KR20080066690A - Measurement apparatus and measurement system for inspection of a surface of a substrate - Google Patents

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Abstract

The invention provides a measurement apparatus for inspection of a surface of a substrate (190), by means of a measurement head (110), having a sensor (111) for detection of the surface and having a pneumatic element (112) which is arranged alongside the sensor (111) and has an inlet opening (115) and at least one outlet opening (114), which points downwards. The measurement apparatus also has a surface positioning system (220), designed for precise positioning of the measurement head (110, 210) within an x-y plane above the substrate (190), and a compressed-air generating device (250), which is pneumatically coupled to the inlet opening (215), so that, when compressed air is applied to the pneumatic element (112, 212), the measurement head (110, 210) can be positioned at a predetermined height above the substrate (190), and slides on an air cushion. The invention also provides a measurement system having a plurality of abovementioned measurement apparatuses, which are arranged with respect to one another such that the respective sensors form a measurement row.

Description

기판 표면을 검사하기 위한 측정 장치 및 측정 시스템 {MEASUREMENT APPARATUS AND MEASUREMENT SYSTEM FOR INSPECTION OF A SURFACE OF A SUBSTRATE}MEASUREMENT APPARATUS AND MEASUREMENT SYSTEM FOR INSPECTION OF A SURFACE OF A SUBSTRATE

본 발명은 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치에 관한 것으로서, 상기 측정 장치는 센서를 구비하고, 상기 센서는 표면 위치 설정 시스템에 의하여 측정할 표면 위에 예정된 간격을 두고 위치 설정될 수 있다. 본 발명은 또한 전술한 다수의 측정 장치들을 구비한 측정 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a measuring device for inspecting a surface of a substrate, the measuring device having a sensor, which sensor can be positioned at predetermined intervals on the surface to be measured by a surface positioning system. The invention also relates to a measuring system having a plurality of measuring devices described above.

평탄한 면의 표면을 검사하는 분야에서, 센서는 일반적으로 측정할 기판 표면 위에 예정된 간격을 두고 위치 설정된다. 위치 설정은 통상적으로 위치 설정 시스템에 의해서 이루어지며, 상기 위치 설정 시스템에 의해 센서는 하나의 평면 내에서 측정할 표면과 평행하게 위치 설정될 수 있다. 따라서, 상기 위치 설정 시스템을 상응하게 구동시킴으로써, 예를 들어 곡류 형태의 동작에 의하여 측정할 전체 표면이 스캐닝 될 수 있다. 높은 측정 정확성에 도달하기 위하여 다수의 개별 센서들을 구비하는 센서들도 사용됨으로써, 결과적으로 다수 개의 측정점을 동시에 측정함으로써 특정 면에 대한 측정 시간은 개별 센서들의 개수에 상응하게 줄어든다.In the field of inspecting flat surface surfaces, sensors are generally positioned at predetermined intervals above the substrate surface to be measured. The positioning is usually done by a positioning system, which allows the sensor to be positioned parallel to the surface to be measured in one plane. Thus, by correspondingly driving the positioning system, the entire surface to be measured can be scanned, for example by operation in the form of a grain. Sensors with multiple individual sensors are also used to reach high measurement accuracy, so that by measuring multiple measurement points simultaneously, the measurement time for a particular plane is reduced correspondingly to the number of individual sensors.

측정 과제의 종류에 따라 상이한 센서들이 사용된다. 광학적인 검사에서는 통상적으로 예를 들어 하나의 행- 또는 면 센서를 구비한 카메라가 사용된다. 용량성 측정 과제에서는 하나 또는 다수의 측정용 바늘(prod)이 사용되며, 상기 측정용 바늘에는 특정 교류- 또는 직류 전압이 제공된다. 측정할 표면의 개별 측정점과 측정용 바늘 사이의 용량에 의존하는 개별 측정용 바늘 위를 흐르는 작은 전류가 측정 신호로서 이용된다.Different sensors are used depending on the kind of measurement task. In optical inspection, a camera with one row- or surface sensor is typically used, for example. In the capacitive measurement task one or more measuring needles are used, the measuring needles being provided with a specific alternating or direct current voltage. A small current flowing over the individual measuring needle depending on the capacity between the individual measuring point of the surface to be measured and the measuring needle is used as the measuring signal.

예를 들어 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display, LCD)용으로 사용되는 기판의 도체 트랙 구조물을 상기 LCD의 완성 전에 발생 가능한 결함 측면에서 검사하는 방법이 공지되어 있다. 따라서, 측정용 바늘과 상기 측정용 바늘에 마주 놓인 상기 도체 트랙 구조물의 영역 사이에서 이루어지는 상응하는 용량성 측정에 의해서는, 상기 도체 트랙 구조물의 원치 않는 단락, 단속 및 핀치(pinch) 효과가 검출될 수 있다. 이와 같은 결함들은 LCD-기판의 추가 처리 전에 복구될 수 있거나, 또는 LCD-기판은 제조 공정으로부터 분류될(sort out) 수 있다. 그럼으로써, 액정 디스플레이용 제조 비용은 어떤 경우에도 현저히 줄어들 수 있다.For example, there is a method for inspecting a conductive track structure of the substrate used for a liquid crystal display (L iquid C rystal D isplay, LCD) in terms of defects that can be generated before the completion of the LCD is known. Thus, by corresponding capacitive measurements made between the measuring needle and the area of the conductor track structure opposite the measuring needle, unwanted short-circuit, interruption and pinch effects of the conductor track structure can be detected. Can be. Such defects may be repaired prior to further processing of the LCD-substrate, or the LCD-substrate may be sorted out from the manufacturing process. Thereby, the manufacturing cost for the liquid crystal display can be significantly reduced in any case.

정확한 검사를 위해서는 일반적으로 측정할 기판 표면과 센서의 간격을 매우 정확하게 설정 및 유지할 필요가 있다. 하지만 측정할 기판이 평탄하지 않거나 또는 약간 주름이 잡힌 표면을 갖는 경우에는, 정확한 간격 유지가 훨씬 더 어려워진다. 그렇기 때문에, 평탄하지 않은 표면의 측정을 위한 위치 설정 시스템이 사용되어야만 하는데, 상기 위치 설정 시스템은 측정할 표면과 평행한 평면에서 센서의 위치 설정을 가능하게 할 뿐만 아니라, 상기 평면에 대하여 수직으로의 위치 설정도 가능케 한다. 하지만 상기와 같은 측정할 표면에 대하여 수직으로의 위치 설정 은 일반적으로 측정 과정을 느리게 하고 측정 정확성을 떨어뜨린다.For accurate inspections, it is usually necessary to set and maintain a very precise distance between the substrate surface and the sensor to be measured. However, if the substrate to be measured is uneven or has a slightly corrugated surface, accurate spacing becomes much more difficult. As such, a positioning system for measuring uneven surfaces must be used, which not only enables positioning of the sensor in a plane parallel to the surface to be measured, but also perpendicular to the plane. It also allows location settings. However, such vertical positioning with respect to the surface to be measured generally slows down the measurement process and reduces measurement accuracy.

본 발명의 과제는, 평탄하지 않은 기판 표면에서도 정확한 측정을 가능케 하는 측정 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 과제는, 평탄하지 않은 기판 표면의 특히 신속한 측정을 가능케 하는 측정 시스템을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a measuring device that enables accurate measurement even on a non-flat substrate surface. It is a further object of the present invention to provide a measurement system that enables particularly rapid measurement of uneven substrate surfaces.

본 발명의 제 1의 과제는, 독립 청구항 1의 특징들을 갖는 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치에 의해서 해결된다. 본 발명에 따른 측정 장치는 측정 헤드를 구비하며, 상기 측정 헤드는 표면을 검출하기 위한 센서 및 상기 센서 옆에 배치된 공기식 소자를 포함한다. 상기 공기식 소자는 유입 개구 및 아래로 향하는 적어도 하나의 유출 개구를 포함한다. 본 발명에 따른 측정 장치는 또한 기판 위에 있는 한 x-y-평면 내에서 측정 헤드의 위치를 정확하게 설정하기 위해 설계된 표면-위치 설정 시스템 그리고 압축 공기 발생 장치를 구비하며, 상기 압축 공기 발생 장치가 상기 유입 개구에 공압식으로 결합함으로써, 공기식 소자에 압축 공기가 제공되는 경우에 상기 측정 헤드는 기판 위에 예정된 높이로 위치 설정될 수 있다.The first object of the invention is solved by a measuring device for inspecting the surface of a substrate having the features of independent claim 1. The measuring device according to the invention has a measuring head which comprises a sensor for detecting a surface and a pneumatic element arranged next to the sensor. The pneumatic element includes an inlet opening and at least one outlet opening facing down. The measuring device according to the invention also comprises a surface-positioning system and a compressed air generating device designed for precisely positioning the measuring head in an xy-plane above the substrate, wherein the compressed air generating device is provided with the inlet opening. By means of pneumatic coupling, the measuring head can be positioned at a predetermined height above the substrate when compressed air is provided to the pneumatic element.

본 발명은, 기판 표면 위에 있는 센서 공기 지지부에 의해서 센서의 정확한 높이 조절이 간단한 방식으로 이루어질 수 있다는 발견을 근거로 한다. 유출 개구를 통해 유출되는 공기는 공기 쿠션을 형성하고, 측정 헤드는 상기 공기 쿠션 상에서 기판 표면 위로 자유롭게 슬라이딩 작용할 수 있다. 따라서, 상기 표면-위치 설정 시스템에 의해서는 단지 기판에 대하여 상대적인 측정 헤드의 x-y-위치만이 결정된다. 공기 흐름의 세기는 공기 쿠션의 높이 그리고 그와 더불어 기판 표면 위에서의 측정 헤드의 수직 간격을 결정한다.The present invention is based on the finding that precise height adjustment of the sensor can be made in a simple manner by the sensor air support above the substrate surface. The air flowing out through the outlet opening forms an air cushion, and the measuring head can slide freely onto the substrate surface on the air cushion. Thus, the surface-positioning system only determines the x-y-position of the measuring head relative to the substrate. The strength of the air flow determines the height of the air cushion and thereby the vertical spacing of the measuring heads on the substrate surface.

공기 쿠션을 이용하여 측정 헤드를 저장하는 방식의 중대한 장점은, 주름이 잡힌 표면에서도 센서의 자동적인 높이 적응이 간단한 방식으로 이루어진다는 것이다. 이와 같은 자동 높이 적응은, 측정 헤드가 기판의 측정할 영역 위에서 지속적으로 상기 공기 쿠션의 두께에 의해 결정된 높이로 존재한다는 사실을 토대로 한다.A significant advantage of the method of storing the measuring head using an air cushion is that the automatic height adjustment of the sensor is made in a simple way even on corrugated surfaces. This automatic height adaptation is based on the fact that the measuring head is present at a height determined by the thickness of the air cushion continuously over the area to be measured of the substrate.

청구항 2에 따라 측정 장치는 추가로 커플링 장치를 구비하며, 상기 커플링 장치는 표면-위치 설정 시스템과 측정 헤드 사이에 배치되어 있다. 이와 같은 배치 상태의 장점은, 개별적으로 해결될 검사 과제에 따라, 측정 헤드의 병진 운동 외에 x-y-평면과 병렬로 규정된, 상기 위치 설정 시스템과 상대적으로 이루어지는 상기 측정 헤드의 동작이 가능하다는 것이다. 상기 커플링 장치가 또한 스프링 소자를 구비함으로써, 상기 위치 설정 시스템의 진동 동작 중에도 센서의 원활한 위치 설정이 보증될 수 있다.According to claim 2 the measuring device further comprises a coupling device, which is arranged between the surface-positioning system and the measuring head. The advantage of this arrangement is that, depending on the inspection task to be solved individually, it is possible to operate the measuring head relative to the positioning system, defined in parallel with the x-y-plane, in addition to the translational movement of the measuring head. By the coupling device also having a spring element, smooth positioning of the sensor can be ensured even during the vibrating operation of the positioning system.

청구항 3에 따라 커플링 장치는 측정 헤드가 x-y-평면에 대하여 수직인 z-방향을 따라 적어도 특정 운동 범위 안에서 자유롭게 이동할 수 있도록 형성되었다. 이와 같은 형성의 장점은, 기판 위에 있는 센서의 높이가 오로지 공기 쿠션에 의해서만 결정된다는 것이다. 따라서, 압축 공기 발생 장치를 상응하게 구동시킴으로써, 기판 위에 있는 센서의 높이는 자유롭게 결정될 수 있다.According to claim 3, the coupling device is configured such that the measuring head can move freely at least within a certain range of motion along the z-direction perpendicular to the x-y-plane. The advantage of this formation is that the height of the sensor on the substrate is determined solely by the air cushion. Thus, by correspondingly driving the compressed air generating device, the height of the sensor on the substrate can be freely determined.

청구항 4에 따라 커플링 장치는 측정 헤드가 적어도 특정 각도 범위 안에서 축을 중심으로 자유롭게 기울어질 수 있도록 형성되었다. 이 경우 상기 축은 x-y-평면과 평행하게 방향 설정되어 있다. 바람직하게는 커플링 장치가 각각의 임의의 축을 중심으로 기판 평면과 평행하게 기울어질 수 있도록 함으로써, 센서는 상응하는 비스듬한 상태에 의하여 기판 표면의 짧은 기복을 가진 비평탄성에 적응할 수 있게 된다.According to claim 4, the coupling device is designed such that the measuring head can be tilted freely about the axis at least within a certain angular range. In this case the axis is oriented parallel to the x-y-plane. Preferably by allowing the coupling device to be tilted parallel to the substrate plane about each arbitrary axis, the sensor is able to adapt to the non-flatness of the short relief of the substrate surface by the corresponding oblique state.

상기 커플링 장치는 통상적으로 측정 헤드에 각각 고정력을 행사하는 다수의 커플링 소자들을 구비한다. 바람직하게 상기 커플링 소자들은 개별 지지력에 할당된 파워 라인이 측정 헤드의 무게 중심에서 서로 교차하도록 상호 배치되어 있다. 이와 같은 배치 상태의 결과로서, 측정 헤드의 진동과 연관된 병진 운동 중에도 토크가 측정 헤드에 전혀 작용하지 않음으로써, 바람직하게는 센서의 하이-다이내믹 운동 중에도 측정 헤드가 원치 않게 기울어지는 현상이 피해진다.The coupling device typically has a plurality of coupling elements each exerting a clamping force on the measuring head. Preferably the coupling elements are arranged mutually so that the power lines assigned to the individual bearing forces cross each other at the center of gravity of the measuring head. As a result of this arrangement, the torque does not act on the measuring head at all during the translational movements associated with the vibration of the measuring head, thereby avoiding the inclination of the measuring head undesirably even during the high-dynamic movement of the sensor.

청구항 5에 따라 커플링 장치는 공기식 소자에 단단히 연결되어 있는 상부 커플링 소자 및 관절 형태의 현가 장치(suspension)를 통해 상부 커플링 소자에 연결된 하부 커플링 소자를 구비한다. 이 경우 상기 상부 커플링 소자는 위치 설정 시스템에 의하여 x-방향 및 y-방향을 따라 위치 설정된다. z-방향을 따라 이루어지는 상기 상부 커플링 소자의 위치 설정이 공기 지지부에 의해 결정됨으로써, 결과적으로 측정 헤드 및 그와 더불어 센서도 측정할 기판 표면에 대하여 지속적으로 소정의 간격으로 유지된다.According to claim 5, the coupling device comprises an upper coupling element tightly connected to the pneumatic element and a lower coupling element connected to the upper coupling element via a suspension in the form of a joint. In this case the upper coupling element is positioned along the x- and y-directions by a positioning system. The positioning of the upper coupling element along the z-direction is determined by the air support, as a result of which the measuring head and together with the sensor are constantly held at a predetermined distance with respect to the substrate surface to be measured.

청구항 6에 따라 상기 관절 형태의 현가 장치는 두 개 이상의 바(bar)를 구비하며, 상기 바의 상단부는 상기 상부 커플링 소자에 그리고 상기 바의 하단부는 상기 하부 커플링 소자에 각각 하나의 볼 소자 안에서 연결되어 있다. 이와 같은 형태의 현가 장치의 장점은, 바 길이를 상응하게 선택하고 볼 조인트를 공간적으로 적절히 배치하면 가상의 회전축을 중심으로 경사 동작이 이루어질 수 있다는 것으로, 이 경우 상기 회전축은 직접 센서의 하부면에 존재한다. 이와 같은 방식에 의해서는, 경사 동작 중에도 센서는 측정할 기판 표면 위에서 지속적으로 예정된 간격으로 존재하게 된다.The articulated suspension according to claim 6 has two or more bars, one upper end of the bar and one lower end of the bar and the lower coupling element. Are connected inside. The advantage of this type of suspension is that, with the appropriate selection of the bar lengths and the proper placement of the ball joints, the tilting motion can be achieved around the virtual axis of rotation. exist. In this way, the sensor is still present at predetermined intervals on the substrate surface to be measured even during the tilting operation.

세 개의 바를 갖는 관절 형태의 현가 장치에서는, x-y-평면과 평행하게 또는 측정할 기판 표면과 평행하게 방향 설정된 임의의 한 축을 중심으로 경사 동작이 이루어질 수 있다. 이와 같은 가능성에 의해서는 바람직하게 기판 표면이 불규칙한 기복을 갖는 경우에도 센서와 기판 표면은 최상의 간격을 유지하게 된다.In a three-bar articulated suspension device, the tilting motion can be made about any one axis oriented parallel to the x-y-plane or parallel to the substrate surface to be measured. This possibility allows the sensor and substrate surface to maintain the best separation even when the substrate surface has irregular undulations.

청구항 7에 따르면, 바람직하게 상응하는 유입 개구 및 유출 개구를 갖춘 공기 채널을 구비한 공기식 소자가 센서 주변에 배치되어 있다. 이와 같은 배치의 장점은, 균일한 파워가 z-방향을 따라 측정 헤드에 작용함으로써, 측정 헤드의 기울어짐을 야기할 수 있는 토크가 공기 쿠션으로 인해 전혀 발생하지 않는다는 것이다.According to claim 7, a pneumatic element is preferably arranged around the sensor with air channels with corresponding inlet and outlet openings. The advantage of this arrangement is that a uniform power acts on the measuring head along the z-direction so that no torque is generated due to the air cushion which can cause the measuring head to tilt.

청구항 8에 따라 적어도 하나의 유출 개구는 유출되는 공기의 속도가 적어도 거의 음속에 도달하도록 형성된 공기 노즐이다. 이와 같이 높은 유동 속도는 상기 공기 노즐이 유동 기술적으로 유리한 노즐 횡단면 협착부를 가짐으로써 성취될 수 있으며, 상기 노즐 횡단면 협착부는 한편으로는 상기와 같이 높은 유출 속도를 야기하고, 다른 한편으로는 적절한 공기식 유동 저항을 야기한다.The at least one outlet opening according to claim 8 is an air nozzle formed such that the velocity of the outflowing air reaches at least nearly sonic speed. This high flow rate can be achieved by the air nozzle having a nozzle cross-sectional narrowing which is technically advantageous in flow, the nozzle cross-sectional narrowing on the one hand resulting in such a high outflow rate and on the other hand with a suitable pneumatic Cause flow resistance.

상기와 같이 높은 유출 속도의 장점은, 측정할 기판 표면 위에 있는 측정 헤드의 높이 위치가 상황에 따라 원치 않게 변동되는 경우에도 공기식 소자 안의 압력 비율은 단지 약간만 영향을 받는다는 것이다. 특히 상기 공기식 소자 안의 공기 압력이 갑작스럽게 강하하는 경우는 어떤 상황에서도 발생하지 않는다. 이와 같은 방식에 의해서는 센서 헤드의 바람직하지 않은 상승 및 하강 동작이 불가능하게 됨으로써, 결과적으로 측정 헤드의 매우 안정적인 높이 위치 설정이 보장된다.The advantage of such a high outflow rate is that the pressure ratio in the pneumatic element is only slightly affected even if the height position of the measuring head on the substrate surface to be measured is undesirably varied depending on the situation. In particular, a sudden drop in air pressure in the pneumatic element does not occur under any circumstances. In this way, undesired lifting and lowering of the sensor head is not possible, thereby ensuring a very stable height positioning of the measuring head.

청구항 9에 따라 센서는 용량성의 그리고/또는 유도성의 광학 센서 소자를 구비한다. 따라서, 전술한 바대로 공압식으로 높이 위치 설정이 이루어지는 측정 장치는 임의의 타입의 센서로 특수하게 개조하지 않고서도 구현될 수 있다.According to claim 9 the sensor comprises a capacitive and / or inductive optical sensor element. Thus, a measuring device in which the height positioning is made pneumatically as described above can be implemented without any special modification to any type of sensor.

본 발명의 제 2 과제는 독립 청구항 10의 특징들을 갖는, 기판 표면을 검사하기 위한 측정 시스템에 의해서 해결된다. 본 발명에 따른 상기 측정 시스템은 청구항 1 내지 청구항 9 중에 어느 한 항에 따른 두 개 이상의 측정 장치를 구비한다. 이 경우 상기 측정 장치들은 개별 센서들이 하나의 측정 행을 따라 배치되도록 상호 배치되어 있다.The second object of the present invention is solved by a measuring system for inspecting a substrate surface, having the features of independent claim 10. Said measuring system according to the invention comprises at least two measuring devices according to claim 1. In this case the measuring devices are arranged mutually such that the individual sensors are arranged along one measuring row.

본 발명의 기본이 되는 발견은, 다수의 측정 헤드를 규정된 순서를 따라 결합시킨 길게 늘어진 선형 센서가 간단한 방식으로 만들어질 수 있다는 것이다. 상기 선형 센서가 평탄하지 않은 기복을 가진 기판 표면에 밀착함으로써, 각각의 센서는 측정할 기판 표면으로부터 예정된 간격을 두고 자동으로 위치 설정된다.The underlying finding of the present invention is that an elongated linear sensor that combines multiple measuring heads in a defined order can be made in a simple manner. By contacting the linear sensor to the substrate surface with uneven relief, each sensor is automatically positioned at a predetermined distance from the substrate surface to be measured.

본 발명은 당연히 다수의 측정 헤드가 2차원적인 그리드(grid) 형태로 배치된 측정 시스템도 포함한다. 이와 같은 방식에 의하여 전술된 선형 센서와 마찬가지로 평탄하지 않은 기판 표면에 밀착되는 표면 센서가 만들어짐으로써, 각각의 센서는 자동으로 예정된 높이 위치에 정렬된다.The invention naturally also includes a measuring system in which a plurality of measuring heads are arranged in a two-dimensional grid. In this way, as in the case of the linear sensor described above, a surface sensor is made to be in close contact with the uneven substrate surface, so that each sensor is automatically aligned at a predetermined height position.

본 발명의 추가의 장점 및 특징은 바람직한 실시예들에 대한 아래의 상세한 설명부에서 나타난다.Further advantages and features of the present invention appear in the following detailed description of the preferred embodiments.

도 1은 공압식으로 지지된 측정 헤드의 하나의 평면도 및 두 개의 상이한 횡단면도고,1 is a plan view and two different cross sectional views of a pneumatically supported measuring head,

도 2는 공압식으로 지지된 측정 장치의 평면도며,2 is a plan view of a pneumatically supported measuring device,

도 3a는 공압식으로 지지된 상부 커플링 플레이트에 설치된 센서의 현가 장치를 도시한 개략도고,3a is a schematic diagram of a suspension of a sensor mounted on a pneumatically supported upper coupling plate,

도 3b는 센서가 가상의 회전축을 중심으로 기울어져 있는, 도 3에 도시된 현가 장치의 이동 상태를 도시한 개략도며,FIG. 3B is a schematic diagram showing the movement state of the suspension device shown in FIG. 3 with the sensor tilted about an imaginary axis of rotation; FIG.

도 4는 하나의 측정 행으로 순서대로 결합된 측정 헤드를 갖춘 측정 시스템의 개략도다.4 is a schematic diagram of a measuring system with measuring heads coupled in sequence in one measuring row.

본 경우에 도면에서 동일한 또는 서로 상응하는 소자들의 도면 부호들은 단지 처음 번호만 그리고/또는 부수적인 철자만 상이하다.In the present case the reference numerals of the same or corresponding elements in the figures differ only in the initial number and / or in the minor spellings.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따라 공압식으로 지지된 측정 헤드(110)를 세 가지 다양한 관점에서 보여주고 있다. 아래 좌측에는 측정 헤드의 평면도가 도시되어 있으며, 이 경우 관찰 방향은 z-축 방향이다. 상부는 측정 헤드를 x-y-평면 과 평행한 횡단면도로 보여주고 있다. 아래 우측에는 y-z-평면과 평행한 측정 헤드의 횡단면도가 도시되어 있다. 이 경우 상기 x-축, y-축 및 z-축은 직각의 좌표계를 형성하며, 이 좌표계에서 각각 하나의 축은 두 개의 다른 축들에 의해서 형성된 한 평면에 수직으로 서 있다.1 shows a measuring head 110 that is pneumatically supported in accordance with one embodiment of the present invention from three different perspectives. On the lower left is a plan view of the measuring head, in which case the viewing direction is in the z-axis direction. The upper part shows the measuring head in a cross section parallel to the x-y-plane. In the lower right, a cross section of the measuring head parallel to the y-z-plane is shown. In this case the x-axis, y-axis and z-axis form a rectangular coordinate system, in which one axis stands perpendicular to one plane formed by two different axes.

측정 헤드(110)는 센서(111)를 구비하고, 상기 센서는 예를 들어 용량성 또는 유도성의 광학 센서와 같은 임의의 센서일 수 있다. 상기 센서(111)는 공기 채널(113)을 형성하는 공기식 소자(112)에 의해서 둘러싸여 있다. 상기 공기식 소자(112)는 자신의 상부면에 두 개의 유입 개구(115)를 포함하고, 유입 개구들은 압축 공기 라인을 통해 압축 공기 발생 장치, 예를 들어 펌프에 공압식으로 결합되어 있다. 상기 압축 공기 라인 및 압축 공기 발생 장치는 본 발명의 요지를 명확하게 할 목적으로 도 1에는 도시되어 있지 않다.The measuring head 110 has a sensor 111, which can be any sensor, for example a capacitive or inductive optical sensor. The sensor 111 is surrounded by a pneumatic element 112 forming an air channel 113. The pneumatic element 112 includes two inlet openings 115 on its upper surface, which are pneumatically coupled to a compressed air generating device, for example a pump, via a compressed air line. The compressed air line and the compressed air generating device are not shown in FIG. 1 for the purpose of clarifying the gist of the present invention.

공기식 소자(112)의 하부면에는 노즐 형태의 다수의 유출 개구가 형성되어 있으며, 상기 유출 개구들은 측정할 기판 표면과 측정 헤드(110) 사이에 공기 흐름(195)을 형성한다. 상기 공기 흐름(195)은 공기 쿠션을 형성하고, 상기 공기 쿠션 상에서 측정 헤드(110)는 기판 (190) 위에 예정된 간격을 두고 슬라이딩 작용한다. 따라서, 측정 헤드(110)의 하부면과 기판(190) 사이에는 공기 갭(196)이 형성된다. 상기 공기 갭(196)의 크기 그리고 그와 더불어 측정 헤드(110)와 기판(190) 사이의 간격은 상기 공기 흐름(195)의 세기에 의존한다.A plurality of outlet openings in the form of nozzles are formed on the bottom surface of the pneumatic element 112, which form an air flow 195 between the substrate surface to be measured and the measurement head 110. The air flow 195 forms an air cushion, on which the measuring head 110 slides at predetermined intervals over the substrate 190. Accordingly, an air gap 196 is formed between the lower surface of the measurement head 110 and the substrate 190. The size of the air gap 196 and along with the gap between the measuring head 110 and the substrate 190 depends on the strength of the air flow 195.

위치 설정 시스템에 대한 상기 측정 헤드(110)의 결합은 스프링 소자(130)를 통해서 이루어진다. 상기 스프링 소자(130)는, 이 스프링 소자가 (a) x-방향 및 y-방향으로 상기 위치 설정 시스템과 측정 헤드(110) 사이에서 이루어지는 상대 운동을 전혀 허용하지 않도록 그리고 (b) z-방향으로는 위치 설정 시스템과 상기 측정 헤드(110) 사이에 느슨한 결합을 만들어주도록 형성되었다. 상기와 같은 느슨한 결합은 적어도 공기 쿠션의 두께에 의해서 사전 설정된 제로 위치로부터 편향된 특정 영역 안에서는 위치 설정 시스템과 측정 헤드(110) 사이에서 이루어지는 자유로운 상대 운동을 가능케 한다. 따라서, 스프링 소자(130)는 측정 헤드가 도 1에 도시되지 않은 위치 설정 시스템에 의해 단지 x-y-평면에서만 정확하게 위치 설정되도록 해준다. 위치 설정 시스템을 상응하게 구동시킴으로써, 기판(190) 위에 있는 각각의 측정점이 이동될 수 있다.The coupling of the measuring head 110 to the positioning system is via a spring element 130. The spring element 130 is configured such that the spring element does not allow (a) any relative movement between the positioning system and the measurement head 110 in the x- and y-directions, and (b) in the z-direction. It was formed to create a loose coupling between the positioning system and the measuring head 110. Such loose coupling allows for a free relative movement between the positioning system and the measurement head 110 in a particular area deflected from a zero position preset by at least the thickness of the air cushion. Thus, the spring element 130 allows the measuring head to be accurately positioned only in the x-y-plane by means of a positioning system not shown in FIG. By correspondingly driving the positioning system, each measurement point on the substrate 190 can be moved.

스프링 소자(130)를 통한 위치 설정 시스템과 측정 헤드(110)의 결합은 또한 상기 위치 설정 시스템에 대하여 상대적으로 상기 측정 헤드(110)가 기울어질 수 있는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 기울어짐은 x-축을 중심으로, y-축을 중심으로 또는 x-y-평면에 있는 각각의 임의의 축을 중심으로 이루어질 수 있다. x-축 및 y-축을 중심으로 이루어지는 두 가지 기울어짐 가능성은 도 1에 각각 하나의 이중 화살표로 지시되어 있다. The coupling of the positioning system and the measuring head 110 via the spring element 130 is also characterized in that the measuring head 110 can be tilted relative to the positioning system. This inclination can be about the x-axis, about the y-axis or about each arbitrary axis in the x-y-plane. Two tilt possibilities around the x- and y-axes are indicated by one double arrow in FIG. 1, respectively.

따라서, 측정 헤드(110) 운동의 총 여섯 개의 원칙적으로 가능한 자유도, 즉, 축 x, y 및 z를 따라 이루어지는 세 가지 병진 자유도 그리고 축 x, y 및 z를 중심으로 이루어지는 세 가지 회전 자유도들 중에서 , 단지 x-축 병진 및 y-축 병진 그리고 z-축을 중심으로 이루어지는 회전은 위치 설정 시스템과 측정 헤드(110) 사이의 고정 결합에 의해서 제외되었음을 확인될 수 있다.Thus, a total of six principally possible degrees of freedom of movement of the measuring head 110, namely three translational degrees of freedom along the axes x, y and z and three degrees of freedom around the axes x, y and z Among them, it can be confirmed that only the x-axis translation and the y-axis translation and the rotation about the z-axis are excluded by the fixed coupling between the positioning system and the measuring head 110.

아래 우측의 횡단면도에 도시된 바와 같이, 스프링 소자(130)는 또한 위치 설정 시스템에 의해 상기 측정 헤드(110)에 단지 고정력만이 작용하는 성질을 가지며, 상기 고정력의 파워 라인은 상기 스프링 소자(130)의 개별 섹션의 세로 연장부를 따라 뻗는다. 이 경우 스프링 소자(130)는 다양한 면으로부터 작용하는 고정력의 파워 라인들이 측정 헤드(110)의 무게 중심에서 서로 교차하도록 상기 측정 헤드(110)에 연결되어 있다. 상기 무게 중심은 z-방향으로 작용하는 상기 측정 헤드(110)의 중력인 파워 벡터(G)의 출발점에 의해서 결정되었다. 측정 헤드(110)의 무게 중심에서 파워 라인들이 서로 교차하는 방식의 장점은, 측정 헤드(110)의 진동과 연관된 병진 운동 중에도 상기 측정 헤드에는 토크가 전혀 작용하지 않음으로써, 바람직하게는 상기 측정 헤드(110)의 원치 않는 기울어짐이 확실하게 피해진다는 것이다.As shown in the lower right cross-sectional view, the spring element 130 also has the property that only a fixed force acts on the measuring head 110 by means of a positioning system, the power line of which is the spring element 130. Along the longitudinal extension of the individual sections of In this case, the spring element 130 is connected to the measuring head 110 such that the power lines of the fixing force acting from various surfaces cross each other at the center of gravity of the measuring head 110. The center of gravity was determined by the starting point of the power vector G which is the gravity of the measuring head 110 acting in the z-direction. The advantage of the way in which the power lines intersect each other at the center of gravity of the measuring head 110 is that no torque acts on the measuring head during the translational movement associated with the vibration of the measuring head 110, preferably the measuring head. Unwanted tilting of 110 is reliably avoided.

도 2는 공압식으로 지지된 측정 장치의 평면도를 보여주고 있으며, 상기 측정 장치는 도 1에 도시된 측정 헤드(110)를 구비하고, 상기 측정 헤드는 본 실시예에서는 도면 부호 (210)으로 표시되어 있다. 특히 두 개의 유입 개구(215)를 갖는 공기식 소자(212) 그리고 센서(211)를 구비한 측정 헤드(210)는 스프링 소자(230)에 의해서 위치 설정 시스템(220)에 고정되어 있다. 상기 고정 방식 그리고 스프링 소자(230)에 의해 유지되는, 측정 헤드(210)의 운동과 관련된 자유도는 위에서 도 1을 참조하여 상세하게 설명되었다. 따라서, 측정 헤드(210)는 x-y-평면과 평행하게 놓인 특정 동작 영역 안에서는 상기 위치 설정 시스템(220)의 상응하는 구동에 의해서 자유롭게 위치 설정될 수 있다. 이와 같은 목적을 위하여, 상기 위치 설정 시스템(220)은 서로 마주 놓인 두 개의 면에 하나의 x-가이드부(221)를 구비하며, 상기 x-가이드부에서는 스프링 소자(230)가 도면에 도시되지 않은 구동 장치에 의해 x-방향을 따라 이동할 수 있다. 측정 헤드(210)는 스프링 소자(230)를 따라서, 마찬가지로 도면에 도시되지 않은 구동 장치에 의해 y-방향을 따라 이동할 수 있다.FIG. 2 shows a plan view of a pneumatically supported measuring device, which has a measuring head 110 shown in FIG. 1, which is indicated by reference numeral 210 in this embodiment. have. In particular the pneumatic element 212 with two inlet openings 215 and the measuring head 210 with the sensor 211 are fixed to the positioning system 220 by a spring element 230. The degree of freedom associated with the movement of the measuring head 210, which is retained by the fixing method and by the spring element 230, has been described in detail with reference to FIG. Thus, the measuring head 210 can be freely positioned by the corresponding drive of the positioning system 220 in a particular operating area lying parallel to the x-y-plane. For this purpose, the positioning system 220 has one x-guide portion 221 on two surfaces facing each other, in which the spring element 230 is not shown in the figure. Can be moved along the x-direction by a non-driven device. The measuring head 210 can move along the spring element 230 along the y-direction by a drive device not shown in the figure as well.

측정 헤드(210)와 상기 측정 헤드 아래에 놓인 기판 사이에 공기 쿠션을 형성하기 위해서 필요한 압축 공기를 제공하기 위하여, 압축 공기 발생기(250)가 제공되었다. 상기 압축 공기 발생기(250)는 본 발명의 실시예에 따라 상기 위치 설정 시스템(220)의 프레임에 고정되어 있다. 측정 헤드(210)에 전달되는 진동을 줄이기 위하여, 상기 압축 공기 발생기(250)와 상기 위치 설정 시스템(220) 사이에는 진동 감쇠 재료가 제공되어 있다(도시되지 않음). 상기 공기식 소자(212)는 유연성 있는 압축 공기 라인(251)을 통해 압축 공기를 공급받는다.In order to provide the compressed air necessary to form an air cushion between the measuring head 210 and the substrate underlying the measuring head, a compressed air generator 250 has been provided. The compressed air generator 250 is secured to the frame of the positioning system 220 in accordance with an embodiment of the present invention. In order to reduce the vibration transmitted to the measuring head 210, a vibration damping material is provided between the compressed air generator 250 and the positioning system 220 (not shown). The pneumatic element 212 receives compressed air through a flexible compressed air line 251.

도 3a는 본 발명의 추가의 한 실시예에 따라 센서(311)의 한 가지 바람직한 현가 장치를 보여주고 있으며, 상기 현가 장치는 상기 센서(311)가 가상의 한 회전 극(VP)을 중심으로 자유롭게 기울어질 수 있도록 해준다. 이와 같은 현가 장치는 상부 커플링 플레이트(331)를 포함하며, 상기 커플링 플레이트는 도면에 도시되지 않은 면-위치 설정 시스템에 의해, 기판(390)의 측정할 표면과 평행하게 놓인 동작 영역 안에서 위치 설정된다. 상기 상부 커플링 플레이트(331)는 적어도 한 특정 편향 영역 내에서는 z-방향을 따라 자유롭게 이동할 수 있다. 따라서, 센서(311)의 높이 위치 및 상기 상부 커플링 플레이트(331)의 높이 위치는 기판(390)과 상기 기판(390) 옆에 배치된 공기식 소자(도시되지 않음) 사이에서 형성되는 공기 쿠션에 의해 결정된다.3A shows one preferred suspension of a sensor 311 in accordance with a further embodiment of the present invention, wherein the suspension frees the sensor 311 about a virtual one rotating pole VP. Allow to tilt. Such a suspension device comprises an upper coupling plate 331, which is positioned in an operating region lying parallel to the surface to be measured of the substrate 390 by means of a surface-positioning system not shown in the figures. Is set. The upper coupling plate 331 is free to move along the z-direction in at least one particular deflection region. Accordingly, the height position of the sensor 311 and the height position of the upper coupling plate 331 are air cushions formed between the substrate 390 and pneumatic elements (not shown) disposed next to the substrate 390. Determined by

상기 현가 장치는 또한 상기 센서(311)에 연결된 하부 커플링 플레이트(333)를 포함한다. 상기 두 개의 커플링 플레이트(331 및 333)는 두 개의 단단한 바(332a 및 332b)를 통해 서로 연결되어 있으며, 상기 바의 단부들은 각각 하나의 볼 조인트(334) 안에 지지가 되어 있다. 두 개의 볼 조인트(334)는 상기 상부 커플링 플레이트(331)의 하부면에 존재한다. 두 개의 볼 조인트(334)는 상기 하부 커플링 플레이트(333)의 상부면에 존재한다.The suspension also includes a lower coupling plate 333 connected to the sensor 311. The two coupling plates 331 and 333 are connected to each other via two rigid bars 332a and 332b, each end of which is supported in one ball joint 334. Two ball joints 334 are present on the lower surface of the upper coupling plate 331. Two ball joints 334 are present on the upper surface of the lower coupling plate 333.

상기 현가 장치는 하부 커플링 플레이트(333) 없이도 구현될 수 있다. 이 경우 상기 두 개의 하부 볼 조인트(334)는 직접 센서(311) 상에 존재한다.The suspension device may be implemented without the lower coupling plate 333. In this case the two lower ball joints 334 are directly on the sensor 311.

센서가 자신의 출발 위치에 있는 도 3a에 도시된 상황에서, 두 개의 단단한 바(332a 및 332b)는 하나의 대칭축(338)에 대하여 서로 대칭으로 배치되어 있다. 상기 두 개의 하부 볼 조인트(334)는 상호 간격(l)을 두고 배치되어 있다. 센서(311)는 상기 센서(311)에 설치된 하부 커플링 플레이트(333)와 함께 z-방향을 따라 높이(d)를 갖는다.In the situation shown in FIG. 3A where the sensor is in its starting position, the two rigid bars 332a and 332b are disposed symmetrically with respect to one axis of symmetry 338. The two lower ball joints 334 are arranged at a mutual interval l. The sensor 311 has a height d along the z-direction with the lower coupling plate 333 installed in the sensor 311.

도 3b에는 상기 센서(311)(도시되지 않음)가 자신의 출발 위치로부터 기울어진 경우가 개략적으로 도시되어 있다. 이 경우 현가 장치는 특히 상부 볼 조인트(334)의 위치와 관련된, 상기 두 개의 단단한 바(332a 및 332b)의 길이와 관련된 그리고 상기 간격(l)과 관련된 높이(d)에 따라, 상기 센서가 가상의 회전 극을 중심으로 기울어지도록 설계되었다. 이와 같은 방식에 의하여, 기판 표면에 기복이 있는 경우에도 센서(311)는 계속해서 최상으로, 즉 예정된 간격으로 기판 표면에 밀착할 수 있게 된다.3b schematically illustrates the case where the sensor 311 (not shown) is tilted from its starting position. The suspension device in this case is based on the height d in relation to the length of the two rigid bars 332a and 332b and in relation to the spacing l, in particular in relation to the position of the upper ball joint 334. It was designed to tilt around its rotating pole. In this manner, even when there is an ups and downs on the surface of the substrate, the sensor 311 continues to be in close contact with the surface of the substrate at its best, i.e. at predetermined intervals.

도 3a 및 도 3b에 도시된 두 가지 2차원적인 도시를 참조해서는 단지 상기 센서(311)의 현가 장치의 원리적인 작용만이 설명되었다. 측정할 기판 표면과 평행하게 그리고 그와 더불어 x-y-평면과 평행하게 방향 설정된 임의의 가상의 회전축을 중심으로 이루어지는 자유로운 경사 동작을 보증하기 위하여, 세 개의 단단한 바를 구비한 현가 장치가 사용될 수 있다. 이 경우 상기 세 개의 단단한 바는 바람직하게 마찬가지로 상기 센서 현가 장치의 대칭축(338)을 중심으로 대칭으로 입체적으로 배치되어 있다.With reference to the two two-dimensional illustrations shown in FIGS. 3A and 3B, only the principle operation of the suspension device of the sensor 311 has been described. Suspensions with three rigid bars can be used to ensure free tilting motion about any virtual axis of rotation oriented parallel to the substrate surface to be measured and in parallel with the x-y-plane. The three rigid bars in this case are preferably likewise arranged symmetrically about the axis of symmetry 338 of the sensor suspension.

도 4는 하나의 측정 행으로 순서적으로 결합된 네 개의 측정 헤드(410a, 410b, 410c 및 410d)를 구비한 측정 시스템을 보여주고 있다. 상기 측정 헤드(410a, 410b, 410c 및 410d)에는 위치 설정 시스템이 각각 하나씩 할당되어 있으며, 상기 위치 설정 시스템에 의하여 상응하는 측정 헤드가 x-y-평면 내에 위치 설정될 수 있다. 대안적으로 그리고 특히 바람직하게는, 상기 측정 헤드(410a, 410b, 410c 및 410d) 중에서 적어도 소수의 측정 헤드가 x-방향을 따라서 그리고 y-방향을 따라서 서로 고정적으로 연결되어 있다. 상기 측정 헤드(410a, 410b, 410c 및 410d)는 어떤 경우에도 서로 독립적으로 z-방향을 따라 이동할 수 있고, 각각 상기 측정 헤드(410a, 410b, 410c 및 410d)의 하부면에서 한 가상의 회전 극을 중심으로 자유롭게 기울어질 수 있다.4 shows a measuring system with four measuring heads 410a, 410b, 410c and 410d which are sequentially combined in one measuring row. The measuring heads 410a, 410b, 410c and 410d are each assigned with a positioning system, and the corresponding measuring head can be positioned in the x-y-plane by the positioning system. Alternatively and particularly preferably, at least a few of the measuring heads 410a, 410b, 410c and 410d are fixedly connected to each other along the x-direction and along the y-direction. The measuring heads 410a, 410b, 410c and 410d can move along the z-direction independently of each other in any case, and a virtual rotary pole at the bottom face of the measuring heads 410a, 410b, 410c and 410d respectively Can be tilted freely around.

도 4에 과도한 방식으로 도시된 기복을 갖는 기판(490) 상에 있는 측정 헤 드(410a, 410b, 410c 및 410d)의 (도면에 도시되지 않은) 공기 지지부 그리고 상기와 같은 자유로운 경사 가능성으로 인해, 개별 측정 헤드(410a, 410b, 410c 및 410d)는 각각 상기 기복을 가진 기판 표면에 최상으로 밀착하게 된다. 이와 같은 내용을 명확하게 보여주기 위하여, 상기 기복을 가진 기판 표면에 밀착하기 전에 측정 헤드-중심축의 출발 위치들이 도시되어 있고, 도면 부호 (416a, 416b, 416c 및 416d)로 표기되어 있다. 상기 기복을 가진 기판 표면에 밀착한 후에 도시된 상기 측정 헤드-중심축의 최종 위치들은 도면 부호 (417a, 417b, 417c 및 417d)로 표기되어 있다.Due to the air support (not shown) of the measurement heads 410a, 410b, 410c and 410d on the undulating substrate 490 shown in an excessive manner in FIG. The individual measuring heads 410a, 410b, 410c and 410d each come in close contact with the undulating substrate surface. To clearly show this, the starting positions of the measuring head-center axes are shown and indicated by reference numerals 416a, 416b, 416c and 416d before being in close contact with the undulating substrate surface. The final positions of the measuring head-center axis shown after intimate contact with the undulating substrate surface are indicated by reference numerals 417a, 417b, 417c and 417d.

도 4에 도시된 상태에서 측정 헤드(410a 및 410b)는 자신의 출발 위치와 비교할 때 시계 바늘 방향과 반대로 기울어져 있다. 측정 헤드(410c)는 기울어지지 않았고, 측정 헤드(410d)는 자신의 출발 위치와 비교할 때 시계 바늘 방향으로 기울어져 있다.In the state shown in FIG. 4 the measuring heads 410a and 410b are inclined opposite to the clockwise direction as compared to their starting position. The measuring head 410c is not inclined, and the measuring head 410d is inclined clockwise when compared with its starting position.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 측정 장치 110: 측정 헤드100: measuring device 110: measuring head

111: 센서 112: 공기식 소자111: sensor 112: pneumatic element

113: 공기 채널 114: 유출 개구/노즐113: air channel 114: outlet opening / nozzle

115: 유입 개구 130: 스프링 소자115: inflow opening 130: spring element

190: 기판 195: 공기 흐름190: substrate 195: air flow

196: 공기 갭196: air gap

210: 측정 헤드 211: 센서210: measuring head 211: sensor

212: 공기식 소자 215: 유입 개구212: pneumatic element 215: inlet opening

220: 위치 설정 시스템 221: x-가이드부220: positioning system 221: x-guide part

230: 스프링 소자 250: 압축 공기 발생기230: spring element 250: compressed air generator

251: 압축 공기 라인(유연성 있음)251: compressed air line (with flexibility)

311: 센서 331: 상부 커플링 플레이트311: sensor 331: upper coupling plate

332a, 332b: 단단한 바 333: 하부 커플링 플레이트332a, 332b: rigid bar 333: lower coupling plate

334: 볼 조인트 338: 대칭축334: ball joint 338: axis of symmetry

390: 기판390: substrate

VP: 가상의 회전극 l: 하부 볼 조인트들 사이의 간격VP: Virtual rotary pole l: Spacing between lower ball joints

d: 센서의 두께 + 하부 커플링 플레이트d: thickness of the sensor + lower coupling plate

410a, b, c, d: 측정 헤드 416a, b, c, d: 중심축 출발 위치410a, b, c, d: measuring head 416a, b, c, d: central axis starting position

417a, b, c, d: 중심축 최종 위치417a, b, c, d: central axis final position

490: 기판(심하게 구부러짐)490: substrate (bently bent)

Claims (10)

기판(190)의 표면을 검사하기 위한 측정 장치로서,As a measuring device for inspecting the surface of the substrate 190, ● 측정 헤드(110)를 구비하며, 상기 측정 헤드는 표면을 검출하기 위한 센서(111) 및 상기 센서(111) 옆에 배치된 공기식 소자(112)를 포함하고, 상기 공기식 소자는 유입 개구(115) 및 아래로 향하는 적어도 하나의 유출 개구(114)를 포함하며,A measuring head 110, the measuring head comprising a sensor 111 for detecting a surface and a pneumatic element 112 arranged next to the sensor 111, the pneumatic element having an inlet opening; 115 and at least one outlet opening 114 facing down, ● 면-위치 설정 시스템(220)을 구비하고, 상기 면-위치 설정 시스템은 상기 기판(190) 위에 있는 x-y-평면 내에서 상기 측정 헤드(110, 210)의 정확한 위치를 설정하도록 설계되었으며, 그리고A surface-positioning system 220, the surface-positioning system is designed to set the exact position of the measuring heads 110, 210 in an x-y-plane above the substrate 190, and ● 압축 공기 발생 장치(250)를 구비하며, 상기 압축 공기 발생 장치가 상기 유입 개구(115, 215)에 공압식으로 결합함으로써, 상기 공기식 소자(112, 212)에 압축 공기가 공급되는 경우에는 상기 측정 헤드(110, 210)가 기판(190) 위의 예정된 높이에 위치 설정될 수 있는, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.A compressed air generating device 250, wherein the compressed air generating device is pneumatically coupled to the inlet openings 115 and 215, whereby compressed air is supplied to the pneumatic elements 112 and 212. A measuring device for inspecting the surface of the substrate, wherein the measuring head (110, 210) can be positioned at a predetermined height above the substrate (190). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 면-위치 설정 시스템(220)과 측정 헤드(110, 210) 사이에 배치된 커플링 장치(130, 230)를 추가로 구비하는, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.And a coupling device (130, 230) disposed between the face-positioning system (220) and the measurement head (110, 210). 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 커플링 장치(130)는 상기 측정 헤드(110)가 x-y-평면에 대하여 수직인 z-방향을 따라 적어도 특정 운동 영역 안에서는 자유롭게 이동할 수 있도록 형성된, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.The coupling device (130) is a measuring device for inspecting a surface of a substrate, wherein the measuring head (110) is formed to be free to move in at least a specific area of motion along the z-direction perpendicular to the x-y-plane. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 상기 커플링 장치(130)는 상기 측정 헤드(110)가 적어도 특정 각 범위 안에서는 축(VP)을 중심으로 자유롭게 기울어질 수 있도록 형성되었으며, 상기 축(VP)은 상기 x-y-평면과 평행하게 방향 설정된, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.The coupling device 130 is formed such that the measuring head 110 can be tilted freely about the axis VP within at least a certain angular range, the axis VP being oriented parallel to the xy-plane. Measuring device for inspecting the surface of the substrate. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 커플링 장치는The coupling device ● 공기식 소자와 단단히 연결된 상부 커플링 소자(331), 그리고An upper coupling element 331 tightly connected to the pneumatic element, and ● 관절 형태의 현가 장치를 통해 상기 상부 커플링 소자(331)와 연결된 하부 커플링 소자(333)를 포함하는, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.A measuring device for inspecting the surface of the substrate, comprising a lower coupling element (333) connected with the upper coupling element (331) via an articulated suspension. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 관절 형태의 현가 장치는 두 개 이상의 바(332a, 332b)를 포함하며, 상기 바의 상단부는 상기 상부 커플링 소자(331)에 그리고 상기 바의 하단부는 상기 하부 커플링 소자(333)에 각각 하나의 볼 소자(334) 안에서 연결된, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.The articulated suspension comprises at least two bars 332a and 332b, the upper end of the bar being the upper coupling element 331 and the lower end of the bar being the lower coupling element 333, respectively. A measuring device for inspecting the surface of the substrate, connected in one ball element (334). 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 공기식 소자(112)는 센서(111) 주변에 배치된, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.The pneumatic element (112) is a measuring device for inspecting the surface of the substrate disposed around the sensor (111). 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 7, 상기 적어도 하나의 유출 개구(114)는 유출되는 공기의 속도가 적어도 거의 음속에 도달하도록 형성된 공기 노즐인, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.And the at least one outlet opening (114) is an air nozzle formed such that the velocity of the outflowing air reaches at least approximately sound speed. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 8, 상기 센서(111)는 용량성의 그리고/또는 유도성의 광학 센서 소자를 구비하는, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치.The sensor (111) comprises a capacitive and / or inductive optical sensor element. 각각의 센서들이 하나의 측정 행을 따라 배치되도록 상호 배열된 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 두 개 이상의 측정 장치(100)를 구비한, 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 시스템.10. A measuring system for inspecting a surface of a substrate, comprising two or more measuring devices (100) according to any one of claims 1 to 9 arranged so that each sensor is arranged along one measuring row.
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