JP6040685B2 - Film forming apparatus, method for manufacturing film processed product, and film forming method - Google Patents
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Description
本発明は、成膜処理装置に関する。 The present invention relates to a film forming apparatus.
特許文献1は、ロードロックチャンバと、成膜処理チャンバと、反転チャンバと、これらのチャンバ内を移動可能な基板保持具とを備える、インターバック型の基板処理装置を開示している。この基板処理装置においては、基板を保持する基板保持具は、ロードロックチャンバに搬入されると、往路搬送ラインに沿って、ロードロックチャンバ、成膜処理チャンバ、及び反転チャンバの順に移動する。基板保持具が反転チャンバに到達すると、その向きが反転される。その後、基板保持具は、往路搬送ラインとは異なる復路搬送ラインに沿って、反転チャンバ、成膜処理チャンバ、及びロードロックチャンバの順に移動した後、装置外へと搬出される。
インターバック型の基板処理装置によれば、往路及び復路で基板に成膜を行えるので、一方の側から基板を搬入して他方の側から基板を搬出する必要があるインライン型の基板処理装置と比較して、成膜処理チャンバの長さを短くできるという利点がある。しかしながら、特許文献1に記載の基板処理装置では、基板保持具が往路と復路とで異なる経路を移動しなければならないので、反転チャンバを要し、成膜処理チャンバが大型化してしまう。そのため、コストの増加を招いたり、成膜処理チャンバ内を真空排気するために時間を要して生産性の低下を招いていた。
According to the inter-back type substrate processing apparatus, since the film can be formed on the substrate in the forward path and the return path, it is necessary to carry in the substrate from one side and to carry out the substrate from the other side. In comparison, there is an advantage that the length of the film forming process chamber can be shortened. However, in the substrate processing apparatus described in
往路搬送ライン及び復路搬送ラインを共有化して、同じライン上を基板保持具が往復移動するように構成することも考えられる。この場合、反転チャンバが不要となり、成膜処理チャンバの小型化を図ることができるが、基板を一枚処理するたびに成膜処理チャンバを大気開放して、処理済みの基板を取り出す必要がある。そのため、成膜処理チャンバ内の真空排気を繰り返して行わなければならないので、やはり生産性の低下を招いていた。 It is also conceivable that the forward transfer line and the return transfer line are shared so that the substrate holder reciprocates on the same line. In this case, the inversion chamber is not necessary, and the film formation processing chamber can be reduced in size. However, it is necessary to open the film formation processing chamber to the atmosphere and take out the processed substrate every time one substrate is processed. . For this reason, the evacuation inside the film forming chamber has to be repeated, resulting in a decrease in productivity.
そこで、本発明の目的は、小型化と生産性の向上との両立を図ることが可能な成膜処理装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a film forming apparatus capable of achieving both reduction in size and improvement in productivity.
本発明の一側面に係る成膜処理装置は、ロードロックチャンバに隣接して配置される成膜処理チャンバと、成膜処理チャンバ内の成膜対象物の表面に成膜を行わせる成膜手段と、成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に前記成膜手段に対向するように配置された第1のコンベアと、成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、第1のコンベアとロードロックチャンバとの間に配置された第2のコンベアであって、上下方向に重なるように並べられた上側コンベア及び下側コンベアを有する第2のコンベアと、上側コンベアの高さが第1のコンベアの高さに合わせられた下降位置と、下側コンベアの高さが第1のコンベアの高さに合わせられた上昇位置とに、第2のコンベアを昇降させる昇降手段とを備える。 A film forming apparatus according to one aspect of the present invention includes a film forming process chamber disposed adjacent to a load lock chamber, and a film forming unit that forms a film on a surface of a film forming target in the film forming process chamber. A film forming object in the film forming chamber and transporting the film forming object in the horizontal direction and facing the film forming means, and a film forming object in the film forming chamber. And a second conveyor disposed between the first conveyor and the load lock chamber, the upper conveyor and the lower conveyor arranged so as to overlap in the vertical direction, The second conveyor is placed at a lowered position where the height of the upper conveyor is adjusted to the height of the first conveyor and an elevated position where the height of the lower conveyor is adjusted to the height of the first conveyor. Elevate And a descending means.
本発明の一側面に係る成膜処理装置では、上下方向に重なるように配置された上側コンベア及び下側コンベアを有する第2のコンベアが、昇降手段の動作により、上側コンベアの高さが第1のコンベアの高さに合わせられた下降位置と、下側コンベアの高さが第1のコンベアの高さに合わせられた上昇位置とに、昇降される。従って、例えば、成膜前の成膜対象物が上側コンベアに載置された状態で昇降手段が第2のコンベアを上昇位置に移動させることで、第1のコンベアから下側コンベアへと成膜後の成膜対象物の移動を行える。さらに、昇降手段が第2のコンベアを下降位置に移動させることで、上側コンベアから第1のコンベアへと成膜前の成膜対象物の移動を行える。その結果、第1及び第2のコンベアが水平方向に一列に並んで配置されたコンパクトな成膜処理装置を実現しつつ、成膜処理チャンバの真空状態を保持したまま連続して複数の基板を処理できる。よって、本発明の一側面によれば、成膜処理装置において、小型化と生産性の向上との両立を図ることが可能となる。 In the film forming apparatus according to one aspect of the present invention, the second conveyor having the upper conveyor and the lower conveyor arranged so as to overlap in the vertical direction has a first height of the upper conveyor by the operation of the lifting means. Are moved up and down to a lowered position matched to the height of the conveyor and a raised position where the height of the lower conveyor is matched to the height of the first conveyor. Therefore, for example, when the film formation target before film formation is placed on the upper conveyor, the lifting / lowering means moves the second conveyor to the raised position, thereby forming the film from the first conveyor to the lower conveyor. The film formation target can be moved later. Furthermore, the raising / lowering means moves the second conveyor to the lowered position, so that the film formation target before film formation can be moved from the upper conveyor to the first conveyor. As a result, while realizing a compact film forming apparatus in which the first and second conveyors are arranged in a line in the horizontal direction, a plurality of substrates can be continuously formed while maintaining the vacuum state of the film forming process chamber. It can be processed. Therefore, according to one aspect of the present invention, it is possible to achieve both reduction in size and improvement in productivity in a film forming apparatus.
上側コンベア及び下側コンベアはそれぞれ、成膜対象物を搬送するための搬送ローラと、搬送ローラが取り付けられた第1のシャフトと、第1のシャフトを回転駆動させる駆動手段とを有してもよい。この場合、上側コンベアと下側コンベアとがそれぞれ独立して駆動される。そのため、上側コンベアに載置された成膜対象物と、下側コンベアに載置された成膜対象物とを、それぞれ異なる方向に搬送することができる。 Each of the upper conveyor and the lower conveyor may include a transport roller for transporting the film formation target, a first shaft to which the transport roller is attached, and a driving unit that rotationally drives the first shaft. Good. In this case, the upper conveyor and the lower conveyor are driven independently. Therefore, the film-forming target placed on the upper conveyor and the film-forming target placed on the lower conveyor can be conveyed in different directions.
駆動手段は、成膜処理チャンバの外部に位置するモータと、成膜処理チャンバの外壁を上下方向に貫通すると共にモータに接続され、外壁に対して回転可能に取り付けられた円筒体と、軸方向に延びる凹溝又は突条が少なくとも一つ形成され、円筒体内をスライドできるように円筒体内に配置された第2のシャフトと、第2のシャフトの上端部に取り付けられた第1の歯車とを含み、第1のシャフトの端部には、第1の歯車と歯合する第2の歯車が取り付けられており、円筒体は、第2のシャフトの凹溝又は突条と係合しており、モータの回転力を第2のシャフトに伝達してもよい。この場合、第2のシャフトの凹溝又は突条と円筒体とが係合しているので、上側コンベア及び下側コンベアが昇降手段によって昇降しても、円筒体の回転に伴い第2のシャフトも回転される。そのため、上側コンベア及び下側コンベアの昇降にかかわらず、モータの駆動力を搬送ローラに伝達できる。 The driving means includes a motor located outside the film forming chamber, a cylindrical body that vertically passes through the outer wall of the film forming chamber and is connected to the motor and is rotatably attached to the outer wall, and an axial direction. A second shaft disposed in the cylindrical body so as to be slidable in the cylindrical body, and a first gear attached to the upper end of the second shaft. A second gear that meshes with the first gear is attached to the end of the first shaft, and the cylindrical body is engaged with a concave groove or protrusion of the second shaft. The torque of the motor may be transmitted to the second shaft. In this case, since the concave groove or the protrusion of the second shaft and the cylindrical body are engaged, even if the upper conveyor and the lower conveyor are moved up and down by the lifting means, the second shaft is accompanied by the rotation of the cylindrical body. Is also rotated. For this reason, the driving force of the motor can be transmitted to the transport rollers regardless of the elevation of the upper conveyor and the lower conveyor.
本発明によれば、小型化と生産性の向上との両立を図ることが可能な成膜処理装置を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the film-forming processing apparatus which can aim at coexistence with size reduction and the improvement of productivity can be provided.
本発明の実施形態について図面を参照して説明するが、以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the following embodiments are exemplifications for explaining the present invention and are not intended to limit the present invention to the following contents. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.
[成膜処理装置の構成]
成膜処理装置10は、図1に示されるように、ロードロックチャンバ12と、ロードロックチャンバ12に隣接して配置される成膜処理チャンバ14と、制御部(図示せず)を備える。ロードロックチャンバ12は、成膜処理チャンバ14内の真空状態を保持しつつ、成膜処理チャンバ14に対して基板S(例えばガラス基板)の出し入れを行うことを目的とする。ロードロックチャンバ12は、ローダ・アンローダ(図示せず)と、成膜処理チャンバ14との間に、ゲートバルブ(真空扉)16,18を介して配置されている。ゲートバルブ16が開放又は閉鎖されることで、ロードロックチャンバ12とローダ・アンローダとの間の空間が連通又は隔離される。ゲートバルブ16が開放又は閉鎖されることで、ロードロックチャンバ12と成膜処理チャンバ14との間の空間が連通又は隔離される。
[Structure of film forming apparatus]
As shown in FIG. 1, the
ロードロックチャンバ12の内部には、ローラコンベア20が設けられている。ローラコンベア20は、複数の搬送ローラと、各搬送ローラを回転駆動するための動力源とで構成されている。搬送ローラの回転方向に応じて、ローダ・アンローダから成膜処理チャンバへ(図1において左から右へ)、又は成膜処理チャンバからローダ・アンローダへ(図1において右から左)と、搬送ローラ上に載置された基板Sが水平方向(X方向)に沿って搬送される。
Inside the
成膜処理チャンバ14は、成膜手段22と、図示しない真空ポンプと、ローラコンベア24a,24bと、二段コンベア26と、昇降手段28とを有する。成膜手段22は、成膜処理チャンバ14に位置する基板Sの表面に薄膜を成膜するためのものであり、例えばスパッタリング装置や化学蒸着(CVD)装置などが用いられる。真空ポンプは、成膜処理チャンバ14に接続されている。ゲートバルブ16又はゲートバルブ18が閉鎖された状態で真空ポンプが動作することで、成膜処理チャンバ14内の気体が外部に排出され、成膜処理チャンバ14内が真空状態(例えば0.001Pa以下)に維持される。
The
ローラコンベア24a,24b及び二段コンベア9は、成膜処理チャンバ14内に配置されており、ゲートバルブ18に近い側から、二段コンベア26、ローラコンベア24a、ローラコンベア24bの順で水平方向に一列に並んでいる。具体的には、ローラコンベア24aは、二段コンベア26とローラコンベア24bとの間であって、成膜手段22と対向する位置に配置されている。二段コンベア26は、ローラコンベア24aとロードロックチャンバ12(ゲートバルブ18)との間に配置されている。
The
ローラコンベア24a,24bは、ローラコンベア20と同様に、複数の搬送ローラと、各搬送ローラを回転駆動するための動力源とで構成されている。搬送ローラの回転方向に応じて、ゲートバルブ18から離れる側へ(図1において左から右へ)、又はゲートバルブ18に向かう側へ(図1において右から左へ)と、搬送ローラ上に載置された基板Sが水平方向(X方向)に沿って搬送される。
As with the
二段コンベア26は、図1〜図3に示されるように、ベース部32と、上下方向(Z方向)に重なるように並べられた下側コンベア30A及び上側コンベア30Bとを有する。ベース部32は、下側コンベア30A及び上側コンベア30Bを支持するためのものであり、底板32aと、底板32aの側端部に取り付けられた一対の側板32bと、外方に向けて水平方向(Y方向)に延びるように側板32bに取り付けられた補助板32cとで構成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the two-
下側コンベア30Aは、下側ローラコンベア部34Aと、駆動手段36Aとを有する。下側ローラコンベア部34Aは、ベアリングB1を介して一対の側板32bに回転可能に取り付けられた4つのシャフト38Aと、各シャフト38Aの両端部にそれぞれ固定された一対の搬送ローラ40Aと、各シャフト38Aの一端に固定された傘歯車42Aとを含む。複数のシャフト38Aは、図1に示されるように、水平方向(X方向)に沿って並んでいる。そのため、本実施形態では、X方向において搬送ローラ40Aが2列並んでおり、これらの搬送ローラ40A上に載置された基板Sが水平方向(X方向)に搬送される。
The
駆動手段36Aは、図2及び図3に示されるように、成膜処理チャンバ14の外部に配置されたモータ44Aと、鉛直方向(Z方向)に沿って延びるシャフト46Aを下端部に有する円筒状のケース48Aと、ボールスプライン50Aと、スプラインシャフト52Aとを含む。モータ44Aの軸は、カップリングCAを介してシャフト46Aに接続されており、モータ44Aの回転力がケース48Aに伝達される。
As shown in FIGS. 2 and 3, the driving unit 36 </ b> A has a cylindrical shape having a motor 44 </ b> A disposed outside the
ケース48Aは、成膜処理チャンバ14の外壁に形成された貫通孔14aに挿通されると共に、鉛直方向(Z方向)に沿って延びている。ケース48Aは、複数のベアリングB2を介して成膜処理チャンバ14の外壁に回転可能に取り付けられている。ケース48Aと、成膜処理チャンバ14の外壁の貫通孔14aとの間には、シール部材54Aが配置されている。シール部材54Aにより、ケース48Aの回転が阻害されることなく、成膜処理チャンバ14内の真空状態が維持される。シール部材54Aとしては、成膜処理チャンバ14の内外を隔離できるものであればよく、例えばオイルシール、磁気シール、ウィルソンシールなどを利用できる。
The
ボールスプライン50Aは、円筒状の本体部56Aと、本体部内に保持された複数のボール部材58Aとを含む。本体部56Aは、ケース48A内に挿嵌され、ケース48Aに固定されている。複数のボール部材58Aは、本体部の軸方向に沿って並ぶように配列されて一群をなしている。本実施形態においては、一対のボール部材群が、互いに対向するように本体部56A内に配置されている。ボール部材58Aのうち少なくとも一部は、その表面が本体部56Aの内面から露出し且つ内側に向けて突出している。
スプラインシャフト52Aは、円柱状を呈しており、軸方向に延びる一対の凹溝60Aが表面に形成されている。凹溝60Aには、本体部56Aの内面から内側に向けて突出しているボール部材58Aが係合されている。そのため、スプラインシャフト52Aは、ボールスプライン50Aとの関係において、回転はできないものの、凹溝60Aがボール部材58Aの表面を滑りながら自身の軸方向(Z方向)に沿って摺動可能である。ただし、ボールスプライン50Aはケース48Aに固定されているので、ケース48Aが回転すると、本体部56A、ボール部材58A、凹溝60Aの順に回転力が伝達し、スプラインシャフト52Aが回転する。すなわち、スプラインシャフト52Aは、成膜処理チャンバ14の外壁との関係において、回転可能となっている。
The
スプラインシャフト52Aの上端部は、ベアリングB4を介して補助板32cに回転可能に取り付けられている。スプラインシャフト52Aの上端には、傘歯車62Aが固定されている。傘歯車62Aは、図1〜図3に示されるように、4つのシャフト38Aのうち最もローラコンベア24a寄りに位置するシャフト38Aの傘歯車42A(以下、このシャフト及び傘歯車を「シャフト38A1」「傘歯車42A1」とそれぞれ称し、他の3つのシャフト及び傘歯車を「シャフト38A2」「傘歯車42A2」とそれぞれ称する。)と歯合している。そのため、スプラインシャフト52Aが回転すると、その回転力が、傘歯車62A、傘歯車42A1及びシャフト38A1を介して搬送ローラ40A(以下、この搬送ローラを「搬送ローラ40A1」と称し、他の3つのシャフト38A2に固定されている搬送ローラを「搬送ローラ40A2」と称する。)に伝達される。ただし、このままでは他の3つのシャフト38A2が回転しない。
The upper end portion of the
そこで、二段コンベア26は、図1〜図3に示されるように、動力伝達手段64Aをさらに備える。動力伝達手段64Aは、水平方向(X方向)に沿って延びると共に回転可能にベース部32に支持されたシャフト64A1と、シャフト64A1に固定された4つの傘歯車64A2とを含む。各傘歯車64A2は、各傘歯車42Aとそれぞれ歯合している。従って、スプラインシャフト52Aが回転すると、その回転力が傘歯車62A、傘歯車42A1及び傘歯車42A1に歯合している傘歯車64A2の順に伝達され、シャフト64A1が回転する。シャフト64A1の回転に伴い他の3つの傘歯車64A2が回転すると、これら3つの傘歯車64A2と歯合している傘歯車42A2及びシャフト38A2を介して、回転力が搬送ローラ40A2に伝達される。
Therefore, the two-
上側コンベア30Bも、下側コンベア30Aと同様に構成されている。具体的には、上側コンベア30Bは、下側ローラコンベア部34Aと重なるように下側ローラコンベア部34Aの上方に位置する上側ローラコンベア部34Bと、駆動手段36B(図1参照)とを有する。上側ローラコンベア部34Bは、ベアリングB3を介して一対の側板32bに回転可能に取り付けられた4つのシャフト38Bと、各シャフト38Bの両端部にそれぞれ固定された一対の搬送ローラ40Bと、各シャフト38Bの一端に固定された傘歯車42Bとを含む。複数のシャフト38Bは、図1に示されるように、複数のシャフト38Aの上方において水平方向(X方向)に沿って並んでいる。そのため、本実施形態では、X方向において搬送ローラ40Bが2列並んでおり、これらの搬送ローラ40B上に載置された基板Sが水平方向(X方向)に搬送される。
The
駆動手段36Bは、図示していないが、成膜処理チャンバ14の外部に配置されたモータ44Bと、鉛直方向(Z方向)に沿って延びるシャフト46Bを下端部に有する円筒状のケース48Bと、ボールスプライン50Bと、スプラインシャフト52Bとを含む。モータ44Bの軸は、カップリングCBを介してシャフト46Bに接続されており、モータ44Bの回転力がケース48Bに伝達される。
Although not shown, the driving
ケース48Bは、成膜処理チャンバ14の外壁に形成された貫通孔に挿通されると共に、鉛直方向(Z方向)に沿って延びている。ケース48Bは、複数のベアリングを介して成膜処理チャンバ14の外壁に回転可能に取り付けられている。ケース48Bと、成膜処理チャンバ14の外壁の貫通孔との間には、シール部材54Bが配置されている。シール部材54Bにより、ケース48Bの回転が阻害されることなく、成膜処理チャンバ14内の真空状態が維持される。シール部材54Bとしては、成膜処理チャンバ14の内外を隔離できるものであればよく、例えばオイルシール、磁気シール、ウィルソンシールなどを利用できる。
The case 48B is inserted through a through hole formed in the outer wall of the
ボールスプライン50Bは、円筒状の本体部56Bと、本体部内に保持された複数のボール部材58Bとを含む。本体部56Bは、ケース48B内に挿嵌され、ケース48Bに固定されている。複数のボール部材58Bは、本体部の軸方向に沿って並ぶように配列されて一群をなしている。本実施形態においては、一対のボール部材群が、互いに対向するように本体部56B内に配置されている。ボール部材58Bのうち少なくとも一部は、その表面が本体部56Bの内面から露出し且つ内側に向けて突出している。 The ball spline 50B includes a cylindrical main body portion 56B and a plurality of ball members 58B held in the main body portion. The main body 56B is inserted into the case 48B and fixed to the case 48B. The plurality of ball members 58B are arranged in a line along the axial direction of the main body portion to form a group. In the present embodiment, the pair of ball member groups are disposed in the main body portion 56B so as to face each other. At least a part of the ball member 58B has a surface exposed from the inner surface of the main body portion 56B and protruding inward.
スプラインシャフト52Bは、円柱状を呈しており、軸方向に延びる一対の凹溝60Bが表面に形成されている。凹溝60Bには、本体部56Bの内面から内側に向けて突出しているボール部材58Bが係合されている。そのため、スプラインシャフト52Bは、ボールスプライン50Bとの関係において、回転はできないものの、凹溝60Bがボール部材58Bの表面を滑りながら自身の軸方向(Z方向)に沿って摺動可能である。ただし、ボールスプライン50Bはケース48Bに固定されているので、ケース48Bが回転すると、本体部56B、ボール部材58B、凹溝60Bの順に回転力が伝達し、スプラインシャフト52Bが回転する。すなわち、スプラインシャフト52Bは、成膜処理チャンバ14の外壁との関係において、回転可能となっている。
The spline shaft 52B has a columnar shape, and a pair of concave grooves 60B extending in the axial direction are formed on the surface. A ball member 58B that protrudes inward from the inner surface of the main body portion 56B is engaged with the concave groove 60B. Therefore, although the spline shaft 52B cannot rotate in relation to the ball spline 50B, the concave groove 60B can slide along its own axial direction (Z direction) while sliding on the surface of the ball member 58B. However, since the ball spline 50B is fixed to the case 48B, when the case 48B rotates, the rotational force is transmitted in the order of the main body 56B, the ball member 58B, and the concave groove 60B, and the spline shaft 52B rotates. That is, the spline shaft 52 </ b> B is rotatable in relation to the outer wall of the film forming
スプラインシャフト52Bの上端部は、ベアリングを介して補助板32cに回転可能に取り付けられている。スプラインシャフト52Bの上端には、傘歯車62Bが固定されている。傘歯車62Bは、図1〜図3に示されるように、4つのシャフト38Bのうち最もゲートバルブ18寄りに位置するシャフト38Bの傘歯車42B(以下、このシャフト及び傘歯車を「シャフト38B1」「傘歯車42B1」とそれぞれ称し、他の3つのシャフト及び傘歯車を「シャフト38B2」「傘歯車42B2」とそれぞれ称する。)と歯合している。そのため、スプラインシャフト52Bが回転すると、その回転力が、傘歯車62B、傘歯車42B1及びシャフト38B1を介して搬送ローラ40B(以下、この搬送ローラを「搬送ローラ40B1」と称し、他の3つのシャフト38B2に固定されている搬送ローラを「搬送ローラ40B2」と称する。)に伝達される。ただし、このままでは他の3つのシャフト38B2が回転しない。
The upper end portion of the spline shaft 52B is rotatably attached to the
そこで、二段コンベア26は、図1〜図3に示されるように、動力伝達手段64Bをさらに備える。動力伝達手段64Bは、水平方向(X方向)に沿って延びると共に回転可能にベース部32に支持されたシャフト64B1と、シャフト64B1に固定された4つの傘歯車64B2とを含む。各傘歯車64B2は、各傘歯車42Bとそれぞれ歯合している。従って、スプラインシャフト52Bが回転すると、その回転力が傘歯車62B、傘歯車42B1及び傘歯車42B1に歯合している傘歯車64B2の順に伝達され、シャフト64B1が回転する。シャフト64B1の回転に伴い他の3つの傘歯車64B2が回転すると、これら3つの傘歯車64B2と歯合している傘歯車42B2及びシャフト38B2を介して、回転力が搬送ローラ40B2に伝達される。
Therefore, the two-
昇降手段28は、図2に示されるように、エアシリンダ66と、シャフト68と、真空ベローズ70と、一対のガイド棒72a及びガイド板72bで構成されたガイド部材72とを有する。エアシリンダ66は、一方向(本実施形態ではZ方向)に伸縮可能なロッド66aを含んでいる。
As shown in FIG. 2, the elevating
シャフト68は、成膜処理チャンバ14の外壁に形成された貫通孔14bに挿通されると共に、鉛直方向(Z方向)に沿って延びている。シャフト68の下端は、ガイド板72bを介してロッド66aに固定されており、シャフト68の上端は、ベース部32の底板32aに固定されている。そのため、エアシリンダ66がロッド66aを伸縮動作させると、シャフト68を介して二段コンベア26(ベース部32及びローラコンベア部34A,34B)が上下動する。その結果、ベース部32及びローラコンベア部34A,34Bは、図1〜図3に示される下降位置と、図4に示される上昇位置との間を、上下に移動する。具体的には、ローラコンベア部34A,34Bが下降位置にある場合、上側ローラコンベア部34Bの搬送ローラ40Bが、他のローラコンベア20,24a,24bの搬送ローラと略同じ高さに位置する(図1、図5(a)、図5(c)、図5(e)参照)。一方、ローラコンベア部34A,34Bが上昇位置にある場合、下側ローラコンベア部34Aの搬送ローラ40Aが、他のローラコンベア20,24a,24bの搬送ローラと略同じ高さに位置する(図5(b)、図5(d)参照)。
The
エアシリンダ66の動作に応じてベース部32が上下動すると、ベース部32の補助板32cに回転可能に取り付けられたスプラインシャフト52A,52Bも、凹溝60Aがボール部材58Aの表面を滑りながら上下動する。一方、ボール部材58A,58Bを介してスプラインシャフト52A,52Bと係合しているボールスプライン50A,50Bは、ケース48A,48Bに固定されているため上下動しない。
When the
真空ベローズ70は、シャフト68を覆うように、成膜処理チャンバ14の外壁とガイド板72bとの間に配置されている。この真空ベローズ70により、成膜処理チャンバ14の内外が隔離され、成膜処理チャンバ14内の真空状態が維持される。一対のガイド棒72aは、円柱状を呈しており、成膜処理チャンバ14の外壁の下面から下側に向けて突出している。ガイド板72bには、ガイド棒72aの外形に対応した円形状を呈する貫通孔72cが2つ形成されている。各ガイド棒72aが貫通孔72cにそれぞれ挿通されることで、ガイド板72bがガイド棒72aに沿って移動可能となる。
The vacuum bellows 70 is disposed between the outer wall of the
制御部は、ローダ・アンローダ、ゲートバルブ16,18、成膜手段22、ローラコンベア20,24a,24b及び二段コンベア26に接続されている。制御部は、ローダ・アンローダを制御して、ロードロックチャンバ12への基板Sの搬入、及びロードロックチャンバ12からの基板Sの搬出を行わせる。制御部は、ゲートバルブ16,18の開閉を制御する。制御部は、成膜手段22の動作(例えば、成膜材料の放散量)を制御する。制御部は、ローラコンベア20,24a,24bの搬送ローラの回転方向や回転速度を制御する。制御部は、二段コンベア26のモータ44A,44Bに指示して搬送ローラ40A,40Bの回転方向や回転速度を制御すると共に、エアシリンダ66に指示してローラコンベア部34A,34Bの上下動を制御する。
The control unit is connected to a loader / unloader,
[成膜処理装置の動作]
続いて、図1〜図5を参照して、成膜処理装置10の動作について説明する。まず、ゲートバルブ18が閉鎖している状態において制御部が真空ポンプに指示して、成膜処理チャンバ14内を真空状態とする。このとき、ローラコンベア部34A,34Bは、下降位置に位置した状態(上側コンベア30Bの高さがローラコンベア20,24a,24bの高さに合わせられた状態)である。続いて、ゲートバルブ16が開放している状態において、制御部がローダ・アンローダに指示して、成膜前の基板S(以下、「基板S1」と称する。)をロードロックチャンバ12内に搬入し、ローラコンベア20の搬送ローラ上に当該基板S1を載置する。続いて、制御部がゲートバルブ16,18に指示して、ゲートバルブ16を閉鎖させた後にゲートバルブ18を開放させる。この状態で、制御部からの指示に基づきローラコンベア20の各搬送ローラを回転させることで、基板S1が上側ローラコンベア部34Bへと搬送される。続いて、制御部がゲートバルブ18に指示して、ゲートバルブ18を閉鎖させる。
[Operation of film forming apparatus]
Next, the operation of the
続いて、制御部の指示に基づきモータ44Bを回転駆動させ、その回転力をケース48B、ボールスプライン50B、スプラインシャフト52B、傘歯車62B,42B、動力伝達手段64Bの順に伝達させて、4つのシャフト38Bを介して搬送ローラ40Bを回転させる。これにより、搬送ローラ40B上に載置されている基板S1が、ローラコンベア24aに向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される(図5(a)参照)。同様に、制御部の指示に基づきローラコンベア24a,24bの搬送ローラを回転させることで、基板S1がローラコンベア24bに向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される。
Subsequently, the motor 44B is driven to rotate based on an instruction from the control unit, and the rotational force is transmitted in the order of the case 48B, the ball spline 50B, the spline shaft 52B, the bevel gears 62B and 42B, and the power transmission means 64B. The
基板S1がローラコンベア24bに到達すると、制御部の指示に基づきローラコンベア24a,24bの搬送ローラを逆回転させる。これにより、基板S1が二段コンベア26に向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される(図5(b)参照)。つまり、基板S1は、成膜手段22の下方を往復移動する。この基板S1の往復移動の際に制御部が成膜手段22を動作させると、所定厚さの薄膜が基板S1上に成膜される。基板S1の往復移動の際に、往路及び復路で共に同じ材料が基板S1上に成膜されてもよいし、往路と復路とで異なる材料(例えば、往路ではCrで復路ではCu)が基板S1上に成膜されてもよい。
When the substrate S1 reaches the
基板S1が往復移動している間に、制御部はゲートバルブ16及びローダ・アンローダにも指示し、ゲートバルブ16を開放させた後に、次の基板S1をロードロックチャンバ12に搬入し、再びゲートバルブ16を閉鎖する(図5(b)参照)。基板S1が往復移動している間に、制御部はエアシリンダ66にも指示し、ローラコンベア部34A,34Bを上昇位置に位置させる。これにより、下側コンベア30Aの高さがローラコンベア20,24a,24bの高さに合わせられた状態となる。そのため、ローラコンベア24aから二段コンベア26に搬送される成膜後の基板S(以下、成膜後の基板を「基板S2」と称する)は、下側ローラコンベア部34Aの搬送ローラ40A上に到達する(図5(b)参照)。
While the substrate S1 is reciprocating, the control unit also instructs the
続いて、制御部はエアシリンダ66に指示し、ローラコンベア部34A,34Bを下降位置に位置させる(図5(c)参照)。これにより、上側コンベア30Bの高さがローラコンベア20,24a,24bの高さに合わせられた状態となる。続いて、制御部がゲートバルブ16,18に指示して、ゲートバルブ16を閉鎖させた後にゲートバルブ18を開放させる。この状態で、制御部からの指示に基づきローラコンベア20の各搬送ローラを回転させることで、基板S1が上側ローラコンベア部34Bへと搬送される(図5(c)参照)。これにより、搬送ローラ40B上に基板S1が載置された状態となる。
Subsequently, the control unit instructs the
続いて、制御部はエアシリンダ66に指示して、ローラコンベア部34A,34Bを上昇位置に位置させる(図5(d)参照)。これにより、下側コンベア30Aの高さがローラコンベア20,24a,24bの高さに合わせられた状態となる。続いて、制御部の指示に基づきモータ44Aを回転駆動させ、その回転力をケース48A、ボールスプライン50A、スプラインシャフト52A、傘歯車62A,42A、動力伝達手段64Aの順に伝達させて、4つのシャフト38Aを介して搬送ローラ40Aを回転させる。これにより、搬送ローラ40A上に載置されている基板S2が、ローラコンベア20に向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される(図5(d)参照)。
Subsequently, the control unit instructs the
続いて、制御部はゲートバルブ16,18に指示して、ゲートバルブ18を閉鎖させた後にゲートバルブ16を開放させる。続いて、制御部はローダ・アンローダに指示して、ローラコンベア20の搬送ローラ上に載置されている基板S2をロードロックチャンバ12から搬出する(図5(e)参照)。
Subsequently, the control unit instructs the
続いて、制御部はエアシリンダ66に指示して、ローラコンベア部34A,34Bを下降位置に位置させる。これにより、上側コンベア30Bの高さがローラコンベア20,24a,24bの高さに合わせられた状態となる。続いて、制御部の指示に基づき上側ローラコンベア部34Bの搬送ローラを回転させることで、搬送ローラ40B上に載置されている基板S1が、ローラコンベア24aに向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される(図5(e)参照)。以上の工程が繰り返されることで、成膜前の基板S1の搬入及び成膜と、成膜後の基板S2の搬出とが順次行われる。
Subsequently, the control unit instructs the
以上より、本実施形態に係る成膜処理装置10を用いた成膜方法は、少なくとも以下の工程を含むことにより、成膜前の基板S1と成膜後の基板S2とを成膜処理チャンバ14内で入れ替えつつ、複数の基板Sに対して順次成膜が行われる。
(1)エアシリンダ66により下側コンベア30Aの高さとローラコンベア24aの高さとを合せる工程
(2)成膜後の基板S2をローラコンベア24aから下側コンベア30Aへと搬送する工程
(3)真空状態のロードロックチャンバ12から成膜前の基板S1を上側コンベア30Bに搬入する工程
(4)真空状態のロードロックチャンバ12に成膜後の基板S2を搬出する工程
(5)エアシリンダ66により上側コンベア30Bの高さとローラコンベア24aの高さとを合わせる工程
(6)成膜前の基板S1を上側コンベア30Bからローラコンベア24aへと搬送する工程
(7)ローラコンベア24a上に位置する基板S1に対して成膜手段22により成膜を行う工程
As described above, the film formation method using the film
(1) Step of matching the height of the
[成膜処理装置の作用及び効果]
以上のような本実施形態では、上下方向に重なるように配置された上側コンベア30B及び下側コンベア30Aを有する二段コンベア26が、エアシリンダ66(昇降手段28)の動作により、上側コンベア30Bの高さがローラコンベア24aの高さに合わせられた下降位置と、下側コンベア30Aの高さがローラコンベア24aの高さに合わせられた上昇位置とに、昇降される。従って、例えば、成膜前の基板S1が上側コンベア30Bに載置された状態でエアシリンダ66が二段コンベア26を上昇位置に移動させることで、ローラコンベア24aから下側コンベア30Aへと成膜後の成膜後の基板S2の搬送を行える。さらに、エアシリンダ66が二段コンベア26を下降位置に移動させることで、上側コンベアからローラコンベア24aへと成膜前の基板S1の搬送を行える。その結果、二段コンベア26及びローラコンベア24aが水平方向に一列に並んで配置されたコンパクトな成膜処理装置10を実現しつつ、成膜処理チャンバ14の真空状態を保持したまま連続して複数の基板Sを処理できる。よって、本実施形態によれば、成膜処理装置10において、小型化と生産性の向上との両立を図ることが可能となる。
[Operation and effect of film forming apparatus]
In the present embodiment as described above, the two-
本実施形態では、下側コンベア30A及び上側コンベア30Bはそれぞれ、基板Sを搬送するための搬送ローラ40A,40Bと、搬送ローラ40A,40Bが取り付けられたシャフト38A,38Bと、シャフト38A,38Bを回転駆動させる駆動手段36A,36Bとを有している。そのため、下側コンベア30Aと上側コンベア30Bとはそれぞれ、各駆動手段36A,36Bによって独立して駆動される。従って、上側コンベア30Bに載置された基板Sと、下側コンベア30Aに載置された基板Sとを、それぞれ異なる方向に搬送することができる。
In the present embodiment, the
本実施形態では、駆動手段36A,36Bは、成膜処理チャンバ14の外部に配置されたモータ44A,44Bと、成膜処理チャンバ14の外壁を上下方向に貫通すると共にモータ44A,44Bに接続され、当該外壁に対して回転可能に取り付けられたケース48A,48Bと、ケース48A,48B内に挿嵌されたボールスプライン50A,50Bと、軸方向に延びる凹溝60A,60Bが形成され、ボールスプライン50A,50Bに対して軸方向にスライド可能なスプラインシャフト52A,52Bと、スプラインシャフト52A,52Bの上端部に取り付けられた傘歯車62A,62Bと含む。傘歯車62A,62Bは、シャフト38A,38Bの端部に取り付けられた傘歯車42A1,42B1と歯合している。ボールスプライン50A,50Bのボール部材58A,58Bは、スプラインシャフト52A,52Bの凹溝60A,60Bと係合している。そのため、下側コンベア30A及び上側コンベア30Bが昇降手段28によって昇降した場合でも、モータ44A,44Bの回転力が、ケース48A,48B及びボールスプライン50A,50Bを介してスプラインシャフト52A,52Bに伝達され、スプラインシャフト52A,52Bが回転される。従って、下側コンベア30A及び上側コンベア30Bの昇降にかかわらず、モータ44A,44Bの駆動力を搬送ローラ40A,40Bに伝達できる。
In the present embodiment, the driving means 36A and 36B are connected to the
[他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、成膜処理装置10の動作は、上記した実施形態と異なっていてもよい。ここで、図6を参照して、成膜処理装置10の他の動作について説明する。まず、ゲートバルブ18が閉鎖している状態において制御部が真空ポンプに指示して、成膜処理チャンバ14内を真空状態とする。このとき、ローラコンベア部34A,34Bは、下降位置に位置した状態(上側コンベア30Bの高さがローラコンベア20,24a,24bの高さに合わせられた状態)である。続いて、ゲートバルブ16が開放している状態において、制御部がローダ・アンローダに指示して、基板S1をロードロックチャンバ12内に搬入し、ローラコンベア20の搬送ローラ上に当該基板S1を載置する。続いて、制御部がゲートバルブ16,18に指示して、ゲートバルブ16を閉鎖させた後にゲートバルブ18を開放させる。この状態で、制御部からの指示に基づきローラコンベア20の各搬送ローラを回転させることで、基板S1が上側ローラコンベア部34Bへと搬送される。続いて、制御部がゲートバルブ18に指示して、ゲートバルブ18を閉鎖させる。
[Other Embodiments]
As mentioned above, although embodiment of this invention was described in detail, this invention is not limited to above-described embodiment. For example, the operation of the
続いて、制御部の指示に基づきモータ44Bを回転駆動させ、その回転力をケース48B、ボールスプライン50B、スプラインシャフト52B、傘歯車62B,42B、動力伝達手段64Bの順に伝達させて、4つのシャフト38Bを介して搬送ローラ40Bを回転させる。これにより、搬送ローラ40B上に載置されている基板S1が、ローラコンベア24aに向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される(図6(a)参照)。同様に、制御部の指示に基づきローラコンベア24a,24bの搬送ローラを回転させることで、基板S1がローラコンベア24bに向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される。
Subsequently, the motor 44B is driven to rotate based on an instruction from the control unit, and the rotational force is transmitted in the order of the case 48B, the ball spline 50B, the spline shaft 52B, the bevel gears 62B and 42B, and the power transmission means 64B. The
基板S1がローラコンベア24bに到達すると、制御部の指示に基づきローラコンベア24a,24bの搬送ローラを逆回転させる。これにより、基板S1が二段コンベア26に向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される(図6(b)参照)。つまり、基板S1は、成膜手段22の下方を往復移動する。この基板S1の往復移動の際に制御部が成膜手段22を動作させると、所定厚さの薄膜が基板S1上に成膜される。ローラコンベア部34A,34Bが下降位置に位置しているため、ローラコンベア24aから二段コンベア26に搬送される成膜後の基板S2は、上側ローラコンベア部34Bの搬送ローラ40B上に到達する(図6(b)参照)。基板S1が往復移動している間に、制御部はゲートバルブ16及びローダ・アンローダにも指示し、ゲートバルブ16を開放させた後に、次の基板S1をロードロックチャンバ12に搬入し、再びゲートバルブ16を閉鎖する(図6(b)参照)。
When the substrate S1 reaches the
続いて、制御部はエアシリンダ66に指示し、ローラコンベア部34A,34Bを上昇位置に位置させる。これにより、下側コンベア30Aの高さがローラコンベア20,24a,24bの高さに合わせられた状態となる。続いて、制御部がゲートバルブ16,18に指示して、ゲートバルブ16を閉鎖させた後にゲートバルブ18を開放させる。この状態で、制御部からの指示に基づきローラコンベア20の各搬送ローラを回転させることで、基板S1が下側ローラコンベア部34Aへと搬送される(図6(c)参照)。これにより、搬送ローラ40A上に基板S1が載置された状態となる。
Subsequently, the control unit instructs the
続いて、制御部の指示に基づきモータ44Aを回転駆動させ、その回転力をケース48A、ボールスプライン50A、スプラインシャフト52A、傘歯車62A,42A、動力伝達手段64Aの順に伝達させて、4つのシャフト38Aを介して搬送ローラ40Aを回転させる。これにより、搬送ローラ40A上に載置されている基板S1が、ローラコンベア24aに向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される(図6(d)参照)。
Subsequently, the
続いて、制御部はエアシリンダ66に指示して、ローラコンベア部34A,34Bを下降位置に位置させる(図6(e)参照)。これにより、上側コンベア30Bの高さがローラコンベア20,24a,24bの高さに合わせられた状態となる。続いて、制御部の指示に基づき上側ローラコンベア部34Bの搬送ローラを回転させることで、搬送ローラ40B上に載置されている基板S2が、ローラコンベア20に向けて所定の速度で水平方向(X方向)に搬送される(図6(e)参照)。
Subsequently, the control unit instructs the
続いて、制御部はゲートバルブ16,18に指示して、ゲートバルブ18を閉鎖させた後にゲートバルブ16を開放させる。続いて、制御部はローダ・アンローダに指示して、ローラコンベア20の搬送ローラ上に載置されている基板S2をロードロックチャンバ12から搬出する(図6(e)参照)。以上の工程が繰り返されることで、成膜前の基板S1の搬入及び成膜と、成膜後の基板S2の搬出とが順次行われる。
Subsequently, the control unit instructs the
以上より、本実施形態に係る成膜処理装置10を用いた他の成膜方法は、少なくとも以下の工程を含むことにより、成膜前の基板S1と成膜後の基板S2とを成膜処理チャンバ14内で入れ替えつつ、複数の基板Sに対して順次成膜が行われる。
(1)エアシリンダ66により上側コンベア30Bの高さとローラコンベア24aの高さとを合せる工程
(2)成膜後の基板S2をローラコンベア24aから上側コンベア30Bへと搬送する工程
(3)エアシリンダ66により下側コンベア30Aの高さとローラコンベア24aの高さとを合わせる工程
(4)真空状態のロードロックチャンバ12から成膜前の基板S1を下側コンベア30Aに搬入する工程
(5)成膜前の基板S1を下側コンベア30Bからローラコンベア24aへと搬送する工程
(6)真空状態のロードロックチャンバ12に成膜後の基板S2を搬出する工程
(7)ローラコンベア24a上に位置する基板S1に対して成膜手段22により成膜を行う工程
As described above, another film formation method using the film
(1) Step of matching the height of the
上記の実施形態では、ローラコンベア部34A,34B(下側コンベア30A及び上側コンベア30B)を昇降させるためにエアシリンダ66を用いたが、一方向に往復動作できるものであればエアシリンダ66に限定されずに種々の直動機構を採用することができる。
In the above embodiment, the
上記の実施形態では、基板Sを水平方向に搬送するために搬送ローラを用いたが、水平方向の搬送が可能であればローラ以外の他の構造(例えばベルトなど)であってもよい。 In the above embodiment, the transport roller is used to transport the substrate S in the horizontal direction, but other structures (for example, a belt or the like) other than the roller may be used as long as the transport in the horizontal direction is possible.
上記の実施形態では、ケース48A,48Bに対するスプラインシャフト52A,52Bの摺動と、ケース48A,48Bからのスプラインシャフト52A,52Bへの回転力の伝達とを、スプラインシャフト52A,52Bの凹溝60Aと、ケース48A,48Bに固定されたボールスプライン50A,50Bのボール部材58A,58Bとの係合によって実現していた。しかしながら、一の部材と他の部材との間での摺動及び回転力の伝達を、他の構成により実現してもよい。例えば、軸方向に延びる凹溝又は突条が少なくとも一つ形成されたシャフトと、当該凹溝又は突条と係合する凸部又は凹部を有し、スライド可能にシャフトが内部に配置された円筒体とにより、実現することができる。
In the above-described embodiment, the sliding of the
上記の実施形態では、基板Sの表面に成膜を行ったが、平板、曲板、フィルムなどの種々の形状を呈する成膜対象物に対して成膜を行ってもよい。 In the above embodiment, the film is formed on the surface of the substrate S. However, the film may be formed on a film formation target having various shapes such as a flat plate, a curved plate, and a film.
10…成膜処理装置、12…ロードロックチャンバ、14…成膜処理チャンバ、20,24a,24b…ローラコンベア、22…成膜手段、26…二段コンベア、28…昇降手段、30A…下側コンベア、30B…上側コンベア、36A,36B…駆動手段、38A,38B…シャフト、40A,40B…搬送ローラ、42A,42B,62A,62B…傘歯車、44A,44B…モータ、48A,48B…ケース、50A,50B…ボールスプライン、52A,52B…スプラインシャフト、60A,60B…凹溝、S…基板。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記成膜処理チャンバ内を真空状態とする真空ポンプと、
前記成膜処理チャンバ内の成膜対象物の表面に成膜を行わせる成膜手段と、
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記成膜手段に対向する対向領域と、前記成膜手段よりも前記ロードロックチャンバから離れる側に位置する非対向領域とを含む第1のコンベアと、
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記第1のコンベアの前記対向領域と前記ロードロックチャンバとの間に配置された第2のコンベアであって、上下方向に重なるように並べられた上側コンベア及び下側コンベアを有する第2のコンベアと、
前記上側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた下降位置と、前記下側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた上昇位置とに、前記第2のコンベアを昇降させる昇降手段と、
制御部とを備え、
前記制御部は、前記真空ポンプに指示して前記成膜処理チャンバ内を真空状態に維持しつつ、
前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの一方から前記第1のコンベアに搬送させる第1の処理と、
前記第1の処理の後に、前記第1のコンベア及び前記成膜手段に指示して、成膜前の成膜対象物を前記第1のコンベアによって前記対向領域、前記非対向領域及び前記対向領域の順に往復移動させつつ、当該往復移動中に前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の一方に移動させることにより、当該往復移動後の成膜対象物を前記対向領域から前記上側コンベア及び前記下側コンベアの他方に搬送させて、成膜前の成膜対象物の表面に成膜を行わせる第2の処理と、
前記第2の処理の後に、前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の他方に移動させる第3の処理と、
前記第3の処理の後に、前記ロードロックチャンバに指示して、成膜前の成膜対象物を前記ロードロックチャンバから前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方に搬送させる第4の処理と、
前記第4の処理の後に、前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の前記一方に移動させる第5の処理と、
前記第5の処理の後に、前記第2のコンベアに指示して、前記第2の処理において成膜が行われた成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記他方から前記ロードロックチャンバに搬送させる第6の処理とを実行する、成膜処理装置。 A deposition process chamber disposed adjacent to the load lock chamber;
A vacuum pump that evacuates the film forming chamber;
A film forming means for forming a film on the surface of the film forming object in the film forming chamber;
A film formation target is transported in the horizontal direction in the film formation processing chamber, and a facing area facing the film forming means, and a non-facing area located on the side farther from the load lock chamber than the film forming means, a first conveyor, including,
A film forming object is transported in the film forming chamber in the horizontal direction, and is a second conveyor disposed between the facing region of the first conveyor and the load lock chamber, and is vertically A second conveyor having an upper conveyor and a lower conveyor arranged to overlap
The lower position where the height of the upper conveyor is matched to the height of the first conveyor and the raised position where the height of the lower conveyor is matched to the height of the first conveyor Elevating means for elevating and lowering the conveyor of 2 ;
A control unit ,
The control unit instructs the vacuum pump to maintain a vacuum state in the film forming process chamber,
Instructing the second conveyor, a first process for conveying a film formation target before film formation from one of the upper conveyor and the lower conveyor to the first conveyor,
After the first treatment, the first conveyor and the film forming means are instructed to form the film formation target object before film formation by the first conveyor in the facing area, the non-facing area, and the facing area. The film forming target after the reciprocation is moved by instructing the elevating means during the reciprocation and moving the second conveyor to one of the ascending position and the descending position. A second process in which film formation is performed on the surface of the film formation target before film formation by transporting the opposite region to the other of the upper conveyor and the lower conveyor;
A third process for instructing the lifting means after the second process and moving the second conveyor to the other of the raised position and the lowered position;
A fourth process for instructing the load lock chamber after the third process to convey a film formation target object before film formation from the load lock chamber to the one of the upper conveyor and the lower conveyor; ,
A fifth process for instructing the lifting means after the fourth process to move the second conveyor to the one of the raised position and the lowered position;
After the fifth processing, the load conveyor is instructed to the second conveyor, and the film formation target formed in the second processing is transferred from the other of the upper conveyor and the lower conveyor to the load lock. to run and a sixth process of transporting the chamber, the film forming apparatus.
前記成膜処理チャンバ内を真空状態とする真空ポンプと、 A vacuum pump that evacuates the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内の成膜対象物の表面に成膜を行わせる成膜手段と、 A film forming means for forming a film on the surface of the film forming object in the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記成膜手段に対向する対向領域と、前記成膜手段よりも前記ロードロックチャンバから離れる側に位置する非対向領域とを含む第1のコンベアと、 A film formation target is transported in the horizontal direction in the film formation processing chamber, and a facing area facing the film forming means, and a non-facing area located on the side farther from the load lock chamber than the film forming means, A first conveyor comprising:
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記第1のコンベアの前記対向領域と前記ロードロックチャンバとの間に配置された第2のコンベアであって、上下方向に重なるように並べられた上側コンベア及び下側コンベアを有する第2のコンベアと、 A film forming object is transported in the film forming chamber in the horizontal direction, and is a second conveyor disposed between the facing region of the first conveyor and the load lock chamber, and is vertically A second conveyor having an upper conveyor and a lower conveyor arranged to overlap
前記上側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた下降位置と、前記下側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた上昇位置とに、前記第2のコンベアを昇降させる昇降手段と、 The lower position where the height of the upper conveyor is matched to the height of the first conveyor and the raised position where the height of the lower conveyor is matched to the height of the first conveyor Elevating means for elevating and lowering the conveyor of 2;
制御部とを備え、 A control unit,
前記制御部は、前記真空ポンプに指示して前記成膜処理チャンバ内を真空状態に維持しつつ、 The control unit instructs the vacuum pump to maintain a vacuum state in the film forming process chamber,
前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの一方から前記第1のコンベアに搬送させる第1の処理と、 Instructing the second conveyor, a first process for conveying a film formation target before film formation from one of the upper conveyor and the lower conveyor to the first conveyor,
前記第1の処理の後に、前記第1のコンベア及び前記成膜手段に指示して、成膜前の成膜対象物を前記第1のコンベアによって前記対向領域、前記非対向領域及び前記対向領域の順に往復移動させつつ、当該往復移動後の成膜対象物を前記対向領域から前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方に搬送させて、成膜前の成膜対象物の表面に成膜を行わせる第2の処理と、 After the first treatment, the first conveyor and the film forming means are instructed to form the film formation target object before film formation by the first conveyor in the facing area, the non-facing area, and the facing area. The film formation target after the reciprocation is transferred from the facing area to the one of the upper conveyor and the lower conveyor to form a film on the surface of the film formation target before film formation. A second process for performing
前記第2の処理の後に、前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の一方に移動させる第3の処理と、 A third process for instructing the lifting means after the second process to move the second conveyor to one of the raised position and the lowered position;
前記第3の処理の後に、前記ロードロックチャンバ及び前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記ロードロックチャンバから前記上側コンベア及び前記下側コンベアの他方を介して前記第1のコンベアに搬送させる第4の処理と、 After the third treatment, the load lock chamber and the second conveyor are instructed, and the film formation target before film formation is transferred from the load lock chamber to the other of the upper conveyor and the lower conveyor. A fourth process to be conveyed to the first conveyor;
前記第4の処理の後に、前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の他方に移動させる第5の処理と、 A fifth process for instructing the lifting means after the fourth process to move the second conveyor to the other of the raised position and the lowered position;
前記第5の処理の後に、前記第2のコンベアに指示して、前記第2の処理において成膜が行われた成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方から前記ロードロックチャンバに搬送させる第6の処理とを実行する、成膜処理装置。 After the fifth processing, the load conveyor is instructed to the second conveyor, and the film forming object on which the film is formed in the second processing is loaded from the one of the upper conveyor and the lower conveyor from the load lock. A film forming apparatus that executes a sixth process of transporting to a chamber.
前記成膜処理チャンバの外部に位置するモータと、
前記成膜処理チャンバの外壁を上下方向に貫通すると共に前記モータに接続され、前記外壁に対して回転可能に取り付けられた円筒体と、
軸方向に延びる凹溝又は突条が少なくとも一つ形成され、前記円筒体内をスライドできるように前記円筒体内に配置された第2のシャフトと、
前記第2のシャフトの上端部に取り付けられた第1の歯車とを含み、
前記第1のシャフトの端部には、前記第1の歯車と歯合する第2の歯車が取り付けられており、
前記円筒体は、前記第2のシャフトの前記凹溝又は前記突条と係合しており、前記モータの回転力を前記第2のシャフトに伝達する、請求項3に記載の成膜処理装置。 The driving means includes
A motor located outside the film formation chamber;
A cylindrical body that penetrates the outer wall of the film formation chamber in the vertical direction and is connected to the motor and is rotatably attached to the outer wall;
A second shaft disposed in the cylindrical body so that at least one concave groove or protrusion extending in the axial direction is formed and slidable in the cylindrical body;
And a first gear attached to an upper end portion of the second shaft,
A second gear that meshes with the first gear is attached to the end of the first shaft,
The film forming apparatus according to claim 3 , wherein the cylindrical body is engaged with the concave groove or the protrusion of the second shaft, and transmits the rotational force of the motor to the second shaft. .
前記成膜処理チャンバ内を真空状態とする真空ポンプと、 A vacuum pump that evacuates the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内の成膜対象物の表面に成膜を行わせる成膜手段と、 A film forming means for forming a film on the surface of the film forming object in the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記成膜手段に対向する対向領域と、前記成膜手段よりも前記ロードロックチャンバから離れる側に位置する非対向領域とを含む第1のコンベアと、 A film formation target is transported in the horizontal direction in the film formation processing chamber, and a facing area facing the film forming means, and a non-facing area located on the side farther from the load lock chamber than the film forming means, A first conveyor comprising:
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記第1のコンベアの前記対向領域と前記ロードロックチャンバとの間に配置された第2のコンベアであって、上下方向に重なるように並べられた上側コンベア及び下側コンベアを有する第2のコンベアと、 A film forming object is transported in the film forming chamber in the horizontal direction, and is a second conveyor disposed between the facing region of the first conveyor and the load lock chamber, and is vertically A second conveyor having an upper conveyor and a lower conveyor arranged to overlap
前記上側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた下降位置と、前記下側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた上昇位置とに、前記第2のコンベアを昇降させる昇降手段と、 The lower position where the height of the upper conveyor is matched to the height of the first conveyor and the raised position where the height of the lower conveyor is matched to the height of the first conveyor Elevating means for elevating and lowering the conveyor of 2;
制御部とを備える成膜処理装置を用いて、前記制御部が前記真空ポンプに指示して前記成膜処理チャンバ内を真空に維持した状態で成膜処理物を製造する方法であって、 A method of manufacturing a film-formed processed product in a state where the control unit instructs the vacuum pump to maintain the inside of the film-forming processing chamber in a vacuum using a film-forming processing apparatus including a control unit,
前記制御部が前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの一方から前記第1のコンベアに搬送させる第1の工程と、 A first step in which the control unit instructs the second conveyor to transfer a film formation object before film formation from one of the upper conveyor and the lower conveyor to the first conveyor;
前記第1の工程の後に、前記制御部が前記第1のコンベア及び前記成膜手段に指示して、成膜前の成膜対象物を前記第1のコンベアによって前記対向領域、前記非対向領域及び前記対向領域の順に往復移動させつつ、当該往復移動中に前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の一方に移動させることにより、当該往復移動後の成膜対象物を前記対向領域から前記上側コンベア及び前記下側コンベアの他方に搬送させて、成膜前の成膜対象物の表面に成膜を行わせる第2の工程と、 After the first step, the control unit instructs the first conveyor and the film forming means, and the film formation object before film formation is transferred to the facing area and the non-facing area by the first conveyor. And while reciprocating in the order of the facing area, the control unit instructs the lifting means during the reciprocating movement, and moves the second conveyor to one of the raised position and the lowered position, A second step of transporting the film formation target after the reciprocating movement from the facing region to the other of the upper conveyor and the lower conveyor to perform film formation on the surface of the film formation target before film formation;
前記第2の工程の後に、前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の他方に移動させる第3の工程と、 After the second step, the control unit instructs the lifting means to move the second conveyor to the other of the raised position and the lowered position,
前記第3の工程の後に、前記制御部が前記ロードロックチャンバに指示して、成膜前の成膜対象物を前記ロードロックチャンバから前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方に搬送させる第4の工程と、 After the third step, the control unit instructs the load lock chamber to transfer a film formation target object before film formation from the load lock chamber to the one of the upper conveyor and the lower conveyor. 4 steps,
前記第4の工程の後に、前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の前記一方に移動させる第5の工程と、 After the fourth step, the control unit instructs the lifting means to move the second conveyor to the one of the raised position and the lowered position,
前記第5の工程の後に、前記制御部が前記第2のコンベアに指示して、前記第2の工程において成膜が行われた成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記他方から前記ロードロックチャンバに搬送させる第6の工程とを含む、成膜処理物の製造方法。 After the fifth step, the control unit instructs the second conveyor, and the film formation target on which film formation has been performed in the second step is set to the other of the upper conveyor and the lower conveyor. And a sixth step of conveying the film to the load lock chamber.
前記成膜処理チャンバ内を真空状態とする真空ポンプと、 A vacuum pump that evacuates the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内の成膜対象物の表面に成膜を行わせる成膜手段と、 A film forming means for forming a film on the surface of the film forming object in the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記成膜手段に対向する対向領域と、前記成膜手段よりも前記ロードロックチャンバから離れる側に位置する非対向領域とを含む第1のコンベアと、 A film formation target is transported in the horizontal direction in the film formation processing chamber, and a facing area facing the film forming means, and a non-facing area located on the side farther from the load lock chamber than the film forming means, A first conveyor comprising:
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記第1のコンベアの前記対向領域と前記ロードロックチャンバとの間に配置された第2のコンベアであって、上下方向に重なるように並べられた上側コンベア及び下側コンベアを有する第2のコンベアと、 A film forming object is transported in the film forming chamber in the horizontal direction, and is a second conveyor disposed between the facing region of the first conveyor and the load lock chamber, and is vertically A second conveyor having an upper conveyor and a lower conveyor arranged to overlap
前記上側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた下降位置と、前記下側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた上昇位置とに、前記第2のコンベアを昇降させる昇降手段と、 The lower position where the height of the upper conveyor is matched to the height of the first conveyor and the raised position where the height of the lower conveyor is matched to the height of the first conveyor Elevating means for elevating and lowering the conveyor of 2;
制御部とを備える成膜処理装置を用いて、前記制御部が前記真空ポンプに指示して前記成膜処理チャンバ内を真空に維持した状態で成膜処理物を製造する方法であって、 A method of manufacturing a film-formed processed product in a state where the control unit instructs the vacuum pump to maintain the inside of the film-forming processing chamber in a vacuum using a film-forming processing apparatus including a control unit,
前記制御部が前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの一方から前記第1のコンベアに搬送させる第1の工程と、 A first step in which the control unit instructs the second conveyor to transfer a film formation object before film formation from one of the upper conveyor and the lower conveyor to the first conveyor;
前記第1の工程の後に、前記制御部が前記第1のコンベア及び前記成膜手段に指示して、成膜前の成膜対象物を前記第1のコンベアによって前記対向領域、前記非対向領域及び前記対向領域の順に往復移動させつつ、当該往復移動後の成膜対象物を前記対向領域から前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方に搬送させて、成膜前の成膜対象物の表面に成膜を行わせる第2の工程と、 After the first step, the control unit instructs the first conveyor and the film forming means, and the film formation object before film formation is transferred to the facing area and the non-facing area by the first conveyor. And moving the film formation target after the reciprocation from the facing area to the one of the upper conveyor and the lower conveyor while reciprocating in the order of the facing area, A second step of forming a film on the surface;
前記第2の工程の後に、前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の一方に移動させる第3の工程と、 After the second step, the control unit instructs the lifting means to move the second conveyor to one of the raised position and the lowered position;
前記第3の工程の後に、前記制御部が前記ロードロックチャンバ及び前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記ロードロックチャンバから前記上側コンベア及び前記下側コンベアの他方を介して前記第1のコンベアに搬送させる第4の工程と、 After the third step, the control unit instructs the load lock chamber and the second conveyor to transfer the film formation target before film formation from the load lock chamber to the upper conveyor and the lower conveyor. A fourth step of conveying to the first conveyor via the other;
前記第4の工程の後に、前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の他方に移動させる第5の工程と、 After the fourth step, the control unit instructs the lifting means to move the second conveyor to the other of the raised position and the lowered position,
前記第5の工程の後に、前記制御部が前記第2のコンベアに指示して、前記第2の工程において成膜が行われた成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方から前記ロードロックチャンバに搬送させる第6の工程とを含む、成膜処理物の製造方法。 After the fifth step, the control unit instructs the second conveyor, and the film formation target on which film formation has been performed in the second step is set to the one of the upper conveyor and the lower conveyor. And a sixth step of conveying the film to the load lock chamber.
前記成膜処理チャンバ内を真空状態とする真空ポンプと、 A vacuum pump that evacuates the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内の成膜対象物の表面に成膜を行わせる成膜手段と、 A film forming means for forming a film on the surface of the film forming object in the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記成膜手段に対向する対向領域と、前記成膜手段よりも前記ロードロックチャンバから離れる側に位置する非対向領域とを含む第1のコンベアと、 A film formation target is transported in the horizontal direction in the film formation processing chamber, and a facing area facing the film forming means, and a non-facing area located on the side farther from the load lock chamber than the film forming means, A first conveyor comprising:
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記第1のコンベアの前記対向領域と前記ロードロックチャンバとの間に配置された第2のコンベアであって、上下方向に重なるように並べられた上側コンベア及び下側コンベアを有する第2のコンベアと、 A film forming object is transported in the film forming chamber in the horizontal direction, and is a second conveyor disposed between the facing region of the first conveyor and the load lock chamber, and is vertically A second conveyor having an upper conveyor and a lower conveyor arranged to overlap
前記上側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた下降位置と、前記下側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた上昇位置とに、前記第2のコンベアを昇降させる昇降手段と、 The lower position where the height of the upper conveyor is matched to the height of the first conveyor and the raised position where the height of the lower conveyor is matched to the height of the first conveyor Elevating means for elevating and lowering the conveyor of 2;
制御部とを備える成膜処理装置を用いて、前記制御部が前記真空ポンプに指示して前記成膜処理チャンバ内を真空に維持した状態で成膜対象物の表面に成膜処理する方法であって、 A film forming apparatus including a control unit, wherein the control unit instructs the vacuum pump to perform a film forming process on the surface of the film forming object in a state where the inside of the film forming chamber is maintained in vacuum. There,
前記制御部が前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの一方から前記第1のコンベアに搬送させる第1の工程と、 A first step in which the control unit instructs the second conveyor to transfer a film formation object before film formation from one of the upper conveyor and the lower conveyor to the first conveyor;
前記第1の工程の後に、前記制御部が前記第1のコンベア及び前記成膜手段に指示して、成膜前の成膜対象物を前記第1のコンベアによって前記対向領域、前記非対向領域及び前記対向領域の順に往復移動させつつ、当該往復移動中に前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の一方に移動させることにより、当該往復移動後の成膜対象物を前記対向領域から前記上側コンベア及び前記下側コンベアの他方に搬送させて、成膜前の成膜対象物の表面に成膜を行わせる第2の工程と、 After the first step, the control unit instructs the first conveyor and the film forming means, and the film formation object before film formation is transferred to the facing area and the non-facing area by the first conveyor. And while reciprocating in the order of the facing area, the control unit instructs the lifting means during the reciprocating movement, and moves the second conveyor to one of the raised position and the lowered position, A second step of transporting the film formation target after the reciprocating movement from the facing region to the other of the upper conveyor and the lower conveyor to perform film formation on the surface of the film formation target before film formation;
前記第2の工程の後に、前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の他方に移動させる第3の工程と、 After the second step, the control unit instructs the lifting means to move the second conveyor to the other of the raised position and the lowered position,
前記第3の工程の後に、前記制御部が前記ロードロックチャンバに指示して、成膜前の成膜対象物を前記ロードロックチャンバから前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方に搬送させる第4の工程と、 After the third step, the control unit instructs the load lock chamber to transfer a film formation target object before film formation from the load lock chamber to the one of the upper conveyor and the lower conveyor. 4 steps,
前記第4の工程の後に、前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の前記一方に移動させる第5の工程と、 After the fourth step, the control unit instructs the lifting means to move the second conveyor to the one of the raised position and the lowered position,
前記第5の工程の後に、前記制御部が前記第2のコンベアに指示して、前記第2の工程において成膜が行われた成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記他方から前記ロードロックチャンバに搬送させる第6の工程とを含む、成膜処理方法。 After the fifth step, the control unit instructs the second conveyor, and the film formation target on which film formation has been performed in the second step is set to the other of the upper conveyor and the lower conveyor. And a sixth step of transporting the load to the load lock chamber.
前記成膜処理チャンバ内を真空状態とする真空ポンプと、 A vacuum pump that evacuates the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内の成膜対象物の表面に成膜を行わせる成膜手段と、 A film forming means for forming a film on the surface of the film forming object in the film forming chamber;
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記成膜手段に対向する対向領域と、前記成膜手段よりも前記ロードロックチャンバから離れる側に位置する非対向領域とを含む第1のコンベアと、 A film formation target is transported in the horizontal direction in the film formation processing chamber, and a facing area facing the film forming means, and a non-facing area located on the side farther from the load lock chamber than the film forming means, A first conveyor comprising:
前記成膜処理チャンバ内において成膜対象物を水平方向に搬送すると共に、前記第1のコンベアの前記対向領域と前記ロードロックチャンバとの間に配置された第2のコンベアであって、上下方向に重なるように並べられた上側コンベア及び下側コンベアを有する第2のコンベアと、 A film forming object is transported in the film forming chamber in the horizontal direction, and is a second conveyor disposed between the facing region of the first conveyor and the load lock chamber, and is vertically A second conveyor having an upper conveyor and a lower conveyor arranged to overlap
前記上側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた下降位置と、前記下側コンベアの高さが前記第1のコンベアの高さに合わせられた上昇位置とに、前記第2のコンベアを昇降させる昇降手段と、 The lower position where the height of the upper conveyor is matched to the height of the first conveyor and the raised position where the height of the lower conveyor is matched to the height of the first conveyor Elevating means for elevating and lowering the conveyor of 2;
制御部とを備える成膜処理装置を用いて、前記制御部が前記真空ポンプに指示して前記成膜処理チャンバ内を真空に維持した状態で成膜対象物の表面に成膜処理する方法であって、 A film forming apparatus including a control unit, wherein the control unit instructs the vacuum pump to perform a film forming process on the surface of the film forming object in a state where the inside of the film forming chamber is maintained in vacuum. There,
前記制御部が前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの一方から前記第1のコンベアに搬送させる第1の工程と、 A first step in which the control unit instructs the second conveyor to transfer a film formation object before film formation from one of the upper conveyor and the lower conveyor to the first conveyor;
前記第1の工程の後に、前記制御部が前記第1のコンベア及び前記成膜手段に指示して、成膜前の成膜対象物を前記第1のコンベアによって前記対向領域、前記非対向領域及び前記対向領域の順に往復移動させつつ、当該往復移動後の成膜対象物を前記対向領域から前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方に搬送させて、成膜前の成膜対象物の表面に成膜を行わせる第2の工程と、 After the first step, the control unit instructs the first conveyor and the film forming means, and the film formation object before film formation is transferred to the facing area and the non-facing area by the first conveyor. And moving the film formation target after the reciprocation from the facing area to the one of the upper conveyor and the lower conveyor while reciprocating in the order of the facing area, A second step of forming a film on the surface;
前記第2の工程の後に、前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の一方に移動させる第3の工程と、 After the second step, the control unit instructs the lifting means to move the second conveyor to one of the raised position and the lowered position;
前記第3の工程の後に、前記制御部が前記ロードロックチャンバ及び前記第2のコンベアに指示して、成膜前の成膜対象物を前記ロードロックチャンバから前記上側コンベア及び前記下側コンベアの他方を介して前記第1のコンベアに搬送させる第4の工程と、 After the third step, the control unit instructs the load lock chamber and the second conveyor to transfer the film formation target before film formation from the load lock chamber to the upper conveyor and the lower conveyor. A fourth step of conveying to the first conveyor via the other;
前記第4の工程の後に、前記制御部が前記昇降手段に指示して、前記第2のコンベアを前記上昇位置及び前記下降位置の他方に移動させる第5の工程と、 After the fourth step, the control unit instructs the lifting means to move the second conveyor to the other of the raised position and the lowered position,
前記第5の工程の後に、前記制御部が前記第2のコンベアに指示して、前記第2の工程において成膜が行われた成膜対象物を前記上側コンベア及び前記下側コンベアの前記一方から前記ロードロックチャンバに搬送させる第6の工程とを含む、成膜処理方法。 After the fifth step, the control unit instructs the second conveyor, and the film formation target on which film formation has been performed in the second step is set to the one of the upper conveyor and the lower conveyor. And a sixth step of transporting the load to the load lock chamber.
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