KR20080060523A - Organic light emitting diodes display device and method of manufacturing the same - Google Patents

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KR20080060523A
KR20080060523A KR1020060134719A KR20060134719A KR20080060523A KR 20080060523 A KR20080060523 A KR 20080060523A KR 1020060134719 A KR1020060134719 A KR 1020060134719A KR 20060134719 A KR20060134719 A KR 20060134719A KR 20080060523 A KR20080060523 A KR 20080060523A
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이준석
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

An organic light emitting diode display device and a method for manufacturing the same are provided to prevent short between pixels by including a pixel separation partition. An organic light emitting diode display device includes a first substrate(100), a first electrode(110), a pixel separation partition(150), an organic light emitting layer(120), a second electrode(130), and a second substrate(200). The first substrate includes a plurality of pixels(P). The first electrode is positioned on the first substrate. The pixel separation partition is positioned along a periphery of each of the pixels. The organic light emitting layer is positioned on the first electrode. The second electrode is positioned on the organic light emitting layer and separated by pixels through the pixel separation partition. The second substrate faces the first substrate and includes a thin film transistor(Tr) electrically connected to the second electrode.

Description

유기발광다이오드 표시장치 및 이의 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DIODES DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODES DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 평면도이다. 1 is a plan view of an organic light emitting diode display according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 3a 내지 도 3j는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.3A to 3J are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display device according to a second embodiment of the present invention.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명) (Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

100 : 제 1 기판 110 : 제 1 전극 100: first substrate 110: first electrode

115 : 버퍼층 120 : 유기발광층 115: buffer layer 120: organic light emitting layer

130 : 제 2 전극 145 : 콘택부재 130: second electrode 145: contact member

150 : 화소분리 격벽 151 : 다리부  150: pixel separation partition 151: leg portion

152 : 머리부 200 : 제 2 기판 152: head 200: second substrate

245 : 콘택전극  245 contact electrode

E : 유기발광다이오드 E: organic light emitting diode

Tr : 박막트랜지스터  Tr: Thin Film Transistor

본 발명은 유기발광다이오드 표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 구체적으로, 듀얼 패널 타입의 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting diode display and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a dual panel type organic light emitting display device and a manufacturing method thereof.

유기발광다이오드 표시장치는 자체발광형으로 액정표시장치와 같은 백라이트가 필요하지 않아 경량 박형이 가능할 뿐만 아니라, 단순한 공정을 거쳐 제조될 수 있어 가격 경쟁력을 키울 수 있다. 또한, 유기발광다이오드 표시장치는 저전압 구동, 높은 발광효율, 넓은 시야각을 가짐에 따라, 차세대 디스플레이로서 급상승하고 있다.The organic light emitting diode display is self-luminous and does not require a backlight such as a liquid crystal display, so it is not only lightweight and thin, but also can be manufactured through a simple process, thereby increasing price competitiveness. In addition, organic light emitting diode display devices are rapidly rising as next generation displays due to low voltage driving, high luminous efficiency, and wide viewing angle.

유기발광다이오드 표시장치는 광을 발생하는 유기발광다이오드와 상기 유기발광다이오드의 구동을 제어하는 박막트랜지스터를 포함한다. 여기서, 박막트랜지스터는 유기발광다이오드를 개별적으로 구동하여, 유기발광다이오드에 낮은 전류를 인가하더라도 유기발광다이오드는 동일한 휘도를 나타낼 수 있다. 이로써, 유기발광다이오드 표시장치는 박막트랜지스터를 구비함으로써, 저소비 전력, 고정세, 대형화에 유리할 뿐만 아니라, 장치의 수명을 향상시킬 수 있다.The organic light emitting diode display includes an organic light emitting diode for generating light and a thin film transistor for controlling the driving of the organic light emitting diode. Here, the thin film transistors individually drive the organic light emitting diodes, so that the organic light emitting diodes may exhibit the same luminance even when a low current is applied to the organic light emitting diodes. As a result, the organic light emitting diode display device includes a thin film transistor, which is advantageous for low power consumption, high definition, and large size, and can improve the life of the device.

이와 같은 유기발광다이오드 표시장치는 상기 유기발광층에서 제공된 광을 상기 기판을 통과하여 사용자에게 영상을 제공함에 따라, 박막트랜지스터에 의해 개구율이 감소되었다.In the organic light emitting diode display device as described above, the aperture ratio of the organic light emitting diode display is reduced by the thin film transistor as the image is transmitted to the user through the substrate.

또한, 유기발광다이오드 표시장치는 하나의 기판에 박막트랜지스터와 유기발 광다이오드를 형성함에 따라, 유기발광다이오드 표시장치의 제조 공정시간이 길어질 뿐만 아니라 공정 수율이 저하되는 문제점이 제기되었다.In addition, as the organic light emitting diode display device forms a thin film transistor and an organic light emitting diode on one substrate, the manufacturing process time of the organic light emitting diode display device is increased and the process yield is lowered.

본 발명은 유기발광층의 열화를 방지하고 공정 단가를 낮추며 공정 수율을 향상시킬 수 있는 유기발광다이오드 표시장치를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an organic light emitting diode display device capable of preventing deterioration of an organic light emitting layer, lowering process cost, and improving process yield.

또한, 상기 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 제공함에 다른 목적이 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a method of manufacturing the organic light emitting diode display.

상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 유기발광다이오드 표시장치를 제공한다. 상기 유기발광다이오드 표시장치는 다수개의 화소들을 구비하는 제 1 기판, 상기 다수개의 화소들을 포함하는 제 1 기판상에 배치된 제 1 전극, 상기 각 화소의 외곽을 따라 배치된 화소분리 격벽, 상기 제 1 전극상에 배치된 유기발광층, 상기 유기발광층상에 배치되며, 상기 화소분리 격벽에 의해 화소별로 분리된 제 2 전극 및 상기 제 1 기판과 마주하며, 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결된 박막트랜지스터가 형성된 제 2 기판을 포함하며,In order to achieve the above technical problem, an aspect of the present invention provides an organic light emitting diode display. The organic light emitting diode display may include a first substrate having a plurality of pixels, a first electrode disposed on the first substrate including the plurality of pixels, a pixel separation barrier disposed along an outer edge of each pixel, and the first substrate. An organic light emitting layer disposed on one electrode, a second electrode disposed on the organic light emitting layer, separated by pixels by the pixel separation barrier, and a thin film transistor facing the first substrate and electrically connected to the second electrode. A second substrate formed,

상기 화소분리 격벽은 제 1 면적을 갖는 다리부 및 상기 다리부상에 배치되며 상기 제 1 면적보다 큰 제 2 면적을 갖는 머리부를 포함한다.The pixel separation barrier may include a leg having a first area and a head disposed on the leg and having a second area larger than the first area.

상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 일 측면의 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 제공한다. 상기 제조 방법은 다수의 화소들이 정의된 제 1 기판을 제공하는 단계, 상기 다수개의 화소들을 포함하는 제 1 기판상에 제 1 전극을 형성하는 단계, 상기 각 화소의 외곽을 따라 화소분리 격벽을 형성하는 단계, 상기 제 1 전극상에 유기발광층을 형성하는 단계, 상기 유기발광층상에 상기 화소분리 격벽에 의해 자연적으로 패터닝된 제 2 전극을 형성하는 단계 및 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결되는 박막트랜지스터가 형성된 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하며,In order to achieve the above technical problem, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to another aspect of the present invention. The manufacturing method includes providing a first substrate on which a plurality of pixels are defined, forming a first electrode on a first substrate including the plurality of pixels, and forming a pixel separation barrier along an outer edge of each pixel. Forming an organic light emitting layer on the first electrode, forming a second electrode naturally patterned by the pixel separation barrier on the organic light emitting layer, and electrically connecting the first substrate and the second electrode. Bonding the second substrate on which the thin film transistor is connected;

상기 화소분리 격벽은 제 1 면적을 갖는 다리부 및 상기 다리부상에 배치되며 상기 제 1 면적보다 큰 제 2 면적을 갖는 머리부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The pixel separation barrier may include a leg having a first area and a head disposed on the leg and having a second area larger than the first area.

이하, 본 발명에 의한 유기발광다이오드 표시장치의 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, an organic light emitting diode display according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are provided as examples to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. In the drawings, the size and thickness of the device may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 평면도이다. 여기서, 도 1은 유기발광다이오드 표시장치 중 3개의 화소를 확대하여 도시하였다.1 is a plan view of an organic light emitting diode display according to a first exemplary embodiment of the present invention. 1 illustrates an enlarged view of three pixels of an organic light emitting diode display.

도 2는 도 1에 도시된 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 유기발광다이오드 표시장치는 다수의 화소들을 구비하며, 서로 이격된 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 포함한다. 여기서, 제 1 기 판(100)상에는 각 화소(P)별로 분리된 유기발광다이오드(E)들이 배치되어 있다. 또한, 제 2 기판(200)은 제 1 기판(100)과 마주하는 대향면을 구비하고, 상기 대향면에는 유기발광다이오드(E)들과 각각 전기적으로 연결된 박막트랜지스터(Tr)들이 배치되어 있다. 1 and 2, the organic light emitting diode display includes a plurality of pixels and includes first and second substrates 100 and 200 spaced apart from each other. Here, the organic light emitting diodes E separated for each pixel P are disposed on the first substrate 100. In addition, the second substrate 200 has an opposing surface facing the first substrate 100, and thin film transistors Tr electrically connected to the organic light emitting diodes E are disposed on the opposing surface.

자세하게, 제 1 기판(100)은 다수의 화소(P)들을 포함한다. 이때, 상기 각 화소(P)는 광이 발생되는 발광부(PL) 및 상기 발광부(PL)의 주변에 배치된 비발광부(PNL)를 포함한다. In detail, the first substrate 100 includes a plurality of pixels P. In this case, each of the pixels P includes a light emitting part PL for generating light and a non-light emitting part PNL disposed around the light emitting part PL.

다수의 화소(P)들을 포함하는 제 1 기판(100)상에 제 1 전극(110)이 배치되어 있다. 제 1 전극(110)은 다수의 화소(P)들에 공통으로 사용된다. 즉, 제 1 전극(110)은 다수의 화소(P)들에 일체로 이루어져 있다.The first electrode 110 is disposed on the first substrate 100 including the plurality of pixels P. The first electrode 110 is commonly used for the plurality of pixels P. That is, the first electrode 110 is integrally formed with the plurality of pixels P.

이때, 제 1 전극(110)은 투명성 도전 물질로 형성된다. 예를 들면, 제 1 전극(110)은 ITO 또는 IZO로 이루어질 수 있다. In this case, the first electrode 110 is formed of a transparent conductive material. For example, the first electrode 110 may be made of ITO or IZO.

이에 더하여, 제 1 기판(100) 및 제 1 전극(110)사이에 보조전극(105)이 위치할 수 있다. 제 1 전극(110)이 상술한 바와 같이, 저항이 큰 물질로 이루어지며, 다수의 화소(P)들에 일체로 형성되기 때문에, 완성된 유기발광다이오드 표시장치의 휘도가 불균일해 질 수 있다. 이로써, 보조전극(105)은 제 1 전극(110)의 저항차를 줄이는 역할을 한다. 그러므로, 보조전극(105)은 저항이 낮은 금속으로 형성된다. 예를 들면, 보조전극(105)은 Al, AlNd, Mo 및 Cr등으로 형성될 수 있다.In addition, the auxiliary electrode 105 may be positioned between the first substrate 100 and the first electrode 110. As described above, since the first electrode 110 is made of a material having a high resistance and is integrally formed in the plurality of pixels P, the luminance of the completed organic light emitting diode display may be uneven. As a result, the auxiliary electrode 105 serves to reduce the resistance difference between the first electrode 110. Therefore, the auxiliary electrode 105 is formed of a metal of low resistance. For example, the auxiliary electrode 105 may be formed of Al, AlNd, Mo, Cr, or the like.

제 1 전극(110)상에 발광부(PL)를 노출하는 버퍼층(115)이 배치된다. 즉, 버퍼층(115)은 비발광부(NPL)에 배치된다. 즉, 버퍼층(115)에 의해 화소(P)는 발광 부(PL) 및 비발광부(NPL)가 정의된다.The buffer layer 115 exposing the light emitting part PL is disposed on the first electrode 110. That is, the buffer layer 115 is disposed in the non-light emitting portion NPL. That is, the light emitting part PL and the non-light emitting part NPL are defined in the pixel P by the buffer layer 115.

여기서, 버퍼층(115)은 제 1 전극(110) 및 후술될 제 2 전극(130)간의 쇼트 불량을 방지하는 역할을 한다. 또한, 버퍼층(115)은 제 1 전극(110)상에 후술 될 화소분리 격벽(150)을 고정시키는 역할을 한다. 이는 화소분리 격벽(150)은 주로 유기계 물질로 이루어지므로, 제 1 전극(110)과 접착력이 좋지 않기 때문이다. 이로써, 버퍼층(115)은 제 1 전극(110) 및 격벽(142)과 각각 접착력이 우수한 절연물질로 이루어져야 한다. 예를 들면, 버퍼층(115)은 산화실리콘 또는 질화실리콘등으로 이루어질 수 있다.Here, the buffer layer 115 serves to prevent a short failure between the first electrode 110 and the second electrode 130 to be described later. In addition, the buffer layer 115 serves to fix the pixel separation barrier 150 to be described later on the first electrode 110. This is because the pixel separation barrier 150 is mainly made of an organic material, and thus has poor adhesion with the first electrode 110. As a result, the buffer layer 115 should be made of an insulating material having excellent adhesion to the first electrode 110 and the partition wall 142, respectively. For example, the buffer layer 115 may be made of silicon oxide, silicon nitride, or the like.

버퍼층(115)상에 화소분리 격벽(150)이 배치되어 있다. 즉, 화소분리 격벽(150)은 화소(P)의 외곽을 따라 배치되어, 결국 각 화소(P)들을 분리하는 역할을 한다.The pixel isolation barrier 150 is disposed on the buffer layer 115. In other words, the pixel separation barrier 150 is disposed along the periphery of the pixel P, thereby separating each pixel P.

이때, 화소분리 격벽(150)은 제 1 면적을 갖는 다리부(151) 및 다리부(151)상에 배치되며 상기 제 1 면적보다 큰 제 2 면적을 갖는 머리부(152)를 포함한다. 즉, 화소분리 격벽(150)은 'T'자의 단면 형상을 가진다. 이때, 다리부(151) 및 머리부(152)는 공정수를 절감하기 위해 하나의 마스크를 이용하여 형성할 수 있다. 즉, 다리부(151) 및 머리부(152)는 각각 서로 다른 성질을 갖는 감광성 수지로 이루어진다. 즉, 다리부(151)는 네가티브 감광성 수지로 이루어진다. 또한, 머리부(152)는 포지티브 감광성 수지로 이루어진다. In this case, the pixel separation barrier 150 includes a leg part 151 having a first area and a head part 152 having a second area larger than the first area and disposed on the leg part 151. That is, the pixel separation barrier 150 has a cross-sectional shape of 'T'. In this case, the leg portion 151 and the head portion 152 may be formed using one mask to reduce the number of processes. That is, the leg portion 151 and the head portion 152 are each made of a photosensitive resin having different properties. That is, the leg portion 151 is made of negative photosensitive resin. In addition, the head 152 is made of a positive photosensitive resin.

이로써, 제 2 전극(130)의 형성공정에서 화소분리 격벽(150)은 별도의 쉐도우 마스크 또는 식각공정을 거치지 않고 제 2 전극(130)을 각 화소(P)별로 자연적 으로 패터닝하는 역할을 한다. 결국, 화소분리 격벽(150)은 유기발광다이오드(E)를 각 화소(P)별로 분리하게 된다. Thus, in the process of forming the second electrode 130, the pixel separation barrier 150 serves to naturally pattern the second electrode 130 for each pixel P without undergoing a separate shadow mask or etching process. As a result, the pixel separation barrier 150 separates the organic light emitting diode E for each pixel P. Referring to FIG.

적어도 상기 발광영역의 제 1 전극(110)상에 유기발광층(120)이 배치된다. 여기서, 유기발광층(120)은 제 1 전극(110) 및 제 2 전극(130)에서 각각 제공된 전자 및 정공이 재결합되면서 광을 발생하게 된다. The organic light emitting layer 120 is disposed on at least the first electrode 110 of the light emitting region. Herein, the organic light emitting layer 120 generates light as electrons and holes provided from the first electrode 110 and the second electrode 130 are recombined, respectively.

이에 더하여, 유기 발광층(120)은 그 상부면 또는 하부면에 정공 주입층, 정공 수송층, 정공 억제층, 전자 수송층 및 전자 주입층등의 유기층을 더 포함할 수 있다. 상기 유기층은 제 1 전극(110), 유기 발광층(120) 및 제 2 전극(130)의 각각 경계면에서의 에너지 레벨을 적절하게 조절해주어, 유기 발광층(120)으로 전자와 정공을 효율적으로 주입시킬 수 있다. 이로써, 완성된 유기 전계 발광 표시 장치의 발광 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, the organic emission layer 120 may further include an organic layer, such as a hole injection layer, a hole transport layer, a hole suppression layer, an electron transport layer, and an electron injection layer, on the top or bottom surface thereof. The organic layer appropriately adjusts the energy level at each interface between the first electrode 110, the organic light emitting layer 120, and the second electrode 130, thereby efficiently injecting electrons and holes into the organic light emitting layer 120. have. As a result, the luminous efficiency of the completed organic light emitting display device can be improved.

유기발광층(120)상에 제 2 전극(130)이 배치되어 있다. 제 2 전극(120)은 화소분리 격벽(150)에 의해 각 화소(P)별로 분리되어 있다. 상술한 바와 같이, 화소분리 격벽(150)은 서로 다른 면적을 갖는 다리부(151) 및 머리부(152)를 구비함에 따라, 제 2 전극(120)은 별도의 식각 공정 및 쉐도우 마스크를 이용하지 않고 각 화소(P)별로 패터닝할 수 있다. 이로써, 유기발광층(120)이 제 2 전극(130)을 형성하기 위한 식각액에 노출되어 열화되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 고가의 쉐도우 마스크를 이용하지 않아도 되므로 공정 단가를 낮출 수 있다. 제 2 전극(130)은 반사성을 가지는 도전물질로, Mg, Ca, Al, Ag, Ba 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나의 물질로 이루어질 수 있다.The second electrode 130 is disposed on the organic light emitting layer 120. The second electrode 120 is separated for each pixel P by the pixel separation barrier 150. As described above, since the pixel separation barrier 150 includes a leg portion 151 and a head portion 152 having different areas, the second electrode 120 does not use a separate etching process and a shadow mask. It can be patterned for each pixel P without. As a result, the organic light emitting layer 120 may be prevented from being deteriorated by being exposed to the etchant for forming the second electrode 130. In addition, since an expensive shadow mask does not have to be used, the process cost can be reduced. The second electrode 130 is a reflective conductive material, and may be made of one material selected from the group consisting of Mg, Ca, Al, Ag, Ba, and alloys thereof.

이로써, 제 1 기판(100)상에는 각 화소(P)별로 분리된 유기발광다이오드가 배치된다.Thus, organic light emitting diodes separated for each pixel P are disposed on the first substrate 100.

이에 더하여, 화소(P)의 제 1 전극(110)상에 콘택부재(145)가 배치되어 있다. 도면에서는 콘택부재(145)가 화소(P)의 발광부(PL)에 배치된 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 아니하고 화소(P)의 비발광부(PNL)에 배치되어 있을 수 있다. In addition, the contact member 145 is disposed on the first electrode 110 of the pixel P. In the drawing, the contact member 145 is illustrated as being disposed in the light emitting part PL of the pixel P. However, the contact member 145 is not limited thereto and may be disposed in the non-light emitting part PNL of the pixel P.

여기서, 콘택부재(145)는 서로 이격된 유기발광다이오드(E) 및 박막트랜지스터(Tr)를 서로 전기적으로 연결시키는 역할을 한다.Here, the contact member 145 serves to electrically connect the organic light emitting diode E and the thin film transistor Tr spaced apart from each other.

즉, 콘택부재(145)는 절연패턴(117), 돌기부재(119) 및 도전막(132)을 포함한다. 여기서, 절연패턴(117)은 돌기부재(119) 및 제 1 전극(110)간의 접착력을 보완해주며, 제 1 전극(110) 및 제 2 전극(130)간의 쇼트를 방지한다. 돌기부재(119)는 도전막(132)을 제 2 기판(200)을 향해 돌출시킨다. 이로써, 도전막(132)을 두껍게 형성하지 않아도 서로 이격된 제 2 전극(130) 및 박막트랜지스터(Tr)를 서로 전기적으로 연결시킬 수 있다. 이때, 도전막(132)은 제 2 전극(130)과 전기적으로 연결되어 있다. 또한, 도전막(132)은 제 2 전극(130)과 일체로 이루어져 있을 수 있다.That is, the contact member 145 includes an insulating pattern 117, a protrusion member 119, and a conductive film 132. Here, the insulating pattern 117 compensates for the adhesive force between the protruding member 119 and the first electrode 110, and prevents a short between the first electrode 110 and the second electrode 130. The protrusion member 119 protrudes the conductive film 132 toward the second substrate 200. Thus, the second electrode 130 and the thin film transistor Tr spaced apart from each other may be electrically connected to each other even without forming the conductive layer 132 thickly. In this case, the conductive layer 132 is electrically connected to the second electrode 130. In addition, the conductive layer 132 may be integrally formed with the second electrode 130.

한편, 제 2 기판(200)은 콘택부재(145)에 의해 각 유기발광다이오드(E)와 전기적으로 연결된 박막트랜지스터(Tr)가 배치되어 있다. On the other hand, the thin film transistor Tr electrically connected to each of the organic light emitting diodes E is disposed on the second substrate 200 by the contact member 145.

제 2 기판(200)에는 서로 교차된 다수의 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해서 정의된 서브 화소를 구비한다. 즉, 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선이 교차하여 다수의 셀들을 형성하게 되는데, 서브 화소는 상기 다수의 셀들 중 하나의 셀을 의미한다. 여기서, 서브 화소는 제 1 기판(100)의 화소(P)와 서로 대응할 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 상부발광형으로 제 2 기판(200)에 의한 설계에 따른 영향을 받지 않는다. 그러나, 서브 화소 및 화소(P)는 서로 적어도 일부가 중첩되는 것이 바람직하다. 이는 서브 화소와 화소(P)에 각각 구비된 박막트랜지스터(Tr) 및 유기발광다이오드(E)는 서로 전기적으로 연결되어야 하기 때문이다.The second substrate 200 includes sub pixels defined by a plurality of gate lines and data lines that cross each other. That is, the gate line and the data line cross each other to form a plurality of cells, and a sub pixel means one cell of the plurality of cells. The sub-pixels may correspond to the pixels P of the first substrate 100. However, the organic light emitting diode display according to the exemplary embodiment of the present invention is a top emitting type and is not affected by the design by the second substrate 200. However, it is preferable that at least a portion of the sub pixel and the pixel P overlap each other. This is because the thin film transistor Tr and the organic light emitting diode E which are respectively provided in the sub pixel and the pixel P must be electrically connected to each other.

자세하게, 제 2 기판(200)상에 박막트랜지스터(Tr)가 배치되어 있다. 박막트랜지스터(Tr)는 게이트 전극(205), 게이트 절연막(210), 반도체층(215), 소스 전극(225) 및 드레인 전극(235)을 포함한다. 이때, 게이트 전극(205)은 게이트 전극(205)과 연결되어 있다. 또한, 소스 전극(225)은 데이터 배선과 연결되어 있다. 이로써, 박막트랜지스터(Tr)는 상기 게이트 배선으로부터 게이트 신호를 제공받아 상기 박막트랜지스터(Tr)를 온(ON)시킨다. 이때, 상기 박막트랜지스터(Tr)는 상기 데이터 배선으로부터 제공받은 데이터 신호에 따라, 상기 박막트랜지스터(Tr)는 후술될 상기 유기발광다이오드(E)를 구동한다.In detail, the thin film transistor Tr is disposed on the second substrate 200. The thin film transistor Tr includes a gate electrode 205, a gate insulating layer 210, a semiconductor layer 215, a source electrode 225, and a drain electrode 235. In this case, the gate electrode 205 is connected to the gate electrode 205. In addition, the source electrode 225 is connected to the data line. As a result, the thin film transistor Tr receives the gate signal from the gate line to turn on the thin film transistor Tr. In this case, the thin film transistor Tr drives the organic light emitting diode E, which will be described later, according to the data signal provided from the data line.

박막트랜지스터(Tr)를 포함하는 제 2 기판(200)상에 보호막(210)이 배치되어, 박막트랜지스터(Tr)를 보호한다. 이때, 보호막(210)은 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(225)을 노출하는 콘택홀이 구비되어 있다.The passivation layer 210 is disposed on the second substrate 200 including the thin film transistor Tr to protect the thin film transistor Tr. In this case, the passivation layer 210 is provided with a contact hole exposing the drain electrode 225 of the thin film transistor Tr.

보호막(210)상에 상기 콘택홀을 통해 드레인 전극(225)과 전기적으로 연결된 콘택전극(245)이 배치되어 있다. 콘택전극(245)은 상기 제 1 기판(100)상에 형성된 콘택부재(145)와 접촉하여, 결국, 유기발광다이오드(E) 및 박막트랜지스터(Tr)를 서로 전기적으로 연결시킨다.The contact electrode 245 electrically connected to the drain electrode 225 through the contact hole is disposed on the passivation layer 210. The contact electrode 245 is in contact with the contact member 145 formed on the first substrate 100, and thus, electrically connects the organic light emitting diode E and the thin film transistor Tr to each other.

따라서, 본 발명의 실시예에서는 제 1 및 제 2 기판(100, 200)에 각각 유기발광다이오드(E) 및 박막트랜지스터(Tr)를 형성한 뒤, 합착함으로써 공정 수율을 향상시킬 수 있다.Therefore, in the exemplary embodiment of the present invention, the organic light emitting diode E and the thin film transistor Tr are formed on the first and second substrates 100 and 200, respectively, and then bonded to each other, thereby improving the process yield.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 특성상 유기발광층(120)상에 각 화소별로 패터닝된 제 2 전극(130)을 형성해야 하므로, 유기발광층(120)이 식각액에 의해 노출되어 열화될 수 있었다. 그러나, 제 2 전극(130)을 화소분리 격벽(150)을 형성함에 따라 별도의 패터닝 공정을 이용하지 않아도 되므로 유기발광층의 열화를 방지할 수 있다. 더욱이, 화소분리 격벽(150)이 'T'자의 단면을 가지므로,제 2 전극(130)이 각 화소(P)별로 확실하게 패터닝될 수 있어, 제 2 전극(130)이 각 화소(P)들끼리 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다. In addition, since the organic light emitting diode display according to the embodiment of the present invention has to form the second electrode 130 patterned for each pixel on the organic light emitting layer 120, the organic light emitting layer 120 is exposed by an etchant. Could be degraded. However, since the pixel separation barrier 150 is formed on the second electrode 130, the organic light emitting layer may be prevented from being deteriorated because a separate patterning process is not required. Furthermore, since the pixel separation barrier 150 has a cross section of 'T', the second electrode 130 can be reliably patterned for each pixel P, so that the second electrode 130 can be patterned for each pixel P. FIG. It is possible to prevent the short from occurring.

도 3a 내지 도 3j는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다. 제 2 실시예는 제 1 실시예의 유기발광다이오드 표시장치를 제조하기 위한 방법이다. 따라서, 제 2 실시예는 도 3a 내지 도 3j 및 도 2를 참조하여 설명하기로 한다.3A to 3J are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display device according to a second embodiment of the present invention. The second embodiment is a method for manufacturing the organic light emitting diode display of the first embodiment. Therefore, the second embodiment will be described with reference to FIGS. 3A to 3J and FIG. 2.

도 3a를 참조하면, 다수의 화소(P)들이 정의된 제 1 기판(100)을 제공한다. 이때, 각 화소(P)는 발광부(PL) 및 비발광부(PNL)을 포함한다.Referring to FIG. 3A, a first substrate 100 in which a plurality of pixels P is defined is provided. In this case, each pixel P includes a light emitting part PL and a non-light emitting part PNL.

여기서, 제 1 기판(100)은 광을 투과할 수 있는 투명한 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제 1 기판(100)은 유리 기판, 플라스틱 기판, 필름등일 수 있다.Here, the first substrate 100 may be made of a transparent material that can transmit light. For example, the first substrate 100 may be a glass substrate, a plastic substrate, a film, or the like.

제 1 기판(100)상에 후술될 제 1 전극(110)에 비해 저 저항체의 도전물질을 증착한 뒤, 패터닝하여 보조전극(105)을 형성한다. 예를 들면, 저 저항체의 도전물질은 Al, AlNd, Mo, Cr등일 수 있다. 이로써, 보조전극(305)은 후속 공정에서 형성되는 제 1 전극(110)의 저항차를 줄이는 역할을 하여, 모든 화면에서 균일한 화질을 얻을 수 있다.A lower resistance conductive material is deposited on the first substrate 100 compared with the first electrode 110 to be described later, and then patterned to form the auxiliary electrode 105. For example, the conductive material of the low resistor may be Al, AlNd, Mo, Cr, or the like. As a result, the auxiliary electrode 305 serves to reduce the resistance difference between the first electrode 110 formed in a subsequent process, thereby obtaining uniform picture quality on all screens.

보조전극(105)을 포함하는 제 1 기판(100)상에 제 1 전극(110)을 형성한다. 이때, 제 1 전극(110)은 모든 화소에 일체로 형성된다. 여기서, 제 1 전극(110)은 광을 투과할 수 있는 도전물질로 이루어진다. 예를 들면, 상기 도전물질은 ITO 또는 IZO일 수 있다. The first electrode 110 is formed on the first substrate 100 including the auxiliary electrode 105. In this case, the first electrode 110 is integrally formed in all the pixels. Here, the first electrode 110 is made of a conductive material that can transmit light. For example, the conductive material may be ITO or IZO.

도 3b를 참조하면, 제 1 전극(110)상에 화소(P) 중 발광영역(PL)을 노출하는 버퍼층(115)을 형성한다. 버퍼층(115)을 형성하기 위해, 먼저 제 1 전극(110)상에 절연막을 형성한다. 이후, 상기 절연막을 포토공정으로 발광영역(PL)을 노출하도록 식각하여 버퍼층(115)이 형성된다Referring to FIG. 3B, a buffer layer 115 is formed on the first electrode 110 to expose the emission area PL of the pixel P. Referring to FIG. In order to form the buffer layer 115, an insulating film is first formed on the first electrode 110. Thereafter, the insulating layer is etched to expose the light emitting region PL by a photo process, thereby forming a buffer layer 115.

상기 절연막은 산화 실리콘막, 질화 실리콘막 또는 이들의 적층막으로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 절연막은 화학기상증착법(PECVD)을 수행하여 형성할 수 있다.The insulating film may be formed of a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a stacked film thereof. In this case, the insulating layer may be formed by performing chemical vapor deposition (PECVD).

또한, 상기 포토공정은 상기 절연막상에 일부가 개구된 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 이용하여 상기 절연막을 식각하는 단계 및 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함한다.The photo process may include forming a photoresist pattern with a portion of the photoresist formed on the insulating layer, etching the insulating layer using the photoresist pattern as an etching mask, and removing the photoresist pattern. .

이에 더하여, 상기 포토공정에서 상기 절연막을 식각하는 단계에서 화소(P)에 배치된 절연패턴(117)이 더 형성될 수 있다. 절연패턴(117)은 후술될 돌기부재 가 형성되기 위한 영역이다. 이때, 절연패턴(117)은 화소(P)내에 '섬' 형상을 가진다.In addition, an insulating pattern 117 disposed in the pixel P may be further formed in the etching of the insulating layer in the photo process. The insulating pattern 117 is a region for forming the protrusion member to be described later. In this case, the insulating pattern 117 has a 'island' shape in the pixel P. FIG.

도 3c를 참조하면, 버퍼층(115)를 형성한 후, 버퍼층(115)을 포함하는 제 1 기판(100)상에 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a) 및 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a)를 순차적으로 형성한다. Referring to FIG. 3C, after the buffer layer 115 is formed, the first positive photosensitive resin film 152a and the first negative photosensitive resin film 151a are formed on the first substrate 100 including the buffer layer 115. Form sequentially.

제 1 포지티브 감광성 수지막(152a) 및 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a)은 광에 대해 서로 다른 특성을 가지는 감광성 물질을 포함한다. 여기서, 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a)은 감광영역에서보다 비감광영역에서의 감광성 물질이 현상용액에 대해 용해도가 낮다. 반면, 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a)은 감광영역에서보다 비감광영역에서의 감광성 물질이 현상용액에 대해 용해도가 높다. 즉, 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a)은 현상공정에서 감광된 영역의 감광성 물질이 제거되는 특성을 가지며, 제 1 네가티브 감광성 수지막(152b)은 현상공정에서 비감광된 영역의 감광성 물질이 제거되는 특성을 가진다.The first positive photosensitive resin film 152a and the first negative photosensitive resin film 151a include photosensitive materials having different characteristics with respect to light. In the first positive photosensitive resin film 152a, the photosensitive material in the non-photosensitive region is less soluble in the developing solution than in the photosensitive region. On the other hand, in the first negative photosensitive resin film 151a, the photosensitive material in the non-photosensitive region has higher solubility in the developing solution than in the photosensitive region. That is, the first positive photosensitive resin film 152a has a property of removing the photosensitive material of the photosensitive region in the developing process, and the first negative photosensitive resin film 152b has the photosensitive material of the non-photosensitive region removed in the developing process. Has the property of

이때, 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a) 및 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a)은 각각 습식공정에 의해서 제 1 기판(100)상에 형성할 수 있다. 습식공정의 예로서는 스핀코팅, 딥 코팅, 스프레이 코팅, 잉크젯 프린팅등을 들 수 있다.In this case, the first positive photosensitive resin film 152a and the first negative photosensitive resin film 151a may be formed on the first substrate 100 by a wet process, respectively. Examples of wet processes include spin coating, dip coating, spray coating, inkjet printing, and the like.

도 3d를 참조하면, 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a) 및 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a)을 형성한 후, 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a) 및 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a)에 노광 공정을 수행하여 부분적으로 현상액에 대한 용해도가 다른 제 2 포지티브 감광성 수지막(152b) 및 제 2 네가티브 감광성 수지 막(151b)를 형성한다.Referring to FIG. 3D, after the first positive photosensitive resin film 152a and the first negative photosensitive resin film 151a are formed, the first positive photosensitive resin film 152a and the first negative photosensitive resin film 151a are formed. The exposure process is performed to form the second positive photosensitive resin film 152b and the second negative photosensitive resin film 151b which differ in solubility in the developer partly.

노광 공정을 수행하기 위해, 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a)을 포함하는 제 1 기판(100)상으로 마스크(M)를 제공한다. 마스크(M)는 광이 투과되는 투과부(O) 및 투과부(O)의 주변에 배치되며 광을 투과하지 않는 비투과부(C)를 구비한다. 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a) 및 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a)은 투과부(O)와 대응하는 제 1 영역(153) 및 비투과부(O)와 대응하는 제 2 영역(154)으로 정의된다.In order to perform the exposure process, a mask M is provided on the first substrate 100 including the first negative photosensitive resin film 151a. The mask M includes a transmissive portion O through which light is transmitted and a non-transparent portion C disposed around the transmissive portion O and not transmitting light. The first negative photosensitive resin film 151a and the first positive photosensitive resin film 152a are defined as a first region 153 corresponding to the transmission portion O and a second region 154 corresponding to the non-transmissive portion O. do.

이후, 마스크(M)상으로 광을 조사할 경우, 상기 광은 마스크(M) 중 투과부(O)를 통과하여 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a) 및 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a)의 제 1 영역(153)으로 제공됨에 따라 현상액에 대한 용해도가 다른 제 2 포지티브 감광성 수지막(152b) 및 제 2 네가티브 감광성 수지막(151b)이 형성된다. Subsequently, when the light is irradiated onto the mask M, the light passes through the transmission portion O of the mask M to form the first negative photosensitive resin film 151a and the first positive photosensitive resin film 152a. As the first region 153 is provided, the second positive photosensitive resin film 152b and the second negative photosensitive resin film 151b having different solubility in the developer are formed.

따라서, 제 2 네가티브 감광성 수지막(151b)은 제 1 영역(153)에 비해 제 2 영역(153)의 감광성 물질이 현상액에 대한 용해도가 작아진다. 반면, 제 2 포지티브 감광성 수지막(152b)의 소정 영역(153)은 제 1 영역(153)에 비해 제 2 영역(153)의 감광성 물질이 현상액에 대한 용해도가 커진다.Therefore, in the second negative photosensitive resin film 151b, the solubility of the photosensitive material in the second region 153 in the developer is lower than that in the first region 153. On the other hand, in the predetermined region 153 of the second positive photosensitive resin film 152b, the solubility of the photosensitive material in the second region 153 in the developer is greater than that of the first region 153.

도 3e를 참조하면, 노광 공정을 수행한 후, 제 2 포지티브 감광성 수지막(152b) 및 제 2 네가티브 감광성 수지막(151b)을 포함하는 제 1 기판(100)에 현상공정을 수행한다.Referring to FIG. 3E, after the exposure process is performed, a developing process is performed on the first substrate 100 including the second positive photosensitive resin film 152b and the second negative photosensitive resin film 151b.

여기서, 제 2 네가티브 감광성 수지막(152b)의 제 2 영역(154)은 현상용 액(D)으로 용해 및 제거시켜, 도 3f에서와 같이, 화소분리 격벽(150)의 머리부(151)가 형성된다. 이때, 현상용액(D)은 제 2 네가티브 감광성 수지막(152b)의 제 2 영역(154)을 용해시키면서 제 2 포지티브 감광성 수지막(152b)의 제 1 영역(153) 및 제 2 영역(154)의 경계(155)로 침투한다. 이때, 상기 경계(155)로 침투된 현상용액(D)은 제 1 영역(153)에 구비된 제 2 포지티브 감광성 수지막(151b)을 외측에서 내측으로 일정부분까지 용해 및 제거하여 화소분리 격벽(150)의 다리부(152)를 형성하게 된다. Here, the second region 154 of the second negative photosensitive resin film 152b is dissolved and removed with the developing solution D. As shown in FIG. 3F, the head 151 of the pixel separation partition 150 is formed. Is formed. At this time, the developing solution D dissolves the second region 154 of the second negative photosensitive resin film 152b while the first region 153 and the second region 154 of the second positive photosensitive resin film 152b. Penetrates into the boundary 155. At this time, the developing solution D penetrated into the boundary 155 dissolves and removes the second positive photosensitive resin film 151b provided in the first region 153 from the outer side to the inner side to a predetermined portion to separate the pixel separation partition wall ( The leg 152 of the 150 is formed.

이때, 화소분리 격벽(150)은 다리부(152)보다 머리부(151)의 면적이 크게 형성되어, 결국 화소분리 격벽(150)의 단면은 'T'자 형상을 가지게 된다. In this case, the area of the head portion 151 is larger than the leg portion 152 in the pixel separation barrier 150, so that the cross section of the pixel separation barrier 150 has a 'T' shape.

여기서, 제 1 기판(100)상에 제 1 포지티브 감광성 수지막(152a) 및 제 1 네가티브 감광성 수지막(151a)의 순서가 바뀔 경우에 상기와 같은 'T'자 형상의 화소분리 격벽이 형성되지 않는다.Here, when the order of the first positive photosensitive resin film 152a and the first negative photosensitive resin film 151a is changed on the first substrate 100, the 'T' shape pixel separation partition wall is not formed. Do not.

도 3g를 참조하면, 화소분리 격벽(150)을 형성한 후 제 2 영역(154)의 제 2 포지티브 감광성 수지막(152b)을 박리시킨다. 즉, 제 2 영역(154)의 제 2 포지티브 감광성 수지막(152b)은 스트립 용액에 의해 용해 및 제거된다.Referring to FIG. 3G, after forming the pixel separation barrier 150, the second positive photosensitive resin film 152b of the second region 154 is peeled off. That is, the second positive photosensitive resin film 152b of the second region 154 is dissolved and removed by the strip solution.

이로써, 제 1 기판(100)상에 후술될 제 2 전극(130)을 자연적으로 패터닝하기 위한 화소분리 격벽(150)이 형성된다. 여기서, 화소분리 격벽(150)은 각 화소(P)들간의 경계에 배치된다. 즉, 화소분리 격벽(150)은 실질적으로 각 화소(P)를 정의하게 된다.As a result, a pixel separation barrier 150 for naturally patterning the second electrode 130 to be described later is formed on the first substrate 100. Here, the pixel separation barrier 150 is disposed at a boundary between each pixel P. That is, the pixel separation barrier 150 substantially defines each pixel P. FIG.

도 3h를 참조하면, 화소분리 격벽(150)을 형성한 후, 절연패턴(117)상에 돌 기부재(119)를 형성한다.Referring to FIG. 3H, after forming the pixel isolation barrier 150, the protrusion member 119 is formed on the insulating pattern 117.

돌기부재(119)를 형성하기 위해, 절연패턴(117)을 포함하는 제 1 기판(100)상에 감광성 수지를 도포한다. 이후, 상기 감광성 수지에 노광 및 현상공정을 거쳐 돌기부재(119)를 형성할 수 있다. 이때, 돌기부재(119)는 상부로 돌출된 기둥 형상을 가지게 된다.In order to form the protruding member 119, a photosensitive resin is coated on the first substrate 100 including the insulating pattern 117. Thereafter, the protruding member 119 may be formed on the photosensitive resin through exposure and development processes. At this time, the projection member 119 has a column shape protruding upward.

여기서, 돌기부재(119)는 화소분리 격벽(150)을 형성하는 단계이후에 형성하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 아니한다. 즉, 돌기부재(119)는 화소분리 격벽(150)을 형성하는 단계이전에 형성할 수도 있다.Here, the protrusion member 119 is described as being formed after the step of forming the pixel separation barrier 150, but is not limited thereto. That is, the protrusion member 119 may be formed before the forming of the pixel separation barrier 150.

도 3i를 참조하면, 돌기부재(119)를 형성한 후, 적어도 화소(P) 중 발광영역상에 유기발광층(120)을 형성한다. 즉, 유기발광층(120)은 버퍼층(115)에 의해 노출된 제 1 전극(120)상에 형성된다. 유기 발광층(120)은 저분자 물질 또는 고분자 물질일 수 있다. 이때, 유기발광층(120)을 형성하는 방법의 예로서, 유기발광층(120)이 저분자 물질일 경우에 있어서, 진공 증착법을 수행하여 형성할 수 있다. 반면에 고분자 물질일 경우에 있어서, 잉크젯 프린팅 방법을 수행하여 형성할 수 있다. Referring to FIG. 3I, after the protrusion member 119 is formed, the organic light emitting layer 120 is formed on at least the light emitting region of the pixel P. Referring to FIG. That is, the organic light emitting layer 120 is formed on the first electrode 120 exposed by the buffer layer 115. The organic light emitting layer 120 may be a low molecular material or a high molecular material. In this case, as an example of a method of forming the organic light emitting layer 120, when the organic light emitting layer 120 is a low molecular material, it may be formed by performing a vacuum deposition method. On the other hand, in the case of a polymer material, it may be formed by performing an inkjet printing method.

이에 더하여, 유기 발광층(120)을 형성하기 전에 또는 후에 정공 주입층, 정공 수송층, 정공 억제층, 전자 수송층 및 전자 주입층등을 더 형성할 수 있다.In addition, a hole injection layer, a hole transport layer, a hole suppression layer, an electron transport layer, an electron injection layer, or the like may be further formed before or after the organic emission layer 120 is formed.

유기 발광층(120)을 형성한 후, 적어도 유기발광층(120)상에 배치되는 제 2 전극(130)을 형성한다.After the organic light emitting layer 120 is formed, at least a second electrode 130 disposed on the organic light emitting layer 120 is formed.

제 2 전극(130)을 형성하기 위해, 먼저, 화소분리 격벽(150) 및 유기발광 층(120)을 포함하는 제 1 기판(100)상에 도전물질을 진공 증착한다. 여기서, 화소분리 격벽(150)이 'T'자의 형상을 가지기 때문에 화소분리 격벽(150)을 포함하는 제 1 기판(100)상에 도전물질이 성막되면서 자연적으로 각 화소(P)별로 패터닝된 제 2 전극(130)이 형성된다. 즉, 제 2 전극(130)은 별도의 패터닝 공정을 수행하지 않고 형성할 수 있다. 여기서, 상기 별도의 패터닝 공정은 상술한 바와 같은 감광성 수지를 이용한 패터닝공정일 수 있다. 이와 같은 패터닝 공정에 사용되는 현상액에 의해 제 2 전극(130)의 하부에 위치하는 유기발광층(120)의 열화를 발생시킬 수 있다.In order to form the second electrode 130, first, a conductive material is vacuum deposited on the first substrate 100 including the pixel isolation barrier 150 and the organic light emitting layer 120. Here, since the pixel isolation barrier 150 has a 'T' shape, a conductive material is deposited on the first substrate 100 including the pixel isolation barrier 150 to naturally pattern the pixel P. 2 electrodes 130 are formed. That is, the second electrode 130 may be formed without performing a separate patterning process. Here, the separate patterning process may be a patterning process using the photosensitive resin as described above. The developer used in the patterning process may cause deterioration of the organic light emitting layer 120 positioned below the second electrode 130.

또한, 제 2 전극(130)을 형성하는 공정에서 돌기부재(119)를 덮는 도전막(132)이 형성된다. 즉, 도전막(132)은 제 2 전극(130)과 일체로 형성된다. In the process of forming the second electrode 130, a conductive film 132 covering the protrusion member 119 is formed. That is, the conductive film 132 is formed integrally with the second electrode 130.

이로써, 제 1 기판(100)상에 제 1 전극(110), 유기발광층(120) 및 제 2 전극(130)을 구비하는 유기발광다이오드(E)이 형성된다. 또한, 제 1 기판(100)상에 유기발광다이오드(E)와 이격된 박막트랜지터(Tr)를 전기적으로 연결시키기 위한 콘택부재(145)가 형성된다. 여기서, 콘택부재(145)는 절연패턴(117), 돌기부재(119), 도전막(132)을 포함한다.As a result, the organic light emitting diode E having the first electrode 110, the organic light emitting layer 120, and the second electrode 130 is formed on the first substrate 100. In addition, a contact member 145 is formed on the first substrate 100 to electrically connect the organic light emitting diode E and the thin film transistor Tr spaced apart from each other. The contact member 145 may include an insulating pattern 117, a protrusion member 119, and a conductive layer 132.

도 3j를 참조하면, 박막트랜지스터(Tr)가 형성된 제 2 기판(200)을 제공한다.Referring to FIG. 3J, a second substrate 200 on which a thin film transistor Tr is formed is provided.

여기서, 제 2 기판(200)상에 박막트랜지스터를 형성하기 위해, 먼저 제 2 기판(200)을 제공한다. 상기 제 2 기판(200)은 플라스틱, 유리 또는 금속으로 이루어질 수 있다. 제 2 기판(200) 상에 게이트 전극(205)을 형성하고, 게이트 전극(205) 을 포함하는 제 2 기판(200)에 게이트 절연막(210)을 형성한다. 게이트 절연막(210)은 산화 실리콘 또는 질화 실리콘으로 이루어질 수 있다. 이때, 게이트 절연막(210)은 화학기상증착법을 수행하여 증착하여 형성할 수 있다.Here, in order to form a thin film transistor on the second substrate 200, first, the second substrate 200 is provided. The second substrate 200 may be made of plastic, glass, or metal. The gate electrode 205 is formed on the second substrate 200, and the gate insulating layer 210 is formed on the second substrate 200 including the gate electrode 205. The gate insulating layer 210 may be made of silicon oxide or silicon nitride. In this case, the gate insulating layer 210 may be formed by depositing by performing a chemical vapor deposition method.

게이트 전극(205)이 대응된 게이트 절연막(210) 상에 반도체층(215)을 형성한다. 여기서, 반도체층(215)은 비정질 실리콘막과, P형 또는 N형 불순물이 도핑된 비정질 실리콘막을 순차적으로 적층 및 패터닝하여 형성된다.The semiconductor layer 215 is formed on the gate insulating layer 210 corresponding to the gate electrode 205. Here, the semiconductor layer 215 is formed by sequentially stacking and patterning an amorphous silicon film and an amorphous silicon film doped with P-type or N-type impurities.

반도체층(215)상에 도전성 금속을 증착한 뒤 패터닝하여, 반도체층(215)상에서 서로 이격된 소스/드레인 전극(235, 225)을 형성한다. The conductive metal is deposited on the semiconductor layer 215 and then patterned to form source / drain electrodes 235 and 225 spaced apart from each other on the semiconductor layer 215.

이로써, 제 2 기판(200) 상에 게이트 전극(205), 반도체층(215) 및 소스/드레인 전극(235, 225)을 포함하는 박막트랜지스터(Tr)를 형성할 수 있다. 여기서, 도면에서 제 2 기판(200)상에 하나의 박막트랜지스터를 형성하는 것으로 한정하여 설명하였으나, 제 2 기판(200)상에 상기 박막트랜지스터를 스위칭하는 적어도 하나의 박막트랜지스터 및 캐패시터를 더 형성할 수 있다.As a result, the thin film transistor Tr including the gate electrode 205, the semiconductor layer 215, and the source / drain electrodes 235 and 225 may be formed on the second substrate 200. Herein, the drawing is limited to forming one thin film transistor on the second substrate 200. However, at least one thin film transistor and a capacitor for switching the thin film transistor on the second substrate 200 may be further formed. Can be.

또한, 박막트랜지스터(Tr)는 비정질 실리콘을 이용한 바텀 게이트(bottom gate) 박막트랜지스터를 형성하는 것으로 제한하여 설명하였으나, 이에 한정되지 아니하고 공지된 여러 형태의 박막트랜지스터를 채용할 수 있다.In addition, the thin film transistor Tr has been described as being limited to forming a bottom gate thin film transistor using amorphous silicon. However, the thin film transistor Tr is not limited thereto and may employ various known thin film transistors.

박막트랜지스터(Tr)를 포함하는 제 2 기판(200) 전면에 걸쳐 보호막(220)을 형성한다. 여기서, 보호막(220)은 질화실리콘 또는 산화실리콘으로 이루어질 수 있으며, 화학기상증착법을 수행하여 형성될 수 있다. 보호막(220)에 드레인 전극(225)을 노출하기 위한 콘텍홀을 형성한다. 이에 더하여, 보호막(220)상에 콘텍 홀에 노출하는 드레인 전극(225)과 전기적으로 접촉하는 콘택전극(245)이 더 형성할 수 있다. 콘택전극(245)은 상술한 콘택부재(145)의 접촉 안정성을 향상시키는 역할을 한다.The passivation layer 220 is formed over the entire surface of the second substrate 200 including the thin film transistor Tr. The protective film 220 may be formed of silicon nitride or silicon oxide, and may be formed by performing chemical vapor deposition. A contact hole for exposing the drain electrode 225 is formed in the passivation layer 220. In addition, a contact electrode 245 may be further formed on the passivation layer 220 to be in electrical contact with the drain electrode 225 exposed to the contact hole. The contact electrode 245 serves to improve the contact stability of the contact member 145 described above.

박막트랜지스터(Tr)가 형성된 제 2 기판(200)을 제공한 후, 제 1 기판(100) 또는 제 2 기판(200)의 외곽부에 실 패턴을 형성한다. 이후, 제 1 기판(100)의 콘택부재(145)와 제 2 기판(200)의 콘택전극(245)가 서로 전기적으로 접촉하도록 제 1 기판(100)과 제 2 기판(200)을 합착하여, 도 2에서와 같이 유기발광다이오드 표시장치를 제조할 수 있다. 이때, 서로 이격된 제 1 및 제 2 기판(100, 200)에 각각 형성된 유기발광다이오드(E)와 박막트랜지스터(Tr)는 콘택부재(145) 및 콘택전극(245)간의 전기적인 접촉으로 서로 전기적으로 연결된다.After providing the second substrate 200 on which the thin film transistor Tr is formed, a seal pattern is formed on the outer side of the first substrate 100 or the second substrate 200. Thereafter, the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded to each other such that the contact member 145 of the first substrate 100 and the contact electrode 245 of the second substrate 200 are in electrical contact with each other. As shown in FIG. 2, an organic light emitting diode display device may be manufactured. At this time, the organic light emitting diode E and the thin film transistor Tr formed on the first and second substrates 100 and 200 spaced apart from each other are electrically connected to each other by electrical contact between the contact member 145 and the contact electrode 245. Is connected.

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 서로 다른 제 1 및 제 2 기판에 각각 유기발광다이오드와 박막트랜지스터를 각각 형성함에 따라, 공정 수율을 향상시키며 공정 단가를 낮출 수 있었다. Therefore, in the organic light emitting diode display according to the embodiment of the present invention, the organic light emitting diode and the thin film transistor are formed on different first and second substrates, respectively, thereby improving process yield and lowering the unit cost.

또한, 유기발광다이오드가 형성된 제 1 기판상에 광에 대해 서로 다른 특성을 가지는 포지티브 감광성 수지 및 네가티브 감광성 수지를 이용하여 제 2 전극(130)을 자연적으로 분리하기 위한 이상적인 'T'자 형상을 가지는 화소분리 격벽(150)을 형성할 수 있었다. 이로써, 제 2 전극(130)은 유기발광층(120)의 열화를 방지하며 각 화소(P)별로 자연적으로 패터닝할 수 있어, 완성된 유기발광다이오드 표시장치의 수명을 향상시킬 수 있다.In addition, by using a positive photosensitive resin and a negative photosensitive resin having different characteristics with respect to light on the first substrate on which the organic light emitting diode is formed, it has an ideal 'T' shape for naturally separating the second electrode 130. The pixel separation barrier 150 may be formed. As a result, the second electrode 130 may prevent degradation of the organic light emitting layer 120 and may be naturally patterned for each pixel P, thereby improving the lifespan of the completed organic light emitting diode display device.

상기한 바와 같이 본 발명의 유기발광다이오드 표시장치는 박막트랜지스터와 유기발광다이오드를 서로 다른 기판에 각각 형성한 뒤, 상기 두 기판을 합착하여 유기발광다이오드 표시장치를 제조함으로써, 불량률의 감소와 함께 생산 수율의 향상을 기대할 수 있다.As described above, the organic light emitting diode display device of the present invention forms a thin film transistor and an organic light emitting diode on different substrates, and then combines the two substrates to manufacture the organic light emitting diode display device, thereby reducing the defect rate and producing the organic light emitting diode display device. An improvement in yield can be expected.

또한, 광에 대한 서로 다른 특성을 갖는 네가티브 감광성 수지 및 포지티브 감광성 수지를 이용하여 제 2 전극을 자연적으로 패터닝하기 위한 이상적인 구조를 갖는 화소분리 격벽을 형성함에 따라, 제 2 전극을 화소별로 확실하게 분리할 수 있어, 화소간의 쇼트 불량을 방지할 수 있다.In addition, by forming a pixel separation barrier having an ideal structure for naturally patterning the second electrode using a negative photosensitive resin and a positive photosensitive resin having different characteristics for light, the second electrode is reliably separated from pixel to pixel. This can prevent short defects between pixels.

또한, 별도의 패터닝 공정을 하지 않고 자동적으로 제 2 전극을 화소별로 분리할 수 있어, 유기발광층의 열화를 방지할 수 있으므로, 결국 유기발광다이오드 표시장치의 수명을 향상시킬 수 있다.In addition, since the second electrode can be automatically separated for each pixel without a separate patterning process, deterioration of the organic light emitting layer can be prevented, and thus, the life of the organic light emitting diode display can be improved.

상기에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. I can understand that.

Claims (10)

다수개의 화소들을 구비하는 제 1 기판;A first substrate having a plurality of pixels; 상기 다수개의 화소들을 포함하는 제 1 기판상에 배치된 제 1 전극;A first electrode disposed on a first substrate including the plurality of pixels; 상기 각 화소의 외곽을 따라 배치된 화소분리 격벽;A pixel separation partition wall disposed along the periphery of each pixel; 상기 제 1 전극상에 배치된 유기발광층;An organic light emitting layer disposed on the first electrode; 상기 유기발광층상에 배치되며, 상기 화소분리 격벽에 의해 화소별로 분리된 제 2 전극; 및A second electrode disposed on the organic light emitting layer and separated for each pixel by the pixel separation barrier; And 상기 제 1 기판과 마주하며, 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결된 박막트랜지스터가 형성된 제 2 기판을 포함하며,A second substrate facing the first substrate and having a thin film transistor electrically connected to the second electrode; 상기 화소분리 격벽은 제 1 면적을 갖는 다리부 및 상기 다리부상에 배치되며 상기 제 1 면적보다 큰 제 2 면적을 갖는 머리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치.And the pixel isolation barrier wall includes a leg portion having a first area and a head portion disposed on the leg portion and having a second area larger than the first area. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화소분리 격벽은 'T'자의 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치.And the pixel isolation partition wall has a cross-sectional shape of 'T'. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다리부는 포지티브형 감광성 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유 기발광다이오드 표시장치.And the leg portion is made of a positive photosensitive resin. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 머리부는 네가티브형 감광성 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치.And the head portion is made of a negative photosensitive resin. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 전극 및 상기 화소분리 격벽사이에 개재되고, 상기 각 화소에 구비된 발광영역을 노출하는 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치.And a buffer layer interposed between the first electrode and the pixel isolation partition wall and exposing a light emitting area provided in each pixel. 다수의 화소들이 정의된 제 1 기판을 제공하는 단계;Providing a first substrate on which a plurality of pixels are defined; 상기 다수개의 화소들을 포함하는 제 1 기판상에 제 1 전극을 형성하는 단계;Forming a first electrode on a first substrate including the plurality of pixels; 상기 각 화소의 외곽을 따라 화소분리 격벽을 형성하는 단계;Forming a pixel isolation barrier along the periphery of each pixel; 상기 제 1 전극상에 유기발광층을 형성하는 단계;Forming an organic light emitting layer on the first electrode; 상기 유기발광층상에 상기 화소분리 격벽에 의해 자연적으로 패터닝된 제 2 전극을 형성하는 단계; 및Forming a second electrode naturally patterned by the pixel separation barrier on the organic light emitting layer; And 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결되는 박막트랜지스터가 형성된 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하며,Bonding the second substrate on which the thin film transistor is electrically connected to the first substrate and the second electrode; 상기 화소분리 격벽은 제 1 면적을 갖는 다리부 및 상기 다리부상에 배치되며 상기 제 1 면적보다 큰 제 2 면적을 갖는 머리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법.And the pixel isolation partition wall includes a leg portion having a first area and a head portion disposed on the leg portion and having a second area larger than the first area. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1 전극을 형성하는 단계 및 상기 화소 분리 격벽을 형성하는 단계 사이에는,Between the forming of the first electrode and the forming of the pixel isolation barrier, 상기 각 화소의 발광영역을 노출하며 상기 제 1 전극상에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법.And forming a buffer layer on the first electrode while exposing the emission region of each pixel. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 화소분리 격벽을 형성하는 단계는,Forming the pixel separation partition wall, 상기 버퍼층을 포함하는 제 1 전극상에 제 1 감광성 수지막을 형성하는 단계;Forming a first photosensitive resin film on a first electrode including the buffer layer; 상기 제 1 감광성 수지막상에 제 2 감광성 수지막을 형성하는 단계;Forming a second photosensitive resin film on the first photosensitive resin film; 상기 제 2 감광성 수지막을 포함하는 제 1 기판을 노광하는 단계;Exposing a first substrate including the second photosensitive resin film; 상기 제 2 감광성 수지막을 현상하여 상기 머리부를 형성하는 단계; 및Developing the second photosensitive resin film to form the head; And 상기 제 1 감광성 수지막을 스트립하여 상기 다리부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법.And forming the legs by stripping the first photosensitive resin film. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제 1 감광성 수지막은 포지티브형이고, 상기 제 2 감광성 수지막은 네가티브형인 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법.And said first photosensitive resin film is positive type and said second photosensitive resin film is negative type. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 화소분리 격벽은 'T'자의 단면 형상을 가지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법.The pixel separation barrier is formed to have a cross-sectional shape of the 'T' manufacturing method of an organic light emitting diode display device.
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