KR20080066370A - Substrate adsorption apparatus - Google Patents

Substrate adsorption apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20080066370A
KR20080066370A KR1020070003714A KR20070003714A KR20080066370A KR 20080066370 A KR20080066370 A KR 20080066370A KR 1020070003714 A KR1020070003714 A KR 1020070003714A KR 20070003714 A KR20070003714 A KR 20070003714A KR 20080066370 A KR20080066370 A KR 20080066370A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shaft
panel
support plate
vacuum pad
glass substrate
Prior art date
Application number
KR1020070003714A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
홍경호
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020070003714A priority Critical patent/KR20080066370A/en
Publication of KR20080066370A publication Critical patent/KR20080066370A/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

A substrate suction apparatus is provided to suck a glass substrate or a panel with ease, hold motion of the glass substrate or the panel even when a support plate rotates, and achieve horizontal movement of the glass substrate or the panel after the height of a shaft is changed. A vacuum pad(400) absorbs a glass substrate or panel. An air supply shaft(410) is coupled with the vacuum pad and supplies air to the vacuum pad. A support plate supports the shaft. A housing(430), through which the shaft penetrates, keeps the vacuum pad and the glass substrate or the panel parallel to each other. The housing is mounted in the support plate. A top-shaped member(440) is mounted in on the outer circumference of the shaft. An elastic member(450) is installed between the top-shaped member and the support plate.

Description

기판흡착장치{Substrate adsorption apparatus}Substrate adsorption apparatus

도 1은 종래의 수동형 진공 흡착기의 분해 사시도,1 is an exploded perspective view of a conventional passive vacuum adsorber,

도 2는 종래의 기판흡착장치의 주요부를 나타내는 도면, 2 is a view showing the main part of the conventional substrate adsorption apparatus,

도 3은 도 2에 도시된 장치의 사용 상태를 나타내는 도면,3 is a view showing a state of use of the apparatus shown in FIG.

도 4은 본 발명에 따른 기판흡착장치의 주요부를 나타낸 사시도, Figure 4 is a perspective view showing the main part of the substrate adsorption apparatus according to the present invention,

도 5는 도 4에 도시된 기판흡착장치의 사용상태를 나타내는 도면,5 is a view showing a state of use of the substrate adsorption device shown in FIG.

도 6은 본 발명에 따른 기팥흡착장치의 작동을 설명하기 위한 도면.Figure 6 is a view for explaining the operation of the kidney adsorption apparatus according to the invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 글라스기판 또는 패널 400 : 진공 패드100: glass substrate or panel 400: vacuum pad

410 : 에어 공급용 샤프트 420 : 지지판410: air supply shaft 420: support plate

430 ; 하우징 440 : 팽이형상 부재430; Housing 440: a top member

본 발명은 글라스 기판 또는 패널을 반송하기 위해 흡착하는 기판흡착장치에 관한 것으로, 특히 진공 패드 흡착면과 글라스 기판 또는 패널을 수평 상태로 접촉 하도록 하고, 진공 패드 흡착면과 글라스 기판 또는 패널 사이에 높이의 차가 있는 경우에도 용이하게 흡착할 수 있는 기판흡착장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate adsorption device for adsorbing a glass substrate or panel, and in particular, to a horizontal contact between the vacuum pad adsorption surface and the glass substrate or panel, and a height between the vacuum pad adsorption surface and the glass substrate or panel. It relates to a substrate adsorption device that can be easily adsorbed even when there is a difference.

즉, 본 발명은 다수의 기판흡착장치의 흡착면이 모두 평행하지 않거나 또는 다수의 기판흡착장치의 흡착면과 글라스 기판 또는 패널의 높이 차가 있을 경우, 다수의 기판흡착장치의 높이 차 또는 다수의 기판흡착장치의 흡착면과 글라스 기판 또는 패널 사이의 높이 차를 감안하여 글라스 기판 또는 패널을 용이하고 안정되게 흡착할 수 있는 기판흡착장치에 관한 것이다.That is, according to the present invention, when the adsorption surfaces of the plurality of substrate adsorption devices are not all parallel or there is a height difference between the adsorption surfaces of the plurality of substrate adsorption devices and the glass substrate or the panel, the height difference of the plurality of substrate adsorption devices or the plurality of substrates The present invention relates to a substrate adsorption device capable of easily and stably adsorbing a glass substrate or panel in view of the height difference between the adsorption surface of the adsorption device and the glass substrate or panel.

일반적으로 진공 흡착기는 유리나 타일 등의 매끄러운 표면과 벽면 등의 거치 표면에 부압을 이용하여 부착시켜 여러 가지 물건을 걸 수 있는 용도로 사용된다.In general, the vacuum adsorber is used for attaching various objects to the smooth surface such as glass or tile and the mounting surface such as the wall using negative pressure.

현재 생산된 대형의 LCD 또는 글라스 패널을 다른 위치로 운반하고자 할 때에는 2명의 작업자가 패널의 양측에서 손으로 들고 운반하거나 아니면 자동화된 반송장치를 이용하여 운반하고 있다.When carrying large LCD or glass panels produced to another location, two workers carry them by hand on both sides of the panel or use an automated conveying device.

대형 패널을 2명의 작업자가 들고 운반할 때에는 안정성은 향상되지만 작업효율이 떨어지게 되는 문제점이 있고, 자동화된 반송장치를 사용하게 되면 고가의 설비를 구비해야만 하는 문제점이 있었다.When carrying two people carrying a large panel there is a problem that the stability is improved but the work efficiency is lowered, there is a problem that expensive equipment should be provided when using an automated conveying device.

이러한 문제점의 해결을 위하여 개인이 패널을 흡착 반송할 수 있도록 하는 흡착핸들이 제공되기도 하였으나, 종래의 흡착핸들은 패널에 흡착판을 부착하여 운반한 후 패널로부터 흡착판을 떼어내기가 용이하지 않아서 사용상 번거로움이 가중되는 문제점이 있었고, 구조가 복잡하여 잦은 고장이 발생하게 되는 문제점이 발생 하고 있었다.In order to solve this problem, the suction handle has been provided to allow the individual to carry the adsorption of the panel, but the conventional suction handle is cumbersome in use because it is not easy to remove the suction plate from the panel after transporting by attaching the suction plate to the panel. This problem was aggravated, and the structure was complicated, causing frequent failures.

이러한 진공 흡착기의 일 예가 대한민국 공개특허 공보 제2002-0006615호 (2002.01.23 공개)에 개시되어 있다.An example of such a vacuum adsorber is disclosed in Korean Laid-Open Patent Publication No. 2002-0006615 (published Jan. 23, 2002).

도 1은 상기 공보에 개시된 진공 흡착기의 분해 사시도 이다. 1 is an exploded perspective view of the vacuum adsorber disclosed in this publication.

도 1에 도시된 진공 흡착기는 고무패드(11) 내부에 일체로 형성된 원판(12), 원판의 중심에 장착되고, 외주에는 사다리꼴 형태의 스프링(14)이 구비된 중심축이 상부로 작동함으로써, 고무패드(11)의 하측 중심부가 진공상태로 되며 고정되도록 하는 진공흡착구(10)이다.The vacuum adsorber shown in FIG. 1 is mounted to the center of the disc 12, the disc is formed integrally inside the rubber pad 11, the outer circumference is provided with a central axis provided with a spring 14 of the trapezoidal shape, The lower center of the rubber pad 11 is a vacuum suction port 10 to be fixed in a vacuum state.

이 진공흡착구(10)는 스프링(14)의 상측에 구비되고, 중심축(13)이 중심을 관통하는 원형의 상측에는 중심선을 기준한 양측으로 엇갈린 테이퍼가 형성된 경사부(110), 경사부(110)의 하측에는 탁상용기기의 베이스판에 장착이 용이하도록 형성된 나사산(121)에 의해 고정되는 고정구(120)로 이루어진 중심축 가이드, 중심축 가이드의 상측에 구비되고, 중심축 가이드를 관통한 중심축의 단부는 안착부(201)에 구비되고, 상단에는 이탈을 방지하도록 와셔(202)가 구비된 체결볼트(203)에 의해 고정되고, 하방에는 경사부 상부에 구비된 작동돌기가 경사부를 따라 일측 또는 타측으로 회동하면 승, 하강되며 안착부에 결합된 중심축을 상, 하로 움직여 고무패드를 진공상태로 고정되도록 하는 회동핸들(200)을 포함하여 구성된다. 또 도 1에서 (114)는 중심축이 상하로만 작동하도록 하는 사각홈이고, (211)은 회동핸들(200)의 하측에 대칭형으로 형성된 돌기판이다. The vacuum suction port 10 is provided on the upper side of the spring 14, the inclined portion 110, the inclined portion is formed on the upper side of the circular circle through which the central axis 13 penetrates to both sides with reference to the center line The lower side of the 110 is provided on the central axis guide consisting of a fastener 120 is fixed by a screw thread 121 formed to facilitate mounting on the base plate of the tabletop device, the upper side of the central axis guide, penetrating the central axis guide An end portion of the central shaft is provided on the seating portion 201, and is fixed by a fastening bolt 203 provided with a washer 202 at the upper end thereof, and an actuating protrusion provided on the upper portion of the inclined portion is provided along the inclined portion. Rotating to one side or the other side is configured to include a rotation handle 200 to move up and down and to move the central axis coupled to the seating portion up and down to fix the rubber pad in a vacuum state. In addition, in Figure 1 (114) is a square groove to operate the central axis only up and down, (211) is a projection plate formed symmetrically on the lower side of the rotation handle (200).

도 1에 도시된 구성에 의하면, 용이하게 회동식으로 작동하는 작동핸들에 의 해 작업중 진공상태가 해제되는 것을 방지할 수 있다고 한다.According to the configuration shown in Figure 1, it is said that it is possible to prevent the vacuum state is released during the operation by the operation handle that is easily rotated.

이러한 기술의 다른 일 예로서 대한민국 실용신안공보 등록 제20-0410114호(2006.02.23 등록)에 개시되어 있다.As another example of this technology is disclosed in Republic of Korea Utility Model Publication No. 20-0410114 (registered February 23, 2006).

상기 공보에는 수동 흡착 핸들에 관한 것으로서, 사용자가 핸들을 양손으로 잡은 상태에서 흡착 패드를 패널에 밀착시켜 흡착되도록 하여 유리 또는 LCD와 같은 패널을 원하는 위치로 안전하게 운반할 수 있고, 또한 분리시에는 핸들에 구비된 푸시 버튼을 살짝 눌러주는 것에 의해 흡착 패드의 압착상태가 해소되어 패널로부터 핸들을 용이하게 분리할 수 있도록 하여 작업성이 향상되도록 한 수동 흡착 핸들에 대해 개시되어 있다.The publication relates to a manual suction handle, which allows the user to securely transport a panel such as glass or LCD to a desired position by allowing the user to hold the handle with both hands so that the suction pad is brought into close contact with the panel. By slightly pressing the push button provided in the present invention, a suction pad of the suction pad is eliminated, so that the handle can be easily separated from the panel, and thus the manual suction handle is disclosed.

또한 상기와 같은 수동용 흡착 패드의 자동화를 위한 기구가 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 사용되고 있다. 도 2는 종래의 기판흡착장치의 주요부를 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 장치의 사용 상태를 나타내는 도면이다.In addition, such a mechanism for the automation of the passive adsorption pad is used as shown in Figs. 2 is a view showing the main part of the conventional substrate adsorption device, Figure 3 is a view showing the state of use of the device shown in FIG.

도 2 및 도 3에 있어서, (300)은 글라스 기판(100)을 흡착하기 의한 연질의 진공 패드이고, (310)은 진공 패드(300)에 진공을 위한 공기를 공급하기 위한 에어 공급 샤프트이며, (320)은 다수의 에어 공급 샤프트를 지지하는 지지판(320) 이다. 2 and 3, 300 is a soft vacuum pad by adsorbing the glass substrate 100, 310 is an air supply shaft for supplying air for vacuum to the vacuum pad 300, 320 is a support plate 320 for supporting a plurality of air supply shafts.

또 도 2 및 도 3에서, (330)은 지지판(320)을 이동시키는 스프링이 내장된 슬라이더이고, (350)은 지지판(320)과 슬라이더(330)를 결합하는 고정용 너트이다.In addition, in FIG. 2 and FIG. 3, reference numeral 330 is a slider having a spring built therein for moving the support plate 320, and 350 is a fixing nut for coupling the support plate 320 and the slider 330.

에어 공급 샤프트(310)는 슬라이더(330)의 이동량에 대응하여 이동하며, 통상 슬라이더(330)의 이동량은 글라스 기판 또는 기판흡착장치의 사양에 따라 규정 된다.The air supply shaft 310 moves in correspondence with the movement amount of the slider 330, and the movement amount of the slider 330 is usually defined according to the specification of the glass substrate or the substrate adsorption device.

따라서, 도 2 및 도 3에 도시된 기판흡착장치는 지지판(320)에 다수의 슬라이더(330)가 마련하고, 각각의 슬라이더(330)에 대응하여 마련된 진공 패드(300)가 글라스 기판(100)에 접착되었을 때, 에어 공급 샤프트(310)로는 도시하지 않은 진공펌프 등의 수단에 의해 각각의 진공 패드(300)의 내부가 진공 상태로 유지하도록, 진공 패드(300) 내의 공기를 흡입하고, 글라스 기판(100)의 반송이 완료되었을 때 진공 패드(300) 내로 공기를 공급하여 진공 패드(300)와 글라스 기판(100)을 분리시킨다.Accordingly, in the substrate adsorption apparatus illustrated in FIGS. 2 and 3, a plurality of sliders 330 are provided on the support plate 320, and the vacuum pads 300 corresponding to the respective sliders 330 are provided in the glass substrate 100. To the air supply shaft 310, the air in the vacuum pad 300 is sucked into the air supply shaft 310 so as to keep the inside of each vacuum pad 300 in a vacuum state by means such as a vacuum pump (not shown), and the glass When the transfer of the substrate 100 is completed, air is supplied into the vacuum pad 300 to separate the vacuum pad 300 and the glass substrate 100.

따라서, 도 2 및 도 3에 도시된 기판흡착장치는 대형의 글라스 기판의 반송 또는 소정의 크기로 분리된 다수의 패널을 일괄적으로 반송할 수 있게 된다. Therefore, the substrate adsorption apparatus shown in FIG. 2 and FIG. 3 can collectively convey a large number of panels separated by a predetermined size or convey a large glass substrate.

그러나, 상술한 문헌 등에 개시된 기술에 있어서, 진공 흡착기 또는 흡착 핸들은 작업자가 회전식 핸들에 의해 진공 상태를 유지하도록 구성되어 있으므로, 대형 글라스 기판을 이송하기 위한 장치에는 적용할 수 없다는 문제가 있었다. 즉 대형 글라스 기판을 반송하는 반송장치의 자동화 또는 각각의 패널로 분리된 다수의 패널을 반송하기 위한 구조에는 적합하지 못하다는 문제가 있었다. However, in the technique disclosed in the above-mentioned documents and the like, since the vacuum adsorber or the suction handle is configured to maintain the vacuum state by the rotating handle, there is a problem that it cannot be applied to an apparatus for transferring a large glass substrate. That is, there is a problem that it is not suitable for the automation of the conveying apparatus for conveying a large glass substrate or for the structure for conveying a large number of panels separated by each panel.

또한 도 2 및 도 3에 도시된 기판흡착장치는 글라스 기판 또는 패널과 진공 패드 사이의 거리가 일정하지 않은 경우 샤프트의 길이를 조정하고, 글라스 기판 또는 패널과 진공 패드가 도 3에 화살표로 도시된 바와 같이, 평행하지 않을 때 연 질성의 진공 패드로 흡착 위치를 조절하게 된다. In addition, the substrate adsorption apparatus shown in FIGS. 2 and 3 adjusts the length of the shaft when the distance between the glass substrate or panel and the vacuum pad is not constant, and the glass substrate or panel and the vacuum pad are indicated by arrows in FIG. 3. As such, when not parallel, the soft vacuum pads are used to control the adsorption position.

이와 같이 진공 패드로 흡착 위치를 조절하기 위해서는 유분이 많은 연질의 진공 패드를 사용한다. 그러나, 진공 패드의 유분은 글라스 기판 또는 패널에 얼룩을 남기는 주원인이다. 또한 진공 패드 중심이 함몰되어 있어 글라스 기판 또는 패널 내에 있는 셀(cell)에 손상을 줄 수 있다는 문제점이 있었다.In this way, in order to adjust the adsorption position with a vacuum pad, a soft vacuum pad having a lot of oil is used. However, the oil of the vacuum pad is the main cause of staining the glass substrate or panel. In addition, since the center of the vacuum pad is recessed, there is a problem that damage to the cell (cell) in the glass substrate or panel.

또 상술한 종래의 기술에 있어서는 기판흡착장치의 샤프트 등이 수직방향으로만 이동이 가능하여 글라스 기판 또는 패널과 평행상태가 아닌 경우, 하드(hard) 재질의 진공 패드 사용시, 진공 패드의 흡착면과 글라스 기판 또는 패널과 평행상태를 유지할 수 없어 글라스 기판 또는 패널의 흡착이 곤란하다는 문제도 있었다.In the above-described conventional technique, when the shaft of the substrate adsorption device is movable only in the vertical direction and is not parallel to the glass substrate or the panel, when the hard pad is used, There was also a problem in that the glass substrate or panel could not be kept in parallel and adsorption of the glass substrate or panel was difficult.

또한 상기 종래의 기술에 의해서는 하나의 유닛에 사용된 각각의 패드 높이가 동일 선상에 놓이도록 세팅을 해야한다는 문제도 있었다.In addition, according to the conventional technology, there is a problem that the setting should be such that the height of each pad used in one unit is on the same line.

또한 도 2 및 도 3에 도시된 구조에서는 스프링을 사용하여 높이 차이에 대한 오차를 샤프트로 조절하지만, 스프링의 끝단 구조상 샤프트와 스프링을 중간에 두고 샤프트를 지지하는 부분과의 수직 혹은 수평 정도를 유지하지 못하게 된다는 문제도 있었다.In addition, the structure shown in FIGS. 2 and 3 adjusts the error of the height difference to the shaft by using the spring, but maintains the vertical or horizontal degree with the shaft supporting the shaft with the shaft in the middle in the end structure of the spring. There was also a problem that can not be.

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 하드 재질의 진공 패드를 사용하여 글라스 기판 또는 패널에 패드 흔적을 남기지 않는 기판흡착장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems described above, and to provide a substrate adsorption device that does not leave a pad trace on a glass substrate or panel using a vacuum pad made of a hard material.

본 발명의 다른 목적은 글라스 기판 또는 패널의 상태와 관계없이 글라스 기판 또는 패널을 안전하게 흡착하여 반송할 수 있는 기판흡착장치를 제공하는 것이 다.Another object of the present invention is to provide a substrate adsorption device capable of safely adsorbing and transporting a glass substrate or panel regardless of the state of the glass substrate or panel.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판흡착장치는 글라스 기판 또는 패널을 진공 흡착하여 반송하는 기판흡착장치로서, 상기 글라스 기판 또는 패널을 흡착하는 진공 패드, 상기 진공 패드에 결합되어 상기 진공 패드에 에어를 공급하는 샤프트, 상기 샤프트를 지지하는 지지판, 상기 진공 패드와 상기 글라스 기판 또는 패널을 수평 상태로 유지시키는 하우징을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the substrate adsorption device according to the present invention is a substrate adsorption device for vacuum adsorption and transport of a glass substrate or panel, comprising: a vacuum pad for adsorbing the glass substrate or panel, and coupled to the vacuum pad to the vacuum pad. A shaft for supplying air, a support plate for supporting the shaft, characterized in that it comprises a housing for holding the vacuum pad and the glass substrate or panel in a horizontal state.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 하우징은 상기 지지판에 장착되고, 상기 하우징의 내부로 상기 샤프트가 관통되는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the housing is mounted to the support plate, and the shaft penetrates into the housing.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 하우징은 상기 진공 패드를 향해 부분 원뿔 형상으로 이루어진 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the housing is characterized in that it is made of a partial cone toward the vacuum pad.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 샤프트의 외주에 장착되는 팽이형상 부재를 더 포함하고, 상기 팽이형상 부재는 상기 하우징의 내부에 마련되는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption apparatus according to the present invention, the apparatus further includes a top member mounted on an outer circumference of the shaft, wherein the top member is provided inside the housing.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 팽이형상 부재와 상기 지지판 사이에 마련된 탄성 부재를 더 포함하고, 상기 탄성 부재 내에 상기 샤프트가 마련되는 것을 특징으로 한다.In addition, the substrate adsorption device according to the present invention, further comprising an elastic member provided between the top member and the support plate, characterized in that the shaft is provided in the elastic member.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 탄성 부재는 코일 스프링을 구비하는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the elastic member includes a coil spring.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 하우징의 내부는 상기 샤프 트를 향한 제1의 경사면을 갖고, 상기 팽이 형상 부재의 외부는 상기 샤프트를 향한 제2의 경사면을 갖는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the inside of the housing has a first inclined surface facing the shaft, and the outside of the top-shaped member has a second inclined surface facing the shaft.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 제2의 경사면은 상기 샤프트의 상하 이동에 따라 상기 제1의 경사면에 끼워 맞추어지는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the second inclined surface is fitted to the first inclined surface as the shaft moves up and down.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 탄성 부재는 상기 팽이 형상 부재가 상기 진공 패드를 향하도록 힘을 인가하는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the elastic member is characterized in that the force is applied so that the top-shaped member faces the vacuum pad.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 지지판은 회전 가능한 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the support plate is rotatable.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 지지판의 회전시, 상기 제1의 경사면과 상기 제2의 경사면은 끼워 맞추어진 상태로 유지되는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the first inclined surface and the second inclined surface are maintained in a fitted state when the support plate is rotated.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 지지판 또는 상기 샤프트는 상하로 이동하는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the support plate or the shaft is moved up and down.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 지지판에는 다수의 샤프트와 다수의 하우징이 마련되고, 상기 다수의 샤프트의 각 각에는 상기 진공 패드가 결합되는 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the support plate is provided with a plurality of shafts and a plurality of housings, and each of the plurality of shafts is characterized in that the vacuum pad is coupled.

또 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 상기 진공 패드는 유분이 함유되지 않는 하드 패드인 것을 특징으로 한다.In the substrate adsorption device according to the present invention, the vacuum pad is a hard pad containing no oil.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.The above and other objects and novel features of the present invention will become more apparent from the description of the specification and the accompanying drawings.

이하, 본 발명의 구성을 도면에 따라서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the structure of this invention is demonstrated according to drawing.

또한, 본 발명의 설명에 있어서는 동일 부분은 동일 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략한다.In addition, in description of this invention, the same code | symbol is attached | subjected to the same part and the repeated description is abbreviate | omitted.

도 4은 본 발명에 따른 기판흡착장치의 주요부를 나타낸 사시도 이고, 도 5는 도 4에 도시된 기판흡착장치의 사용상태를 나타내는 도면이다.Figure 4 is a perspective view showing the main part of the substrate adsorption apparatus according to the present invention, Figure 5 is a view showing a state of use of the substrate adsorption apparatus shown in FIG.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 기판흡착장치는 글라스기판 또는 패널(100)을 진공 흡착하여 반송하는 기판 반송장치로서, 글라스기판 또는 패널(100)을 흡착하는 진공 패드(400), 진공 패드(400)에 결합되어 진공 패드(400)에 에어를 공급하고 진공 패드(400)를 상하로 이동시키는 에어 공급용 샤프트(410), 샤프트(410)를 지지하는 지지판(420), 진공 패드(400)와 글라스기판 또는 패널(100)을 수평 상태로 유지시키는 하우징(430)을 구비한다.As shown in FIGS. 4 and 5, the substrate adsorption device according to the present invention is a substrate transport device for vacuum-adsorbing and transporting a glass substrate or panel 100, and includes a vacuum pad 400 for adsorbing the glass substrate or panel 100. The air supply shaft 410 is coupled to the vacuum pad 400 to supply air to the vacuum pad 400 and moves the vacuum pad 400 up and down, the support plate 420 supporting the shaft 410, A housing 430 is provided to hold the vacuum pad 400 and the glass substrate or panel 100 in a horizontal state.

또 하우징(430)은 지지판(420)에 장착되고, 하우징(430)의 내부로 샤프트(410)가 관통되며, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 진공 패드(400)를 향해 부분 원뿔 형상으로 이루고 있다.In addition, the housing 430 is mounted to the support plate 420, the shaft 410 penetrates into the housing 430, and as shown in FIGS. 4 and 5, a partial cone shape toward the vacuum pad 400. Made up of.

또한 본 발명에 따른 기판흡착장치는 샤프트(410)의 외주에 장착되는 팽이형상 부재(440)를 구비하고, 이 팽이형상 부재(440)는 하우징의 내부에 마련되며, 하우징(430)과 팽이형상 부재(440)의 재질은 동일 재질로 마련하며, 하우징(430)과 팽이형상 부재(440)의 접촉에 의해 마모되지 않는 재질이면 바람직하다. 이와 같은 하우징(430)의 내부는 도 4에 도시된 바와 같이, 샤프트(410)를 향한 제1의 경 사면(431)을 갖고, 또한 팽이부재(440)의 외부는 제1의 경사면과 접하여 끼워 마추어지며 샤프트(410)를 향한 제2의 경사면을 갖는 형태로 마련된다.In addition, the substrate adsorption device according to the present invention includes a top member 440 mounted on an outer circumference of the shaft 410, and the top member 440 is provided inside the housing, and the housing 430 and the top shape are provided. The material of the member 440 is provided with the same material, and it is preferable that it is a material which is not worn by the contact of the housing 430 and the top-shaped member 440. As shown in FIG. 4, the inside of the housing 430 has a first inclined surface 431 facing the shaft 410, and the outside of the top member 440 is fitted in contact with the first inclined surface. It is provided in a shape having a second inclined surface toward the shaft 410.

또한 본 발명에 따른 기판흡착장치에는 팽이형상 부재(440)와 지지판(420) 사이에 마련된 탄성 부재(450)를 구비하고, 이 탄성 부재(450) 내부를 관통하여 샤프트(410)가 마련된다. 이러한 탄성 부재(450)로서는 코일 스프링을 사용하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 판 스프링 등과 같이 팽이형상 부재(440)와 지지판(420) 사이에서 탄성을 유지할 수 있는 부재이면 좋다. 즉, 탄성 부재(450)는 팽이 형상 부재(440)가 진공 패드(400)를 향하도록 힘을 인가하여 하우징(430)에 끼워 맞추어지도록 작용한다.In addition, the substrate adsorption device according to the present invention includes an elastic member 450 provided between the top member 440 and the support plate 420, and a shaft 410 is provided through the inside of the elastic member 450. Although the coil spring is used as this elastic member 450, it is not limited to this, What is necessary is just a member which can maintain elasticity between the top member 440 and the support plate 420 like a leaf spring. That is, the elastic member 450 acts to fit the housing 430 by applying a force to the top-shaped member 440 toward the vacuum pad 400.

다음에 본 발명에 따른 기판흡착장치의 작동을 도 6에 따라 설명한다.Next, the operation of the substrate adsorption device according to the present invention will be described with reference to FIG.

먼저, 도시하지 않은 기반 반송장치에 의해 지지판(420)은 글라스 기판 또는 패널(100) 상에 위치, 즉 소정의 가공 처리가 실행된 글라스 기판 또는 패널(100)에 대해 다음의 처리를 위한 공정으로 진행하기 위해 반송하도록 글라스 기판 또는 패널(100) 상에 위치한다.First, the support plate 420 is positioned on the glass substrate or the panel 100 by the base conveying device (not shown), that is, as a process for the following processing with respect to the glass substrate or the panel 100 on which the predetermined processing is performed. It is located on the glass substrate or panel 100 to convey in order to advance.

다음에 진공 패드(400)가 글라스 기판 또는 패널(100) 상에 위치하면, 도시하지 않은 지지판 가동장치에 의해 도 6a에 도시된 바와 같이, 지지판(420)과 샤프트(410)가 글라스 기판 또는 패널(100)을 향해 하강하여 진공 패드(400)가 글라스 기판 또는 패널(100)과 접하게 된다.Next, when the vacuum pad 400 is positioned on the glass substrate or panel 100, as shown in FIG. 6A by a support plate moving device (not shown), the support plate 420 and the shaft 410 are formed on the glass substrate or panel. The vacuum pad 400 is brought into contact with the glass substrate or the panel 100 by descending toward 100.

이때, 탄성 부재(450)의 코일 스프링의 끝단 때문에 발생하는 진공 패드(400)의 기울어짐 현상도 하우징(430)의 제1의 경사면(431)과 팽이형상 부 재(440)의 제2의 경사면(441)이 서로 끼워 맞춤 상태이므로, 하우징(430)의 각과 샤프트(410)의 각으로 바로 잡을 수 있다. 그리고 기판흡착장치가 상 방향으로 움직이면, 에어 공급용 샤프트(410)가 좌우로 움직일 수 있다. At this time, the inclination phenomenon of the vacuum pad 400 due to the end of the coil spring of the elastic member 450 is also the first inclined surface 431 of the housing 430 and the second inclined surface of the top member 440. Since 441 is fitted to each other, the angle of the housing 430 and the angle of the shaft 410 can be corrected. When the substrate adsorption device moves upward, the air supply shaft 410 may move left and right.

또한 본 발명에 따르면 진공 패드(400)가 글라스 기판 또는 패널(100)에 접할 때는 도 6b에 도시된 바와 같이, 하우징(430)의 제1의 경사면(431)과 팽이형상 부재(440)의 제2의 경사면(441)이 벌어지게 되므로,도 6b에서 팽이 형상 부재(440)의 움직임을 화살표로 나타낸 바와 같이, 진공 패드(400)가 용이하게 글라스 기판 또는 패널(100)을 흡착할 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, when the vacuum pad 400 is in contact with the glass substrate or the panel 100, as shown in FIG. 6B, the first inclined surface 431 of the housing 430 and the top member 440 may be formed. Since the inclined surface 441 of 2 is opened, the movement of the top-shaped member 440 is indicated by an arrow in FIG. 6B, so that the vacuum pad 400 can easily adsorb the glass substrate or the panel 100. .

이후, 글라스 기판 또는 패널(100)에 진공 패드(400)가 밀착되면, 진공 패드(400) 내부의 공기가 샤프트(410)를 거쳐 도시하지 않은 진공 펌프 등의 수단에 의해 흡인되어 진공 패드(400) 내부는 진공 상태로 된다. 진공상태로의 형성 후 도 6c에 도시된 바와 같이, 지지판이 상승하게 되면서 하우징(430)의 제1 경사면과 팽이형상 부재의 제 2 경사면이 서로 끼워 맞춤 상태로 되고 진공 패드(400)와 글라스 기판 또는 패널(100)은 평행을 유지하게 된다. Then, when the vacuum pad 400 is in close contact with the glass substrate or the panel 100, the air inside the vacuum pad 400 is sucked by a means such as a vacuum pump (not shown) through the shaft 410 and the vacuum pad 400. The inside becomes a vacuum state. After formation in a vacuum state, as shown in FIG. 6C, as the support plate is raised, the first inclined surface of the housing 430 and the second inclined surface of the top member are fitted to each other, and the vacuum pad 400 and the glass substrate are fitted. Alternatively, the panel 100 may be kept parallel.

다음에 지지판(420)은 도시하지 않은 기판 반송장치에 의해 소정의 방향으로 회전 또는 이동하여 글라스 기판 또는 패널(100)을 반송한다.Next, the support plate 420 rotates or moves in a predetermined direction by a substrate conveying apparatus (not shown) to convey the glass substrate or the panel 100.

글라스 기판 또는 패널(100)이 원하는 장소로 반송된 후, 상술한 흡인공정과 반대로 진공 패드(400) 내부의 공기를 공급하는 것에 의해 글라스 기판 또는 패널(100)과 진공 패드(400)가 분리되며, 분리 후 지지판(420)은 다음의 글라스 기판 또는 패널(100)을 반송하기 위해 복귀한다. After the glass substrate or panel 100 is transported to a desired place, the glass substrate or panel 100 and the vacuum pad 400 are separated by supplying air inside the vacuum pad 400 as opposed to the above-described suction process. After the separation, the support plate 420 returns to convey the next glass substrate or panel 100.

따라서, 본 발명에 따른 기판흡착장치에 있어서, 지지판(420)은 회전 가능하며, 지지판(420)의 회전시, 제1의 경사면(431)과 제2의 경사면(441)이 끼워 맞추어진 상태로 유지되어 유동없이 회전 가능하게 된다.Therefore, in the substrate adsorption device according to the present invention, the support plate 420 is rotatable, and when the support plate 420 rotates, the first inclined surface 431 and the second inclined surface 441 are fitted. It is held so that it can rotate without flow.

또한 본 발명에 있어서는 대형의 글라스 기판 또는 다수의 패널을 반송하는 경우, 대형의 글라스 기판 또는 다수의 패널에 대응하여 도 4에 도시된 기판흡착장치를 지지판(420)에 다수 개 장착된 구성을 마련하여 사용할 수 있다.In addition, in the present invention, when transporting a large glass substrate or a plurality of panels, a configuration in which a plurality of substrate adsorption apparatus shown in FIG. 4 is mounted on the support plate 420 corresponding to a large glass substrate or a plurality of panels is provided. Can be used.

또한 본 발명에 따른 기판흡착장치에서 진공 패드(400)은 도 3에 도시한 바와 같은 연질 또는 연성의 패드가 아니라 유분이 함유되지 않는 하드 패드를 사용하므로, 글라스 기판 또는 패널(100)의 반송 시 그 표면에 어떠한 흔적도 남기지 않게 된다.In addition, in the substrate adsorption apparatus according to the present invention, the vacuum pad 400 is not a soft or flexible pad as shown in FIG. No traces will be left on the surface.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.As mentioned above, although the invention made by this inventor was demonstrated concretely according to the said Example, this invention is not limited to the said Example and can be variously changed in the range which does not deviate from the summary.

즉 상기 실시예에 있어서는 에어 공급용 샤프트와 지지판이 상하로 이동하여 진공 패드를 글라스 기판 또는 패널(100)에 흡착시키는 구조에 대해 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 하우징이 장착된 지지판 또는 에어 공급용 샤프트 자체만 상하로 이동하는 구조로 할 수도 있다.That is, in the above embodiment, the structure in which the air supply shaft and the support plate move up and down to adsorb the vacuum pad to the glass substrate or the panel 100 is described, but is not limited thereto. It is also possible to have a structure in which only the shaft itself moves up and down.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판흡착장치에 의하면, 글라스 기판 또는 패널의 흡착이 용이하고, 지지판의 회전 운동시에도 글라스 기판 또는 패널의 움직임을 잡아줄 수 있으며, 샤프트의 높이 이동이 있은 후 글라스 기판 또는 패널의 수평이동 가능하다는 효과가 얻어진다.As described above, according to the substrate adsorption device according to the present invention, the adsorption of the glass substrate or panel is easy, the movement of the glass substrate or panel can be caught even during the rotational movement of the support plate, and after the height movement of the shaft The effect of the horizontal movement of a glass substrate or a panel is obtained.

Claims (14)

글라스 기판 또는 패널을 진공 흡착하여 반송하는 기판흡착장치로서,A substrate adsorption device for vacuum adsorption and transport of a glass substrate or panel, 상기 글라스 기판 또는 패널을 흡착하는 진공 패드,A vacuum pad for adsorbing the glass substrate or panel, 상기 진공 패드에 결합되어 상기 진공 패드에 에어를 공급하는 에어 공급용 샤프트,An air supply shaft coupled to the vacuum pad to supply air to the vacuum pad, 상기 샤프트를 지지하는 지지판,A support plate for supporting the shaft, 상기 진공 패드와 상기 글라스 기판 또는 패널을 수평 상태로 유지시키는 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.And a housing configured to hold the vacuum pad and the glass substrate or panel in a horizontal state. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하우징은 상기 지지판에 장착되고, 상기 하우징의 내부로 상기 샤프트가 관통되는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.And the housing is mounted to the support plate and the shaft penetrates into the housing. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 하우징은 상기 진공 패드를 향해 부분 원뿔 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.And the housing has a partial cone shape toward the vacuum pad. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 샤프트의 외주에 장착되는 팽이형상 부재를 더 포함하고,Further comprising a spinning top member mounted on the outer periphery of the shaft, 상기 팽이형상 부재는 상기 하우징의 내부에 마련되는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.And said top member is provided inside said housing. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 팽이형상 부재와 상기 지지판 사이에 마련된 탄성 부재를 더 포함하고,Further comprising an elastic member provided between the top member and the support plate, 상기 탄성 부재 내에 상기 샤프트가 마련되는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.And the shaft is provided in the elastic member. 제5항에 있어서.The method of claim 5. 상기 탄성 부재는 코일 스프링을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.And the elastic member has a coil spring. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 하우징의 내부는 상기 샤프트를 향한 제1의 경사면을 갖고,The interior of the housing has a first inclined surface facing the shaft, 상기 팽이 형상 부재의 외부는 상기 샤프트를 향한 제2의 경사면을 갖는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.The outside of the said top member has a 2nd inclined surface toward the said shaft, The board | substrate adsorption apparatus characterized by the above-mentioned. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제2의 경사면은 상기 샤프트의 상하 이동에 따라 상기 제1의 경사면에 끼워 맞추어지는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치. And the second inclined surface is fitted to the first inclined surface according to the vertical movement of the shaft. 제8항에 있어서.The method of claim 8. 상기 탄성 부재는 상기 팽이 형상 부재가 상기 진공 패드를 향하도록 힘을 인가하는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.And said elastic member applies a force such that said top member faces said vacuum pad. 제9항에 있어서.The method of claim 9. 상기 지지판은 회전 가능한 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.The substrate adsorption device, characterized in that the support plate is rotatable. 제10항에 있어서.The method of claim 10. 상기 지지판의 회전시, 상기 제1의 경사면과 상기 제2의 경사면은 끼워 맞추어진 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.And the first inclined surface and the second inclined surface are kept fitted to each other when the support plate is rotated. 제9항에 있어서.The method of claim 9. 상기 지지판 또는 상기 샤프트는 상하로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.The substrate adsorption device, characterized in that the support plate or the shaft moves up and down. 제2항에 있어서.The method of claim 2. 상기 지지판에는 다수의 샤프트와 다수의 하우징이 마련되고,The support plate is provided with a plurality of shafts and a plurality of housings, 상기 다수의 샤프트의 각 각에는 상기 진공 패드가 결합되는 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.Substrate adsorption device, characterized in that the vacuum pad is coupled to each of the plurality of shafts. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 13, 상기 진공 패드는 유분이 함유되지 않는 하드 패드인 것을 특징으로 하는 기판흡착장치.The vacuum pad is a substrate adsorption device, characterized in that the hard pad containing no oil.
KR1020070003714A 2007-01-12 2007-01-12 Substrate adsorption apparatus KR20080066370A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070003714A KR20080066370A (en) 2007-01-12 2007-01-12 Substrate adsorption apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070003714A KR20080066370A (en) 2007-01-12 2007-01-12 Substrate adsorption apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080066370A true KR20080066370A (en) 2008-07-16

Family

ID=39821252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070003714A KR20080066370A (en) 2007-01-12 2007-01-12 Substrate adsorption apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080066370A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110121172A (en) * 2010-04-30 2011-11-07 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus and method of fabricating flat display device
KR20130124667A (en) * 2012-05-07 2013-11-15 삼성디스플레이 주식회사 Panel carring vacuum holder
KR200470954Y1 (en) * 2011-11-15 2014-01-21 류정달 Adsorber with sticky wood
KR20160042508A (en) * 2014-10-10 2016-04-20 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Vacuum suction head and vacuum suction apparatus using the same
KR20170132558A (en) * 2016-05-24 2017-12-04 세메스 주식회사 Wafer debonding apparatus
KR20210064007A (en) * 2019-11-22 2021-06-02 사이언테크 코포레이션 Demounting device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110121172A (en) * 2010-04-30 2011-11-07 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus and method of fabricating flat display device
KR200470954Y1 (en) * 2011-11-15 2014-01-21 류정달 Adsorber with sticky wood
KR20130124667A (en) * 2012-05-07 2013-11-15 삼성디스플레이 주식회사 Panel carring vacuum holder
KR20160042508A (en) * 2014-10-10 2016-04-20 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Vacuum suction head and vacuum suction apparatus using the same
KR20170132558A (en) * 2016-05-24 2017-12-04 세메스 주식회사 Wafer debonding apparatus
KR20210064007A (en) * 2019-11-22 2021-06-02 사이언테크 코포레이션 Demounting device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20080066370A (en) Substrate adsorption apparatus
KR20120096599A (en) Substrate holder, substrate transfer apparatus, and substrate processing apparatus
WO2018121069A1 (en) Lamination apparatus
CN203611252U (en) Adjustable arm sucker structure
JP6974065B2 (en) How to remove the board processing device and the board from the table of the board processing device
JP2007088344A5 (en)
JP2002057498A (en) Wiring board work system
KR102461287B1 (en) Transfer apparatus and method of transfer
KR101463060B1 (en) Vacuum suction apparatus
CN218826039U (en) Screen bearing mechanism and laminating equipment
KR20190124558A (en) Endless track module and apparatus having the same
KR20190002304A (en) Hand of industrial robot and industrial robot
KR20190115702A (en) Apparatus for cutting substrate
CN209736845U (en) Marking disc mechanism
JPH02155244A (en) Feeder for chip
KR100580944B1 (en) a optical film feeder system for light guide panel of back light
TWI566655B (en) Automatically-installing device and an electronic apparatus using the same
CN213378287U (en) Pole piece cleaning device
CN115194679A (en) Take vacuum adsorption's mask version automatic positioning fixed establishment
JP2007011150A (en) Substrate sticking device
KR102225634B1 (en) Bonding stage and die bonding apparatus including the same
CN106994754B (en) Disconnecting device
KR102331075B1 (en) Substrate procesing apparatus
CN211220755U (en) Adsorption manipulator and feeding conveying equipment
JP2006073946A (en) Glass substrate feeder

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application