of the conveyance line A and the image development processing apparatus 30 of the conveyance line B, the conveyance body 40 which conveys the glass substrate G in the meantime is provided. This conveyance body 40 can convey the glass substrate G also with respect to the extension cooling apparatus 60 of the interface station 5 mentioned later.

인터페이스 스테이션(5)에는, 예를 들어 냉각 기능을 갖고, 글래스 기판(G)의 수수를 행하는 익스텐션·쿨링 장치(60)와, 글래스 기판(G)을 일시적으로 수용하는 버퍼 카세트(61)와, 외부 장치 블록(62)이 설치되어 있다. 외부 장치 블록(62)에는, 글래스 기판(G)에 생산 관리용의 코드를 노광하는 타이틀러와, 글래스 기판(G)의 주변부를 노광하는 주변 노광 장치가 설치되어 있다. 인터페이스 스테이션(5)에는, 상기 익스텐션·쿨링 장치(60), 버퍼 카세트(61), 외부 장치 블럭(62) 및 노광 장치(4)에 대하여, 글래스 기판(G)을 반송 가능한 반송 아암(63)이 설치되어 있다.The interface station 5 includes, for example, an extension / cooling device 60 having a cooling function and passing the glass substrate G, a buffer cassette 61 temporarily accommodating the glass substrate G, The external device block 62 is provided. The external device block 62 is provided with a titler for exposing the code for production management to the glass substrate G, and a peripheral exposure apparatus for exposing the peripheral portion of the glass substrate G. The conveyance arm 63 which can convey a glass substrate G to the interface station 5 with respect to the said extension cooling apparatus 60, the buffer cassette 61, the external device block 62, and the exposure apparatus 4 is carried out. Is installed.

다음에 본 실시 형태에 관한 기판 반송 장치(100)의 구성에 대하여 설명한다.Next, the structure of the board | substrate conveyance apparatus 100 which concerns on this embodiment is demonstrated.

기판 반송 장치(100)는, 도3에 도시한 바와 같이 내부를 폐쇄 가능한 용기(110)를 갖고 있다. 용기(110)의 카세트 스테이션(2)측의 일측면에는, 반송 아암(12)이 글래스 기판(G)을 반입하기 위한 반입구(111)가 형성되어 있다. 용기(110)의 엑시머 UV 조사 장치(20)측의 일측면에는, 글래스 기판(G)을 반출하기 위한 반출구(112)가 형성되어 있다. 용기(110)의 반송 라인(A)과 직각 방향으로 대향하는 측면의 하부에는, 도4에 도시한 바와 같이 용기(110) 내의 분위기를 배기하기 위한 배기구(113, 113)가 형성되어 있다. 또한, 용기(110)의 내부는, 엑시머 UV 조사 장치(20)의 내부보다 저압으로 유지되고 있다. 또한 반입구(111), 반출구(112), 배기구(113)에는, 각각 개폐 셔터(도시하지 않음)가 설치되어 있어도 된다.The board | substrate conveyance apparatus 100 has the container 110 which can be closed inside, as shown in FIG. On one side surface of the cassette station 2 side of the container 110, a carry-in port 111 for carrying the glass substrate G into the carrying arm 12 is formed. On one side surface of the excimer UV irradiation apparatus 20 side of the container 110, the carrying out port 112 for carrying out the glass substrate G is formed. In the lower part of the side surface which opposes the conveyance line A of the container 110 at right angles, as shown in FIG. 4, the exhaust ports 113 and 113 for exhausting the atmosphere in the container 110 are formed. In addition, the inside of the container 110 is kept at a lower pressure than the inside of the excimer UV irradiation apparatus 20. In addition, opening-and-closing shutters (not shown) may be provided at the delivery port 111, the delivery port 112, and the exhaust port 113, respectively.

용기(110)의 내부에는, 내부를 폐쇄 가능한 컨베이어 커버(114)가 더 설치되어 있다. 컨베이어 커버(114)의 내부에는, 후술하는 상하 2단의 롤러 반송 컨베이어(120, 140)가 설치되어 있다. 컨베이어 커버(114)의 카세트 스테이션(2)측의 일측면에는, 글래스 기판(G)을 반입하기 위한 반입구(115)가 형성되어 있다. 컨베이어 커버(114)의 엑시머 UV 조사 장치(20)측의 일측면에는, 글래스 기판(G)을 반출하기 위한 반출구(116)가 형성되어 있다. 또한 반입구(115), 반출구(116)에는 각각 개폐 셔터(도시하지 않음)가 설치되어 있어도 된다.Inside the container 110, the conveyor cover 114 which can close the inside is further provided. Inside the conveyor cover 114, the roller conveyance conveyors 120 and 140 of the upper and lower stages mentioned later are provided. On one side of the conveyor cover 114 at the cassette station 2 side, a carry-in port 115 for carrying in the glass substrate G is formed. On one side surface of the excimer UV irradiation device 20 side of the conveyor cover 114, a carrying out port 116 for carrying out the glass substrate G is formed. In addition, opening-and-closing shutters (not shown) may be provided at the inlet 115 and the outlet 116, respectively.

컨베이어 커버(114)의 하면에는 지주(117)가 설치되고, 지주(117)의 하단부는 승강 기구(118)에 접속되어 있다. 승강 기구(118)는 그 내부에 모터 등의 구동부(도시하지 않음)를 갖고，이 승강 기구(118)에 의해 컨베이어 커버(114)는 승강할 수 있다.The support 117 is provided in the lower surface of the conveyor cover 114, and the lower end of the support 117 is connected to the lifting mechanism 118. The lifting mechanism 118 has a drive unit (not shown) such as a motor therein, and the conveyor cover 114 can be lifted and lowered by the lifting mechanism 118.

컨베이어 커버(114)의 내부에는, 글래스 기판(G)을 반송하기 위한 상단의 롤러 반송 컨베이어(120)와 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)가 연직 방향으로 2단으로 설치되어 있다. 상단의 롤러 반송 컨베이어(120)는, 도5에 도시한 바와 같이 반송 라인(A) 방향[Y 방향(도5의 상하 방향)]으로 연장되는 한 쌍의 수평 프레임(121, 121)을 갖고, 수평 프레임(121)의 길이는 반송 라인(A) 방향으로 글래스 기판(G)의 약 1매분의 길이로 되어 있다. 수평 프레임(121, 121)은, 글래스 기판(G)의 폭보다도 큰 간격으로 대향하여 배치되어 있다. 수평 프레임(121, 121) 사이에는, 반송 라인(A) 방향으로 연장되는 직선 형상의 지지 부재(122)가, 반송 라인(A)과 직각 방향[X 방향(도5의 좌우 방향)]으로 배열하여, 예를 들어 4개 배치되어 있다. 지지 부재(122)는, 도6에 도시한 바와 같이 평면으로부터 보아, 지지 부재(122) 사이로 반송 아암(12)의 지지부(13)를 진입할 수 있게 배치되어 있다. 지지 부재(122)는, 예를 들어 지지 부재(122)의 하방에 있어서, 반송 라인(A)과 직각 방향으로 연장되는 3개의 비임(123)에 지지되어 있다. 비임(123)의 양 단은, 도7 및 도8에 도시한 바와 같이 수평 프레임(121, 121)의 하면에 각각 고정되어 있다. 또한, 비임(123)의 상면과 후술하는 프리 롤러(124) 및 서포트 롤러(135)의 상단부 사이에는, 반송 아암(12)이 진입할 수 있는 충분한 간극이 비어 있다.Inside the conveyor cover 114, the upper roller conveyance conveyor 120 and the lower roller conveyance conveyor 140 for conveying the glass substrate G are provided in two steps in a perpendicular direction. The upper roller conveying conveyor 120 has a pair of horizontal frames 121 and 121 extending in the conveying line A direction (Y direction (up and down direction in FIG. 5)), as shown in FIG. The length of the horizontal frame 121 is about 1 sheet of length of the glass substrate G in the conveyance line A direction. The horizontal frames 121 and 121 are disposed to face each other at an interval larger than the width of the glass substrate G. Between the horizontal frames 121 and 121, the linear support member 122 extended in the conveyance line A direction is arrange | positioned at the orthogonal direction [X direction (left-right direction of FIG. 5)] with the conveyance line A. For example, four are arrange | positioned. The support member 122 is arrange | positioned so that the support part 13 of the conveyance arm 12 may enter between the support members 122 as seen from the plane as shown in FIG. The support member 122 is supported by three beams 123 extending in the direction perpendicular to the conveyance line A, for example below the support member 122. Both ends of the beam 123 are fixed to the lower surfaces of the horizontal frames 121 and 121, respectively, as shown in Figs. In addition, there is a sufficient gap between the upper surface of the beam 123 and the upper ends of the free roller 124 and the support roller 135 described later to allow the transport arm 12 to enter.

지지 부재(122) 상에는, 도5에 도시한 바와 같이 글래스 기판(G)을 지지하고, 글래스 기판(G)을 반송 라인(A) 방향으로 반송하는 반송 롤러로서의 프리 롤러(124)가 복수 설치되어 있다. 프리 롤러(124)는 반송 라인(A) 방향으로 일정한 간격으로 설치되고, 인접하는 지지 부재(122) 상의 프리 롤러(124)는 반송 라인(A)과 직각 방향으로 일직선으로 배열되어 있다. 프리 롤러(124)는, 도9에 도시하는 바와 같이 무방향으로 회전 가능한, 소위 볼 베어링에 의해 구성되어 있다. 프리 롤러(124)는, 반구 형상으로 상면이 개구한 컵체(125)를 갖고, 컵체(125)에는, 글래스 기판(G)의 이면을 지지하는 지지 볼(126)이 수납되어 있다. 컵체(125)의 내측면에는, 복수의 회전 볼(127)이 설치되고, 회전 볼(127)은 지지 볼(126)을 지지 하고 있다. 지지 볼(126)은, 회전 볼(127)의 회전에 의해 원활하게 회전할 수 있어, 글래스 기판(G)을 무방향으로 이동시킬 수 있다. 컵체(125)의 하면에는 지주(128)가 설치되고, 지주(128)의 하단부는 지지 부재(122)에 고정되어 있다.On the support member 122, as shown in FIG. 5, the plurality of free rollers 124 as a conveyance roller which support the glass substrate G and convey the glass substrate G to the conveyance line A direction are provided, have. The free rollers 124 are provided at regular intervals in the conveying line A direction, and the free rollers 124 on the adjacent supporting members 122 are arranged in a straight line with the conveying line A in a direction perpendicular to the conveying line A. FIG. The free roller 124 is comprised by what is called a ball bearing which can be rotated directionlessly as shown in FIG. The free roller 124 has the cup body 125 which opened the upper surface in the hemispherical shape, and the support body 126 which supports the back surface of the glass substrate G is accommodated in the cup body 125. A plurality of rotating balls 127 are provided on the inner side surface of the cup body 125, and the rotating balls 127 support the supporting balls 126. The support ball 126 can rotate smoothly by the rotation of the rotating ball 127, and can move the glass substrate G in a directionless direction. A support 128 is provided on the lower surface of the cup body 125, and the lower end of the support 128 is fixed to the support member 122.

프리 롤러(124)의 반송 라인(A) 방향측에는, 도5에 도시한 바와 같이 반송 라인(A) 방향으로 자전하는 복수의 구동 롤러(130)가 반송 라인(A)과 직각 방향으로 일정한 간격으로 설치되어 있다. 구동 롤러(130)의 중심부에는 반송 라인(A)과 직각 방향으로 연장되는 구동축(131)이 관통하고, 구동축(131)의 양 단은 수평 프레임(121, 121)에 각각 지지되어 있다. 구동축(131)의 양 단에는, 풀리(134, 134)가 수평 프레임(121, 121)의 외측에 각각 설치되고, 하나의 풀리(134)에는, 풀리(134) 및 구동축(131)을 회전시키는 모터 등의 회전 구동부(132)가 설치되어 있다. 구동 롤러(130)는 회전 구동부(132)에 의해 반송 라인(A) 방향으로 회전하여, 글래스 기판(G)을 반송 라인(A) 방향으로 반송할 수 있다.On the conveying line A direction side of the free roller 124, as shown in FIG. 5, the some drive roller 130 rotating in the conveying line A direction at regular intervals at right angles with the conveying line A is shown. It is installed. The drive shaft 131 extending in the direction perpendicular to the conveying line A penetrates through the center of the drive roller 130, and both ends of the drive shaft 131 are supported by the horizontal frames 121 and 121, respectively. Pulleys 134 and 134 are provided at both ends of the drive shaft 131 on the outside of the horizontal frames 121 and 121, respectively, and one pulley 134 rotates the pulley 134 and the drive shaft 131. Rotation driving units 132 such as motors are provided. The drive roller 130 can be rotated to the conveyance line A direction by the rotation drive part 132, and can convey the glass substrate G to the conveyance line A direction.

프리 롤러(124)의 반송 라인(A)과 직각 방향의 양 측에는, 도5에 도시한 바와 같이 글래스 기판(G)을 지지하여 반송 라인(A) 방향으로 자전하는 복수의 서포트 롤러(135)가 반송 라인(A) 방향으로 일정한 간격으로 설치되어 있다. 서포트 롤러(135)는, 반송 라인(A)과 직각 방향으로 프리 롤러(124)와 일직선으로 배열하도록 배치되어 있다. 서포트 롤러(135)의 중심부에는 샤프트(136)가 고정되고, 샤프트(136)는 수평 프레임(121)에 지지되어 있다. 샤프트(136)의 단부(136a)는 수평 프레임(121)의 외측에 설치되고, 벨트(137)에 접하고 있다. 벨트(137)는 풀리(134) 및 샤프트(136)의 단부(136a)에 걸쳐, 반송 라인(A) 방향으로 설치되어 있다. 풀리(134)의 회전에 의해 벨트(137)가 회전하고, 샤프트(136)가 반송 라인(A) 방향으로 회전함으로써, 서포트 롤러(135)는, 글래스 기판(G)을 반송 라인(A) 방향으로 반송할 수 있다.On both sides of the free roller 124 in the direction perpendicular to the conveying line A, a plurality of support rollers 135 supporting the glass substrate G and rotating in the conveying line A direction as shown in FIG. It is provided at regular intervals in the conveying line A direction. The support roller 135 is arrange | positioned so that it may line up with the free roller 124 in the direction orthogonal to the conveyance line A. FIG. The shaft 136 is fixed to the center of the support roller 135, and the shaft 136 is supported by the horizontal frame 121. The end 136a of the shaft 136 is provided outside the horizontal frame 121 and is in contact with the belt 137. The belt 137 is provided in the conveying line A direction over the pulley 134 and the edge part 136a of the shaft 136. As the belt 137 rotates by the rotation of the pulley 134, and the shaft 136 rotates in the conveying line A direction, the support roller 135 moves the glass substrate G in the conveying line A direction. Can be returned.

수평 프레임(121, 121)에는, 도5에 도시한 바와 같이 반송 라인(A) 방향과 직각 방향의 글래스 기판(G)의 위치를 조정하는 가이드 부재(133, 133)가 대향하여 설치되어 있다. 가이드 부재(133)는, 비임(123)에 예를 들어 2 개소씩 설치되어 있다. 가이드 부재(133)는, 도8에 도시한 바와 같이 비임(123)의 상면에 설치되어 있다. 가이드 부재(133, 133)의 내측에는 가이드 롤러(133a, 133a)가 설치되고, 가이드 롤러(133a)는 반송 라인(A) 방향으로 회전 가능하게 되어 있다. 가이드 부재(133)는, 반송 라인(A) 방향과 직각 방향으로 신축 가능한 구조를 갖고 있다. 그리고 글래스 기판(G)이 프리 롤러(124)에 재치되면, 가이드 부재(133, 133)는 글 래스 기판(G)을 끼워, 반송 라인(A) 방향과 직각 방향의 글래스 기판(G)의 위치가 조정된다. 또한 가이드 부재(133, 133)는 글래스 기판(G)의 반송 중에도 상기 글래스 기판(G)을 끼우고, 글래스 기판(G)의 반송 방향을 안내한다.As shown in Fig. 5, the horizontal frames 121 and 121 are provided with guide members 133 and 133 for adjusting the position of the glass substrate G in the direction perpendicular to the conveying line A direction. The guide member 133 is provided in the beam 123 by two places, for example. The guide member 133 is provided on the upper surface of the beam 123 as shown in FIG. Guide rollers 133a and 133a are provided inside the guide members 133 and 133, and the guide roller 133a is rotatable in the conveying line A direction. The guide member 133 has a structure that can be stretched in a direction perpendicular to the conveying line A direction. When the glass substrate G is placed on the free roller 124, the guide members 133 and 133 sandwich the glass substrate G to position the glass substrate G in a direction perpendicular to the conveying line A direction. Is adjusted. In addition, the guide members 133 and 133 fit the said glass substrate G also during the conveyance of the glass substrate G, and guide the conveyance direction of the glass substrate G. As shown in FIG.

하단의 롤러 반송 컨베이어(140)는, 상기한 상단의 롤러 반송 컨베이어(120)와 동일한 구조를 갖고 있다. 상단의 롤러 반송 컨베이어(120)의 수평 프레임(121)의 양 단과, 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)의 수평 프레임(121)의 양 단은 도7 및 도8에 도시한 바와 같이 연직 방향으로 연장되는 연직 프레임(141)으로 접속되고, 상단의 롤러 반송 컨베이어(120)와 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)는 일체로 고정되어 있다. 롤러 반송 컨베이어(120, 140)는, 고정 부재(도시하지 않음)에 의해 컨베이어 커버(114)에 고정되어 있다.The lower roller conveyance conveyor 140 has the same structure as the roller conveyance conveyor 120 of the upper end mentioned above. Both ends of the horizontal frame 121 of the upper roller conveying conveyor 120, and both ends of the horizontal frame 121 of the lower roller conveying conveyor 140 extend in the vertical direction as shown in Figs. It is connected by the vertical frame 141 which becomes, and the upper roller conveyance conveyor 120 and the lower roller conveyance conveyor 140 are fixed integrally. The roller conveyance conveyors 120 and 140 are being fixed to the conveyor cover 114 by the fixing member (not shown).

본 실시 형태에 관한 기판 반송 장치(100)를 탑재한 도포 현상 처리 시스템(1)은 이상과 같이 구성되어 있고, 다음에 그 도포 현상 처리 시스템(1)에서 행해지는 글래스 기판(G)의 처리에 대하여 설명한다.The coating and developing processing system 1 on which the substrate transfer device 100 according to the present embodiment is mounted is configured as described above, and then, for the processing of the glass substrate G performed in the coating and developing processing system 1. Explain.

우선, 카세트 스테이션(2)의 카세트(C) 내의 글래스 기판(G)이, 상단의 반송 아암(12)에 의해, 도3에 도시한 바와 같이 반입구(111)를 통과하여 처리 스테이션(3)의 기판 반송 장치(100) 내로 반입된다. 이 때 롤러 반송 컨베이어(120, 140)는, 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)가 엑시머 UV 조사 장치(20) 내의 글래스 기판(G)을 반송하는 롤(R)과 수평이 되도록 위치하고 있다. 그리고 글래스 기판(G)을 지지한 반송 아암(12)이 반입구(115)를 통과하여, 컨베이어 케이스(114) 내로 진입함으로써, 글래스 기판(G)은 반송 아암(12)에 지지된 상태에서 상단의 롤 러 반송 컨베이어(120)에 재치된다. 이 때 반송 아암(12)의 지지부(13)는, 도6에 도시한 바와 같이 평면으로부터 보아, 지지 부재(122, 122)의 사이를 통과한다. 그리고 반송 아암(12)은, 글래스 기판(G)을 롤러 반송 컨베이어(120)에 재치한 후, 일단 소정의 위치까지 하강하고, 카세트 스테이션(2)으로 후퇴한다. 이렇게 반송 아암(12)은 지지 부재(122)와 간섭하지 않고 글래스 기판(G)을 재치할 수 있다.First, the glass substrate G in the cassette C of the cassette station 2 passes through the carrying-in port 111 by the upper conveyance arm 12 as shown in FIG. 3, and the processing station 3 is carried out. It is carried in into the board | substrate conveyance apparatus 100 of the. At this time, the roller conveyance conveyors 120 and 140 are located so that the lower roller conveyance conveyor 140 may be horizontal with the roll R which conveys the glass substrate G in the excimer UV irradiation apparatus 20. And the conveyance arm 12 which supported the glass substrate G passed through the carrying-in opening 115, and enters into the conveyor case 114, and the glass substrate G is supported by the conveyance arm 12 at the upper end. It is mounted on the roller conveying conveyor 120. At this time, the support part 13 of the conveyance arm 12 passes between the support members 122 and 122 when it sees from a plane as shown in FIG. And after mounting the glass substrate G on the roller conveyance conveyor 120, the conveyance arm 12 descends to a predetermined position and retreats to the cassette station 2 once. In this way, the transfer arm 12 can mount the glass substrate G without interfering with the support member 122.

상단의 롤러 반송 컨베이어(120)에 글래스 기판(G)이 재치되면, 가이드 부재(133, 133)가 글래스 기판(G)을 끼워, 반송 라인(A)과 직각 방향의 글래스 기판(G)의 위치가 조정된다.When the glass substrate G is mounted on the upper roller conveyance conveyor 120, the guide member 133,133 inserts the glass substrate G, and the position of the glass substrate G in the direction orthogonal to the conveyance line A is carried out. Is adjusted.

글래스 기판(G)의 반송 라인(A)과 직각 방향의 위치가 조정되면, 도10에 도시한 바와 같이 롤러 반송 컨베이어(120, 140)는, 승강 기구(118)에 의해 상단의 롤러 반송 컨베이어(120)가 엑시머 UV 조사 장치(20) 내의 롤(R)과 수평해지는 위치까지 하강한다. 그리고 회전 구동부(132)에 의해 구동 롤러(130)가 회전하고, 도11에 도시한 바와 같이 상단의 롤러 반송 컨베이어(120)에 재치된 글래스 기판(G)은, 가이드 부재(133, 133)에 끼워져 있던 상태에서 엑시머 UV 조사 장치(20)로 반송된다. 동시에, 다음에 처리되는 글래스 기판(G)이 하단의 반송 아암(12)에 의해 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)에 재치된다.When the position of the conveyance line A and the orthogonal direction of the glass substrate G is adjusted, as shown in FIG. 10, the roller conveyance conveyors 120 and 140 are elevating mechanism 118, and the upper end roller conveyance conveyor ( 120 is lowered to the position which becomes horizontal with the roll R in the excimer UV irradiation apparatus 20. FIG. Then, the driving roller 130 is rotated by the rotation driving unit 132, and the glass substrate G placed on the roller conveying conveyor 120 at the upper end is guided to the guide members 133 and 133 as shown in FIG. 11. It is conveyed to the excimer UV irradiation apparatus 20 in the state which inserted. At the same time, the glass substrate G to be processed next is placed on the lower roller conveying conveyor 140 by the lower conveying arm 12.

상단의 롤러 반송 컨베이어(120)로부터 엑시머 UV 조사 장치(20) 내로 글래스 기판(G)이 반송되고, 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)에 글래스 기판(G)이 재치 되면, 도12에 도시한 바와 같이 롤러 반송 컨베이어(120, 140)는, 승강 기구(118)에 의해 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)가 엑시머 UV 조사 장치(20) 내의 롤(R)과 수평해지는 위치까지 상승한다. 그리고 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)에 재치된 글래스 기판(G)은, 도13에 도시한 바와 같이 엑시머 UV 조사 장치(20)로 반송된다. 동시에, 다음에 처리되는 글래스 기판(G)이 상단의 반송 아암(12)에 의해 상단의 롤러 반송 컨베이어(140)에 재치된다.When the glass substrate G is conveyed from the upper roller conveyance conveyor 120 into the excimer UV irradiation apparatus 20, and the glass substrate G is mounted on the lower roller conveyance conveyor 140, as shown in FIG. Similarly, the roller conveyance conveyors 120 and 140 raise by the elevating mechanism 118 to the position where the roller conveyance conveyor 140 of the lower end becomes horizontal with the roll R in the excimer UV irradiation apparatus 20. And the glass substrate G mounted on the roller conveyance conveyor 140 of the lower end is conveyed to the excimer UV irradiation apparatus 20 as shown in FIG. At the same time, the glass substrate G to be processed next is placed on the upper roller conveying conveyor 140 by the upper conveying arm 12.

이상과 같은 반송, 재치 작업은, 승강 기구(118)에 의해 롤러 반송 컨베이어(120, 140)를 승강시켜 반복해 행해진다.The above conveyance and placement work is repeatedly performed by elevating the roller conveyance conveyors 120 and 140 by the elevating mechanism 118.

엑시머 UV 조사 장치(20)로 반송된 글래스 기판(G)은, 직선적인 반송 라인(A)을 따라 롤러 반송에 의해, 엑시머 UV 조사 장치(20), 스크러버 세정 장치(21), 가열 처리 장치(22), 냉각 처리 장치(23), 레지스트 도포 처리 장치(24), 감압 건조 장치(25), 가열 처리 장치(26) 및 냉각 처리 장치(27)에 순서대로 반송되고, 각 처리 장치에 있어서 소정의 처리가 실시된다. 냉각 처리가 종료된 글래스 기판(G)은, 아우터 스테이지(28)로 반송된다. 그 후에 글래스 기판(G)은, 반송체(40)에 의해, 인터페이스 스테이션(5)으로 반송되고, 반송 아암(63)에 의해 노광 장치(4)로 반송된다.The glass substrate G conveyed to the excimer UV irradiation apparatus 20 has the excimer UV irradiation apparatus 20, the scrubber cleaning apparatus 21, and the heat processing apparatus by roller conveyance along the linear conveyance line A. 22) to the cooling processing apparatus 23, the resist coating processing apparatus 24, the reduced pressure drying apparatus 25, the heating processing apparatus 26, and the cooling processing apparatus 27 in order, and is conveyed in order in each processing apparatus. Processing is carried out. The glass substrate G in which the cooling process was complete | finished is conveyed to the outer stage 28. As shown in FIG. Thereafter, the glass substrate G is conveyed to the interface station 5 by the conveyance body 40, and conveyed to the exposure apparatus 4 by the conveyance arm 63.

노광 장치(4)에 있어서 노광 처리가 종료된 글래스 기판(G)은, 반송 아암(63)에 의해 인터페이스 스테이션(5)으로 복귀되어, 반송체(40)에 의해 처리 스테이션(3)의 현상 처리 장치(30)로 반송된다. 글래스 기판(G)은, 직선적인 반송 라인(B)을 따라 롤러 반송에 의해, 현상 처리 장치(30), i선 UV 조사 장치(31), 가열 처리 장치(32)와 냉각 처리 장치(33)로 순서대로 반송되고, 각 처리 장치에 있어서 소정의 처리가 실시된다. 냉각 처리 장치(33)에 있어서 냉각 처리가 종료된 글래스 기판(G)은, 반송 아암(12)에 의해 카세트 스테이션(2)의 카세트(C)로 복귀되어, 일련의 포토리소그래피 공정이 종료한다. The glass substrate G in which the exposure process was complete | finished in the exposure apparatus 4 is returned to the interface station 5 by the conveyance arm 63, and the image development process of the processing station 3 is carried out by the conveyance body 40. FIG. It is conveyed to the apparatus 30. The glass substrate G has the developing processing apparatus 30, the i-line UV irradiation apparatus 31, the heat processing apparatus 32, and the cooling processing apparatus 33 by roller conveyance along the linear conveyance line B. As shown in FIG. In order, and predetermined processing is performed in each processing apparatus. In the cooling processing apparatus 33, the glass substrate G in which the cooling process was complete | finished is returned to the cassette C of the cassette station 2 by the conveyance arm 12, and a series of photolithography process is complete | finished.

이상의 실시 형태에 의하면, 상단의 롤러 반송 비교(120)와 하단의 롤러 반송 컨베이어(140)의 어느 한 쪽으로부터 엑시머 UV 조사 장치(20)로 글래스 기판(G)을 반송하고 있는 동안에, 다른 쪽의 롤러 반송 컨베이어에 다음에 처리되는 글래스 기판(G)을 재치할 수 있다. 그리고 승강 기구(118)로 상하 2단의 롤러 반송 컨베이어(120, 140)를 승강시킴으로써, 이 반송 재치 작업을 반복해 행할 수 있다. 따라서, 필요할 때에 엑시머 UV 조사 장치(20)에 글래스 기판(G)을 반송할 수 있어, 글래스 기판(G)의 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 그리고 글래스 기판(G)을 반송하는 롤러 반송 컨베이어(120, 140)의 반송 라인(A) 방향 길이가 글래스 기판(G)의 약 1매분의 길이므로, 기판 반송 장치(100)의 점유 면적을 작게 할 수 있다. 따라서, 점유 면적이 작은 기판 반송 장치(100)를 이용하여, 글래스 기판(G)의 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.According to the above embodiment, while conveying the glass substrate G with the excimer UV irradiation apparatus 20 from either the upper roller conveyance comparison 120 and the lower roller conveyance conveyor 140, the other The glass substrate G processed next can be mounted on a roller conveyance conveyor. And this conveyance mounting operation can be repeated by elevating the roller conveyance conveyors 120 and 140 of the upper and lower stages with the elevating mechanism 118. As shown in FIG. Therefore, the glass substrate G can be conveyed to the excimer UV irradiation apparatus 20 as needed, and the throughput of the process of the glass substrate G can be improved. And since the conveyance line A direction length of the roller conveyance conveyors 120 and 140 which conveys the glass substrate G is about 1 sheet length of the glass substrate G, the occupation area of the board | substrate conveying apparatus 100 is made small. can do. Therefore, the throughput of the process of the glass substrate G can be improved using the board | substrate conveyance apparatus 100 with small occupied area.

본 실시 형태에 있어서는, 용기(110)의 측면에 배기구(113)가 설치되어 있으므로, 도14에 도시한 바와 같이 글래스 기판(G)을 반송 중에 용기(110)의 내부의 분위기를 배기구(113)로부터 용기(110)의 외부로 배기할 수 있다. 통상, 카세트 스테이션(2)의 내부가 용기(110)의 내부보다도 고압으로 유지되어 있고, 또한 용기(110)의 내부는 용기(110)의 외부보다도 고압으로 유지되고 있으므로, 반입구(111)로부터 배기구(113)로의 기류가 생겨, 용기(110) 내의 분위기가 배기구(113)로부터 배기된다. 또한 컨베이어 커버(114)의 내부에 있어서도, 반입 구(115)로부터 반출구(116)로의 일방향의 기류가 생긴다. 따라서, 예를 들어 용기(110) 내나 컨베이어 커버(114) 내에 파티클이 생긴 경우에도, 이 파티클을 배기구(113)로부터 배출할 수 있다. 또한, 용기(110)의 내부는 엑시머 UV 조사 장치(20)의 내부보다 저압으로 유지되고 있으므로, 용기(110) 내의 분위기가 엑시머 UV 조사 장치(20) 내로 흐르지는 않는다.In this embodiment, since the exhaust port 113 is provided in the side surface of the container 110, as shown in FIG. 14, the atmosphere inside the container 110 is carried out while conveying the glass substrate G. As shown in FIG. From the container 110 can be exhausted. Usually, since the inside of the cassette station 2 is kept at a higher pressure than the inside of the container 110, and the inside of the container 110 is kept at a higher pressure than the outside of the container 110, from the inlet 111 Airflow to the exhaust port 113 is generated, and the atmosphere in the container 110 is exhausted from the exhaust port 113. Also in the conveyor cover 114, air flow in one direction from the inlet 115 to the outlet 116 is generated. Therefore, even when particles generate in the container 110 or in the conveyor cover 114, the particles can be discharged from the exhaust port 113. In addition, since the inside of the container 110 is maintained at a lower pressure than the inside of the excimer UV irradiation device 20, the atmosphere in the container 110 does not flow into the excimer UV irradiation device 20.

본 실시 형태에 있어서는, 가이드 부재(133)가 설치되어 있기 때문에, 글래스 기판(G)의 반송 라인(A)과 직각 방향의 위치를 조정할 수 있어, 글래스 기판(G)을 반송 라인(A) 방향으로 정확하게 반송할 수 있다. In this embodiment, since the guide member 133 is provided, the position in the direction perpendicular to the conveyance line A of the glass substrate G can be adjusted, and the glass substrate G is oriented in the conveyance line A direction. Can be correctly conveyed.

본 실시 형태에 있어서는, 반송 아암(12)이 지지 부재(122)와 간섭하지는 않기 때문에, 글래스 기판(G)을 반송 아암(12)으로부터 직접 롤러 반송 컨베이어(120, 140)에 재치할 수 있다. 이에 의해, 도17에 도시한 기판 반송 장치(310)를 이용한 경우의 승강 핀(321)의 승강이 불필요해져, 글래스 기판(G)을 원활하게 롤러 반송 컨베이어(120, 140)에 재치할 수 있다. In this embodiment, since the conveyance arm 12 does not interfere with the support member 122, the glass substrate G can be mounted on the roller conveyance conveyors 120 and 140 directly from the conveyance arm 12. As shown in FIG. As a result, the lifting and lowering of the lifting pins 321 in the case of using the substrate conveying apparatus 310 shown in FIG. 17 becomes unnecessary, and the glass substrate G can be smoothly mounted on the roller conveying conveyors 120 and 140.

이상의 실시 형태에서 이용된 프리 롤러(124) 대신에, 도15에 도시하는 바와 같이 글래스 기판(G)을 지지할 수 있어, 반송 라인(A) 방향으로 회전 가능한 반송하는 대구경 롤러(150)를 이용해도 된다. 대구경 롤러(150)의 중심부에는 반송 라인(A)과 직각 방향으로 연장되는 회전축(151)이 관통하여 대구경 롤러(150)를 지지하고 있다. 회전축(151)의 양 단은 수평 프레임(121, 121)에 각각 지지되고, 그 단부(151a)는 벨트(137)에 접하고 있다. 대구경 롤러(150)의 직경은, 도16에 도시한 바와 같이 대구경 롤러(150)의 상단과 회전축(151)의 상단 사이로 반송 아 암(12)이 진입할 수 있는 크기로 설정되어 있다. 그리고 구동 롤러(130)의 직경도 대구경 롤러(150)의 직경과 동일한 크기로 설정되어 있다. 이러한 경우, 반송 아암(12)이 회전축(151)과 간섭하지 않고, 글래스 기판(G)을 반송 아암(12)으로부터 직접 롤러 반송 컨베이어(120, 140)에 재치할 수 있다. 또한, 프리 롤러(124)를 지지하고 있었던 지지 부재(122)와 비임(123)은, 롤러 반송 컨베이어(120, 140)로부터 생략할 수 있다.Instead of the free roller 124 used in the above embodiment, as shown in FIG. 15, the glass substrate G can be supported and the large diameter roller 150 which conveys which can rotate in the conveyance line A direction is used. You may also In the center of the large diameter roller 150, a rotating shaft 151 extending in the direction perpendicular to the conveying line A penetrates and supports the large diameter roller 150. Both ends of the rotating shaft 151 are supported by the horizontal frames 121 and 121, respectively, and the end portion 151a is in contact with the belt 137. The diameter of the large diameter roller 150 is set to the size which the conveyance arm 12 can enter between the upper end of the large diameter roller 150, and the upper end of the rotating shaft 151, as shown in FIG. The diameter of the drive roller 130 is also set to the same size as that of the large-diameter roller 150. In this case, the conveying arm 12 can be mounted on the roller conveying conveyors 120 and 140 directly from the conveying arm 12 without interfering with the rotating shaft 151. In addition, the support member 122 and the beam 123 which were supporting the free roller 124 can be abbreviate | omitted from the roller conveyance conveyor 120,140.

이상, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 적합한 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자이면, 특허청구범위에 기재된 사상의 범주 내에서, 각종 변경예 또는 수정예에 상도할 수 있는 것은 분명하며, 그들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 양해된다.As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, this invention is not limited to this example. If it is a person skilled in the art, it is clear that various changes or modifications can be conceived within the range of the idea as described in a claim, and also those naturally belong to the technical scope of this invention.

본 발명은, 기판을 지지하는 아암으로부터 기판을 수취하여, 이 기판을 처리 장치로 반송하는 기판 반송 장치에 유용하다.This invention is useful for the board | substrate conveying apparatus which receives a board | substrate from the arm which supports a board | substrate, and conveys this board | substrate to a processing apparatus.

도1은 본 실시 형태에 관한 기판 반송 장치를 탑재한, 도포 현상 처리 시스템의 구성의 개략을 도시하는 평면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The top view which shows the outline of the structure of the application | coating development system which mounted the board | substrate conveyance apparatus which concerns on this embodiment.

도2는 반송 아암의 평면도.2 is a plan view of the transfer arm.

도3은 본 실시 형태에 관한 기판 반송 장치의 구성의 개략을 도시하는 종단면도.3 is a longitudinal sectional view showing an outline of a configuration of a substrate transfer device according to the present embodiment;

도4는 본 실시 형태에 관한 기판 반송 장치의 구성의 개략을 도시하는 평면도.4 is a plan view showing an outline of a configuration of a substrate transfer apparatus according to the present embodiment.

도5는 본 실시 형태에 관한 롤러 반송 컨베이어의 평면도.5 is a plan view of a roller conveying conveyor according to the present embodiment.

도6은 반송 아암이 롤러 반송 컨베이어에 진입한 상태를 도시하는 설명도.6 is an explanatory diagram showing a state in which the transfer arm enters the roller conveyance conveyor;

도7은 도5의 롤러 반송 컨베이어의 Y 방향 단면도.FIG. 7 is a sectional view in the Y direction of the roller conveyance conveyor of FIG. 5; FIG.

도8은 도5의 롤러 반송 컨베이어의 X 방향 단면도.Fig. 8 is a cross-sectional view in the X direction of the roller conveying conveyor of Fig. 5;

도9는 프리 롤러의 구조를 도시하는 설명도.9 is an explanatory diagram showing the structure of a free roller;

도10은 기판 반송 장치 내에서 글래스 기판을 반송하고 있는 상태를 도시하는 설명도.10 is an explanatory diagram showing a state in which a glass substrate is being conveyed in the substrate conveyance apparatus.

도11은 기판 반송 장치 내에서 글래스 기판을 반송하고 있는 상태를 도시하는 설명도.FIG. 11 is an explanatory diagram showing a state in which a glass substrate is conveyed in the substrate conveyance apparatus. FIG.

도12는 기판 반송 장치 내에서 글래스 기판을 반송하고 있는 상태를 도시하는 설명도.12 is an explanatory diagram showing a state in which a glass substrate is being conveyed in the substrate conveyance apparatus.

도13은 기판 반송 장치 내에서 글래스 기판을 반송하고 있는 상태를 도시하 는 설명도.FIG. 13 is an explanatory diagram showing a state in which a glass substrate is being conveyed in the substrate conveying apparatus; FIG.

도14는 기판 반송 장치 내에서 글래스 기판을 반송 중에, 상기 기판 반송 장치 내의 분위기의 흐름을 설명하는 설명도.FIG. 14 is an explanatory diagram for explaining a flow of an atmosphere in the substrate transfer apparatus while transferring the glass substrate in the substrate transfer apparatus. FIG.

도15는 다른 실시 형태에 관한 롤러 반송 컨베이어의 평면도.15 is a plan view of a roller conveyance conveyor according to another embodiment.

도16은 반송 아암이 롤러 반송 컨베이어로 진입한 상태를 도시하는 설명도.Fig. 16 is an explanatory diagram showing a state where the carrying arm enters the roller conveying conveyor;

도17은 종래의 기판 반송 장치의 구성의 개략을 도시하는 종단면도.Fig. 17 is a longitudinal sectional view showing the outline of the structure of a conventional substrate transfer apparatus.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 도포 현상 처리 시스템1: coating and developing treatment system

2 : 카세트 스테이션2: cassette station

3 : 처리 스테이션3: processing station

12 : 반송 아암12: return arm

13 : 지지부13 support part

100 : 기판 반송 장치100: substrate transfer device

110 : 용기110: container

111, 115 : 반입구111, 115: carry-on

112, 116 : 반출구112, 116: outlet

113 : 배기구113: exhaust port

114 : 컨베이어 커버114: Conveyor Cover

118 : 승강 기구118: lifting mechanism

120 : 상단의 롤러 반송 컨베이어120: roller conveying conveyor at the top

122 : 지지 부재122: support member

124 : 프리 롤러124: Free Roller

130 : 구동 롤러130: drive roller

131 : 구동축131: drive shaft

132 : 회전 구동부132: rotation drive unit

133a : 가이드 롤러133a: guide roller

140 : 하단의 롤러 반송 컨베이어140: roller conveying conveyor at the bottom

150 : 대구경 롤러150: large diameter roller

151 : 회전축151: axis of rotation

Claims (9)

기판을 지지하는 아암으로부터 기판을 수취하여, 이 기판을 처리 장치로 반송하는 기판 반송 장치이며, It is a board | substrate conveying apparatus which receives a board | substrate from the arm which supports a board | substrate, and conveys this board | substrate to a processing apparatus, 기판을 수평 방향으로 반송 가능하고 상하 2단으로 배치된 롤러 반송 컨베이어와, A roller conveying conveyor capable of conveying the substrate in the horizontal direction and arranged in two stages above and below; 상기 2단의 롤러 반송 컨베이어를 승강시키는 승강 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.And a lifting mechanism for lifting and lowering the two-stage roller conveying conveyor. 제1항에 있어서, 상기 2단의 롤러 반송 컨베이어와 상기 승강 기구를 수용하는 용기를 갖고, The container according to claim 1, further comprising a container for receiving the two-stage roller conveying conveyor and the elevating mechanism. 상기 용기의 상기 아암의 반입 영역에 면하는 측면에는, 기판을 반입하기 위한 반입구가 형성되고, In the side surface which faces the carrying-in area | region of the said arm of the said container, the inlet for carrying in a board | substrate is formed, 상기 용기의 상기 처리 장치측의 측면에는, 기판을 반출하기 위한 반출구가 형성되고, In the side surface of the said processing apparatus side of the said container, the carrying out port for carrying out a board | substrate is formed, 상기 처리 장치의 내부는, 상기 용기의 내부보다도 고압으로 유지되고, The inside of the processing apparatus is maintained at a higher pressure than the inside of the container, 상기 용기의 측면의 하부에는, 상기 용기 내의 분위기를 배기하는 배기구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The lower part of the side surface of the said container is provided with the exhaust port which exhausts the atmosphere in the said container, The board | substrate conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 제2항에 있어서, 상기 용기의 내부에는, 상기 2단의 롤러 반송 컨베이어를 수용하는 컨베이어 커버가 설치되고, The said cover is provided with the conveyor cover which accommodates the said 2nd stage roller conveying conveyor, 상기 컨베이어 커버의 상기 아암의 반입 영역에 면하는 측면에는, 기판을 반입하기 위한 다른 반입구가 형성되고, On the side surface of the conveyor cover facing the loading area of the arm, another loading hole for loading the substrate is formed, 상기 컨베이어 커버의 상기 처리 장치측의 측면에는, 기판을 반출하기 위한 다른 반출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The other conveyance port for carrying out a board | substrate is formed in the side surface at the said processing apparatus side of the said conveyor cover, The board | substrate conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 아암의 선단측에는, 기판을 지지하는 직선 형상의 지지부가 평행하게 복수 설치되고, The linear support part which supports a board | substrate is provided in parallel in multiple numbers in any one of Claim 1 thru | or 3, 상기 롤러 반송 컨베이어는, The roller conveying conveyor, 기판을 지지 가능하고, 적어도 기판의 반송 방향으로 회전 가능한 복수의 반송 롤러와, A plurality of conveyance rollers which can support a board | substrate and are rotatable at least in the conveyance direction of a board | substrate, 상기 복수의 반송 롤러를 지지하고, 기판의 반송 방향으로 연장되는 복수의 지지 부재를 갖고, It supports the said some conveyance roller and has a some support member extended in the conveyance direction of a board | substrate, 상기 복수의 지지 부재는, 상기 지지 부재 사이에 상기 지지부가 진입하도록, 기판의 반송 방향과 직각 방향으로 배열하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The said plurality of support members are arrange | positioned in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate so that the said support part may enter between the said support members, The board | substrate conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 제4항에 있어서, 상기 반송 롤러는, 무방향으로 회전 가능한 프리 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate conveyance apparatus of Claim 4 whose said conveyance roller is a free roller rotatable without direction. 제4항에 있어서, 기판의 반송 방향과 직각 방향으로, 상기 반송 롤러에 지지된 기판의 위치를 조정하는 가이드 롤러를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate conveyance apparatus of Claim 4 which has the guide roller which adjusts the position of the board | substrate supported by the said conveyance roller in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate. 제5항에 있어서, 기판의 반송 방향과 직각 방향으로, 상기 반송 롤러에 지지된 기판의 위치를 조정하는 가이드 롤러를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate conveyance apparatus of Claim 5 which has the guide roller which adjusts the position of the board | substrate supported by the said conveyance roller in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 롤러 반송 컨베이어는, The said roller conveying conveyor of any one of Claims 1-3, 기판을 지지할 수 있으며, 기판의 반송 방향으로 회전 가능하고, 반송 방향과 직각 방향으로 배열하여 배치된 복수의 반송 롤러와, A plurality of conveying rollers capable of supporting the substrate, rotatable in the conveying direction of the substrate, and arranged in a direction perpendicular to the conveying direction; 상기 복수의 반송 롤러의 중심부를 관통하여 상기 반송 롤러를 지지하는 회전축을 갖고, It has a rotation shaft which penetrates the center part of the said some conveyance roller, and supports the said conveying roller, 상기 복수의 반송 롤러와 회전축은, 기판의 반송 방향으로 복수 배열하여 배치되고, The plurality of conveying rollers and the rotating shaft are arranged in a plurality in the conveying direction of the substrate, 상기 반송 롤러의 직경은, 상기 반송 롤러의 상단과 상기 회전축의 상단 사이에 상기 아암이 진입할 수 있는 크기로 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The diameter of the said conveyance roller is set to the magnitude | size which the said arm can enter between the upper end of the said conveyance roller and the upper end of the said rotating shaft, The board | substrate conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 제8항에 있어서, 기판의 반송 방향과 직각 방향으로, 상기 반송 롤러에 지지 된 기판의 위치를 조정하는 가이드 롤러를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate conveyance apparatus of Claim 8 which has the guide roller which adjusts the position of the board | substrate supported by the said conveyance roller in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate.
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