KR20190002304A

KR20190002304A - Hand of industrial robot and industrial robot

Info

Publication number: KR20190002304A
Application number: KR1020180062538A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 히로시 아라카와
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2017-06-29
Filing date: 2018-05-31
Publication date: 2019-01-08
Also published as: CN109205301B; JP2019010692A; CN109205301A

Abstract

Provided is a hand of an industrial robot, wherein deformation of an object to be transferred is able to be restricted when an object to be transferred with a relatively low strength is sucked by a suction device, and is certainly sucked to the suction device in a hand of an industrial robot including the suction device vacuum-sucking the lower surface of the object to be transferred. According to the present invention, the hand comprises a fork (18, 19) and the suction device (22) to vacuum-suck the lower surface of the object (2) to be transferred loaded on the upper surface of the fork (18, 19). The suction device (22) comprises: a suction plate (40) in contact with the lower surface of the object (2) to be transferred to suck the object (2) to be transferred; a fixing member fixing the suction plate (40) on the top side and having a suction hole (41d) vertically penetrating thereinto; and a floating device (42) supporting the fixing member (41) to be tilted with respect to the fork (18, 19). The suction plate (40) is made of porous plastics.

Description

HAND OF INDUSTRIAL ROBOT AND INDUSTRIAL ROBOT [0002]

본 발명은 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 이 핸드를 구비하는 산업용 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a hand of an industrial robot for carrying a carrying object. The present invention also relates to an industrial robot equipped with this hand.

종래, 액정 디스플레이용의 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇의 핸드는, 직선상으로 형성되는 2개의 포크를 구비하고 있다. 포크의 선단측에는, 포크에 적재되는 유리 기판을 진공 흡착하는 복수의 흡착 패드가 설치되어 있다.BACKGROUND ART Conventionally, an industrial robot for transporting a glass substrate for a liquid crystal display is known (see, for example, Patent Document 1). The hand of the industrial robot described in Patent Document 1 has two forks formed in a straight line. On the leading end side of the fork, a plurality of adsorption pads for vacuum adsorbing the glass substrate to be mounted on the fork are provided.

일본 특허 공개 제2017-19061호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2017-19061

본원 발명자는, 예를 들어, 필름상으로 형성되는 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에서 사용 가능한 산업용 로봇의 핸드 구조를 검토하고 있다. 필름상의 유기 EL 디스플레이 제조 시스템 중에는, 예를 들어, 필름상으로 형성된 제조 도중의 유기 EL 디스플레이가 단체로 반송되는 제조 시스템도 있다면, 필름상으로 형성된 제조 도중의 유기 EL 디스플레이가 유리 기판에 부착된 상태에서 반송되는 제조 시스템도 있다.The inventor of the present application is studying a hand structure of an industrial robot usable, for example, in a production system of an organic EL display formed as a film. Among the film-based organic EL display manufacturing systems, for example, there is a manufacturing system in which an organic EL display during film formation is transported singly, and the organic EL display during film formation is attached to the glass substrate Lt; / RTI >

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇의 핸드에 의해, 제조 도중의 필름상의 유기 EL 디스플레이를 단체로 반송하는 경우, 반송 대상물인 제조 도중의 유기 EL 디스플레이의 강성이 낮기 때문에, 제조 도중의 유기 EL 디스플레이의, 흡착 패드에 흡착된 부분이 크게 변형되어서 손상될 우려가 있다. 또한, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇의 핸드에 의해, 제조 도중의 필름상의 유기 EL 디스플레이를 유리 기판에 부착한 상태에서 반송하는 경우, 반송 대상물인 제조 도중의 유기 EL 디스플레이의 강성이 높기 때문에, 예를 들어, 제조 도중의 유기 EL 디스플레이가 휘어 있으면, 이 유기 EL 디스플레이에 흡착 패드가 접촉하지 않게 되어, 이 유기 EL 디스플레이를 흡착 패드로 흡착할 수 없을 우려가 있다.In the case of transporting a film-like organic EL display in the course of manufacture by the hand of an industrial robot described in Patent Document 1, since the rigidity of the organic EL display during manufacturing, which is the object to be transported, is low, There is a possibility that the portion adsorbed on the adsorption pad is largely deformed and damaged. In the case of transporting the film-like organic EL display in the state of being attached to the glass substrate during the manufacture by the hand of the industrial robot described in Patent Document 1, since the rigidity of the organic EL display during manufacture which is the object to be transported is high, For example, if the organic EL display is bent during manufacture, the adsorption pad is not brought into contact with the organic EL display, and there is a fear that the organic EL display can not be adsorbed to the adsorption pad.

따라서, 본 발명의 과제는, 반송 대상물의 하면을 진공 흡착하는 흡착 기구를 구비하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서, 비교적 강성이 낮은 반송 대상물이 흡착 기구로 흡착되었을 때의 반송 대상물의 변형을 억제하는 것이 가능하며, 또한, 비교적 강성이 높은 반송 대상물을 흡착 기구로 확실하게 흡착하는 것이 가능한 산업용 로봇의 핸드를 제공하는 데 있다. 또한, 본 발명의 과제는, 이 핸드를 구비하는 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.Therefore, an object of the present invention is to suppress the deformation of the object to be carried when the object to be conveyed with a relatively low rigidity is attracted to the suction mechanism, in a hand of an industrial robot equipped with a suction mechanism for vacuum suctioning the lower surface of the object to be conveyed And it is also an object of the present invention to provide a hand of an industrial robot capable of surely attracting a carrying object having a relatively high rigidity with a suction mechanism. Another object of the present invention is to provide an industrial robot equipped with this hand.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇의 핸드는, 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서, 상면측에 반송 대상물이 적재되는 복수의 포크와, 포크의 상면측에 적재되는 반송 대상물의 하면을 진공 흡착하는 흡착 기구를 구비하고, 흡착 기구는, 반송 대상물의 하면에 접촉하여 반송 대상물을 흡착하는 흡착판과, 흡착판이 상단측에 고정됨과 함께 상하 방향으로 관통하는 흡인 구멍이 형성되는 고정 부재와, 포크에 대하여 틸팅 가능해지도록 고정 부재를 지지하는 플로팅 기구를 구비하고, 흡착판은, 다공질의 수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, a hand of an industrial robot according to the present invention is a hand of an industrial robot for carrying a carrying object, comprising: a plurality of forks on which an object to be carried is placed on the upper face side; And a suction mechanism for sucking the object to be conveyed by making contact with the lower surface of the object to be conveyed, and a suction port having a suction port penetrating in the up-and-down direction and being fixed to the upper end, And a floating mechanism for supporting the fixing member so as to be able to tilt with respect to the fork, wherein the suction plate is formed of a porous resin.

본 발명의 산업용 로봇 핸드에서는, 반송 대상물의 하면에 접촉하여 반송 대상물을 흡착하는 흡착판은, 다공질의 수지로 형성되어 있다. 그 때문에, 본 발명에서는, 반송 대상물을 흡착하는 구멍(즉, 기공)의 크기가 작다. 따라서, 본 발명에서는, 비교적 강성이 낮은 반송 대상물이 흡착 기구로 흡착되었을 때의 반송 대상물의 변형을 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에서는, 흡착판이 고정되는 고정 부재는, 포크에 대하여 틸팅 가능해지도록 플로팅 기구에 지지되어 있기 때문에, 비교적 강성이 높은 반송 대상물이 휘어 있더라도, 이 반송 대상물의 휨에 따라서 흡착판을 기울여서 반송 대상물에 흡착판을 확실하게 접촉시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 비교적 강성이 높은 반송 대상물을 흡착 기구로 확실하게 흡착하는 것이 가능해진다.In the industrial robotic hand of the present invention, the suction plate contacting with the lower surface of the object to be transported and picking up the object to be transported is made of a porous resin. Therefore, in the present invention, the size of the hole (i.e., pore) for adsorbing the object to be transported is small. Therefore, according to the present invention, it is possible to suppress the deformation of the object to be carried when the object to be conveyed with a relatively low rigidity is attracted by the suction mechanism. Further, in the present invention, since the fixing member to which the attracting plate is fixed is supported by the floating mechanism so as to be tilting with respect to the fork, even if the conveying object having a relatively high rigidity is bent, the attracting plate is inclined according to the warping of the conveying object, It is possible to reliably bring the adsorption plate into contact with the adsorption plate. Therefore, according to the present invention, it becomes possible to reliably attract a carrying object having a relatively high rigidity to the suction mechanism.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇의 핸드는, 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서, 상면측에 반송 대상물이 적재되는 복수의 포크와, 포크의 상면측에 적재되는 반송 대상물의 하면을 진공 흡착하는 흡착 기구를 구비하고, 흡착 기구는, 반송 대상물의 하면에 접촉하여 반송 대상물을 흡착하는 흡착판과, 흡착판이 상단측에 고정됨과 함께 상하 방향으로 관통하는 흡인 구멍이 형성되는 고정 부재와, 포크에 대하여 틸팅 가능해지도록 고정 부재를 지지하는 플로팅 기구를 구비하고, 흡착판에는, 샤워 헤드의 복수의 샤워 구멍과 같이 배치되는 복수의 제2 흡인 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-described problems, a hand of an industrial robot according to the present invention comprises: a plurality of forks on which an object to be carried is placed on an upper surface side of a hand of an industrial robot for carrying a object to be carried; And a suction mechanism for sucking the object to be conveyed in contact with the lower surface of the object to be conveyed; and a suction hole fixed to the upper side and penetrating in the vertical direction And a floating mechanism for supporting the fixing member so as to be able to be tilted with respect to the fork, wherein the suction plate is provided with a plurality of second suction holes arranged like a plurality of shower holes of the shower head .

본 발명의 산업용 로봇의 핸드에서는, 반송 대상물의 하면에 접촉하여 반송 대상물을 흡착하는 흡착판에, 샤워 헤드의 복수의 샤워 구멍과 같이 배치되는 복수의 제2 흡인 구멍이 형성되어 있다. 그로 인해, 본 발명에서는, 반송 대상물을 흡착하는 1개의 제2 흡인 구멍의 크기를 작게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 비교적 강성이 낮은 반송 대상물이 흡착 기구로 흡착되었을 때의 반송 대상물의 변형을 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에서는, 흡착판이 고정되는 고정 부재는, 포크에 대하여 틸팅 가능해지도록 플로팅 기구에 지지되어 있기 때문에, 비교적 강성이 높은 반송 대상물이 휘어 있더라도, 이 반송 대상물의 휨에 따라서 흡착판을 기울여서 반송 대상물에 흡착판을 확실하게 접촉시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 비교적 강성이 높은 반송 대상물을 흡착 기구로 확실하게 흡착하는 것이 가능해진다.In the hand of the industrial robot according to the present invention, a plurality of second suction holes, which are arranged like a plurality of shower holes of the shower head, are formed on a suction plate which contacts the lower surface of the object to be transported and attracts the object. Therefore, in the present invention, it is possible to reduce the size of one second suction hole for sucking the object to be transported. Therefore, according to the present invention, it is possible to suppress the deformation of the object to be carried when the object to be conveyed with a relatively low rigidity is attracted by the suction mechanism. Further, in the present invention, since the fixing member to which the attracting plate is fixed is supported by the floating mechanism so as to be tilting with respect to the fork, even if the conveying object having a relatively high rigidity is bent, the attracting plate is inclined according to the warping of the conveying object, It is possible to reliably bring the adsorption plate into contact with the adsorption plate. Therefore, according to the present invention, it becomes possible to reliably attract a carrying object having a relatively high rigidity to the suction mechanism.

본 발명에 있어서, 플로팅 기구는, 포크에 고정됨과 함께 고정 부재를 틸팅 가능하게 보유 지지하는 보유 지지 부재와, 보유 지지 부재에 대하여 고정 부재를 상측으로 향하여 밀어붙이는 밀어붙임 부재와, 고정 부재와 보유 지지 부재를 연결하는 환상의 고무판을 구비하고, 고무판의 외주측 부분은, 고무판의 둘레 방향의 전역에 걸쳐서 보유 지지 부재에 고정되고, 고무판의 내주측 부분은, 고무판의 둘레 방향의 전역에 걸쳐서 고정 부재에 고정되고, 고정 부재와 보유 지지 부재와 고무판에 둘러싸인 부분은, 흡인 구멍이 연결되는 밀폐 공간으로 되어 있고, 보유 지지 부재에는, 밀폐 공간에 연결되는 제3 흡인 구멍이 형성되고, 제3 흡인 구멍에 접속되는 흡인 기구에 의해 공기가 흡인되어서 흡착판에 반송 대상물이 흡착되면, 밀폐 공간이 부압이 되어, 밀어붙임 부재의 밀어붙임력에 저항하여 흡착판 및 고정 부재가 하측으로 이동하는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 흡착판이 반송 대상물을 흡착하여 흡착판 및 고정 부재가 하측으로 이동하면, 흡착판 및 고정 부재가 포크에 대하여 흔들리기 어려워진다. 따라서, 반송 대상물의 반송 시에, 핸드에 탑재된 반송 대상물의 상태를 안정시키는 것이 가능해진다.In the present invention, the floating mechanism includes: a holding member which is fixed to the fork and holds the holding member in a tiltable manner; a pushing member which pushes the holding member upward with respect to the holding member; Wherein the outer peripheral portion of the rubber plate is fixed to the holding member over the entire circumferential direction of the rubber plate and the inner peripheral portion of the rubber plate is fixed over the entire circumferential direction of the rubber plate And a portion surrounded by the holding member and the rubber plate serves as a closed space to which the suction holes are connected. The holding member is provided with a third suction hole connected to the closed space, and the third suction When air is sucked by the suction mechanism connected to the hole and the object to be conveyed is adsorbed on the suction plate, the sealed space becomes negative pressure , It is desirable to push to move the attraction plate and the fixing member is pushed downward against the attaching force of the attaching member. With this configuration, when the attracting plate adsorbs the object to be conveyed and the attracting plate and the holding member move downward, the attracting plate and the holding member become difficult to shake against the fork. Therefore, it is possible to stabilize the state of the carrying object mounted on the hand at the time of carrying the carrying object.

본 발명에 있어서, 밀어붙임 부재는, 압축 코일 스프링이며, 압축 코일 스프링의 상단측 부분은, 흡인 구멍 중에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 흡인 구멍의 외측으로 밀어붙임 부재가 배치되어 있는 경우와 비교하여, 흡착 기구를 소형화하는 것이 가능해진다.In the present invention, the pushing member is a compression coil spring, and the upper end portion of the compression coil spring is preferably disposed in the suction hole. With this configuration, it is possible to downsize the adsorption mechanism as compared with the case where the pushing member is arranged outside the suction hole.

본 발명에 있어서, 예를 들어, 보유 지지 부재는, 고무판의 외주측 부분을 상하 방향에서 끼우도록 배치되는 제1 보유 지지 부재 및 제2 보유 지지 부재를 구비하고, 제1 보유 지지 부재는, 포크의 상면측에 배치되고, 제2 보유 지지 부재는, 중공상으로 형성되는 포크의 내부에 배치되고, 제3 흡인 구멍은, 제2 보유 지지 부재에 형성되어 있다.In the present invention, for example, the holding member includes a first holding member and a second holding member arranged so as to sandwich the outer peripheral portion of the rubber plate in the vertical direction, and the first holding member includes: And the second holding member is disposed inside the fork formed in the hollow shape, and the third suction hole is formed in the second holding member.

본 발명의 핸드는, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 사용할 수 있다. 이 산업용 로봇에서는, 비교적 강성이 낮은 반송 대상물이 흡착 기구로 흡착되었을 때의 반송 대상물의 변형을 억제하는 것이 가능해짐과 함께, 비교적 강성이 높은 반송 대상물을 흡착 기구로 확실하게 흡착하는 것이 가능해진다.The hand of the present invention can be used in an industrial robot having an arm rotatably connected to a distal end side of a hand and a body portion rotatably connected to the proximal end side of the arm. In this industrial robot, it is possible to suppress the deformation of the conveying object when the conveying object having a relatively low rigidity is attracted by the attracting mechanism, and at the same time, the conveying object having a relatively high rigidity can be reliably attracted to the attracting mechanism.

이상과 같이, 본 발명에서는, 비교적 강성이 낮은 반송 대상물이 흡착 기구로 흡착되었을 때의 반송 대상물의 변형을 억제하는 것이 가능해짐과 함께, 비교적 강성이 높은 반송 대상물을 흡착 기구로 확실하게 흡착하는 것이 가능해진다.As described above, in the present invention, it is possible to suppress the deformation of the conveying object when the conveying object having a relatively low rigidity is adsorbed by the adsorbing mechanism, and at the same time, to reliably attract the conveying object having a relatively high rigidity to the adsorbing mechanism It becomes possible.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 핸드의 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시하는 핸드의 기부의 내부의 구조를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 3에 도시하는 포크의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 도 3에 도시하는 흡착 기구 및 포크의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 흡착판의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 8은 도 7에 도시하는 흡착판의 평면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a side view of the industrial robot shown in Fig. 1. Fig.
3 is a plan view of the hand shown in Fig.
4 is a plan view for explaining the internal structure of the base portion of the hand shown in Fig.
5 is a plan view for explaining the operation of the fork shown in Fig.
6 is a cross-sectional view of the adsorption mechanism and fork shown in Fig.
7 is a cross-sectional view for explaining a configuration of a suction plate according to another embodiment of the present invention.
8 is a plan view of the suction plate shown in Fig.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 전체 구성)(Overall configuration of industrial robot)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 측면도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in Fig.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은 소정의 반송 대상물(2)을 반송하기 위한 수평 다관절형의 로봇이다. 이 로봇(1)은 예를 들어, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 조립되어서 사용된다. 본 형태의 반송 대상물(2)은 예를 들어, 필름상으로 형성된 제조 도중의 유기 EL 디스플레이이며, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에서는, 이 유기 EL 디스플레이가 단체로 반송되거나, 유리 기판에 부착된 상태에서 반송되거나 한다. 또한, 반송 대상물(2)은 직사각형의 평판상으로 형성되어 있다. 본 형태의 로봇(1)은 크기가 서로 다른 복수 종류의 반송 대상물(2)을 반송하는 것이 가능하게 되어 있다(도 3 참조).The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is a horizontal articulated robot for carrying a predetermined article 2 to be transported. This robot 1 is used by being assembled in, for example, a manufacturing system of an organic EL display. The object to be transported 2 of this embodiment is an organic EL display which is formed in the form of a film, for example, in a manufacturing process. In the manufacturing system of the organic EL display, the organic EL display is transported singly, Or returned. In addition, the object 2 to be transported is formed in the shape of a rectangular flat plate. The robot 1 of this embodiment is capable of transporting a plurality of kinds of transport objects 2 having different sizes (see Fig. 3).

로봇(1)은 반송 대상물(2)이 탑재되는 2개의 핸드(3)와, 2개의 핸드(3) 각각이 선단측에 연결되는 2개의 아암(4)과, 2개의 아암(4)을 지지하는 본체부(5)와, 본체부(5)를 수평 방향으로 이동 가능하게 지지하는 베이스(6)를 구비하고 있다. 본체부(5)는 아암(4)의 기단측을 지지함과 함께 상하 이동 가능한 아암 서포트(7)와, 아암 서포트(7)를 상하 이동 가능하게 지지하는 지지 프레임(8)과, 본체부(5)의 하단 부분을 구성함과 함께 베이스(6)에 대하여 수평 이동 가능한 기대(9)와, 지지 프레임(8)의 하단이 고정됨과 함께 기대(9)에 대하여 회동 가능한 선회 프레임(10)을 구비하고 있다.The robot 1 is provided with two hands 3 on which the object to be transported 2 is mounted, two arms 4 each of which is connected to the distal end of the two hands 3, And a base 6 for supporting the body portion 5 so as to be movable in the horizontal direction. The main body portion 5 includes an arm support 7 which supports the base end side of the arm 4 and is movable up and down, a support frame 8 which supports the arm support 7 so as to be movable up and down, 5 and a horizontally movable base 9 with respect to the base 6 and a revolving frame 10 which is fixed to the lower end of the support frame 8 and is rotatable with respect to the base 9 Respectively.

아암(4)은 제1 아암부(12)와 제2 아암부(13)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있다. 제1 아암부(12)의 기단측은, 아암 서포트(7)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 즉, 아암(4)의 기단측은, 본체부(5)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 아암부(12)의 선단측에는, 제2 아암부(13)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 아암부(13)의 선단측에는, 핸드(3)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 즉, 아암(4)의 선단측에는, 핸드(3)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 로봇(1)은 2개의 아암(4) 각각을 신축시키는 2개의 아암 구동 기구를 구비하고 있다.The arm 4 is constituted by two arm portions, that is, a first arm portion 12 and a second arm portion 13. The proximal end side of the first arm portion 12 is rotatably connected to the arm support 7. That is, the proximal end side of the arm 4 is rotatably connected to the main body part 5. [ On the tip end side of the first arm portion 12, the base end side of the second arm portion 13 is rotatably connected. A hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the second arm 13. That is, the hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the arm 4. The robot 1 is provided with two arm drive mechanisms for expanding and contracting the two arms 4, respectively.

지지 프레임(8)은 아암 서포트(7)를 통하여 핸드(3) 및 아암(4)을 승강 가능하게 보유 지지하고 있다. 이 지지 프레임(8)은 아암 서포트(7)를 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥 형상의 제1 지지 프레임(14)과, 제1 지지 프레임(14)을 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥 형상의 제2 지지 프레임(15)을 구비하고 있다. 로봇(1)은 제1 지지 프레임(14)에 대하여 아암 서포트(7)를 승강시키는 승강 기구와, 제2 지지 프레임(15)에 대하여 제1 지지 프레임(14)을 승강시키는 승강 기구와, 제1 지지 프레임(14)을 상하 방향으로 안내하는 가이드 기구와, 아암 서포트(7)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 기구를 구비하고 있다.The support frame 8 holds the hand 3 and the arm 4 in a liftable manner via the arm support 7. The support frame 8 includes a columnar first support frame 14 for vertically holding the arm support 7 and a columnar second support frame 14 for vertically holding the first support frame 14 And a support frame (15). The robot 1 includes a lifting mechanism for lifting and lowering the arm support 7 with respect to the first support frame 14 and a lifting mechanism for lifting and lowering the first support frame 14 with respect to the second support frame 15, 1, a guide mechanism for guiding the support frame 14 in the vertical direction, and a guide mechanism for guiding the arm support 7 in the vertical direction.

제2 지지 프레임(15)의 하단은 선회 프레임(10)에 고정되어 있다. 선회 프레임(10)은 상술한 바와 같이, 기대(9)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다. 로봇(1)은 기대(9)에 대하여 선회 프레임(10)을 회동시키는 회동 기구를 구비하고 있다. 기대(9)는 상술한 바와 같이, 베이스(6)에 대하여 수평 이동 가능하게 되어 있다. 로봇(1)은 베이스(6)에 대하여 기대(9)를 수평 이동시키는 수평 이동 기구를 구비하고 있다.The lower end of the second support frame 15 is fixed to the revolving frame 10. The revolving frame 10 is rotatable with respect to the base 9 as described above. The robot (1) is provided with a turning mechanism that rotates the revolving frame (10) with respect to the base (9). The base 9 is horizontally movable with respect to the base 6, as described above. The robot 1 is provided with a horizontal moving mechanism for horizontally moving the base 9 with respect to the base 6. [

(핸드의 구성)(Construction of hand)

도 3은, 도 1에 도시하는 핸드(3)의 평면도이다. 도 4는, 도 3에 도시하는 핸드(3)의 기부(17)의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이다. 도 5는, 도 3에 도시하는 포크(18, 19)의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.3 is a plan view of the hand 3 shown in Fig. 4 is a plan view for explaining the internal structure of the base portion 17 of the hand 3 shown in Fig. 5 is a plan view for explaining the operation of the forks 18 and 19 shown in Fig.

핸드(3)는 제2 아암부(13)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 기부(17)와, 상면측으로 반송 대상물(2)이 적재되는 복수의 포크(18, 19)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(3)는 2개의 포크(18)와 2개의 포크(19)의 합계 4개의 포크(18, 19)를 구비하고 있다. 또한, 핸드(3)는 포크(18, 19)의 상면측에 고정됨과 함께 반송 대상물(2)이 적재되는 복수의 적재 부재(21)와, 적재 부재(21)에 적재되는 반송 대상물(2)(즉, 포크(18, 19)의 상면측에 적재되는 반송 대상물(2))의 하면을 진공 흡착하는 복수의 흡착 기구(22)를 구비하고 있다.The hand 3 is provided with a base portion 17 rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 13 and a plurality of forks 18 and 19 on which the object to be transported 2 is mounted on the upper surface side. The hand 3 of this embodiment is provided with four forks 18 and 19 in total including two forks 18 and two forks 19. [ The hand 3 is fixed to the upper surface side of the forks 18 and 19 and is provided with a plurality of stacking members 21 on which the objects 2 to be transported are stacked and a transport object 2 to be stacked on the stacking members 21. [ And a plurality of suction mechanisms 22 for vacuum-suctioning the lower surface of the object (that is, the object 2 to be carried on the upper surface of the forks 18 and 19).

기부(17)는 중공상으로 형성됨과 함께 상하 방향의 두께가 얇은 편평한 대략 직육면체상으로 형성되어 있다. 포크(18, 19)는, 직선상으로 형성되어 있다. 4개의 포크(18, 19)는, 기부(17)로부터 수평 방향의 동일 방향으로 돌출되어 있다. 또한, 4개의 포크(18, 19)는, 서로 평행하게 배치되어 있다. 포크(18, 19)의 긴 변 방향(도 3 등의 X 방향)을 「전후 방향」으로 하고 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 도 3 등의 Y 방향을 「좌우 방향」으로 하면, 2개의 포크(18)는 좌우 방향의 내측에 배치되고, 2개의 포크(19)는 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다.The base portion 17 is formed in a hollow and substantially rectangular parallelepiped shape having a thin thickness in the vertical direction. The forks 18 and 19 are formed in a straight line. The four forks 18, 19 protrude from the base 17 in the same horizontal direction. Further, the four forks 18 and 19 are arranged parallel to each other. When the forks 18 and 19 are in the "forward and backward direction" in the long side direction (the X direction in FIG. 3 and the like) and the Y direction in FIG. 3 or the like orthogonal to the up and down direction and the front- And the two forks 19 are arranged on the outside in the left and right directions.

포크(18, 19)는, 탄소 섬유를 함유하는 수지로 형성되어 있다. 또한, 포크(18, 19)는, 중공상으로 형성됨과 함께 가늘고 긴 대략 직육면체상으로 형성되어 있다. 포크(18, 19)의 상하 양면은, 평면으로 되어 있다. 또한, 포크(18, 19)의 좌우 양측면은, 좌우 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 포크(18, 19)의 상하 방향의 두께는, 포크(18, 19)의 기단부로부터 선단을 향함에 따라서 점차 얇게 되어 있다(도 2 참조).The forks 18 and 19 are formed of a resin containing carbon fibers. Further, the forks 18 and 19 are formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, which is formed into a hollow shape. Both upper and lower surfaces of the forks 18 and 19 are flat. The left and right side surfaces of the forks 18 and 19 are planes orthogonal to the left and right directions. The thickness of the forks 18 and 19 in the up-and-down direction becomes gradually thinner from the proximal end toward the distal end of the forks 18 and 19 (see Fig. 2).

적재 부재(21)는 수지로 형성되어 있다. 또한, 적재 부재(21)는 대략 직사각형의 평판상으로 형성되어 있다. 2개의 포크(18)의 각각의 상면, 및 2개의 포크(19)의 각각의 상면에, 복수의 적재 부재(21)가 고정되어 있다. 복수의 적재 부재(21)는 전후 방향에 있어서, 포크(18, 19)의, 반송 대상물(2)을 적재 가능한 범위의 전역에 배열되어 있다. 즉, 도 3에 도시한 바와 같이, 복수의 적재 부재(21)는 전후 방향에 있어서, 포크(18, 19)의, 반송 대상물(2)을 적재 가능한 범위의 전역에 이어지도록 배열되어 있다.The loading member 21 is made of resin. The stacking member 21 is formed in a substantially rectangular flat plate shape. A plurality of loading members 21 are fixed to the upper surface of each of the two forks 18 and the upper surface of each of the two forks 19. The plurality of stacking members 21 are arranged in the entire range of the forks 18, 19 in the forward and backward directions in which the objects to be transported 2 can be loaded. 3, the plurality of stacking members 21 are arranged so as to extend over the entire range of the forks 18, 19 in which the objects to be transported 2 can be stacked in the front-rear direction.

포크(18)에 있어서, 흡착 기구(22)는 포크(18)의 선단측의 2군데에 설치되어 있다. 포크(19)에 있어서, 흡착 기구(22)는 포크(19)의 선단측의 2군데와, 전후 방향에 있어서의 포크(19)의 중간 위치의 1군데의 합계 3군데에 설치되어 있다. 흡착 기구(22)가 설치되는 장소에서는, 전후 방향에 있어서의 적재 부재(21)의 간격이 넓게 되어 있고, 흡착 기구(22)는 전후 방향에 있어서의 적재 부재(21)의 사이에 배치되어 있다. 흡착 기구(22)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.In the fork 18, the suction mechanism 22 is provided at two positions on the tip end side of the fork 18. In the fork 19, the adsorption mechanism 22 is provided at three positions, that is, one of the two positions on the distal end side of the fork 19 and one position in the middle of the fork 19 in the anteroposterior direction. The space between the loading members 21 in the front-rear direction is widened at the place where the suction mechanism 22 is provided and the suction mechanism 22 is disposed between the loading members 21 in the front-rear direction . The detailed structure of the adsorption mechanism 22 will be described later.

포크(18, 19)의 기단부는, 중공상으로 형성되는 기부(17)의 내부에 배치되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 기부(17)의 내부에는, 좌우 방향에 있어서의 2개의 포크(18)의 피치를 변경하는 포크 피치 변경 기구(26)와, 좌우 방향에 있어서의 2개의 포크(19)의 피치를 변경하는 포크 피치 변경 기구(27)가 배치되어 있다. 즉, 핸드(3)는 포크 피치 변경 기구(26, 27)를 구비하고 있다.The proximal end portions of the forks 18 and 19 are disposed inside the base portion 17 formed in a hollow shape. 4, a fork pitch changing mechanism 26 for changing the pitch of the two forks 18 in the left and right direction and two forks (for example, 19 for changing the pitch of the fork pitch changing mechanism 27 are disposed. That is, the hand 3 is provided with the fork pitch changing mechanism 26, 27.

포크 피치 변경 기구(26)는 구동원인 모터(29)와, 모터(29)의 출력축에 연결되는 나사 부재(30)와, 2개의 포크(18) 중 한쪽에 고정되는 너트 부재(도시 생략)와, 2개의 포크(18) 중 다른 쪽에 고정되는 너트 부재(도시 생략)를 구비하고 있다. 포크 피치 변경 기구(27)는 포크 피치 변경 기구(26)와 마찬가지로 구성되어 있다. 즉, 포크 피치 변경 기구(27)는 모터(29)와 마찬가지로 구성되는 모터(34)와, 나사 부재(30)와 마찬가지로 구성되는 나사 부재(35)와, 2개의 포크(19) 중 한쪽에 고정되는 너트 부재(도시 생략)와, 2개의 포크(19) 중 다른 쪽에 고정되는 너트 부재(도시 생략)를 구비하고 있다.The fork pitch changing mechanism 26 includes a drive motor 29, a screw member 30 connected to the output shaft of the motor 29, a nut member (not shown) fixed to one of the two forks 18, And a nut member (not shown) fixed to the other of the two forks 18. The fork pitch changing mechanism 27 is configured similarly to the fork pitch changing mechanism 26. [ That is, the fork pitch changing mechanism 27 includes a motor 34 configured similarly to the motor 29, a screw member 35 configured similarly to the screw member 30, (Not shown) fixed to the other of the two forks 19 and a nut member (not shown) fixed to the other of the two forks 19. [

나사 부재(30, 35)는, 가늘고 긴 막대상으로 형성되어 있다. 나사 부재(30, 35)는, 나사 부재(30, 35)의 축방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있고, 기부(17)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 나사 부재(30, 35)는, 나사 부재(30, 35)의 일단부측을 구성하는 순나사부(30a, 35a)와, 나사 부재(30, 35)의 타단부측을 구성하는 역나사부(30b, 35b)를 구비하고 있다. 순나사부(30a, 35a)에는, 순나사가 형성되고, 역나사부(30b, 35b)에는, 역나사가 형성되어 있다.The screw members 30 and 35 are formed as elongated thin film objects. The screw members 30 and 35 are arranged so that the axial direction and the lateral direction of the screw members 30 and 35 coincide with each other and are rotatably supported by the base portion 17. The screw members 30 and 35 are composed of the net thread portions 30a and 35a constituting one end side of the screw members 30 and 35 and the reverse thread portions 30b and 30b constituting the other end side of the screw members 30 and 35, 35b. The net threaded portions 30a and 35a are formed with net threads and the reverse threaded portions 30b and 35b are formed with reverse threads.

한쪽 포크(18)에 고정되는 너트 부재는, 순나사부(30a)에 걸림 결합하고, 다른 쪽 포크(18)에 고정되는 너트 부재는, 역나사부(30b)에 걸림 결합하고 있다. 마찬가지로, 한쪽 포크(19)에 고정되는 너트 부재는, 순나사부(35a)에 걸림 결합하고, 다른 쪽 포크(19)에 고정되는 너트 부재는, 역나사부(35b)에 걸림 결합하고 있다. 2개의 포크(18) 및 2개의 포크(19)는 2개의 공통의 가이드 레일(36)에 의해 좌우 방향으로 안내된다. 가이드 레일(36)은 가이드 레일(36)의 긴 변 방향과 좌우 방향이 일치하도록 기부(17)에 고정되어 있다. 포크(18, 19)에는, 가이드 레일(36)에 걸림 결합하는 가이드 블록(도시 생략)이 설치되어 있다.The nut member fixed to the one fork 18 is engaged with the net threaded portion 30a and the nut member fixed to the other fork 18 is engaged with the reverse threaded portion 30b. Similarly, the nut member fixed to the one fork 19 is engaged with the net threaded portion 35a, and the nut member fixed to the other fork 19 is engaged with the reverse threaded portion 35b. The two forks 18 and the two forks 19 are guided laterally by two common guide rails 36. The guide rail 36 is fixed to the base 17 so that the long side direction and the left-right direction of the guide rail 36 coincide with each other. The forks 18 and 19 are provided with guide blocks (not shown) for engaging with the guide rails 36.

포크 피치 변경 기구(26)에서는, 모터(29)가 회전하여 나사 부재(30)가 회전하면, 한쪽 포크(18)와 다른 쪽 포크(18)가 좌우의 역방향으로 동일한 양만큼 이동하여 2개의 포크(18)의 좌우 방향의 피치가 변경된다. 마찬가지로, 포크 피치 변경 기구(27)에서는, 모터(34)가 회전하여 나사 부재(35)가 회전하면, 한쪽 포크(19)와 다른 쪽 포크(19)가 좌우의 역방향으로 동일한 양만큼 이동하여 2개의 포크(19)의 좌우 방향의 피치가 변경된다.In the fork pitch changing mechanism 26, when the motor 29 rotates and the screw member 30 rotates, the one fork 18 and the other fork 18 move by the same amount in opposite directions in the right and left direction, The pitch in the left-right direction of the base 18 is changed. Similarly, in the fork pitch changing mechanism 27, when the motor 34 rotates and the screw member 35 rotates, the one fork 19 and the other fork 19 move by the same amount in the left and right opposite directions, The pitches of the forks 19 in the left and right direction are changed.

본 형태에서는, 로봇(1)으로 반송되는 반송 대상물(2)의 크기가 결정되면, 로봇(1)이 반송 대상물(2)을 반송하는 반송 동작 전에, 포크 피치 변경 기구(26)는 필요에 따라 2개의 포크(18)의 좌우 방향의 피치를 변경하고, 포크 피치 변경 기구(27)는 필요에 따라 2개의 포크(19)의 좌우 방향의 피치를 변경한다. 즉, 포크 피치 변경 기구(26, 27)는, 로봇(1)에 의한 반송 대상물(2)의 반송 동작 중에, 포크(18, 19)의 좌우 방향의 피치를 변경하는 일은 없다. 포크 피치 변경 기구(26, 27)는, 예를 들어, 도 5에 도시한 바와 같이, 로봇(1)으로 반송되는 반송 대상물(2)의 크기에 따라, 포크(18, 19)의 좌우 방향의 피치를 변경한다.In the present embodiment, if the size of the transport object 2 transported to the robot 1 is determined, before the transport operation in which the robot 1 transports the transport object 2, the fork pitch change mechanism 26 The lateral pitch of the two forks 18 is changed and the fork pitch changing mechanism 27 changes the pitch of the two forks 19 in the lateral direction as required. That is, the fork pitch changing mechanisms 26 and 27 do not change the pitch in the left and right direction of the forks 18 and 19 during the transportation operation of the object 2 by the robot 1. [ 5, the fork pitch changing mechanisms 26 and 27 change the positions of the forks 18 and 19 in the left and right directions of the forks 18 and 19 in accordance with the size of the object 2 to be transported by the robot 1. [ Change the pitch.

(흡착 기구의 구성)(Configuration of Adsorption Mechanism)

도 6은, 도 3에 도시하는 흡착 기구(22) 및 포크(18, 19)의 단면도이다.Fig. 6 is a cross-sectional view of the adsorption mechanism 22 and the forks 18, 19 shown in Fig.

포크(18, 19)의 상면부에는, 흡착 기구(22)가 배치되는 관통 구멍(18a, 19a)이 형성되어 있다. 관통 구멍(18a, 19a)은, 포크(18, 19)의 상면부를 상하 방향으로 관통하고 있다. 흡착 기구(22)는 반송 대상물(2)의 하면에 접촉하여 반송 대상물(2)을 흡착하는 흡착판(흡착 패드)(40)과, 흡착판(40)이 상단측에 고정되는 고정 부재(41)를 구비하고 있다. 또한, 흡착 기구(22)는 포크(18, 19)에 대하여 틸팅 가능해지도록 고정 부재(41)를 지지하는 플로팅 기구(42)를 구비하고 있다. 즉, 흡착 기구(22)는 포크(18, 19)에 대하여 고정 부재(41)를 기울이는 것이 가능해지도록 고정 부재(41)를 지지하는 플로팅 기구(42)를 구비하고 있다.Through holes (18a, 19a) in which the adsorption mechanism (22) is disposed are formed in the upper surface portions of the forks (18, 19). The through holes 18a and 19a penetrate the upper surface portions of the forks 18 and 19 vertically. The adsorption mechanism 22 includes an adsorption plate (adsorption pad) 40 for contacting the lower surface of the article to be transported 2 to adsorb the article 2 to be transported and a fixing member 41 for fixing the adsorption plate 40 to the upper side Respectively. The adsorption mechanism 22 also has a floating mechanism 42 for supporting the fixing member 41 so as to be tilting with respect to the forks 18 and 19. That is, the suction mechanism 22 is provided with a floating mechanism 42 for supporting the fixing member 41 so that the fixing member 41 can be tilted with respect to the forks 18, 19.

고정 부재(41)는 수지로 형성되어 있다. 이 고정 부재(41)는 고정 부재(41)의 상단측 부분을 이루는 상단부(41a)와, 고정 부재(41)의 하단측 부분을 이루는 하단부(41b)와, 상하 방향에 있어서의 고정 부재(41)의 중간 부분을 이루는 중간부(41c)로 구성되어 있다. 상단부(41a)는 대략 원판상으로 형성되어 있다. 하단부(41b)는, 대략 원기둥상으로 형성되어 있다. 중간부(41c)는 상측을 향함에 따라서 외경이 점차 커지는 대략 원뿔대상으로 형성되어 있다.The fixing member 41 is made of resin. The fixing member 41 includes an upper end portion 41a constituting an upper end portion of the fixing member 41, a lower end portion 41b constituting a lower end portion of the fixing member 41, And an intermediate portion 41c constituting an intermediate portion of the intermediate portion 41c. The upper end 41a is formed in a substantially disc shape. The lower end portion 41b is formed in a substantially cylindrical shape. The intermediate portion 41c is formed as a substantially conical object whose outer diameter gradually increases toward the upper side.

하단부(41b)의 상단은, 중간부(41c)의 하단에 연결되고, 중간부(41c)의 상단에는, 상단부(41a)가 연결되어 있다. 상단부(41a)의 외경은, 중간부(41c)의 상단의 외경보다도 크게 되어 있다. 하단부(41b)의 외경은, 중간부(41c)의 하단의 외경보다도 작게 되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때에, 상단부(41a)의 중심과, 중간부(41c)의 중심과, 하단부(41b)의 중심은 일치하고 있다.The upper end of the lower end portion 41b is connected to the lower end of the intermediate portion 41c and the upper end portion 41a is connected to the upper end of the intermediate portion 41c. The outer diameter of the upper end 41a is larger than the outer diameter of the upper end of the intermediate portion 41c. The outer diameter of the lower end portion 41b is smaller than the outer diameter of the lower end portion of the intermediate portion 41c. The center of the upper end portion 41a, the center of the middle portion 41c, and the center of the lower end portion 41b coincide with each other when viewed from above and below.

고정 부재(41)의 중심에는, 상하 방향으로 관통하는 흡인 구멍(41d)이 형성되어 있다. 상단부(41a)의 상면에는, 하측으로 향하여 오목해지는 원 형상의 오목부(41e)가 형성되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때에, 오목부(41e)의 중심은, 흡인 구멍(41d)의 중심과 일치하고 있다. 오목부(41e)의 중심 부분에는, 하측으로 향하여 더욱 오목해지는 원 형상의 오목부(41f)가 형성되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때에, 오목부(41f)의 중심은, 흡인 구멍(41d)의 중심과 일치하고 있다. 흡인 구멍(41d)의 상단은, 오목부(41f)의 중심에 연결되어 있다.At the center of the fixing member 41, a suction hole 41d penetrating in the vertical direction is formed. On the upper surface of the upper end portion 41a, a circular concave portion 41e is formed which is recessed downward. The center of the concave portion 41e coincides with the center of the suction hole 41d when viewed from above and below. In the central portion of the recessed portion 41e, a circular recessed portion 41f is formed so as to be more concave toward the lower side. The center of the concave portion 41f coincides with the center of the suction hole 41d when viewed from above and below. The upper end of the suction hole 41d is connected to the center of the recess 41f.

흡착판(40)은 다공질의 수지로 형성되어 있다. 또한, 흡착판(40)은 원판상으로 형성되어 있다. 흡착판(40)은 오목부(41e) 중에 배치되어 있다. 흡착판(40)의 상면 및 하면은, 평면으로 되어 있다. 또한, 흡착판(40)은 오목부(41e)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 흡착판(40)의 하면은, 오목부(41e)의 저면에 접촉하고 있고, 흡착판(40)의 하면이 접착제에 의해 오목부(41e)의 저면에 고정되어 있다. 흡착판(40)의 외경은, 오목부(41e)의 내경과 거의 동등하게 되어 있다. 흡착판(40)의 상면에는, 반송 대상물(2)이 적재된다.The adsorption plate 40 is formed of a porous resin. The adsorption plate 40 is formed in a disc shape. The attracting plate 40 is disposed in the concave portion 41e. The top and bottom surfaces of the attracting plate 40 are flat. Further, the attracting plate 40 is fixed to the concave portion 41e. Specifically, the lower surface of the attracting plate 40 is in contact with the bottom surface of the concave portion 41e, and the lower surface of the attracting plate 40 is fixed to the bottom surface of the concave portion 41e by an adhesive. The outer diameter of the attracting plate 40 is substantially equal to the inner diameter of the concave portion 41e. On the upper surface of the attracting plate 40, a conveying object 2 is loaded.

플로팅 기구(42)는 상술한 바와 같이, 포크(18, 19)에 대하여 틸팅 가능해지도록 고정 부재(41)를 지지하고 있다. 또한, 플로팅 기구(42)는 포크(18, 19)에 대하여 상하 이동 가능해지도록 고정 부재(41)를 지지하고 있다. 플로팅 기구(42)는 포크(18, 19)에 고정됨과 함께 고정 부재(41)를 틸팅 가능하게 보유 지지하는 보유 지지 부재(43)와, 고정 부재(41)와 보유 지지 부재(43)를 연결하는 환상의 고무판(44)과, 보유 지지 부재(43)에 대하여 고정 부재(41)를 상측으로 밀어붙이는 밀어붙임 부재로서의 압축 코일 스프링(45)을 구비하고 있다. 보유 지지 부재(43)는 포크(18, 19)의 상면측에 배치되는 제1 보유 지지 부재(48)와, 중공상으로 형성되는 포크(18, 19)의 내부에 배치되는 제2 보유 지지 부재(49)를 구비하고 있다. 본 형태에서는, 제1 보유 지지 부재(48)와 제2 보유 지지 부재(49)에 의해 보유 지지 부재(43)가 구성되어 있다. 제1 보유 지지 부재(48)와 제2 보유 지지 부재(49)는 별체로 형성되어 있다.The floating mechanism 42 supports the fixing member 41 so that it can be tilted with respect to the forks 18 and 19 as described above. Further, the floating mechanism 42 supports the fixing member 41 so as to be movable up and down with respect to the forks 18 and 19. The floating mechanism 42 includes a holding member 43 fixed to the forks 18 and 19 and holding the holding member 41 in a tilting manner and a holding member 43 connecting the holding member 41 and the holding member 43 And a compression coil spring 45 as a pushing member for pushing the fixing member 41 upward with respect to the holding member 43. As shown in Fig. The holding member 43 includes a first holding member 48 disposed on the upper surface side of the forks 18 and 19 and a second holding member 48 disposed inside the fork 18, (49). In this embodiment, the holding member 43 is constituted by the first holding member 48 and the second holding member 49. [ The first holding member 48 and the second holding member 49 are formed separately.

제1 보유 지지 부재(48)는 상하 방향의 두께가 얇은 편평한 대략 직육면체상으로 형성되어 있다. 제1 보유 지지 부재(48)의 중심에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(48a)이 형성되어 있다. 관통 구멍(48a)의 내주면은, 상측을 향함에 따라서 내경이 점차 커지는 경사면으로 되어 있다. 제1 보유 지지 부재(48)의 상면에는, 하측으로 향하여 오목해지는 원 형상의 오목부(48b)가 형성되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때에, 오목부(48b)의 중심은, 관통 구멍(48a)의 중심과 일치하고 있다. 관통 구멍(48a)의 상단은, 오목부(48b)의 중심에 연결되어 있다.The first holding member 48 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape having a thin thickness in the vertical direction. At the center of the first holding member 48, a through hole 48a penetrating in the vertical direction is formed. The inner peripheral surface of the through hole 48a is an inclined surface whose inner diameter gradually increases toward the upper side. On the upper surface of the first holding member 48, a circular concave portion 48b recessed downward is formed. The center of the concave portion 48b coincides with the center of the through hole 48a when viewed from above and below. The upper end of the through hole 48a is connected to the center of the recess 48b.

제1 보유 지지 부재(48)의 하면에는, 단차가 형성되어 있고, 제1 보유 지지 부재(48)의 하면의 외주측 부분은, 제1 보유 지지 부재(48)의 하면의 내주측 부분보다도 상측에 배치되어 있다. 제1 보유 지지 부재(48)의 하면의 외주측 부분은, 포크(18, 19)의 상면에 접촉하고 있다. 제1 보유 지지 부재(48)는 포크(18, 19)의 상면부에 상측으로부터 고정되어 있다. 제1 보유 지지 부재(48)의 일부는, 관통 구멍(18a, 19a) 중에 배치되어 있다.The outer peripheral side portion of the lower surface of the first holding member 48 is formed on the lower surface of the first holding member 48 at a position higher than the inner peripheral side portion of the lower surface of the first holding member 48 Respectively. The outer peripheral side portion of the lower surface of the first holding member 48 is in contact with the upper surface of the forks 18, 19. The first holding member 48 is fixed to the upper surface of the forks 18 and 19 from above. A part of the first holding member 48 is disposed in the through holes 18a, 19a.

제2 보유 지지 부재(49)는 대략 직육면체의 블록상으로 형성되어 있다. 좌우 방향에 있어서, 제2 보유 지지 부재(49)는 제1 보유 지지 부재(48)보다도 작게 되어 있다. 제2 보유 지지 부재(49)는 포크(18, 19)의 상면부에 하측으로부터 고정되어 있다. 제2 보유 지지 부재(49)의 상면에는, 하측으로 향하여 크게 오목해지는 원 형상의 오목부(49a)가 형성되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때에, 오목부(49a)의 중심은, 제2 보유 지지 부재(49)의 중심과 일치하고 있다. 제2 보유 지지 부재(49)의 하단측 부분에는, 오목부(49a)의 저면의 중심에 연결되는 흡인 구멍(49b)이 형성되어 있다. 본 형태의 흡인 구멍(49b)은 제3 흡인 구멍이다.The second holding member 49 is formed in a substantially rectangular parallelepiped block shape. The second holding member 49 is smaller than the first holding member 48 in the left-right direction. The second holding member 49 is fixed to the upper surface portion of the forks 18 and 19 from below. On the upper surface of the second holding member 49, a circular concave portion 49a is formed which is largely recessed downward. The center of the concave portion 49a coincides with the center of the second holding member 49 when viewed from above and below. A suction hole 49b connected to the center of the bottom surface of the concave portion 49a is formed in the lower end portion of the second holding member 49. [ The suction hole 49b of this embodiment is the third suction hole.

흡인 구멍(49b)은 오목부(49a)의 저면의 중심부터 하측으로 향하여 오목해지는 부분과, 이 부분의 하단으로부터 전후 방향의 일방측으로 신장하는 부분으로 구성되어 있고, 좌우 방향으로부터 보았을 때의 흡인 구멍(49b)의 형상은, L 형상으로 되어 있다. 흡인 구멍(49b)의 일단부는, 오목부(49a)에 연결되고, 흡인 구멍(49b)의 타단부에는, 소정의 배관을 통하여 진공 펌프 등의 흡인 기구(도시 생략)가 접속되어 있다.The suction hole 49b is constituted by a portion recessed from the center of the bottom surface of the concave portion 49a and a portion extending from the lower end of the portion toward one side in the front and rear direction, Shaped portion 49b is L-shaped. One end of the suction hole 49b is connected to the concave portion 49a and a suction mechanism (not shown) such as a vacuum pump is connected to the other end of the suction hole 49b through a predetermined pipe.

고무판(44)은 예를 들어, 실리콘 고무로 형성되어 있다. 또한, 고무판(44)은 원환상으로 형성되어 있다. 고무판(44)의 내주측에는, 고정 부재(41)의 하단부(41b)가 삽입 관통되어 있다. 고무판(44)의 외주측 부분은, 고무판(44)의 둘레 방향의 전역에 걸쳐서 보유 지지 부재(43)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 제1 보유 지지 부재(48)의 하면과 제2 보유 지지 부재(49)의 상면에 의해, 고무판(44)의 외주측 부분이 보유 지지 부재(43)에 고정되어 있다. 고무판(44)의 외주측 부분은, 제1 보유 지지 부재(48)의 하면의 내주측 부분과 제2 보유 지지 부재(49)의 상면 사이에 끼워져 있다. 즉, 제1 보유 지지 부재(48)와 제2 보유 지지 부재(49)는, 고무판(44)의 외주측 부분을 상하 방향에서 끼우도록 배치되어 있다.The rubber plate 44 is made of, for example, silicone rubber. The rubber plate 44 is formed in an annular shape. A lower end portion 41b of the fixing member 41 is inserted through the inner peripheral side of the rubber plate 44. The outer peripheral portion of the rubber plate 44 is fixed to the holding member 43 over the entire circumferential direction of the rubber plate 44. [ Concretely, the outer peripheral side portion of the rubber plate 44 is fixed to the holding member 43 by the lower surface of the first holding member 48 and the upper surface of the second holding member 49. The outer peripheral portion of the rubber plate 44 is sandwiched between the inner peripheral side portion of the lower surface of the first holding member 48 and the upper surface of the second holding member 49. That is, the first holding member 48 and the second holding member 49 are arranged so as to sandwich the outer peripheral portion of the rubber plate 44 in the vertical direction.

고무판(44)의 내주측 부분은, 고무판(44)의 둘레 방향의 전역에 걸쳐서 고정 부재(41)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 고정 부재(41)의 하단부(41b)와 중간부(41c) 사이의 단차면과, 와셔(50)와, 리테이닝링(51)에 의해, 고무판(44)의 내주측 부분이 고정 부재(41)에 고정되어 있다. 와셔(50)는 하단부(41b)와 중간부(41c) 사이의 단차면보다도 하측에 배치되어 있고, 이 단차면과 와셔(50)의 상면 사이에 고무판(44)의 내주측 부분이 끼워져 있다. 리테이닝링(51)은 와셔(50)의 하면에 접촉하도록 하단부(41b)에 설치되어 있고, 하단부(41b)로부터의 와셔(50)의 빠짐을 방지하는 기능을 하고 있다.The inner peripheral side portion of the rubber plate 44 is fixed to the fixing member 41 over the entire circumferential direction of the rubber plate 44. [ More specifically, the inner peripheral side portion of the rubber plate 44 is fixed by the step difference surface between the lower end portion 41b of the fixing member 41 and the intermediate portion 41c, the washer 50, and the retaining ring 51 And is fixed to the fixing member 41. The washer 50 is disposed below the stepped surface between the lower end 41b and the intermediate portion 41c and the inner peripheral portion of the rubber plate 44 is sandwiched between the stepped surface and the upper surface of the washer 50. [ The retaining ring 51 is provided on the lower end portion 41b so as to contact the lower surface of the washer 50 and functions to prevent the washer 50 from coming off from the lower end portion 41b.

고정 부재(41)의 하단부(41b)의 외경은, 제2 보유 지지 부재(49)의 오목부(49a)의 내경보다도 작게 되어 있고, 하단부(41b)는, 오목부(49a) 중에 배치되어 있다. 또한, 고정 부재(41)의 중간부(41c)는 제1 보유 지지 부재(48)의 관통 구멍(48a) 중에 배치되어 있다. 중간부(41c)의 외주면과 관통 구멍(48a)의 내주면 사이에는 간극이 형성되어 있다.The outer diameter of the lower end portion 41b of the fixing member 41 is smaller than the inner diameter of the recess portion 49a of the second holding member 49 and the lower end portion 41b is disposed in the recess 49a . The intermediate portion 41c of the fixing member 41 is disposed in the through hole 48a of the first holding member 48. [ A gap is formed between the outer peripheral surface of the intermediate portion 41c and the inner peripheral surface of the through hole 48a.

흡착판(40)에 외력이 작용하고 있지 않은 상태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 고정 부재(41)의 흡인 구멍(41d)의 중심과 제2 보유 지지 부재(49)의 흡인 구멍(49b)의 중심(구체적으로는, 흡인 구멍(49b)의, 오목부(49a)의 저면으로부터 하측으로 향하여 오목해지는 부분의 중심)이 일치하고 있다. 압축 코일 스프링(45)의 상단측 부분은, 흡인 구멍(41d) 중에 배치되고, 압축 코일 스프링(45)의 하단측 부분은, 흡인 구멍(49b) 중에 배치되어 있다. 압축 코일 스프링(45)의 상단은, 흡인 구멍(41d)의 상단측에 형성되는 단차면에 접촉하고, 압축 코일 스프링(45)의 하단은, 흡인 구멍(49b)의 저면에 접촉하고 있다.The center of the suction hole 41d of the fixing member 41 and the center of the suction hole 49b of the second holding member 49 can be moved in the vertical direction, (Concretely, the center of the portion of the suction hole 49b recessed from the bottom of the concave portion 49a downward) coincide with each other. The upper end portion of the compression coil spring 45 is disposed in the suction hole 41d and the lower end portion of the compression coil spring 45 is disposed in the suction hole 49b. The upper end of the compression coil spring 45 is in contact with the stepped surface formed on the upper end side of the suction hole 41d and the lower end of the compression coil spring 45 is in contact with the lower surface of the suction hole 49b.

고정 부재(41)와 보유 지지 부재(43)와 고무판(44)에 둘러싸인 부분은, 흡인 구멍(41d, 49b)이 연결되는 밀폐 공간(S)으로 되어 있다. 구체적으로는, 고정 부재(41)의 하단부(41b)와 제2 보유 지지 부재(49)와 고무판(44)에 둘러싸인 부분은, 밀폐 공간(S)으로 되어 있다. 즉, 오목부(49a)의 내부 또한 고무판(44)의 하측 공간이며, 하단부(41b)의 외측의 공간은, 밀폐 공간(S)으로 되어 있다.The portion surrounded by the fixing member 41, the holding member 43 and the rubber plate 44 is a sealed space S to which the suction holes 41d and 49b are connected. Specifically, a portion surrounded by the lower end portion 41b of the fixing member 41, the second holding member 49, and the rubber plate 44 is a sealed space S. That is, the inside of the concave portion 49a is also the lower space of the rubber plate 44, and the space outside the lower end portion 41b is the sealed space S.

본 형태에서는, 흡착판(40)에 반송 대상물(2)이 적재된 상태에서, 흡인 구멍(49b)에 접속되는 흡인 기구에 의해 공기가 흡인되면, 흡인 구멍(49b), 밀폐 공간(S), 흡인 구멍(41d) 및 흡착판(40)을 통하여 반송 대상물(2)이 흡인되어서, 흡착판(40)에 반송 대상물(2)이 흡착된다. 또한, 흡착판(40)에 반송 대상물(2)이 흡착되면, 밀폐 공간(S)이 부압이 된다. 밀폐 공간(S)이 부압이 되면, 도 6의 (B)에 도시하는 바와 같이, 압축 코일 스프링(45)의 밀어붙임력에 저항하여 흡착판(40) 및 고정 부재(41)가 하측으로 이동한다. 이때에는, 고무판(44)이 변형된다.In this embodiment, when the air is sucked by the suction mechanism connected to the suction hole 49b in a state in which the object to be transported 2 is loaded on the suction plate 40, the suction hole 49b, the closed space S, The object to be transported 2 is sucked through the hole 41d and the suction plate 40 and the object to be transported 2 is sucked to the suction plate 40. [ Further, when the object to be transported 2 is adsorbed on the adsorption plate 40, the closed space S becomes negative pressure. When the sealed space S becomes negative, the attracting plate 40 and the holding member 41 move downward against the pressing force of the compression coil spring 45 as shown in Fig. 6 (B) . At this time, the rubber plate 44 is deformed.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 반송 대상물(2)의 하면에 접촉하여 반송 대상물(2)을 흡착하는 흡착판(40)은 다공질의 수지로 형성되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 반송 대상물(2)을 흡착하는 구멍(즉, 기공)의 크기가 작다. 따라서, 본 형태에서는, 필름상으로 형성된 제조 도중의 유기 EL 디스플레이 단체와 같이 강성이 낮은 반송 대상물(2)이 흡착 기구(22)로 흡착되었을 때의 반송 대상물(2)의 변형을 억제하는 것이 가능해진다.As described above, in the present embodiment, the suction plate 40, which is in contact with the lower surface of the conveying object 2 and attracts the conveying object 2, is made of porous resin. Therefore, in this embodiment, the size of the hole (that is, the pore) for attracting the object 2 to be conveyed is small. Therefore, in this embodiment, it is possible to suppress the deformation of the conveying object 2 when the conveying object 2 with low rigidity is adsorbed by the adsorbing mechanism 22 as in the case of the organic EL display unit in the course of production It becomes.

본 형태에서는, 흡착판(40)이 고정되는 고정 부재(41)는 포크(18, 19)에 대하여 틸팅 가능해지도록 플로팅 기구(42)에 지지되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 유리 기판에 부착된 제조 도중의 필름상의 유기 EL 디스플레이와 같이 강성이 높은 반송 대상물(2)이 휘어 있더라도, 이 반송 대상물(2)의 휨에 따라서 흡착판(40)을 기울여서 반송 대상물(2)의 하면에 흡착판(40)의 상면을 확실하게 접촉시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 강성이 높은 반송 대상물(2)을 흡착 기구(22)로 확실하게 흡착하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the holding member 41 to which the attracting plate 40 is fixed is supported by the floating mechanism 42 so that the holding member 41 can be tilted with respect to the forks 18 and 19. Therefore, in this embodiment, even if the conveying object 2 having a high rigidity such as a film-like organic EL display attached to a glass substrate is warped, the attracting plate 40 is inclined according to the warping of the conveying object 2 It is possible to reliably bring the upper surface of the attracting plate 40 into contact with the lower surface of the conveying object 2. Therefore, in this embodiment, it is possible to reliably attract the object 2 with high rigidity to the adsorption mechanism 22. [

본 형태에서는, 흡착판(40)에 반송 대상물(2)이 흡착되면, 밀폐 공간(S)이 부압이 되어, 압축 코일 스프링(45)의 밀어붙임력에 저항하여 흡착판(40) 및 고정 부재(41)가 하측으로 이동한다. 그로 인해, 본 형태에서는, 흡착판(40)이 반송 대상물(2)을 흡착하여 흡착판(40) 및 고정 부재(41)가 하측으로 이동한 후에는 흡착판(40) 및 고정 부재(41)가 포크(18, 19)에 대하여 흔들리기 어려워진다. 따라서, 본 형태에서는, 반송 대상물(2)의 반송 시에, 핸드(3)에 탑재된 반송 대상물(2)의 상태를 안정시키는 것이 가능해진다.In this embodiment, when the object to be transported 2 is adsorbed on the adsorption plate 40, the closed space S becomes negative pressure, and the adsorption plate 40 and the stationary member 41 ) Moves downward. Therefore, in this embodiment, after the suction plate 40 has suctioned the object 2 to be conveyed and the suction plate 40 and the fixing member 41 have moved downward, the suction plate 40 and the fixing member 41 are moved to the fork 18, 19). Therefore, in the present embodiment, it is possible to stabilize the state of the object 2 to be carried on the hand 3 when the object 2 is transported.

(흡착판의 변형예)(Modification of Adsorption Plate)

도 7은, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 흡착판(40)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 8은, 도 7에 도시하는 흡착판(40)의 평면도이다.7 is a cross-sectional view for explaining the structure of the suction plate 40 according to another embodiment of the present invention. Fig. 8 is a plan view of the suction plate 40 shown in Fig.

상술한 형태에 있어서, 흡착판(40)은 다공질의 수지 이외의 수지로 형성되어 있어도 된다. 예를 들어, 흡착판(40)은 폴리에테르에테르케톤으로 형성되어 있어도 된다. 이 경우에는, 도 7, 도 8에 도시하는 바와 같이, 흡착판(40)에는, 샤워 헤드의 복수의 샤워 구멍과 같이 배치되는 복수의 제2 흡인 구멍으로서의 복수의 흡인 구멍(40a)이 형성되어 있다. 복수의 흡인 구멍(40a)은 상하 방향으로 흡착판(40)을 관통하고 있다. 흡착판(40)의 하면에는, 복수의 흡인 구멍(40a)의 하단이 연결되는 흡인용의 오목부(40b)가 상측으로 향하여 오목해지도록 형성되어 있다. 도 7에서는, 상술한 형태와 공통되는 구성에 대해서는, 동일한 부호를 부여하고 있다.In the above-described embodiment, the adsorption plate 40 may be formed of a resin other than a porous resin. For example, the adsorption plate 40 may be formed of a polyether ether ketone. In this case, as shown in Figs. 7 and 8, the suction plate 40 is provided with a plurality of suction holes 40a serving as a plurality of second suction holes arranged in a plurality of shower holes of the shower head . The plurality of suction holes 40a pass through the suction plate 40 in the vertical direction. On the lower surface of the suction plate 40, a suction recess 40b to which the lower ends of the plurality of suction holes 40a are connected is formed so as to be recessed upward. In Fig. 7, the same reference numerals are given to the components common to the above-described configurations.

도 7에 도시하는 예에서는, 고정 부재(41)는 흡착판(40)이 고정되는 제1 고정 부재(58)와, 고정 부재(41)의 중심 부분을 이루는 제2 고정 부재(59)로 구성되어 있다. 제1 고정 부재(58)와 제2 고정 부재(59)는 별체로 형성되어 있고, 제1 고정 부재(58)와 제2 고정 부재(59)가 일체로 되면, 상술한 형태의 고정 부재(41)와 거의 동일한 형상으로 된다. 제2 고정 부재(59)의 중심에는, 흡인 구멍(41d)이 형성되어 있다. 흡착판(40)은 제1 고정 부재(58)에 나사(도시 생략)로 고정되어 있다.7, the fixing member 41 is constituted by a first fixing member 58 to which the attracting plate 40 is fixed and a second fixing member 59 which constitutes the central portion of the fixing member 41 have. The first fixing member 58 and the second fixing member 59 are formed separately and when the first fixing member 58 and the second fixing member 59 are integrated with each other, ). At the center of the second fixing member 59, a suction hole 41d is formed. The attracting plate 40 is fixed to the first holding member 58 with a screw (not shown).

고무판(44)의 내주측에는, 제2 고정 부재(59)가 삽입 관통되어 있다. 고무판(44)의 내주측 부분은, 제2 고정 부재(59)의 하단에 형성되는 플랜지부(59a)와 제1 고정 부재(58)와 리테이닝링(51)에 의해, 고무판(44)의 둘레 방향의 전역에 걸쳐서 고정 부재(41)에 고정되어 있다. 플랜지부(59a)는 제1 고정 부재(58)의 하면보다도 하측에 배치되어 있고, 플랜지부(59a)의 상면과 제1 고정 부재(58)의 하면 사이에 고무판(44)의 내주측 부분이 끼워져 있다. 리테이닝링(51)은 제2 고정 부재(59)의 상단부에 설치되어 있고, 제1 고정 부재(58)로부터의 제2 고정 부재(59)의 빠짐을 방지하는 기능을 하고 있다.On the inner circumferential side of the rubber plate 44, a second fixing member 59 is inserted. The inner circumferential side portion of the rubber plate 44 is pressed by the flange 59a formed at the lower end of the second fixing member 59 and the first fixing member 58 and the retaining ring 51, And is fixed to the fixing member 41 over the entire circumferential direction. The flange portion 59a is disposed below the lower surface of the first fixing member 58 and the inner circumferential portion of the rubber plate 44 is sandwiched between the upper surface of the flange portion 59a and the lower surface of the first fixing member 58 Is inserted. The retaining ring 51 is provided at the upper end of the second fixing member 59 and functions to prevent the second fixing member 59 from coming off from the first fixing member 58. [

도 7, 도 8에 도시하는 변형예에 있어서도, 흡착판(40)에 반송 대상물(2)이 흡착되면, 밀폐 공간(S)이 부압이 되어, 도 7의 (B)에 도시하는 바와 같이, 압축 코일 스프링(45)의 밀어붙임력에 저항하여 흡착판(40) 및 고정 부재(41)가 하측으로 이동한다. 이 변형예에 있어서도 상술한 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 예를 들어, 샤워 헤드의 복수의 샤워 구멍과 같이 배치되는 복수의 흡인 구멍(40a)이 흡착판(40)에 형성되어 있기 때문에, 반송 대상물(2)을 흡착하는 1개의 흡인 구멍(40a)의 크기를 작게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 비교적 강성이 낮은 반송 대상물(2)이 흡착 기구(22)로 흡착되었을 때의 반송 대상물(2)의 변형을 억제하는 것이 가능해진다.7 and 8, when the object to be transported 2 is adsorbed to the adsorption plate 40, the closed space S becomes negative pressure, and as shown in Fig. 7B, The attracting plate 40 and the holding member 41 move downward against the urging force of the coil spring 45. [ Also in this modified example, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained. For example, since a plurality of suction holes 40a arranged in the shower head with a plurality of shower holes are formed in the suction plate 40, the size of one suction hole 40a for suctioning the object to be transported 2 Can be reduced. Therefore, it is possible to suppress the deformation of the conveying object 2 when the conveying object 2 having a relatively low rigidity is adsorbed by the adsorbing mechanism 22.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.Although the above-described embodiment is an example of a suitable form of the present invention, the present invention is not limited thereto, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

상술한 형태에 있어서, 흡착판(40)은 사각형 등의 다각형의 평판상으로 형성되어 있어도 되고, 타원형이나 장원형의 평판상으로 형성되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 보유 지지 부재(43)에 대하여 고정 부재(41)를 상측으로 밀어붙이는 밀어붙임 부재는, 판 스프링 등의 스프링 부재여도 된다. 단, 상술한 형태와 같이, 보유 지지 부재(43)에 대하여 고정 부재(41)를 상측으로 밀어붙이는 밀어붙임 부재가 압축 코일 스프링(45)이며, 압축 코일 스프링(45)의 상단측 부분이 흡인 구멍(41d) 중에 배치되고, 압축 코일 스프링(45)의 하단측 부분이 흡인 구멍(49b) 내에 배치되어 있는 경우에는, 흡인 구멍(41d, 49b)의 외측으로 밀어붙임 부재가 배치되어 있는 경우와 비교하여, 흡착 기구(22)를 소형화하는 것이 가능해진다.In the above-described embodiment, the adsorption plate 40 may be formed as a polygonal flat plate such as a quadrangle, or may be formed as an elliptical or rectangular flat plate. In the above-described embodiment, the pushing member for pushing the fixing member 41 upward against the holding member 43 may be a spring member such as a leaf spring. The pushing member pushing the fixing member 41 upward against the holding member 43 is a compression coil spring 45 and the upper end portion of the compression coil spring 45 is sucked The case where the pushing member is disposed outside the suction holes 41d and 49b and the case where the pushing member is disposed outside the suction holes 41d and 49b in the case where the lower end portion of the compression coil spring 45 is disposed in the suction hole 49b As a result, the adsorption mechanism 22 can be miniaturized.

상술한 형태에 있어서, 좌우 방향에 있어서의 2개의 포크(18)의 피치는 고정되어 있어도 되고, 좌우 방향에 있어서의 2개의 포크(19)의 피치는 고정되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 핸드(3)가 구비하는 포크의 수는, 2개 또는 3개여도 되고, 5개 이상이어도 된다. 이 경우에는, 좌우 방향에 있어서의 복수의 포크의 피치가 변경 가능하게 되어 있어도 되고, 고정되어 있어도 된다.In the above-described embodiment, the pitches of the two forks 18 in the left and right directions may be fixed, or the pitches of the two forks 19 in the left and right directions may be fixed. In the above-described embodiment, the number of forks provided by the hand 3 may be two, three, or five or more. In this case, the pitch of the plurality of forks in the left-right direction may be changeable or may be fixed.

상술한 형태에서는, 로봇(1)은 수평 다관절형의 로봇이지만, 본 발명이 적용되는 로봇은, 수평 다관절형의 로봇 이외의 산업용 로봇이어도 된다. 예를 들어, 본 발명이 적용되는 로봇은, 상술한 특허문헌 1에 개시된 산업용 로봇이어도 된다.In the above-described embodiment, the robot 1 is a horizontal multi-joint type robot, but the robot to which the present invention is applied may be an industrial robot other than a horizontal multi-joint type robot. For example, the robot to which the present invention is applied may be an industrial robot disclosed in the above-mentioned Patent Document 1.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 반송 대상물
3: 핸드
4: 아암
5: 본체부
18, 19: 포크
22: 흡착 기구
40: 흡착판
40a: 흡인 구멍(제2 흡인 구멍)
41: 고정 부재
41d: 흡인 구멍
42: 플로팅 기구
43: 보유 지지 부재
44: 고무판
45: 압축 코일 스프링(밀어붙임 부재)
48: 제1 보유 지지 부재
49: 제2 보유 지지 부재
49b: 흡인 구멍(제3 흡인 구멍)
S: 밀폐 공간1: Robot (industrial robot)
2:
3: Hand
4: arm
5:
18, 19: Fork
22: Adsorption mechanism
40: Suction plate
40a: Suction hole (second suction hole)
41: Fixing member
41d: suction hole
42: Floating mechanism
43: holding member
44: Rubber plate
45: a compression coil spring (pushing member)
48: first holding member
49: second holding member
49b: Suction hole (third suction hole)
S: Sealed space

Claims

1. A hand of an industrial robot for carrying a carrying object,
A plurality of forks on which the object to be transported is mounted on an upper surface side and an adsorption mechanism for vacuum adsorbing the lower surface of the object to be transported on the upper surface side of the fork,
Wherein the suction mechanism includes a suction plate that contacts the lower surface of the object to be conveyed and sucks the object to be conveyed, a fixing member having the suction plate fixed to the upper side and formed with a suction hole penetrating in the vertical direction, And a floating mechanism for supporting the fixing member so as to be movable,
Characterized in that the attracting plate is made of a porous resin.

1. A hand of an industrial robot for carrying a carrying object,
A plurality of forks on which the object to be transported is mounted on an upper surface side and an adsorption mechanism for vacuum adsorbing the lower surface of the object to be transported on the upper surface side of the fork,
Wherein the suction mechanism includes a suction plate that contacts the lower surface of the object to be conveyed and sucks the object to be conveyed, a fixing member having the suction plate fixed to the upper side and formed with a suction hole penetrating in the vertical direction, And a floating mechanism for supporting the fixing member so as to be movable,
Wherein the suction plate is provided with a plurality of second suction holes arranged in a plurality of shower holes of the shower head.

3. The apparatus according to claim 1 or 2, wherein the floating mechanism comprises: a holding member which is fixed to the fork and holds the holding member in a tiltable manner; and a holding mechanism for holding the holding member by pushing the holding member upward And an annular rubber plate connecting the fixing member and the holding member,
The outer peripheral portion of the rubber plate is fixed to the holding member over the entire circumferential direction of the rubber plate,
The inner peripheral side portion of the rubber plate is fixed to the fixing member over the entire circumferential direction of the rubber plate,
Wherein the holding member and the portion surrounded by the rubber plate constitute a closed space to which the suction hole is connected,
A third suction hole connected to the closed space is formed in the holding member,
When the air is sucked by the suction mechanism connected to the third suction hole and the conveying object is sucked to the suction plate, the closed space becomes negative pressure, and the suction plate and the fixing And the member moves downward.

The pusher according to claim 3, wherein the push member is a compression coil spring,
And the upper end portion of the compression coil spring is disposed in the suction hole.

The holding member according to claim 3, wherein the holding member includes a first holding member and a second holding member arranged to vertically sandwich the outer peripheral portion of the rubber plate,
Wherein the first holding member is disposed on an upper surface side of the fork,
The second holding member is disposed inside the fork formed in a hollow shape,
And the third suction hole is formed in the second holding member.

An industrial robot comprising: the hand according to claim 1 or 2; an arm rotatably connected to the distal end side of the hand; and a body portion rotatably connected to the proximal end side of the arm.