KR20080061318A - Coating device and coating method - Google Patents

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KR20080061318A
KR20080061318A KR1020070138267A KR20070138267A KR20080061318A KR 20080061318 A KR20080061318 A KR 20080061318A KR 1020070138267 A KR1020070138267 A KR 1020070138267A KR 20070138267 A KR20070138267 A KR 20070138267A KR 20080061318 A KR20080061318 A KR 20080061318A
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coating
discharge device
nozzle
coated
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KR1020070138267A
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Korean (ko)
Inventor
마사이치 가지타니
나오키 곤도
다이스케 노지리
미츠히로 히다
히사야 나가이
마사미 아오키
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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Abstract

A coater, and a coating method are provided to allow the distribution of the thickness of a coated film to be uniform and to prevent the breakdown for a long time by allowing the coater to be adjusted easily. The coating process of a coater is carried out by supplying a coating solution to the coating solution discharge device(3) by operating a coating solution supply device(2) with moving a coating solution discharge device horizontally relatively to the member(13) to be coated loaded on a support(4) so as to allow the coating solution to be coated through the nozzle(12) of the coating solution discharge device on the member to be coated, wherein the coater comprises a manifold(19) which is installed on the way from the coating solution discharge device to the nozzle; a coating solution suction device(5) which sucks the coating solution from the nozzle through the manifold; and a control device(6) which initiates the coating solution suction of the coating solution discharge device by allowing the front aperture of the coating solution discharge device to be reached the final coating region of the member to be coated.

Description

도포 장치 및 도포 방법 {COATING DEVICE AND COATING METHOD}Coating device and coating method {COATING DEVICE AND COATING METHOD}

본 발명은, 액정 디스플레이, PDP(Plasma Display Panel)등의 피도포 부재의 표면에 도포액에 의해 도막(塗膜)을 형성하기 위한 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating apparatus and a coating method for forming a coating film with a coating liquid on the surface of a member to be coated such as a liquid crystal display or a plasma display panel (PDP).

종래, 도포 장치로서, 도포 종료 위치 또는 도포 종료 직전에, 슬릿 노즐을 상대적으로 하강(下降)시키면서, 펌프를 역회전(逆回轉)시켜, 도포액을 흡인(吸引)하도록 한 구성이 개시되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, as a coating device, the structure which made the pump rotate reversely and aspirates a coating liquid, relatively lowering a slit nozzle, just before application | coating end position or application | coating end is disclosed. (See, for example, Patent Document 1).

특허 문헌 1은 일본 특개 2002-113411호의 공보.Patent document 1 is Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-113411.

그러나, 상기 종래의 도포 장치로는, 펌프를 역회전시켰다 하더라도, 펌프로부터 슬릿 노즐까지 이르는 배관이 비교적 길기 때문에, 배관(配管) 안의 잔압(殘壓)에 의해 슬릿 노즐로부터의 도포액의 토출을 즉시는 정지할 수 없다. 이 때문에, 도포 종료 위치에서의 도포액의 막(膜) 두께 제어는 매우 곤란하다. However, in the conventional coating device, even if the pump is rotated in reverse, the pipe from the pump to the slit nozzle is relatively long, so that the discharge of the coating liquid from the slit nozzle is prevented by the residual pressure in the pipe. You cannot stop immediately. For this reason, film thickness control of the coating liquid at the application | coating end position is very difficult.

또한, 잔압을 고려해 사전에 펌프를 역회전시키기 위해서는, 도포액의 점성이나 배관 내면과의 마찰 등, 여러 가지 파라미터의 영향을 고려할 필요가 있어 실질적으로 불가능하다. 또한, 펌프를 역회전시킴으로써 무리한 부하(負荷)가 걸리고, 제품 수명이 짧다고 하는 문제가 있다.In addition, in order to rotate the pump in advance in consideration of the residual pressure, it is necessary to consider the influence of various parameters such as the viscosity of the coating liquid and the friction with the inner surface of the pipe, which is practically impossible. In addition, there is a problem that an excessive load is applied by rotating the pump reversely, resulting in short product life.

그래서, 본 발명은, 조정이 용이하고, 장기간에 걸쳐서 고장 나기가 어려우며, 피도포 부재에 도포(塗布)하는 도포액의 막 두께 분포를, 최종 도포 위치도 포함해 균일하게 할 수 있는 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.Therefore, the present invention is easy to adjust, difficult to break down over a long period of time, and the coating apparatus which can make the film thickness distribution of the coating liquid apply | coated to a to-be-coated member uniformly including a final application position, and It is a subject to provide a coating method.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서,The present invention as a means for solving the above problems,

지지대 위에 탑재한 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키면서, 도포액 공급 장치를 구동해 상기 도포액 토출 장치에 도포액을 공급하고, 상기 도포액 토출 장치의 노즐을 통해 상기 피도포 부재에 도포액을 도포하도록 한 도포 장치로써,While moving the coating liquid discharge device relative to the coated member mounted on the support in the horizontal direction, the coating liquid supply device is driven to supply the coating liquid to the coating liquid discharge device, and through the nozzle of the coating liquid discharge device. An application apparatus for applying a coating liquid to the to-be-coated member,

상기 도포액 토출 장치로부터 상기 노즐에 이르는 배관의 도중(途中)에 연통 하는 분기관(分岐管)과,A branch pipe communicating with the middle of the pipe from the coating liquid discharge device to the nozzle,

상기 분기관을 통해 상기 노즐로부터 도포액을 흡인하는 도포액 흡인 장치와,A coating liquid suction device for sucking the coating liquid from the nozzle through the branch pipe;

상기 도포액 흡인 장치에 의한 도포액의 흡인 동작을, 상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부가, 상기 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이르는 것으로써 개시하게 하는 제어 장치를 구비한 구성으로 한 것이다.It is set as the structure provided with the control apparatus which starts the suction operation | movement of the coating liquid by the said coating liquid suction apparatus by starting the front end opening part of the said coating liquid discharge apparatus nozzle to reach the last application | coating area | region of the to-be-coated member.

여기에서, 최종 도포 영역과는, 노즐의 선단 개구부가 피도포 부재의 표면을, 개시단(開始端)에서 최종단(最終端)까지 이동하는 영역 중, 최종단 뿐만 아니라, 그 직전 위치까지를 포함하는 개념이다. Here, in the final application area, not only the final end but also the position immediately before the end of the area where the tip opening of the nozzle moves the surface of the member to be coated from the start end to the final end. The concept is to include.

요컨대, 그대로 도포액을 도포하면, 막 두께가 커지는 영역으로, 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키는 속도, 도포액의 종류(특히, 점성) 등의 차이에 따라 변동하는 것이며, 실험 등에 의해 적정한 위치를 결정할 수 있다.In other words, when the coating liquid is applied as it is, the film thickness becomes large, and varies depending on the speed of moving the coating liquid discharge device in the horizontal direction relative to the member to be coated, the kind of coating liquid (particularly, viscosity), and the like. The appropriate position can be determined by experiment or the like.

이 구성에 의해, 도포액 토출 장치가 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이른 시점에, 전용(專用)의 도포액 흡인 장치에 의해, 도포액 토출 장치로부터 노즐에 이르는 배관의 도중에 분기되게 한 분기관을 통해 도포액을 흡인하므로, 배관 안의 잔압의 영향을 받기 어렵게 할 수 있다. 이 때문에, 도포액 흡인 장치에 사용한다. By this structure, the branch pipe which branched in the middle of the piping from a coating liquid discharge apparatus to a nozzle by the exclusive coating liquid suction apparatus at the time when a coating liquid discharge apparatus reached the final application | coating area | region of a to-be-coated member. Since the coating liquid is sucked through, it can be difficult to be affected by the residual pressure in the pipe. For this reason, it uses for a coating liquid suction apparatus.

펌프 등의 구동원(驅動源)이나 시린지(syringe) 등의 회수 부재를 소형이면서 저렴하게 할 수 있다.A recovery member such as a drive source such as a pump or a syringe can be made compact and inexpensive.

이 경우, 구동원으로 펄스 모터나 서보 모터를 사용하면, 흡인량을 섬세하고 치밀하게 제어하는 것이 가능해 진다.In this case, when a pulse motor or a servo motor is used as a drive source, it becomes possible to control the suction amount delicately and precisely.

또한, 본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서,Moreover, this invention is a means for solving the said subject,

지지대 위에 탑재한 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키면서, 도포액 공급 장치를 구동해 상기 도포액 토출 장치에 도포액을 공급하고, 상기 도포액 토출 장치의 노즐을 통해 상기 피도포 부재에 도포액을 도포하도록 한 도포 장치로써,While moving the coating liquid discharge device relative to the coated member mounted on the support in the horizontal direction, the coating liquid supply device is driven to supply the coating liquid to the coating liquid discharge device, and through the nozzle of the coating liquid discharge device. An application apparatus for applying a coating liquid to the to-be-coated member,

상기 도포액 토출 장치로부터 상기 노즐에 이르는 배관의 도중에 연통하는 분기관과,A branch pipe communicating in the middle of the pipe from the coating liquid discharge device to the nozzle,

상기 분기관을 외기(外氣)에 개방 가능하게 하는 개폐 수단과,Opening and closing means for allowing the branch pipe to be opened to outside air;

상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부가, 상기 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이르는 것으로써, 상기 개폐 수단에 의해 분기관을 외기에 개방시키는 제어 장치를 구비한 구성으로 한 것이다.The tip opening of the coating liquid discharge device nozzle reaches the final application region of the member to be coated, so that a control device is provided to open the branch pipe to the outside air by the opening / closing means.

이 구성에 의해, 도포액 토출 장치가 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이른 시점에서, 개폐 수단에 의해 분기관이 외기에 개방되므로, 노즐 안의 도포액이 배관 안의 잔압의 악영향에 의해 피도포 부재의 표면으로 밀려나 버리는 일 없이, 최종 도포 영역에 있어서 양호한 도포 상태를 얻을 수 있다.With this configuration, when the coating liquid discharge device reaches the final application region of the member to be coated, the branch pipe is opened to the outside air by the opening / closing means, so that the coating liquid in the nozzle is caused to adversely affect the residual pressure in the pipe. A good application state can be obtained in a final application | coating area | region without pushing out to a surface.

상기 분기관의 대기(大氣)로의 개방 위치는, 상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부보다도 아래쪽인 것이 바람직하다.It is preferable that the opening position of the said branch pipe to the atmosphere is lower than the front end opening part of the said coating liquid discharge apparatus nozzle.

이 구성에 의해, 사이펀(siphon) 효과를 발휘시킬 수 있고, 별도로 구동원을 이용하는 일 없이, 원활하게 도포액을 흡인하는 것이 가능하게 된다.This configuration makes it possible to exert a siphon effect and to smoothly suck the coating liquid without using a driving source separately.

상기 분기관의 대기로의 개방 위치는, 연직 방향으로 조정 가능하게 하는 것이 더욱 바람직하다.It is more preferable that the open position of the branch pipe to the atmosphere can be adjusted in the vertical direction.

이 구성에 의해, 개방 위치를 조정함으로써, 흡인력을 사용 상황에 따른 적절한 값으로 하는 것이 가능하게 된다.By this structure, by adjusting an opening position, it becomes possible to make suction force into the appropriate value according to a use situation.

또한, 본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서,Moreover, this invention is a means for solving the said subject,

지지대 위에 탑재한 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키면서, 도포액 공급 장치를 구동해 상기 도포액 토출 장치에 도포액을 공급하고, 상기 도포액 토출 장치의 노즐을 통해 상기 피도포 부재에 도포액을 도포하도록 한 도포 방법으로써,While moving the coating liquid discharge device relative to the coated member mounted on the support in the horizontal direction, the coating liquid supply device is driven to supply the coating liquid to the coating liquid discharge device, and through the nozzle of the coating liquid discharge device. As a coating method which apply | coats a coating liquid to the said to-be-coated member,

상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부가, 상기 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이르는 것으로써, 상기 도포액 토출 장치로부터 상기 노즐에 이르는 배관의 도중에 연통하는 분기관을 통해, 상기 노즐 안의 도포액의 흡인 동작을 개시하게 하도록 한 것이다. When the tip opening of the coating liquid ejecting device nozzle reaches the final application region of the member to be coated, the coating liquid in the nozzle is discharged through a branch pipe communicating in the middle of the pipe from the coating liquid ejecting device to the nozzle. The suction operation is started.

또한, 본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서,Moreover, this invention is a means for solving the said subject,

지지대 위에 탑재한 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키면서, 도포액 공급 장치를 구동해 상기 도포액 토출 장치에 도포액을 공급하고, 상기 도포액 토출 장치의 노즐을 통해 상기 피도포 부재에 도포액을 도포하도록 한 도포 방법으로써,While moving the coating liquid discharge device relative to the coated member mounted on the support in the horizontal direction, the coating liquid supply device is driven to supply the coating liquid to the coating liquid discharge device, and through the nozzle of the coating liquid discharge device. As a coating method which apply | coats a coating liquid to the said to-be-coated member,

상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부가, 상기 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이르는 것으로써, 상기 도포액 토출 장치로부터 상기 노즐에 이르는 배 관의 도중에 연통하는 분기관을 대기에 개방시키도록 한 것이다. The tip opening of the coating liquid ejecting device nozzle reaches the final application region of the member to be coated, thereby opening the branch pipe communicating with the middle of the pipe from the coating liquid ejecting device to the nozzle to the atmosphere. .

본 발명에 따르면, 도포액 토출 장치로부터 노즐에 이르는 배관의 도중에 분기시킨 분기관을 통해 도포액을 흡인하도록 하고 있으므로, 배관 안의 잔압의 영향을 받기가 어렵게 된다. According to the present invention, since the coating liquid is sucked through the branch pipe branched in the middle of the pipe from the coating liquid discharge device to the nozzle, it is difficult to be affected by the residual pressure in the pipe.

이 결과, 도포액 흡인 장치에 소형이면서 저렴한 것을 사용하는 것이 가능하게 되고, 확실하게 원하는 만큼의 흡인량으로 흡인할 수 있으며, 재현성(再現性)에도 뛰어나다.As a result, it is possible to use a compact and inexpensive one for the coating liquid suction device, to be able to suck with a desired amount of suction assuredly, and to be excellent in reproducibility.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring an accompanying drawing.

(제1 실시 형태)(1st embodiment)

도 1은, 본 실시 형태에 관한 도포 장치의 개략 설명도이다. 1 is a schematic explanatory diagram of a coating device according to the present embodiment.

이 도포 장치는, 대략, 도포액 탱크(1)와, 도포액 공급 장치(2)와, 도포액 토출 장치(3)와, 지지대(4)와, 도포액 흡인 장치(5)와, 제어 장치(6)를 구비한다.This coating device is roughly a coating liquid tank 1, a coating liquid supply device 2, a coating liquid discharge device 3, a support stand 4, a coating liquid suction device 5, and a control device. (6) is provided.

도포액 탱크(1)에는, 도포액이 저장되어, 수시로 도포액 공급 장치(2)에 도포액을 공급 가능하게 되어 있다. The coating liquid is stored in the coating liquid tank 1, and the coating liquid can be supplied to the coating liquid supply device 2 at any time.

도포액으로는, 예를 들면, 유리 기판 위에 도포되는 PDP용 유리 페이스트를 사용할 수 있다. 단, 이것에 한정되는 것이 아니라, 피도포 부재(13)의 종류에 따라, 종래 공지의 여러 가지 도포액으로부터 적당한 것을 선정하면 좋다.As a coating liquid, the glass paste for PDP apply | coated on a glass substrate can be used, for example. However, it is not limited to this, What is necessary is just to select a suitable thing from the conventionally well-known various coating liquid according to the kind of to-be-coated member 13.

도포액 공급 장치(2)는, 원통 모양의 제1 실린더(7)와, 이 제1 실린더(7)의 내부를 접동(Slide)하면서 왕복 이동하는 제1 피스톤(8)과, 이 제1 피스톤(8)을 구동하기 위한 제1 구동 기구(9)를 구비한다.The coating liquid supply device 2 includes a cylindrical first cylinder 7, a first piston 8 reciprocating while sliding the interior of the first cylinder 7, and the first piston. A first drive mechanism 9 for driving (8) is provided.

제1 실린더(7)로서는, 내부의 시인성(視認性)을 높이기 위해, 유리제의 것이 사용되고 있지만, 스테인리스 등의 금속제 재료로 형성해도 좋다. As the 1st cylinder 7, although the thing made of glass is used in order to raise internal visibility, you may form from metal materials, such as stainless steel.

단, 내면은 경면 가공(鏡面加工) 등에 의해 면조도(面粗度)를 작게 억제할 필요가 있다. 또한, 제1 구동 기구(9)로서는, 직동(直動: direct acting) 모터나 서보 모터를 사용할 수 있다. However, it is necessary for the inner surface to suppress surface roughness small by mirror processing. As the first drive mechanism 9, a direct acting motor or a servo motor can be used.

직동 모터로는, 그 회전축에 나사가 형성되어, 제1 피스톤(8)을 직접 왕복 이동시키는 것이 가능하다. As a linear motor, a screw is formed in the rotating shaft, and the 1st piston 8 can be reciprocated directly.

서보 모터로는, 그 회전축으로 볼나사를 회전시켜, 이 볼나사에 따라, 거기에 나합시킨 지지부를 통해 제1 피스톤(8)을 왕복 이동시키는 것이 가능하다. 여기에서는, 제1 실린더(7)의 내경 치수는 28mm로 하고 있다. 또한, 제1 피스톤(8)을 왕복 이동시키기 위한 나사의 리드는 6mm이다.With the servo motor, it is possible to rotate the ball screw with the rotational shaft and reciprocally move the first piston 8 through the support portion screwed therein according to the ball screw. Here, the inner diameter dimension of the 1st cylinder 7 is 28 mm. The lead of the screw for reciprocating the first piston 8 is 6 mm.

도포액 공급 장치(2)는, 도포액 탱크(1)의 근방에서, 거기에서 연장하는 제1 배관(10)에, 제1의 3방향 밸브(11)를 통해 접속되어 있다. The coating liquid supply device 2 is connected to the first pipe 10 extending there from the vicinity of the coating liquid tank 1 via the first three-way valve 11.

제1의 3방향 밸브(11)를 절환하고, 제1 실린더(7) 안의 제1 피스톤(8)을 이동시킴으로써, 제1 실린더(7) 안으로 도포액 탱크(1) 안의 도포액을 흡인할 수 있으며, 또한, 제1 실린더(7) 안으로 흡인한 도포액을 도포액 토출 장치(3) 쪽으로 토출할 수 있다.By switching the first three-way valve 11 and moving the first piston 8 in the first cylinder 7, the coating liquid in the coating liquid tank 1 can be sucked into the first cylinder 7. In addition, the coating liquid sucked into the first cylinder 7 can be discharged toward the coating liquid discharge device 3.

도포액 토출 장치(3)는, 종래 공지의 구성으로, 도포액을, 슬릿 노즐(12)을 통해 지지대(4) 위에 탑재된 PDP(Plasma Display Panel) 등의 피도포 부재(13)에 도포해 도막(14)을 형성한다(예를 들면, 일본 특개 2002-113411호의 공보, 일본 특개평 8-229497호의 공보 등 참조). 도포액 토출 장치(3)는, 도시하지 않은 승강 장치에 의해 승강한다.The coating liquid discharge device 3 has a conventionally known configuration and applies the coating liquid to the coated member 13 such as a plasma display panel (PDP) mounted on the support 4 via the slit nozzle 12. The coating film 14 is formed (for example, see Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-113411, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 8-229497, etc.). The coating liquid discharge device 3 moves up and down by a lifting device not shown.

상기 지지대(4)는, 예를 들면, 석정반(石定盤) 등으로 이루어지고, 하면(4) 모서리를 지지하는 지지 잭(jack)(15)에 의해 지지대(4)의 높이 조정이 가능하게 되어 있다. The support 4 is made of, for example, a stone slab, etc., and the height of the support 4 can be adjusted by a support jack 15 supporting the edge of the lower surface 4. It is supposed to be done.

지지대(4) 위에는, 피도포 부재(13)가 탑재되며, 이 피도포 부재(13)에 따라 상기 도포액 토출 장치(3)를 평행 이동시키면서, 상기 도포액 공급 장치(2)를 구동함으로써, 피도포 부재(13)의 표면에 도포액이 도포되어, 도막(14)이 형성된다.On the support stand 4, the to-be-coated member 13 is mounted, by driving the said coating liquid supply apparatus 2, while moving the said coating liquid discharge apparatus 3 in parallel with this to-be-coated member 13, Coating liquid is apply | coated to the surface of the to-be-coated member 13, and the coating film 14 is formed.

도포액 흡인 장치(5)는, 상기 도포액 공급 장치(2)와 마찬가지로, 원통 모양의 제2 실린더(16)와, 이 제2 실린더(16)의 내부를 접동하면서 왕복 이동하는 제2 피스톤(17)과, 이 제2 피스톤(17)을 구동하기 위한 제2 구동 기구(18)를 구비한다. 단, 제2 실린더(16)에는, 상기 도포액 공급 장치(2)에 사용하는 것과 비교해 소형의 것이 사용되고, 여기에서는, 내경 치수가 4mm로 되어 있다. 또한, 제2 피스톤(17)을 왕복 이동시키기 위한 나사의 리드는 2mm이다.The coating liquid suction device 5 has a cylindrical second cylinder 16 and a second piston reciprocating while sliding the inside of the second cylinder 16 similarly to the coating liquid supply device 2. 17 and a second drive mechanism 18 for driving the second piston 17. However, the small size is used for the 2nd cylinder 16 compared with what is used for the said coating liquid supply apparatus 2, and here, an internal diameter dimension is 4 mm. Moreover, the lead of the screw for reciprocating the 2nd piston 17 is 2 mm.

이렇게, 도포액 흡인 장치(5)를, 상기 도포액 공급 장치(2)에 비해 소형으로 할 수 있는 것은 다음 이유에 따른다. Thus, the coating liquid suction device 5 can be made smaller than the coating liquid supply device 2 for the following reasons.

즉, 도포액 흡인 장치(5)에 필요로 하는 능력은, 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부로부터 피도포 부재(13)의 표면에 도포액이 잔류하는 것을 방지하기 때문에, 극 소량의 도포액을 끌어들일 수 있는 흡인력에 지나지 않는다. That is, since the ability required for the coating liquid suction device 5 prevents the coating liquid from remaining on the surface of the member to be coated 13 from the tip opening of the slit nozzle 12, a very small amount of coating liquid is used. It is just a suction that can attract.

게다가, 도포액 흡인 장치(5)로부터 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부까지의 거리는, 종래의 것(예를 들면, 배경 기술에 기재한 일본 특개 2002-113411호의 공보 참조)에 비해 대폭 짧게 할 수 있다(도면에서는, 판별은 곤란하지만, 실제로는 상기와 같다). In addition, the distance from the coating liquid suction device 5 to the tip opening of the slit nozzle 12 can be made significantly shorter than the conventional one (for example, refer to Japanese Patent Laid-Open No. 2002-113411 described in Background Art). (In the figure, discrimination is difficult, but in reality it is the same as above).

따라서, 흡인하는 도포액이 배관의 내주면으로부터 마찰 저항을 받기가 어렵고, 제2 구동 기구(18)에 의한 제2 피스톤(17)의 잡아당김에도 큰 힘을 필요로 하지 않는다. 또한, 종래와 같이 도포액의 토출과 흡인을 겸하는 경우와 같이, 슬릿 노즐(12)로부터 도포액을 도포하기 때문에 필요로 하는 큰 힘도 필요로 하지 않는다. 따라서, 전술한 대로, 소형의 도포액 흡인 장치(5)가 사용 가능하다.Therefore, it is difficult for the coating liquid to be sucked to receive frictional resistance from the inner peripheral surface of the pipe, and a large force is not required even for pulling the second piston 17 by the second drive mechanism 18. In addition, since the coating liquid is applied from the slit nozzle 12 as in the case of serving as the discharge and suction of the coating liquid as in the prior art, the large force required is not necessary. Therefore, as mentioned above, the small coating liquid suction apparatus 5 can be used.

도포액 흡인 장치(5)는, 분기관(19)의 도중에 제2의 3방향 밸브(20)를 통해 접속되어 있다. The coating liquid suction device 5 is connected via the second three-way valve 20 in the middle of the branch pipe 19.

분기관(19)의 일단은, 도포액 토출 장치(3)의 근방에서, 슬릿 노즐(12)에 도포액을 공급하는 배관에 접속되어 있다. 또한, 분기관(19)의 타단은, (역)U자관(字管)(21)을 통해 폐액(廢液) 포트(22)에 접속되어 있다. One end of the branch pipe 19 is connected to a pipe that supplies the coating liquid to the slit nozzle 12 near the coating liquid discharge device 3. The other end of the branch pipe 19 is connected to the waste liquid port 22 via a (reverse) U-shaped pipe 21.

이것에 의해, 제2의 3방향 밸브(20)를 절환하고, 제2 실린더(16) 안의 제2 피스톤(17)을 이동시킴으로써, 슬릿 노즐(12)로부터 제2 실린더(16) 안에 도포액을 흡인할 수 있고, 또한, 흡인한 도포액을 폐액 포트(22)로 배출할 수 있다.Thereby, the 2nd three-way valve 20 is switched and the 2nd piston 17 in the 2nd cylinder 16 is moved, and the coating liquid is injected into the 2nd cylinder 16 from the slit nozzle 12. FIG. The aspirating coating liquid can be sucked out and discharged to the waste liquid port 22.

제어 장치(6)는, 제1, 제2의 3방향 밸브(11, 20)의 절환, 각 구동 기구(9, 18)의 구동 제어 등을 실행하고, 도포액 탱크(1)에 저장된 도포액을 도포액 토출 장치(3)로 공급해 피도포 부재(13)의 표면에 도포하고, 최종 도포 영역에서, 도포액을 흡인해 부분적인 막 두께의 증대를 저지한다.The control apparatus 6 performs switching of the 1st, 2nd three-way valves 11 and 20, drive control of each drive mechanism 9 and 18, etc., and the coating liquid stored in the coating liquid tank 1 Is applied to the coating liquid discharge device 3 and applied to the surface of the to-be-coated member 13, and the coating liquid is sucked in the final application area to prevent partial increase in the film thickness.

다음에, 상기 구성의 도포 장치의 동작에 대해 설명한다.Next, operation | movement of the coating device of the said structure is demonstrated.

우선, 지지대(4) 위에 피도포 부재(13)를 배치한다. First, the to-be-coated member 13 is arrange | positioned on the support stand 4.

피도포 부재(13)는, 지지대(4)의 소정 위치에 정확하게 위치 결정할 것인지, 탑재 위치는 그 만큼 신경쓰지 않고, 탑재 후에 도시하지 않은 센서에 의해 위치를 검출해 좌표 데이터로서 기억해 둔다. The to-be-applied member 13 does not care whether it positions correctly in the predetermined position of the support stand 4, or the mounting position does not care that much, and after mounting, it detects a position by the sensor which is not shown in figure, and stores it as coordinate data.

그리고, 미리 결정된 위치 또는 좌표 데이터에 근거해 산출한 위치(이하, 초기 위치라고 함)에, 도포액 토출 장치(3)를 이동시키고, 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부를 피도포 부재(13)의 일단측의 연부(緣部)에 대향시킨다. Then, the coating liquid discharge device 3 is moved to a position (hereinafter, referred to as an initial position) calculated based on a predetermined position or coordinate data, and the tip opening of the slit nozzle 12 is moved to the coated member 13. To the edge of one end of the substrate.

이 때, 제1의 3방향 밸브(11)를 절환하고, 구동 기구에 의해 제1 피스톤(8)을 후퇴시켜, 도포액 탱크로부터 도포액 공급 장치(2)의 제1 실린더(7) 안에 도포액을 흡인한다. 제1 실린더(7) 안에 소정량의 도포액이 흡인되면, 제1 피스톤(8)을 정지한다.At this time, the first three-way valve 11 is switched, the first piston 8 is retracted by the drive mechanism, and the coating is applied from the coating liquid tank into the first cylinder 7 of the coating liquid supply device 2. Aspirate the liquid. When a predetermined amount of coating liquid is sucked into the first cylinder 7, the first piston 8 is stopped.

계속해서, 상기 초기 위치에서 도포액 토출 장치(3)를 강하시켜(여기에서는, 도포액 토출 장치(3)를 강하시키도록 했지만, 지지대(4)를 상승시키더라도, 지지대(4)를 상승시켜, 도포액 토출 장치(3)를 강하시켜도 좋다), 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부와 피도포 부재(13)의 표면과의 간격 치수가 소정값(여기서는, 100μm)이 되는 위치까지 접근시킨다. 또한, 제1의 3방향 밸브(11)를 절환하고, 제1 구동 기구(9)를 역전 구동해 제1 피스톤(8)을 전진시킴으로써, 제1 실린더(7) 안의 도포액 을 도포액 토출 장치(3)로 공급한다. Subsequently, the coating liquid discharging device 3 is lowered at the initial position (in this case, the coating liquid discharging device 3 is lowered. However, even when the supporting table 4 is raised, the supporting table 4 is raised. The coating liquid discharge device 3 may be lowered) and the gap dimension between the tip opening of the slit nozzle 12 and the surface of the member to be coated 13 is approached to a position where the predetermined value (here, 100 μm) becomes. Further, the coating liquid in the first cylinder 7 is applied to the coating liquid discharging device by switching the first three-way valve 11, driving the first drive mechanism 9 in reverse to advance the first piston 8. Supply to (3).

그리고, 도포액 토출 장치(3)를 피도포 부재(13)의 표면을 따라 일단의 초기 위치로부터 타단의 최종 도포 위치로 평행 이동시킨다. 이것에 의해, 피도포 부재(13)의 표면에, 차례로 도막(14)이 형성된다.Then, the coating liquid discharge device 3 is moved in parallel from the initial position of one end to the final application position of the other end along the surface of the to-be-coated member 13. Thereby, the coating film 14 is formed in the surface of the to-be-coated member 13 in order.

도포액 토출 장치(3)가 종료 직전 위치(여기서는, 최종 직전 위치를 최종 도포 위치의 앞 5mm로 하고 있다)에 이르면, 도포액 공급 장치(2)로부터 도포액의 공급을 정지한다. When the coating liquid discharge device 3 reaches a position immediately before the end (in this case, the position immediately before the final position is set to 5 mm before the final coating position), the supply of the coating liquid is stopped from the coating liquid supply device 2.

그리고, 종료 직전 위치로부터 소정 치수(여기서는 3mm) 이동한 시점에서, 도포액 흡인 장치(5)를 구동하고, 슬릿 노즐(12)로부터의 도포액의 흡인 동작을 개시한다. 즉, 제2 구동 기구(18)의 모터를 구동해, 제2 피스톤(17)을 후퇴시킨다. Then, when the predetermined dimension (here, 3 mm) is moved from the position immediately before the end, the coating liquid suction device 5 is driven to start the suction operation of the coating liquid from the slit nozzle 12. That is, the motor of the second drive mechanism 18 is driven to retreat the second piston 17.

이것에 의해, 도포액이 분기관(19)을 통해 슬릿 노즐(12)로부터 제2 실린더(16) 안에 흡인된다.As a result, the coating liquid is sucked into the second cylinder 16 from the slit nozzle 12 through the branch pipe 19.

흡인된 도포액은, 제2 실린더(16) 안에 일정량 쌓인 시점에서, 제2의 3방향 밸브(20)를 절환하여, 제2 구동 기구(18)를 역전시키고, 제2 피스톤(17)을 전진시킴으로써, 제2 실린더(16)로부터 배출된다. 배출된 도포액은 폐액 포트(22)에서 회수된다. 또한, 제2 실린더(16)로부터 슬릿 노즐(12)까지의 거리는 짧고, 도포액이 배관의 내주면으로부터 받은 마찰 저항의 영향은 작다. At a time when a certain amount of the applied coating liquid is accumulated in the second cylinder 16, the second three-way valve 20 is switched to reverse the second drive mechanism 18, and the second piston 17 is advanced. By doing so, it is discharged from the second cylinder 16. The discharged coating liquid is recovered at the waste liquid port 22. Moreover, the distance from the 2nd cylinder 16 to the slit nozzle 12 is short, and the influence of the frictional resistance which the coating liquid received from the inner peripheral surface of the piping is small.

따라서, 도포액 공급 장치(2)의 구동 정지와 동시에, 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부에서도 도포액에 흡인력을 작용시킬 수 있고, 흡인 개시 시기와 실제로 흡인력이 작용하는 시기 사이의 타임 래그(timelag)를 억제하는 것이 가능하게 된다. Therefore, at the same time as the driving stop of the coating liquid supply device 2, a suction force can be applied to the coating liquid even at the tip opening of the slit nozzle 12, and a timelag between the suction start time and the time when the suction force actually acts. ) Can be suppressed.

또한, 도포액 흡인 장치(5)는, 주로, 슬릿 노즐(12)로부터의 도포액의 흡인에 사용되므로, 정기적인 배출 동작 이외에는 종래와 같은 역전 구동은 불필요하게 되고, 고장이 적으며, 장기간에 걸쳐 양호한 구동 상태를 유지할 수 있다.In addition, since the coating liquid suction device 5 is mainly used for the suction of the coating liquid from the slit nozzle 12, the conventional reverse driving is unnecessary, except for the regular discharge operation. It is possible to maintain a good driving state over.

그런데, 상기 최종 도포 영역은, 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부가 최종단(最終端)인 최종 도포 위치에 이르는 앞의 종료 직전 위치까지의 영역이다. By the way, the said final application | coating area | region is an area | region to the position just before the end which reaches the final application | coating position which the front end opening part of the slit nozzle 12 is the last end.

종료 직전 위치는, 이 위치를 넘어 도포액을 계속해서 공급하면, 막 두께가 커지는 한계 위치라고 한다. 또한, 이 위치는, 예를 들면, 실험에 의해, 다음과 같이 해서 결정하면 좋다.The position immediately before the end is referred to as the limit position where the film thickness becomes large when the coating liquid is continuously supplied beyond this position. In addition, this position may be determined as follows by experiment, for example.

즉, 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부가 최종 도포 위치에 이르는 앞에서, 도포액 공급 장치(2)로부터 도포액의 공급을 정지하는 위치나, 도포액의 흡인을 개시하는 위치를 변경하고, 도막(14)의 형성 상태를 각각 관찰한다. That is, before the opening of the front end of the slit nozzle 12 reaches the final application position, the position at which the supply of the coating liquid is stopped from the coating liquid supply device 2 or the position at which suction of the coating liquid is started is changed and the coating film ( The formation state of 14) was observed, respectively.

그리고, 그 결과에 근거해, 가장 적당한 막 두께의 도막(14)을 얻을 수 있었던 위치를 종료 직전 위치로 결정한다. And based on the result, the position where the coating film 14 of the most suitable film thickness was obtained is determined as the position just before completion | finish.

실험 결과는 데이터 베이스로서 기억해 두고, 다음 번의 도포로부터, 마찬가지 조건이 있으면, 기억한 과거의 데이터에 근거해 종료 직전 위치를 결정하면 된다. 또한, 상기 종료 직전 위치는, 도포액의 단위 시간당의 흡인량을 조정하면서, 상기 실험을 반복해 결정하도록 해도 좋다.The experimental result is stored as a database, and if the same conditions exist from the next application | coating, what is necessary is just to determine the position just before completion | finish based on the stored past data. The position immediately before the end may be determined by repeating the above experiment while adjusting the amount of suction per unit time of the coating liquid.

또한, 상기 도포액의 흡인 개시와 동시에, 도포액 토출 장치(3)를 서서히 강하시켜, 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부를 피도포 부재(13)의 표면에 접근시키도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 가장 최종 도포 위치에서 접근하게 하도록 하면 좋 다(예를 들면, 70μm). 이로써, 더 한층 적절하게 피도포 부재(13) 표면의 최종 도포 영역에 있어서의 도막(14)의 막 두께를 안정시키고, 다른 부분과의 균일화도 꾀할 수 있게 된다.At the same time as the start of suction of the coating liquid, the coating liquid discharge device 3 is preferably lowered so that the tip opening of the slit nozzle 12 is brought closer to the surface of the coating member 13. Then, it is good to have access at the final application position (for example, 70 μm). Thereby, the film thickness of the coating film 14 in the final application | coating area | region of the to-be-coated member 13 surface can be stabilized more suitably, and the uniformity with another part can also be attained.

그런데, 상기 도포액 흡인 장치(5)에서 이루어진 도포액의 흡인을, 종래와 같이, 상기 도포액 공급 장치(2)에서 대용하기 위해서는, 모터를 역회전시킬 필요가 있다. By the way, in order to substitute the suction of the coating liquid formed by the said coating liquid suction apparatus 5 in the said coating liquid supply apparatus 2 like conventionally, it is necessary to reverse a motor.

그리고, 흡인량을 0.2cc로 하는 경우, 피스톤의 스트로크(흡인 스트로크)를 0.32mm로 하고, 상기 흡인 스트로크를 얻기 위한 모터의 회전수를 0.053 회전으로 하지 않으면 안 된다. When the suction amount is 0.2 cc, the stroke (suction stroke) of the piston must be 0.32 mm, and the rotation speed of the motor for obtaining the suction stroke must be 0.053 revolutions.

이에 대해, 상기 도포액 흡인 장치(5)에 따르면, 흡인량이 0.2cc의 경우, 흡인 스트로크를 16.7mm로 하고, 이 흡인 스트로크를 얻기 위한 모터의 회전수를 8.35 회전으로 함으로써 슬릿 노즐(12)로부터 필요량의 도포액을 흡인할 수 있다. 예를 들면, 모터의 회전수에 1/100 회전의 오차가 생긴 경우, 전자의 종래 방식에서는 무시할 수 없는 흡인량의 오차가 되어 나타나기 때문에, 모터의 회전 제어를 고(高)정밀도로 실행할 필요가 있고, 고가(高價)의 구성으로 하지 않을 수 없지만, 후자의 본 실시 형태에 관한 것이라면, 무시 가능한 오차 범위로 거둘 수 있고, 저렴한 구성으로 대처할 수 있는 것이다.On the other hand, according to the coating liquid suction device 5, when the suction amount is 0.2cc, the suction stroke is 16.7 mm, and the rotational speed of the motor for obtaining this suction stroke is 8.35 rotation from the slit nozzle 12. A required amount of coating liquid can be sucked. For example, when an error of 1/100 rotation occurs in the number of revolutions of the motor, it appears as an error of suction amount which cannot be neglected in the former conventional method, so that the rotation control of the motor needs to be executed with high precision. Although it is indispensable to make an expensive structure, if it is related to this latter embodiment, it can collect in the negligible error range and can cope with a cheap structure.

(제2 실시 형태)(2nd embodiment)

도 2는, 제2 실시 형태에 관한 도포 장치를 나타낸다. 2 shows a coating device according to a second embodiment.

이 도포 장치는, 상기 제1 실시 형태에 관한 것과는, 도포액 흡인 장치(5)를 구비하지 않고 있는 점에서 상이하다. 또한, 제2 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 다른 부분 이외의 설명은 생략한다.This coating apparatus differs from the thing which concerns on the said 1st Embodiment by the point which does not provide the coating liquid suction apparatus 5. In addition, in 2nd Embodiment, description other than the part different from 1st Embodiment is abbreviate | omitted.

도 2에서는, 도포액 흡인 장치(5) 대신에, 분기관(19)의 선단을 도포 위치, 즉, 도포하고 있는 슬릿 노즐(12)의 선단 개구부의 위치보다도 소정 치수(도 2 중 A로 나타냄) 아래쪽에 위치하게 하여 대기에 개방하도록 하고 있다. In FIG. 2, instead of the coating liquid suction device 5, the front end of the branch pipe 19 is applied to a predetermined position (that is, indicated by A in FIG. 2) than the position of the front end opening portion of the slit nozzle 12 being coated. It is located at the bottom to open to the atmosphere.

그리고, 분기관(19)의 도중에 개폐 밸브(23)를 설치하고 있다. 이것에 의해, 개폐 밸브(23)를 개방하는 것만으로, 사이펀 원리에 의해, 슬릿 노즐(12)로부터 도포액이 흡인되고, 상기 제1 실시 형태와 마찬가지로, 피도포 부재(13)의 최종 도포 위치에서의 도막(14)의 막 두께가 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.And the opening-closing valve 23 is provided in the middle of the branch pipe 19. As shown in FIG. Thereby, only the opening / closing valve 23 is opened, the coating liquid is sucked from the slit nozzle 12 by the siphon principle, and the final application position of the member to be coated 13 is applied in the same manner as in the first embodiment. It is possible to prevent the film thickness of the coating film 14 from being thickened.

또한, 상기 분기관(19)의 선단 위치는, 상하 방향으로 조정 가능한 구성으로 해도 좋다. In addition, the tip position of the said branch pipe 19 may be set as the structure which can be adjusted to an up-down direction.

이 위치 조정은, 사용하는 도포액의 종류, 개방 위치에서 도포 위치까지의 거리 등의 흡인량 변동 파라미터에 근거해 실행하면 된다. 또한, 이 흡인량 변동 파라미터에 근거해 자동적으로 승강 가능한 구성을 구비하도록 해도 좋다.This position adjustment may be performed based on the suction amount variation parameter, such as the kind of coating liquid to be used and the distance from an open position to an application position. Moreover, you may be provided with the structure which can lift up and down automatically based on this suction amount variation parameter.

도 1은, 제1 실시 형태에 관한 도포 장치의 개략 설명도다.1 is a schematic explanatory diagram of a coating device according to a first embodiment.

도 2는, 제2 실시 형태에 관한 도포 장치의 지지대 부분을 나타내는 개략도이다.2 is a schematic view showing a support portion of the coating apparatus according to the second embodiment.

(부호의 설명)(Explanation of the sign)

1: 도포액 탱크1: coating liquid tank

2: 도포액 공급 장치2: coating liquid supply device

3: 도포액 토출 장치3: coating liquid discharge device

4: 지지대4: support

5: 도포액 흡인 장치5: coating liquid suction device

6: 제어 장치6: control device

7: 제1 실린더7: first cylinder

8: 제1 피스톤8: first piston

9: 제1 구동 기구9: first drive mechanism

10: 제1 배관10: first piping

11: 제1의 3방향 밸브11: first three-way valve

12: 슬릿 노즐12: slit nozzle

13: 피도포 부재13: no coating

14: 도막14: coating film

15: 지지 잭15: support jack

16: 제2 실린더16: second cylinder

17: 제2 피스톤17: second piston

18: 제2 구동 기구18: second drive mechanism

19: 분기관19: branch pipe

20: 제2의 3방향 밸브20: second three-way valve

21: U자관21: U-shaped building

22: 폐액 포트22: waste liquid port

23: 개폐 밸브23: on-off valve

Claims (6)

지지대 위에 탑재한 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키면서, 도포액 공급 장치를 구동해 상기 도포액 토출 장치에 도포액을 공급하고, 상기 도포액 토출 장치의 노즐을 통해 상기 피도포 부재에 도포액을 도포하도록 한 도포 장치로써,While moving the coating liquid discharge device relative to the coated member mounted on the support in the horizontal direction, the coating liquid supply device is driven to supply the coating liquid to the coating liquid discharge device, and through the nozzle of the coating liquid discharge device. An application apparatus for applying a coating liquid to the to-be-coated member, 상기 도포액 토출 장치로부터 상기 노즐에 이르는 배관의 도중(途中)에 연통하는 분기관과,A branch pipe communicating in the middle of the pipe from the coating liquid discharge device to the nozzle, 상기 분기관을 통해 상기 노즐로부터 도포액을 흡인하는 도포액 흡인 장치와,A coating liquid suction device for sucking the coating liquid from the nozzle through the branch pipe; 상기 도포액 흡인 장치에 의한 도포액의 흡인 동작을, 상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부가, 상기 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이르는 것으로써 개시하게 하는 제어 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 도포 장치.And a control device for starting the suction operation of the coating liquid by the coating liquid suction device by starting the tip opening of the coating liquid discharge device nozzle to reach the final coating region of the member to be coated. Device. 지지대 위에 탑재한 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키면서, 도포액 공급 장치를 구동해 상기 도포액 토출 장치에 도포액을 공급하고, 상기 도포액 토출 장치의 노즐을 통해 상기 피도포 부재에 도포액을 도포하도록 한 도포 장치로써,While moving the coating liquid discharge device relative to the coated member mounted on the support in the horizontal direction, the coating liquid supply device is driven to supply the coating liquid to the coating liquid discharge device, and through the nozzle of the coating liquid discharge device. An application apparatus for applying a coating liquid to the to-be-coated member, 상기 도포액 토출 장치로부터 상기 노즐에 이르는 배관의 도중에 연통하는 분기관과,A branch pipe communicating in the middle of the pipe from the coating liquid discharge device to the nozzle, 상기 분기관을 외기(外氣)에 개방 가능하게 하는 개폐 수단과,Opening and closing means for allowing the branch pipe to be opened to outside air; 상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부가, 상기 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이르는 것으로써, 상기 개폐 수단에 의해 분기관을 외기에 개방하게 하는 제어 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 도포장치.And a control device for opening the branch pipe to the outside air by the opening / closing means by reaching the tip opening of the coating liquid discharge device nozzle to reach the final coating area of the member to be coated. 제1항에 있어서, 상기 분기관의 대기로의 개방 위치는, 상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부보다도 아래쪽인 것을 특징으로 하는 도포 장치.The coating device according to claim 1, wherein the open position of the branch pipe to the atmosphere is lower than a tip opening of the coating liquid discharge device nozzle. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 분기관의 대기로의 개방 위치는, 연직 방향으로 조정 가능하게 한 것을 특징으로 하는 도포 장치.The coating device according to claim 2 or 3, wherein the open position of the branch pipe to the atmosphere is adjustable in the vertical direction. 지지대 위에 탑재한 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키면서, 도포액 공급 장치를 구동해 상기 도포액 토출 장치에 도포액을 공급하고, 상기 도포액 토출 장치의 노즐을 통해 상기 피도포 부재에 도포액을 도포하도록 한 도포 방법으로써,While moving the coating liquid discharge device relative to the coated member mounted on the support in the horizontal direction, the coating liquid supply device is driven to supply the coating liquid to the coating liquid discharge device, and through the nozzle of the coating liquid discharge device. As a coating method which apply | coats a coating liquid to the said to-be-coated member, 상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부가, 상기 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이르는 것으로써, 상기 도포액 토출 장치로부터 상기 노즐에 이르는 배관의 도중에 연통하는 분기관을 통해, 상기 노즐 안의 도포액의 흡인 동작을 개시하게 하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.When the tip opening of the coating liquid ejecting device nozzle reaches the final application region of the member to be coated, the coating liquid in the nozzle is discharged through a branch pipe communicating in the middle of the pipe from the coating liquid ejecting device to the nozzle. An application method characterized by starting a suction operation. 지지대 위에 탑재한 피도포 부재에 대해 도포액 토출 장치를 상대적으로 수평 방향으로 이동시키면서, 도포액 공급 장치를 구동해 상기 도포액 토출 장치에 도포액을 공급하고, 상기 도포액 토출 장치의 노즐을 통해 상기 피도포 부재에 도포액을 도포하도록 한 도포 방법으로써,While moving the coating liquid discharge device relative to the coated member mounted on the support in the horizontal direction, the coating liquid supply device is driven to supply the coating liquid to the coating liquid discharge device, and through the nozzle of the coating liquid discharge device. As a coating method which apply | coats a coating liquid to the said to-be-coated member, 상기 도포액 토출 장치 노즐의 선단 개구부가, 상기 피도포 부재의 최종 도포 영역에 이르는 것으로써, 상기 도포액 토출 장치로부터 상기 노즐에 이르는 배관의 도중에 연통하는 분기관을 대기에 개방하게 하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.The tip opening of the coating liquid ejecting device nozzle reaches the final application region of the member to be coated, thereby opening the branch pipe communicating with the middle of the pipe from the coating liquid ejecting device to the nozzle to the atmosphere. Application method.
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5644143B2 (en) * 2009-03-25 2014-12-24 住友化学株式会社 Coating method and manufacturing method of organic electroluminescence element
JP5469992B2 (en) * 2009-10-19 2014-04-16 東京応化工業株式会社 Coating method and coating apparatus
TWI551358B (en) * 2011-09-05 2016-10-01 Method and device for coating anti - leak material of female screw
JP5780085B2 (en) * 2011-09-26 2015-09-16 凸版印刷株式会社 Secondary battery electrode member coating apparatus and coating method
CN102650774A (en) * 2012-05-18 2012-08-29 深圳市华星光电技术有限公司 Liquid crystal suction device and liquid crystal coating equipment
CN103100506A (en) * 2013-03-04 2013-05-15 深圳市信宇人科技有限公司 Extruding-type coating head with precisely controlled head and tail thicknesses
JP6224967B2 (en) * 2013-09-17 2017-11-01 東レエンジニアリング株式会社 Coating apparatus and coating method
JP6490409B2 (en) * 2014-03-19 2019-03-27 東レエンジニアリング株式会社 Coating apparatus, coating method, and manufacturing method of display member
CN104155848A (en) * 2014-07-22 2014-11-19 四川虹视显示技术有限公司 Photoresist coating and recycling device
JP2017051885A (en) * 2015-09-07 2017-03-16 東レエンジニアリング株式会社 Coating device
JP6623095B2 (en) * 2016-03-28 2019-12-18 株式会社Ｓｃｒｅｅｎ Ｓｐｅ テック Treatment liquid discharge device
JP7133449B2 (en) 2018-11-28 2022-09-08 ダイハツ工業株式会社 oil applicator
CN111715472A (en) * 2019-03-18 2020-09-29 合肥精显电子科技有限公司 LCD adhesive deposite device
RU198609U1 (en) * 2020-03-16 2020-07-20 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева" DEVICE TO CONTROL THE APPLICATION OF PROTECTIVE COATINGS ON THE INNER SURFACE OF PRODUCTS OF CYLINDRICAL SHAPE

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02122858A (en) * 1988-10-31 1990-05-10 Sharp Corp Liquid material quantitative discharge device
JPH0295230U (en) * 1989-01-13 1990-07-30
JPH0582431A (en) * 1991-09-19 1993-04-02 Nec Yamagata Ltd Photoresist applying device for semiconductor wafer
JPH1024263A (en) * 1996-07-11 1998-01-27 Juki Corp Fixed volume discharging device
JP3483461B2 (en) * 1997-04-01 2004-01-06 宮崎沖電気株式会社 Resist discharge system and resist discharge method
JPH1147662A (en) * 1997-08-07 1999-02-23 Hirata Corp Formation of coating film and coating film forming device
JPH11156270A (en) * 1997-11-27 1999-06-15 Asahi Chem Ind Co Ltd Coating device
JP2001179156A (en) * 1999-12-22 2001-07-03 Hirano Tecseed Co Ltd Discharge type coating device
JP4130058B2 (en) * 2000-10-10 2008-08-06 東京応化工業株式会社 Application method
JP3811812B2 (en) * 2000-11-21 2006-08-23 株式会社ヒラノテクシード Coating equipment
JP2002336763A (en) * 2001-05-15 2002-11-26 Sony Corp Coating apparatus and coating method
JP4409969B2 (en) * 2004-01-16 2010-02-03 株式会社ヒラノテクシード Coating equipment

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